JP2004309476A - 振動型マイクロジャイロセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 振動子1−1のモニタ電極3−1(3−11、3−12)のみの信号を検出して自励発振回路10にフィードバックし、振動子1−1の駆動電極4−11と振動子1−2の駆動電極4−22には自励発振回路から駆動信号を印加し、また、振動子1−1の駆動電極4−12と振動子1−2の駆動電極4−21にはその出力信号の位相を90°ずらした駆動信号を自励発振回路の後段のインバータ11で作り出し、電圧信号として供給する。
【選択図】 図1
Description
上記構成により、一方の振動子を振動させると、加速度感度は振動振幅に依存しないため、2つの振動振幅が異なっていても加速度感度のキャンセルには問題なく、2つの振動子の共振周波数が大きく異なっていても自励発振を確立することができる。また、リンク機構を持たないので、安価に構成することができる。
図1に示す構成部材である振動子1−1、1−2、可動電極1−1a、1−2a、駆動梁2−1、2−2、モニタ電極3−1、3−2及び駆動電極(4−11、4−12)、(4−21、4−22)は図2と同じであるのでその詳細な説明は省略する。
1−1a、1−2a 可動電極
2−1、2−2 駆動梁
3−1、3−2、3−11、3−12 モニタ電極
4−11、4−12、4−21、4−22 駆動電極
10 自励発振回路
11 インバータ
12 オペアンプ
Claims (1)
- 平行に配置された2つの振動子と、
前記2つの振動子を同一周波数で逆相の駆動信号により振動させる駆動手段と、
振動に伴う前記2つの振動子の振動方向と垂直方向への変位を検出する検出手段と、
前記2つの振動子のいずれか一方のみの振動をモニタリングするモニタ手段と、
前記モニタ手段によりモニタリングされた振動信号により前記一方の振動子の共振周波数を決定し、該共振周波数により前記2つの振動子を同一共振周波数で駆動させるべく前記駆動手段を制御する制御手段とを、
備えた振動型マイクロジャイロセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004089397A JP3992006B2 (ja) | 2003-03-27 | 2004-03-25 | 振動型マイクロジャイロセンサ |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003088340 | 2003-03-27 | ||
JP2004089397A JP3992006B2 (ja) | 2003-03-27 | 2004-03-25 | 振動型マイクロジャイロセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2004309476A true JP2004309476A (ja) | 2004-11-04 |
JP3992006B2 JP3992006B2 (ja) | 2007-10-17 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3992006B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009501337A (ja) * | 2005-07-15 | 2009-01-15 | ワトソン インダストリーズ,インコーポレイティド | 駆動信号における高周波低減のためのagc回路 |
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KR101348841B1 (ko) * | 2007-07-13 | 2014-01-07 | 현대모비스 주식회사 | 역상 진동 이중 질량 소자 타입 마이크로 자이로스코프 및그 제어 방법 |
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JPWO2013140488A1 (ja) * | 2012-03-19 | 2015-08-03 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 角速度センサ |
US9568490B2 (en) | 2012-03-19 | 2017-02-14 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Angular velocity sensor |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP3992006B2 (ja) | 2007-10-17 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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