JP2004125715A - Ｘ線異物検査装置の感度校正方法及び感度校正装置 - Google Patents
Ｘ線異物検査装置の感度校正方法及び感度校正装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004125715A JP2004125715A JP2002293146A JP2002293146A JP2004125715A JP 2004125715 A JP2004125715 A JP 2004125715A JP 2002293146 A JP2002293146 A JP 2002293146A JP 2002293146 A JP2002293146 A JP 2002293146A JP 2004125715 A JP2004125715 A JP 2004125715A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- foreign
- ray
- foreign matter
- sample
- foreign substance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/06—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
- G01N23/083—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption the radiation being X-rays
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/30—Accessories, mechanical or electrical features
- G01N2223/303—Accessories, mechanical or electrical features calibrating, standardising
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/60—Specific applications or type of materials
- G01N2223/643—Specific applications or type of materials object on conveyor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/60—Specific applications or type of materials
- G01N2223/652—Specific applications or type of materials impurities, foreign matter, trace amounts
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
【課題】異物試料を用いたＸ線異物検査装置の感度校正作業を効率的に行うことができる校正方法と、感度校正装置を提供すること。
【解決手段】透過Ｘ線によって、被検査物に含まれる異物の検出を行うＸ線異物検査装置において、前記Ｘ線異物検査装置の異物検出部に対して、異物試料を保持して通過させる移動手段を備え、前記異物試料に対してＸ線照射し、その透過Ｘ線像の画像デ−タに基づいて出力される異物検出信号により、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行う。
【選択図】 図１
【解決手段】透過Ｘ線によって、被検査物に含まれる異物の検出を行うＸ線異物検査装置において、前記Ｘ線異物検査装置の異物検出部に対して、異物試料を保持して通過させる移動手段を備え、前記異物試料に対してＸ線照射し、その透過Ｘ線像の画像デ−タに基づいて出力される異物検出信号により、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行う。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、透過Ｘ線の検出によって被検査物に含まれる異物の検出を行うＸ線異物検査装置の感度校正装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、食品や医薬品に含まれる異物（金属、石、ガラス、合成樹脂、骨、ゴム等）の検出に、Ｘ線異物検査装置が用いられている。また、前記Ｘ線異物検査装置は、被検査物にＸ線が照射され、その透過Ｘ線の画像デ−タに基づいて、前記被検査物に含まれる異物の検出を行うものである。また、前記Ｘ線異物検査装置はラインセンサを備えることによって、搬送装置上の被検査物の透過像を検出することができ、前記被検査物に含まれる異物が検出されれば、搬送装置上から排除することを行っている。
【０００３】
従来のＸ線異物検査装置は、例えば搬送装置上の被検査物を透過したＸ線をラインセンサによって撮像し、前記撮像によって得られる画像デ−タに基づいて、しきい値との比較判定処理を行うことで異物検出を行っている。また、被検査物の異物検査に対して、事前に感度校正を行っている。前記感度校正の方法として、異物試料を混入した被検査物を、前記Ｘ線異物検査装置に通してＸ線異物検査装置の感度校正を手動で行う方法がある。また、異物試料を用いた手動の方法として、複数の異物試料を混入させた複数の被検査物を用意して、前記複数の被検査物毎に該被検査物をＸ線異物検査装置に通して、その都度、感度校正を行っている。また、前記Ｘ線異物検査装置では、使用中においてＸ線照射量の変動、その他により、異物検出感度の変動が生じることがある。そこで、使用状態の途中においても、異物試料を混入した被検査物をＸ線異物検査装置に通して、その感度校正を行っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
前述したように、従来のＸ線異物検査装置では、異物試料を用いて感度校正を手動で行う場合に、使用前と使用途中において、異物試料毎に異物試料を被検査物に混入したものをＸ線異物検査装置に通して、その都度、感度校正を行う必要があるので、校正作業に手間がかかるとともに、時間を必要とし、効率的な校正作業が行えないという問題点がある。
【０００５】
そこで、本発明は、このような従来技術の問題点を解決し、異物試料を用いたＸ線異物検査装置の感度校正作業を効率的に行うことができる校正装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
透過Ｘ線によって、被検査物に含まれる異物の検出を行うＸ線異物検査装置において、前記Ｘ線異物検査装置の異物検出部に対して、異物試料を保持して通過させる移動手段を備え、前記異物試料に対してＸ線照射し、その透過Ｘ線像の画像デ−タに基づいて出力される異物検出信号により、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことを特徴とする（請求項１）。
【０００７】
これにより、異物試料を保持して移動する移動手段を用いて、行われる異物検査における異物検出結果に基づいて、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことができ、感度校正を効率的に行うことが可能である。
【０００８】
そして、透過Ｘ線によって、被検査物に含まれる異物の検出を行うＸ線異物検査装置において、前記Ｘ線異物検査装置の異物検出部に対して、第一の容積を有する異物試料及び第二の容積を有する異物試料を一組として、一体的に備えた異物試料体を保持して通過させる前記異物試料の移動手段を備え、前記第一の容積を有する異物試料及び第二の容積を有する異物試料に対してＸ線照射し、その透過Ｘ線像の画像デ−タに基づいて出力されるそれぞれの異物検出信号により、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことを特徴とする（請求項２）。
【０００９】
これによって、さらに２種類の異なる容積を有する一組の異物試料を同時に異物検査し、前記異物試料の異物検出結果に基づいて、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことができ、感度校正をより効率的に行うことが可能である。
【００１０】
そして、透過Ｘ線によって、被検査物に含まれる異物の検出を行うＸ線異物検査装置において、前記Ｘ線異物検査装置の異物検出部に対して、第一の容積を有する異物試料及び第二の容積を有する異物試料を一組として、複数の異物試料による複数の組の異物試料を一体的に備えた異物試料体を保持して通過させる前記異物試料の移動手段を備え、前記複数の組毎に第一の容積を有する異物試料及び第二の容積を有する異物試料に対してＸ線照射し、その透過Ｘ線像の画像デ−タに基づいて出力されるそれぞれの異物検出信号により前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことを特徴とする（請求項３）
【００１１】
これによって、２種類の異なる容積を有する異物試料を一組とした複数の異物試料による複数の組の異物試料を同時に異物検査し、前記複数の異物試料の異物検出結果に基づいて、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことができ、感度校正をより効率的に行うことが可能である。
【００１２】
そして、請求項２または請求項３のいずれかに記載のＸ線異物検査装置の感度校正装置について、前記第一の容積を有する異物試料は異物として検出され、第二の容積を有する異物試料は異物として検出されないように、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことを特徴とする（請求項４）。
【００１３】
これにより、前記異なる容積を有する一組の異物試料の内、一方の異物試料が異物検出されず、他方の異物試料が異物検出されるように前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことができ、感度校正をより簡便で且つ正確に行うことが可能である。
【００１４】
さらに、請求項１乃至４のいずれかに記載のＸ線異物検査装置の感度校正装置について、前記異物試料の移動手段は、駆動装置と、該駆動装置に連結される回動軸と、該回動軸に設けられる支持ア−ムとを備え、前記支持ア−ムは、異物検出用センサ上を回動するようにしたことを特徴とする（請求項５）。
【００１５】
これにより、簡単な構造の移動手段を用いて異物試料をそれぞれ保持すると共に前記Ｘ線異物検査装置の検出部を通過させることができ、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を効率的に行うことが可能である。
【００１６】
また、請求項５に記載のＸ線異物検査装置の感度校正装置について、前記異物試料の移動手段の制御手段をさらに備え、前記移動手段に設けられる支持ア−ムの回動の正転時及び逆転時のそれぞれにおいて感度校正がされることを特徴とする（請求項６）。
【００１７】
これにより、移動手段の制御手段をさらに備えることで、前記移動手段に設けられる支持ア−ムの回動の正転時及び逆転時のそれぞれにおいて感度校正ができるので、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を効率的に行うことが可能である。
【００１８】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面に基づいて、本発明の実施の形態について本発明をより詳細に説明する。
【００１９】
図１は、本発明の感度校正用異物試料の移動手段を用いた感度校正装置を適用することができるＸ線異物検査装置１の構成図を示す。Ｘ線異物検査装置はＸ線発生部２とＸ線ラインセンサ４とを搬送コンベア３を挟んで対向して配置し、Ｘ線ラインセンサ４は、Ｘ線撮像制御部５により被検査物９の撮像を行い、Ｘ線画像処理部６は前記撮像した透過Ｘ線を画像処理して、透過Ｘ線の画像デ−タを生成する。また、画像デ−タは異物検出判定部７に入力され、被検査物に含まれる異物の検出判定を行い、結果が表示部８に表示される。 これによって被検査物中の異物検出の有無と異物の位置を確認することができる。また、駆動装置１０は、感度校正用の異物試料を保持して、Ｘ線ラインセンサ４上を移動させるもので、その動作は移動手段制御部１１によって制御される。
【００２０】
図２及び図３は、本発明の第一の実施の形態にかかる異物試料移動手段の外観を概略的に示す図である。図２は上から見た図であり、図３は側面図である。図２及び図３において、３はＸ線異物検査装置の搬送ベルトであり、その下部に搬送方向と直角の方向にＸ線ラインセンサ４が配設されている。また、駆動装置１０は異物試料を保持して回動駆動するための電動機であり、移動手段固定枠２８によって、Ｘ線異物検査装置の本体フレ−ム２１に取付けられている。前記移動手段固定枠２８の上部には電動機１０の回転軸と連結された回動軸２６の軸受部２７が設けられている。また、前記回動軸２６には、異物試料２２を一体に備えた異物試料体２３を支持して回動する支持ア−ム２５が取付けられている。さらに、支持ア−ム２５には感度校正用の異物試料２２を一体に備えた異物試料体２３が固定金具２４により取付けられている。通常、異物試料体２３の支持ア−ム２５は搬送装置の側方の位置Ａにて搬送ベルト３の搬送方向と平行した状態で停止している。そこで、感度校正時に駆動装置制御部１１からの制御信号に基づき、駆動装置である電動機１０が駆動される。
【００２１】
このとき、前記支持ア−ム２５は搬送ベルト３側の方向に略１８０度回動して、回動軸２６に対して位置Ａの反対位置Ｂで停止する。また、前記回動の途中において、支持ア−ム２５に取り付けられた異物試料体２３に一体的に備えられた異物試料２２が、Ｘ線ラインセンサ４の上部を移動して通過する。この間、前記異物試料２２の移動によって１回の感度校正がされる。また、前記位置Ｂに停止している支持ア−ム２５は、次回の感度校正時に駆動装置制御部１１からの制御信号に基づき、駆動装置である電動機１０が駆動され、前回校正時とは逆方向に搬送ベルト３の方向に略１８０度回動して、回動軸２６に対して位置Ｂの反対位置Ａで停止する。このように、前記支持ア−ム２５の正転による回動及び逆転による回動によって、２回の感度校正を行うことができる。また、支持ア−ム２５に取付けられた異物試料体２３に備えられる異物試料２２の回動時の移動速度は、その周速が略搬送ベルト３の搬送速度に等しくなるように設定することができる。これによって、異物試料の速度を被検査物の異物検査時での搬送速度に近い速度とすることで、より精度良く感度校正ができる。
【００２２】
次に図４に異物試料体の他の実施例を示す。前記異物試料体２３ｂには、１組のそれぞれ異なる容積を有する二つの異物試料２９ａ及び３０ａが備えられている。感度校正時には、前記異物試料の内小さい容積を有する異物試料２９ａに対しては、異物として検出されなく、大きい容積を有する異物試料３０ａに対しては異物として検出されるように、感度の調整を行うことができる。さらに、図５に異物試料体の更なる他の実施例を示す。前記異物試料体２３ｃは、それぞれ２種類の異なる容積を有する複数の異物試料の組を一体的に備えた異物試料体であり、前記異物試料とはできるだけ密度の異なる低密度の材質のものが適しており、例えば低密度樹脂を採用することができる。また、前記複数の異物試料による組は異物試料体に、支持ア−ム２５の回動軸２６の同心円上に列を形成して配設され、前記異物試料体に固定または埋め込まれている。前記異物試料体２３ｃは、それぞれ２種類の異なる容積を有する複数の異物試料の組を一体的に備えた異物試料体であり、異物試料２９ｂと３０ｂ、２９ｃと３０ｃ及び２９ｄと３０ｄが備えられている。
【００２３】
また、２９ｂ及び３０ｂは例えば、金属の異物試料による組であり、２９ｂはＸ線異物検査装置により異物検出されなくてもよい大きさ（φ０．４ｍｍ）の球により形成され、３０ｂはＸ線異物検査装置により異物検出されるべき大きさ（φ０．５ｍｍ）の球により形成されている。また、２９ｃ及び３０ｃは例えば、石の異物試料による組であり、２９ｃはＸ線異物検査装置により異物検出されなくてもよい大きさ（φ１ｍｍ）の球により形成され、３０ｃはＸ線異物検査装置により異物検出されるべき大きさ（φ２ｍｍ）の球により形成されている。また、２９ｄ及び３０ｄは例えば、ガラスの異物試料による組であり、２９ｄはＸ線異物検査装置により異物検出されなくてもよい大きさ（φ１ｍｍ）の球により形成され、３０ｄはＸ線異物検査装置により異物検出されるべき大きさ（φ２ｍｍ）の球により形成されている。また、異物試料としてその他にも、高密度合成樹脂、高密度ゴム、硬骨、貝殻、卵の殻等の異物試料を備えることができる。
【００２４】
さらに、前記移動手段を用いて、Ｘ線異物検査装置の停止中において、感度校正を行うことができるが、運転中においても搬送装置上を被検査物が搬送され、検出センサ上を通過する合間に、前記駆動装置を制御して前記異物試料体を移動させることで、前記Ｘ線ラインセンサ４上を通過させ、検出感度の校正作業が行える。まず、Ｘ線異物検査装置１の停止中における検出感度の校正作業について図６のフローチャートに基づいて説明する。駆動装置制御部１１の図示しない押し釦スイッチをＯＮすることによってスタート信号が出力され（Ｓ１）、前記スタート信号により例えば電動機のような駆動装置１０がＯＮして、作動する（Ｓ２）。これに伴って、駆動装置の回動軸２６に固定された支持アーム２５が回動して（Ｓ３）、支持アーム２５に備えられた異物試料体２３が異物検出用センサ上を通過して、この間、異物試料体に備えられた異物試料２９，３０に対して異物検査が行われる（Ｓ４）。
【００２５】
さらに前記支持アーム２５が所定の位置まで回動して、停止する（Ｓ５）。また、Ｓ４において異物検査された結果のＸ線画像がモニターに表示され（Ｓ６）、前記Ｘ線画像に基づいて異物試料が適切に検出されているかどうかの確認を行い、これによってＸ線異物検査装置の検出感度の適否を判定する（Ｓ７）。この場合、前記異物試料体２３の透過Ｘ線デ−タに基づく解析画像を見て、前記異物試料体２３に備えられた各異物試料の組について、その異物検出の有無と異物の位置を確認して、複数の異物試料の組毎に、検出されなくてもよい試料と、検出されるべき試料に対して、異物検出が正しく行われているかどうかの判定がされる。続いて、Ｓ７において検出感度が適正であると判定されれば、これによって検出感度の校正を行う必要がなく、作業が完了する（Ｓ９）。また、Ｓ７において検出感度が不適正であると判定されれば、Ｘ線異物検査装置の異物検出基準（しきい値）の変更を行い（Ｓ８）、続いて、前記Ｓ８で行った異物検出基準（しきい値）の変更の結果を確認するため、再度Ｓ１乃至Ｓ７のフローを実行する。このようにして、Ｓ７において検出感度の適正判定がされるまでＳ１乃至Ｓ８のフローが繰り返される。
【００２６】
次に、Ｘ線異物検査装置１の運転中における検出感度の校正作業について、説明する。前記Ｘ線異物検査装置１の異物検出部の近傍に備えられた、図示しない被検査物検出用センサからの検出信号に基づき、図６のフローチャートと同様にＳ１のスタート信号を発生させる。また、前記スタート信号は、運転中の連続して搬送される被検査物の間隙を利用して、前記支持アーム２５及び異物試料体２３が異物検出センサ（Ｘ線ラインセンサー４）上を回動できるように、予めタイミングが設定されている。その後の動作は図６のフローチャートと同様であるが、Ｓ６におけるＸ線画像モニター表示は、画像に基づく判定のために、所定の時間は固定されるようになっている。したがって、この間は連続搬送され、異物検査される被検査物に対するＸ線画像モニター表示はされない。また、Ｘ線異物検査装置の感度調整には、異物検出の異物検出基準値（しきい値）の調整方法等の他、Ｘ線照射用の管球の管電圧や管電流による調整方法がある。
【００２７】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、Ｘ線異物検査装置において、簡単な構成による移動手段を設けて、前記移動手段の駆動装置を制御することで、一組または複数の２種類の異なる容積を有する異物試料の組を一体的に備える異物試料体を移動させることで、異物検出センサ上を通過させ異物検査した結果に基づいて、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことができ、感度校正をより簡便且つ効率的に行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の感度校正装置を適用することができるＸ線異物検査装置の構成図である。
【図２】本発明の感度校正用移動手段及び異物試料体の第一の実施例の外観を概略的に示す平面図である。
【図３】本発明の感度校正用移動手段及び異物試料体の第一の実施例の外観を概略的に示す側面図である。
【図４】本発明の感度校正用移動手段の異物試料体の他の実施例の外観を概略的に示す図である。
【図５】本発明の感度校正用移動手段の異物試料体の更なる他の実施例の外観を概略的に示す図である。
【図６】本発明の感度校正装置を適用することができるＸ線異物検査装置の動作を示すフローチャートである。
【付号の説明】
１ Ｘ線異物検査装置
２ Ｘ線発生部
３ 搬送コンベア
４ Ｘ線ラインセンサ
５ Ｘ線撮像制御部
６ Ｘ線画像処理部
７ 異物検出判定部
８ 表示部
９ 被検査物
１０ 駆動手段
１１ 駆動手段制御部
２１ Ｘ線異物検査装置本体フレ−ム
２２ 異物試料
２３ａ 異物試料体
２４ 異物試料体固定金具
２５ 支持ア−ム
２６ 回動軸
２７ 軸受部
２８ 移動手段固定枠
２９ａ〜２９ｄ 第一の容積を有する異物試料
３０ａ〜３０ｄ 第二の容積を有する異物試料
【発明の属する技術分野】
本発明は、透過Ｘ線の検出によって被検査物に含まれる異物の検出を行うＸ線異物検査装置の感度校正装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、食品や医薬品に含まれる異物（金属、石、ガラス、合成樹脂、骨、ゴム等）の検出に、Ｘ線異物検査装置が用いられている。また、前記Ｘ線異物検査装置は、被検査物にＸ線が照射され、その透過Ｘ線の画像デ−タに基づいて、前記被検査物に含まれる異物の検出を行うものである。また、前記Ｘ線異物検査装置はラインセンサを備えることによって、搬送装置上の被検査物の透過像を検出することができ、前記被検査物に含まれる異物が検出されれば、搬送装置上から排除することを行っている。
【０００３】
従来のＸ線異物検査装置は、例えば搬送装置上の被検査物を透過したＸ線をラインセンサによって撮像し、前記撮像によって得られる画像デ−タに基づいて、しきい値との比較判定処理を行うことで異物検出を行っている。また、被検査物の異物検査に対して、事前に感度校正を行っている。前記感度校正の方法として、異物試料を混入した被検査物を、前記Ｘ線異物検査装置に通してＸ線異物検査装置の感度校正を手動で行う方法がある。また、異物試料を用いた手動の方法として、複数の異物試料を混入させた複数の被検査物を用意して、前記複数の被検査物毎に該被検査物をＸ線異物検査装置に通して、その都度、感度校正を行っている。また、前記Ｘ線異物検査装置では、使用中においてＸ線照射量の変動、その他により、異物検出感度の変動が生じることがある。そこで、使用状態の途中においても、異物試料を混入した被検査物をＸ線異物検査装置に通して、その感度校正を行っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
前述したように、従来のＸ線異物検査装置では、異物試料を用いて感度校正を手動で行う場合に、使用前と使用途中において、異物試料毎に異物試料を被検査物に混入したものをＸ線異物検査装置に通して、その都度、感度校正を行う必要があるので、校正作業に手間がかかるとともに、時間を必要とし、効率的な校正作業が行えないという問題点がある。
【０００５】
そこで、本発明は、このような従来技術の問題点を解決し、異物試料を用いたＸ線異物検査装置の感度校正作業を効率的に行うことができる校正装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
透過Ｘ線によって、被検査物に含まれる異物の検出を行うＸ線異物検査装置において、前記Ｘ線異物検査装置の異物検出部に対して、異物試料を保持して通過させる移動手段を備え、前記異物試料に対してＸ線照射し、その透過Ｘ線像の画像デ−タに基づいて出力される異物検出信号により、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことを特徴とする（請求項１）。
【０００７】
これにより、異物試料を保持して移動する移動手段を用いて、行われる異物検査における異物検出結果に基づいて、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことができ、感度校正を効率的に行うことが可能である。
【０００８】
そして、透過Ｘ線によって、被検査物に含まれる異物の検出を行うＸ線異物検査装置において、前記Ｘ線異物検査装置の異物検出部に対して、第一の容積を有する異物試料及び第二の容積を有する異物試料を一組として、一体的に備えた異物試料体を保持して通過させる前記異物試料の移動手段を備え、前記第一の容積を有する異物試料及び第二の容積を有する異物試料に対してＸ線照射し、その透過Ｘ線像の画像デ−タに基づいて出力されるそれぞれの異物検出信号により、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことを特徴とする（請求項２）。
【０００９】
これによって、さらに２種類の異なる容積を有する一組の異物試料を同時に異物検査し、前記異物試料の異物検出結果に基づいて、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことができ、感度校正をより効率的に行うことが可能である。
【００１０】
そして、透過Ｘ線によって、被検査物に含まれる異物の検出を行うＸ線異物検査装置において、前記Ｘ線異物検査装置の異物検出部に対して、第一の容積を有する異物試料及び第二の容積を有する異物試料を一組として、複数の異物試料による複数の組の異物試料を一体的に備えた異物試料体を保持して通過させる前記異物試料の移動手段を備え、前記複数の組毎に第一の容積を有する異物試料及び第二の容積を有する異物試料に対してＸ線照射し、その透過Ｘ線像の画像デ−タに基づいて出力されるそれぞれの異物検出信号により前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことを特徴とする（請求項３）
【００１１】
これによって、２種類の異なる容積を有する異物試料を一組とした複数の異物試料による複数の組の異物試料を同時に異物検査し、前記複数の異物試料の異物検出結果に基づいて、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことができ、感度校正をより効率的に行うことが可能である。
【００１２】
そして、請求項２または請求項３のいずれかに記載のＸ線異物検査装置の感度校正装置について、前記第一の容積を有する異物試料は異物として検出され、第二の容積を有する異物試料は異物として検出されないように、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことを特徴とする（請求項４）。
【００１３】
これにより、前記異なる容積を有する一組の異物試料の内、一方の異物試料が異物検出されず、他方の異物試料が異物検出されるように前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことができ、感度校正をより簡便で且つ正確に行うことが可能である。
【００１４】
さらに、請求項１乃至４のいずれかに記載のＸ線異物検査装置の感度校正装置について、前記異物試料の移動手段は、駆動装置と、該駆動装置に連結される回動軸と、該回動軸に設けられる支持ア−ムとを備え、前記支持ア−ムは、異物検出用センサ上を回動するようにしたことを特徴とする（請求項５）。
【００１５】
これにより、簡単な構造の移動手段を用いて異物試料をそれぞれ保持すると共に前記Ｘ線異物検査装置の検出部を通過させることができ、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を効率的に行うことが可能である。
【００１６】
また、請求項５に記載のＸ線異物検査装置の感度校正装置について、前記異物試料の移動手段の制御手段をさらに備え、前記移動手段に設けられる支持ア−ムの回動の正転時及び逆転時のそれぞれにおいて感度校正がされることを特徴とする（請求項６）。
【００１７】
これにより、移動手段の制御手段をさらに備えることで、前記移動手段に設けられる支持ア−ムの回動の正転時及び逆転時のそれぞれにおいて感度校正ができるので、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を効率的に行うことが可能である。
【００１８】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面に基づいて、本発明の実施の形態について本発明をより詳細に説明する。
【００１９】
図１は、本発明の感度校正用異物試料の移動手段を用いた感度校正装置を適用することができるＸ線異物検査装置１の構成図を示す。Ｘ線異物検査装置はＸ線発生部２とＸ線ラインセンサ４とを搬送コンベア３を挟んで対向して配置し、Ｘ線ラインセンサ４は、Ｘ線撮像制御部５により被検査物９の撮像を行い、Ｘ線画像処理部６は前記撮像した透過Ｘ線を画像処理して、透過Ｘ線の画像デ−タを生成する。また、画像デ−タは異物検出判定部７に入力され、被検査物に含まれる異物の検出判定を行い、結果が表示部８に表示される。 これによって被検査物中の異物検出の有無と異物の位置を確認することができる。また、駆動装置１０は、感度校正用の異物試料を保持して、Ｘ線ラインセンサ４上を移動させるもので、その動作は移動手段制御部１１によって制御される。
【００２０】
図２及び図３は、本発明の第一の実施の形態にかかる異物試料移動手段の外観を概略的に示す図である。図２は上から見た図であり、図３は側面図である。図２及び図３において、３はＸ線異物検査装置の搬送ベルトであり、その下部に搬送方向と直角の方向にＸ線ラインセンサ４が配設されている。また、駆動装置１０は異物試料を保持して回動駆動するための電動機であり、移動手段固定枠２８によって、Ｘ線異物検査装置の本体フレ−ム２１に取付けられている。前記移動手段固定枠２８の上部には電動機１０の回転軸と連結された回動軸２６の軸受部２７が設けられている。また、前記回動軸２６には、異物試料２２を一体に備えた異物試料体２３を支持して回動する支持ア−ム２５が取付けられている。さらに、支持ア−ム２５には感度校正用の異物試料２２を一体に備えた異物試料体２３が固定金具２４により取付けられている。通常、異物試料体２３の支持ア−ム２５は搬送装置の側方の位置Ａにて搬送ベルト３の搬送方向と平行した状態で停止している。そこで、感度校正時に駆動装置制御部１１からの制御信号に基づき、駆動装置である電動機１０が駆動される。
【００２１】
このとき、前記支持ア−ム２５は搬送ベルト３側の方向に略１８０度回動して、回動軸２６に対して位置Ａの反対位置Ｂで停止する。また、前記回動の途中において、支持ア−ム２５に取り付けられた異物試料体２３に一体的に備えられた異物試料２２が、Ｘ線ラインセンサ４の上部を移動して通過する。この間、前記異物試料２２の移動によって１回の感度校正がされる。また、前記位置Ｂに停止している支持ア−ム２５は、次回の感度校正時に駆動装置制御部１１からの制御信号に基づき、駆動装置である電動機１０が駆動され、前回校正時とは逆方向に搬送ベルト３の方向に略１８０度回動して、回動軸２６に対して位置Ｂの反対位置Ａで停止する。このように、前記支持ア−ム２５の正転による回動及び逆転による回動によって、２回の感度校正を行うことができる。また、支持ア−ム２５に取付けられた異物試料体２３に備えられる異物試料２２の回動時の移動速度は、その周速が略搬送ベルト３の搬送速度に等しくなるように設定することができる。これによって、異物試料の速度を被検査物の異物検査時での搬送速度に近い速度とすることで、より精度良く感度校正ができる。
【００２２】
次に図４に異物試料体の他の実施例を示す。前記異物試料体２３ｂには、１組のそれぞれ異なる容積を有する二つの異物試料２９ａ及び３０ａが備えられている。感度校正時には、前記異物試料の内小さい容積を有する異物試料２９ａに対しては、異物として検出されなく、大きい容積を有する異物試料３０ａに対しては異物として検出されるように、感度の調整を行うことができる。さらに、図５に異物試料体の更なる他の実施例を示す。前記異物試料体２３ｃは、それぞれ２種類の異なる容積を有する複数の異物試料の組を一体的に備えた異物試料体であり、前記異物試料とはできるだけ密度の異なる低密度の材質のものが適しており、例えば低密度樹脂を採用することができる。また、前記複数の異物試料による組は異物試料体に、支持ア−ム２５の回動軸２６の同心円上に列を形成して配設され、前記異物試料体に固定または埋め込まれている。前記異物試料体２３ｃは、それぞれ２種類の異なる容積を有する複数の異物試料の組を一体的に備えた異物試料体であり、異物試料２９ｂと３０ｂ、２９ｃと３０ｃ及び２９ｄと３０ｄが備えられている。
【００２３】
また、２９ｂ及び３０ｂは例えば、金属の異物試料による組であり、２９ｂはＸ線異物検査装置により異物検出されなくてもよい大きさ（φ０．４ｍｍ）の球により形成され、３０ｂはＸ線異物検査装置により異物検出されるべき大きさ（φ０．５ｍｍ）の球により形成されている。また、２９ｃ及び３０ｃは例えば、石の異物試料による組であり、２９ｃはＸ線異物検査装置により異物検出されなくてもよい大きさ（φ１ｍｍ）の球により形成され、３０ｃはＸ線異物検査装置により異物検出されるべき大きさ（φ２ｍｍ）の球により形成されている。また、２９ｄ及び３０ｄは例えば、ガラスの異物試料による組であり、２９ｄはＸ線異物検査装置により異物検出されなくてもよい大きさ（φ１ｍｍ）の球により形成され、３０ｄはＸ線異物検査装置により異物検出されるべき大きさ（φ２ｍｍ）の球により形成されている。また、異物試料としてその他にも、高密度合成樹脂、高密度ゴム、硬骨、貝殻、卵の殻等の異物試料を備えることができる。
【００２４】
さらに、前記移動手段を用いて、Ｘ線異物検査装置の停止中において、感度校正を行うことができるが、運転中においても搬送装置上を被検査物が搬送され、検出センサ上を通過する合間に、前記駆動装置を制御して前記異物試料体を移動させることで、前記Ｘ線ラインセンサ４上を通過させ、検出感度の校正作業が行える。まず、Ｘ線異物検査装置１の停止中における検出感度の校正作業について図６のフローチャートに基づいて説明する。駆動装置制御部１１の図示しない押し釦スイッチをＯＮすることによってスタート信号が出力され（Ｓ１）、前記スタート信号により例えば電動機のような駆動装置１０がＯＮして、作動する（Ｓ２）。これに伴って、駆動装置の回動軸２６に固定された支持アーム２５が回動して（Ｓ３）、支持アーム２５に備えられた異物試料体２３が異物検出用センサ上を通過して、この間、異物試料体に備えられた異物試料２９，３０に対して異物検査が行われる（Ｓ４）。
【００２５】
さらに前記支持アーム２５が所定の位置まで回動して、停止する（Ｓ５）。また、Ｓ４において異物検査された結果のＸ線画像がモニターに表示され（Ｓ６）、前記Ｘ線画像に基づいて異物試料が適切に検出されているかどうかの確認を行い、これによってＸ線異物検査装置の検出感度の適否を判定する（Ｓ７）。この場合、前記異物試料体２３の透過Ｘ線デ−タに基づく解析画像を見て、前記異物試料体２３に備えられた各異物試料の組について、その異物検出の有無と異物の位置を確認して、複数の異物試料の組毎に、検出されなくてもよい試料と、検出されるべき試料に対して、異物検出が正しく行われているかどうかの判定がされる。続いて、Ｓ７において検出感度が適正であると判定されれば、これによって検出感度の校正を行う必要がなく、作業が完了する（Ｓ９）。また、Ｓ７において検出感度が不適正であると判定されれば、Ｘ線異物検査装置の異物検出基準（しきい値）の変更を行い（Ｓ８）、続いて、前記Ｓ８で行った異物検出基準（しきい値）の変更の結果を確認するため、再度Ｓ１乃至Ｓ７のフローを実行する。このようにして、Ｓ７において検出感度の適正判定がされるまでＳ１乃至Ｓ８のフローが繰り返される。
【００２６】
次に、Ｘ線異物検査装置１の運転中における検出感度の校正作業について、説明する。前記Ｘ線異物検査装置１の異物検出部の近傍に備えられた、図示しない被検査物検出用センサからの検出信号に基づき、図６のフローチャートと同様にＳ１のスタート信号を発生させる。また、前記スタート信号は、運転中の連続して搬送される被検査物の間隙を利用して、前記支持アーム２５及び異物試料体２３が異物検出センサ（Ｘ線ラインセンサー４）上を回動できるように、予めタイミングが設定されている。その後の動作は図６のフローチャートと同様であるが、Ｓ６におけるＸ線画像モニター表示は、画像に基づく判定のために、所定の時間は固定されるようになっている。したがって、この間は連続搬送され、異物検査される被検査物に対するＸ線画像モニター表示はされない。また、Ｘ線異物検査装置の感度調整には、異物検出の異物検出基準値（しきい値）の調整方法等の他、Ｘ線照射用の管球の管電圧や管電流による調整方法がある。
【００２７】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、Ｘ線異物検査装置において、簡単な構成による移動手段を設けて、前記移動手段の駆動装置を制御することで、一組または複数の２種類の異なる容積を有する異物試料の組を一体的に備える異物試料体を移動させることで、異物検出センサ上を通過させ異物検査した結果に基づいて、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことができ、感度校正をより簡便且つ効率的に行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の感度校正装置を適用することができるＸ線異物検査装置の構成図である。
【図２】本発明の感度校正用移動手段及び異物試料体の第一の実施例の外観を概略的に示す平面図である。
【図３】本発明の感度校正用移動手段及び異物試料体の第一の実施例の外観を概略的に示す側面図である。
【図４】本発明の感度校正用移動手段の異物試料体の他の実施例の外観を概略的に示す図である。
【図５】本発明の感度校正用移動手段の異物試料体の更なる他の実施例の外観を概略的に示す図である。
【図６】本発明の感度校正装置を適用することができるＸ線異物検査装置の動作を示すフローチャートである。
【付号の説明】
１ Ｘ線異物検査装置
２ Ｘ線発生部
３ 搬送コンベア
４ Ｘ線ラインセンサ
５ Ｘ線撮像制御部
６ Ｘ線画像処理部
７ 異物検出判定部
８ 表示部
９ 被検査物
１０ 駆動手段
１１ 駆動手段制御部
２１ Ｘ線異物検査装置本体フレ−ム
２２ 異物試料
２３ａ 異物試料体
２４ 異物試料体固定金具
２５ 支持ア−ム
２６ 回動軸
２７ 軸受部
２８ 移動手段固定枠
２９ａ〜２９ｄ 第一の容積を有する異物試料
３０ａ〜３０ｄ 第二の容積を有する異物試料
Claims (6)
- 透過Ｘ線によって、被検査物に含まれる異物の検出を行うＸ線異物検査装置において、前記Ｘ線異物検査装置の異物検出部に対して、異物試料を保持して通過させる移動手段を備え、前記異物試料に対してＸ線照射し、その透過Ｘ線像の画像デ−タに基づいて出力される異物検出信号により、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことを特徴とするＸ線異物検査装置の感度校正装置。
- 透過Ｘ線によって、被検査物に含まれる異物の検出を行うＸ線異物検査装置において、前記Ｘ線異物検査装置の異物検出部に対して、第一の容積を有する異物試料及び第二の容積を有する異物試料を一組として、一体的に備えた異物試料体を保持して通過させる前記異物試料の移動手段を備え、前記第一の容積を有する異物試料及び第二の容積を有する異物試料に対してＸ線照射し、その透過Ｘ線像の画像デ−タに基づいて出力されるそれぞれの異物検出信号により、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことを特徴とするＸ線異物検査装置の感度校正装置。
- 透過Ｘ線によって、被検査物に含まれる異物の検出を行うＸ線異物検査装置において、前記Ｘ線異物検査装置の異物検出部に対して、第一の容積を有する異物試料及び第二の容積を有する異物試料を一組として、複数の異物試料による複数の組の異物試料を一体的に備えた異物試料体を保持して通過させる前記異物試料の移動手段を備え、前記複数の組毎に第一の容積を有する異物試料及び第二の容積を有する異物試料に対してＸ線照射し、その透過Ｘ線像の画像デ−タに基づいて出力されるそれぞれの異物検出信号により前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことを特徴とするＸ線異物検査装置の感度校正装置。
- 前記第一の容積を有する異物試料は異物として検出され、第二の容積を有する異物試料は異物として検出されないように、前記Ｘ線異物検査装置の感度校正を行うことを特徴とする請求項２または請求項３のいずれかに記載のＸ線異物検査装置の感度校正方法。
- 前記異物試料の移動手段は、駆動装置と、該駆動装置に連結される回動軸と、該回動軸に設けられる支持ア−ムとを備え、前記支持ア−ムは、異物検出用センサ上を回動するようにしたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のＸ線異物検査装置の感度校正装置。
- 前記異物試料の移動手段の制御手段をさらに備え、前記移動手段に設けられる支持ア−ムの回動の正転時及び逆転時のそれぞれにおいて感度校正がされることを特徴とする請求項５に記載のＸ線異物検査装置の感度校正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002293146A JP4033750B2 (ja) | 2002-10-07 | 2002-10-07 | Ｘ線異物検査装置の感度校正方法及び感度校正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002293146A JP4033750B2 (ja) | 2002-10-07 | 2002-10-07 | Ｘ線異物検査装置の感度校正方法及び感度校正装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004125715A true JP2004125715A (ja) | 2004-04-22 |
| JP4033750B2 JP4033750B2 (ja) | 2008-01-16 |
Family
ID=32284138
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002293146A Expired - Lifetime JP4033750B2 (ja) | 2002-10-07 | 2002-10-07 | Ｘ線異物検査装置の感度校正方法及び感度校正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4033750B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006001465A1 (ja) * | 2004-06-24 | 2006-01-05 | Anritsu Industrial Solutions Co., Ltd. | Ｘ線異物検出装置 |
| JP2006322750A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-11-30 | Anritsu Sanki System Co Ltd | 物品検査装置，重量検査装置及び異物検査装置 |
| KR100792068B1 (ko) * | 2004-06-24 | 2008-01-04 | 안리츠 산키 시스템 가부시키가이샤 | Ｘ선 이물질 검출 장치 |
| JP2008224346A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Ishida Co Ltd | Ｘ線検査装置および生産システム |
| JP2013238525A (ja) * | 2012-05-16 | 2013-11-28 | Nuclear Fuel Ind Ltd | Ｘ線検査の校正方法、ｘ線検査方法、ｘ線検査装置、および基準ワーク |
| JP2015152343A (ja) * | 2014-02-12 | 2015-08-24 | 三菱電機株式会社 | 樹脂の判定方法および選別装置 |
| CN110954562A (zh) * | 2019-11-25 | 2020-04-03 | 上海微现检测设备有限公司 | 一种x射线异物检测方法及其系统 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5628742A (en) * | 1979-08-20 | 1981-03-20 | Tokyo Shibaura Electric Co | Measuring instrument for xxray device for diagnosis |
| JPS60175206U (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-20 | 株式会社島津製作所 | Ｃｔ装置用較正フアントム |
| JPS60242349A (ja) * | 1984-05-17 | 1985-12-02 | Toshiba Corp | 産業用ｃｔスキヤナ |
| JPS6177004U (ja) * | 1984-10-23 | 1986-05-23 | ||
| JPS62225935A (ja) * | 1986-03-27 | 1987-10-03 | Toshiba Corp | 放射線検査装置 |
| JPH0743320A (ja) * | 1993-03-15 | 1995-02-14 | Hitachi Ltd | Ｘ線検査方法およびその装置並びにプレプレグの検査方法および多層配線基板の製造方法 |
| JPH10206350A (ja) * | 1997-01-24 | 1998-08-07 | Shimadzu Corp | Ｘ線検査装置 |
| JP2002243668A (ja) * | 2001-02-19 | 2002-08-28 | Anritsu Corp | Ｘ線異物検出装置 |
-
2002
- 2002-10-07 JP JP2002293146A patent/JP4033750B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5628742A (en) * | 1979-08-20 | 1981-03-20 | Tokyo Shibaura Electric Co | Measuring instrument for xxray device for diagnosis |
| JPS60175206U (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-20 | 株式会社島津製作所 | Ｃｔ装置用較正フアントム |
| JPS60242349A (ja) * | 1984-05-17 | 1985-12-02 | Toshiba Corp | 産業用ｃｔスキヤナ |
| JPS6177004U (ja) * | 1984-10-23 | 1986-05-23 | ||
| JPS62225935A (ja) * | 1986-03-27 | 1987-10-03 | Toshiba Corp | 放射線検査装置 |
| JPH0743320A (ja) * | 1993-03-15 | 1995-02-14 | Hitachi Ltd | Ｘ線検査方法およびその装置並びにプレプレグの検査方法および多層配線基板の製造方法 |
| JPH10206350A (ja) * | 1997-01-24 | 1998-08-07 | Shimadzu Corp | Ｘ線検査装置 |
| JP2002243668A (ja) * | 2001-02-19 | 2002-08-28 | Anritsu Corp | Ｘ線異物検出装置 |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006001465A1 (ja) * | 2004-06-24 | 2006-01-05 | Anritsu Industrial Solutions Co., Ltd. | Ｘ線異物検出装置 |
| EP1760458A1 (en) * | 2004-06-24 | 2007-03-07 | Anritsu Industrial Solutions Co.,Ltd. | X-ray detection device for foreign matter |
| KR100792068B1 (ko) * | 2004-06-24 | 2008-01-04 | 안리츠 산키 시스템 가부시키가이샤 | Ｘ선 이물질 검출 장치 |
| JPWO2006001465A1 (ja) * | 2004-06-24 | 2008-04-17 | アンリツ産機システム株式会社 | Ｘ線異物検出装置 |
| US7561663B2 (en) | 2004-06-24 | 2009-07-14 | Anritsu Industrial Solutions Co., Ltd. | X-ray detection device for foreign matter |
| JP4588707B2 (ja) * | 2004-06-24 | 2010-12-01 | アンリツ産機システム株式会社 | Ｘ線異物検出装置 |
| EP1760458A4 (en) * | 2004-06-24 | 2013-11-13 | Anritsu Ind Solutions Co Ltd | X-RAY DETECTION DEVICE FOR FOREIGN MATERIALS |
| JP2006322750A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-11-30 | Anritsu Sanki System Co Ltd | 物品検査装置，重量検査装置及び異物検査装置 |
| JP2008224346A (ja) * | 2007-03-12 | 2008-09-25 | Ishida Co Ltd | Ｘ線検査装置および生産システム |
| JP2013238525A (ja) * | 2012-05-16 | 2013-11-28 | Nuclear Fuel Ind Ltd | Ｘ線検査の校正方法、ｘ線検査方法、ｘ線検査装置、および基準ワーク |
| JP2015152343A (ja) * | 2014-02-12 | 2015-08-24 | 三菱電機株式会社 | 樹脂の判定方法および選別装置 |
| CN110954562A (zh) * | 2019-11-25 | 2020-04-03 | 上海微现检测设备有限公司 | 一种x射线异物检测方法及其系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4033750B2 (ja) | 2008-01-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6266574B2 (ja) | Ｘ線検査方法及びｘ線検査装置 | |
| JP4730526B2 (ja) | 封入物検査装置 | |
| KR20090034920A (ko) | Ｘ선 검사 장치, 및 ｘ선 검사 프로그램 | |
| JP2000329710A (ja) | 放射線断層撮影装置、及び、これを用いた物体検査装置 | |
| JP4033750B2 (ja) | Ｘ線異物検査装置の感度校正方法及び感度校正装置 | |
| JP2002168802A (ja) | Ｘ線異物検出装置 | |
| US20210181126A1 (en) | Control apparatus, system, method, and program | |
| JP2003232752A (ja) | Ｘ線異物検査装置の感度校正方法及び感度校正用異物試料体 | |
| JP2007139785A (ja) | 投影データを読み取るためのｃｔ方法 | |
| JP4926645B2 (ja) | 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム | |
| JP2010230559A (ja) | Ｘ線検査装置 | |
| JP2002131247A (ja) | Ｘ線異物検出装置 | |
| JP2004239753A (ja) | Ｘ線異物検査装置 | |
| JP2007212366A (ja) | 被検部厚の検査方法及び装置 | |
| JP2005049131A (ja) | Ｌｅｄチップの光学特性測定装置及びｌｅｄチップの光学特性測定方法 | |
| JP2004177299A (ja) | Ｘ線異物検査装置 | |
| JP5729667B2 (ja) | Ｘ線検査装置およびｘ線検査装置用コンピュータプログラム | |
| JP4926734B2 (ja) | 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム | |
| JP2000111501A (ja) | 透視検査装置 | |
| JP2004212200A (ja) | Ｘ線検査装置、及び該ｘ線検査装置の使用方法 | |
| JP5097382B2 (ja) | 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム | |
| JP2010230572A (ja) | 欠陥検査装置および方法 | |
| JP4071894B2 (ja) | 円筒形状試料用のｘ線元素マッピング装置 | |
| JP2005300492A (ja) | 光軸調整機能を有するｘ線分析方法および装置 | |
| JP2004177298A (ja) | Ｘ線異物検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051003 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070417 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070424 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070612 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071016 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071023 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101102 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4033750 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131102 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |