JP2005049131A - Ｌｅｄチップの光学特性測定装置及びｌｅｄチップの光学特性測定方法 - Google Patents
Ｌｅｄチップの光学特性測定装置及びｌｅｄチップの光学特性測定方法 Download PDFInfo
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Abstract
【目的】上面に電極、下面に発光面を有するＬＥＤチップの光学特性を迅速に測定することができ、且つ小型化することが可能なＬＥＤチップの光学特性測定装置及びＬＥＤチップの光学特性測定方法を提供することにある。
【構成】光学特性測定装置ＡはＬＥＤチップ１０が粘着テープ１００と共に載置される透明プレート２００と、ＬＥＤチップ１０の電極１１、１１に接触し、これにより当該ＬＥＤチップ１０に電流及び電圧を与えるプローブ針３００、３００と、ＬＥＤチップ１０の光αを粘着テープ１００及び透明プレート２００を介して受光し検出する第１の光学測定手段４００と、第１の光学測定手段４００の検出結果に基づきＬＥＤチップ１０の光αの光学特性を求めて測定する演算手段７００とを具備する。
【選択図】 図１
【構成】光学特性測定装置ＡはＬＥＤチップ１０が粘着テープ１００と共に載置される透明プレート２００と、ＬＥＤチップ１０の電極１１、１１に接触し、これにより当該ＬＥＤチップ１０に電流及び電圧を与えるプローブ針３００、３００と、ＬＥＤチップ１０の光αを粘着テープ１００及び透明プレート２００を介して受光し検出する第１の光学測定手段４００と、第１の光学測定手段４００の検出結果に基づきＬＥＤチップ１０の光αの光学特性を求めて測定する演算手段７００とを具備する。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、上面に電極が、下面に発光面が設けられたＬＥＤチップの光学特性を測定するＬＥＤチップの光学特性測定装置及びＬＥＤチップの光学特性測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の光学特性測定装置としては、上面に発光面が、上下面に電極が設けられたＬＥＤチップの光学特性を測定する測定装置（ 以下、第１の測定装置とする。） 、上面に電極及び発光面が設けられたＬＥＤチップの光学特性を測定する測定装置（ 以下、第２の測定装置とする。） 等がある。
【０００３】
第１の測定装置は、ハーフカット状にダイジングされたウエハ（ 即ち、複数のＬＥＤチップ） が載置される又はダイジングされたＬＥＤチップが１個ずつ載置される導電性を有する電極プレートと、この電極プレート及びＬＥＤチップの電極に接触し、これにより当該ＬＥＤチップに電流及び電圧を与えるプローブ針と、ＬＥＤチップの光を受光し、これにより当該ＬＥＤチップの光学特性を測定する光学検出手段とを具備する構成となっている（ 特許文献１参照） 。
【０００４】
第２の測定装置は、ハーフカット状にダイジングされたウエハ（ 即ち、複数のＬＥＤチップ） が載置される又はダイジングされたＬＥＤチップが１個ずつ載置されるプレートと、ＬＥＤチップの電極に接触し、これにより当該ＬＥＤチップに電流及び電圧を与えるプローブ針と、ＬＥＤチップの光を受光し、これにより当該ＬＥＤチップの光学特性を測定する光学検出手段とを具備する構成となっている。
【０００５】
ところで、近年のＬＥＤチップには、上面に電極が、下面に発光面が設けられたものがある。このＬＥＤチップの光学特性を測定しようとする場合、前記第１の測定装置の電極プレートの代わりに透明プレートを用い、この透明プレート上にＬＥＤチップを発光面が下に向いた状態で１個ずつ載置し、上方からプローブ針をＬＥＤチップの電極に接触させる一方、このＬＥＤチップの光をプレートの下側で受光することにより当該ＬＥＤチップの光学特性を測定していた。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１１−１２５５７９号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例による場合、ＬＥＤチップを１個ずつプレート上に載置しなければならないことから、ＬＥＤチップの光学特性の測定スピードが遅くなるという問題があった。また、ＬＥＤチップを１個ずつプレート上に載置する構成が必要不可欠となることから、構成が複雑になり、装置が大型化するという別の問題もあった。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みて創案されたものであって、その目的とするところは、上面に電極が、下面に発光面が設けられたＬＥＤチップの光学特性を測定するにあたり、上記問題を解決し得る新規なＬＥＤチップの光学特性測定装置及びＬＥＤチップの光学特性測定方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明のＬＥＤチップの光学特性測定装置は、複数のＬＥＤチップを半透明の粘着テープ上に並べた状態で当該ＬＥＤチップの光学特性を測定する測定装置であって、ＬＥＤチップが前記粘着テープと共に載置される透明プレートと、ＬＥＤチップの上面に設けられた電極に接触し、これにより当該ＬＥＤチップに電流及び電圧を与えるプローブ針と、ＬＥＤチップの下面に設けられた発光面から発せられた光を前記粘着テープ及び透明プレートを介して受光し検出する第１の光学検出手段と、第１の光学検出手段の検出結果に基づきＬＥＤチップの光の光学特性を求めて測定する演算手段とを具備することを特徴としている。
【００１０】
このＬＥＤチップの光学特性測定装置において、前記透明プレートに向けてＬＥＤチップの光の基準となるべき基準光を照射する光照射手段と、この基準光を前記粘着テープ及び透明プレートのＬＥＤチップが載置されていない箇所を介して受光し検出する第２の光学検出手段とを備えており、前記演算手段は、基準光の光学特性の基準値が記憶されたメモリを有しており、第２の光学検出手段の検出結果に基づき基準光の光学特性を求めて測定し、これにより得られた基準光の光学特性の測定値と前記基準値との差を算出し、この算出結果に基いてＬＥＤチップの光学特性の測定値を補正するようになっている。
【００１１】
また、前記ＬＥＤチップの光学特性測定装置は、前記光照射手段は前記透明プレートに向けて基準光を順次照射する一方、前記第２の光学検出手段は前記基準光を前記粘着テープ及び透明プレートのＬＥＤチップが載置されていない複数の箇所を介して順次受光し検出するようになっており、前記演算手段は、第２の光学検出手段の検出結果に基づき基準光の光学特性を順次求めて測定し、これにより得られた複数の基準光の光学特性の測定値の平均値を算出し、この平均値と前記基準値との差を算出し、この算出結果に基いてＬＥＤチップの光学特性の測定値を補正するように構成することもできる。
【００１２】
一方、本発明のＬＥＤチップの光学測定方法は、複数のＬＥＤチップを半透明の粘着テープ上に並べた状態で当該ＬＥＤチップの光学特性を測定する測定方法であって、透明プレートの上にＬＥＤチップを粘着テープと共に載置し、この状態で、ＬＥＤチップの上面に設けられた電極にプローブ針を接触させ、これにより当該ＬＥＤチップに電流及び電圧を与える一方、ＬＥＤチップの下面に設けられた発光面から発せられた光を第１の光学検出手段に前記粘着テープ及び透明プレートを介して受光させ、これにより当該ＬＥＤチップの光学特性を測定するようにしたことを特徴としている。
【００１３】
このＬＥＤチップの光学測定方法において、ＬＥＤチップの光の基準となるべき基準光の光学特性の基準値を記憶しておき、前記透明プレートに向けて光照射手段に基準光を照射させ、この基準光を第２の光学検出手段に前記粘着テープ及び透明プレートのＬＥＤチップが載置されていない箇所を介して受光させ、これにより当該基準光の光学特性を測定し、この測定値と基準光の光学特性の基準値との差を算出し、この算出結果に基いてＬＥＤチップの光学特性の測定値を補正するようにする。
【００１４】
また、前記ＬＥＤチップの光学測定方法は、前記透明プレートに向けて前記光照射手段に基準光を順次照射させ、第２の光学検出手段に前記基準光を前記粘着テープ及び透明プレートのＬＥＤチップが載置されていない複数の箇所を介して順次受光させ、これにより当該基準光の光学特性を順次測定し、この複数の測定値の平均値を算出し、この平均値と基準光の光学特性の光学特性の基準値との差を算出し、この算出結果に基いてＬＥＤチップの光学特性の測定値を補正するようにしても良い。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係るＬＥＤチップの光学特性測定装置を図面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施の形態に係るＬＥＤチップの光学特性測定装置の模式図である。
【００１６】
図１に示すＬＥＤチップの光学特性測定装置Ａは、上面に電極１１、１１が、下面に発光面１２が設けられたいわゆるフリップチップタイプのＬＥＤチップ１０を複数個半透明の粘着テープ１００上に並べた状態で当該ＬＥＤチップ１０の光学特性を測定する装置である。
【００１７】
この光学特性測定装置Ａは、ＬＥＤチップ１０が粘着テープ１００と共に載置される透明プレート２００と、この透明プレート２００の上側に対向配置されており且つＬＥＤチップ１０の電極１１、１１に各々接触可能なプローブ針３００、３００と、透明プレート２００の下側に配置されており且つＬＥＤチップ１０の発光面１２から発せられた光αを受光する第１の光学検出手段４００と、透明プレート２００の上側に配置されており且つ基準光βを照射する配置された光照射手段５００と、透明プレート２００の下側に配置されており且つ基準光βを受光する第２の光学検出手段６００と、第１の光学検出手段４００及び第２の光学検出手段６００から信号が各々入力される演算手段７００とを具備する。以下、各部を詳しく説明する。
【００１８】
粘着テープ１００は、ポリエステルや伸縮性のあるポリ塩化ビニルやポリエチレン等のフィルムに、紫外線によって硬化する粘着剤を塗布した一般的なダイジング用テープである。この粘着テープ１００にはハーフカット状にダイジングされたウエハ（ 図示しない） が載置される。この状態で粘着テープ１００をエキスパンドすると、前記ウエハがダイジングされて複数のＬＥＤチップ１０となる。ただ、このように粘着テープ１００をエキスパンドすると、当該粘着テープ１００が不均一になる。その結果、粘着テープ１００を透過する各ＬＥＤチップ１０の光αの光学特性が不均一になる問題が生じる。
【００１９】
透明プレート２００は透明の強化ガラスである。この透明プレート２００については均一性の良い素材、例えば石英ガラス又はサファイアガラスを使用する。これにより透明プレート２００を透過する各ＬＥＤチップ１０の光αの光学特性が不均一になるのを防止する。
【００２０】
透明プレート２００は図示しない第１の駆動手段に取り付けられている。この第１の駆動手段を駆動させることにより透明プレート２００を水平方向に移動させることができる。なお、前記第１の駆動手段は透明プレート２００を図１の検査位置から退避位置にかけて移動させる役割も果たしている。
【００２１】
プローブ針３００、３００はタングステン等を引き延ばして製作された細線状の針である。このプローブ針３００、３００の後端部は図外の電源に電気的に接続されている。また、プローブ針３００、３００は当該プローブ針３００、３００を上下方向に移動させる第２の駆動手段（ 図示せず） に取り付けられている。この第２の駆動手段を駆動させることにより、当該プローブ針３００、３００の先端部がＬＥＤチップ１０の電極１１、１１と接触し、ＬＥＤチップ１０に電流及び電圧を与えるようになっている。
【００２２】
第１の光学検出手段４００は受光部４１０を有する光学検出器である。第１の光学検出手段４００は受光部４１０がＬＥＤチップ１０の発光面１２と対向するように配置されている。第１の光学検出手段４００は、透明プレート２００を水平方向に移動させ、プローブ針３００、３００をＬＥＤチップ１０に順次接触させることにより発光するＬＥＤチップ１０の光αを受光部４１０で順次受光し検出するようになっている。
【００２３】
光照射手段５００は、ＬＥＤチップ１０から発光される光αの基準となるべき基準光βを照射するＬＥＤチップ５１０を有する発光装置である。従って、ＬＥＤチップ５１０としてはＬＥＤチップ１０と同じものを使用する。この光照射手段５００は、前記第１の駆動手段を駆動させ、透明プレート２００を退避位置に設置した状態で、基準光βを照射する一方、前記第１の駆動手段を駆動させ、透明プレート２００を検査位置に設置した状態で、粘着テープ１００及び透明プレート２００のＬＥＤチップ１０が載置されていない複数の箇所に向けて基準光βを順次照射するようになっている。
【００２４】
第２の光学検出手段６００は、第１の光学検出手段４００と同じ光学検出器である。従って、基準光βを受光するための受光部６１０を有する。また、第２の光学検出手段６００は受光部６１０が光照射手段５００のＬＥＤチップ５１０と対向するように配置されている。この第２の光学検出手段６００は粘着テープ１００及び透明プレート２００を介さずに基準光βを受光し検出する一方、粘着テープ１００及び透明プレート２００のＬＥＤチップ１０が載置されていない複数の箇所を介して基準光βを順次受光し検出するようになっている。
【００２５】
演算手段７００は、ここではマイコンが用いられており、その入力ポートには第１の光学検出手段４００及び第２の光学検出手段６００が接続されている。この演算手段７００にはメモリ７１０が内蔵されている。
【００２６】
演算手段７００は、第２の光学検出手段６００から入力された信号に基いて粘着テープ１００及び透明プレート２００を介さずに検出された基準光βの光学特性を求めて測定し、これにより得られた基準光βの光学特性の測定値を基準値としてメモリ７１０に記憶するようになっている。また、演算手段７００は、第１の光学検出手段４００から入力された信号に基いてＬＥＤチップ１００の光学特性を求めて測定する一方、第２の光学検出手段６００から入力された信号に基いて粘着テープ１００及び透明プレート２００のＬＥＤチップ１０が載置されていない複数の箇所を介して検出された基準光βの光学特性を順次求めて測定するようになっている。
【００２７】
この演算手段７００は、第２の光学検出手段６００の信号に基いて順次測定した複数の基準光βの光学特性の測定値の平均値を算出し、この平均値と前記基準値との差を算出し、この算出結果に基いて各ＬＥＤチップ１００の光学特性の測定値を順次補正する機能を有している。
【００２８】
以下、このように構成された光学特性測定装置Ａを使用してＬＥＤチップ１０の光学特性を測定する測定方法を説明すると共に、演算手段７００の動作について詳しく説明する。
【００２９】
まず、透明プレート２００が検査位置に設置されていない状態で光照射手段５００に基準光βを照射させる一方、この基準光βを第２の光学検出手段６００に受光させる。
【００３０】
第２の光学検出手段６００から信号が入力されると、演算手段７００は前記信号に基いて基準光βの光学特性を求めて測定し、この測定結果を基準光βの光学特性の基準値としてメモリ７１０に記憶する。
【００３１】
その後、退避位置で透明プレート２００の上にＬＥＤチップ１０を粘着テープ１００と共に載置する。そして、前記第１の駆動手段を駆動させ、透明プレート２００を検査位置に設置する。その後、前記第１の駆動手段を駆動させ、粘着テープ１００及び透明プレート２００に向けて光照射手段５００に基準光βを順次照射させる一方、この基準光βを第２の光学検出手段６００に粘着テープ１００及び透明プレート２００のＬＥＤチップ１０が載置されていない複数の箇所を介して順次受光させる。
【００３２】
第２の光学検出手段６００から信号が順次入力されると、演算手段７００は前記信号に基いて基準光βの光学特性を順次求めて測定する。そして、これにより得られた複数の基準光βの光学特性の測定値の平均値を算出する。その後、メモリ７１０から前記基準値を読み出し、前記平均値と前記基準値との差を算出する。これにより粘着テープ１００及び透明プレート２００により変化する基準光βの光学特性の値を求めることができる。なお、ここでは透明プレート２００は均一性の良い透明素材を用いているため、実質的には粘着テープ１００により変化する基準光βの光学特性の値を求めることになる。その後、粘着テープ１００及び透明プレート２００により変化する基準光βの光学特性の値（ 即ち、算出結果） をメモリ７１０に記憶する。
【００３３】
その後、前記第１及び第２の駆動手段を駆動させ、プローブ針３００、３００をＬＥＤチップ１０の電極１１、１１に順次接触させる。これによりＬＥＤチップ１０の発光面１２が順次発光する。このＬＥＤチップ１０の光αを第１の光学検出手段４００に粘着テープ１００及び透明プレート２００を介して順次受光させる。
【００３４】
第１の光学検出手段４００から信号が順次入力されると、演算手段７００は前記信号に基いてＬＥＤチップ１０の光αの光学特性を順次求めて測定する。その後、粘着テープ１００及び透明プレート２００により変化する基準光βの光学特性の値をメモリ７１０から読み出し、この値に基いてＬＥＤチップ１０光学特性の測定値を順次補正する。このようにして実際のＬＥＤチップ１０の光学特性の測定値を測定するのである。
【００３５】
このようなＬＥＤチップの光学特性測定装置Ａによる場合、複数のＬＥＤチップ１０の光学特性を透明プレート２００に載置した状態で連続して測定することができる。即ち、複数のＬＥＤチップ１０の光学特性を迅速に測定することができる。しかも、従来例のようにＬＥＤチップ１０を透明プレート２００上に載置する機構を必要としないことから装置を小型化することができる。さらに、粘着テープ１００及び透明プレート２００により変化する基準光βの光学特性の値を求め、この値に基いてＬＥＤチップ１０の光学特性の測定値を補正するようにしたので、不均一となった粘着テープ１００の影響を受けない実際のＬＥＤチップ１０の光学特性の測定値を測定することができる。
【００３６】
光照射手段５００については粘着テープ１００及び透明プレート２００のＬＥＤチップ１０が載置されていない複数の箇所に向けて基準光βを照射するとしたが、１箇所のみに照射するようにしても良い。この場合、演算手段７００は第２の光学検出手段６００の検出結果に基づき一の基準光βの光学特性を求めて測定し、これにより得られた一の基準光βの光学特性の測定値と前記基準値との差を算出し、この算出結果に基いて第１の光学検出手段４００の光学特性の測定値を補正するように設計変更することが可能である。
【００３７】
演算手段７００については、粘着テープ１００及び透明プレート２００のＬＥＤチップ１００が載置されていない複数の箇所を介して求め測定した複数の基準光βの測定値の平均値を算出するとしたが、前記測定値のバラツキが大きい場合（ 即ち、エキスパンドの仕方により粘着テープ１００が非常に不均一であり、粘着テープ１００及び透明プレート２００のＬＥＤチップ１０が載置されていない複数の箇所を介して測定された基準光βの光学特性の測定値のバラツキが大きくなった場合） には、これらの測定値の標準偏差を求め、偏差結果に基いてバラツキの小さい一部の測定値を選択し、この選択された測定値の平均値を算出するようにしても良い。このように設計変更すれば、前記測定値のバラツキが大きい場合であっても、このバラツキの影響を受けずにＬＥＤチップ１００の光学特性を測定することができる。
【００３８】
また、この演算手段７００は第２の光学検出手段６００から入力された信号に基いて粘着テープ１００及び透明プレート２００を介さずに検出された基準光βの光学特性を求めて測定し、この基準光βの光学特性の基準値としてメモリ７１０に記憶するようになっているとしたが、技術者の経験則や以前の実例等から基準光βの光学特性の基準値を予測し、この値をメモリ７１０に記憶させておくことも可能である。
【００３９】
光学特性測定装置Ａについては、第１の光学検出手段４００、第２の光学検出手段６００を備えるとしたが、第１の光学検出手段４００、第２の光学検出手段６００のいずれか一方のみを備えていれば良い。このように設計変更した場合、ＬＥＤチップ１０の光α及び光照射手段５００の基準光βを一つの光学検出手段で受光し検出する。
【００４０】
なお、光学特性測定装置Ａについては、複数のＬＥＤチップを半透明の粘着テープ上に並べた状態で当該ＬＥＤチップの光学特性を測定する測定装置であって、ＬＥＤチップが前記粘着テープと共に載置される透明プレートと、ＬＥＤチップの上面に設けられた電極に接触し、これにより当該ＬＥＤチップに電流及び電圧を与えるプローブ針と、ＬＥＤチップの下面に設けられた発光面から発せられた光を前記粘着テープ及び透明プレートを介して受光し検出する第１の光学検出手段と、第１の光学検出手段の検出結果に基づきＬＥＤチップの光の光学特性を求めて測定する演算手段とを具備する限りどのような設計変形を行ってもかまわない。また、粘着テープ、透明プレート、プローブ針の素材等については上記と同等の機能を有する限りどのようなものを用いてもかまわない。
【００４１】
【発明の効果】
以上説明とおり、本発明の請求項１に係るＬＥＤチップの光学特性測定装置は、複数のＬＥＤチップを半透明の粘着テープ上に並べた状態で当該ＬＥＤチップの光学特性を測定する測定装置であって、ＬＥＤチップが前記粘着テープと共に載置される透明プレートと、ＬＥＤチップの上面に設けられた電極に接触し、これにより当該ＬＥＤチップに電流及び電圧を与えるプローブ針と、ＬＥＤチップの下面に設けられた発光面から発せられた光を前記粘着テープ及び透明プレートを介して受光し検出する第１の光学検出手段と、第１の光学検出手段の検出結果に基づきＬＥＤチップの光の光学特性を求めて測定する演算手段とを具備することを特徴としている。
【００４２】
このような請求項１記載のＬＥＤチップの光学特性測定装置による場合、複数のＬＥＤチップを透明プレート上に載置した状態で、当該ＬＥＤチップの光学特性を連続して測定することができる。このため、ＬＥＤチップの光学特性の測定が迅速に行える。しかも、従来例のごとくＬＥＤチップを透明プレート上に載置する機構を必要としないことから、構成を簡略化することができ、その結果として装置の小型化を図ることができる。
【００４３】
本発明の請求項２に係るＬＥＤチップの光学特性測定装置は、請求項１記載のＬＥＤチップの光学特性測定装置において、前記透明プレートに向けてＬＥＤチップの光の基準となるべき基準光を照射する光照射手段と、この基準光を前記粘着テープ及び透明プレートのＬＥＤチップが載置されていない箇所を介して受光し検出する第２の光学検出手段とを備えており、前記演算手段は、基準光の光学特性の基準値が記憶されたメモリを有しており、第２の光学検出手段の検出結果に基づき基準光の光学特性を求めて測定し、これにより得られた基準光の光学特性の測定値と前記基準値との差を算出し、この算出結果に基いてＬＥＤチップの光学特性の測定値を補正するようになっていることを特徴としている。
【００４４】
このような請求項２記載のＬＥＤチップの光学特性測定装置による場合、前記粘着テープ及び透明プレートのＬＥＤチップが載置されていない箇所を介して検出された基準光の光学特性の測定値と前記基準値との差を算出することにより粘着テープにより変化する基準光の光学特性の値を求め、この値に基いてＬＥＤチップの光学特性の測定値を補正するようになっているので、前記粘着テープの影響を受けない実際のＬＥＤチップの光学特性の測定値を測定することができる。
【００４５】
本発明の請求項３に係るＬＥＤチップの光学特性測定装置は、請求項２記載のＬＥＤチップの光学特性測定装置において、前記光照射手段は前記透明プレートに向けて基準光を順次照射する一方、前記第２の光学検出手段は前記基準光を前記粘着テープ及び透明プレートのＬＥＤチップが載置されていない複数の箇所を介して順次受光し検出するようになっており、前記演算手段は、第２の光学検出手段の検出結果に基づき基準光の光学特性を順次求めて測定し、これにより得られた複数の基準光の光学特性の測定値の平均値を算出し、この平均値と前記基準値との差を算出し、この算出結果に基いてＬＥＤチップの光学特性の測定値を補正するようになっていることを特徴としている。
【００４６】
このような請求項３記載のＬＥＤチップの光学特性測定装置による場合、粘着テープのＬＥＤチップが載置されていない複数の箇所を介して基準光の光学特性の測定値を測定するようになっているので、粘着テープのＬＥＤチップが載置されていない一の箇所を介して基準光の光学特性の測定値を測定する請求項２記載のＬＥＤチップの光学特性測定装置と比べてより正確な実際のＬＥＤチップの光学特性の測定値を測定することができる。
【００４７】
本発明の請求項４〜５に係るＬＥＤチップの光学測定方法による場合、上記光学特性測定装置と同様の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るＬＥＤチップの光学特性測定装置の模式図である。
【符号の説明】
Ａ 光学特性測定装置
１００ 粘着テープ
２００ 透明プレート
３０１ プローブ針
４００ 第１の光学検出手段
５００ 光照射手段
６００ 第２の光学検出手段
７００ 演算手段
１０ ＬＥＤチップ
１１ 電極
１２ 発光面
【発明の属する技術分野】
本発明は、上面に電極が、下面に発光面が設けられたＬＥＤチップの光学特性を測定するＬＥＤチップの光学特性測定装置及びＬＥＤチップの光学特性測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の光学特性測定装置としては、上面に発光面が、上下面に電極が設けられたＬＥＤチップの光学特性を測定する測定装置（ 以下、第１の測定装置とする。） 、上面に電極及び発光面が設けられたＬＥＤチップの光学特性を測定する測定装置（ 以下、第２の測定装置とする。） 等がある。
【０００３】
第１の測定装置は、ハーフカット状にダイジングされたウエハ（ 即ち、複数のＬＥＤチップ） が載置される又はダイジングされたＬＥＤチップが１個ずつ載置される導電性を有する電極プレートと、この電極プレート及びＬＥＤチップの電極に接触し、これにより当該ＬＥＤチップに電流及び電圧を与えるプローブ針と、ＬＥＤチップの光を受光し、これにより当該ＬＥＤチップの光学特性を測定する光学検出手段とを具備する構成となっている（ 特許文献１参照） 。
【０００４】
第２の測定装置は、ハーフカット状にダイジングされたウエハ（ 即ち、複数のＬＥＤチップ） が載置される又はダイジングされたＬＥＤチップが１個ずつ載置されるプレートと、ＬＥＤチップの電極に接触し、これにより当該ＬＥＤチップに電流及び電圧を与えるプローブ針と、ＬＥＤチップの光を受光し、これにより当該ＬＥＤチップの光学特性を測定する光学検出手段とを具備する構成となっている。
【０００５】
ところで、近年のＬＥＤチップには、上面に電極が、下面に発光面が設けられたものがある。このＬＥＤチップの光学特性を測定しようとする場合、前記第１の測定装置の電極プレートの代わりに透明プレートを用い、この透明プレート上にＬＥＤチップを発光面が下に向いた状態で１個ずつ載置し、上方からプローブ針をＬＥＤチップの電極に接触させる一方、このＬＥＤチップの光をプレートの下側で受光することにより当該ＬＥＤチップの光学特性を測定していた。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１１−１２５５７９号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例による場合、ＬＥＤチップを１個ずつプレート上に載置しなければならないことから、ＬＥＤチップの光学特性の測定スピードが遅くなるという問題があった。また、ＬＥＤチップを１個ずつプレート上に載置する構成が必要不可欠となることから、構成が複雑になり、装置が大型化するという別の問題もあった。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みて創案されたものであって、その目的とするところは、上面に電極が、下面に発光面が設けられたＬＥＤチップの光学特性を測定するにあたり、上記問題を解決し得る新規なＬＥＤチップの光学特性測定装置及びＬＥＤチップの光学特性測定方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明のＬＥＤチップの光学特性測定装置は、複数のＬＥＤチップを半透明の粘着テープ上に並べた状態で当該ＬＥＤチップの光学特性を測定する測定装置であって、ＬＥＤチップが前記粘着テープと共に載置される透明プレートと、ＬＥＤチップの上面に設けられた電極に接触し、これにより当該ＬＥＤチップに電流及び電圧を与えるプローブ針と、ＬＥＤチップの下面に設けられた発光面から発せられた光を前記粘着テープ及び透明プレートを介して受光し検出する第１の光学検出手段と、第１の光学検出手段の検出結果に基づきＬＥＤチップの光の光学特性を求めて測定する演算手段とを具備することを特徴としている。
【００１０】
このＬＥＤチップの光学特性測定装置において、前記透明プレートに向けてＬＥＤチップの光の基準となるべき基準光を照射する光照射手段と、この基準光を前記粘着テープ及び透明プレートのＬＥＤチップが載置されていない箇所を介して受光し検出する第２の光学検出手段とを備えており、前記演算手段は、基準光の光学特性の基準値が記憶されたメモリを有しており、第２の光学検出手段の検出結果に基づき基準光の光学特性を求めて測定し、これにより得られた基準光の光学特性の測定値と前記基準値との差を算出し、この算出結果に基いてＬＥＤチップの光学特性の測定値を補正するようになっている。
【００１１】
また、前記ＬＥＤチップの光学特性測定装置は、前記光照射手段は前記透明プレートに向けて基準光を順次照射する一方、前記第２の光学検出手段は前記基準光を前記粘着テープ及び透明プレートのＬＥＤチップが載置されていない複数の箇所を介して順次受光し検出するようになっており、前記演算手段は、第２の光学検出手段の検出結果に基づき基準光の光学特性を順次求めて測定し、これにより得られた複数の基準光の光学特性の測定値の平均値を算出し、この平均値と前記基準値との差を算出し、この算出結果に基いてＬＥＤチップの光学特性の測定値を補正するように構成することもできる。
【００１２】
一方、本発明のＬＥＤチップの光学測定方法は、複数のＬＥＤチップを半透明の粘着テープ上に並べた状態で当該ＬＥＤチップの光学特性を測定する測定方法であって、透明プレートの上にＬＥＤチップを粘着テープと共に載置し、この状態で、ＬＥＤチップの上面に設けられた電極にプローブ針を接触させ、これにより当該ＬＥＤチップに電流及び電圧を与える一方、ＬＥＤチップの下面に設けられた発光面から発せられた光を第１の光学検出手段に前記粘着テープ及び透明プレートを介して受光させ、これにより当該ＬＥＤチップの光学特性を測定するようにしたことを特徴としている。
【００１３】
このＬＥＤチップの光学測定方法において、ＬＥＤチップの光の基準となるべき基準光の光学特性の基準値を記憶しておき、前記透明プレートに向けて光照射手段に基準光を照射させ、この基準光を第２の光学検出手段に前記粘着テープ及び透明プレートのＬＥＤチップが載置されていない箇所を介して受光させ、これにより当該基準光の光学特性を測定し、この測定値と基準光の光学特性の基準値との差を算出し、この算出結果に基いてＬＥＤチップの光学特性の測定値を補正するようにする。
【００１４】
また、前記ＬＥＤチップの光学測定方法は、前記透明プレートに向けて前記光照射手段に基準光を順次照射させ、第２の光学検出手段に前記基準光を前記粘着テープ及び透明プレートのＬＥＤチップが載置されていない複数の箇所を介して順次受光させ、これにより当該基準光の光学特性を順次測定し、この複数の測定値の平均値を算出し、この平均値と基準光の光学特性の光学特性の基準値との差を算出し、この算出結果に基いてＬＥＤチップの光学特性の測定値を補正するようにしても良い。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係るＬＥＤチップの光学特性測定装置を図面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施の形態に係るＬＥＤチップの光学特性測定装置の模式図である。
【００１６】
図１に示すＬＥＤチップの光学特性測定装置Ａは、上面に電極１１、１１が、下面に発光面１２が設けられたいわゆるフリップチップタイプのＬＥＤチップ１０を複数個半透明の粘着テープ１００上に並べた状態で当該ＬＥＤチップ１０の光学特性を測定する装置である。
【００１７】
この光学特性測定装置Ａは、ＬＥＤチップ１０が粘着テープ１００と共に載置される透明プレート２００と、この透明プレート２００の上側に対向配置されており且つＬＥＤチップ１０の電極１１、１１に各々接触可能なプローブ針３００、３００と、透明プレート２００の下側に配置されており且つＬＥＤチップ１０の発光面１２から発せられた光αを受光する第１の光学検出手段４００と、透明プレート２００の上側に配置されており且つ基準光βを照射する配置された光照射手段５００と、透明プレート２００の下側に配置されており且つ基準光βを受光する第２の光学検出手段６００と、第１の光学検出手段４００及び第２の光学検出手段６００から信号が各々入力される演算手段７００とを具備する。以下、各部を詳しく説明する。
【００１８】
粘着テープ１００は、ポリエステルや伸縮性のあるポリ塩化ビニルやポリエチレン等のフィルムに、紫外線によって硬化する粘着剤を塗布した一般的なダイジング用テープである。この粘着テープ１００にはハーフカット状にダイジングされたウエハ（ 図示しない） が載置される。この状態で粘着テープ１００をエキスパンドすると、前記ウエハがダイジングされて複数のＬＥＤチップ１０となる。ただ、このように粘着テープ１００をエキスパンドすると、当該粘着テープ１００が不均一になる。その結果、粘着テープ１００を透過する各ＬＥＤチップ１０の光αの光学特性が不均一になる問題が生じる。
【００１９】
透明プレート２００は透明の強化ガラスである。この透明プレート２００については均一性の良い素材、例えば石英ガラス又はサファイアガラスを使用する。これにより透明プレート２００を透過する各ＬＥＤチップ１０の光αの光学特性が不均一になるのを防止する。
【００２０】
透明プレート２００は図示しない第１の駆動手段に取り付けられている。この第１の駆動手段を駆動させることにより透明プレート２００を水平方向に移動させることができる。なお、前記第１の駆動手段は透明プレート２００を図１の検査位置から退避位置にかけて移動させる役割も果たしている。
【００２１】
プローブ針３００、３００はタングステン等を引き延ばして製作された細線状の針である。このプローブ針３００、３００の後端部は図外の電源に電気的に接続されている。また、プローブ針３００、３００は当該プローブ針３００、３００を上下方向に移動させる第２の駆動手段（ 図示せず） に取り付けられている。この第２の駆動手段を駆動させることにより、当該プローブ針３００、３００の先端部がＬＥＤチップ１０の電極１１、１１と接触し、ＬＥＤチップ１０に電流及び電圧を与えるようになっている。
【００２２】
第１の光学検出手段４００は受光部４１０を有する光学検出器である。第１の光学検出手段４００は受光部４１０がＬＥＤチップ１０の発光面１２と対向するように配置されている。第１の光学検出手段４００は、透明プレート２００を水平方向に移動させ、プローブ針３００、３００をＬＥＤチップ１０に順次接触させることにより発光するＬＥＤチップ１０の光αを受光部４１０で順次受光し検出するようになっている。
【００２３】
光照射手段５００は、ＬＥＤチップ１０から発光される光αの基準となるべき基準光βを照射するＬＥＤチップ５１０を有する発光装置である。従って、ＬＥＤチップ５１０としてはＬＥＤチップ１０と同じものを使用する。この光照射手段５００は、前記第１の駆動手段を駆動させ、透明プレート２００を退避位置に設置した状態で、基準光βを照射する一方、前記第１の駆動手段を駆動させ、透明プレート２００を検査位置に設置した状態で、粘着テープ１００及び透明プレート２００のＬＥＤチップ１０が載置されていない複数の箇所に向けて基準光βを順次照射するようになっている。
【００２４】
第２の光学検出手段６００は、第１の光学検出手段４００と同じ光学検出器である。従って、基準光βを受光するための受光部６１０を有する。また、第２の光学検出手段６００は受光部６１０が光照射手段５００のＬＥＤチップ５１０と対向するように配置されている。この第２の光学検出手段６００は粘着テープ１００及び透明プレート２００を介さずに基準光βを受光し検出する一方、粘着テープ１００及び透明プレート２００のＬＥＤチップ１０が載置されていない複数の箇所を介して基準光βを順次受光し検出するようになっている。
【００２５】
演算手段７００は、ここではマイコンが用いられており、その入力ポートには第１の光学検出手段４００及び第２の光学検出手段６００が接続されている。この演算手段７００にはメモリ７１０が内蔵されている。
【００２６】
演算手段７００は、第２の光学検出手段６００から入力された信号に基いて粘着テープ１００及び透明プレート２００を介さずに検出された基準光βの光学特性を求めて測定し、これにより得られた基準光βの光学特性の測定値を基準値としてメモリ７１０に記憶するようになっている。また、演算手段７００は、第１の光学検出手段４００から入力された信号に基いてＬＥＤチップ１００の光学特性を求めて測定する一方、第２の光学検出手段６００から入力された信号に基いて粘着テープ１００及び透明プレート２００のＬＥＤチップ１０が載置されていない複数の箇所を介して検出された基準光βの光学特性を順次求めて測定するようになっている。
【００２７】
この演算手段７００は、第２の光学検出手段６００の信号に基いて順次測定した複数の基準光βの光学特性の測定値の平均値を算出し、この平均値と前記基準値との差を算出し、この算出結果に基いて各ＬＥＤチップ１００の光学特性の測定値を順次補正する機能を有している。
【００２８】
以下、このように構成された光学特性測定装置Ａを使用してＬＥＤチップ１０の光学特性を測定する測定方法を説明すると共に、演算手段７００の動作について詳しく説明する。
【００２９】
まず、透明プレート２００が検査位置に設置されていない状態で光照射手段５００に基準光βを照射させる一方、この基準光βを第２の光学検出手段６００に受光させる。
【００３０】
第２の光学検出手段６００から信号が入力されると、演算手段７００は前記信号に基いて基準光βの光学特性を求めて測定し、この測定結果を基準光βの光学特性の基準値としてメモリ７１０に記憶する。
【００３１】
その後、退避位置で透明プレート２００の上にＬＥＤチップ１０を粘着テープ１００と共に載置する。そして、前記第１の駆動手段を駆動させ、透明プレート２００を検査位置に設置する。その後、前記第１の駆動手段を駆動させ、粘着テープ１００及び透明プレート２００に向けて光照射手段５００に基準光βを順次照射させる一方、この基準光βを第２の光学検出手段６００に粘着テープ１００及び透明プレート２００のＬＥＤチップ１０が載置されていない複数の箇所を介して順次受光させる。
【００３２】
第２の光学検出手段６００から信号が順次入力されると、演算手段７００は前記信号に基いて基準光βの光学特性を順次求めて測定する。そして、これにより得られた複数の基準光βの光学特性の測定値の平均値を算出する。その後、メモリ７１０から前記基準値を読み出し、前記平均値と前記基準値との差を算出する。これにより粘着テープ１００及び透明プレート２００により変化する基準光βの光学特性の値を求めることができる。なお、ここでは透明プレート２００は均一性の良い透明素材を用いているため、実質的には粘着テープ１００により変化する基準光βの光学特性の値を求めることになる。その後、粘着テープ１００及び透明プレート２００により変化する基準光βの光学特性の値（ 即ち、算出結果） をメモリ７１０に記憶する。
【００３３】
その後、前記第１及び第２の駆動手段を駆動させ、プローブ針３００、３００をＬＥＤチップ１０の電極１１、１１に順次接触させる。これによりＬＥＤチップ１０の発光面１２が順次発光する。このＬＥＤチップ１０の光αを第１の光学検出手段４００に粘着テープ１００及び透明プレート２００を介して順次受光させる。
【００３４】
第１の光学検出手段４００から信号が順次入力されると、演算手段７００は前記信号に基いてＬＥＤチップ１０の光αの光学特性を順次求めて測定する。その後、粘着テープ１００及び透明プレート２００により変化する基準光βの光学特性の値をメモリ７１０から読み出し、この値に基いてＬＥＤチップ１０光学特性の測定値を順次補正する。このようにして実際のＬＥＤチップ１０の光学特性の測定値を測定するのである。
【００３５】
このようなＬＥＤチップの光学特性測定装置Ａによる場合、複数のＬＥＤチップ１０の光学特性を透明プレート２００に載置した状態で連続して測定することができる。即ち、複数のＬＥＤチップ１０の光学特性を迅速に測定することができる。しかも、従来例のようにＬＥＤチップ１０を透明プレート２００上に載置する機構を必要としないことから装置を小型化することができる。さらに、粘着テープ１００及び透明プレート２００により変化する基準光βの光学特性の値を求め、この値に基いてＬＥＤチップ１０の光学特性の測定値を補正するようにしたので、不均一となった粘着テープ１００の影響を受けない実際のＬＥＤチップ１０の光学特性の測定値を測定することができる。
【００３６】
光照射手段５００については粘着テープ１００及び透明プレート２００のＬＥＤチップ１０が載置されていない複数の箇所に向けて基準光βを照射するとしたが、１箇所のみに照射するようにしても良い。この場合、演算手段７００は第２の光学検出手段６００の検出結果に基づき一の基準光βの光学特性を求めて測定し、これにより得られた一の基準光βの光学特性の測定値と前記基準値との差を算出し、この算出結果に基いて第１の光学検出手段４００の光学特性の測定値を補正するように設計変更することが可能である。
【００３７】
演算手段７００については、粘着テープ１００及び透明プレート２００のＬＥＤチップ１００が載置されていない複数の箇所を介して求め測定した複数の基準光βの測定値の平均値を算出するとしたが、前記測定値のバラツキが大きい場合（ 即ち、エキスパンドの仕方により粘着テープ１００が非常に不均一であり、粘着テープ１００及び透明プレート２００のＬＥＤチップ１０が載置されていない複数の箇所を介して測定された基準光βの光学特性の測定値のバラツキが大きくなった場合） には、これらの測定値の標準偏差を求め、偏差結果に基いてバラツキの小さい一部の測定値を選択し、この選択された測定値の平均値を算出するようにしても良い。このように設計変更すれば、前記測定値のバラツキが大きい場合であっても、このバラツキの影響を受けずにＬＥＤチップ１００の光学特性を測定することができる。
【００３８】
また、この演算手段７００は第２の光学検出手段６００から入力された信号に基いて粘着テープ１００及び透明プレート２００を介さずに検出された基準光βの光学特性を求めて測定し、この基準光βの光学特性の基準値としてメモリ７１０に記憶するようになっているとしたが、技術者の経験則や以前の実例等から基準光βの光学特性の基準値を予測し、この値をメモリ７１０に記憶させておくことも可能である。
【００３９】
光学特性測定装置Ａについては、第１の光学検出手段４００、第２の光学検出手段６００を備えるとしたが、第１の光学検出手段４００、第２の光学検出手段６００のいずれか一方のみを備えていれば良い。このように設計変更した場合、ＬＥＤチップ１０の光α及び光照射手段５００の基準光βを一つの光学検出手段で受光し検出する。
【００４０】
なお、光学特性測定装置Ａについては、複数のＬＥＤチップを半透明の粘着テープ上に並べた状態で当該ＬＥＤチップの光学特性を測定する測定装置であって、ＬＥＤチップが前記粘着テープと共に載置される透明プレートと、ＬＥＤチップの上面に設けられた電極に接触し、これにより当該ＬＥＤチップに電流及び電圧を与えるプローブ針と、ＬＥＤチップの下面に設けられた発光面から発せられた光を前記粘着テープ及び透明プレートを介して受光し検出する第１の光学検出手段と、第１の光学検出手段の検出結果に基づきＬＥＤチップの光の光学特性を求めて測定する演算手段とを具備する限りどのような設計変形を行ってもかまわない。また、粘着テープ、透明プレート、プローブ針の素材等については上記と同等の機能を有する限りどのようなものを用いてもかまわない。
【００４１】
【発明の効果】
以上説明とおり、本発明の請求項１に係るＬＥＤチップの光学特性測定装置は、複数のＬＥＤチップを半透明の粘着テープ上に並べた状態で当該ＬＥＤチップの光学特性を測定する測定装置であって、ＬＥＤチップが前記粘着テープと共に載置される透明プレートと、ＬＥＤチップの上面に設けられた電極に接触し、これにより当該ＬＥＤチップに電流及び電圧を与えるプローブ針と、ＬＥＤチップの下面に設けられた発光面から発せられた光を前記粘着テープ及び透明プレートを介して受光し検出する第１の光学検出手段と、第１の光学検出手段の検出結果に基づきＬＥＤチップの光の光学特性を求めて測定する演算手段とを具備することを特徴としている。
【００４２】
このような請求項１記載のＬＥＤチップの光学特性測定装置による場合、複数のＬＥＤチップを透明プレート上に載置した状態で、当該ＬＥＤチップの光学特性を連続して測定することができる。このため、ＬＥＤチップの光学特性の測定が迅速に行える。しかも、従来例のごとくＬＥＤチップを透明プレート上に載置する機構を必要としないことから、構成を簡略化することができ、その結果として装置の小型化を図ることができる。
【００４３】
本発明の請求項２に係るＬＥＤチップの光学特性測定装置は、請求項１記載のＬＥＤチップの光学特性測定装置において、前記透明プレートに向けてＬＥＤチップの光の基準となるべき基準光を照射する光照射手段と、この基準光を前記粘着テープ及び透明プレートのＬＥＤチップが載置されていない箇所を介して受光し検出する第２の光学検出手段とを備えており、前記演算手段は、基準光の光学特性の基準値が記憶されたメモリを有しており、第２の光学検出手段の検出結果に基づき基準光の光学特性を求めて測定し、これにより得られた基準光の光学特性の測定値と前記基準値との差を算出し、この算出結果に基いてＬＥＤチップの光学特性の測定値を補正するようになっていることを特徴としている。
【００４４】
このような請求項２記載のＬＥＤチップの光学特性測定装置による場合、前記粘着テープ及び透明プレートのＬＥＤチップが載置されていない箇所を介して検出された基準光の光学特性の測定値と前記基準値との差を算出することにより粘着テープにより変化する基準光の光学特性の値を求め、この値に基いてＬＥＤチップの光学特性の測定値を補正するようになっているので、前記粘着テープの影響を受けない実際のＬＥＤチップの光学特性の測定値を測定することができる。
【００４５】
本発明の請求項３に係るＬＥＤチップの光学特性測定装置は、請求項２記載のＬＥＤチップの光学特性測定装置において、前記光照射手段は前記透明プレートに向けて基準光を順次照射する一方、前記第２の光学検出手段は前記基準光を前記粘着テープ及び透明プレートのＬＥＤチップが載置されていない複数の箇所を介して順次受光し検出するようになっており、前記演算手段は、第２の光学検出手段の検出結果に基づき基準光の光学特性を順次求めて測定し、これにより得られた複数の基準光の光学特性の測定値の平均値を算出し、この平均値と前記基準値との差を算出し、この算出結果に基いてＬＥＤチップの光学特性の測定値を補正するようになっていることを特徴としている。
【００４６】
このような請求項３記載のＬＥＤチップの光学特性測定装置による場合、粘着テープのＬＥＤチップが載置されていない複数の箇所を介して基準光の光学特性の測定値を測定するようになっているので、粘着テープのＬＥＤチップが載置されていない一の箇所を介して基準光の光学特性の測定値を測定する請求項２記載のＬＥＤチップの光学特性測定装置と比べてより正確な実際のＬＥＤチップの光学特性の測定値を測定することができる。
【００４７】
本発明の請求項４〜５に係るＬＥＤチップの光学測定方法による場合、上記光学特性測定装置と同様の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るＬＥＤチップの光学特性測定装置の模式図である。
【符号の説明】
Ａ 光学特性測定装置
１００ 粘着テープ
２００ 透明プレート
３０１ プローブ針
４００ 第１の光学検出手段
５００ 光照射手段
６００ 第２の光学検出手段
７００ 演算手段
１０ ＬＥＤチップ
１１ 電極
１２ 発光面
Claims (6)
- 複数のＬＥＤチップを半透明の粘着テープ上に並べた状態で当該ＬＥＤチップの光学特性を測定する測定装置であって、ＬＥＤチップが前記粘着テープと共に載置される透明プレートと、ＬＥＤチップの上面に設けられた電極に接触し、これにより当該ＬＥＤチップに電流及び電圧を与えるプローブ針と、ＬＥＤチップの下面に設けられた発光面から発せられた光を前記粘着テープ及び透明プレートを介して受光し検出する第１の光学検出手段と、第１の光学検出手段の検出結果に基づきＬＥＤチップの光の光学特性を求めて測定する演算手段とを具備することを特徴とするＬＥＤチップの光学特性測定装置。
- 請求項１記載のＬＥＤチップの光学特性測定装置において、前記透明プレートに向けてＬＥＤチップの光の基準となるべき基準光を照射する光照射手段と、この基準光を前記粘着テープ及び透明プレートのＬＥＤチップが載置されていない箇所を介して受光し検出する第２の光学検出手段とを備えており、
前記演算手段は、基準光の光学特性の基準値が記憶されたメモリを有しており、第２の光学検出手段の検出結果に基づき基準光の光学特性を求めて測定し、これにより得られた基準光の光学特性の測定値と前記基準値との差を算出し、この算出結果に基いてＬＥＤチップの光学特性の測定値を補正するようになっていることを特徴とするＬＥＤチップの光学特性測定装置。 - 請求項２記載のＬＥＤチップの光学特性測定装置において、前記光照射手段は前記透明プレートに向けて基準光を順次照射する一方、前記第２の光学検出手段は前記基準光を前記粘着テープ及び透明プレートのＬＥＤチップが載置されていない複数の箇所を介して順次受光し検出するようになっており、
前記演算手段は、第２の光学検出手段の検出結果に基づき基準光の光学特性を順次求めて測定し、これにより得られた複数の基準光の光学特性の測定値の平均値を算出し、この平均値と前記基準値との差を算出し、この算出結果に基いてＬＥＤチップの光学特性の測定値を補正するようになっていることを特徴とするＬＥＤチップの光学特性測定装置。 - 複数のＬＥＤチップを半透明の粘着テープ上に並べた状態で当該ＬＥＤチップの光学特性を測定する測定方法であって、透明プレートの上にＬＥＤチップを粘着テープと共に載置し、この状態で、ＬＥＤチップの上面に設けられた電極にプローブ針を接触させ、これにより当該ＬＥＤチップに電流及び電圧を与える一方、ＬＥＤチップの下面に設けられた発光面から発せられた光を第１の光学検出手段に前記粘着テープ及び透明プレートを介して受光させ、これにより当該ＬＥＤチップの光学特性を測定するようにしたことを特徴とするＬＥＤチップの光学測定方法。
- 請求項４記載のＬＥＤチップの光学測定方法において、ＬＥＤチップの光の基準となるべき基準光の光学特性の基準値を記憶しておき、前記透明プレートに向けて光照射手段に基準光を照射させ、この基準光を第２の光学検出手段に前記粘着テープ及び透明プレートのＬＥＤチップが載置されていない箇所を介して受光させ、これにより当該基準光の光学特性を測定し、この測定値と基準光の光学特性の基準値との差を算出し、この算出結果に基いてＬＥＤチップの光学特性の測定値を補正するようにしたことを特徴とするＬＥＤチップの光学特性測定方法。
- 請求項５記載のＬＥＤチップの光学測定方法において、前記透明プレートに向けて前記光照射手段に基準光を順次照射させ、第２の光学検出手段に前記基準光を前記粘着テープ及び透明プレートのＬＥＤチップが載置されていない複数の箇所を介して順次受光させ、これにより当該基準光の光学特性を順次測定し、この複数の測定値の平均値を算出し、この平均値と基準光の光学特性の光学特性の基準値との差を算出し、この算出結果に基いてＬＥＤチップの光学特性の測定値を補正するようにしたことを特徴とするＬＥＤチップの光学特性測定方法。
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| JP2003203942A Pending JP2005049131A (ja) | 2003-07-30 | 2003-07-30 | Ｌｅｄチップの光学特性測定装置及びｌｅｄチップの光学特性測定方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007292783A (ja) * | 2007-07-09 | 2007-11-08 | Seiwa Electric Mfg Co Ltd | 光学特性測定装置 |
| KR100975836B1 (ko) | 2008-07-21 | 2010-08-16 | (주)정연시스템 | 고휘도 엘이디의 특성 측정장치 |
| JP2011058959A (ja) * | 2009-09-10 | 2011-03-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 輝度の検査方法 |
| CN110581096A (zh) * | 2019-09-27 | 2019-12-17 | 江西兆驰半导体有限公司 | 一种led芯片光电性与外观一体化检测设备 |
| US10714667B2 (en) | 2017-12-07 | 2020-07-14 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of manufacturing light emitting device |
| KR102273832B1 (ko) * | 2020-08-13 | 2021-07-06 | (주)라이타이저 | Led칩 디스플레이 패널로의 전사 전의 led칩 테스트를 위한 미들 플랫폼 장치 제조 방법 |
| CN113770063A (zh) * | 2021-09-10 | 2021-12-10 | 深圳市华腾半导体设备有限公司 | 一种分光检测装置、分光机和检测校正方法 |
-
2003
- 2003-07-30 JP JP2003203942A patent/JP2005049131A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007292783A (ja) * | 2007-07-09 | 2007-11-08 | Seiwa Electric Mfg Co Ltd | 光学特性測定装置 |
| KR100975836B1 (ko) | 2008-07-21 | 2010-08-16 | (주)정연시스템 | 고휘도 엘이디의 특성 측정장치 |
| JP2011058959A (ja) * | 2009-09-10 | 2011-03-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 輝度の検査方法 |
| US10714667B2 (en) | 2017-12-07 | 2020-07-14 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of manufacturing light emitting device |
| CN110581096A (zh) * | 2019-09-27 | 2019-12-17 | 江西兆驰半导体有限公司 | 一种led芯片光电性与外观一体化检测设备 |
| CN110581096B (zh) * | 2019-09-27 | 2023-09-05 | 江西兆驰半导体有限公司 | 一种led芯片光电性与外观一体化检测设备 |
| KR102273832B1 (ko) * | 2020-08-13 | 2021-07-06 | (주)라이타이저 | Led칩 디스플레이 패널로의 전사 전의 led칩 테스트를 위한 미들 플랫폼 장치 제조 방법 |
| WO2022035065A1 (ko) * | 2020-08-13 | 2022-02-17 | (주)라이타이저 | Led칩 디스플레이 패널로의 전사 전의 led칩 테스트를 위한 미들 플랫폼 장치 제조 방법 |
| CN113770063A (zh) * | 2021-09-10 | 2021-12-10 | 深圳市华腾半导体设备有限公司 | 一种分光检测装置、分光机和检测校正方法 |
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