JP4387219B2 - 支持ステージに対する基板位置を判定する方法および装置 - Google Patents

支持ステージに対する基板位置を判定する方法および装置 Download PDF

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Description

発明の内容
本願は、２００３年２月２０日出願の米国仮特許出願第６０／４４８，８２１号の優先権を主張するものであり、当該出願は、ここにその全体を引用して本明細書に組込む。
関連出願の相互参照
本願は、以下の同時係属中の米国仮特許出願に関連する。
２００３年２月２０日出願、米国仮特許出願第６０／４４８，９７２号「支持ステージに対して基板を位置決めする方法および装置」（弁護士整理番号第７９５７／Ｌ号）
２００３年２月２０日出願、米国仮特許出願第６０／４４８，８５５号「支持ステージに対して基板を位置決めする方法および装置」（弁護士整理番号第８１６６／Ｌ号）
当該仮特許出願の各々は、ここにその全体を引用して本明細書に組込む。
発明の分野
本発明は、一般にフラットパネルディスプレイおよび／または半導体デバイスの製造に関し、より詳細には支持ステージに対する基板の位置の判定に関する。
発明の背景
フラットパネルディスプレイの製造中に、試験目的でガラス基板を試験ステージに載置することがある。典型的な基板試験としては、基板上に形成された薄膜トランジスタの動作検証、ｅ−ビーム検査、欠陥検出等がある。
試験でデバイスおよび／もしくは基板の場所を正確に特定するため、ならびに／または、デバイス／場所の探索回数を減らすためには、試験ステージに対する基板位置を判定しなければならない。従って、試験用ステージまたはその他のステージに対する基板の位置を迅速かつ正確に判定する方法および装置の改良が望ましい。
発明の概要
本発明の第１態様では、基板を支持するステージに対する基板の縁部の位置を判定するように適合された検出装置が提供される。検出装置は、基板を支持するように適合されたステージの周囲に間隔を置いて配置された複数のプローブを含む。各プローブは、（１）既知の起点位置からステージに支持された基板の縁部へ向けて移動し、（２）基板がステージに支持された状態で基板の縁部を検出し、（３）前記検出後に検出信号を生成し、（４）前記検出後に基板の縁部へ向かう移動を停止するように適合された検出部を含む。検出装置はまた、複数のプローブへ結合されたコントローラを含む。コントローラは、各検出部分の既知の起点位置に基づき、および各検出部分が生成した検出信号に基づき、ステージに対する基板の縁部の位置を判定するように適合されている。
本発明の第２態様では、（１）既知の起点位置からステージに支持された基板の縁部へ向けて移動し、（２）基板がステージに支持された状態で基板の縁部を検出し、（３）前記検出後に検出信号を生成し、（４）前記検出後に基板の縁部へ向かう移動を停止するように適合された検出部分を含むプローブが提供される。このプローブはまた、検出部分をステージへ向けて移動させるように適合された駆動機構と、検出部分および駆動機構へ結合されたコントローラとを含む。コントローラは、検出部分の既知の起点位置に基づき、および検出部分が生成した検出信号に基づき、ステージに対する基板の縁部の位置を判定するように適合されている。
本発明の第３態様では、基板を支持するステージに対する基板の縁部の位置を判定する方法が提供される。この方法は、（１）基板を支持するように適合されたステージの周囲に間隔を置いて複数の検出器を提供するステップと、（２）既知の起点位置から基板の縁部へ向けて移動するよう各検出器に指示するステップと、（３）各検出器で基板の縁部を検出するステップと、（４）検出器による基板の縁部の検出後に各検出器から検出信号を生成するステップと、（５）検出器による基板の縁部の検出後に基板の縁部へ向かう移動を停止するよう各検出器に指示するステップと、（６）各検出器の既知の起点位置に基づき、および各検出器が生成した検出信号に基づき、ステージに対する基板の縁部の位置を判定するステップとを含む。数多くの他の態様が、本発明のこれら態様および他の態様に従う方法および装置であるとして提供される。
本発明の他の特徴および態様は、以下の例示の実施形態の詳細な説明、付帯する特許請求の範囲、および添付図面から、更に十分に明白になろう。
詳細な説明
本発明に従って提供される、基板を支持ステージに対して移動させることなく、支持ステージに対する基板の位置を迅速かつ正確に判定する方法および装置を、図１Ａ〜図１Ｂ、および図２〜図４を参照して以下で説明する。基板は支持ステージに対して静止した状態であるから、基板位置の検出中に、基板が損傷を被ったりおよび／または粒子もしくはその他の汚染物が生成されることはない。ステージに対する基板の「真直度」を判定することも可能である。
図１Ａは、本発明に従って提供される検出装置１０１の概略平面図である。検出装置１０１は第１から第６プローブ１０３ａ〜ｆを備え、これらプローブは、試験用またはその他の支持ステージ１０５の周囲に、かつ試験ステージ１０５上に位置決めされた基板１０９の周縁部１０７に隣接して、共通平面Ｐに搭載されるのが好ましい。検出装置１０１のプローブは、あるいは、異なる平面（図示せず）に搭載されてもよい。以下で説明するように、第１プローブ１０３ａから第６プローブ１０３ｆは、位置検出中に基板１０９の縁部１０７へ向けて移動するように適合されている。本発明の少なくとも一実施形態では、各プローブ１０３ａ〜ｆが直線経路に沿い、基板１０９の縁部１０７へ向けて移動する（非直線経路を用いてもよい）。基板１０９は、例えばフラットパネルまたは液晶ディスプレイ用ガラスパネル、半導体ウェーハ、磁気ディスクであってもよい。
図１Ａを参照すると、第１から第６プローブ１０３ａ〜ｆはそれぞれ、基板１０９の縁部１０７を検出するための第１から第６検出部分１１１ａ〜ｆ（例えば、検出器）を備える。基板１０９のサイズと形状に従って、用いるプローブの数を増減させてもよい。プローブ１０３ａ〜ｆの例示の実施形態を、図３を参照に後で説明する。
第１プローブ１０３ａおよび第２プローブ１０３ｂは、第１整列線１１３に沿って位置決めされ、第１検出部分１１１ａおよび第２検出部分１１１ｂが第１方向１１５に、第１および第２位置１１７ａ、１１７ｂから試験ステージ１０５へ向けて移動できるように配向される。第１および第２位置１１７ａ、１１７ｂは、検出部分１１１ａ、１１１ｂの試験ステージ１０５に対する既知の起点つまり「原点」位置を表す。
第３プローブ１０３ｃおよび第４プローブ１０３ｄは、第１プローブ１０３ａおよび第２プローブ１０３ｂに対して試験ステージ１０５の反対側に、（例えば、第１整列線１１３と平行の）第２整列線１１９に沿って位置決めされる。第３プローブ１０３ｃおよび第４プローブ１０３ｄは、第３検出部分１１１ｃおよび第４検出部分１１１ｄが第１方向１１５とは反対の第２方向１２１に、第３および第４位置１１７ｃ、１１７ｄから試験ステージ１０５へ向けて移動するように配向される。第３および第４位置１１７ｃ、１１７ｄは、検出部分１１１ｃ、１１１ｄの試験ステージ１０５に対する既知の起点つまり原点位置を表す。
第５プローブ１０３ｅは、第３整列線１２３に沿って位置決めされる。第５プローブ１０３ｅは、第５検出部分１１１ｅが第３方向１２５に沿って、第５位置１１７ｅから試験ステージ１０５へ向かい移動できるように配向される。第５位置１１７ｅは、検出部分１１１ｅの試験ステージ１０５に対する既知の起点つまり原点位置を表す。
第６プローブ１０３ｆは、第５プローブ１０３ｅに対して試験ステージ１０５の反対側に、第４整列線１２７に沿って位置決めされる。第６プローブ１０３ｆは、第６検出部分１１１ｆが第３方向１２５とは反対の第４方向１２９に沿って、第６位置１１７ｆから試験ステージ１０５へ向かい移動できるように配向される。第６位置１１７ｆは、検出部分１１１ｆの試験ステージ１０５に対する既知の起点つまり原点位置を表す。
図１Ａに示すプローブ１０３ａ〜ｆの検出部分１１１ａ〜ｆは、後退された位置にある。検出部分１１１ａ〜ｆを後退された位置に設定することで、基板を試験ステージ１０５へ搭載および試験ステージ１０５から除去できる。本実施例では、基板１０９が試験ステージ１０５上に載置されており、図示のように試験ステージ１０５から張り出した基板１０９の縁部１０７を（以下で説明するように）検出装置１０１のプローブ１０３ａ〜ｆで検出でき、それにより試験ステージ１０５に対する基板１０９の縁部１０７の位置を検出装置１０１が判定できる。一般には、基板１０９が試験ステージ１０５から張り出している必要はない（例えば、試験ステージ１０５が基板１０９より大きくてもよい）。
動作では、検出装置１０１のプローブ１０３ａ〜ｆの検出部分１１１ａ〜ｆが、既知の起点位置１１７ａ〜ｆから試験ステージ１０５へ向けて移動を開始し、最終的に基板１０９を検出する。検出部分１１１ａ〜ｆは、相互に異なるかもしれない距離をそれぞれ移動した後に、基板１０９の縁部１０７を検出する。検出は、基板１０９との物理的接触を伴ってもよいし、その他の検出可能な事象の検出を伴ってもよい（例えば、反射型または透過光線型のセンサ装置を用いて、基板１０９の存在に起因する光の反射または伝播特性における変化を検出する等）。基板１０９の縁部１０７を検出すると、各検出部分１１１ａ〜ｆは、縁部検出信号を生成し、試験ステージ１０５へ向かう移動を停止する。以下で更に説明するように、縁部検出信号により、検出部分１１１ａ〜ｆが既知の起点位置１１７ａ〜ｆから基板１０９の縁部１０７まで移動した距離を、検出装置１０１が判定できる。検出装置１０１は、その後、（試験ステージ１０５に対して既知である）既知の起点位置１１７ａ〜ｆと、基板１０９の縁部１０７を検出するため検出部分１１１ａ〜ｆが移動した距離とに基づき、試験ステージ１０５に対する基板１０９の縁部１０７の位置を判定できる。かかる基板位置判定は、試験ステージ１０５に対して基板１０９を移動させることなく、迅速かつ正確に遂行できる。
図１Ｂは、プローブ１０３ａ〜ｆの検出部分１１１ａ〜ｆが基板１０９の縁部１０７を検出した構成における図１Ａの検出装置１０１の概略平面図である。図１Ａに示す検出部分１１１ａ〜ｆの後退された位置と比較すると、図１Ｂでは、検出部分１１１ａ〜ｆが（試験ステージ１０５に対して既知である）既知の起点位置１１７ａ〜ｆから移動しており、基板１０９の縁部１０７を検出している。かかる検出後に、上で説明したように検出部分１１１ａ〜ｆは、検出信号を生成し、試験ステージ１０５へ向かう移動を停止できる。
本発明の少なくとも一実施形態では、１つ以上の検出部分１１１ａ〜ｆが、基板１０９の縁部１０７に接触すると作動するように適合されるとともに作動すると検出信号を（例えば、スイッチの開放または閉鎖により）生成するように適合されたスイッチ（図３）を備えてもよい。あるいは、１つ以上の検出部分１１１ａ〜ｆが、基板１０９の縁部１０７の検出時に光線の存在または不在を検出するように適合されるとともにその検出時に検出信号（例えば、検出器電流の変化）を生成するように適合された透過光線型または反射型のセンサを備えてもよい。この目的のために、その他の種類の検出機構を、単独でまたは組合せて使用してもよい。しかしながら、有害な衝撃または擦傷から基板１０９を保護するため、検出装置１０１は、基板１０９が載置されている試験ステージ１０５に対して基板１０９を移動（スライド等）させることなく、基板１０９の縁部１０７を検出するように適合されるのが好ましい。例えば、各検出部分１１１ａ〜ｆがスイッチを備える場合、各スイッチが基板１０９の縁部１０７との接触による作動時に、試験ステージ１０５に対して基板１０９をスライドさせることがないのが好ましい。
図２は、図１Ａ〜図１Ｂの検出装置１０１の第１の代替の実施形態１０１ａの概略平面図である。代替の検出装置１０１ａも、６つのプローブ、即ち第７から第１２プローブ１０３ｇ〜ｌを備える。図２の第１の代替の検出装置１０１ａと図１Ａ〜図１Ｂの検出装置１０１との違いは、プローブの配置様式である。例えば図２では、２つのプローブ１０３ｋ、１０３ｌが試験ステージ１０５の右辺（試験ステージ１０５の「短」辺）近傍で用いられ、その一方でただ１つのプローブ１０３ｉが試験ステージ１０５の底辺（試験ステージ１０５の「長」辺）近傍で用いられている。対照的に、図１Ａおよび図１Ｂでは、ただ１つのプローブ１０３ｆが試験ステージ１０５の右辺近傍で用いられ、２つのプローブ１０３ｃ、１０３ｄが試験ステージ１０５の底辺近傍で用いられている。他の構成および／または他の数のプローブを用いてもよい。
図３は、図１Ａの３−３断面である検出装置１０１の例示の断面の概略側面図である。図３の実施形態では、第１プローブ１０３ａが、検出部分１１１ａへ結合された略Ｌ字形の主本体１１１ａ’、伸縮部材１３２を介して主本体１１１ａ’へ結合されたモータ１３１、ならびに検出部分１１１ａおよびモータ１３１へ結合されたコントローラ１３３を含む。他の主本体形状を用いてもよい。先に記載したように、検出部分１１１ａは、スイッチ（検出部分１１１ａが基板１０９の縁部１０７に接触する時に信号をコントローラ１３３へ供給する従来の圧力作動型スイッチ（図３）等）、光線センサ（図示せず）等を備えてもよい。他のプローブ１０３ｂ〜ｆ（図１Ａ〜１Ｂ）もそれぞれ、同様に構成してよい（プローブ１０３ｇ〜ｌもまた、同様に構成してよい）。
モータ１３１は、例えばステッピングモータやサーボモータ等の従来のリニアモータで構成してもよく、モータ１３１の回転方向に従って、試験ステージ１０５へ向かいまたは試験ステージ１０５から離れるように、プローブ１０３ａを移動させる。空気圧シリンダ、圧電デバイス、または他の駆動機構を同様に用いて、試験ステージ１０５へ向かいおよび試験ステージ１０５から離れるように、プローブ１０３ａを移動させてもよい。各プローブ１０３ｂ〜ｆが、コントローラ１３３により制御可能な同様のモータまたは駆動機構を備えてもよい。
コントローラ１３３は、例えば、適切にプログラムされた１台以上のマイクロプロセッサまたはマイクロコントローラ、専用ハードウエア回路、またはそれらの組合せ等で構成してもよく、下記の動作を行うように適合されている：
（１）試験ステージ１０５へ向けておよび試験ステージ１０５から離れるように、プローブ１０３ａの移動を制御する（モータ１３１または同様の駆動機構等により）；
（２）プローブ１０３ａが基板１０９の縁部１０７に接触する時間を検出する（検出部分１１１ａにより生成されコントローラ１３３へ供給される検出信号等により）；
（３）プローブ１０３ａの検出部分１１１ａが生成した検出信号に応答して、試験ステージ１０５へ向かうプローブ１０３ａの移動を停止する；
（４）他のプローブ１０３ｂ〜ｆに対して（１）〜（３）と同様の動作を行う；および／または
（５）プローブ１０３ａ〜ｆの検出部分１１１ａ〜ｆが生成した検出信号（およびプローブ１０３ａ〜ｆの既知の「起点」位置１１７ａ〜ｆ）に基づき、試験ステージ１０５に対する基板１０９の位置を判定する。
図４は、試験ステージ１０５が基板１０９を支持した状態で試験ステージ１０５に対する基板１０９の縁部１０７の位置を検出するための、本発明に従って提供される例示のプロセス４００のフローチャートである。図４のプロセス４００の各ステップのうち１つ以上を、１つ以上のコンピュータプログラム製品として実装してもよい。ここに記載の各コンピュータプログラム製品は、コンピュータで可読の媒体（搬送波信号、フロッピーディスク、コンパクトディスク、ＤＶＤ、ハードドライブ、ランダムアクセスメモリ等）により搬送してもよい。
図４を参照して、プロセス４００はステップ４０１で開始する。ステップ４０２で、基板１０９が試験ステージ１０５へ搭載される。例えば、基板１０９は、基板ハンドラ、技能者等のいかなる従来手段により、試験ステージ１０５へ搭載してもよい。基板１０９を試験ステージ１０５へ搭載するためのクリアランスを確保するため、各プローブ１０３ａ〜ｆは十分に後退されている（例えば、検出部分１１１ａ〜ｆが図１Ａに示す既知の／原点位置１１７ａ〜ｆへ後退されている）のが好ましい。少なくとも一実施形態では、十分に後退された時に、検出部分１１１ａ〜ｆが試験ステージ１０５から略３〜４ｍｍの距離にあるが、他の距離を用いてもよい。
ステップ４０３で、コントローラ１３３（図３）が、基板１０９の縁部１０７へ向けて移動するよう各検出部分１１１ａ〜ｆに指示する。例えば、図３の実施形態では、伸縮部材１３２（およびそれへ結合されたプローブ１０３ａ）を基板１０９の縁部１０７へ向けて移動させるべく、コントローラ１３３がモータ１３１に回転するよう指示してもよい。プローブ１０３ｂ〜ｆをコントローラ１３３で同様に制御してもよい。少なくとも一実施形態では、プローブ１０３ａ〜ｆが約１．５〜４ｍｍ／秒の速度で基板１０９へ向けて移動するが、他の速度を用いてもよい。２つ以上のプローブ１０３ａ〜ｆが同時に、または任意の順序で順次に、基板１０９へ向けて移動してもよい。
ステップ４０３に続くステップ４０４およびステップ４０５で、コントローラ１３３が各プローブ１０３ａ〜ｆについて基板１０９の縁部１０７を検出し、およびプローブ１０３ａ〜ｆ／検出部分１１１ａ〜ｆの更なる移動を停止する。例えば、図３を参照して、プローブ１０３ａの検出部分１１１ａが基板１０９の縁部１０７に接触する時に、検出部分１１１ａが信号（例えば、「検出信号」）を生成し、信号はコントローラ１３３へ伝達される（ステップ４０４）。検出信号に応答して、コントローラ１３３がモータ１３１へ信号を送り、基板１０９へ向かうプローブ１０３ａの移動を停止させる（ステップ４０５）。同様のステップをプローブ１０３ｂ〜ｆの各々に対して行ってもよい。本発明の少なくとも一実施形態では、各プローブ１０３ａ〜ｆの移動が、プローブ１０３ａ〜ｆによる基板１０９の有意な移動（例えば、約１０ミクロン未満、より好ましくは約１ミクロン未満）または何らかの移動が発生する前に停止される。ステップ４０４およびステップ４０５の後は、各プローブ１０３ａ〜ｆが基板１０９の縁部１０７に接触した状態であることに注意されたい（図１Ｂまたは図２）。
記載したように、本発明の少なくとも一実施形態では、１つ以上の検出部分１１１ａ〜ｆが、基板１０９の縁部１０７に接触すると作動するように適合されるとともに作動すると検出信号を（スイッチの開放または閉鎖等により）生成するように適合されたスイッチ（図３）を備えてもよい。各スイッチは、（それぞれのプローブ１０３ａ〜ｆの）スイッチの主本体１３７が基板１０９へ向けて移動する際、基板１０９の縁部１０７により作動する作動可能部分１３５を含んでもよい。基板１０９がスイッチの主本体に接触する前にスイッチを作動させる場合は、スイッチの主本体が試験ステージ１０５に対して基板１０９を移動させる前におよび／または基板１０９に接触する前に各プローブ１０３ａ〜ｆの移動を停止するよう、コントローラ１３３へ信号を与えてもよい。更に、各プローブ１０３ａ〜ｆのスイッチの主本体を「ハードストップ」として機能させ、それによりプローブ１０３ａ〜ｆが連携して基板を保持し、試験ステージ１０５に対する基板１０９の横移動を制限してもよい。例えば、本発明の少なくとも一実施形態では、試験または処理等の間、各プローブ１０３ａ〜ｆがステージ１０５へ結合され、さらに／または別の方法でステージ１０５と共に平行移動してもよく、かかる平行移動中にプローブ１０３ａ〜ｆが（各プローブのスイッチの主本体を介して）、基板１０９と試験ステージ１０５との間の横移動を阻止／低減してもよい。本発明の少なくとも一実施形態では、各プローブ１０３ａ〜ｆが基板１０９へ向かう移動を停止するのは、プローブ１０３ａ〜ｆのスイッチの主本体が基板１０９の縁部１０７から約１００ミクロン以内にある時であるが、それは約１０ミクロン以内であるのがより好ましく、約１ミクロン以内であるのがなお一層好ましい。
ステップ４０６で、コントローラ１３３が試験ステージ１０５に対する基板１０９の位置を判定する。例えば、コントローラ１３３は、各検出部分１１１ａ〜ｆ（および／または各プローブ１０３ａ〜ｆ）が基板１０９に到達するため移動した距離を、（各検出部分１１１ａ〜ｆの検出信号を受信する前に対応するモータ１３１が行った回転数またはステッピング数を監視する等により）判定してもよい。基板１０９の縁部１０７へ向かう移動の前は、各検出部分１１１ａ〜ｆが試験ステージ１０５に対して既知の起点位置１１７ａ〜ｆにあったのであるから、各検出部分１１１ａ〜ｆが基板１０９の縁部１０７を検出するため移動した距離を用いて、（各検出部分１１１ａ〜ｆが移動した距離をそれぞれの既知の起点位置１１７ａ〜ｆから減算する等により）試験ステージ１０５の各辺に対する基板１０９の縁部１０７の位置を判定してもよい。判定した基板位置情報に基づき、基板１０９上のデバイスその他の場所を、容易に試験または検査することも可能である。少なくとも一実施形態では、検出装置１０１が試験ステージ１０５に対する基板１０９の縁部１０７の位置を約１００ミクロン以内で判定するが、それは約１０ミクロン以内であるのがより好ましく、約１ミクロン以内であるのがなお一層好ましい（各モータ１３１の精度、検出部分１１１ａ〜ｆが検出信号を生成する前に検出部分１１１ａ〜ｆに発生した偏位量、コントローラ１３３および／またはモータ１３１の応答時間等に依存する）。
コントローラ１３３が判定する基板位置情報としては、例えば試験ステージ１０５に対する基板１０９の真直度を含んでもよい。即ち、プローブ１０３ａ、１０３ｂの検出部分１１１ａ、１１１ｂ（図１Ａ）が位置１１７ａ、１１７ｂから同様の距離を移動して基板１０９の縁部１０７を検出した場合は、基板１０９が試験ステージ１０５に対して略真直となる。試験ステージ１０５に対する基板真直度の判定には、プローブ１０３ｃおよび１０３ｄを同様に用いてもよいし、図２のプローブ１０３ｇ、１０３ｈ、および１０３ｋ、１０３ｌを用いてもよい。
ステップ４０６の後、プロセス４００はステップ４０７で終了する。ここで基板の試験および／または検査を行ってもよい。プロセス４００で取得した基板位置情報は、例えばデバイス試験プローブの載置、ｅ−ビーム検査等のための「オフセット」として利用できる。即ち、ステージ１０５に対する基板１０９の位置により、基板位置に依存するデバイスおよび／またはプロセスを制御してもよい（局在化プロセス、パターン化、露出、試験、局部的堆積、レーザー切断等）。
以上の説明は、本発明の例示の実施形態を開示するものに過ぎず、以上で開示した本発明の範囲に含まれる装置および方法の改変は当業者にとって容易に明白となろう。例えば、主として試験ステージまたはその他の支持ステージに対するガラス板の位置の判定に関連して本発明を説明してきたが、言うまでもなく本発明をこれらのまたは他の種類のステージに対する異なる種類の基板位置の検出に用いてもよい。
従って、本発明をその例示の実施形態に関連して開示したが、他の実施形態もまた、先に記載の特許請求の範囲で定義された本発明の精神と範囲に含まれ得ることは言うまでもない。
本発明に従う検出装置の概略平面図である。 プローブの検出部分が基板の縁部を検出した構成における図１Ａの検出装置の概略平面図である。 図１Ａ〜１Ｂの検出装置の第１の代替の実施形態の概略平面図である。 図１Ａの３−３断面である検出装置の例示の断面の概略側面図である。 試験ステージが基板を支持した状態で試験ステージに対する基板の縁部の位置を検出するための、本発明に従って提供される例示のプロセスのフローチャートである。
符号の説明
１０１…検出装置、１０１ａ…代替の検出装置、１０３ａ…第１プローブ、１０３ｂ…第２プローブ、１０３ｃ…第３プローブ、１０３ｄ…第４プローブ、１０３ｅ…第５プローブ、１０３ｆ…第６プローブ、１０３ｇ…第７プローブ、１０３ｈ…第８プローブ、１０３ｉ…第９プローブ、１０３ｊ…第１０プローブ、１０３ｋ…第１１プローブ、１０３ｌ…第１２プローブ、１０５…試験ステージ、１０７…縁部、１０９…基板、１１１ａ…第１検出部分、１１１ｂ…第２検出部分、１１１ｃ…第３検出部分、１１１ｄ…第４検出部分、１１１ｃ…第５検出部分、１１１ｅ…第６検出部分、１１１ｆ…検出部分、１１１ａ’…主本体、１１３…第１整列線、１１５…第１方向、１１７ａ…第１位置、１１７ｂ…第２位置、１１７ｃ…第３位置、１１７ｄ…第４位置、１１７ｅ…第５位置、１１７ｆ…第６位置、１１９…第２整列線、１２１…第２方向、１２３…第３整列線、１２５…第３方向、１２７…第４整列線、１２９…第４方向、１３１…モータ、１３２…伸縮部材、１３３…コントローラ、１３５…作動可能部分、１３７…主本体、Ｐ…平面。

Claims (15)

  1. 基板を支持するステージに対する前記基板の縁部の位置を判定するように適合された検出装置であって、
    基板を支持するように適合されたステージの周囲に間隔を置いて配置された複数のプローブであって、各プローブが、
    既知の起点位置から前記ステージに支持された前記基板の縁部へ向けて移動し、
    前記基板に接触することによって、前記基板が前記ステージに支持された状態で前記基板の縁部を検出し、
    前記検出後に検出信号を生成し、および
    前記検出後に前記基板の縁部へ向かう移動を停止するように適合された検出部分を含む、
    複数のプローブと、
    前記複数のプローブへ結合され、各検出部分の前記既知の起点位置に基づき、かつ、各検出部分が生成した前記検出信号に基づき、前記ステージに対する前記基板の縁部の位置を判定するように適合されたコントローラと、
    を備える検出装置。
  2. 各検出部分が、前記基板の縁部に接触するように適合されるとともに前記接触時に検出信号を生成するように適合されたスイッチを備える、
    請求項１の検出装置。
  3. 前記検出部分の各々が直線経路に沿って、前記基板の縁部へ向かい移動するように適合された、
    請求項１の検出装置。
  4. 前記複数のプローブが、前記検出部分の前記直線経路を含む共通平面内にある、
    請求項３の検出装置。
  5. 前記複数のプローブが第１および第２プローブを含み、前記第１および第２プローブは後退された状態の時に、前記共通平面内の第１の線に沿って位置決めされている、
    請求項４の検出装置。
  6. 前記複数のプローブが第３および第４プローブを含み、前記第３および第４プローブは後退された状態の時に、前記共通平面内の第２の線に沿って、前記第１および第２プローブに対して前記ステージの反対側に位置決めされている、
    請求項５の検出装置。
  7. 前記複数のプローブが第５プローブを含み、前記第５プローブは後退された状態の時に、前記共通平面内にあり前記第１および第２の線に対して垂直な第３の線に沿って位置決めされている、
    請求項６の検出装置。
  8. 前記複数のプローブが第６プローブを含み、前記第６プローブは後退された状態の時に、前記共通平面内にあり前記第１および第２の線に対して垂直な第４の線に沿って、前記第５プローブに対して前記ステージの反対側に位置決めされている、
    請求項７の検出装置。
  9. 前記複数のプローブが第３および第４プローブを含み、前記第３および第４プローブは後退された状態の時に、前記共通平面内にあり前記第１の線に対して垂直な第２の線に沿って位置決めされている、
    請求項５の検出装置。
  10. 複数の駆動機構を更に備え、各駆動機構は、前記プローブのそれぞれ１つへ結合され、前記プローブのそれぞれ１つを前記基板の縁部へ向けておよび前記基板の縁部から離れるべく移動させるように適合された、
    請求項１の検出装置。
  11. 各駆動機構がモータを備える、
    請求項１０の検出装置。
  12. 前記コントローラが前記複数のモータの各々へ結合され、そして、前記複数のプローブの各々に対して前記コントローラが、
    前記プローブの前記検出部分を前記基板の縁部へ向けて移動させるべく、前記プローブへ結合された前記モータに指示し、
    前記検出部分が前記基板の縁部を検出する時に前記プローブの前記検出部分が生成した前記検出信号を受信し、および
    前記受信した検出信号に応答して、前記基板の縁部へ向かう前記プローブの前記検出部分の移動を停止するべく、前記プローブへ結合された前記モータに指示するように適合された、
    請求項１１の検出装置。
  13. 各プローブの前記検出部分が更に、前記基板を前記ステージへ搭載および前記ステージから除去できるべく、前記ステージから後退されるように適合され、
    前記コントローラが更に、各モータへ結合された前記プローブの前記検出部分を前記検出部分の前記既知の起点位置へ後退すべく、前記モータに指示するように適合された、
    請求項１２の検出装置。
  14. プローブであって、
    既知の起点位置からステージに支持された基板の縁部へ向けて移動し、
    前記基板に接触することによって、前記基板が前記ステージに支持された状態で前記基板の縁部を検出し、
    前記検出後に検出信号を生成し、および
    前記検出後に前記基板の縁部へ向かう移動を停止するように適合された検出部分と、
    前記検出部分を前記ステージへ向けて移動させるように適合された駆動機構と、
    前記検出部分および前記駆動機構へ結合され、前記検出部分の前記既知の起点位置に基づき、および前記検出部分が生成した前記検出信号に基づき、前記ステージに対する前記基板の縁部の位置を判定するように適合されたコントローラと、
    を備えるプローブ。
  15. 基板を支持するステージに対する前記基板の縁部の位置を判定する方法であって、
    基板を支持するように適合されたステージの周囲に間隔を置いて複数の検出器を提供するステップと、
    既知の起点位置から前記基板の縁部へ向けて移動するよう各検出器に指示するステップと、
    各検出器が前記基板に接触することによって、各検出器で前記基板の縁部を検出するステップと、
    前記検出器が前記基板の縁部を検出する後に各検出器から検出信号を生成するステップと、
    前記検出器が前記基板の縁部を検出する後に前記基板の縁部へ向かう移動を停止するよう各検出器に指示するステップと、
    各検出器の前記既知の起点位置に基づき、および各検出器が生成した前記検出信号に基づき、前記ステージに対する前記基板の縁部の位置を判定するステップと、
    を含む方法。
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