JPH06265486A - Ｘ線ラインセンサ透視装置 - Google Patents
Ｘ線ラインセンサ透視装置Info
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- JPH06265486A JPH06265486A JP5050631A JP5063193A JPH06265486A JP H06265486 A JPH06265486 A JP H06265486A JP 5050631 A JP5050631 A JP 5050631A JP 5063193 A JP5063193 A JP 5063193A JP H06265486 A JPH06265486 A JP H06265486A
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- Japan
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- ray
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- inspected
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- Electrophotography Using Other Than Carlson'S Method (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被検査物、検査目的および要求性能に応じた
最適なデータ収集条件を設定し得るＸ線ラインセンサ透
視装置を提供する。 【構成】 搬送速度、データ収集ピッチ、コリメータ開
口寸法、データ積分時間、Ｘ線条件、Ｘ線ジオメトリを
含む複数のデータ収集条件のうち所望の条件をデータ収
集条件指定部１３で指定し、この指定された所望の条件
を満足するようにＸ線制御部１１、コリメータ制御部２
２、データ収集部３１、搬送制御部４１を制御してい
る。
最適なデータ収集条件を設定し得るＸ線ラインセンサ透
視装置を提供する。 【構成】 搬送速度、データ収集ピッチ、コリメータ開
口寸法、データ積分時間、Ｘ線条件、Ｘ線ジオメトリを
含む複数のデータ収集条件のうち所望の条件をデータ収
集条件指定部１３で指定し、この指定された所望の条件
を満足するようにＸ線制御部１１、コリメータ制御部２
２、データ収集部３１、搬送制御部４１を制御してい
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線源から発生するＸ
線を被検査物に照射して、該被検査物を透過検査する非
破壊検査装置を構成するＸ線ラインセンサ透視装置に関
する。
線を被検査物に照射して、該被検査物を透過検査する非
破壊検査装置を構成するＸ線ラインセンサ透視装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】この種の従来のＸ線ラインセンサ透視装
置は、Ｘ線源からＸ線を発生し、このＸ線を被検査物に
向けて照射し、被検査物を透過したＸ線を検出し、この
検出されたＸ線透過データを収集して被検査物の透視画
像を構成し、この透視画像を表示して被検査物における
欠陥等を検査している。
置は、Ｘ線源からＸ線を発生し、このＸ線を被検査物に
向けて照射し、被検査物を透過したＸ線を検出し、この
検出されたＸ線透過データを収集して被検査物の透視画
像を構成し、この透視画像を表示して被検査物における
欠陥等を検査している。
【０００３】そして、このようなＸ線ラインセンサ透視
装置で検査される被検査物には例えば材質や厚さが異な
る種々の被検査物が含まれることは勿論のこと、同じ被
検査物であっても、例えば大きな欠陥のみを検出するた
めに大まかに検査したり、または細かい欠陥も検出する
ために精細に検査する等のように目的または被検査物に
応じた種々の検査ができることが必要である。
装置で検査される被検査物には例えば材質や厚さが異な
る種々の被検査物が含まれることは勿論のこと、同じ被
検査物であっても、例えば大きな欠陥のみを検出するた
めに大まかに検査したり、または細かい欠陥も検出する
ために精細に検査する等のように目的または被検査物に
応じた種々の検査ができることが必要である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
Ｘ線ラインセンサ透視装置では、データ収集条件はほと
んど一定条件に固定されているため、被検査物の種類や
検査目的に応じた最適なデータ収集条件を設定できず、
不満足な検査結果が得られる場合が生じるという問題が
ある。
Ｘ線ラインセンサ透視装置では、データ収集条件はほと
んど一定条件に固定されているため、被検査物の種類や
検査目的に応じた最適なデータ収集条件を設定できず、
不満足な検査結果が得られる場合が生じるという問題が
ある。
【０００５】本発明は、上記に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、被検査物、検査目的および要
求性能に応じた最適なデータ収集条件を設定し得るＸ線
ラインセンサ透視装置を提供することにある。
その目的とするところは、被検査物、検査目的および要
求性能に応じた最適なデータ収集条件を設定し得るＸ線
ラインセンサ透視装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のＸ線ラインセンサ透視装置は、Ｘ線源から
Ｘ線を発生し、このＸ線を被検査物に向けて照射し、被
検査物を透過したＸ線をＸ線検出手段で検出し、該Ｘ線
検出手段で検出したＸ線透過データをデータ収集手段で
収集して被検査物の透視画像を得るＸ線ラインセンサ透
視装置であって、被検査物を搬送する搬送速度、データ
収集ピッチ、Ｘ線源から発生するＸ線をコリメートする
コリメート手段の開口寸法、データ収集手段におけるデ
ータ積分時間、被検査物を照射するＸ線条件、Ｘ線ジオ
メトリを含む複数のデータ収集条件のうち所望の条件を
指定し得る条件指定手段と、該条件指定手段で指定され
た前記所望の条件を満足するように制御する制御手段と
を有することを要旨とする。
め、本発明のＸ線ラインセンサ透視装置は、Ｘ線源から
Ｘ線を発生し、このＸ線を被検査物に向けて照射し、被
検査物を透過したＸ線をＸ線検出手段で検出し、該Ｘ線
検出手段で検出したＸ線透過データをデータ収集手段で
収集して被検査物の透視画像を得るＸ線ラインセンサ透
視装置であって、被検査物を搬送する搬送速度、データ
収集ピッチ、Ｘ線源から発生するＸ線をコリメートする
コリメート手段の開口寸法、データ収集手段におけるデ
ータ積分時間、被検査物を照射するＸ線条件、Ｘ線ジオ
メトリを含む複数のデータ収集条件のうち所望の条件を
指定し得る条件指定手段と、該条件指定手段で指定され
た前記所望の条件を満足するように制御する制御手段と
を有することを要旨とする。
【０００７】また、本発明のＸ線ラインセンサ透視装置
は、Ｘ線源からＸ線を発生し、このＸ線を被検査物に向
けて照射し、被検査物を透過したＸ線をＸ線検出手段で
検出し、該Ｘ線検出手段で検出したＸ線透過データをデ
ータ収集手段で収集して被検査物の透視画像を得るＸ線
ラインセンサ透視装置であって、検査速度、データ収集
ピッチ、積分時間およびコリメータ開口からなる４条件
のうち２条件を指定する条件指定手段と、該条件指定手
段で指定された２条件から前記４条件を算出する条件演
算手段と、該条件演算手段で算出された前記４条件を満
足するように制御する制御手段とを有することを要旨と
する。
は、Ｘ線源からＸ線を発生し、このＸ線を被検査物に向
けて照射し、被検査物を透過したＸ線をＸ線検出手段で
検出し、該Ｘ線検出手段で検出したＸ線透過データをデ
ータ収集手段で収集して被検査物の透視画像を得るＸ線
ラインセンサ透視装置であって、検査速度、データ収集
ピッチ、積分時間およびコリメータ開口からなる４条件
のうち２条件を指定する条件指定手段と、該条件指定手
段で指定された２条件から前記４条件を算出する条件演
算手段と、該条件演算手段で算出された前記４条件を満
足するように制御する制御手段とを有することを要旨と
する。
【０００８】更に、本発明のＸ線ラインセンサ透視装置
は、前記条件指定手段に設けられ、前記被検査物の材
質、材厚、欠陥種、欠陥寸法、Ｘ線条件を指定し得る手
段と、標準条件を記憶した記憶手段と、該記憶手段に記
憶した前記標準条件および前記指定欠陥寸法に基づいて
算出したデータ収集ピッチおよびコリメータ開口寸法か
ら必要ＳＮ比およびＸ線量を算出し、前記標準条件に対
するＸ線量比を算出するＸ線量比算出手段と、該Ｘ線量
比算出手段で算出したＸ線量比に基づいて前記標準条件
を修正し、被検査物に合った合理的なデータ収集条件を
設定する条件修正設定手段とを有することを要旨とす
る。
は、前記条件指定手段に設けられ、前記被検査物の材
質、材厚、欠陥種、欠陥寸法、Ｘ線条件を指定し得る手
段と、標準条件を記憶した記憶手段と、該記憶手段に記
憶した前記標準条件および前記指定欠陥寸法に基づいて
算出したデータ収集ピッチおよびコリメータ開口寸法か
ら必要ＳＮ比およびＸ線量を算出し、前記標準条件に対
するＸ線量比を算出するＸ線量比算出手段と、該Ｘ線量
比算出手段で算出したＸ線量比に基づいて前記標準条件
を修正し、被検査物に合った合理的なデータ収集条件を
設定する条件修正設定手段とを有することを要旨とす
る。
【０００９】また更に、本発明のＸ線ラインセンサ透視
装置は、前記コリメート手段の開口寸法とデータ積分時
間との積が所定値を超えないようにデータ収集条件を設
定している。
装置は、前記コリメート手段の開口寸法とデータ積分時
間との積が所定値を超えないようにデータ収集条件を設
定している。
【００１０】
【作用】本発明のＸ線ラインセンサ透視装置では、搬送
速度、データ収集ピッチ、コリメータ開口寸法、データ
積分時間、Ｘ線条件、Ｘ線ジオメトリを含む複数のデー
タ収集条件のうち所望の条件を指定することができ、こ
の指定された所望の条件を満足するように制御してい
る。
速度、データ収集ピッチ、コリメータ開口寸法、データ
積分時間、Ｘ線条件、Ｘ線ジオメトリを含む複数のデー
タ収集条件のうち所望の条件を指定することができ、こ
の指定された所望の条件を満足するように制御してい
る。
【００１１】また、本発明のＸ線ラインセンサ透視装置
では、検査速度、データ収集ピッチ、積分時間およびコ
リメータ開口からなる４条件のうち２条件を指定し、こ
の指定された２条件から前記４条件を算出し、該４条件
を満足するように制御している。
では、検査速度、データ収集ピッチ、積分時間およびコ
リメータ開口からなる４条件のうち２条件を指定し、こ
の指定された２条件から前記４条件を算出し、該４条件
を満足するように制御している。
【００１２】更に、本発明のＸ線ラインセンサ透視装置
では、被検査物の材質、材厚、欠陥種、欠陥寸法、Ｘ線
条件を指定し、被検査物に合った合理的なデータ収集条
件を設定している。
では、被検査物の材質、材厚、欠陥種、欠陥寸法、Ｘ線
条件を指定し、被検査物に合った合理的なデータ収集条
件を設定している。
【００１３】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。
る。
【００１４】図１は、本発明の一実施例に係わるＸ線ラ
インセンサ透視装置の構成を示すブロック図である。同
図に示すＸ線ラインセンサ透視装置を説明する前に、ま
ず本Ｘ線ラインセンサ透視装置に対する基本概念を説明
する。
インセンサ透視装置の構成を示すブロック図である。同
図に示すＸ線ラインセンサ透視装置を説明する前に、ま
ず本Ｘ線ラインセンサ透視装置に対する基本概念を説明
する。
【００１５】上述したように、種々の被検査物および種
々の検査目的または要求性能に対応し得るためには、空
間分解能、コントラスト分解能（階調分解能）、検査速
度を設定する必要がある。また、Ｘ線ラインセンサ透視
装置で使用されるＸ線発生装置およびＸ線検出器が決ま
っている場合には、上述した各々の性能諸元は次のよう
な対応となる。
々の検査目的または要求性能に対応し得るためには、空
間分解能、コントラスト分解能（階調分解能）、検査速
度を設定する必要がある。また、Ｘ線ラインセンサ透視
装置で使用されるＸ線発生装置およびＸ線検出器が決ま
っている場合には、上述した各々の性能諸元は次のよう
な対応となる。
【００１６】（１）空間分解能：データ収集ピッチ、Ｘ
線ファンビーム厚方向のコリメータ開口寸法、Ｘ線ジオ
メトリ； （２）コントラスト分解能：管電圧、管電流、Ｘ線フォ
トン数、センサ積分時間； （３）検査速度：データ収集ピッチ、センサ積分時間 なお、Ｘ線ジオメトリはＸ線源、被検査物、ラインセン
サの相互位置関係で構成され、検出器の素子の並び方向
のＸ線拡大率はこのジオメトリによって決まる。
線ファンビーム厚方向のコリメータ開口寸法、Ｘ線ジオ
メトリ； （２）コントラスト分解能：管電圧、管電流、Ｘ線フォ
トン数、センサ積分時間； （３）検査速度：データ収集ピッチ、センサ積分時間 なお、Ｘ線ジオメトリはＸ線源、被検査物、ラインセン
サの相互位置関係で構成され、検出器の素子の並び方向
のＸ線拡大率はこのジオメトリによって決まる。
【００１７】ここで、検査速度ｖ、データ収集ピッチ
Ｐ、搬送方向のＸ線ビーム半値幅ＢＷ（Ｘ線ジオメトリ
とコリメータ開口ｗによって決まる）、積分時間Ｔの間
には、各々次のような関係がある。
Ｐ、搬送方向のＸ線ビーム半値幅ＢＷ（Ｘ線ジオメトリ
とコリメータ開口ｗによって決まる）、積分時間Ｔの間
には、各々次のような関係がある。
【００１８】 Ｐ＝ＢＷ／２ （１） これは、空間分解能を低下させないで効率よくデータ収
集を行うサンプリング定理である。
集を行うサンプリング定理である。
【００１９】 ＢＷ＝２Ｐ （２） Ｔ＝Ｐ／ｖ （３） ｖ＝Ｐ／Ｔ （４） Ｐ＝ｖ・Ｔ （５） ここで、積分時間Ｔは１画素当りまたは１ライン当りの
信号積分時間を示す。Ｘ線ビーム半値幅ＢＷはコリメー
タ開口ｗにより次式で計算される。
信号積分時間を示す。Ｘ線ビーム半値幅ＢＷはコリメー
タ開口ｗにより次式で計算される。
【００２０】
【数１】 ＢＷ＝（Ｘ線焦点−被検査物間距離） ／（Ｘ線焦点−コリメータ間距離）×ｗ （６） ｗ＝（Ｘ線焦点−コリメータ間距離） ／（Ｘ線焦点−被検査物間距離）×ＢＷ （７） 次に、図１に示すＸ線ラインセンサ透視装置の構成を説
明する。
明する。
【００２１】図１に示すＸ線ラインセンサ透視装置は、
Ｘ線を発生するＸ線発生器１を有し、このＸ線発生器１
から発生したＸ線はコリメータ２によってファンビーム
に絞られ、搬送装置のベルト４２上の図示しない被検査
物を透過し、一次元の広がりを有するラインセンサであ
る検出器３によって検出され、電気信号に変換される。
Ｘ線を発生するＸ線発生器１を有し、このＸ線発生器１
から発生したＸ線はコリメータ２によってファンビーム
に絞られ、搬送装置のベルト４２上の図示しない被検査
物を透過し、一次元の広がりを有するラインセンサであ
る検出器３によって検出され、電気信号に変換される。
【００２２】コリメータ２と検出器３との間のベルト上
に載置された図示しない被検査物は、ベルト４２が搬送
駆動部４によって回転駆動されることによりＸ線ファン
ビームを横切るように移動する。
に載置された図示しない被検査物は、ベルト４２が搬送
駆動部４によって回転駆動されることによりＸ線ファン
ビームを横切るように移動する。
【００２３】Ｘ線発生器１はＸ線制御部１１を介して制
御部１２に接続され、コリメータ２はコリメータ駆動部
２１およびコリメータ制御部２２を介して制御部１２に
接続され、検出器３はデータ収集部３１を介して制御部
１２に接続され、搬送駆動部４は搬送制御部４１を介し
て制御部１２に接続され、そして制御部１２はデータ収
集条件指定部１３に接続されている。この結果、Ｘ線発
生器１、コリメータ２、検出器３、搬送駆動部４の各部
はそれぞれＸ線制御部１１、コリメータ駆動部２１およ
びコリメータ制御部２２、データ収集部３１、搬送制御
部４１および制御部１２を介してデータ収集条件指定部
１３から指定されるデータ収集条件に設定されるように
なっている。
御部１２に接続され、コリメータ２はコリメータ駆動部
２１およびコリメータ制御部２２を介して制御部１２に
接続され、検出器３はデータ収集部３１を介して制御部
１２に接続され、搬送駆動部４は搬送制御部４１を介し
て制御部１２に接続され、そして制御部１２はデータ収
集条件指定部１３に接続されている。この結果、Ｘ線発
生器１、コリメータ２、検出器３、搬送駆動部４の各部
はそれぞれＸ線制御部１１、コリメータ駆動部２１およ
びコリメータ制御部２２、データ収集部３１、搬送制御
部４１および制御部１２を介してデータ収集条件指定部
１３から指定されるデータ収集条件に設定されるように
なっている。
【００２４】すなわち、前記Ｘ線発生器１はデータ収集
条件指定部１３から指定されるデータ収集条件に基づく
制御部１２およびＸ線制御部１１を介した制御によりＸ
線出力条件が制御される。
条件指定部１３から指定されるデータ収集条件に基づく
制御部１２およびＸ線制御部１１を介した制御によりＸ
線出力条件が制御される。
【００２５】前記コリメータ２は、データ収集条件指定
部１３から指定されるデータ収集条件に基づいて制御部
１２、コリメータ制御部２２およびコリメータ駆動部２
１によりコリメータ開口部が制御され、その開口寸法が
決められるようになっている。
部１３から指定されるデータ収集条件に基づいて制御部
１２、コリメータ制御部２２およびコリメータ駆動部２
１によりコリメータ開口部が制御され、その開口寸法が
決められるようになっている。
【００２６】また、前記検出器３によって検出された被
検査物を透過したＸ線透過データは、データ収集部（Ｄ
ＡＳ）３１で収集され、ここで積分、電流電圧変換、Ａ
Ｄ変換を受け、中央制御装置５のＤＡＳインタフェース
（ＤＡＳＩ／Ｆ）５５、データバス６０を介してデータ
メモリ（Ｍ）５６に記憶される。データ収集部３１は制
御部１２を介してデータ収集条件指定部１３からのデー
タ収集条件に基づいて収集タイミングパルスが制御され
る。
検査物を透過したＸ線透過データは、データ収集部（Ｄ
ＡＳ）３１で収集され、ここで積分、電流電圧変換、Ａ
Ｄ変換を受け、中央制御装置５のＤＡＳインタフェース
（ＤＡＳＩ／Ｆ）５５、データバス６０を介してデータ
メモリ（Ｍ）５６に記憶される。データ収集部３１は制
御部１２を介してデータ収集条件指定部１３からのデー
タ収集条件に基づいて収集タイミングパルスが制御され
る。
【００２７】前記搬送駆動部４は、制御部１２および搬
送制御部４１を介してデータ収集条件指定部１３からの
データ収集条件に基づいて搬送速度等を制御される。
送制御部４１を介してデータ収集条件指定部１３からの
データ収集条件に基づいて搬送速度等を制御される。
【００２８】なお、制御部１２は、データ収集条件指定
部１３によって指定されたデータ収集条件を記憶するメ
モリ１２ａを有している。
部１３によって指定されたデータ収集条件を記憶するメ
モリ１２ａを有している。
【００２９】また、データ収集条件指定部１３は、制御
部１２を介して中央制御装置５に接続され、中央制御装
置５のＩ／Ｏインタフェース５４、システムバス５９を
介してＣＰＵ５１に接続されている。
部１２を介して中央制御装置５に接続され、中央制御装
置５のＩ／Ｏインタフェース５４、システムバス５９を
介してＣＰＵ５１に接続されている。
【００３０】中央制御装置５は、ＣＰＵ５１、外部記憶
装置５２、ＤＡＳインタフェース５５、データメモリ５
６、データ処理部５７、ディスプレイインタフェース５
８、Ｉ／Ｏインタフェース５４、バスインタフェース５
３を有し、得られた被検査物の透視画像はディスプレイ
インタフェース５８を介してＣＲＴディスプレイ６に供
給され表示される。また、データは記憶装置５２に記憶
できるようになっている。
装置５２、ＤＡＳインタフェース５５、データメモリ５
６、データ処理部５７、ディスプレイインタフェース５
８、Ｉ／Ｏインタフェース５４、バスインタフェース５
３を有し、得られた被検査物の透視画像はディスプレイ
インタフェース５８を介してＣＲＴディスプレイ６に供
給され表示される。また、データは記憶装置５２に記憶
できるようになっている。
【００３１】次に、図２を参照して、データ収集条件指
定部１３によるデータ収集条件の指定処理について説明
する。図示しない操作パネルのスイッチ等を使用して、
操作者がデータ収集条件を指定すると、このデータ収集
条件はコード化された信号としてデータ収集条件指定部
１３から制御部１２に供給される（ステップ１１０）。
制御部１２はこのコード信号をメモリ１２ａのアドレス
としてデコードし、これによりメモリ１２ａから前記デ
ータ収集条件に対応するＸ線条件、コリメータ開口寸
法、データ収集周期、搬送速度等が読み出される（ステ
ップ１２０）。
定部１３によるデータ収集条件の指定処理について説明
する。図示しない操作パネルのスイッチ等を使用して、
操作者がデータ収集条件を指定すると、このデータ収集
条件はコード化された信号としてデータ収集条件指定部
１３から制御部１２に供給される（ステップ１１０）。
制御部１２はこのコード信号をメモリ１２ａのアドレス
としてデコードし、これによりメモリ１２ａから前記デ
ータ収集条件に対応するＸ線条件、コリメータ開口寸
法、データ収集周期、搬送速度等が読み出される（ステ
ップ１２０）。
【００３２】この読み出されたデータ収集条件のうち、
Ｘ線条件は制御部１２からＸ線制御部１１に供給され、
Ｘ線制御部１１の制御によりＸ線発生器１に設定される
（ステップ１３０，１８０）。また、コリメータ開口寸
法は制御部１２からコリメータ制御部２２に供給され、
コリメータ制御部２２はコリメータ駆動部２１を介して
コリメータ２の開口寸法を制御する（ステップ１４０，
１９０）。データ収集周期は制御部１２からデータ収集
部３１に供給され、データ収集部３１は検出器３からの
データ収集周期を制御し、データ収集処理を開始する
（ステップ１５０，２００）。搬送速度は制御部１２か
ら搬送制御部４１に供給され、搬送制御部４１は搬送駆
動部４を介してベルト４２の搬送速度を制御する（ステ
ップ１６０，２１０）。また、条件名が制御部１２から
Ｉ／Ｏインタフェース５４、システムバス５９を介して
ＣＰＵ５１に供給され、画像作成時のデータ処理条件と
して使用される（画素修正、縮尺作成等）。条件名は検
査されるものの品名やコード番号、アルファベットや各
条件の実際の設定値等である。
Ｘ線条件は制御部１２からＸ線制御部１１に供給され、
Ｘ線制御部１１の制御によりＸ線発生器１に設定される
（ステップ１３０，１８０）。また、コリメータ開口寸
法は制御部１２からコリメータ制御部２２に供給され、
コリメータ制御部２２はコリメータ駆動部２１を介して
コリメータ２の開口寸法を制御する（ステップ１４０，
１９０）。データ収集周期は制御部１２からデータ収集
部３１に供給され、データ収集部３１は検出器３からの
データ収集周期を制御し、データ収集処理を開始する
（ステップ１５０，２００）。搬送速度は制御部１２か
ら搬送制御部４１に供給され、搬送制御部４１は搬送駆
動部４を介してベルト４２の搬送速度を制御する（ステ
ップ１６０，２１０）。また、条件名が制御部１２から
Ｉ／Ｏインタフェース５４、システムバス５９を介して
ＣＰＵ５１に供給され、画像作成時のデータ処理条件と
して使用される（画素修正、縮尺作成等）。条件名は検
査されるものの品名やコード番号、アルファベットや各
条件の実際の設定値等である。
【００３３】次に、図３に示すフローチャートを参照し
て、データ収集条件の演算方式について説明する。
て、データ収集条件の演算方式について説明する。
【００３４】上述したように、検査速度ｖ、データ収集
ピッチＰ、コリメータ開口ｗおよび積分時間Ｔの間には
式（１）〜（７）に示した関係があるので、検査速度
ｖ、データ収集ピッチＰ、積分時間Ｔのうち２条件を指
定することにより最適なデータ収集条件を割り出すこと
ができる。
ピッチＰ、コリメータ開口ｗおよび積分時間Ｔの間には
式（１）〜（７）に示した関係があるので、検査速度
ｖ、データ収集ピッチＰ、積分時間Ｔのうち２条件を指
定することにより最適なデータ収集条件を割り出すこと
ができる。
【００３５】すなわち、図３において、検査速度ｖおよ
びデータ収集ピッチＰを指定すると（ステップ３１０，
３２０）、式（３），（２），（７）を使用して演算を
行い（ステップ３４０）、積分時間Ｔおよびコリメータ
開口ｗが算出される（ステップ３５０，３６０）。
びデータ収集ピッチＰを指定すると（ステップ３１０，
３２０）、式（３），（２），（７）を使用して演算を
行い（ステップ３４０）、積分時間Ｔおよびコリメータ
開口ｗが算出される（ステップ３５０，３６０）。
【００３６】また、データ収集ピッチＰおよび積分時間
Ｔを指定すると（ステップ３２０，３３０）、式
（２），（７），（４）を使用して演算を行い（ステッ
プ３７０）、コリメータ開口ｗおよび検査速度ｖが算出
される（ステップ３８０，３９０）。
Ｔを指定すると（ステップ３２０，３３０）、式
（２），（７），（４）を使用して演算を行い（ステッ
プ３７０）、コリメータ開口ｗおよび検査速度ｖが算出
される（ステップ３８０，３９０）。
【００３７】同様に、検査速度ｖおよび積分時間Ｔを指
定すると（ステップ３１０，３３０）、式（５），
（２），（７）を使用して演算を行い（ステップ４１
０）、データ収集ピッチＰおよびコリメータ開口ｗが算
出される（ステップ４２０，４３０）。
定すると（ステップ３１０，３３０）、式（５），
（２），（７）を使用して演算を行い（ステップ４１
０）、データ収集ピッチＰおよびコリメータ開口ｗが算
出される（ステップ４２０，４３０）。
【００３８】以上のように算出された収集条件データは
制御部１２からＸ線制御部１１、コリメータ制御部２
２、データ収集部３１、搬送制御部４１に供給され、上
述したように各条件が設定される。なお、上述した演算
は中央制御装置５のＣＰＵ５１またはデータ処理部５７
へＣＰＵ５１から演算式をロードして演算される。制御
部１２と中央制御装置５との間の通信はシリアルＩ／Ｏ
インタフェース５４を通じて行われる。
制御部１２からＸ線制御部１１、コリメータ制御部２
２、データ収集部３１、搬送制御部４１に供給され、上
述したように各条件が設定される。なお、上述した演算
は中央制御装置５のＣＰＵ５１またはデータ処理部５７
へＣＰＵ５１から演算式をロードして演算される。制御
部１２と中央制御装置５との間の通信はシリアルＩ／Ｏ
インタフェース５４を通じて行われる。
【００３９】次に、図４に示すフローチャートを参照し
て、要求される欠陥検出能力からデータ収集条件を決定
する処理について説明する。
て、要求される欠陥検出能力からデータ収集条件を決定
する処理について説明する。
【００４０】図４において、まず被検査物の材質、材厚
（複数の場合もある）、欠陥種（または欠陥の存在する
材質）、欠陥寸法、Ｘ線条件がパラメータとして与えら
れる（ステップ５１０〜５４０）。前述した式（２），
（７）を使用して、欠陥寸法からデータ収集ピッチＰ1
（欠陥寸法の１／２以下）およびコリメータ開口ｗ1が
決定され（ステップ５５０）、それから規準データ収集
条件である検査速度ｖ1 または積分時間Ｔ1 を条件とし
て採用する（ステップ５６０）。
（複数の場合もある）、欠陥種（または欠陥の存在する
材質）、欠陥寸法、Ｘ線条件がパラメータとして与えら
れる（ステップ５１０〜５４０）。前述した式（２），
（７）を使用して、欠陥寸法からデータ収集ピッチＰ1
（欠陥寸法の１／２以下）およびコリメータ開口ｗ1が
決定され（ステップ５５０）、それから規準データ収集
条件である検査速度ｖ1 または積分時間Ｔ1 を条件とし
て採用する（ステップ５６０）。
【００４１】次に、背景部演算および欠陥部演算を行っ
て、Ｘ線透過量ＩおよびＩd をそれぞれ算出する（ステ
ップ５７０，５８０）。なお、規準データである検査速
度ｖ1 または積分時間Ｔ1 は経験的な値を採用してもよ
い。
て、Ｘ線透過量ＩおよびＩd をそれぞれ算出する（ステ
ップ５７０，５８０）。なお、規準データである検査速
度ｖ1 または積分時間Ｔ1 は経験的な値を採用してもよ
い。
【００４２】それから、画像のＳＮ比をＸ線フォトン数
に基づいて次式により算出する（ステップ５９０）。
に基づいて次式により算出する（ステップ５９０）。
【００４３】
【数２】 ＳＮ比＝［測定Ｘ線フォトン数（１ch，１サンプリング）］1/2 （８） 次に、欠陥として検出するために必要な必要ＳＮ比を次
式により計算する（ステップ６００）。
式により計算する（ステップ６００）。
【００４４】
【数３】 必要ＳＮ比＝η／［欠陥コントラスト・（欠陥画素数）1/2 ］ （９） ここで、ηは判定係数であり、３〜７の値が使用され
る。
る。
【００４５】それから、必要ＳＮ比とＳＮ比との比の２
乗を求め、この値がＸ線増量ファクタとなる。
乗を求め、この値がＸ線増量ファクタとなる。
【００４６】
【数４】 Ｘ線増量ファクタ＝（必要ＳＮ比／ＳＮ比）2 （10） そして、上述した計算で使用したデータ収集条件を修正
して条件を決定する。検査速度ｖおよび積分時間Ｔは次
のように修正される。
して条件を決定する。検査速度ｖおよび積分時間Ｔは次
のように修正される。
【００４７】 Ｔ＝Ｘ線増量ファクタ・Ｔ （11） ｖ＝Ｐ／（Ｔ1 ・Ｘ線増量ファクタ） （12） このようにして、データ収集ピッチＰ、コリメータ開口
ｗ、検査速度ｖ、積分時間Ｔのデータ収集条件が決定さ
れ指定される（ステップ６１０，６２０）。なお、上述
した演算はＣＰＵ５１またはデータ処理部５７で行われ
る。
ｗ、検査速度ｖ、積分時間Ｔのデータ収集条件が決定さ
れ指定される（ステップ６１０，６２０）。なお、上述
した演算はＣＰＵ５１またはデータ処理部５７で行われ
る。
【００４８】以上説明したように、本実施例では、デー
タ収集条件の設定時、独立パラメータを任意に設定で
き、他の従属パラメータはそれに合わせて自動設定され
るので、柔軟な条件設定ができるとともに簡単に設定す
ることができる。
タ収集条件の設定時、独立パラメータを任意に設定で
き、他の従属パラメータはそれに合わせて自動設定され
るので、柔軟な条件設定ができるとともに簡単に設定す
ることができる。
【００４９】本実施例では、欠陥種、検出目標欠陥寸
法、被検査物の材質、材厚等をパラメータとして入力
し、データ収集条件を設定できるため、操作者の経験や
感覚によることなく、すなわち個人差なく、簡単に被検
査物に合ったデータ収集条件を設定することができる。
法、被検査物の材質、材厚等をパラメータとして入力
し、データ収集条件を設定できるため、操作者の経験や
感覚によることなく、すなわち個人差なく、簡単に被検
査物に合ったデータ収集条件を設定することができる。
【００５０】また、他の実施例として、図３において独
立パラメータとして、コリメータ開口ｗまたはＸ線ビー
ム半値幅ＢＷを加えることができる。この場合には、パ
ラメータの選択は更に検査速度ｖとコリメータ開口ｗ、
積分時間Ｔとコリメータ開口ｗの２通りが追加されるこ
とになる。
立パラメータとして、コリメータ開口ｗまたはＸ線ビー
ム半値幅ＢＷを加えることができる。この場合には、パ
ラメータの選択は更に検査速度ｖとコリメータ開口ｗ、
積分時間Ｔとコリメータ開口ｗの２通りが追加されるこ
とになる。
【００５１】また更に、別の実施例として、データ収集
条件に検出器３が飽和しないための条件を加えることが
でき、この場合の条件は次式で表される。
条件に検出器３が飽和しないための条件を加えることが
でき、この場合の条件は次式で表される。
【００５２】 ｗ・Ｔ≦ＦＤＤ／（α・Ｖk ・Ａ） （13） ここで、ｗはコリメータ開口、Ｔは積分時間である。右
辺はＸ線条件およびＸ線ジオメトリで決まる定数であ
り、αは飽和定数、ｖは管電圧、Ａは管電流、ＦＤＤは
Ｘ線焦点と検出器３との間の距離である。ｋはＸ線強度
と管電圧の間の関係を示す乗数であり、通常は２．７〜
３の値を用いる。飽和定数αは検出器の飽和レベル、管
電圧、被検査物の材質、および検査する部位の透過厚に
よって計算される値である。
辺はＸ線条件およびＸ線ジオメトリで決まる定数であ
り、αは飽和定数、ｖは管電圧、Ａは管電流、ＦＤＤは
Ｘ線焦点と検出器３との間の距離である。ｋはＸ線強度
と管電圧の間の関係を示す乗数であり、通常は２．７〜
３の値を用いる。飽和定数αは検出器の飽和レベル、管
電圧、被検査物の材質、および検査する部位の透過厚に
よって計算される値である。
【００５３】また、コリメータ開口ｗまたは積分時間Ｔ
を算出する場合に式（１３）に合致しない場合、データ
収集条件指定部１３に検出器飽和の表示を行い、操作者
の注意を促す。また、式（１３）を満たす最大のコリメ
ータ開口ｗまたは積分時間Ｔを設定する。
を算出する場合に式（１３）に合致しない場合、データ
収集条件指定部１３に検出器飽和の表示を行い、操作者
の注意を促す。また、式（１３）を満たす最大のコリメ
ータ開口ｗまたは積分時間Ｔを設定する。
【００５４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
搬送速度、データ収集ピッチ、コリメータ開口寸法、デ
ータ積分時間、Ｘ線条件、Ｘ線ジオメトリを含む複数の
データ収集条件のうち所望の条件を指定することがで
き、この指定された所望の条件を満足するように制御し
ているので、従来のようにデータ収集条件が固定され
ず、被検査物および検査目的に応じて空間分解能、コン
トラスト分解能、検査速度等の最適なデータ収集条件を
設定でき、常に最良の検査結果を得ることができる。
搬送速度、データ収集ピッチ、コリメータ開口寸法、デ
ータ積分時間、Ｘ線条件、Ｘ線ジオメトリを含む複数の
データ収集条件のうち所望の条件を指定することがで
き、この指定された所望の条件を満足するように制御し
ているので、従来のようにデータ収集条件が固定され
ず、被検査物および検査目的に応じて空間分解能、コン
トラスト分解能、検査速度等の最適なデータ収集条件を
設定でき、常に最良の検査結果を得ることができる。
【００５５】また、本発明のＸ線ラインセンサ透視装置
では、検査速度、データ収集ピッチ、積分時間およびコ
リメータ開口からなる４条件のうち２条件を指定し、こ
の指定された２条件から前記４条件を算出し、該４条件
を満足するように制御しているので、データ収集条件の
設定が簡単であり、柔軟な条件設定が可能である。
では、検査速度、データ収集ピッチ、積分時間およびコ
リメータ開口からなる４条件のうち２条件を指定し、こ
の指定された２条件から前記４条件を算出し、該４条件
を満足するように制御しているので、データ収集条件の
設定が簡単であり、柔軟な条件設定が可能である。
【００５６】更に、本発明によれば、被検査物の材質、
材厚、欠陥種、欠陥寸法、Ｘ線条件を指定し、被検査物
に合った合理的なデータ収集条件を設定しているので、
操作者の経験や感覚によることなく、また個人差もな
く、簡単に被検査物に合ったデータ収集条件を設定する
ことができる。
材厚、欠陥種、欠陥寸法、Ｘ線条件を指定し、被検査物
に合った合理的なデータ収集条件を設定しているので、
操作者の経験や感覚によることなく、また個人差もな
く、簡単に被検査物に合ったデータ収集条件を設定する
ことができる。
【図１】本発明の一実施例に係わるＸ線ラインセンサ透
視装置の構成を示すブロック図である。
視装置の構成を示すブロック図である。
【図２】図１に示すＸ線ラインセンサ透視装置に使用さ
れているデータ収集条件指定部によるデータ収集条件の
指定処理を示すフローチャートである。
れているデータ収集条件指定部によるデータ収集条件の
指定処理を示すフローチャートである。
【図３】図１に示すＸ線ラインセンサ透視装置のデータ
収集条件の演算方式を示すフローチャートである。
収集条件の演算方式を示すフローチャートである。
【図４】図１に示すＸ線ラインセンサ透視装置における
要求欠陥検出能力からデータ収集条件を決定する処理を
示すフローチャートである。
要求欠陥検出能力からデータ収集条件を決定する処理を
示すフローチャートである。
１ Ｘ線発生器 ２ コリメータ ３ 検出器 ４ 搬送駆動部 ５ 中央制御装置 １１ Ｘ線制御部 １２ 制御部 １３ データ収集条件指定部 ２２ コリメータ制御部 ３１ データ収集部 ４１ 搬送制御部 ５１ ＣＰＵ ５７ データ処理部
Claims (4)
- 【請求項１】 Ｘ線源からＸ線を発生し、このＸ線を被
検査物に向けて照射し、被検査物を透過したＸ線をＸ線
検出手段で検出し、該Ｘ線検出手段で検出したＸ線透過
データをデータ収集手段で収集して被検査物の透視画像
を得るＸ線ラインセンサ透視装置であって、被検査物を
搬送する搬送速度、データ収集ピッチ、Ｘ線源から発生
するＸ線をコリメートするコリメート手段の開口寸法、
データ収集手段におけるデータ積分時間、被検査物を照
射するＸ線条件、Ｘ線ジオメトリを含む複数のデータ収
集条件のうち所望の条件を指定し得る条件指定手段と、
該条件指定手段で指定された前記所望の条件を満足する
ように制御する制御手段とを有することを特徴とするＸ
線ラインセンサ透視装置。 - 【請求項２】 Ｘ線源からＸ線を発生し、このＸ線を被
検査物に向けて照射し、被検査物を透過したＸ線をＸ線
検出手段で検出し、該Ｘ線検出手段で検出したＸ線透過
データをデータ収集手段で収集して被検査物の透視画像
を得るＸ線ラインセンサ透視装置であって、検査速度、
データ収集ピッチ、積分時間およびコリメータ開口から
なる４条件のうち２条件を指定する条件指定手段と、該
条件指定手段で指定された２条件から前記４条件を算出
する条件演算手段と、該条件演算手段で算出された前記
４条件を満足するように制御する制御手段とを有するこ
とを特徴とするＸ線ラインセンサ透視装置。 - 【請求項３】 前記条件指定手段に設けられ、前記被検
査物の材質、材厚、欠陥種、欠陥寸法、Ｘ線条件を指定
し得る手段と、標準条件を記憶した記憶手段と、該記憶
手段に記憶した前記標準条件および前記指定欠陥寸法に
基づいて算出したデータ収集ピッチおよびコリメータ開
口寸法から必要ＳＮ比およびＸ線量を算出し、前記標準
条件に対するＸ線量比を算出するＸ線量比算出手段と、
該Ｘ線量比算出手段で算出したＸ線量比に基づいて前記
標準条件を修正し、被検査物に合った合理的なデータ収
集条件を設定する条件修正設定手段とを有することを特
徴とする請求項１または２記載のＸ線ラインセンサ透視
装置。 - 【請求項４】 前記コリメート手段の開口寸法とデータ
積分時間との積が所定値を超えないようにデータ収集条
件を設定する手段を有することを特徴とする請求項１，
２または３記載のＸ線ラインセンサ透視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05063193A JP3308629B2 (ja) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | Ｘ線ラインセンサ透視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05063193A JP3308629B2 (ja) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | Ｘ線ラインセンサ透視装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06265486A true JPH06265486A (ja) | 1994-09-22 |
| JP3308629B2 JP3308629B2 (ja) | 2002-07-29 |
Family
ID=12864326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05063193A Expired - Fee Related JP3308629B2 (ja) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | Ｘ線ラインセンサ透視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3308629B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006071423A (ja) * | 2004-09-01 | 2006-03-16 | Ishida Co Ltd | Ｘ線検査装置 |
| JP2006522331A (ja) * | 2003-03-06 | 2006-09-28 | エックスカウンター アーベー | イオン化放射線の走査方式の検知 |
| JP2012122927A (ja) * | 2010-12-10 | 2012-06-28 | Anritsu Sanki System Co Ltd | Ｘ線異物検出装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3955559B2 (ja) * | 2003-09-30 | 2007-08-08 | アンリツ産機システム株式会社 | Ｘ線検査装置 |
| JP4170366B2 (ja) * | 2007-03-16 | 2008-10-22 | アンリツ産機システム株式会社 | Ｘ線検査装置 |
-
1993
- 1993-03-11 JP JP05063193A patent/JP3308629B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006522331A (ja) * | 2003-03-06 | 2006-09-28 | エックスカウンター アーベー | イオン化放射線の走査方式の検知 |
| EP1599723B1 (en) * | 2003-03-06 | 2017-01-04 | XCounter AB | Scanning-based detection of ionizing radiation |
| JP2006071423A (ja) * | 2004-09-01 | 2006-03-16 | Ishida Co Ltd | Ｘ線検査装置 |
| JP4669250B2 (ja) * | 2004-09-01 | 2011-04-13 | 株式会社イシダ | Ｘ線検査装置 |
| JP2012122927A (ja) * | 2010-12-10 | 2012-06-28 | Anritsu Sanki System Co Ltd | Ｘ線異物検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3308629B2 (ja) | 2002-07-29 |
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