JP2004115807A5 - - Google Patents
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Description
本発明のペルフルオロエラストマー製品は、高温(即ち200°以上)および苛酷な化学的環境若しくはプラズマ環境下で加工を行う産業、例えば半導体製造装置および化学的加工産業に有用である。
本出願は、特許請求の範囲に記載の発明を含め以下の発明を包含する。
(1) ポリシロキサンおよびウレタンオリゴマーを含む耐久性のあるフィルムでコーティングされたペルフルオロエラストマー製品。
(2) 前記フィルムが0.1から10ミクロンの間の厚さであることを特徴とする(1)に記載のペルフルオロエラストマー製品。
(3) 前記フィルムが3から7ミクロンの間の厚さであることを特徴とする(2)に記載のペルフルオロエラストマー製品。
(4) 前記ポリシロキサンが下式のポリシロキサンの混合物であることを特徴とする(1)に記載のペルフルオロエラストマー製品。
(式中、nおよびmは、2種のシロキサンの数平均分子量が500と5000(ポリスチレン較正標準を用いたサイズ排除クロマトグラフィーで測定される。)の間になるような値である。)
(5) 前記ウレタンオリゴマーが、下式のイソシアネートをベースとすることを特徴とする(1)に記載のペルフルオロエラストマー製品。
(6) ペルフルオロエラストマー製品上に耐久性のあるポリシランウレタンオリゴマーフィルムを形成する方法であって、前記方法が、
A. i)側鎖ヒドロキシル基を有するポリシロキサンおよびii)ブロック化されたイソシアネートを含む分散液で、硬化されたペルフルオロエラストマー製品をコーティングし、湿潤状態にコーティングされたペルフルオロエラストマー製品を形成する工程と、
B.前記側鎖ヒドロキシル基が前記ブロック化イソシアネートと反応してウレタンオリゴマーを形成する温度未満で、前記の湿潤状態にコーティングされたペルフルオロエラストマー製品を乾燥し、乾燥状態にコーティングされたペルフルオロエラストマー製品を形成する工程と、
C.前記側鎖ヒドロキシル基が前記ブロック化されたイソシアネートと反応してウレタンオリゴマーを形成し、そして前記ペルフルオロエラストマー製品の表面に前記ポリシロキサンとウレタンオリゴマーを含む耐久性のあるフィルムを形成するような温度および十分な時間、前記の乾燥状態にコーティングされたフルオロエラストマー製品を加熱する工程を含むことを特徴とする方法。
(7) 前記ポリシロキサンが下式のポリシロキサンの混合物であることを特徴とする(6)に記載の方法。
(式中、nおよびmは、2種のシロキサンの数平均分子量が500と5000(ポリスチレン較正標準を用いたサイズ排除クロマトグラフィーで測定される。)の間になるような値である。)
(8) 前記ウレタンオリゴマーが、下式であることを特徴とする(6)に記載の方法。
(9) 前記分散液が、9対1と1対1の間の、ポリシロキサン対イソシアネートの重量比を有することを特徴とする(6)に記載の方法。
(10) 前記湿潤状態にコーティングされたペルフルオロエラストマー製品の乾燥が20℃の空気中で行われることを特徴とする(6)に記載の方法。
(11) 前記乾燥状態にコーティングされたペルフルオロエラストマー製品の前記加熱が100℃を超える温度で、5分を超えることを特徴とする(6)に記載の方法。
(12) 前記乾燥状態にコーティングされたペルフルオロエラストマー製品の前記加熱が、200℃の温度で、10分間であることを特徴とする(11)に記載の方法。
本出願は、特許請求の範囲に記載の発明を含め以下の発明を包含する。
(1) ポリシロキサンおよびウレタンオリゴマーを含む耐久性のあるフィルムでコーティングされたペルフルオロエラストマー製品。
(2) 前記フィルムが0.1から10ミクロンの間の厚さであることを特徴とする(1)に記載のペルフルオロエラストマー製品。
(3) 前記フィルムが3から7ミクロンの間の厚さであることを特徴とする(2)に記載のペルフルオロエラストマー製品。
(4) 前記ポリシロキサンが下式のポリシロキサンの混合物であることを特徴とする(1)に記載のペルフルオロエラストマー製品。
(5) 前記ウレタンオリゴマーが、下式のイソシアネートをベースとすることを特徴とする(1)に記載のペルフルオロエラストマー製品。
A. i)側鎖ヒドロキシル基を有するポリシロキサンおよびii)ブロック化されたイソシアネートを含む分散液で、硬化されたペルフルオロエラストマー製品をコーティングし、湿潤状態にコーティングされたペルフルオロエラストマー製品を形成する工程と、
B.前記側鎖ヒドロキシル基が前記ブロック化イソシアネートと反応してウレタンオリゴマーを形成する温度未満で、前記の湿潤状態にコーティングされたペルフルオロエラストマー製品を乾燥し、乾燥状態にコーティングされたペルフルオロエラストマー製品を形成する工程と、
C.前記側鎖ヒドロキシル基が前記ブロック化されたイソシアネートと反応してウレタンオリゴマーを形成し、そして前記ペルフルオロエラストマー製品の表面に前記ポリシロキサンとウレタンオリゴマーを含む耐久性のあるフィルムを形成するような温度および十分な時間、前記の乾燥状態にコーティングされたフルオロエラストマー製品を加熱する工程を含むことを特徴とする方法。
(7) 前記ポリシロキサンが下式のポリシロキサンの混合物であることを特徴とする(6)に記載の方法。
(8) 前記ウレタンオリゴマーが、下式であることを特徴とする(6)に記載の方法。
(10) 前記湿潤状態にコーティングされたペルフルオロエラストマー製品の乾燥が20℃の空気中で行われることを特徴とする(6)に記載の方法。
(11) 前記乾燥状態にコーティングされたペルフルオロエラストマー製品の前記加熱が100℃を超える温度で、5分を超えることを特徴とする(6)に記載の方法。
(12) 前記乾燥状態にコーティングされたペルフルオロエラストマー製品の前記加熱が、200℃の温度で、10分間であることを特徴とする(11)に記載の方法。
Claims (2)
- ポリシロキサンおよびウレタンオリゴマーを含む耐久性のあるフィルムでコーティングされたペルフルオロエラストマー製品。
- ペルフルオロエラストマー製品上に耐久性のあるポリシランウレタンオリゴマーフィルムを形成する方法であって、前記方法が、
A. i)側鎖ヒドロキシル基を有するポリシロキサンおよびii)ブロック化されたイソシアネートを含む分散液で、硬化されたペルフルオロエラストマー製品をコーティングし、湿潤状態にコーティングされたペルフルオロエラストマー製品を形成する工程と、
B.前記側鎖ヒドロキシル基が前記ブロック化イソシアネートと反応してウレタンオリゴマーを形成する温度未満で、前記の湿潤状態にコーティングされたペルフルオロエラストマー製品を乾燥し、乾燥状態にコーティングされたペルフルオロエラストマー製品を形成する工程と、
C.前記側鎖ヒドロキシル基が前記ブロック化されたイソシアネートと反応してウレタンオリゴマーを形成し、そして前記ペルフルオロエラストマー製品の表面に前記ポリシロキサンとウレタンオリゴマーを含む耐久性のあるフィルムを形成するような温度および十分な時間、前記の乾燥状態にコーティングされたフルオロエラストマー製品を加熱する工程を含むことを特徴とする方法。
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