JP2004085314A - 振動型ジャイロセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コリオリ力を発生させるための一次振動は、Qの高い機械共振を利用しているため、一次振動モードに加振する駆動を連続しなくとも継続可能であることを利用し、一次振動モードに加振する駆動がなされていない間に二次振動モードを検知するよう動作させることで、誤差信号の混入をなくして正確に二次振動モードを検出できる。
【選択図】 図3
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えばリング状の振動子の径方向に生じる振動モードを利用して角速度を検出する振動型ジャイロセンサの改良に関し、振動子を固有振動数の一次振動モードに加振する駆動信号により、検出対象の二次振動モードの検出信号がマスクされるのを防止する制御系を備えた振動型ジャイロセンサに関する。
【0002】
【従来の技術】
特許第2766743号、特開平10−267667号公報等に開示されるように振動子にリングを用いた振動型ジャイロセンサは、シリコン基板をエッチング加工して製造でき、基板内に形成したリングを同じシリコンの線状サスペンションで中吊り状態に構成できる。
【0003】
すなわち、図1Aに示す如く、エッチング加工されたシリコン基板1中央には八角形の空間部2が設けられ、その中央に細い線状のリング振動子3が形成されており、これは該空間の各角部から略Z字状(ドッグレッグ状)に伸びる8本の線状サスペンション4で中吊りされた構成からなる。
【0004】
かかる構成の振動子のリングには、従来の圧電などの他センサのように外来応力に敏感な固定支点がなく、またリングに与える楕円振動が外来応力による影響を受け難く、目的の角速度を高精度に検出できるという特徴を有している。
【0005】
すなわち、図2に示すように、まずリング振動子3を固有振動数に加振した振動状態(モード1)で、角速度が加わると、振動モード1に対してコリオリ力が働き、その結果新たに振動モード2が発生することになり、例えば振動モード2が発生するモード1の不動点(ノード)をモニターすることによって、作用した角速度を得ることができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
前記構成のリング状の振動子を有する振動型ジャイロセンサにおいて、共振体となるリングの振動には圧電的、電界的または磁界的効果の各手段で励振することが可能である。例えば、図1Bに示すごとく、いずれの駆動方法の場合であってもセンサ10のリング振動子の駆動周波数及び振幅を一定に保持するための駆動回路11を有しこれを制御する一次制御回路12と、当該センサ10の二次振動を検出する検出回路14を有し、これを制御し出力するための二次制御回路15から構成される。
【0007】
前記構成からなる振動型ジャイロセンサは、リング振動子に楕円振動が外来応力による影響を受け難く、目的の角速度を高精度に検出できるが、この一つのリング振動子が前記一次と二次の各振動モードを呈することから、例えばセンサ周波数及び振幅を一定に保つ一次側の制御ドライブ回路の信号が二次側の回路に混入して検出測定に大きな誤差が発生する問題があった。
【0008】
この発明は、振動子の機械共振を用いたセンサ周波数及び振幅を一定に保つための一次振動制御回路と、センサの出力を検出するための二次振動制御回路から構成される振動型ジャイロセンサにおいて、いずれの励振、駆動方法を採用する場合でも、前記回路間の電気的誤差信号、クロストークを低減し、センサに作用した角速度を高精度に検出、測定できる構成からなる振動型ジャイロセンサの提供を目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
発明者らは、振動型ジャイロセンサにおける一次と二次の振動制御回路間のクロストークの発生について種々検討した結果、振動子の励振手段、すなわちセンサの基本構成として採用する磁界的、電界的あるいは抵抗結合により、リング振動子の一次振動モードの制御ドライブ回路の信号が、二次振動モードの検出回路に混入し、微小な二次側の検出信号をマスクして大きな誤差が発生することを知見した。
【0010】
発明者らは、上記のクロストーク信号をキャンセルできる構成について鋭意検討した結果、コリオリ力を発生させるための一次振動は、Qの高い機械共振を利用しているため、一次振動モードに加振する駆動を連続しなくとも継続可能であることを知見してこれに着目し、一次振動モードに加振する駆動がなされていない間に二次振動モードを検知するよう動作させることで、誤差信号の混入をなくして正確に二次振動モードを検出できることを知見した。
【0011】
さらに発明者らは、前記構成において、一次振動モードを検知する検出回路を有したり、また二次振動モードを検知するために振動子を二次振動モードに加振する駆動回路を有する場合、いずれも前記加振のための駆動がなされていない間に一次振動モード又は二次振動モードあるいはその両方を検知することで電気的誤差信号の混入を防止できることを知見し、この発明を完成した。
【0012】
すなわち、この発明は、振動子と、振動子を固有振動数の一次振動モードに加振する駆動手段と、一次振動モードにコリオリ力が作用して発生する二次振動モードを検知する検出手段とを有する振動型ジャイロセンサであり、加振のための駆動がなされていない間に二次振動モードを検知するよう動作させる制御手段を有することを特長とする振動型ジャイロセンサである。
【0013】
また、この発明は、振動子と、振動子を固有振動数の一次振動モードに加振する駆動手段と一次振動モードを検知する検出手段を含む一次制御手段と、一次振動モードにコリオリ力が作用して発生する二次振動モードを検知する検出手段とを有する振動型ジャイロセンサであり、加振のための駆動がなされていない間に一次振動モード又は二次振動モードあるいはその両方を検知するよう動作させる制御手段を有することを特長とする振動型ジャイロセンサである。
【0014】
さらに、この発明は、振動子と、振動子を固有振動数の一次振動モードに加振する駆動手段と一次振動モードを検知する検出手段を含む一次制御手段と、一次振動モードにコリオリ力が作用して発生する二次振動モードを検知するための振動子を二次振動モードに加振する駆動手段と二次振動モードの検出手段とを含む二次制御手段を有する振動型ジャイロセンサであり、加振のための駆動がなされていない間に一次振動モード又は二次振動モードあるいはその両方を検知するよう動作させる制御手段を有することを特長とする振動型ジャイロセンサである。
【0015】
【発明の実施の形態】
この発明において、振動型ジャイロセンサを構成する振動子には、リング型、音叉型、平行平板型等の公知のいずれの形状、形態のものも採用できる。また、かかる振動子をその固有振動数の一次振動モードに加振する駆動手段には、公知の圧電式、磁界式、あるいは電界式の各駆動手段のいずれをも採用することできる。
【0016】
ここで振動型ジャイロセンサのクロストークの概念を説明すると、励振に圧電式、磁界式あるいは電界式駆動のいずれを用いたとしても、図1Aのリング振動子を有するセンサを、図1Bに示すごとき制御回路で作動させると、一次制御回路12で制御されて一次駆動回路11から出力される駆動信号と、角速度が加えられた結果、二次検出回路14で検出される本来の検出信号とが、図4Aに模式的に示すごとき波形を有している場合、前記駆動信号に起因する誤差信号が生じて、これが本来の二次検出信号に重畳されて、図示のごとき誤差信号を含む検出信号となってしまう。
【0017】
そこでこの発明では、図3に示すごとく、図1Bに示す制御回路構成に対して、各一次と二次の駆動回路11,16と検出回路13,14にオン・オフを可能にするスイッチS1D,S2D,S1P,S2Pを設けてこれを制御する信号制御回路20を付加する構成とし、図4Bに模式的に示すごとく、スイッチS1Dで一次駆動回路11をオン・オフすることで励振しない時間を含む一次駆動信号を得ることができ、また同時にスイッチS2Pを逆にオン・オフすることで、一次駆動信号が無い時に二次検出回路14を作動させる制御を行う。
【0018】
信号制御回路20を付加する構成である以外は同じセンサであることから、前述の一次駆動信号がセンサの出力に重畳されるが、一次駆動信号が無い時に作動した二次検出回路14からの出力、すなわち二次検出信号には一次駆動信号は重畳されないため、正確な測定出力を得ることが可能となる。
【0019】
この発明において、振動子を固有振動数の一次振動モードに加振する駆動手段と一次振動モードを検知する検出手段を含む一次制御手段としては、一次振動モードへの駆動手段には、上記の各種方法のいずれかを採用でき、採用した駆動手段に応じて、同様の駆動方式を採用し、あるいは励振用とは異なる駆動方式を採用して一次振動モードを検知することが可能である。例えば、励振用と同じ駆動方式で一次振動モードを検知するのに駆動側と同位相となるように検知側から励振するなど、位相制御のPLL回路を利用するなど、公知の制御回路や手段が採用できる。
【0020】
また、一次振動モードにコリオリ力が作用して発生する二次振動モードを検知する検出手段には、上述のごとく、一次振動モードの励振用駆動手段と同じかあるいは異なる前記の駆動手段を利用して二次振動モードを検知することができる。
【0021】
さらに、二次振動モードを検知するための振動子を二次振動モードに加振する駆動手段と二次振動モードの検出手段とを含む二次制御手段としては、上述の一次制御手段で述べた手法をそのまま採用することができる。すなわち、二次振動モードへの駆動手段には、圧電式、磁界式、あるいは電界式などの各駆動手段を採用でき、採用した駆動手段に応じて、同様の駆動方式を採用し、あるいは励振用とは異なる駆動方式を採用して一次振動モードを検知することが可能である。
【0022】
従って、センサの駆動、制御手段としては、各次振動モードの検知手段を備えるか否かにかかわらず、例えば圧電式、磁界式、あるいは電界式などの一次振動モードに加振する駆動手段に採用した駆動方式を同一にしておくことで、センサ構成を単純化でき、小型化や省エネルギー化を図ることが容易になる。
【0023】
この発明において、加振のための駆動がなされていない間に一次振動モード又は二次振動モードあるいはその両方を検知するよう動作させる制御手段としては、各振動モードの駆動や検知のために採用した手段に応じて、振動子の励振用駆動手段のオン・オフと検知手段のオン・オフが同時とならないように、例えばスイッチング回路の動作を、所要のタイムスケジュールとなるようロジック制御回路やシーケンス回路等を用いて制御することができる。
【0024】
従って、前記制御により、一次振動モードの駆動手段に、動作時と非動作時をその時間差又は回数差を所要パターンで設定し、これに応じて該駆動手段の非動作時に一次振動モード又は二次振動モードあるいはその両方を検知する動作パターンを設定することが可能となる。
【0025】
この発明は、前述のごとく、一次振動モードの駆動信号が無い時に二次振動モードの検出回路を作動させる制御を行うことを特徴とするが、二次検出信号に重畳した一次振動モードの駆動信号、すなわちクロストークの内容を予め検知して把握しておくことで、一次振動モードに駆動する駆動手段の動作時に二次振動モードの検出回路を作動させる手段を有する構成であっても、検出信号から重畳した一次振動モードの駆動信号を電気的に除去し、正確な検出が可能となる。従って、一次振動モードの駆動回路の動作時と非動作時にそれぞれ検出した二次振動モードの検出信号を対比して誤差を減じるアナログ又はデジタルの演算手段を備えることでも、この発明の目的を達成できる。
【0026】
【実施例】
実施例1
所要部に磁石を配置して下部磁極部を設けた磁石板上にスペーサーを介して、シリコン基板より作製した図1Aに示すリング振動子を線状サスペンションで同一平面上に懸架した構成の振動子板を載置し、さらに上部磁極部を設けた蓋板をスペーサーを介して積層し、内部を真空化して一体化した構成からなる振動型ジャイロセンサを用いた。
【0027】
このジャイロセンサは、上述のごとくリング振動子を磁界式駆動源で一次振動モードに振動させるもので、図5に示す制御回路を有している。詳述すると、制御回路は、リング振動子の固有振動数の4倍の基準クロックを、U2,U3で四分周し、該固有振動数を得て、U4はU2の出力を二分周し、U5でU2の出力信号とU4の出力信号とのANDを取ることにより、固有振動1サイクル毎に発生するドライブ信号を得て、さらにU6で基準クロックと精度よく時間同期を行う構成からなっている。
【0028】
図6Aに示すグラフは、図5に示す制御回路を有するジャイロセンサであるが、常時、一次振動モードに振動させながら所要の角速度を印加して二次振動モードの検出を行う比較例の結果を示すもので、グラフの上側に示す波形は一次駆動信号であり、下側が二次検出信号の波形を示す。
【0029】
これに対して図6Bに示すグラフは、図5に示す制御回路でこの発明による制御を行い、一次駆動信号がない時に二次振動モードの検出を行うようにしたものである。両グラフを比較することで、一次側と二次側との間にクロストークが31.2mVP・Pある中で、この発明によるジャイロセンサは、3.2mVP・Pの微量の二次検出信号を精度よく検出できることが明らかである。
【0030】
実施例2
所要パターンで電極を形成した下部電極板上にスペーサーを介して、シリコン基板より作製した図1Aに示すリング振動子を線状サスペンションで同一平面上に懸架した構成の振動子板を載置し、さらに所要パターンで電極を形成した側部電極板を設け、内部を真空化して一体化した構成からなる振動型ジャイロセンサを用いた。
【0031】
このジャイロセンサは、上述のごとくリング振動子を電界式駆動源で一次振動モードに振動させるもので、図7に示す制御回路を有している。詳述すると、制御回路は、リング振動子の固有振動数の4倍の基準クロックを、U2,U3で四分周し、該固有振動数を得手、これと同期した正弦波をPLL1で発生させ、U4はU2の出力を二分周し、さらにU6で基準クロックと精度よく同期を取り、S1で正弦波駆動信号を固有振動数の2倍の周期オン/オフする構成からなっている。
【0032】
図8Aに示すグラフは、図7に示す制御回路を有するジャイロセンサであるが、常時、一次振動モードに振動させながら所要の角速度を印加して二次振動モードの検出を行う比較例の結果を示すもので、グラフの上側に示す波形は一次駆動信号であり、下側が二次検出信号の波形を示す。
【0033】
これに対して図8Bに示すグラフは、図7に示す制御回路でこの発明による制御を行い、一次駆動信号がない時に二次振動モードの検出を行うようにしたものである。両グラフを比較することで、一次側と二次側との間にクロストークが26.4mVP・Pある中で、この発明によるジャイロセンサは、3.2mVP・Pの微量の二次検出信号を精度よく検出できることが明らかである。
【0034】
【発明の効果】
この発明によると、実施例に明らかなように、一次振動モードにいずれの励振、駆動方法を採用する場合でも、振動子を固有振動数の一次振動モードに加振する駆動信号により、検出対象の二次振動モードの検出信号がマスクされるのを防止することが可能である。
【0035】
またこの発明によると、駆動や検出の制御系に僅かな改良を施すだけで、一次制御と二次制御系回路間の電気的誤差信号、クロストークを低減し、センサに作用した角速度を高精度に検出、測定できる制御系を備えた振動型ジャイロセンサを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】Aは、リング振動子を有する振動型ジャイロセンサの主要構成部を示す斜視説明図であり、Bは、このジャイロセンサの制御回路を示す回路説明図である。
【図2】Aは、一次と二次の振動モードを示すリング振動子の説明図であり、Bは、各振動モードの振動パターンの推移を示す説明図である。
【図3】この発明によるジャイロセンサの制御回路を示す回路説明図である。
【図4】Aは、従来の制御回路を用いたジャイロセンサにて得られた、一次駆動信号、二次検出信号、一次駆動信号により発生する誤差信号、誤差信号を含む二次検出信号の各波形を示す波形説明図であり、Bは、この発明の制御回路を用いたジャイロセンサにて得られた一次駆動信号、二次検出信号、一次駆動信号により発生する誤差信号、誤差信号を含む二次検出信号の各波形を示す波形説明図である。
【図5】実施例における磁界式駆動源を有するジャイロセンサに適用した制御回路を示す回路説明図である。
【図6】一次駆動信号と二次検出信号の波形を示す測定器が出力したグラフであり、Aは比較例、Bはこの発明の実施例の場合を示す。
【図7】実施例における電界式駆動源を有するジャイロセンサに適用した制御回路を示す回路説明図である。
【図8】一次駆動信号と二次検出信号の波形を示す測定器が出力したグラフであり、Aは比較例、Bはこの発明の実施例の場合を示す。
【符号の説明】
1 シリコン基板
2 空間部
3 リング振動子
4 線状サスペンション
10 センサ
11,16 駆動回路
12 一次制御回路
13,14 検出回路
15 二次制御回路
20 信号制御回路
Claims (6)
- 振動子と、振動子を固有振動数の一次振動モードに加振する駆動手段と、一次振動モードにコリオリ力が作用して発生する二次振動モードを検知する検出手段とを有する振動型ジャイロセンサであり、加振のための駆動がなされていない間に二次振動モードを検知するよう動作させる制御手段を有する振動型ジャイロセンサ。
- 振動子と、振動子を固有振動数の一次振動モードに加振する駆動手段と一次振動モードを検知する検出手段を含む一次制御手段と、一次振動モードにコリオリ力が作用して発生する二次振動モードを検知する検出手段とを有する振動型ジャイロセンサであり、加振のための駆動がなされていない間に一次振動モード又は二次振動モードあるいはその両方を検知するよう動作させる制御手段を有する振動型ジャイロセンサ。
- 振動子と、振動子を固有振動数の一次振動モードに加振する駆動手段と一次振動モードを検知する検出手段を含む一次制御手段と、一次振動モードにコリオリ力が作用して発生する二次振動モードを検知するための振動子を二次振動モードに加振する駆動手段と二次振動モードの検出手段とを含む二次制御手段を有する振動型ジャイロセンサであり、加振のための駆動がなされていない間に一次振動モード又は二次振動モードあるいはその両方を検知するよう動作させる制御手段を有する振動型ジャイロセンサ。
- 一次振動モードの駆動手段に、動作時と非動作時をその時間差又は回数差を所要パターンで設定し、これに応じて該駆動手段の非動作時に一次振動モード又は二次振動モードあるいはその両方を検知する動作パターンを設定する請求項1、請求項2又は請求項3に記載の振動型ジャイロセンサ。
- 一次振動モードに駆動する駆動手段の動作時に二次振動モードの検出回路を作動させる手段を有し、該駆動回路の動作時と非動作時にそれぞれ検出した二次振動モードの検出信号を対比して誤差を減じる演算手段を有する請求項3に記載の振動型ジャイロセンサ。
- 二次振動モードの検出手段を作動させる制御手段が、スイッチング回路である請求項1、請求項2又は請求項3に記載の振動型ジャイロセンサ。
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