JP2004111770A - 配線基板 - Google Patents
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Abstract
【課題】ロウ材層と光半導体素子との接合性を劣化させずにロウ材層の光半導体素子側面への這い上がりを抑制し、光半導体素子を確実かつ強固に接合して搭載することができる配線基板を提供すること。
【解決手段】配線基板は、絶縁基板1の上側主面に、密着金属層4a、第一の拡散防止層4bおよび主導体層4cが順次積層されて成る導体層4が形成されているとともに、導体層4上に、導体層4の上面の面積よりも小さい面積の第二の拡散防止層3とその上面および側面を覆うロウ材層2とが順次積層されて成る光半導体素子5の搭載部6が形成されており、第二の拡散防止層3は、その外形寸法が光半導体素子5の下面の外形寸法よりも小さい。
【選択図】 図1
【解決手段】配線基板は、絶縁基板1の上側主面に、密着金属層4a、第一の拡散防止層4bおよび主導体層4cが順次積層されて成る導体層4が形成されているとともに、導体層4上に、導体層4の上面の面積よりも小さい面積の第二の拡散防止層3とその上面および側面を覆うロウ材層2とが順次積層されて成る光半導体素子5の搭載部6が形成されており、第二の拡散防止層3は、その外形寸法が光半導体素子5の下面の外形寸法よりも小さい。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体レーザ等の光半導体素子を搭載するサブマウント等として用いられる配線基板に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体レーザ(レーザダイオード:LD)、フォトダイオード(PD)等の光半導体素子は、サブマウントと呼ばれる配線基板に搭載される。この配線基板は、CD(コンパクトディスク)、DVD(デジタルビデオディスク)、LBP(レーザビームプリンタ)、DVD−ROMなどの光ピックアップ用の部品や光通信用の光モジュールの部品として幅広く使用されている。
【0003】
従来の光半導体素子を搭載する配線基板の断面図を図2に示す。図2において、11はシリコン、窒化アルミニウム(AlN)質焼結体(AlNセラミックス)等から成る絶縁基板、12はAu−Sn合金等から成るロウ材層、13はPt等から成る第二の拡散防止層、14は導体層、14aはTi等から成る密着金属層、14bはPt等から成る第一の拡散防止層、14cはAu等から成る主導体層、15は光半導体素子である。
【0004】
従来の配線基板は、例えば絶縁基板11の上側主面に被着されたAuから成る主導体層14cと光半導体素子15を接合固定するAu−Sn合金から成るロウ材層12との間に、Ptから成る第二の拡散防止層13を形成した構造にすることで、光半導体素子15をロウ材層12を介して搭載部16に接合し搭載する際、主導体層14cのAuがロウ材層12のAu−Sn合金中に拡散するのを第二の拡散防止層13によって有効に防止するものである。また、ロウ材層12は組成および組成比が変化することにより融点が高くなることはなく、接合時の所定の温度で完全に溶融して光半導体素子15を配線基板上に確実、強固に接合できるものである(例えば、下記の特許文献1参照)。
【0005】
【特許文献1】
特開平11−307692号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の配線基板においては、ロウ材層12を薄くすることが要求されてきているが、これは、光半導体素子15を搭載する際にロウ材層12が光半導体素子15の接合面(下面)から側面へ這い上がり、光半導体素子15の側面に設けられたレーザ発光部や受光部がロウ材層12により塞がれるという不具合が生じ易いためである。また、ロウ材層12が厚いと、光半導体素子15を接合し搭載した際に光半導体素子15の下面と絶縁基板11の上側主面とが平行に接合されず、傾いた状態で接合され易いので、半導体素子15のレーザ光が絶縁基板11の上側主面に対して平行に出射されないという不具合が生じていた。その結果、光半導体素子15を搭載した配線基板を光ピックアップや光モジュールに組み込んだときに、光半導体素子15のレーザ光の光軸がレンズ、光ビームスプリッタ、ハーフミラー、光ディスク、光ファイバ等の他の部品に対してずれてしまい、光損失が増大したり光結合が損なわれるといった問題が発生していた。
【0007】
そこで、ロウ材層12が厚いことによる上記の不具合を解消するために、ロウ材層12を薄くすると、光半導体素子15を接合するために配線基板を加熱した際、第二の拡散防止層13を構成するPt中に、その上部のロウ材層12を構成するAu−Sn合金中のSnが急速に拡散し、その結果、ロウ材層12を構成するAu−Sn合金の組成がAu過多(Auリッチ)となり、融点の上昇を招き易いことがわかった。その場合、接合時の所定の温度でロウ材層12のAu−Sn合金を完全に溶融させることができず、光半導体素子15と配線基板とが強固に接合され難いという問題点があった。
【0008】
また、ロウ材層12の融点上昇という問題点を解消するために、ロウ付け温度を上げ、ロウ材層12を完全に溶融させることも考えられるが、ロウ付け温度を上げると光半導体素子15に不要な熱的負荷が加わり、光半導体素子15に熱破壊が生じたり、発光特性等の動作特性が劣化し、光半導体素子15が誤作動するという問題を誘発していた。
【0009】
従って、本発明は上記従来の問題点に鑑みて完成されたものであり、その目的は、ロウ材層と光半導体素子との接合性を劣化させずにロウ材層の光半導体素子側面への這い上がりを抑制し、光半導体素子を確実かつ強固に接合して搭載することができる配線基板を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の配線基板は、絶縁基板の上側主面に、密着金属層、第一の拡散防止層および主導体層が順次積層されて成る導体層が形成されているとともに、該導体層上に、前記導体層の上面の面積よりも小さい面積の第二の拡散防止層とその上面および側面を覆うロウ材層とが順次積層されて成る光半導体素子の搭載部が形成されており、前記第二の拡散防止層は、その外形寸法が前記光半導体素子の下面の外形寸法よりも小さいことを特徴とする。
【0011】
本発明の配線基板は、導体層上にその上面の面積よりも小さい面積の第二の拡散防止層とその上面および側面を覆うロウ材層とが順次積層されて成る光半導体素子の搭載部が形成されており、第二の拡散防止層は、その外形寸法が光半導体素子の下面の外形寸法よりも小さいことから、光半導体素子を搭載するためにロウ材層を加熱溶融させた際に、溶融したロウ材は光半導体素子の側面に這い上がるよりも側方(周囲)に濡れて広がるように挙動する。即ち、図2の従来の構成では、ロウ材層の側面はその下方の第二の拡散防止層の側面に略面一となっているため、溶融したロウ材は表面張力によって第二の拡散防止層の側面側(下側)へ濡れ広がりにくくなり、そのため光半導体素子の側面側(上側)へ這い上がり易くなるのに対して、本発明の構成では、溶融したAu−Sn等から成るロウ材はAu等から成る主導体層に容易に濡れ馴染むとともに自重で周囲に広がる傾向が強くなる。従って、ロウ材層の厚さを必要以上に薄くせずに溶融したロウ材が光半導体素子の側面へ這い上がるのを防止できるため、光半導体素子の良好な作動性を保持して確実かつ強固に接合することができる。
【0012】
本発明の配線基板は、好ましくは、前記搭載部の前記ロウ材層は、側面の下端部に全周にわたって鍔状部が形成されていることを特徴とする。
【0013】
本発明の配線基板は、搭載部のロウ材層は側面の下端部に全周にわたって鍔状部が形成されていることから、溶融したAu−Sn等から成るロウ材はAu等から成る主導体層に容易に濡れ馴染むとともに自重で周囲に広がる傾向がさらに強くなる。即ち、ロウ材層の側面で溶融したロウ材は鍔状部へ向かってきわめて容易に広がるとともに、鍔状部の下面で溶融したロウ材は主導体層に容易に濡れ馴染むこととなるため、結果的に溶融したロウ材は鍔状部に引っ張られるようにして広がることとなる。従って、溶融したロウ材が光半導体素子の側面へ這い上がるのをより有効に防止することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
本発明の配線基板について以下に詳細に説明する。図1は、本発明の配線基板について実施の形態の一例を示す断面図である。同図において、1は絶縁基板、2はロウ材層、3は第二の拡散防止層、4は導体層、4aは密着金属層、4bは第一の拡散防止層、4cは主導体層である。
【0015】
本発明の配線基板は、絶縁基板1の上側主面に、密着金属層4a、第一の拡散防止層4bおよび主導体層4cが順次積層されて成る導体層4が形成されているとともに、導体層4上に、導体層4の上面の面積よりも小さい面積の第二の拡散防止層3とその上面および側面を覆うロウ材層2とが順次積層されて成る光半導体素子5の搭載部6が形成されており、第二の拡散防止層3は、その外形寸法が光半導体素子5の下面の外形寸法よりも小さい。
【0016】
本発明の絶縁基板1は、例えば酸化アルミニウム(アルミナ:Al2O3)質焼結体(アルミナセラミックス)、窒化アルミニウム(AlN)質焼結体、炭化珪素(SiC)質焼結体、ガラスセラミックス、窒化珪素(Si3N4)質焼結体、石英、ダイヤモンド、サファイア(単結晶アルミナ)、立方晶窒化硼素(BN)、または熱酸化膜を形成したシリコン(Si)のうち少なくとも1種より成る。この絶縁基板1は、窒化アルミニウム質焼結体、炭化珪素質焼結体、ダイヤモンド、シリコンで形成するのがよく、これらの材料は熱伝導率が40W/m・K以上と高いため、ロウ材層2上に接合固定された光半導体素子5が駆動時に熱を発しても、その熱は絶縁基板1を介して良好に伝達される。そのため、光半導体素子5の放熱性が向上し、光半導体素子5を長期にわたり正常かつ安定的に作動させることが可能となる。
【0017】
また、絶縁基板1の材料にガラスセラミックスや石英等を用いるのもよく、これらの比誘電率は小さいため、絶縁基板1が浮遊容量を持たず、その結果、光半導体素子5に電気信号(高周波信号)を高速で伝達させることが可能となる。
【0018】
ロウ材層2は、蒸着法、スパッタリング法等により所定厚みに被着されることにより、光半導体素子5を接合する際にロウ材のプリフォームを配置する手間を省くことができる。ロウ材層2としては、Au−Ge合金ロウ材(融点約356℃)、Au−Si合金ロウ材(融点約370℃)、Au−Sn合金ロウ材(融点約280℃)、Pb−Sn合金ロウ材(融点約183℃)、In−Pb合金ロウ材(融点約172℃)、Inロウ材(融点約157℃)等が好ましい。これらは融点が400℃以下であるため、接合温度を低くすることができる。その結果、光半導体素子5が熱衝撃破壊されることがないという利点がある。また、組立工程において、低温接合ができることにより、昇温時間および冷却時間を短くすることができる。その結果、生産コストを低くすることができる。
【0019】
ロウ材層2は、第二の拡散防止層3の上面および側面を覆うように形成されており、第二の拡散防止層3は、その外形寸法が光半導体素子5の下面の外形寸法よりも小さいものとなっている。その結果、光半導体素子5を接合する際に溶融したロウ材のうち余分なものは導体層4上に濡れ広がることにより、溶融したロウ材が光半導体素子5の側面へ這い上がるのを防止できる。その結果、ロウ材層2の厚さを必要以上に薄くせずに溶融したロウ材が光半導体素子5の側面へ這い上がるのを防止できるため、光半導体素子5の良好な作動性を保持して確実かつ強固に接合することができる。
【0020】
また、ロウ材層2の側面と第二の拡散防止層3の側面との間の距離L1(図1)は0.01〜0.1mm程度が良く、0.01mm未満では、ロウ材層2が第二の拡散防止層3の上面および側面を完全に覆うことが困難となり、その結果、光半導体素子5側面へのロウ材の這い上がりを防止することが困難となる。0.1mmを超えると、主導体層4cを構成するAuがロウ材層2内へ拡散し易くなり、その結果、ロウ材層2の組成がAuリッチとなり、その融点の上昇を招き、光半導体素子5を配線基板上に強固に搭載するのが難しくなる。
【0021】
光半導体素子5を接合するロウ材層2の厚みは0.5〜5μm程度が良く、0.5μm未満では、光半導体素子5を強固に接合することが困難となる。5μmを超えると、ロウ材層2の成膜時の内部応力により、ロウ材層2に剥離が生じ易くなる。また、例えばAu−Sn合金から成るロウ材層2を構成するAuは貴金属で高価であることから高コスト化することとなる。
【0022】
また、ロウ材層2の上面に0.1μm程度の厚さのAu層を被着して、ロウ材層2の表面酸化を防ぐようにしてもよい。
【0023】
本発明において、図3に示すように、搭載部6のロウ材層2は側面の下端部に全周にわたって鍔状部2aが形成されていることが好ましい。この場合、ロウ材層2の側面で溶融したロウ材は鍔状部2aへ向かってきわめて容易に広がるとともに、鍔状部2aの下面で溶融したロウ材は主導体層4cに容易に濡れ馴染むこととなるため、結果的に溶融したロウ材は鍔状部2aに引っ張られるようにして広がることとなる。従って、溶融したロウ材が光半導体素子5の側面へ這い上がるのをより有効に防止できる。
【0024】
鍔状部2aの厚さはロウ材層2の厚さの1/3以上3/3未満がよく、1/3未満では、ロウ材層2の側面のロウ材のボリュームが小さくなり鍔状部2aによって側方へ広げる効果が劣化し易くなる。3/3以上では、ロウ材層2の側面のロウ材のボリュームが大きくなり、光半導体素子の側面へ這い上り易くなる。より好ましくは2/3以下がよい。
【0025】
第二の拡散防止層3は、Pt,Pd,Rh,Ni,Ni−Cr合金,Ti−W合金等の少なくとも1種より成るのが良い。また、第二の拡散防止層3の厚みは0.05〜1μm程度が良い。0.05μm未満では、ピンホール等の欠陥が発生して拡散防止層としての機能を果たしにくくなる。1μmを超えると、成膜時の内部応力により剥離を生じ易くなり、また、Pt,Pd等もAuと同様に貴金属で高価であることから高コスト化することとなる。
【0026】
導体層4は、密着金属層4a、第一の拡散防止層4b、主導体層4cが順次積層された3層構造の導体層から成る。そして、密着金属層4aは絶縁基板1との密着性の点で、Ti,Cr,Ta,Nb,Ni−Cr合金,Ta2N等の少なくとも1種より成るのが良い。密着金属層4aの厚さは0.01〜0.2μm程度が良い。0.01μm未満では強固に密着することが困難となり、0.2μmを超えると成膜時の内部応力によって剥離が生じ易くなる。
【0027】
第一の拡散防止層4bは、密着金属層4aと主導体層4cとの相互拡散を防ぐうえで、Pt,Pd,Rh,Ni,Ni−Cr合金,Ti−W合金等の少なくとも1種より成るのが良い。第一の拡散防止層4bの厚さは0.05〜1μm程度が良く、0.05μm未満では、ピンホール等の欠陥が発生して拡散防止層としての機能を果たしにくくなる。1μmを超えると、成膜時の内部応力により剥離が生じ易くなる。第一の拡散防止層4bにNi−Cr合金を用いる場合は、密着性も確保できるため、密着金属層4aを省くことも可能である。
【0028】
さらに主導体層4cは電気抵抗の小さいAu,Cu,Ni,Ag等より成るのが良く、その厚さは0.1〜5μm程度が良い。0.1μm未満では、電気抵抗が大きくなる傾向があり、5μmを超えると、成膜時の内部応力により剥離を生じ易くなる。また、Auは貴金属で高価であることから、低コスト化の点でなるべく薄く形成することが好ましい。Cuは酸化し易いので、その上にNiおよびAuから成る保護層をメッキ法等で被着するのが良い。
【0029】
【実施例】
本発明の配線基板の実施例を以下に説明する。
【0030】
(実施例1)
図1の配線基板を以下の工程[1],[2]により作製した。
【0031】
[1]絶縁基板1として、寸法が縦3mm×横3mm×厚さ0.4mmで窒化アルミニウム質焼結体から成るものを用意し、絶縁基板1を洗浄後、真空蒸着法により、厚さ0.1μmのTiより成る密着金属層4a、厚さ0.2μmのPtより成る第一の拡散防止層4b、厚さ0.5μmのAuより成る主導体層4cを順次積層した。
【0032】
[2]主導体層4c上に、厚さ0.5μmのPtより成る第二の拡散防止層3、厚さ3μmのAu−Sn合金より成るロウ材層2をスパッタリング法により順次形成した。そして、ロウ材層2の側面と第二の拡散防止層3の側面との間の距離L1は0.05mmとした。
【0033】
また、比較例として、ロウ材層2の側面が第二の拡散防止層3の側面と略面一である以外は上記配線基板と同様にして図2の配線基板を作製し、上記本実施例の配線基板と比較例の配線基板について、光半導体素子(LD)5,15の側面へのロウ材の這い上がりに関して比較評価した。即ち、330℃の温度に保持したヒータブロック上に配線基板を置き、5秒後に光半導体素子5,15を配線基板のロウ材層2上に置き、配線基板と光半導体素子5,15とを接合固定し、光半導体素子5,15の側面へのロウ材の這い上がりの有無を調べた。その結果、本実施例の配線基板では、ロウ材層2の光半導体素子5の側面への這い上がりは観られなかったが、比較例の配線基板ではロウ材層12の光半導体素子15の側面への這い上がりが観られた。以上より、ロウ材層2が第二の拡散防止層3の側面まで覆っている方が、光半導体素子5の側面へのロウ材の這い上がりを防止することができるということがわかった。
【0034】
また、ロウ材層2としてAu−Ge合金、Au−Si合金、Pb−Sn合金、In−Pb合金、Inを用いた場合についても、上記実施例と同様にしてそれぞれ光半導体素子5,15の側面への這い上がりについて調べたが、上記実施例と同様の結果が得られた。
【0035】
(実施例2)
図3の配線基板を以下の工程[1],[2]により作製した。
【0036】
[1]絶縁基板1として、寸法が縦3mm×横3mm×厚さ0.4mmで窒化アルミニウム質焼結体から成るものを用意し、絶縁基板1を洗浄後、真空蒸着法により、厚さ0.1μmのTiより成る密着金属層4a、厚さ0.2μmのPtより成る第一の拡散防止層4b、厚さ0.5μmのAuより成る主導体層4cを順次積層した。
【0037】
[2]主導体層4c上に、厚さ0.5μmのPtより成る第二の拡散防止層3、厚さ3μmのAu−Sn合金より成るとともに側面に鍔状部2aを有するロウ材層2をスパッタリング法により順次形成した。更に、鍔状部2aの厚みをロウ材層2の厚みの2/3である2μmとした。
【0038】
また、比較例として、ロウ材層2の側面が第二の拡散防止層3の側面と略面一である以外は上記配線基板と同様にして図2の配線基板を作製し、上記本実施例2の配線基板と比較例の配線基板について、光半導体素子(LD)5,15の側面へのロウ材の這い上がりに関して比較評価した。即ち、330℃の温度に保持したヒータブロック上に配線基板を置き、5秒後に光半導体素子5,15を配線基板のロウ材層2,12上に置き、配線基板と光半導体素子5,15とを接合固定し、光半導体素子5,15の側面へのロウ材の這い上がりの有無を調べた。その結果、本実施例2の配線基板では、ロウ材層2の光半導体素子5の側面への這い上がりはまったく観られず、ロウ材は溶融した際に速やかに側方に広がることが観察された。これに対して、比較例の配線基板ではロウ材層12の光半導体素子15の側面への這い上がりが観られた。以上より、ロウ材層2に鍔状部2aが形成された本発明の配線基板は、光半導体素子5の側面へのロウ材の這い上がりを有効に防止できることがわかった。
【0039】
なお、本発明は上記実施の形態および実施例に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことは何等差し支えない。
【0040】
【発明の効果】
本発明の配線基板は、絶縁基板の上側主面に、密着金属層、第一の拡散防止層および主導体層が順次積層されて成る導体層が形成されているとともに、導体層上に、導体層の上面の面積よりも小さい面積の第二の拡散防止層とその上面および側面を覆うロウ材層とが順次積層されて成る光半導体素子の搭載部が形成されており、第二の拡散防止層は、その外形寸法が光半導体素子の下面の外形寸法よりも小さいことにより、光半導体素子を搭載するためにロウ材層を加熱溶融させた際に、溶融したロウ材は光半導体素子の側面に這い上がるよりも側方(周囲)に濡れて広がるように挙動する。即ち、従来の構成では、ロウ材層の側面はその下方の第二の拡散防止層の側面に略面一となっているため、溶融したロウ材は表面張力によって第二の拡散防止層の側面側(下側)へ濡れ広がりにくくなり、そのため光半導体素子の側面側(上側)へ這い上がり易くなるのに対して、本発明の構成では、溶融したAu−Sn等から成るロウ材はAu等から成る主導体層に容易に濡れ馴染むとともに自重で周囲に広がる傾向が強くなる。従って、ロウ材層の厚さを必要以上に薄くせずに溶融したロウ材が光半導体素子の側面へ這い上がるのを防止できるため、光半導体素子の良好な作動性を保持して確実かつ強固に接合することができる。
【0041】
本発明の配線基板は、好ましくは、搭載部のロウ材層は側面の下端部に全周にわたって鍔状部が形成されていることにより、溶融したAu−Sn等から成るロウ材はAu等から成る主導体層に容易に濡れ馴染むとともに自重で周囲に広がる傾向がさらに強くなる。即ち、ロウ材層の側面で溶融したロウ材は鍔状部へ向かってきわめて容易に広がるとともに、鍔状部の下面で溶融したロウ材は主導体層に容易に濡れ馴染むこととなるため、結果的に溶融したロウ材は鍔状部に引っ張られるようにして広がることとなる。従って、溶融したロウ材が光半導体素子の側面へ這い上がるのをより有効に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の配線基板について実施の形態の一例を示す断面図である。
【図2】従来の配線基板の断面図である。
【図3】本発明の配線基板について実施の形態の他の例を示す部分断面図である。
【符号の説明】
1:絶縁基板
2:ロウ材層
3:第二の拡散防止層
4:導体層
4a:密着金属層
4b:第一の拡散防止層
4c:主導体層
5:光半導体素子
6:搭載部
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体レーザ等の光半導体素子を搭載するサブマウント等として用いられる配線基板に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体レーザ(レーザダイオード:LD)、フォトダイオード(PD)等の光半導体素子は、サブマウントと呼ばれる配線基板に搭載される。この配線基板は、CD(コンパクトディスク)、DVD(デジタルビデオディスク)、LBP(レーザビームプリンタ)、DVD−ROMなどの光ピックアップ用の部品や光通信用の光モジュールの部品として幅広く使用されている。
【0003】
従来の光半導体素子を搭載する配線基板の断面図を図2に示す。図2において、11はシリコン、窒化アルミニウム(AlN)質焼結体(AlNセラミックス)等から成る絶縁基板、12はAu−Sn合金等から成るロウ材層、13はPt等から成る第二の拡散防止層、14は導体層、14aはTi等から成る密着金属層、14bはPt等から成る第一の拡散防止層、14cはAu等から成る主導体層、15は光半導体素子である。
【0004】
従来の配線基板は、例えば絶縁基板11の上側主面に被着されたAuから成る主導体層14cと光半導体素子15を接合固定するAu−Sn合金から成るロウ材層12との間に、Ptから成る第二の拡散防止層13を形成した構造にすることで、光半導体素子15をロウ材層12を介して搭載部16に接合し搭載する際、主導体層14cのAuがロウ材層12のAu−Sn合金中に拡散するのを第二の拡散防止層13によって有効に防止するものである。また、ロウ材層12は組成および組成比が変化することにより融点が高くなることはなく、接合時の所定の温度で完全に溶融して光半導体素子15を配線基板上に確実、強固に接合できるものである(例えば、下記の特許文献1参照)。
【0005】
【特許文献1】
特開平11−307692号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の配線基板においては、ロウ材層12を薄くすることが要求されてきているが、これは、光半導体素子15を搭載する際にロウ材層12が光半導体素子15の接合面(下面)から側面へ這い上がり、光半導体素子15の側面に設けられたレーザ発光部や受光部がロウ材層12により塞がれるという不具合が生じ易いためである。また、ロウ材層12が厚いと、光半導体素子15を接合し搭載した際に光半導体素子15の下面と絶縁基板11の上側主面とが平行に接合されず、傾いた状態で接合され易いので、半導体素子15のレーザ光が絶縁基板11の上側主面に対して平行に出射されないという不具合が生じていた。その結果、光半導体素子15を搭載した配線基板を光ピックアップや光モジュールに組み込んだときに、光半導体素子15のレーザ光の光軸がレンズ、光ビームスプリッタ、ハーフミラー、光ディスク、光ファイバ等の他の部品に対してずれてしまい、光損失が増大したり光結合が損なわれるといった問題が発生していた。
【0007】
そこで、ロウ材層12が厚いことによる上記の不具合を解消するために、ロウ材層12を薄くすると、光半導体素子15を接合するために配線基板を加熱した際、第二の拡散防止層13を構成するPt中に、その上部のロウ材層12を構成するAu−Sn合金中のSnが急速に拡散し、その結果、ロウ材層12を構成するAu−Sn合金の組成がAu過多(Auリッチ)となり、融点の上昇を招き易いことがわかった。その場合、接合時の所定の温度でロウ材層12のAu−Sn合金を完全に溶融させることができず、光半導体素子15と配線基板とが強固に接合され難いという問題点があった。
【0008】
また、ロウ材層12の融点上昇という問題点を解消するために、ロウ付け温度を上げ、ロウ材層12を完全に溶融させることも考えられるが、ロウ付け温度を上げると光半導体素子15に不要な熱的負荷が加わり、光半導体素子15に熱破壊が生じたり、発光特性等の動作特性が劣化し、光半導体素子15が誤作動するという問題を誘発していた。
【0009】
従って、本発明は上記従来の問題点に鑑みて完成されたものであり、その目的は、ロウ材層と光半導体素子との接合性を劣化させずにロウ材層の光半導体素子側面への這い上がりを抑制し、光半導体素子を確実かつ強固に接合して搭載することができる配線基板を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の配線基板は、絶縁基板の上側主面に、密着金属層、第一の拡散防止層および主導体層が順次積層されて成る導体層が形成されているとともに、該導体層上に、前記導体層の上面の面積よりも小さい面積の第二の拡散防止層とその上面および側面を覆うロウ材層とが順次積層されて成る光半導体素子の搭載部が形成されており、前記第二の拡散防止層は、その外形寸法が前記光半導体素子の下面の外形寸法よりも小さいことを特徴とする。
【0011】
本発明の配線基板は、導体層上にその上面の面積よりも小さい面積の第二の拡散防止層とその上面および側面を覆うロウ材層とが順次積層されて成る光半導体素子の搭載部が形成されており、第二の拡散防止層は、その外形寸法が光半導体素子の下面の外形寸法よりも小さいことから、光半導体素子を搭載するためにロウ材層を加熱溶融させた際に、溶融したロウ材は光半導体素子の側面に這い上がるよりも側方(周囲)に濡れて広がるように挙動する。即ち、図2の従来の構成では、ロウ材層の側面はその下方の第二の拡散防止層の側面に略面一となっているため、溶融したロウ材は表面張力によって第二の拡散防止層の側面側(下側)へ濡れ広がりにくくなり、そのため光半導体素子の側面側(上側)へ這い上がり易くなるのに対して、本発明の構成では、溶融したAu−Sn等から成るロウ材はAu等から成る主導体層に容易に濡れ馴染むとともに自重で周囲に広がる傾向が強くなる。従って、ロウ材層の厚さを必要以上に薄くせずに溶融したロウ材が光半導体素子の側面へ這い上がるのを防止できるため、光半導体素子の良好な作動性を保持して確実かつ強固に接合することができる。
【0012】
本発明の配線基板は、好ましくは、前記搭載部の前記ロウ材層は、側面の下端部に全周にわたって鍔状部が形成されていることを特徴とする。
【0013】
本発明の配線基板は、搭載部のロウ材層は側面の下端部に全周にわたって鍔状部が形成されていることから、溶融したAu−Sn等から成るロウ材はAu等から成る主導体層に容易に濡れ馴染むとともに自重で周囲に広がる傾向がさらに強くなる。即ち、ロウ材層の側面で溶融したロウ材は鍔状部へ向かってきわめて容易に広がるとともに、鍔状部の下面で溶融したロウ材は主導体層に容易に濡れ馴染むこととなるため、結果的に溶融したロウ材は鍔状部に引っ張られるようにして広がることとなる。従って、溶融したロウ材が光半導体素子の側面へ這い上がるのをより有効に防止することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
本発明の配線基板について以下に詳細に説明する。図1は、本発明の配線基板について実施の形態の一例を示す断面図である。同図において、1は絶縁基板、2はロウ材層、3は第二の拡散防止層、4は導体層、4aは密着金属層、4bは第一の拡散防止層、4cは主導体層である。
【0015】
本発明の配線基板は、絶縁基板1の上側主面に、密着金属層4a、第一の拡散防止層4bおよび主導体層4cが順次積層されて成る導体層4が形成されているとともに、導体層4上に、導体層4の上面の面積よりも小さい面積の第二の拡散防止層3とその上面および側面を覆うロウ材層2とが順次積層されて成る光半導体素子5の搭載部6が形成されており、第二の拡散防止層3は、その外形寸法が光半導体素子5の下面の外形寸法よりも小さい。
【0016】
本発明の絶縁基板1は、例えば酸化アルミニウム(アルミナ:Al2O3)質焼結体(アルミナセラミックス)、窒化アルミニウム(AlN)質焼結体、炭化珪素(SiC)質焼結体、ガラスセラミックス、窒化珪素(Si3N4)質焼結体、石英、ダイヤモンド、サファイア(単結晶アルミナ)、立方晶窒化硼素(BN)、または熱酸化膜を形成したシリコン(Si)のうち少なくとも1種より成る。この絶縁基板1は、窒化アルミニウム質焼結体、炭化珪素質焼結体、ダイヤモンド、シリコンで形成するのがよく、これらの材料は熱伝導率が40W/m・K以上と高いため、ロウ材層2上に接合固定された光半導体素子5が駆動時に熱を発しても、その熱は絶縁基板1を介して良好に伝達される。そのため、光半導体素子5の放熱性が向上し、光半導体素子5を長期にわたり正常かつ安定的に作動させることが可能となる。
【0017】
また、絶縁基板1の材料にガラスセラミックスや石英等を用いるのもよく、これらの比誘電率は小さいため、絶縁基板1が浮遊容量を持たず、その結果、光半導体素子5に電気信号(高周波信号)を高速で伝達させることが可能となる。
【0018】
ロウ材層2は、蒸着法、スパッタリング法等により所定厚みに被着されることにより、光半導体素子5を接合する際にロウ材のプリフォームを配置する手間を省くことができる。ロウ材層2としては、Au−Ge合金ロウ材(融点約356℃)、Au−Si合金ロウ材(融点約370℃)、Au−Sn合金ロウ材(融点約280℃)、Pb−Sn合金ロウ材(融点約183℃)、In−Pb合金ロウ材(融点約172℃)、Inロウ材(融点約157℃)等が好ましい。これらは融点が400℃以下であるため、接合温度を低くすることができる。その結果、光半導体素子5が熱衝撃破壊されることがないという利点がある。また、組立工程において、低温接合ができることにより、昇温時間および冷却時間を短くすることができる。その結果、生産コストを低くすることができる。
【0019】
ロウ材層2は、第二の拡散防止層3の上面および側面を覆うように形成されており、第二の拡散防止層3は、その外形寸法が光半導体素子5の下面の外形寸法よりも小さいものとなっている。その結果、光半導体素子5を接合する際に溶融したロウ材のうち余分なものは導体層4上に濡れ広がることにより、溶融したロウ材が光半導体素子5の側面へ這い上がるのを防止できる。その結果、ロウ材層2の厚さを必要以上に薄くせずに溶融したロウ材が光半導体素子5の側面へ這い上がるのを防止できるため、光半導体素子5の良好な作動性を保持して確実かつ強固に接合することができる。
【0020】
また、ロウ材層2の側面と第二の拡散防止層3の側面との間の距離L1(図1)は0.01〜0.1mm程度が良く、0.01mm未満では、ロウ材層2が第二の拡散防止層3の上面および側面を完全に覆うことが困難となり、その結果、光半導体素子5側面へのロウ材の這い上がりを防止することが困難となる。0.1mmを超えると、主導体層4cを構成するAuがロウ材層2内へ拡散し易くなり、その結果、ロウ材層2の組成がAuリッチとなり、その融点の上昇を招き、光半導体素子5を配線基板上に強固に搭載するのが難しくなる。
【0021】
光半導体素子5を接合するロウ材層2の厚みは0.5〜5μm程度が良く、0.5μm未満では、光半導体素子5を強固に接合することが困難となる。5μmを超えると、ロウ材層2の成膜時の内部応力により、ロウ材層2に剥離が生じ易くなる。また、例えばAu−Sn合金から成るロウ材層2を構成するAuは貴金属で高価であることから高コスト化することとなる。
【0022】
また、ロウ材層2の上面に0.1μm程度の厚さのAu層を被着して、ロウ材層2の表面酸化を防ぐようにしてもよい。
【0023】
本発明において、図3に示すように、搭載部6のロウ材層2は側面の下端部に全周にわたって鍔状部2aが形成されていることが好ましい。この場合、ロウ材層2の側面で溶融したロウ材は鍔状部2aへ向かってきわめて容易に広がるとともに、鍔状部2aの下面で溶融したロウ材は主導体層4cに容易に濡れ馴染むこととなるため、結果的に溶融したロウ材は鍔状部2aに引っ張られるようにして広がることとなる。従って、溶融したロウ材が光半導体素子5の側面へ這い上がるのをより有効に防止できる。
【0024】
鍔状部2aの厚さはロウ材層2の厚さの1/3以上3/3未満がよく、1/3未満では、ロウ材層2の側面のロウ材のボリュームが小さくなり鍔状部2aによって側方へ広げる効果が劣化し易くなる。3/3以上では、ロウ材層2の側面のロウ材のボリュームが大きくなり、光半導体素子の側面へ這い上り易くなる。より好ましくは2/3以下がよい。
【0025】
第二の拡散防止層3は、Pt,Pd,Rh,Ni,Ni−Cr合金,Ti−W合金等の少なくとも1種より成るのが良い。また、第二の拡散防止層3の厚みは0.05〜1μm程度が良い。0.05μm未満では、ピンホール等の欠陥が発生して拡散防止層としての機能を果たしにくくなる。1μmを超えると、成膜時の内部応力により剥離を生じ易くなり、また、Pt,Pd等もAuと同様に貴金属で高価であることから高コスト化することとなる。
【0026】
導体層4は、密着金属層4a、第一の拡散防止層4b、主導体層4cが順次積層された3層構造の導体層から成る。そして、密着金属層4aは絶縁基板1との密着性の点で、Ti,Cr,Ta,Nb,Ni−Cr合金,Ta2N等の少なくとも1種より成るのが良い。密着金属層4aの厚さは0.01〜0.2μm程度が良い。0.01μm未満では強固に密着することが困難となり、0.2μmを超えると成膜時の内部応力によって剥離が生じ易くなる。
【0027】
第一の拡散防止層4bは、密着金属層4aと主導体層4cとの相互拡散を防ぐうえで、Pt,Pd,Rh,Ni,Ni−Cr合金,Ti−W合金等の少なくとも1種より成るのが良い。第一の拡散防止層4bの厚さは0.05〜1μm程度が良く、0.05μm未満では、ピンホール等の欠陥が発生して拡散防止層としての機能を果たしにくくなる。1μmを超えると、成膜時の内部応力により剥離が生じ易くなる。第一の拡散防止層4bにNi−Cr合金を用いる場合は、密着性も確保できるため、密着金属層4aを省くことも可能である。
【0028】
さらに主導体層4cは電気抵抗の小さいAu,Cu,Ni,Ag等より成るのが良く、その厚さは0.1〜5μm程度が良い。0.1μm未満では、電気抵抗が大きくなる傾向があり、5μmを超えると、成膜時の内部応力により剥離を生じ易くなる。また、Auは貴金属で高価であることから、低コスト化の点でなるべく薄く形成することが好ましい。Cuは酸化し易いので、その上にNiおよびAuから成る保護層をメッキ法等で被着するのが良い。
【0029】
【実施例】
本発明の配線基板の実施例を以下に説明する。
【0030】
(実施例1)
図1の配線基板を以下の工程[1],[2]により作製した。
【0031】
[1]絶縁基板1として、寸法が縦3mm×横3mm×厚さ0.4mmで窒化アルミニウム質焼結体から成るものを用意し、絶縁基板1を洗浄後、真空蒸着法により、厚さ0.1μmのTiより成る密着金属層4a、厚さ0.2μmのPtより成る第一の拡散防止層4b、厚さ0.5μmのAuより成る主導体層4cを順次積層した。
【0032】
[2]主導体層4c上に、厚さ0.5μmのPtより成る第二の拡散防止層3、厚さ3μmのAu−Sn合金より成るロウ材層2をスパッタリング法により順次形成した。そして、ロウ材層2の側面と第二の拡散防止層3の側面との間の距離L1は0.05mmとした。
【0033】
また、比較例として、ロウ材層2の側面が第二の拡散防止層3の側面と略面一である以外は上記配線基板と同様にして図2の配線基板を作製し、上記本実施例の配線基板と比較例の配線基板について、光半導体素子(LD)5,15の側面へのロウ材の這い上がりに関して比較評価した。即ち、330℃の温度に保持したヒータブロック上に配線基板を置き、5秒後に光半導体素子5,15を配線基板のロウ材層2上に置き、配線基板と光半導体素子5,15とを接合固定し、光半導体素子5,15の側面へのロウ材の這い上がりの有無を調べた。その結果、本実施例の配線基板では、ロウ材層2の光半導体素子5の側面への這い上がりは観られなかったが、比較例の配線基板ではロウ材層12の光半導体素子15の側面への這い上がりが観られた。以上より、ロウ材層2が第二の拡散防止層3の側面まで覆っている方が、光半導体素子5の側面へのロウ材の這い上がりを防止することができるということがわかった。
【0034】
また、ロウ材層2としてAu−Ge合金、Au−Si合金、Pb−Sn合金、In−Pb合金、Inを用いた場合についても、上記実施例と同様にしてそれぞれ光半導体素子5,15の側面への這い上がりについて調べたが、上記実施例と同様の結果が得られた。
【0035】
(実施例2)
図3の配線基板を以下の工程[1],[2]により作製した。
【0036】
[1]絶縁基板1として、寸法が縦3mm×横3mm×厚さ0.4mmで窒化アルミニウム質焼結体から成るものを用意し、絶縁基板1を洗浄後、真空蒸着法により、厚さ0.1μmのTiより成る密着金属層4a、厚さ0.2μmのPtより成る第一の拡散防止層4b、厚さ0.5μmのAuより成る主導体層4cを順次積層した。
【0037】
[2]主導体層4c上に、厚さ0.5μmのPtより成る第二の拡散防止層3、厚さ3μmのAu−Sn合金より成るとともに側面に鍔状部2aを有するロウ材層2をスパッタリング法により順次形成した。更に、鍔状部2aの厚みをロウ材層2の厚みの2/3である2μmとした。
【0038】
また、比較例として、ロウ材層2の側面が第二の拡散防止層3の側面と略面一である以外は上記配線基板と同様にして図2の配線基板を作製し、上記本実施例2の配線基板と比較例の配線基板について、光半導体素子(LD)5,15の側面へのロウ材の這い上がりに関して比較評価した。即ち、330℃の温度に保持したヒータブロック上に配線基板を置き、5秒後に光半導体素子5,15を配線基板のロウ材層2,12上に置き、配線基板と光半導体素子5,15とを接合固定し、光半導体素子5,15の側面へのロウ材の這い上がりの有無を調べた。その結果、本実施例2の配線基板では、ロウ材層2の光半導体素子5の側面への這い上がりはまったく観られず、ロウ材は溶融した際に速やかに側方に広がることが観察された。これに対して、比較例の配線基板ではロウ材層12の光半導体素子15の側面への這い上がりが観られた。以上より、ロウ材層2に鍔状部2aが形成された本発明の配線基板は、光半導体素子5の側面へのロウ材の這い上がりを有効に防止できることがわかった。
【0039】
なお、本発明は上記実施の形態および実施例に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことは何等差し支えない。
【0040】
【発明の効果】
本発明の配線基板は、絶縁基板の上側主面に、密着金属層、第一の拡散防止層および主導体層が順次積層されて成る導体層が形成されているとともに、導体層上に、導体層の上面の面積よりも小さい面積の第二の拡散防止層とその上面および側面を覆うロウ材層とが順次積層されて成る光半導体素子の搭載部が形成されており、第二の拡散防止層は、その外形寸法が光半導体素子の下面の外形寸法よりも小さいことにより、光半導体素子を搭載するためにロウ材層を加熱溶融させた際に、溶融したロウ材は光半導体素子の側面に這い上がるよりも側方(周囲)に濡れて広がるように挙動する。即ち、従来の構成では、ロウ材層の側面はその下方の第二の拡散防止層の側面に略面一となっているため、溶融したロウ材は表面張力によって第二の拡散防止層の側面側(下側)へ濡れ広がりにくくなり、そのため光半導体素子の側面側(上側)へ這い上がり易くなるのに対して、本発明の構成では、溶融したAu−Sn等から成るロウ材はAu等から成る主導体層に容易に濡れ馴染むとともに自重で周囲に広がる傾向が強くなる。従って、ロウ材層の厚さを必要以上に薄くせずに溶融したロウ材が光半導体素子の側面へ這い上がるのを防止できるため、光半導体素子の良好な作動性を保持して確実かつ強固に接合することができる。
【0041】
本発明の配線基板は、好ましくは、搭載部のロウ材層は側面の下端部に全周にわたって鍔状部が形成されていることにより、溶融したAu−Sn等から成るロウ材はAu等から成る主導体層に容易に濡れ馴染むとともに自重で周囲に広がる傾向がさらに強くなる。即ち、ロウ材層の側面で溶融したロウ材は鍔状部へ向かってきわめて容易に広がるとともに、鍔状部の下面で溶融したロウ材は主導体層に容易に濡れ馴染むこととなるため、結果的に溶融したロウ材は鍔状部に引っ張られるようにして広がることとなる。従って、溶融したロウ材が光半導体素子の側面へ這い上がるのをより有効に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の配線基板について実施の形態の一例を示す断面図である。
【図2】従来の配線基板の断面図である。
【図3】本発明の配線基板について実施の形態の他の例を示す部分断面図である。
【符号の説明】
1:絶縁基板
2:ロウ材層
3:第二の拡散防止層
4:導体層
4a:密着金属層
4b:第一の拡散防止層
4c:主導体層
5:光半導体素子
6:搭載部
Claims (2)
- 絶縁基板の上側主面に、密着金属層、第一の拡散防止層および主導体層が順次積層されて成る導体層が形成されているとともに、該導体層上に、前記導体層の上面の面積よりも小さい面積の第二の拡散防止層とその上面および側面を覆うロウ材層とが順次積層されて成る光半導体素子の搭載部が形成されており、前記第二の拡散防止層は、その外形寸法が前記光半導体素子の下面の外形寸法よりも小さいことを特徴とする配線基板。
- 前記搭載部の前記ロウ材層は、側面の下端部に全周にわたって鍔状部が形成されていることを特徴とする請求項1記載の配線基板。
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Cited By (1)
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JP2006269751A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
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- 2002-09-20 JP JP2002274457A patent/JP2004111770A/ja active Pending
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