JP3308629B2 - Ｘ線ラインセンサ透視装置 - Google Patents
Ｘ線ラインセンサ透視装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線源から発生するＸ
線を被検査物に照射して、該被検査物を透過検査する非
破壊検査装置を構成するＸ線ラインセンサ透視装置に関
する。
線を被検査物に照射して、該被検査物を透過検査する非
破壊検査装置を構成するＸ線ラインセンサ透視装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】この種の従来のＸ線ラインセンサ透視装
置は、Ｘ線源からＸ線を発生し、このＸ線を被検査物に
向けて照射し、被検査物を透過したＸ線を検出し、この
検出されたＸ線透過データを収集して被検査物の透視画
像を構成し、この透視画像を表示して被検査物における
欠陥等を検査している。
置は、Ｘ線源からＸ線を発生し、このＸ線を被検査物に
向けて照射し、被検査物を透過したＸ線を検出し、この
検出されたＸ線透過データを収集して被検査物の透視画
像を構成し、この透視画像を表示して被検査物における
欠陥等を検査している。
【０００３】そして、このようなＸ線ラインセンサ透視
装置で検査される被検査物には例えば材質や厚さが異な
る種々の被検査物が含まれることは勿論のこと、同じ被
検査物であっても、例えば大きな欠陥のみを検出するた
めに大まかに検査したり、または細かい欠陥も検出する
ために精細に検査する等のように目的または被検査物に
応じた種々の検査ができることが必要である。
装置で検査される被検査物には例えば材質や厚さが異な
る種々の被検査物が含まれることは勿論のこと、同じ被
検査物であっても、例えば大きな欠陥のみを検出するた
めに大まかに検査したり、または細かい欠陥も検出する
ために精細に検査する等のように目的または被検査物に
応じた種々の検査ができることが必要である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
Ｘ線ラインセンサ透視装置では、データ収集条件はほと
んど一定条件に固定されているため、被検査物の種類や
検査目的に応じた柔軟なデータ収集条件を設定できず、
不満足な検査結果が得られる場合が生じるという問題が
ある。
Ｘ線ラインセンサ透視装置では、データ収集条件はほと
んど一定条件に固定されているため、被検査物の種類や
検査目的に応じた柔軟なデータ収集条件を設定できず、
不満足な検査結果が得られる場合が生じるという問題が
ある。
【０００５】本発明は、上記に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、被検査物、検査目的および要
求性能に応じた柔軟なデータ収集条件を設定し得るＸ線
ラインセンサ透視装置を提供することにある。
その目的とするところは、被検査物、検査目的および要
求性能に応じた柔軟なデータ収集条件を設定し得るＸ線
ラインセンサ透視装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のＸ線ライセンサ投資装置は、Ｘ線源からＸ
線を発生し、このＸ線をコリメータでファン状にコリメ
ートして搬送手段で搬送中の被検査物に向けて照射し、
被検査物を透過したＸ線をＸ線検出手段で検出し、該Ｘ
線検出手段で検出したＸ線透過データをデータ収集手段
で収集して被検査物の透視画像を得るＸ線ラインセンサ
透視装置であって、前記搬送手段の搬送速度ｖ、データ
収集ピッチＰ、データ収集手段における１画素または１
ライン当たりの信号積分時間Ｔのうちいずれの条件も指
定可能となっている条件指定手段と、搬送速度ｖおよび
１画素または１ライン当たりの信号積分時間Ｔが指定さ
れた場合に、前記指定された搬送速度ｖ、前記指定され
た１画素または１ライン当たりの信号積分時間Ｔ、およ
び前記指定された搬送速度ｖと信号積分時間Ｔを用いて
式Ｐ＝ｖ・Ｔで計算されるデータ収集ピッチＰにしたが
って、前記搬送手段と前記データ収集手段を制御し、搬
送速度ｖおよびデータ収集ピッチＰが指定された場合
に、前記指定された搬送速度ｖ、前記指定されたデータ
収集ピッチＰ、および前記指定された搬送速度ｖとデー
タ収集ピッチＰを用いて式Ｔ＝Ｐ／ｖで計算される１画
素または１ライン当たりの信号積分時間Ｔにしたがっ
て、前記搬送手段と前記データ収集手段を制御し、デー
タ収集ピッチＰおよび１画素または１ライン当たりの信
号積分時間Ｔが指定された場合に、前記指定されたデー
タ収集ピッチＰ、前記指定された１画素または１ライン
当たりの信号積分時間Ｔ、および前記指定されたデータ
収集ピッチＰと信号積分時間Ｔを用いて式ｖ＝Ｐ／Ｔで
計算される搬送速度ｖにしたがって、前記搬送手段と前
記データ収集手段を制御する制御手段と、を有すること
を要旨とする。
め、本発明のＸ線ライセンサ投資装置は、Ｘ線源からＸ
線を発生し、このＸ線をコリメータでファン状にコリメ
ートして搬送手段で搬送中の被検査物に向けて照射し、
被検査物を透過したＸ線をＸ線検出手段で検出し、該Ｘ
線検出手段で検出したＸ線透過データをデータ収集手段
で収集して被検査物の透視画像を得るＸ線ラインセンサ
透視装置であって、前記搬送手段の搬送速度ｖ、データ
収集ピッチＰ、データ収集手段における１画素または１
ライン当たりの信号積分時間Ｔのうちいずれの条件も指
定可能となっている条件指定手段と、搬送速度ｖおよび
１画素または１ライン当たりの信号積分時間Ｔが指定さ
れた場合に、前記指定された搬送速度ｖ、前記指定され
た１画素または１ライン当たりの信号積分時間Ｔ、およ
び前記指定された搬送速度ｖと信号積分時間Ｔを用いて
式Ｐ＝ｖ・Ｔで計算されるデータ収集ピッチＰにしたが
って、前記搬送手段と前記データ収集手段を制御し、搬
送速度ｖおよびデータ収集ピッチＰが指定された場合
に、前記指定された搬送速度ｖ、前記指定されたデータ
収集ピッチＰ、および前記指定された搬送速度ｖとデー
タ収集ピッチＰを用いて式Ｔ＝Ｐ／ｖで計算される１画
素または１ライン当たりの信号積分時間Ｔにしたがっ
て、前記搬送手段と前記データ収集手段を制御し、デー
タ収集ピッチＰおよび１画素または１ライン当たりの信
号積分時間Ｔが指定された場合に、前記指定されたデー
タ収集ピッチＰ、前記指定された１画素または１ライン
当たりの信号積分時間Ｔ、および前記指定されたデータ
収集ピッチＰと信号積分時間Ｔを用いて式ｖ＝Ｐ／Ｔで
計算される搬送速度ｖにしたがって、前記搬送手段と前
記データ収集手段を制御する制御手段と、を有すること
を要旨とする。
【０００７】また、本発明のＸ線ラインセンサ透視装置
は、上記Ｘ線ラインセンサ透視装置において、前記コリ
メータの開口幅ｗを変更する変更手段を有し、前記制御
手段は、データ収集ピッチＰが指定された場合に、指定
されたデータ収集ピッチＰを用いて式ＢＷ＝２・Ｐによ
りＸ線ビーム半値幅ＢＷを計算し、搬送速度ｖおよび１
画素または１ライン当たりの信号積分時間Ｔが指定され
た場合に、指定された搬送速度ｖおよび信号積分時間Ｔ
を用いて式ＢＷ＝２・ｖ・ＴによりＸ線ビーム半値幅Ｂ
Ｗを計算し、前記被検査物の位置におけるファン状のＸ
線の幅が、計算したＸ線ビーム半値幅ＢＷとなるように
前記変更手段を制御することを要旨とする。
は、上記Ｘ線ラインセンサ透視装置において、前記コリ
メータの開口幅ｗを変更する変更手段を有し、前記制御
手段は、データ収集ピッチＰが指定された場合に、指定
されたデータ収集ピッチＰを用いて式ＢＷ＝２・Ｐによ
りＸ線ビーム半値幅ＢＷを計算し、搬送速度ｖおよび１
画素または１ライン当たりの信号積分時間Ｔが指定され
た場合に、指定された搬送速度ｖおよび信号積分時間Ｔ
を用いて式ＢＷ＝２・ｖ・ＴによりＸ線ビーム半値幅Ｂ
Ｗを計算し、前記被検査物の位置におけるファン状のＸ
線の幅が、計算したＸ線ビーム半値幅ＢＷとなるように
前記変更手段を制御することを要旨とする。
【０００８】更に、本発明のＸ線ラインセンサ透視装置
は、上記Ｘ線ラインセンサ透視装置において、前記条件
指定手段は、前記コリメータの開口幅ｗについても指定
可能となっており、前記制御手段は、コリメータ開口幅
ｗが指定された場合に、前記被検査物の位置におけるフ
ァン状のＸ線の幅が、指定されたコリメータ開口幅ｗを
用いて計算されるＸ線ビーム半値幅ＢＷとなるように前
記変更手段を制御するとともに、コリメータ開口幅ｗお
よび搬送速度ｖが指定された場合に、指定されたコリメ
ータ開口幅ｗを用いて計算されるＸ線ビーム半値幅ＢＷ
および指定された搬送速度ｖを用いて式Ｔ＝ＢＷ／（２
・ｖ）で計算される１画素または１ライン当たりの信号
積分時間Ｔと指定された搬送速度ｖに従って前記搬送手
段と前記データ収集手段をそれぞれ制御し、コリメータ
開口幅ｗおよび１画素または１ライン当たりの信号積分
時間Ｔが指定された場合に、指定されたコリメータ開口
幅ｗを用いて計算されるＸ線ビーム半値幅ＢＷおよび指
定された信号積分時間Ｔを用いて式ｖ＝ＢＷ／（２・
Ｔ）で計算される搬送速度ｖと指定された信号積分時間
Ｔに従って前記搬送手段と前記データ収集手段をそれぞ
れ制御することを要旨とする。
は、上記Ｘ線ラインセンサ透視装置において、前記条件
指定手段は、前記コリメータの開口幅ｗについても指定
可能となっており、前記制御手段は、コリメータ開口幅
ｗが指定された場合に、前記被検査物の位置におけるフ
ァン状のＸ線の幅が、指定されたコリメータ開口幅ｗを
用いて計算されるＸ線ビーム半値幅ＢＷとなるように前
記変更手段を制御するとともに、コリメータ開口幅ｗお
よび搬送速度ｖが指定された場合に、指定されたコリメ
ータ開口幅ｗを用いて計算されるＸ線ビーム半値幅ＢＷ
および指定された搬送速度ｖを用いて式Ｔ＝ＢＷ／（２
・ｖ）で計算される１画素または１ライン当たりの信号
積分時間Ｔと指定された搬送速度ｖに従って前記搬送手
段と前記データ収集手段をそれぞれ制御し、コリメータ
開口幅ｗおよび１画素または１ライン当たりの信号積分
時間Ｔが指定された場合に、指定されたコリメータ開口
幅ｗを用いて計算されるＸ線ビーム半値幅ＢＷおよび指
定された信号積分時間Ｔを用いて式ｖ＝ＢＷ／（２・
Ｔ）で計算される搬送速度ｖと指定された信号積分時間
Ｔに従って前記搬送手段と前記データ収集手段をそれぞ
れ制御することを要旨とする。
【０００９】また更に、本発明のＸ線ラインセンサ透視
装置は、上記Ｘ線ラインセンサ透視装置において、前記
条件指定手段は、前記Ｘ線ビーム半値幅ＢＷについても
指定可能となっており、前記制御手段は、Ｘ線ビーム半
値幅ＢＷが指定された場合に、前記被検査物の位置にお
けるファン状のＸ線の幅が、指定されたＸ線ビーム半値
幅ＢＷとなるように前記変更手段を制御するとともに、
Ｘ線ビーム半値幅ＢＷおよび搬送速度ｖが指定された場
合に、指定されたＸ線ビーム半値幅ＢＷおよび搬送速度
ｖを用いて式Ｔ＝ＢＷ／（２・ｖ）で計算される１画素
または１ライン当たりの信号積分時間Ｔと指定された搬
送速度ｖに従って前記搬送手段と前記データ収集手段を
それぞれ制御し、Ｘ線ビーム半値幅ＢＷおよび１画素ま
たは１ライン当たりの信号積分時間Ｔが指定された場合
に、指定されたＸ線ビーム半値幅ＢＷおよび信号積分時
間Ｔを用いて式ｖ＝ＢＷ／（２・Ｔ）で計算される搬送
速度ｖと指定された信号積分時間Ｔに従って前記搬送手
段と前記データ収集手段をそれぞれ制御することを要旨
とする。
装置は、上記Ｘ線ラインセンサ透視装置において、前記
条件指定手段は、前記Ｘ線ビーム半値幅ＢＷについても
指定可能となっており、前記制御手段は、Ｘ線ビーム半
値幅ＢＷが指定された場合に、前記被検査物の位置にお
けるファン状のＸ線の幅が、指定されたＸ線ビーム半値
幅ＢＷとなるように前記変更手段を制御するとともに、
Ｘ線ビーム半値幅ＢＷおよび搬送速度ｖが指定された場
合に、指定されたＸ線ビーム半値幅ＢＷおよび搬送速度
ｖを用いて式Ｔ＝ＢＷ／（２・ｖ）で計算される１画素
または１ライン当たりの信号積分時間Ｔと指定された搬
送速度ｖに従って前記搬送手段と前記データ収集手段を
それぞれ制御し、Ｘ線ビーム半値幅ＢＷおよび１画素ま
たは１ライン当たりの信号積分時間Ｔが指定された場合
に、指定されたＸ線ビーム半値幅ＢＷおよび信号積分時
間Ｔを用いて式ｖ＝ＢＷ／（２・Ｔ）で計算される搬送
速度ｖと指定された信号積分時間Ｔに従って前記搬送手
段と前記データ収集手段をそれぞれ制御することを要旨
とする。
【００１０】
【作用】本発明のＸ線ライセンサ透視装置では、搬送速
度、信号積分時間、データ収集ピッチのいずれの条件も
指定可能になっている。操作者が、これらの条件のうち
の任意の２条件を指定すると、制御手段により残りの２
条件が算出され、この条件を満足するように搬送手段と
データ収集手段が制御される。
度、信号積分時間、データ収集ピッチのいずれの条件も
指定可能になっている。操作者が、これらの条件のうち
の任意の２条件を指定すると、制御手段により残りの２
条件が算出され、この条件を満足するように搬送手段と
データ収集手段が制御される。
【００１１】さらに、制御手段により被検査物の位置で
のファン状（扇状）Ｘ線の幅ＢＷが算出され、この幅と
なるようにコリメータの開口幅ｗが制御される。
のファン状（扇状）Ｘ線の幅ＢＷが算出され、この幅と
なるようにコリメータの開口幅ｗが制御される。
【００１２】さらに、ファン状Ｘ線の幅ＢＷも指定可能
になっており、操作者がこの条件を含む４条件のうちの
２条件を指定すると、制御手段により残りの条件が算出
され、この条件を満足するように搬送手段とデータ収集
手段が制御される。
になっており、操作者がこの条件を含む４条件のうちの
２条件を指定すると、制御手段により残りの条件が算出
され、この条件を満足するように搬送手段とデータ収集
手段が制御される。
【００１３】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。
る。
【００１４】図１は、本発明の一実施例に係わるＸ線ラ
インセンサ透視装置の構成を示すブロック図である。同
図に示すＸ線ラインセンサ透視装置を説明する前に、ま
ず本Ｘ線ラインセンサ透視装置に対する基本概念を説明
する。
インセンサ透視装置の構成を示すブロック図である。同
図に示すＸ線ラインセンサ透視装置を説明する前に、ま
ず本Ｘ線ラインセンサ透視装置に対する基本概念を説明
する。
【００１５】上述したように、種々の被検査物および種
々の検査目的または要求性能に対応し得るためには、空
間分解能、コントラスト分解能（階調分解能）、検査速
度を設定する必要がある。また、Ｘ線ラインセンサ透視
装置で使用されるＸ線発生装置およびＸ線検出器が決ま
っている場合には、上述した各々の性能諸元は次のよう
な対応となる。
々の検査目的または要求性能に対応し得るためには、空
間分解能、コントラスト分解能（階調分解能）、検査速
度を設定する必要がある。また、Ｘ線ラインセンサ透視
装置で使用されるＸ線発生装置およびＸ線検出器が決ま
っている場合には、上述した各々の性能諸元は次のよう
な対応となる。
【００１６】（１）空間分解能：データ収集ピッチ、Ｘ
線ファンビーム厚方向のコリメータ開口寸法、Ｘ線ジオ
メトリ； （２）コントラスト分解能：管電圧、管電流、Ｘ線フォ
トン数、センサ積分時間； （３）検査速度：データ収集ピッチ、センサ積分時間 なお、Ｘ線ジオメトリはＸ線源、被検査物、ラインセン
サの相互位置関係で構成され、検出器の素子の並び方向
のＸ線拡大率はこのジオメトリによって決まる。
線ファンビーム厚方向のコリメータ開口寸法、Ｘ線ジオ
メトリ； （２）コントラスト分解能：管電圧、管電流、Ｘ線フォ
トン数、センサ積分時間； （３）検査速度：データ収集ピッチ、センサ積分時間 なお、Ｘ線ジオメトリはＸ線源、被検査物、ラインセン
サの相互位置関係で構成され、検出器の素子の並び方向
のＸ線拡大率はこのジオメトリによって決まる。
【００１７】ここで、検査速度ｖ、データ収集ピッチ
Ｐ、搬送方向のＸ線ビーム半値幅ＢＷ（Ｘ線ジオメトリ
とコリメータ開口ｗによって決まる）、積分時間Ｔの間
には、各々次のような関係がある。
Ｐ、搬送方向のＸ線ビーム半値幅ＢＷ（Ｘ線ジオメトリ
とコリメータ開口ｗによって決まる）、積分時間Ｔの間
には、各々次のような関係がある。
【００１８】 Ｐ＝ＢＷ／２ （１） これは、空間分解能を低下させないで効率よくデータ収
集を行うサンプリング定理である。
集を行うサンプリング定理である。
【００１９】 ＢＷ＝２Ｐ （２） Ｔ＝Ｐ／ｖ （３） ｖ＝Ｐ／Ｔ （４） Ｐ＝ｖ・Ｔ （５） ここで、積分時間Ｔは１画素当りまたは１ライン当りの
信号積分時間を示す。Ｘ線ビーム半値幅ＢＷはコリメー
タ開口ｗにより次式で計算される。
信号積分時間を示す。Ｘ線ビーム半値幅ＢＷはコリメー
タ開口ｗにより次式で計算される。
【００２０】
【数１】 ＢＷ＝（Ｘ線焦点−被検査物間距離） ／（Ｘ線焦点−コリメータ間距離）×ｗ （６） ｗ＝（Ｘ線焦点−コリメータ間距離） ／（Ｘ線焦点−被検査物間距離）×ＢＷ （７） 次に、図１に示すＸ線ラインセンサ透視装置の構成を説
明する。
明する。
【００２１】図１に示すＸ線ラインセンサ透視装置は、
Ｘ線を発生するＸ線発生器１を有し、このＸ線発生器１
から発生したＸ線はコリメータ２によってファンビーム
に絞られ、搬送装置のベルト４２上の図示しない被検査
物を透過し、一次元の広がりを有するラインセンサであ
る検出器３によって検出され、電気信号に変換される。
Ｘ線を発生するＸ線発生器１を有し、このＸ線発生器１
から発生したＸ線はコリメータ２によってファンビーム
に絞られ、搬送装置のベルト４２上の図示しない被検査
物を透過し、一次元の広がりを有するラインセンサであ
る検出器３によって検出され、電気信号に変換される。
【００２２】コリメータ２と検出器３との間のベルト上
に載置された図示しない被検査物は、ベルト４２が搬送
駆動部４によって回転駆動されることによりＸ線ファン
ビームを横切るように移動する。
に載置された図示しない被検査物は、ベルト４２が搬送
駆動部４によって回転駆動されることによりＸ線ファン
ビームを横切るように移動する。
【００２３】Ｘ線発生器１はＸ線制御部１１を介して制
御部１２に接続され、コリメータ２はコリメータ駆動部
２１およびコリメータ制御部２２を介して制御部１２に
接続され、検出器３はデータ収集部３１を介して制御部
１２に接続され、搬送駆動部４は搬送制御部４１を介し
て制御部１２に接続され、そして制御部１２はデータ収
集条件指定部１３に接続されている。この結果、Ｘ線発
生器１、コリメータ２、検出器３、搬送駆動部４の各部
はそれぞれＸ線制御部１１、コリメータ駆動部２１およ
びコリメータ制御部２２、データ収集部３１、搬送制御
部４１および制御部１２を介してデータ収集条件指定部
１３から指定されるデータ収集条件に設定されるように
なっている。
御部１２に接続され、コリメータ２はコリメータ駆動部
２１およびコリメータ制御部２２を介して制御部１２に
接続され、検出器３はデータ収集部３１を介して制御部
１２に接続され、搬送駆動部４は搬送制御部４１を介し
て制御部１２に接続され、そして制御部１２はデータ収
集条件指定部１３に接続されている。この結果、Ｘ線発
生器１、コリメータ２、検出器３、搬送駆動部４の各部
はそれぞれＸ線制御部１１、コリメータ駆動部２１およ
びコリメータ制御部２２、データ収集部３１、搬送制御
部４１および制御部１２を介してデータ収集条件指定部
１３から指定されるデータ収集条件に設定されるように
なっている。
【００２４】すなわち、前記Ｘ線発生器１はデータ収集
条件指定部１３から指定されるデータ収集条件に基づく
制御部１２およびＸ線制御部１１を介した制御によりＸ
線出力条件が制御される。
条件指定部１３から指定されるデータ収集条件に基づく
制御部１２およびＸ線制御部１１を介した制御によりＸ
線出力条件が制御される。
【００２５】前記コリメータ２は、データ収集条件指定
部１３から指定されるデータ収集条件に基づいて制御部
１２、コリメータ制御部２２およびコリメータ駆動部２
１によりコリメータ開口部が制御され、その開口寸法が
決められるようになっている。
部１３から指定されるデータ収集条件に基づいて制御部
１２、コリメータ制御部２２およびコリメータ駆動部２
１によりコリメータ開口部が制御され、その開口寸法が
決められるようになっている。
【００２６】また、前記検出器３によって検出された被
検査物を透過したＸ線透過データは、データ収集部（Ｄ
ＡＳ）３１で収集され、ここで積分、電流電圧変換、Ａ
Ｄ変換を受け、中央制御装置５のＤＡＳインタフェース
（ＤＡＳＩ／Ｆ）５５、データバス６０を介してデータ
メモリ（Ｍ）５６に記憶される。データ収集部３１は制
御部１２を介してデータ収集条件指定部１３からのデー
タ収集条件に基づいて収集タイミングパルスが制御され
る。
検査物を透過したＸ線透過データは、データ収集部（Ｄ
ＡＳ）３１で収集され、ここで積分、電流電圧変換、Ａ
Ｄ変換を受け、中央制御装置５のＤＡＳインタフェース
（ＤＡＳＩ／Ｆ）５５、データバス６０を介してデータ
メモリ（Ｍ）５６に記憶される。データ収集部３１は制
御部１２を介してデータ収集条件指定部１３からのデー
タ収集条件に基づいて収集タイミングパルスが制御され
る。
【００２７】前記搬送駆動部４は、制御部１２および搬
送制御部４１を介してデータ収集条件指定部１３からの
データ収集条件に基づいて搬送速度等を制御される。
送制御部４１を介してデータ収集条件指定部１３からの
データ収集条件に基づいて搬送速度等を制御される。
【００２８】なお、制御部１２は、データ収集条件指定
部１３によって指定されたデータ収集条件を記憶するメ
モリ１２ａを有している。
部１３によって指定されたデータ収集条件を記憶するメ
モリ１２ａを有している。
【００２９】また、データ収集条件指定部１３は、制御
部１２を介して中央制御装置５に接続され、中央制御装
置５のＩ／Ｏインタフェース５４、システムバス５９を
介してＣＰＵ５１に接続されている。
部１２を介して中央制御装置５に接続され、中央制御装
置５のＩ／Ｏインタフェース５４、システムバス５９を
介してＣＰＵ５１に接続されている。
【００３０】中央制御装置５は、ＣＰＵ５１、外部記憶
装置５２、ＤＡＳインタフェース５５、データメモリ５
６、データ処理部５７、ディスプレイインタフェース５
８、Ｉ／Ｏインタフェース５４、バスインタフェース５
３を有し、得られた被検査物の透視画像はディスプレイ
インタフェース５８を介してＣＲＴディスプレイ６に供
給され表示される。また、データは記憶装置５２に記憶
できるようになっている。
装置５２、ＤＡＳインタフェース５５、データメモリ５
６、データ処理部５７、ディスプレイインタフェース５
８、Ｉ／Ｏインタフェース５４、バスインタフェース５
３を有し、得られた被検査物の透視画像はディスプレイ
インタフェース５８を介してＣＲＴディスプレイ６に供
給され表示される。また、データは記憶装置５２に記憶
できるようになっている。
【００３１】次に、図２を参照して、データ収集条件指
定部１３によるデータ収集条件の指定処理について説明
する。図示しない操作パネルのスイッチ等を使用して、
操作者がデータ収集条件を指定すると、このデータ収集
条件はコード化された信号としてデータ収集条件指定部
１３から制御部１２に供給される（ステップ１１０）。
制御部１２はこのコード信号をメモリ１２ａのアドレス
としてデコードし、これによりメモリ１２ａから前記デ
ータ収集条件に対応するＸ線条件、コリメータ開口寸
法、データ収集周期、搬送速度等が読み出される（ステ
ップ１２０）。
定部１３によるデータ収集条件の指定処理について説明
する。図示しない操作パネルのスイッチ等を使用して、
操作者がデータ収集条件を指定すると、このデータ収集
条件はコード化された信号としてデータ収集条件指定部
１３から制御部１２に供給される（ステップ１１０）。
制御部１２はこのコード信号をメモリ１２ａのアドレス
としてデコードし、これによりメモリ１２ａから前記デ
ータ収集条件に対応するＸ線条件、コリメータ開口寸
法、データ収集周期、搬送速度等が読み出される（ステ
ップ１２０）。
【００３２】この読み出されたデータ収集条件のうち、
Ｘ線条件は制御部１２からＸ線制御部１１に供給され、
Ｘ線制御部１１の制御によりＸ線発生器１に設定される
（ステップ１３０，１８０）。また、コリメータ開口寸
法は制御部１２からコリメータ制御部２２に供給され、
コリメータ制御部２２はコリメータ駆動部２１を介して
コリメータ２の開口寸法を制御する（ステップ１４０，
１９０）。データ収集周期は制御部１２からデータ収集
部３１に供給され、データ収集部３１は検出器３からの
データ収集周期を制御し、データ収集処理を開始する
（ステップ１５０，２００）。搬送速度は制御部１２か
ら搬送制御部４１に供給され、搬送制御部４１は搬送駆
動部４を介してベルト４２の搬送速度を制御する（ステ
ップ１６０，２１０）。また、条件名が制御部１２から
Ｉ／Ｏインタフェース５４、システムバス５９を介して
ＣＰＵ５１に供給され、画像作成時のデータ処理条件と
して使用される（画素修正、縮尺作成等）。条件名は検
査されるものの品名やコード番号、アルファベットや各
条件の実際の設定値等である。
Ｘ線条件は制御部１２からＸ線制御部１１に供給され、
Ｘ線制御部１１の制御によりＸ線発生器１に設定される
（ステップ１３０，１８０）。また、コリメータ開口寸
法は制御部１２からコリメータ制御部２２に供給され、
コリメータ制御部２２はコリメータ駆動部２１を介して
コリメータ２の開口寸法を制御する（ステップ１４０，
１９０）。データ収集周期は制御部１２からデータ収集
部３１に供給され、データ収集部３１は検出器３からの
データ収集周期を制御し、データ収集処理を開始する
（ステップ１５０，２００）。搬送速度は制御部１２か
ら搬送制御部４１に供給され、搬送制御部４１は搬送駆
動部４を介してベルト４２の搬送速度を制御する（ステ
ップ１６０，２１０）。また、条件名が制御部１２から
Ｉ／Ｏインタフェース５４、システムバス５９を介して
ＣＰＵ５１に供給され、画像作成時のデータ処理条件と
して使用される（画素修正、縮尺作成等）。条件名は検
査されるものの品名やコード番号、アルファベットや各
条件の実際の設定値等である。
【００３３】次に、図３に示すフローチャートを参照し
て、データ収集条件の演算方式について説明する。
て、データ収集条件の演算方式について説明する。
【００３４】上述したように、検査速度ｖ、データ収集
ピッチＰ、コリメータ開口ｗおよび積分時間Ｔの間には
式（１）〜（７）に示した関係があるので、検査速度
ｖ、データ収集ピッチＰ、積分時間Ｔのうち２条件を指
定することにより柔軟にデータ収集条件を割り出すこと
ができる。
ピッチＰ、コリメータ開口ｗおよび積分時間Ｔの間には
式（１）〜（７）に示した関係があるので、検査速度
ｖ、データ収集ピッチＰ、積分時間Ｔのうち２条件を指
定することにより柔軟にデータ収集条件を割り出すこと
ができる。
【００３５】すなわち、図３において、検査速度ｖおよ
びデータ収集ピッチＰを指定すると（ステップ３１０，
３２０）、式（３），（２），（７）を使用して演算を
行い（ステップ３４０）、積分時間Ｔおよびコリメータ
開口ｗが算出される（ステップ３５０，３６０）。
びデータ収集ピッチＰを指定すると（ステップ３１０，
３２０）、式（３），（２），（７）を使用して演算を
行い（ステップ３４０）、積分時間Ｔおよびコリメータ
開口ｗが算出される（ステップ３５０，３６０）。
【００３６】また、データ収集ピッチＰおよび積分時間
Ｔを指定すると（ステップ３２０，３３０）、式
（２），（７），（４）を使用して演算を行い（ステッ
プ３７０）、コリメータ開口ｗおよび検査速度ｖが算出
される（ステップ３８０，３９０）。
Ｔを指定すると（ステップ３２０，３３０）、式
（２），（７），（４）を使用して演算を行い（ステッ
プ３７０）、コリメータ開口ｗおよび検査速度ｖが算出
される（ステップ３８０，３９０）。
【００３７】同様に、検査速度ｖおよび積分時間Ｔを指
定すると（ステップ３１０，３３０）、式（５），
（２），（７）を使用して演算を行い（ステップ４１
０）、データ収集ピッチＰおよびコリメータ開口ｗが算
出される（ステップ４２０，４３０）。
定すると（ステップ３１０，３３０）、式（５），
（２），（７）を使用して演算を行い（ステップ４１
０）、データ収集ピッチＰおよびコリメータ開口ｗが算
出される（ステップ４２０，４３０）。
【００３８】以上のように算出された収集条件データは
制御部１２からＸ線制御部１１、コリメータ制御部２
２、データ収集部３１、搬送制御部４１に供給され、上
述したように各条件が設定される。なお、上述した演算
は中央制御装置５のＣＰＵ５１またはデータ処理部５７
へＣＰＵ５１から演算式をロードして演算される。制御
部１２と中央制御装置５との間の通信はシリアルＩ／Ｏ
インタフェース５４を通じて行われる。
制御部１２からＸ線制御部１１、コリメータ制御部２
２、データ収集部３１、搬送制御部４１に供給され、上
述したように各条件が設定される。なお、上述した演算
は中央制御装置５のＣＰＵ５１またはデータ処理部５７
へＣＰＵ５１から演算式をロードして演算される。制御
部１２と中央制御装置５との間の通信はシリアルＩ／Ｏ
インタフェース５４を通じて行われる。
【００３９】次に、図４に示すフローチャートを参照し
て、要求される欠陥検出能力からデータ収集条件を決定
する処理について説明する。
て、要求される欠陥検出能力からデータ収集条件を決定
する処理について説明する。
【００４０】図４において、まず被検査物の材質、材厚
（複数の場合もある）、欠陥種（または欠陥の存在する
材質）、欠陥寸法、Ｘ線条件がパラメータとして与えら
れる（ステップ５１０〜５４０）。前述した式（２），
（７）を使用して、欠陥寸法からデータ収集ピッチＰ1
（欠陥寸法の１／２以下）およびコリメータ開口ｗ1が
決定され（ステップ５５０）、それから規準データ収集
条件である検査速度ｖ1 または積分時間Ｔ1 を条件とし
て採用する（ステップ５６０）。
（複数の場合もある）、欠陥種（または欠陥の存在する
材質）、欠陥寸法、Ｘ線条件がパラメータとして与えら
れる（ステップ５１０〜５４０）。前述した式（２），
（７）を使用して、欠陥寸法からデータ収集ピッチＰ1
（欠陥寸法の１／２以下）およびコリメータ開口ｗ1が
決定され（ステップ５５０）、それから規準データ収集
条件である検査速度ｖ1 または積分時間Ｔ1 を条件とし
て採用する（ステップ５６０）。
【００４１】次に、背景部演算および欠陥部演算を行っ
て、Ｘ線透過量ＩおよびＩd をそれぞれ算出する（ステ
ップ５７０，５８０）。なお、規準データである検査速
度ｖ1 または積分時間Ｔ1 は経験的な値を採用してもよ
い。
て、Ｘ線透過量ＩおよびＩd をそれぞれ算出する（ステ
ップ５７０，５８０）。なお、規準データである検査速
度ｖ1 または積分時間Ｔ1 は経験的な値を採用してもよ
い。
【００４２】それから、画像のＳＮ比をＸ線フォトン数
に基づいて次式により算出する（ステップ５９０）。
に基づいて次式により算出する（ステップ５９０）。
【００４３】
【数２】 ＳＮ比＝［測定Ｘ線フォトン数（１ch，１サンプリング）］1/2 （８） 次に、欠陥として検出するために必要な必要ＳＮ比を次
式により計算する（ステップ６００）。
式により計算する（ステップ６００）。
【００４４】
【数３】 必要ＳＮ比＝η／［欠陥コントラスト・（欠陥画素数）1/2 ］ （９） ここで、ηは判定係数であり、３〜７の値が使用され
る。
る。
【００４５】それから、必要ＳＮ比とＳＮ比との比の２
乗を求め、この値がＸ線増量ファクタとなる。
乗を求め、この値がＸ線増量ファクタとなる。
【００４６】
【数４】 Ｘ線増量ファクタ＝（必要ＳＮ比／ＳＮ比）2 （10） そして、上述した計算で使用したデータ収集条件を修正
して条件を決定する。検査速度ｖおよび積分時間Ｔは次
のように修正される。
して条件を決定する。検査速度ｖおよび積分時間Ｔは次
のように修正される。
【００４７】 Ｔ＝Ｘ線増量ファクタ・Ｔ （11） ｖ＝Ｐ／（Ｔ1 ・Ｘ線増量ファクタ） （12） このようにして、データ収集ピッチＰ、コリメータ開口
ｗ、検査速度ｖ、積分時間Ｔのデータ収集条件が決定さ
れ指定される（ステップ６１０，６２０）。なお、上述
した演算はＣＰＵ５１またはデータ処理部５７で行われ
る。
ｗ、検査速度ｖ、積分時間Ｔのデータ収集条件が決定さ
れ指定される（ステップ６１０，６２０）。なお、上述
した演算はＣＰＵ５１またはデータ処理部５７で行われ
る。
【００４８】以上説明したように、本実施例では、デー
タ収集条件の設定時、独立パラメータを任意に設定で
き、他の従属パラメータはそれに合わせて自動設定され
るので、柔軟な条件設定ができるとともに簡単に設定す
ることができる。
タ収集条件の設定時、独立パラメータを任意に設定で
き、他の従属パラメータはそれに合わせて自動設定され
るので、柔軟な条件設定ができるとともに簡単に設定す
ることができる。
【００４９】本実施例では、欠陥種、検出目標欠陥寸
法、被検査物の材質、材厚等をパラメータとして入力
し、データ収集条件を設定できるため、操作者の経験や
感覚によることなく、すなわち個人差なく、簡単に被検
査物に合ったデータ収集条件を設定することができる。
法、被検査物の材質、材厚等をパラメータとして入力
し、データ収集条件を設定できるため、操作者の経験や
感覚によることなく、すなわち個人差なく、簡単に被検
査物に合ったデータ収集条件を設定することができる。
【００５０】また、他の実施例として、図３において独
立パラメータとして、コリメータ開口ｗまたはＸ線ビー
ム半値幅ＢＷを加えることができる。この場合には、パ
ラメータの選択は更に検査速度ｖとコリメータ開口ｗ、
積分時間Ｔとコリメータ開口ｗの２通りが追加されるこ
とになる。
立パラメータとして、コリメータ開口ｗまたはＸ線ビー
ム半値幅ＢＷを加えることができる。この場合には、パ
ラメータの選択は更に検査速度ｖとコリメータ開口ｗ、
積分時間Ｔとコリメータ開口ｗの２通りが追加されるこ
とになる。
【００５１】また更に、別の実施例として、データ収集
条件に検出器３が飽和しないための条件を加えることが
でき、この場合の条件は次式で表される。
条件に検出器３が飽和しないための条件を加えることが
でき、この場合の条件は次式で表される。
【００５２】 ｗ・Ｔ≦ＦＤＤ／（α・ＶK ・Ａ） （13） ここで、ｗはコリメータ開口、Ｔは積分時間である。右
辺はＸ線条件およびＸ線ジオメトリで決まる定数であ
り、αは飽和定数、ｖは管電圧、Ａは管電流、ＦＤＤは
Ｘ線焦点と検出器３との間の距離である。ｋはＸ線強度
と管電圧の間の関係を示す乗数であり、通常は２〜２．
５の値を用いる。飽和定数αは検出器の飽和レベル、管
電圧、被検査物の材質、および検査する部位の透過厚に
よって計算される値である。
辺はＸ線条件およびＸ線ジオメトリで決まる定数であ
り、αは飽和定数、ｖは管電圧、Ａは管電流、ＦＤＤは
Ｘ線焦点と検出器３との間の距離である。ｋはＸ線強度
と管電圧の間の関係を示す乗数であり、通常は２〜２．
５の値を用いる。飽和定数αは検出器の飽和レベル、管
電圧、被検査物の材質、および検査する部位の透過厚に
よって計算される値である。
【００５３】また、コリメータ開口ｗまたは積分時間Ｔ
を算出する場合に式（１３）に合致しない場合、データ
収集条件指定部１３に検出器飽和の表示を行い、操作者
の注意を促す。また、式（１３）を満たす最大のコリメ
ータ開口ｗまたは積分時間Ｔを設定する。
を算出する場合に式（１３）に合致しない場合、データ
収集条件指定部１３に検出器飽和の表示を行い、操作者
の注意を促す。また、式（１３）を満たす最大のコリメ
ータ開口ｗまたは積分時間Ｔを設定する。
【００５４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
搬送速度、データ収集ピッチ、積分時間からなる３条件
のうちのいずれか２条件が指定された場合に、この指定
された２条件から残りの１条件を算出し、該３条件を満
足するように制御しているので、データ収集条件の設定
が簡単であり、柔軟な条件設定が可能である。
搬送速度、データ収集ピッチ、積分時間からなる３条件
のうちのいずれか２条件が指定された場合に、この指定
された２条件から残りの１条件を算出し、該３条件を満
足するように制御しているので、データ収集条件の設定
が簡単であり、柔軟な条件設定が可能である。
【００５５】また、本発明のＸ線ラインセンサ透視装置
では、検査速度、データ収集ピッチ、積分時間およびコ
リメータ開口幅からなる４条件のうちのいずれか２条件
が指定された場合に、この指定された２条件から残りの
２条件を算出し、該４条件を満足するように制御してい
るので、データ収集条件の設定が簡単であり、柔軟な条
件設定が可能である。
では、検査速度、データ収集ピッチ、積分時間およびコ
リメータ開口幅からなる４条件のうちのいずれか２条件
が指定された場合に、この指定された２条件から残りの
２条件を算出し、該４条件を満足するように制御してい
るので、データ収集条件の設定が簡単であり、柔軟な条
件設定が可能である。
【００５６】また、検査速度、データ収集ピッチ、積分
時間およびＸ線ビーム半値幅からなる４条件のうちのい
ずれか２条件が指定された場合に、この指定された２条
件から残りの２条件を算出し、該４条件を満足するよう
に制御しているので、データ収集条件の設定が簡単であ
り、柔軟な条件設定が可能である。
時間およびＸ線ビーム半値幅からなる４条件のうちのい
ずれか２条件が指定された場合に、この指定された２条
件から残りの２条件を算出し、該４条件を満足するよう
に制御しているので、データ収集条件の設定が簡単であ
り、柔軟な条件設定が可能である。
【図１】本発明の一実施例に係わるＸ線ラインセンサ透
視装置の構成を示すブロック図である。
視装置の構成を示すブロック図である。
【図２】図１に示すＸ線ラインセンサ透視装置に使用さ
れているデータ収集条件指定部によるデータ収集条件の
指定処理を示すフローチャートである。
れているデータ収集条件指定部によるデータ収集条件の
指定処理を示すフローチャートである。
【図３】図１に示すＸ線ラインセンサ透視装置のデータ
収集条件の演算方式を示すフローチャートである。
収集条件の演算方式を示すフローチャートである。
【図４】図１に示すＸ線ラインセンサ透視装置における
要求欠陥検出能力からデータ収集条件を決定する処理を
示すフローチャートである。
要求欠陥検出能力からデータ収集条件を決定する処理を
示すフローチャートである。
１ Ｘ線発生器 ２ コリメータ ３ 検出器 ４ 搬送駆動部 ５ 中央制御装置 １１ Ｘ線制御部 １２ 制御部 １３ データ収集条件指定部 ２２ コリメータ制御部 ３１ データ収集部 ４１ 搬送制御部 ５１ ＣＰＵ ５７ データ処理部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−174951（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−300621（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−221642（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 23/04 G03B 42/02 H04N 7/18
Claims (4)
- 【請求項１】 Ｘ線源からＸ線を発生し、このＸ線をコ
リメータでファン状にコリメートして搬送手段で搬送中
の被検査物に向けて照射し、被検査物を透過したＸ線を
Ｘ線検出手段で検出し、該Ｘ線検出手段で検出したＸ線
透過データをデータ収集手段で収集して被検査物の透視
画像を得るＸ線ラインセンサ透視装置であって、 前記搬送手段の搬送速度ｖ、データ収集ピッチＰ、デー
タ収集手段における１画素または１ライン当たりの信号
積分時間Ｔのうちいずれの条件も指定可能となっている
条件指定手段と、 搬送速度ｖおよび１画素または１ライン当たりの信号積
分時間Ｔが指定された場合に、前記指定された搬送速度
ｖ、前記指定された１画素または１ライン当たりの信号
積分時間Ｔ、および前記指定された搬送速度ｖと信号積
分時間Ｔを用いて式Ｐ＝ｖ・Ｔで計算されるデータ収集
ピッチＰにしたがって、前記搬送手段と前記データ収集
手段を制御し、 搬送速度ｖおよびデータ収集ピッチＰが指定された場合
に、前記指定された搬送速度ｖ、前記指定されたデータ
収集ピッチＰ、および前記指定された搬送速度ｖとデー
タ収集ピッチＰを用いて式Ｔ＝Ｐ／ｖで計算される１画
素または１ライン当たりの信号積分時間Ｔにしたがっ
て、前記搬送手段と前記データ収集手段を制御し、 データ収集ピッチＰおよび１画素または１ライン当たり
の信号積分時間Ｔが指定された場合に、前記指定された
データ収集ピッチＰ、前記指定された１画素または１ラ
イン当たりの信号積分時間Ｔ、および前記指定されたデ
ータ収集ピッチＰと信号積分時間Ｔを用いて式ｖ＝Ｐ／
Ｔで計算される搬送速度ｖにしたがって、前記搬送手段
と前記データ収集手段を制御する制御手段と、 を有することを特徴とするＸ線ラインセンサ透視装置。 - 【請求項２】 前記コリメータの開口幅ｗを変更する変
更手段を有し、 前記制御手段は、データ収集ピッチＰが指定された場合
に、指定されたデータ収集ピッチＰを用いて式ＢＷ＝２
・ＰによりＸ線ビーム半値幅ＢＷを計算し、 搬送速度ｖおよび１画素または１ライン当たりの信号積
分時間Ｔが指定された場合に、指定された搬送速度ｖお
よび信号積分時間Ｔを用いて式ＢＷ＝２・ｖ・Ｔにより
Ｘ線ビーム半値幅ＢＷを計算し、 前記被検査物の位置におけるファン状のＸ線の幅が、計
算したＸ線ビーム半値幅ＢＷとなるように前記変更手段
を制御することを特徴とする請求項１記載のＸ線ライン
センサ透視装置。 - 【請求項３】 前記条件指定手段は、前記コリメータの
開口幅ｗについても指定可能となっており、 前記制御手段は、コリメータ開口幅ｗが指定された場合
に、前記被検査物の位置におけるファン状のＸ線の幅
が、指定されたコリメータ開口幅ｗを用いて計算される
Ｘ線ビーム半値幅ＢＷとなるように前記変更手段を制御
するとともに、 コリメータ開口幅ｗおよび搬送速度ｖが指定された場合
に、指定されたコリメータ開口幅ｗを用いて計算される
Ｘ線ビーム半値幅ＢＷおよび指定された搬送速度ｖを用
いて式Ｔ＝ＢＷ／（２・ｖ）で計算される１画素または
１ライン当たりの信号積分時間Ｔと指定された搬送速度
ｖに従って前記搬送手段と前記データ収集手段をそれぞ
れ制御し、 コリメータ開口幅ｗおよび１画素または１ライン当たり
の信号積分時間Ｔが指定された場合に、指定されたコリ
メータ開口幅ｗを用いて計算されるＸ線ビーム半値幅Ｂ
Ｗおよび指定された信号積分時間Ｔを用いて式ｖ＝ＢＷ
／（２・Ｔ）で計算される搬送速度ｖと指定された信号
積分時間Ｔに従って前記搬送手段と前記データ収集手段
をそれぞれ制御することを特徴とする請求項２記載のＸ
線ラインセンサ透視装置。 - 【請求項４】 前記条件指定手段は、前記Ｘ線ビーム半
値幅ＢＷについても指定可能となっており、 前記制御手段は、Ｘ線ビーム半値幅ＢＷが指定された場
合に、前記被検査物の位置におけるファン状のＸ線の幅
が、指定されたＸ線ビーム半値幅ＢＷとなるように前記
変更手段を制御するとともに、 Ｘ線ビーム半値幅ＢＷおよび搬送速度ｖが指定された場
合に、指定されたＸ線ビーム半値幅ＢＷおよび搬送速度
ｖを用いて式Ｔ＝ＢＷ／（２・ｖ）で計算される１画素
または１ライン当たりの信号積分時間Ｔと指定された搬
送速度ｖに従って前記搬送手段と前記データ収集手段を
それぞれ制御し、 Ｘ線ビーム半値幅ＢＷおよび１画素または１ライン当た
りの信号積分時間Ｔが指定された場合に、指定されたＸ
線ビーム半値幅ＢＷおよび信号積分時間Ｔを用いて式ｖ
＝ＢＷ／（２・Ｔ）で計算される搬送速度ｖと指定され
た信号積分時間Ｔに従って前記搬送手段と前記データ収
集手段をそれぞれ制御することを特徴とする請求項２又
は３記載のＸ線ラインセンサ透視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05063193A JP3308629B2 (ja) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | Ｘ線ラインセンサ透視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05063193A JP3308629B2 (ja) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | Ｘ線ラインセンサ透視装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06265486A JPH06265486A (ja) | 1994-09-22 |
| JP3308629B2 true JP3308629B2 (ja) | 2002-07-29 |
Family
ID=12864326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05063193A Expired - Fee Related JP3308629B2 (ja) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | Ｘ線ラインセンサ透視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3308629B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005106640A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Anritsu Sanki System Co Ltd | Ｘ線検査装置 |
| JP2007147661A (ja) * | 2007-03-16 | 2007-06-14 | Anritsu Sanki System Co Ltd | Ｘ線検査装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE525517C2 (sv) * | 2003-03-06 | 2005-03-01 | Xcounter Ab | Anordning och förfarande för scanningbaserad detektering av joniserande strålning |
| JP4669250B2 (ja) * | 2004-09-01 | 2011-04-13 | 株式会社イシダ | Ｘ線検査装置 |
| JP5620801B2 (ja) * | 2010-12-10 | 2014-11-05 | アンリツ産機システム株式会社 | Ｘ線異物検出装置 |
-
1993
- 1993-03-11 JP JP05063193A patent/JP3308629B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005106640A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Anritsu Sanki System Co Ltd | Ｘ線検査装置 |
| JP2007147661A (ja) * | 2007-03-16 | 2007-06-14 | Anritsu Sanki System Co Ltd | Ｘ線検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06265486A (ja) | 1994-09-22 |
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