JPH10206350A - Ｘ線検査装置 - Google Patents
Ｘ線検査装置Info
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- JPH10206350A JPH10206350A JP9011576A JP1157697A JPH10206350A JP H10206350 A JPH10206350 A JP H10206350A JP 9011576 A JP9011576 A JP 9011576A JP 1157697 A JP1157697 A JP 1157697A JP H10206350 A JPH10206350 A JP H10206350A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｘ線強度が急速に変化する場合であっても、
Ｘ線強度の高精度な変動補正により、高精度な検査をな
しうるＸ線検査装置の提供 【解決手段】 被検体がコンベヤシステム３に載置さ
れ、操作部５から検査指示を与えると、演算制御手段４
は、Ｘ線発生部１よりＸ線が照射されると共に、コンベ
ヤシステム３を駆動状態とする。そして、被検体が２上
を移動すると、被検体の透過データが２から順次演算制
御手段４に送出され、演算制御手段４は、２端部の検出
素子のデータを用いて残りの検出素子データのＸ線強度
の変動補正を次式 Ｉ’mj＝Ｉmj／（Ｉ1,j ×（１−（ｍ−１）／（ｆ・Ｔ
int ））＋Ｉ1,j+1 ×（ｍ−１）／（ｆ・Ｔint ）） Ｉmj：Ｊフレームにおいてラインセンサのｍ番目のチャ
ンネルで得られるデータＴint ：積分時間、ｆ：駆動周
波数 により行った後、被検体の２次元像を合成し、異物の有
無などの検査結果を２次元像と共にＴＶモニタ６に表示
する。
Ｘ線強度の高精度な変動補正により、高精度な検査をな
しうるＸ線検査装置の提供 【解決手段】 被検体がコンベヤシステム３に載置さ
れ、操作部５から検査指示を与えると、演算制御手段４
は、Ｘ線発生部１よりＸ線が照射されると共に、コンベ
ヤシステム３を駆動状態とする。そして、被検体が２上
を移動すると、被検体の透過データが２から順次演算制
御手段４に送出され、演算制御手段４は、２端部の検出
素子のデータを用いて残りの検出素子データのＸ線強度
の変動補正を次式 Ｉ’mj＝Ｉmj／（Ｉ1,j ×（１−（ｍ−１）／（ｆ・Ｔ
int ））＋Ｉ1,j+1 ×（ｍ−１）／（ｆ・Ｔint ）） Ｉmj：Ｊフレームにおいてラインセンサのｍ番目のチャ
ンネルで得られるデータＴint ：積分時間、ｆ：駆動周
波数 により行った後、被検体の２次元像を合成し、異物の有
無などの検査結果を２次元像と共にＴＶモニタ６に表示
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、食品、非破壊検査
等に使用されるＸ線異物検査装置や被検体のＸ線像から
診断を行うＸ線撮像装置に関する。
等に使用されるＸ線異物検査装置や被検体のＸ線像から
診断を行うＸ線撮像装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、Ｘ線検出素子を一次元に配列した
ラインセンサと被検体とを相対的に移動させ、Ｘ線照射
によりラインセンサから得られるデータを合成した被検
体の２次元像に基づき当該被検体の検査を行うＸ線検査
装置が開発されている。
ラインセンサと被検体とを相対的に移動させ、Ｘ線照射
によりラインセンサから得られるデータを合成した被検
体の２次元像に基づき当該被検体の検査を行うＸ線検査
装置が開発されている。
【０００３】例えば、ベルトコンベア上に被検体を載せ
てＸ線管とラインセンサ間を移動させ、その透過像等か
ら被検体の異物を検知するＸ線異物検査装置や、被検体
をラインセンサとＸ線管との間に立たせ、ラインセンサ
を移動させることで得られた透過像から、当該被検体の
診断を行うＸ線撮像装置等が該当する。
てＸ線管とラインセンサ間を移動させ、その透過像等か
ら被検体の異物を検知するＸ線異物検査装置や、被検体
をラインセンサとＸ線管との間に立たせ、ラインセンサ
を移動させることで得られた透過像から、当該被検体の
診断を行うＸ線撮像装置等が該当する。
【０００４】かかるＸ線検査装置では、７０ＫＶ程度の
高電圧を負荷することでＸ線管からＸ線を発生させる
が、高電圧を発生させる制御器の性能の制約などによ
り、Ｘ線強度が時間的に変動するため、被検体との相対
移動の前後でラインセンサで得られる出力にバラツキが
生じ、アーティファクトなどの発生により検査に支障を
来すこととなる。
高電圧を負荷することでＸ線管からＸ線を発生させる
が、高電圧を発生させる制御器の性能の制約などによ
り、Ｘ線強度が時間的に変動するため、被検体との相対
移動の前後でラインセンサで得られる出力にバラツキが
生じ、アーティファクトなどの発生により検査に支障を
来すこととなる。
【０００５】このため、従来では、ラインセンサ両端部
に存在する検出素子の平均データで各検出素子出力を除
算することにより、かかるＸ線強度の変動補正がなされ
ていた。
に存在する検出素子の平均データで各検出素子出力を除
算することにより、かかるＸ線強度の変動補正がなされ
ていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ライン
センサによりデータを取得する場合、各検出素子で得ら
れるデータは順次シリアルに読み出され出力されるた
め、それぞれの検知データはＸ線入射時間わずかながら
異なるものとなる。
センサによりデータを取得する場合、各検出素子で得ら
れるデータは順次シリアルに読み出され出力されるた
め、それぞれの検知データはＸ線入射時間わずかながら
異なるものとなる。
【０００７】このため、Ｘ線強度が急激に変化する場
合、ラインセンサ端部に存在する検出素子の検知時刻と
同センサ中央部付近に存在する検出素子の検知時刻との
間に生じるＸ線強度の変動が無視できないものとなり、
十分なＸ線強度の変動補正ができず、アーティファクト
などが生じてＸ線検査に支障を来すという問題があっ
た。
合、ラインセンサ端部に存在する検出素子の検知時刻と
同センサ中央部付近に存在する検出素子の検知時刻との
間に生じるＸ線強度の変動が無視できないものとなり、
十分なＸ線強度の変動補正ができず、アーティファクト
などが生じてＸ線検査に支障を来すという問題があっ
た。
【０００８】本発明は、これらの課題を解決するために
創案されたものであって、Ｘ線強度が急速に変化する場
合であっても、Ｘ線強度の高精度な変動補正により、高
精度な検査をなしうるＸ線検査装置の提供を目的とす
る。
創案されたものであって、Ｘ線強度が急速に変化する場
合であっても、Ｘ線強度の高精度な変動補正により、高
精度な検査をなしうるＸ線検査装置の提供を目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、Ｘ線管と、これに対向して配設され多数
の検出素子からなるラインセンサを有し、前記ラインセ
ンサと被検体とを相対的に移動させ各検出素子から得ら
れたデータから当該被検体の検査を行うＸ線検査装置で
あって、前記ラインセンサ端部の検出素子のデータと次
時刻に当該検出素子で得られるデータから、各検出素子
毎のＸ線検知時刻に応じた重みづけデータを求め、当該
重みづけデータにより各検出素子で得られるデータのＸ
線強度の変動補正を行う演算手段を備えたことを特徴と
する。
め、本発明は、Ｘ線管と、これに対向して配設され多数
の検出素子からなるラインセンサを有し、前記ラインセ
ンサと被検体とを相対的に移動させ各検出素子から得ら
れたデータから当該被検体の検査を行うＸ線検査装置で
あって、前記ラインセンサ端部の検出素子のデータと次
時刻に当該検出素子で得られるデータから、各検出素子
毎のＸ線検知時刻に応じた重みづけデータを求め、当該
重みづけデータにより各検出素子で得られるデータのＸ
線強度の変動補正を行う演算手段を備えたことを特徴と
する。
【００１０】前記前記ラインセンサ端部の検出素子のデ
ータは、被検体が通過しない部分の複数の検出素子の平
均値であることを特徴とする。
ータは、被検体が通過しない部分の複数の検出素子の平
均値であることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明をＸ線異物検査装置に応用
した場合の一実施形態を、図１〜図４に基づいて説明す
る。ここで、図１は、当該Ｘ線異物検査装置の全体概略
図であり、Ｘ線発生部１とラインセンサ２とが対向して
配設されており、ラインセンサ２に近接してコンベヤシ
ステム３が配設され、コンベヤシステム３上に被検体が
載置されてラインセンサ２上を移動するよう構成されて
いる。
した場合の一実施形態を、図１〜図４に基づいて説明す
る。ここで、図１は、当該Ｘ線異物検査装置の全体概略
図であり、Ｘ線発生部１とラインセンサ２とが対向して
配設されており、ラインセンサ２に近接してコンベヤシ
ステム３が配設され、コンベヤシステム３上に被検体が
載置されてラインセンサ２上を移動するよう構成されて
いる。
【００１２】そして、Ｘ線発生部１よりＸ線を照射した
状態で被検体がコンベヤシステム３に載せられラインセ
ンサ２上を移動することでラインセンサ２から被検体の
検知データが得られ、当該検知データの合成による被検
体の２次元像から異物検査が可能となる。
状態で被検体がコンベヤシステム３に載せられラインセ
ンサ２上を移動することでラインセンサ２から被検体の
検知データが得られ、当該検知データの合成による被検
体の２次元像から異物検査が可能となる。
【００１３】演算制御手段４は、操作部５により動作指
示を受け、Ｘ線発生部１、コンベヤシステム３に対する
動作制御を行うと共に、ラインセンサ２から得られるデ
ータに演算処理を施し、被検体の２次元像の合成や、異
物の有無の判定などを行う。ＴＶモニタ６は、得られた
被検体の２次元像や、異物の有無の判定結果などを表示
する。
示を受け、Ｘ線発生部１、コンベヤシステム３に対する
動作制御を行うと共に、ラインセンサ２から得られるデ
ータに演算処理を施し、被検体の２次元像の合成や、異
物の有無の判定などを行う。ＴＶモニタ６は、得られた
被検体の２次元像や、異物の有無の判定結果などを表示
する。
【００１４】図２は、Ｘ線発生部１とラインセンサ２の
概略を示しており、Ｘ線発生部１は、主に、Ｘ線を発生
するＸ線管１ａと、当該Ｘ線管１ａに対して高電圧を印
加する高電圧源１ｂからなり、また、ラインセンサ２
は、主に、入射したＸ線を光に変換するＧｄ2 Ｏ2 Ｓ：
Ｔｂ等からなるシンチレータシート２ａ’と、当該シン
チレータシート２ａ’で得られた光を電気信号に変換す
るフォトダイオード２ａ”からなるＸ線センサ２ａ、及
び各検出素子で得られた検知データを処理しシリアル信
号として出力するデータ処理部２ｂを備えている。
概略を示しており、Ｘ線発生部１は、主に、Ｘ線を発生
するＸ線管１ａと、当該Ｘ線管１ａに対して高電圧を印
加する高電圧源１ｂからなり、また、ラインセンサ２
は、主に、入射したＸ線を光に変換するＧｄ2 Ｏ2 Ｓ：
Ｔｂ等からなるシンチレータシート２ａ’と、当該シン
チレータシート２ａ’で得られた光を電気信号に変換す
るフォトダイオード２ａ”からなるＸ線センサ２ａ、及
び各検出素子で得られた検知データを処理しシリアル信
号として出力するデータ処理部２ｂを備えている。
【００１５】図３は、ラインセンサ２をＭＯＳ型イメー
ジセンサとして構成した場合のＸ線センサ２ａ及びデー
タ処理部２ｂを示す図であり、Ｘ線センサ２ａは、２５
６個の検出素子からなり、図２で示したように、シンチ
レータシート２ａ’及び２５６個のフォトダイオード２
ａ”で構成される。また、図２で示したデータ処理部２
ｂは、アンプ２ｂ’とシフトレジスタ２ｂ”から構成さ
れ、Ｘ線センサ２ａの各検出素子で得られたデータはア
ンプ２ｂ’で増幅され、シフトレジスタ２ｂ”のスイッ
チング動作により順次シリアルデータとして出力され
る。
ジセンサとして構成した場合のＸ線センサ２ａ及びデー
タ処理部２ｂを示す図であり、Ｘ線センサ２ａは、２５
６個の検出素子からなり、図２で示したように、シンチ
レータシート２ａ’及び２５６個のフォトダイオード２
ａ”で構成される。また、図２で示したデータ処理部２
ｂは、アンプ２ｂ’とシフトレジスタ２ｂ”から構成さ
れ、Ｘ線センサ２ａの各検出素子で得られたデータはア
ンプ２ｂ’で増幅され、シフトレジスタ２ｂ”のスイッ
チング動作により順次シリアルデータとして出力され
る。
【００１６】次に、本発明の作用を説明すると、図１に
おいて不図示の被検体がコンベヤシステム３に載置さ
れ、操作部５から検査指示が与えられると、演算制御手
段４は、Ｘ線発生部１に対してＸ線を照射させると共
に、コンベヤシステム３を駆動状態とする。そして、被
検体がラインセンサ２上を移動すると、被検体の透過デ
ータがラインセンサ２から順次演算制御手段４に送出さ
れ、当該演算制御手段４は、ラインセンサ２端部の検出
素子データを用いて残りの検出素子データのＸ線強度の
変動補正を行った後、被検体の２次元像を合成し、異物
の有無などの検査結果を２次元像と共にＴＶモニタ６に
表示する。
おいて不図示の被検体がコンベヤシステム３に載置さ
れ、操作部５から検査指示が与えられると、演算制御手
段４は、Ｘ線発生部１に対してＸ線を照射させると共
に、コンベヤシステム３を駆動状態とする。そして、被
検体がラインセンサ２上を移動すると、被検体の透過デ
ータがラインセンサ２から順次演算制御手段４に送出さ
れ、当該演算制御手段４は、ラインセンサ２端部の検出
素子データを用いて残りの検出素子データのＸ線強度の
変動補正を行った後、被検体の２次元像を合成し、異物
の有無などの検査結果を２次元像と共にＴＶモニタ６に
表示する。
【００１７】ここで、演算制御手段４でなされるＸ線変
動補正の動作を図４に基づいて説明する。
動補正の動作を図４に基づいて説明する。
【００１８】同図において、上図は、時間の経過と共に
Ｘ線強度Ｉが変動する様子を、また、中図は、各検出素
子（本実施例では全Ｎチャンネルとする）から検知デー
タが出力されるタイミングを、さらに、下図は、順次得
られたデータの時系列を示している。
Ｘ線強度Ｉが変動する様子を、また、中図は、各検出素
子（本実施例では全Ｎチャンネルとする）から検知デー
タが出力されるタイミングを、さらに、下図は、順次得
られたデータの時系列を示している。
【００１９】ここで、シフトレジスタ２ｂ”の駆動周波
数をｆとするとラインセンサ２内での最大時間遅れＴ
は、以下の式で表せる。
数をｆとするとラインセンサ２内での最大時間遅れＴ
は、以下の式で表せる。
【００２０】 Ｔ＝ラインセンサの素子数Ｎ／駆動周波数ｆ また、ラインセンサ２で得られる一ライン毎の集合デー
タ単位をフレームとし、Ｊ番目に得られる集合データ単
位をＪフレームとして、Ｊフレームにおいてラインセン
サのｍ番目のチャンネルで得られるデータをＩmjと表
す。
タ単位をフレームとし、Ｊ番目に得られる集合データ単
位をＪフレームとして、Ｊフレームにおいてラインセン
サのｍ番目のチャンネルで得られるデータをＩmjと表
す。
【００２１】このとき、ラインセンサ２の１番目のチャ
ンネルをＸ線強度の変動補正用のリファレンスチャンネ
ルとし、Ｘ線照射から積分時間を含めた各チャンネルの
データ収集が終了するまでの時間をＴint とすると、検
出データＩmjに対するＸ線強度変動補正は、次式によっ
て行うことができる。
ンネルをＸ線強度の変動補正用のリファレンスチャンネ
ルとし、Ｘ線照射から積分時間を含めた各チャンネルの
データ収集が終了するまでの時間をＴint とすると、検
出データＩmjに対するＸ線強度変動補正は、次式によっ
て行うことができる。
【００２２】Ｉ’mj＝Ｉmj／（Ｉ1,j ×（１−（ｍ−
１）／（ｆ・Ｔint ））＋Ｉ1,j+1 ×（ｍ−１）／（ｆ
・Ｔint ）） これにより、一フレーム内で無視できないＸ線の強度変
動が生じた場合であっても、同一フレーム内でＸ線の強
度変動が各チャンネル毎になされるため、アーティファ
クトの少ない良好な２次元像が得られる。
１）／（ｆ・Ｔint ））＋Ｉ1,j+1 ×（ｍ−１）／（ｆ
・Ｔint ）） これにより、一フレーム内で無視できないＸ線の強度変
動が生じた場合であっても、同一フレーム内でＸ線の強
度変動が各チャンネル毎になされるため、アーティファ
クトの少ない良好な２次元像が得られる。
【００２３】なお、上述した実施の形態では、レファレ
ンスチャンネルをラインセンサ２の１番目のチャンネル
として構成したが、被検体が通過する際に被検体に遮ら
れない数チャンネルの平均値をリファレンスデータとし
て用いても良い。また、Ｘ線照射時から積分のための待
ち時間がない場合、Ｔint ＝Ｔとなるので計算をより簡
略化できる。
ンスチャンネルをラインセンサ２の１番目のチャンネル
として構成したが、被検体が通過する際に被検体に遮ら
れない数チャンネルの平均値をリファレンスデータとし
て用いても良い。また、Ｘ線照射時から積分のための待
ち時間がない場合、Ｔint ＝Ｔとなるので計算をより簡
略化できる。
【００２４】さらに、上述した実施の形態では、本発明
をＸ線異物検査装置に実施した場合を示したが、Ｘ線撮
像装置においても同様の補正を行うことで正確なＸ線の
変動補正を行うことができる。
をＸ線異物検査装置に実施した場合を示したが、Ｘ線撮
像装置においても同様の補正を行うことで正確なＸ線の
変動補正を行うことができる。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、一フレーム内で無視で
きないＸ線強度変動が生じた場合であっても、同一フレ
ーム内でＸ線の強度変動が各チャンネル毎になされるた
め、良好なＸ線変動補正がなされる。
きないＸ線強度変動が生じた場合であっても、同一フレ
ーム内でＸ線の強度変動が各チャンネル毎になされるた
め、良好なＸ線変動補正がなされる。
【００２６】このため、アーティファクトの少ない良好
な２次元像が得られ、Ｘ線異物の検知精度が向上すると
共に、被検体の診断を高精度になしうる。
な２次元像が得られ、Ｘ線異物の検知精度が向上すると
共に、被検体の診断を高精度になしうる。
【図１】本発明にかかるＸ線検査装置の全体概略図であ
る。
る。
【図２】Ｘ線発生部及びラインセンサの概略を示す図で
ある。
ある。
【図３】ラインセンサの詳細図である。
【図４】Ｘ線変動補正の動作を示す補助図である。
１ Ｘ線発生部 ２ ラインセンサ ３ コンベヤシステム ４ 演算制御手段 ５ 操作部 ６ ＴＶモニタ
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｘ線管と、これに対向して配設され多数
の検出素子からなるラインセンサを有し、前記ラインセ
ンサと被検体とを相対的に移動させ各検出素子から得ら
れたデータから当該被検体の検査を行うＸ線検査装置に
おいて、 前記ラインセンサ端部の検出素子のデータと次時刻に当
該検出素子で得られるデータから、各検出素子毎のＸ線
検知時刻に応じた重みづけデータを求め、当該重みづけ
データにより各検出素子で得られるデータのＸ線強度の
変動補正を行う演算手段を備えたことを特徴とするＸ線
検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9011576A JPH10206350A (ja) | 1997-01-24 | 1997-01-24 | Ｘ線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9011576A JPH10206350A (ja) | 1997-01-24 | 1997-01-24 | Ｘ線検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10206350A true JPH10206350A (ja) | 1998-08-07 |
Family
ID=11781751
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9011576A Pending JPH10206350A (ja) | 1997-01-24 | 1997-01-24 | Ｘ線検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10206350A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002131247A (ja) * | 2000-10-25 | 2002-05-09 | Anritsu Corp | Ｘ線異物検出装置 |
| JP2004125715A (ja) * | 2002-10-07 | 2004-04-22 | Yamato Scale Co Ltd | Ｘ線異物検査装置の感度校正方法及び感度校正装置 |
| JP2006071423A (ja) * | 2004-09-01 | 2006-03-16 | Ishida Co Ltd | Ｘ線検査装置 |
| JP2012181028A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-20 | Yokogawa Electric Corp | 放射線検査装置 |
| JP2014145616A (ja) * | 2013-01-28 | 2014-08-14 | Ihi Inspection & Instrumentation Co Ltd | Ｘ線検査装置及び方法 |
-
1997
- 1997-01-24 JP JP9011576A patent/JPH10206350A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002131247A (ja) * | 2000-10-25 | 2002-05-09 | Anritsu Corp | Ｘ線異物検出装置 |
| JP2004125715A (ja) * | 2002-10-07 | 2004-04-22 | Yamato Scale Co Ltd | Ｘ線異物検査装置の感度校正方法及び感度校正装置 |
| JP2006071423A (ja) * | 2004-09-01 | 2006-03-16 | Ishida Co Ltd | Ｘ線検査装置 |
| JP4669250B2 (ja) * | 2004-09-01 | 2011-04-13 | 株式会社イシダ | Ｘ線検査装置 |
| JP2012181028A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-20 | Yokogawa Electric Corp | 放射線検査装置 |
| JP2014145616A (ja) * | 2013-01-28 | 2014-08-14 | Ihi Inspection & Instrumentation Co Ltd | Ｘ線検査装置及び方法 |
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