JP2004077773A - 光硬化性樹脂組成物およびそれを用いた表示素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】高い透明性と高い解像度を併せ持ち、かつ高感度であり、さらに塗布均一性、現像性、パターン形状、耐熱性、保存安定性等を満足する光硬化性樹脂組成物を提供することである。さらに、該光硬化性樹脂組成物を用いた表示素子を提供すること。
【解決手段】（１）アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、二重結合を有する化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、重合禁止剤（Ｄ）、および溶媒（Ｅ）を含有する光硬化性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の酸価が２０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、かつ、（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）に対する光重合開始剤（Ｃ）の重量比Ｃ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．０１〜０．５であり、（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）に対する重合禁止剤（Ｄ）の重量比Ｄ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．００１〜０．０５である光硬化性樹脂組成物とする。
【選択図】なし。
【解決手段】（１）アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、二重結合を有する化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、重合禁止剤（Ｄ）、および溶媒（Ｅ）を含有する光硬化性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の酸価が２０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、かつ、（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）に対する光重合開始剤（Ｃ）の重量比Ｃ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．０１〜０．５であり、（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）に対する重合禁止剤（Ｄ）の重量比Ｄ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．００１〜０．０５である光硬化性樹脂組成物とする。
【選択図】なし。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶表示素子やＥＬ表示素子などを製造するための光硬化性樹脂組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】
パターン化された透明膜は、スペーサー、絶縁膜、保護膜など液晶表示素子の多くの部分で使用されており、これまでに多くの光硬化性樹脂組成物がこの用途に提案されてきた。例えば、特開平０６−５９４４４号公報、特開平０７−３６１７９号公報、特開平０７−１３４４１２号公報、特開平０８−３３９０８７号公報、特開平０９−９０６３３号公報、特開平０９−３２５４９３号公報、特開平１０−７９３８１号公報、特開平１０−１８６６６０号公報、特開２００２−１３１８９９公報、特開２００１−３２４８０９公報などに提案されている。しかしながら、本質的にネガ型の光硬化性樹脂組成物ではパターンの解像度が低いため、直径１０ミクロン以下の穴をあけるパターンには適さないというのが周知の事実である。ポジ型の光硬化性樹脂組成物は解像度についてはクリアできるが、ナフトキノンジアジドの着色により透明性が低下してしまう。液晶表示装置の高品質化が進んだ現在、高い透明性と高い解像度を併せ持った光硬化性樹脂組成物が求められているが、従来の技術では、高い透明性と高い解像度を同時に達成することは非常に難しい問題であり、未だこれらを十分満足する光硬化性樹脂組成物は得られていないのが現状である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、高い透明性と高い解像度を併せ持ち、かつ高感度であり、さらに塗布均一性、現像性、パターン形状、耐熱性、保存安定性等を満足する光硬化性樹脂組成物を提供することである。さらに、該光硬化性樹脂組成物を用いた表示素子を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、二重結合を有する化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、重合禁止剤（Ｄ）、および溶媒（Ｅ）を含有する光硬化性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の酸価と、光重合開始剤（Ｃ）の量および重合禁止剤（Ｄ）の量を（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）に対して特定の割合に調整することにより、ネガ型の光硬化性樹脂組成物の特徴である高い透明性を損なうことなく、解像度が飛躍的に向上した光硬化性樹脂組成物が得られることを見出し、この知見に基づいて本発明を完成した。
本発明は以下から構成される。なお、アクリル酸とメタクリル酸の両者を示すために「（メタ）アクリル酸」のように表記することがある。
【０００５】
（１）アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、二重結合を有する化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、重合禁止剤（Ｄ）、および溶媒（Ｅ）を含有する光硬化性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の酸価が２０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、かつ、（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）に対する光重合開始剤（Ｃ）の重量比Ｃ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．０１〜０．５であり、（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）に対する重合禁止剤（Ｄ）の重量比Ｄ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．００１〜０．０５である光硬化性樹脂組成物。
【０００６】
（２）光重合開始剤（Ｃ）が、下記一般式（１）で表される化合物、ビイミダゾール系化合物、ベンジルジメチルケタール系化合物、α−ヒドロキシケトン系化合物、α−アミノケトン系化合物、ビスアシルフォスフィンオキサイド系化合物、メタロセン系化合物、アミノ基とベンゾフェノン構造を有する化合物、クマリン構造を有する化合物、トリハロメチル基とトリアジン環を有する化合物からなる群の中から選ばれる少なくとも１種の化合物を含有する光重合開始剤である前記第１項記載の光硬化性樹脂組成物。
【０００７】
（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４はそれぞれ独立して炭素数１〜１３のアルキル基、Ｘ１、Ｘ２はそれぞれ独立に−Ｏ−、−Ｏ−Ｏ−、または−ＮＨ−である。）
【０００８】
（３）アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が、カルボキシル基を有するラジカル重合性モノマーの少なくとも１種と、ベンジル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、スチレン、Ｎ−フェニルマレイミド、ポリスチレンマクロモノマーおよび一般式（２）で表される化合物からなる群の中から選ばれる少なくとも１種とをラジカル重合させて得られる共重合体である前記第１項記載の光硬化性樹脂組成物。
【０００９】
（Ｒ５は水素原子もしくはメチル基であり；Ｒ６は水素原子もしくは炭素数１〜５のアルキル基であり；ｎは１〜５の整数である。）。
【００１０】
（４）アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が、（メタ）アクリル酸、ベンジル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、および一般式（２）で表される化合物からなる群の中から選ばれる少なくとも１種を必須成分としたラジカル重合により得られる共重合体である前記第１項記載の光硬化性樹脂組成物。
【００１１】
（５）溶媒（Ｅ）が、沸点が１００℃〜２００℃である化合物の少なくとも１種を、溶媒（Ｅ）に対して２０〜１００重量％含有する溶媒である前記第１項記載の光硬化性樹脂組成物。
【００１２】
（６）二重結合を有する化合物（Ｂ）が、二重結合を３個以上有する化合物の少なくとも１種類を、二重結合を有する化合物（Ｂ）に対して２０〜１００重量％含有する化合物である前記第１項記載の光硬化性樹脂組成物。
【００１３】
（７）重合禁止剤（Ｄ）が、フェノール性化合物の少なくとも１種類を、重合禁止剤（Ｄ）に対して２０〜１００重量％含有する重合禁止剤である前記第１項記載の光硬化性樹脂組成物。
【００１４】
（８）前記第１項〜第７項のいずれか１項記載の光硬化性樹脂組成物を用いて製造された表示素子。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について以下に詳細に説明する。
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂（Ａ）としては、カルボキシル基を有するラジカル重合性モノマー（ａ１）と、これと共重合可能な他の単官能モノマー（ａ２）とを溶液中でラジカル重合させて合成された共重合体が好ましい。
【００１６】
該ラジカル重合性モノマ−（ａ１）の具体的な例としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α―クロルアクリル酸、けい皮酸、マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸、ω―カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート、コハク酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）等をあげることができる。
【００１７】
中でも（メタ）アクリル酸、コハク酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）が好ましく、特に（メタ）アクリル酸が、解像度が高く、透明性が高く、現像残渣が少なく、保存安定性優れた光硬化性樹脂組成物が得られるので一層好ましい。該ラジカル重合性モノマ−（ａ１）は単独でも、または２種以上を混合しても使用することができる。
【００１８】
単官能モノマー（ａ２）の具体的な例としては、スチレン、メチルスチレン、ビニルトルエン、クロルメチルスチレン、（メタ）アクリルアミド、トリシクロ［５・２・１・０２，６］デカニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、メチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート、Ｎ−フェニルマレイミド、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー、インデン、一般式（２）で表される化合物等をあげることができる。中でもスチレン、ベンジル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、 Ｎ−フェニルマレイミド、ポリスチレンマクロモノマー、および一般式（２）で表される化合物からなる群の中から選ばれる少なくとも１種が、解像度が高く、透明性が高く、現像残渣が少なく、耐熱性が高く、保存安定性に優れた光硬化性樹脂組成物が得られるので好ましい。特にベンジル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、一般式（２）で表される化合物および（メタ）アクリル酸からなるの群の中から選ばれる少なくとも１種を必須成分とした共重合体が、特に好ましい。
【００１９】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の合成方法は、溶媒を用いた溶液中でのラジカル重合が好ましい。重合温度は使用する重合開始剤からラジカルが十分発生する温度であれば特に限定されないが、通常５０℃〜１５０℃の範囲である。重合時間も特に限定されないが、通常３〜２４時間の範囲である。
【００２０】
重合反応に使用する溶媒は、ラジカル重合性モノマー（ａ１）、単官能モノマー（ａ２）および生成するアルカリ可溶性樹脂（Ａ）を溶解する溶媒が好ましい。混合溶媒でもよい。具体例としては、メタノール、エタノール、１−プロパノール、２−プロパノール、アセトン、２−ブタノン、酢酸エチル、酢酸プロピル、テトラヒドロフラン、アセトニトリル、ジオキサン、トルエン、キシレン、シクロヘキサノン、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、３−エトキシプロピオン酸エチル、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、酢酸、水等もしくはこれらの混合物をあげることができる。
【００２１】
重合開始剤は熱によりラジカルを発生する化合物、アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ系開始剤や、過酸化ベンゾイル等の過酸化物系開始剤を使用することができる。分子量を調節するために、チオグリコール酸等の連鎖移動剤を適量添加してもよい。
【００２２】
本発明で用いるアルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、酸価が２０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、この範囲の酸価であると、未露光部分がアルカリ現像液で溶解されるまでの現像時間が適正となる。さらに、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の酸価が４０〜１４０ｍｇＫＯＨ／ｇであると、現像時間が適正であり、現像時の膜荒れが少なく、一層好ましい。特に、酸価が５０〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇであると、現像時間が適正であり、現像時の膜荒れが少く、解像度が高く、なお一層好ましい。
【００２３】
本発明で用いるアルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、ポリエチレンオキシドを標準としたＧＰＣ分析で求めた重量平均分子量が２，０００〜７０，０００の範囲であると、未露光部分がアルカリ現像液で溶解されるまでの現像時間が適正であり、現像時に膜の表面が荒れないので好ましい。さらに、重量平均分子量が３，０００〜３０，０００の範囲であると、未露光部分がアルカリ現像液で溶解されるまでの現像時間が適正であり、現像時に膜の表面が荒れず、現像残渣も無いので、一層好ましい。特に、重量平均分子量が４，０００〜２０，０００の範囲であると、未露光部分がアルカリ現像液で溶解されるまでの現像時間が適正であり、現像時に膜の表面が荒れず、現像残渣も無く、解像度が高いので、より一層好ましい。
【００２４】
本発明における、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）に対する添加割合は、重量比Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．１〜０．６となるようにすると、現像時間が適正であり、好ましい。さらに、重量比Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．１５〜０．５５となるようにすると、現像時間が適正であり、パターン形状が適正であり、一層好ましい。特に、重量比Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．２〜０．５となるようにすると、現像時間が適正であり、パターン形状が適正であり、解像度が高く、より一層好ましい。
【００２５】
本発明で用いる二重結合を有する化合物（Ｂ）としては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリス（メタ）アクリロイルオキシエチルフォスフェート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、イソシアヌール酸エチレンオキシド変性トリ（メタ）アクリレート、イソシアヌール酸エチレンオキシド変性ジ（メタ）アクリレート、ポリエステル（メタ）アクリレート、ジグリセリンテトラ（メタ）アクリレート等の多官能モノマー、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸ラウリル、（メタ）アクリル酸ステアリル、（メタ）アクリル酸フェニル、（メタ）アクリル酸ベンジル、（メタ）アクリル酸２−メトキシエチル、（メタ）アクリル酸エトキシエチル、（メタ）アクリル酸３−メトキシブチル、（メタ）アクリル酸フェノキシエチル、（メタ）アクリル酸セチル、（メタ）アクリル酸イソボルニル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチル、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート四級化物、（メタ）アクリル酸モルホリノエチル、（メタ）アクリル酸トリメチルシロキシエチル、シクロヘキセン−３，４−ジカルボン酸−［２−モノ（メタ）アクリロイルオキシ］エチル、３−シクロヘキセニルメチル（メタ）アクリレート、２−テトラヒドロフタルイミドエチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド、スチレン、α−メチルスチレン、無水マレイン酸、Ｎ−ビニルピロリドン、４−アクリロイルモルホリン等の単官能モノマーをあげることができる。これらの多官能もしくは単官能モノマーは単独で使用してもよく、２種以上を混合して使用してもよい。
【００２６】
なかでもトリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジグリセリンテトラアクリレート、イソシアヌール酸エチレンオキシド変性トリアクリレートまたはこれらの混合物は硬化速度を早くする効果があり好ましい。
【００２７】
二重結合を有する化合物（Ｂ）は現像時の接着性にも大きく影響する。二重結合を３個以上有する化合物を、二重結合を有する化合物（Ｂ）に対して２０重量％以上含有するように調製すると、現像時の接着性が向上するので好ましい。
【００２８】
二重結合を有する化合物（Ｂ）は解像度にも大きく影響する。中でもトリメチロールプロパントリアクリレートを、二重結合を有する化合物（Ｂ）に対して２０重量％以上含有するように調製すると、解像度が高いので好ましい。
【００２９】
また、トリメチロールプロパントリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジグリセリンテトラアクリレート、を必須成分とし、その合計量が二重結合を有する化合物（Ｂ）に対して５０重量％以上含有するようにすると、現像時の接着性が向上するだけでなく現像マージンが広くなり、かつ解像度も高いので特に好ましい。
【００３０】
本発明における、二重結合を有する化合物（Ｂ）の添加割合は、重量比Ｂ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．２〜０．７となるようにすると、耐熱性、耐薬品性が高く、好ましい。さらに、重量比Ｂ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．３〜０．６５となるようにすると、耐熱性、耐薬品性が高く、現像時間が適正であり、一層好ましい。特に、重量比Ｂ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．４〜０．６となるようにすると、耐熱性、耐薬品性が高く、現像時間が適正であり、解像度が高く、より一層好ましい。
【００３１】
本発明で用いる光重合開始剤（Ｃ）としては、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、４，４´−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、キサントン、チオキサントン、イソプロピルキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２−エチルアントラキノン、アセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−４´−イソプロピルプロピオフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、イソプロピルベンゾインエーテル、イソブチルベンゾインエーテル、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、カンファーキノン、ベンズアントロン、２−メチル−１− ［４−（メチルチオ）フェニル ］−２−モルホリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、４，４´−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，４，４´−トリ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３´，４，４´−テトラ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３´，４，４´−テトラ（ｔ−ヘキシルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３´−ジ（メトキシカルボニル）−４，４´−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，４´−ジ（メトキシカルボニル）−４，３´−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、４，４´−ジ（メトキシカルボニル）−３，３´−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、２−（４´−メトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（３´，４´−ジメトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（２´，４´−ジメトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（２´−メトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４´−ペンチルオキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−［ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）］−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、１，３−ビス（トリクロロメチル）−５−（２´−クロロフェニル）−ｓ−トリアジン、１，３−ビス（トリクロロメチル）−５−（４´−メトキシフェニル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−ジメチルアミノスチリル）ベンズオキサゾール、２−（ｐ−ジメチルアミノスチリル）ベンズチアゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール、３，３´−カルボニルビス（７−ジエチルアミノクマリン）、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，４´，５，５´−テトラフェニル−１，２´−ビイミダゾール、２，２´−ビス（２−クロロフェニル）−４，４´，５，５´−テトラキス（４−エトキシカルボニルフェニル）−１，２´−ビイミダゾール、２，２´−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４´，５，５´−テトラフェニル−１，２´−ビイミダゾール、２，２´−ビス（２，４−ジブロモフェニル）−４，４´，５，５´−テトラフェニル−１，２´−ビイミダゾール、２，２´−ビス（２，４，６−トリクロロフェニル）−４，４´，５，５´−テトラフェニル−１，２´−ビイミダゾール、３−（２−メチル−２−ジメチルアミノプロピオニル）カルバゾール、３，６−ビス（２−メチル−２−モルホリノプロピオニル）−９−ｎ−ドデシルカルバゾール、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等をあげることができる。これらの化合物の２種以上を混合して使用することも有効である。
【００３２】
中でも３，３´，４，４´−テトラ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３´−ジ（メトキシカルボニル）−４，４´−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，４´−ジ（メトキシカルボニル）−４，３´−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、４，４´−ジ（メトキシカルボニル）−３，３´−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、４，４´−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、３−ベンゾイル−７−ジエチルアミノクマリン、２−メチル−１− ［４−（メチルチオ）フェニル ］−２−モルホリノプロパン−１−オンおよび２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、２−（４´−メトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，４´，５，５´−テトラフェニル−１，２´−ビイミダゾールからなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物を含有すると、高感度であり一層好ましい。
【００３３】
特に、３，３´，４，４´−テトラ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３´−ジ（メトキシカルボニル）−４，４´−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，４´−ジ（メトキシカルボニル）−４，３´−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、４，４´−ジ（メトキシカルボニル）−３，３´−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノンおよび２−メチル−１− ［４−（メチルチオ）フェニル ］−２−モルホリノプロパン−１−オンからなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物を含有すると、解像度が高く、高感度であり、現像マージンが広いため、さらに一層好ましい。
【００３４】
本発明における、光重合開始剤（Ｃ）の添加割合、重量比Ｃ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）は０．０１〜０．５であり、係る範囲であると、高感度の光硬化性樹脂組成物となる。さらに、重量比Ｃ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．０２〜０．３となるようにすると、得られる光硬化性組成物は高感度であり、現像時間が適正であり、一層好ましい。特に、重量比Ｃ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．０３〜０．２となるようにすると、得られる光硬化性組成物は高感度であり、現像時間が適正であり、解像度が高く、より一層好ましい。
【００３５】
本発明で用いる重合禁止剤（Ｄ）としては、トリ−ｐ−ニトロフェニルメチル、ジフェニルピクリルヒドラジル、カルビノキシル等の安定ラジカル、キノン、ベンゾキノン、クロロベンゾキノン、２，５−ジ−クロロベンゾキノン、２，６−ジ−クロロベンゾキノン、２，３−ジ−メチルベンゾキノン、２，５−ジ−メチルベンゾキノン、メトキシベンゾキノン、メチルベンゾキノン、テトラブロモベンゾキノン、テトラクロロベンゾキノン、テトラメチルベンゾキノン、トリクロロベンゾキノン、トリメチルベンゾキノン、アミルキノン、アミロキシヒドロキノン、２，５−ジ−ｔ−ブチルヒドロキノン、２，５−ジフェニル−ｐ−ベンゾキノン等のキノン類、α−ナフトール、２−ニトロ−１−ナフトール、β−ナフトール、１−ニトロ−２−ナフトール等のナフトール類、４−メトキシフェノール、４−エトキシフェノール、ヒドロキノン、フェノール、ｔ−ブチルカテコール、メチルヒドロキノン、ｎ−ブチルフェノール、ヒドロキノンモノプロピルエーテル、ｔ−ブチルクレゾール、ｐ−クレゾール、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、カテコールレゾルシン、ｏ−ｔ−ブチルフェノール、２，６−ジ−ｐ−メトキシフェノール、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール、２，４−ジ−ｔ−ブチルフェノール、３，５−ジ−ｔ−ブチルフェノール、３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ安息香酸、Ｎ，Ｎ´−ビス−３−（３´，５´−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオニルヘキサメチレンジアミン、２，２´−メチレンビス（６−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール）、ｎ−オクタデシル−３−（４−ヒドロキシ−３´，５´−ジ−ｔ−ブチルフェニル）プロピオネート、ジステアリル（４−ヒドロキシ−３−メチル−５−ｔ−ブチル）ベンジルマロネート、２，４，６−トリ−ｔ−ブチルフェノール、１，６−ヘキサンジオール−ビス［３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、トリエチレングリコール−ビス−［３−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、２，２−チオ−ジエチレン−ビス−［３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、３，９−ビス［１，１−ジメチル−２−［β−（３−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）プロピオニロキシエチル−２，４，８，１０−テトラオキサスピロ［５，５］ウンデカン、２，２´−エチリデン−ビス−（２，４−ジ−ｔ−ブチルフェノール）、１，１，３−トリス−（２−メチル−４−ヒドロキシ−５−ｔ−ブチルフェニルブタン、１，３，５−トリメチル−２，４，６−トリス−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）ベンゼン、トリス（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）イソシアネート、トリス［２−（３´，５´−ジ−ｔ−ブチル−４´−ヒドロキシヒドロ−シンナモイロキシル）エチル］イソシアネート、トリス（４−ｔ−ブチル２，６−ジ−メチル−３−ヒドロキシベンジル）イソシアネート、テトラキス［メチレン−３−（３´，５´−ジ−ｔ−ブチル−４´−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］−メタン等のフェノール類、２，４−ジニトロフェノール、ｏ−ニトロフェノール、ｍ−ニトロフェノール、ｐ−ニトロフェノール等のニトロフェノール類、没食子酸、没食子酸メチル、没食子酸プロピル、没食子酸イソアミル等の没食子酸類、メチレンブルー、マラカイトグリーン等の色素類、β−ナフチルアミン、Ｎ−ニトロソシクロヘキシルアミン塩、ジ−ｐ−フルオロフェニルアミン、等のアミン類、ピロガロール、、モノベンジルエーテル、ベンゾキノン、トリフェニルホスフィン、塩化第一銅、フェノチアジン、クロラニール、ピリジン、ニトロベンゼン、ジニトロベンゼン、ｐ−トルイジン、ピクリン酸、サリチル酸メチル等からなる群から選ばれる少なくとも１種を用いることが好ましい。
【００３６】
中でも、４−メトキシフェノール、４−エトキシフェノール、ヒドロキノン、フェノール、ｔ−ブチルカテコール、メチルヒドロキノン、ｎ−ブチルフェノール、ヒドロキノンモノプロピルエーテル、ｔ−ブチルクレゾール、ｐ−クレゾール、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、カテコールレゾルシン、ｏ−ｔ−ブチルフェノール、２，６−ジ−ｐ−メトキシフェノール、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール、２，４−ジ−ｔ−ブチルフェノール、３，５−ジ−ｔ−ブチルフェノール、３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ安息香酸、Ｎ，Ｎ´−ビス−３−（３´，５´−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオニルヘキサメチレンジアミン、２，２´−メチレンビス（６−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール）、ｎ−オクタデシル−３−（４−ヒドロキシ−３´，５´−ジ−ｔ−ブチルフェニル）プロピオネート、ジステアリル（４−ヒドロキシ−３−メチル−５−ｔ−ブチル）ベンジルマロネート、２，４，６−トリ−ｔ−ブチルフェノール、１，６−ヘキサンジオール−ビス［３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、トリエチレングリコール−ビス−［３−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、２，２−チオ−ジエチレン−ビス−［３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、３，９−ビス［１，１−ジメチル−２−［β−（３−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）プロピオニロキシエチル−２，４，８，１０−テトラオキサスピロ［５，５］ウンデカン、２，２´−エチリデン−ビス−（２，４−ジ−ｔ−ブチルフェノール）、１，１，３−トリス−（２−メチル−４−ヒドロキシ−５−ｔ−ブチルフェニルブタン、１，３，５−トリメチル−２，４，６−トリス−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）ベンゼン、トリス（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）イソシアネート、トリス［２−（３´，５´−ジ−ｔ−ブチル−４´−ヒドロキシヒドロ−シンナモイロキシル）エチル］イソシアネート、トリス（４−ｔ−ブチル２，６−ジ−メチル−３−ヒドロキシベンジル）イソシアネート、テトラキス［メチレン−３−（３´，５´−ジ−ｔ−ブチル−４´−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］−メタン等のフェノール類またはこれらの混合物が、現像性を良好にするので好ましい。
【００３７】
特に４−メトキシフェノール、ヒドロキノン、ｔ−ブチルカテコール、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノールが、現像性が良好で、解像度が高く、より一層好ましい。
【００３８】
本発明における、重合禁止剤（Ｄ）の添加割合、重量比Ｄ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）は０．００１〜０．０５であり、この範囲であると、現像マージンが広い光硬化性樹脂組成物となる。さらに、重量比Ｄ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．００２〜０．０３となるようにすると、得られる光硬化性樹脂組成物は現像マージンが広く、高感度であり、一層好ましい。特に、重量比Ｄ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．００３〜０．０２となるようにすると、得られる光硬化性樹脂組成物は現像マージンが広く、高感度であり、解像度が高く、より一層好ましい。
【００３９】
本発明で用いる溶媒（Ｅ）としては、、沸点が１００℃〜２００℃である化合物の少なくとも１種を、溶媒（Ｅ）に対して２０〜１００重量％含有することが好ましい。具体的な例としては、水、酢酸ブチル、プロピオン酸ブチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシー２−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル、ジオキサン、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、トルエン、キシレン、γ−ブチロラクトン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド等からなる群から選ばれる少なくとも１種を用いることが好ましい。
【００４０】
中でもプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテルおよび乳酸エチルからなる群から選ばれる少なくとも１種を用いると塗布均一性が高くなるので好ましい。
【００４１】
特にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチルおおよび乳酸エチルの中からなる群から選ばれる少なくとも１種を用いると、塗布均一性が高く、人体への安全性が高くなるため、より一層好ましい。
【００４２】
本発明における、溶媒（Ｅ）の使用量は、重量比（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ＋Ｅ）が０．０５〜０．６となるようにすると、塗布均一性が良好で好ましい。さらに、重量比（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ＋Ｅ）が０．１〜０．５５となるようにすると、塗布均一性が良好で、膜厚コントロールが容易で、一層好ましい。特に、重量比（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ＋Ｅ）が０．２〜０．５となるようにすると、塗布均一性が良好で、膜厚コントロールが容易で、保存安定性が良好であるため、より一層好ましい。
【００４３】
本発明の光硬化性樹脂組成物には、解像度、塗布均一性、現像性、接着性を向上させるために、各種の添加剤を添加することができる。たとえば、アクリル系、スチレン系、ポリエチレンイミン系もしくはウレタン系の高分子分散剤、アニオン系、カチオン系、ノニオン系もしくはフッ素系の界面活性剤、シリコン樹脂等の塗布性向上剤、シランカップリング剤等の密着性向上剤、アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤、ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤、エポキシ化合物、メラミン化合物もしくはビスアジド化合物等の熱架橋剤、有機カルボン酸等のアルカリ溶解性促進剤等を挙げることができる。
【００４４】
添加剤の具体例としては、ＥＦＫＡ−７４５、ＥＦＫＡ−４６、ＥＦＫＡ−４７、ＥＦＫＡ−４７ＥＡ、ＥＦＫＡポリマー１００、ＥＦＫＡポリマー４００、ＥＦＫＡポリマー４０１、ＥＦＫＡポリマー４５０（商標、以上、森下産業製）、ソルスパーズ（商標）３０００、５０００、９０００、１２０００、１３２４０、１３９４０、１７０００、２００００、２４０００、２４０００ＧＲ、２６０００、２８０００、３２０００（以上、ゼネカ製）、ディスパースエイド６、ディスパースエイド８、ディスパースエイド１５、ディスパースエイド９１００（以上いずれも商標、サンノプコ製）、ポリフローＮｏ．７５、ポリフローＮｏ．９０、ポリフローＮｏ．９５（以上いずれも商標、共栄社油脂化学工業製）、ディスパーベイク（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１６１、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１６２、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１６３、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１６４、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１６６、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１７０、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１８０、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１８１、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１８２（以上いずれも商標、ビックケミー製）、フルオロアルキルベンゼンスルホン酸塩、フルオルアルキルカルボン酸塩、フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル、フルオロアルキルアンモニウムヨージド、フルオロアルキルベタイン、フルオロアルキルスルホン酸塩、ジグリセリンテトラキス（フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル）、フルオロアルキルトリメチルアンモニウム塩、フルオロアルキルアミノスルホン酸塩、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレントリデシルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンラウレート、ポリオキシエチレンオレレート、ポリオキシエチレンステアレート、ポリオキシエチレンラウリルアミン、ソルビタンラウレート、ソルビタンパルミテート、ソルビタンステアレート、ソルビタンオレエート、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタンラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンパルミテート、ポリオキシエチレンソルビタンステアレート、ポリオキシエチレンソルビタンオレエート、ポリオキシエチレンナフチルエーテル、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸塩、ビックケミー（株）製ＢＹＫ３００、同ＢＹＫ３１０、同ＢＹＫ３２０、同ＢＹＫ３３０、同ＢＹＫ３４６、共栄社化学（株）製ポリフローＮｏ．４５、同ポリフローＫＬ−２４５等のなかから選ばれる少なくとも１種をあげることができる。
【００４５】
中でもフルオロアルキルベンゼンスルホン酸塩、フルオルアルキルカルボン酸塩、フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル、フルオロアルキルアンモニウムヨージド、フルオロアルキルベタイン、フルオロアルキルスルホン酸塩、ジグリセリンテトラキス（フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル）、フルオロアルキルトリメチルアンモニウム塩、フルオロアルキルアミノスルホン酸塩のなかから選ばれる少なくとも１種が、塗布均一性が高くなるので好ましい。
【００４６】
本発明の光硬化性樹脂組成物には、耐熱性、耐薬品性を向上させるために、エポキシ基含有ポリマーを添加するのことが好ましい。エポキシ基含有ポリマーとしては、グリシジルメタクリレートのホモポリマーや、グリシジルメタクリレートと他のラジカル重合可能な単官能モノマーとの共重合体が、耐熱性、耐薬品性が高く、現像性が良好で好ましい。特に、グリシジルメタクリレートとメチルメタクリレートの共重合体は、耐熱性、耐薬品性が高く、現像性が良好で、解像度が高く、一層好ましい。
【００４７】
エポキシ基含有ポリマーの、ポリエチレンオキシドを標準としたＧＰＣ分析で求めた重量平均分子量が２，０００〜７０，０００の範囲であると、耐熱性、耐薬品性が高く、好ましい。さらに、重量平均分子量が３，０００〜３０，０００の範囲であると、耐熱性、耐薬品性が高く、現像時間が適正であり、一層好ましい。特に、重量平均分子量が４，０００〜２０，０００の範囲であると、耐熱性、耐薬品性が高く、現像時間が適正であり、解像度が高く、より一層好ましい。
【００４８】
本発明の光硬化性樹脂組成物は、温度−５℃〜２５℃の範囲で遮光して保存すると、組成物の経時安定性が良好である。保存温度が０℃〜１０℃であれば、経時安定性が一層良好である。
【００４９】
本発明の光硬化性樹脂組成物を露光後に現像する場合の現像液としては、アルカリ水溶液が好ましい。アルカリの具体例としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、等を使用することができる。
現像液には現像残渣の低減やパターン形状の適性化を目的として、界面活性剤を添加してもよい。界面活性剤としてはアニオン、カチオン、ノニオン系から選択して使用することができる。特にノニオン系のポリオキシエチレンアルキルエーテルを添加すると、パターン形状が良好になるので好ましい。
【００５０】
現像方法は特に限定されない。ディップ現像、パドル現像、シャワー現像のいずれも用いることができる。
【００５１】
【実施例】
以下、実施例により本発明をさらに説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。
なお、酸価は常法により測定する。
【００５２】
合成例
（１）アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の合成
攪拌器付４つ口フラスコに以下を仕込み、６４℃で６時間加熱した。
メタノール ４１．７ｇ
酢酸エチル ８３．３ｇ
ベンジルメタクリレート ２７．５ｇ
一般式（２）で表される化合物である
日本化薬（株）製ＫＡＹＡＲＡＤ（商標）ＴＣ１１０Ｓ ７．５ｇ
２−ヒドロキシエチルメタクリレート １０．０ｇ
メタクリル酸 ５．０ｇ
アゾビスイソブチロニトリル ０．２５ｇ
チオグリコール酸 ０．７５ｇ
加熱終了後、冷却し、大量のシクロヘキサンに投入した。生成した沈殿を５０℃で真空乾燥し、３８．４ｇのアルカリ可溶性樹脂（Ａ１）を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の酸価は６０．３ｍｇＫＯＨ／ｇ、ポリエチレンオキシドを標準としたＧＰＣ分析により求めた重量平均分子量は７，０００であった。
【００５３】
（２）アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）の合成
攪拌器付４つ口フラスコに以下を仕込み、６４℃で６時間加熱した。
メタノール ４１．７ｇ
酢酸エチル ８３．３ｇ
ベンジルメタクリレート ３０．０ｇ
一般式（２）で表される化合物である
日本化薬（株）製ＫＡＹＡＲＡＤ（商標）ＴＣ１１０Ｓ ２．５ｇ
２−ヒドロキシエチルメタクリレート ５．０ｇ
メタクリル酸 １２．５ｇ
アゾビスイソブチロニトリル ０．２５ｇ
チオグリコール酸 ０．３０ｇ
加熱終了後、冷却し、大量のシクロヘキサンに投入した。生成した沈殿を５０℃
で真空乾燥し、４２．２ｇのアルカリ可溶性樹脂（Ａ２）を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂（Ａ２）の酸価は１５１．７ｍｇＫＯＨ／ｇ、ポリエチレンオキシドを標準としたＧＰＣ分析により求めた重量平均分子量は１８，０００であった。
【００５４】
（３）アルカリ可溶性樹脂（Ａ３）の合成
攪拌器付４つ口フラスコに以下を仕込み、６４℃で６時間加熱した。
メタノール ４１．７ｇ
酢酸エチル ８３．３ｇ
ベンジルメタクリレート ２９．０ｇ
一般式（２）で表される化合物である
日本化薬（株）製ＫＡＹＡＲＡＤ（商標）ＴＣ１１０Ｓ １２．５ｇ
２−ヒドロキシエチルメタクリレート ５．０ｇ
メタクリル酸 ３．５ｇ
アゾビスイソブチロニトリル ０．２５ｇ
チオグリコール酸 ０．７５ｇ
加熱終了後、冷却し、大量のシクロヘキサンに投入した。生成した沈殿を５０℃で真空乾燥し、３７．９ｇのアルカリ可溶性樹脂（Ａ３）を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂（Ａ３）の酸価は３９．０ｍｇＫＯＨ／ｇ、ポリエチレンオキシドを標準としたＧＰＣ分析により求めた重量平均分子量は７，３００であった。
【００５５】
（４）グリシジル基含有ポリマー（Ｇ１）の合成
攪拌器付４つ口フラスコに以下を仕込み、８０℃で４時間加熱した。
２−ブタノン ２００．０ｇ
グリシジルメタクリレート ４０．０ｇ
メチルメタクリレート １０．０ｇ
アゾビスイソブチロニトリル ２．０ｇ
加熱終了後、冷却し、大量のシクロヘキサンに投入した。生成した沈殿を５０℃で真空乾燥し、４５．１ｇのグリシジル基含有ポリマー（Ｇ１）を得た。ポリエチレンオキシドを標準としたＧＰＣ分析により求めた重量平均分子量は６，５００であった。
【００５６】
実施例１
光硬化性樹脂組成物の調製
アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）、グリシジル基含有ポリマー（Ｇ１）、二重結合を有する化合物（Ｂ）であるトリメチロールプロパントリアクリレート（東亜合成（株）製アロニックス（商標）Ｍ３０９、以下Ｍ３０９と略す）、ジペンタエリスルトールヘキサアクリレート（東亜合成（株）製アロニックス（商標）Ｍ４００、以下Ｍ４００と略す）、ジグリセリンテトラアクリレート（ダイセル・ユーシービー（株）製Ｅｂｅｃｒｙｌ（商標）１４０、以下ＥＢ１４０と略す）、光重合開始剤（Ｃ）である２−メチル−１− ［４−（メチルチオ）フェニル ］−２−モルホリノプロパン−１−オン（チバスペシャリティーケミカルズ（株）イルガキュア（商標）９０７、以下Ｉ９０７と略す）、重合禁止剤（Ｄ）である４−メトキシフェノール（以下ＭＱと略す）、フッ素系界面活性剤であるネオス（株）製フタージェント（商標）ＤＦＸ−１８、溶媒（Ｅ）として、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（以下ＰＧＭＥＡと略す）を下記組成にて混合溶解し、光硬化性樹脂組成物を得た。
ＰＧＭＥＡ Ｅ ２．０６００ｇ
アルカリ可溶性樹脂（Ａ１） Ａ ０．５１００ｇ
グリシジル基含有ポリマー（Ｇ１） ０．０９００ｇ
Ｍ４００ Ｂ ０．２４００ｇ
ＥＢ１４０ Ｂ ０．２４００ｇ
Ｍ３０９ Ｂ ０．１８００ｇ
Ｉ９０７ Ｃ ０．１２００ｇ
ＭＱ Ｄ ０．０１２０ｇ
ＤＦＸ−１８ ０．００１７ｇ
上記光硬化性樹脂組成物の重量比Ｃ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）は０．０９２、重量比Ｄ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）は０．００９２、粘度は１７．２ｍＰａ・ｓであった。
【００５７】
この光硬化性樹脂組成物をガラス基板上に１３００ｒｐｍで２０秒間スピンコートし、８０℃のホットプレート上で２分間乾燥した。この基板をウシオ（株）製ＵＩ−５０１Ｃ超高圧水銀灯でホールパターンのマスクを介して、空気中、ギャップ１００μｍで露光した。露光量はウシオ（株）製積算光量計ＵＩＴ−１０２、受光器ＵＶＤ−３６５ＰＤで測定して５０ｍＪ／ｃｍ２とした。露光後のガラス基板を、０．４％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で６０秒間ディップ現像し、未露光部を除去した。基板表面が現れる時間は１５秒であった。現像後の基板を純水で２０秒間洗ってから、２３０℃で３０分ポストベイクした。膜厚は２．６８μｍであった。２００倍の光学顕微鏡で観察したところ、８ミクロン角のホールパターンが解像していた。４００ｎｍでの透過率は９７．６％であった。倍率１万倍のＳＥＭで観察したところ、現像残渣はみられず、パターンエッジの形状は順テーパーであった。ポストベイク後の基板を４０℃の２重量％水酸化ナトリウム水溶液に１０分間浸漬したところ、膜厚の変化率は−０．７％であり、耐薬品性は良好であった。また、ポストベイク後の基板をさらに２３０℃で１時間追加ベイクしたところ、膜厚の変化率は−２．７％、４００ｎｍでの透過率の変化は−０．８％であり、耐熱性は良好であった。この光硬化性樹脂組成物を遮光した５℃の冷蔵庫中で３ヶ月保存したが、粘度、塗布均一性、現像残渣に変化はなかった。
【００５８】
実施例２〜５
光硬化性樹脂組成物を後述の表１に示す仕込み量にて調製した。この光硬化性樹脂組成物を実施例１に準拠して評価を行った。結果を表２に示す。
【００５９】
表１
【００６０】
表２
【００６１】
比較例１
下記組成にてアルカリ可溶性樹脂等を混合溶解し、光硬化性樹脂組成物を得た。
ＰＧＭＥＡ Ｅ ２．０６００ｇ
アルカリ可溶性樹脂（Ａ１） Ａ ０．５１００ｇ
グリシジル基含有ポリマー（Ｇ１） ０．０９００ｇ
Ｍ４００ Ｂ ０．２４００ｇ
ＥＢ１４０ Ｂ ０．２４００ｇ
Ｍ３０９ Ｂ ０．１８００ｇ
Ｉ９０７ Ｃ ０．１２００ｇ
ＭＱ Ｄ ０．０００８ｇ
ＤＦＸ−１８ ０．００１７ｇ
上記光硬化性樹脂組成物の重量比Ｃ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）は０．０９３、重量比Ｄ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）は０．０００６、粘度は１７．４ｍＰａ・ｓであった。
【００６２】
この光硬化性樹脂組成物を実施例１と同様にしてガラス基板上塗布、乾燥、露光、現像、ポストベイクを行った。得られた塗膜の膜厚は２．７１μｍであった。２００倍の光学顕微鏡で観察したところ、３０ミクロン角のホールパターンは解像していたが、２０ミクロン角のホールパターンは解像していなかった。この光硬化性樹脂組成物を遮光した５℃の冷蔵庫中で３ヶ月保存したところ、粘度が２０．４ｍＰａ・ｓに上昇していた。その他の評価項目については、表２に示す。
【００６３】
比較例２，３
光硬化性樹脂組成物を表１に示す仕込み量にて調製した。この光硬化性樹脂組成物を実施例１と同様の評価を行った。結果を表２に示す。
【００６４】
比較例４
従来の技術の欄に記載の特開２００２−１３１８９９公報の実施例１に従い、組成物を調製し評価を行った。
ベンジルメタクリレート−メタクリル酸共重合体（モル比７３：２７）の合成
攪拌器付４つ口フラスコに以下を仕込み、６４℃で６時間加熱した。
メタノール ４１．７ｇ
酢酸エチル ８３．３ｇ
ベンジルメタクリレート ４２．５ｇ
メタクリル酸 ７．５ｇ
アゾビスイソブチロニトリル ０．２５ｇ
加熱終了後、冷却し、大量のシクロヘキサンに投入した。生成した沈殿を５０℃で真空乾燥し、４６．７ｇのベンジルメタクリレート−メタクリル酸共重合体を得た。得られたベンジルメタクリレート−メタクリル酸共重合体の酸価は９３．６ｍｇＫＯＨ／ｇ、ポリエチレンオキシドを標準としたＧＰＣ分析により求めた重量平均分子量は８２，０００であった。
以下の組成で光硬化性樹脂組成物を調製した。
上記ポリマー ２１．０ｇ
ＰＧＭＥＡ ４０．０ｇ
メチルエチルケトン １７．０ｇ
Ｍ４００ １０．０ｇ
ヘキサメトキシメチルメラミン ２．６ｇ
２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４−（Ｎ，Ｎ−
ジエトキシカルボニルメチルアミノ）−３−ブロモフェ
ニル］−ｓ−トリアジン ０．４１ｇ
ビス（ｐ−ｔｅｒｔ−ペンチルフェニル）ヨードニウム−９，
１０−ジメトキシアントラセン−２−スルホネート ０．６３ｇ
染料ヴィクトリアピュアブルーＢＯＨ
（保土谷化学（株）製） ０．０２２５ｇ
フッ素系界面活性剤Ｆ１７６ＰＦ
（大日本インキ（株）製） ０．０３ｇ
この光硬化性樹脂組成物をガラス基板上に１５００ｒｐｍで２０秒間スピンコートし、１００℃のホットプレート上で２分間乾燥した。この基板をウシオ（株）製ＵＩ−５０１Ｃ超高圧水銀灯でホールパターンのマスクを介して、空気中、ギャップ１００μｍで露光した。露光量はウシオ（株）製積算光量計ＵＩＴ−１０２、受光器ＵＶＤ−３６５ＰＤで測定して３００ｍＪ／ｃｍ２とした。露光後のガラス基板を、１％モノエタノールアミン水溶液で６０秒間スプレー現像したところ、露光部まで除去されてしまいパターンを得ることができなかった。この組成物は空気中露光においては実用的な感度が得られていないことが判明した。
【００６５】
【発明の効果】
本発明の光硬化性樹脂組成物は、高い透明性と高い解像度を併せ持ち、かつ高感度であり、さらに塗布均一性、現像性、パターン形状、耐熱性、保存安定性等に優れている。したがって、該光硬化性樹脂組成物を用いることにより、明度、色再現性に優れた表示素子を提供することができる。
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶表示素子やＥＬ表示素子などを製造するための光硬化性樹脂組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】
パターン化された透明膜は、スペーサー、絶縁膜、保護膜など液晶表示素子の多くの部分で使用されており、これまでに多くの光硬化性樹脂組成物がこの用途に提案されてきた。例えば、特開平０６−５９４４４号公報、特開平０７−３６１７９号公報、特開平０７−１３４４１２号公報、特開平０８−３３９０８７号公報、特開平０９−９０６３３号公報、特開平０９−３２５４９３号公報、特開平１０−７９３８１号公報、特開平１０−１８６６６０号公報、特開２００２−１３１８９９公報、特開２００１−３２４８０９公報などに提案されている。しかしながら、本質的にネガ型の光硬化性樹脂組成物ではパターンの解像度が低いため、直径１０ミクロン以下の穴をあけるパターンには適さないというのが周知の事実である。ポジ型の光硬化性樹脂組成物は解像度についてはクリアできるが、ナフトキノンジアジドの着色により透明性が低下してしまう。液晶表示装置の高品質化が進んだ現在、高い透明性と高い解像度を併せ持った光硬化性樹脂組成物が求められているが、従来の技術では、高い透明性と高い解像度を同時に達成することは非常に難しい問題であり、未だこれらを十分満足する光硬化性樹脂組成物は得られていないのが現状である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、高い透明性と高い解像度を併せ持ち、かつ高感度であり、さらに塗布均一性、現像性、パターン形状、耐熱性、保存安定性等を満足する光硬化性樹脂組成物を提供することである。さらに、該光硬化性樹脂組成物を用いた表示素子を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、二重結合を有する化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、重合禁止剤（Ｄ）、および溶媒（Ｅ）を含有する光硬化性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の酸価と、光重合開始剤（Ｃ）の量および重合禁止剤（Ｄ）の量を（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）に対して特定の割合に調整することにより、ネガ型の光硬化性樹脂組成物の特徴である高い透明性を損なうことなく、解像度が飛躍的に向上した光硬化性樹脂組成物が得られることを見出し、この知見に基づいて本発明を完成した。
本発明は以下から構成される。なお、アクリル酸とメタクリル酸の両者を示すために「（メタ）アクリル酸」のように表記することがある。
【０００５】
（１）アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、二重結合を有する化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、重合禁止剤（Ｄ）、および溶媒（Ｅ）を含有する光硬化性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の酸価が２０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、かつ、（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）に対する光重合開始剤（Ｃ）の重量比Ｃ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．０１〜０．５であり、（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）に対する重合禁止剤（Ｄ）の重量比Ｄ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．００１〜０．０５である光硬化性樹脂組成物。
【０００６】
（２）光重合開始剤（Ｃ）が、下記一般式（１）で表される化合物、ビイミダゾール系化合物、ベンジルジメチルケタール系化合物、α−ヒドロキシケトン系化合物、α−アミノケトン系化合物、ビスアシルフォスフィンオキサイド系化合物、メタロセン系化合物、アミノ基とベンゾフェノン構造を有する化合物、クマリン構造を有する化合物、トリハロメチル基とトリアジン環を有する化合物からなる群の中から選ばれる少なくとも１種の化合物を含有する光重合開始剤である前記第１項記載の光硬化性樹脂組成物。
【０００７】
【０００８】
（３）アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が、カルボキシル基を有するラジカル重合性モノマーの少なくとも１種と、ベンジル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、スチレン、Ｎ−フェニルマレイミド、ポリスチレンマクロモノマーおよび一般式（２）で表される化合物からなる群の中から選ばれる少なくとも１種とをラジカル重合させて得られる共重合体である前記第１項記載の光硬化性樹脂組成物。
【０００９】
【００１０】
（４）アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が、（メタ）アクリル酸、ベンジル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、および一般式（２）で表される化合物からなる群の中から選ばれる少なくとも１種を必須成分としたラジカル重合により得られる共重合体である前記第１項記載の光硬化性樹脂組成物。
【００１１】
（５）溶媒（Ｅ）が、沸点が１００℃〜２００℃である化合物の少なくとも１種を、溶媒（Ｅ）に対して２０〜１００重量％含有する溶媒である前記第１項記載の光硬化性樹脂組成物。
【００１２】
（６）二重結合を有する化合物（Ｂ）が、二重結合を３個以上有する化合物の少なくとも１種類を、二重結合を有する化合物（Ｂ）に対して２０〜１００重量％含有する化合物である前記第１項記載の光硬化性樹脂組成物。
【００１３】
（７）重合禁止剤（Ｄ）が、フェノール性化合物の少なくとも１種類を、重合禁止剤（Ｄ）に対して２０〜１００重量％含有する重合禁止剤である前記第１項記載の光硬化性樹脂組成物。
【００１４】
（８）前記第１項〜第７項のいずれか１項記載の光硬化性樹脂組成物を用いて製造された表示素子。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について以下に詳細に説明する。
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂（Ａ）としては、カルボキシル基を有するラジカル重合性モノマー（ａ１）と、これと共重合可能な他の単官能モノマー（ａ２）とを溶液中でラジカル重合させて合成された共重合体が好ましい。
【００１６】
該ラジカル重合性モノマ−（ａ１）の具体的な例としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α―クロルアクリル酸、けい皮酸、マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸、ω―カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート、コハク酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）等をあげることができる。
【００１７】
中でも（メタ）アクリル酸、コハク酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）が好ましく、特に（メタ）アクリル酸が、解像度が高く、透明性が高く、現像残渣が少なく、保存安定性優れた光硬化性樹脂組成物が得られるので一層好ましい。該ラジカル重合性モノマ−（ａ１）は単独でも、または２種以上を混合しても使用することができる。
【００１８】
単官能モノマー（ａ２）の具体的な例としては、スチレン、メチルスチレン、ビニルトルエン、クロルメチルスチレン、（メタ）アクリルアミド、トリシクロ［５・２・１・０２，６］デカニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、メチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート、Ｎ−フェニルマレイミド、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー、インデン、一般式（２）で表される化合物等をあげることができる。中でもスチレン、ベンジル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、 Ｎ−フェニルマレイミド、ポリスチレンマクロモノマー、および一般式（２）で表される化合物からなる群の中から選ばれる少なくとも１種が、解像度が高く、透明性が高く、現像残渣が少なく、耐熱性が高く、保存安定性に優れた光硬化性樹脂組成物が得られるので好ましい。特にベンジル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、一般式（２）で表される化合物および（メタ）アクリル酸からなるの群の中から選ばれる少なくとも１種を必須成分とした共重合体が、特に好ましい。
【００１９】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の合成方法は、溶媒を用いた溶液中でのラジカル重合が好ましい。重合温度は使用する重合開始剤からラジカルが十分発生する温度であれば特に限定されないが、通常５０℃〜１５０℃の範囲である。重合時間も特に限定されないが、通常３〜２４時間の範囲である。
【００２０】
重合反応に使用する溶媒は、ラジカル重合性モノマー（ａ１）、単官能モノマー（ａ２）および生成するアルカリ可溶性樹脂（Ａ）を溶解する溶媒が好ましい。混合溶媒でもよい。具体例としては、メタノール、エタノール、１−プロパノール、２−プロパノール、アセトン、２−ブタノン、酢酸エチル、酢酸プロピル、テトラヒドロフラン、アセトニトリル、ジオキサン、トルエン、キシレン、シクロヘキサノン、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、３−エトキシプロピオン酸エチル、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、酢酸、水等もしくはこれらの混合物をあげることができる。
【００２１】
重合開始剤は熱によりラジカルを発生する化合物、アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ系開始剤や、過酸化ベンゾイル等の過酸化物系開始剤を使用することができる。分子量を調節するために、チオグリコール酸等の連鎖移動剤を適量添加してもよい。
【００２２】
本発明で用いるアルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、酸価が２０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、この範囲の酸価であると、未露光部分がアルカリ現像液で溶解されるまでの現像時間が適正となる。さらに、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の酸価が４０〜１４０ｍｇＫＯＨ／ｇであると、現像時間が適正であり、現像時の膜荒れが少なく、一層好ましい。特に、酸価が５０〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇであると、現像時間が適正であり、現像時の膜荒れが少く、解像度が高く、なお一層好ましい。
【００２３】
本発明で用いるアルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、ポリエチレンオキシドを標準としたＧＰＣ分析で求めた重量平均分子量が２，０００〜７０，０００の範囲であると、未露光部分がアルカリ現像液で溶解されるまでの現像時間が適正であり、現像時に膜の表面が荒れないので好ましい。さらに、重量平均分子量が３，０００〜３０，０００の範囲であると、未露光部分がアルカリ現像液で溶解されるまでの現像時間が適正であり、現像時に膜の表面が荒れず、現像残渣も無いので、一層好ましい。特に、重量平均分子量が４，０００〜２０，０００の範囲であると、未露光部分がアルカリ現像液で溶解されるまでの現像時間が適正であり、現像時に膜の表面が荒れず、現像残渣も無く、解像度が高いので、より一層好ましい。
【００２４】
本発明における、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）に対する添加割合は、重量比Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．１〜０．６となるようにすると、現像時間が適正であり、好ましい。さらに、重量比Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．１５〜０．５５となるようにすると、現像時間が適正であり、パターン形状が適正であり、一層好ましい。特に、重量比Ａ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．２〜０．５となるようにすると、現像時間が適正であり、パターン形状が適正であり、解像度が高く、より一層好ましい。
【００２５】
本発明で用いる二重結合を有する化合物（Ｂ）としては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリス（メタ）アクリロイルオキシエチルフォスフェート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、イソシアヌール酸エチレンオキシド変性トリ（メタ）アクリレート、イソシアヌール酸エチレンオキシド変性ジ（メタ）アクリレート、ポリエステル（メタ）アクリレート、ジグリセリンテトラ（メタ）アクリレート等の多官能モノマー、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸ラウリル、（メタ）アクリル酸ステアリル、（メタ）アクリル酸フェニル、（メタ）アクリル酸ベンジル、（メタ）アクリル酸２−メトキシエチル、（メタ）アクリル酸エトキシエチル、（メタ）アクリル酸３−メトキシブチル、（メタ）アクリル酸フェノキシエチル、（メタ）アクリル酸セチル、（メタ）アクリル酸イソボルニル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチル、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート四級化物、（メタ）アクリル酸モルホリノエチル、（メタ）アクリル酸トリメチルシロキシエチル、シクロヘキセン−３，４−ジカルボン酸−［２−モノ（メタ）アクリロイルオキシ］エチル、３−シクロヘキセニルメチル（メタ）アクリレート、２−テトラヒドロフタルイミドエチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド、スチレン、α−メチルスチレン、無水マレイン酸、Ｎ−ビニルピロリドン、４−アクリロイルモルホリン等の単官能モノマーをあげることができる。これらの多官能もしくは単官能モノマーは単独で使用してもよく、２種以上を混合して使用してもよい。
【００２６】
なかでもトリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジグリセリンテトラアクリレート、イソシアヌール酸エチレンオキシド変性トリアクリレートまたはこれらの混合物は硬化速度を早くする効果があり好ましい。
【００２７】
二重結合を有する化合物（Ｂ）は現像時の接着性にも大きく影響する。二重結合を３個以上有する化合物を、二重結合を有する化合物（Ｂ）に対して２０重量％以上含有するように調製すると、現像時の接着性が向上するので好ましい。
【００２８】
二重結合を有する化合物（Ｂ）は解像度にも大きく影響する。中でもトリメチロールプロパントリアクリレートを、二重結合を有する化合物（Ｂ）に対して２０重量％以上含有するように調製すると、解像度が高いので好ましい。
【００２９】
また、トリメチロールプロパントリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジグリセリンテトラアクリレート、を必須成分とし、その合計量が二重結合を有する化合物（Ｂ）に対して５０重量％以上含有するようにすると、現像時の接着性が向上するだけでなく現像マージンが広くなり、かつ解像度も高いので特に好ましい。
【００３０】
本発明における、二重結合を有する化合物（Ｂ）の添加割合は、重量比Ｂ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．２〜０．７となるようにすると、耐熱性、耐薬品性が高く、好ましい。さらに、重量比Ｂ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．３〜０．６５となるようにすると、耐熱性、耐薬品性が高く、現像時間が適正であり、一層好ましい。特に、重量比Ｂ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．４〜０．６となるようにすると、耐熱性、耐薬品性が高く、現像時間が適正であり、解像度が高く、より一層好ましい。
【００３１】
本発明で用いる光重合開始剤（Ｃ）としては、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、４，４´−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、キサントン、チオキサントン、イソプロピルキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２−エチルアントラキノン、アセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−４´−イソプロピルプロピオフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、イソプロピルベンゾインエーテル、イソブチルベンゾインエーテル、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、カンファーキノン、ベンズアントロン、２−メチル−１− ［４−（メチルチオ）フェニル ］−２−モルホリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、４，４´−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，４，４´−トリ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３´，４，４´−テトラ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３´，４，４´−テトラ（ｔ−ヘキシルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３´−ジ（メトキシカルボニル）−４，４´−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，４´−ジ（メトキシカルボニル）−４，３´−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、４，４´−ジ（メトキシカルボニル）−３，３´−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、２−（４´−メトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（３´，４´−ジメトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（２´，４´−ジメトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（２´−メトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４´−ペンチルオキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−［ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）］−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、１，３−ビス（トリクロロメチル）−５−（２´−クロロフェニル）−ｓ−トリアジン、１，３−ビス（トリクロロメチル）−５−（４´−メトキシフェニル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−ジメチルアミノスチリル）ベンズオキサゾール、２−（ｐ−ジメチルアミノスチリル）ベンズチアゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール、３，３´−カルボニルビス（７−ジエチルアミノクマリン）、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，４´，５，５´−テトラフェニル−１，２´−ビイミダゾール、２，２´−ビス（２−クロロフェニル）−４，４´，５，５´−テトラキス（４−エトキシカルボニルフェニル）−１，２´−ビイミダゾール、２，２´−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４´，５，５´−テトラフェニル−１，２´−ビイミダゾール、２，２´−ビス（２，４−ジブロモフェニル）−４，４´，５，５´−テトラフェニル−１，２´−ビイミダゾール、２，２´−ビス（２，４，６−トリクロロフェニル）−４，４´，５，５´−テトラフェニル−１，２´−ビイミダゾール、３−（２−メチル−２−ジメチルアミノプロピオニル）カルバゾール、３，６−ビス（２−メチル−２−モルホリノプロピオニル）−９−ｎ−ドデシルカルバゾール、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等をあげることができる。これらの化合物の２種以上を混合して使用することも有効である。
【００３２】
中でも３，３´，４，４´−テトラ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３´−ジ（メトキシカルボニル）−４，４´−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，４´−ジ（メトキシカルボニル）−４，３´−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、４，４´−ジ（メトキシカルボニル）−３，３´−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、４，４´−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、３−ベンゾイル−７−ジエチルアミノクマリン、２−メチル−１− ［４−（メチルチオ）フェニル ］−２−モルホリノプロパン−１−オンおよび２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、２−（４´−メトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，４´，５，５´−テトラフェニル−１，２´−ビイミダゾールからなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物を含有すると、高感度であり一層好ましい。
【００３３】
特に、３，３´，４，４´−テトラ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３´−ジ（メトキシカルボニル）−４，４´−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，４´−ジ（メトキシカルボニル）−４，３´−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、４，４´−ジ（メトキシカルボニル）−３，３´−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノンおよび２−メチル−１− ［４−（メチルチオ）フェニル ］−２−モルホリノプロパン−１−オンからなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物を含有すると、解像度が高く、高感度であり、現像マージンが広いため、さらに一層好ましい。
【００３４】
本発明における、光重合開始剤（Ｃ）の添加割合、重量比Ｃ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）は０．０１〜０．５であり、係る範囲であると、高感度の光硬化性樹脂組成物となる。さらに、重量比Ｃ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．０２〜０．３となるようにすると、得られる光硬化性組成物は高感度であり、現像時間が適正であり、一層好ましい。特に、重量比Ｃ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．０３〜０．２となるようにすると、得られる光硬化性組成物は高感度であり、現像時間が適正であり、解像度が高く、より一層好ましい。
【００３５】
本発明で用いる重合禁止剤（Ｄ）としては、トリ−ｐ−ニトロフェニルメチル、ジフェニルピクリルヒドラジル、カルビノキシル等の安定ラジカル、キノン、ベンゾキノン、クロロベンゾキノン、２，５−ジ−クロロベンゾキノン、２，６−ジ−クロロベンゾキノン、２，３−ジ−メチルベンゾキノン、２，５−ジ−メチルベンゾキノン、メトキシベンゾキノン、メチルベンゾキノン、テトラブロモベンゾキノン、テトラクロロベンゾキノン、テトラメチルベンゾキノン、トリクロロベンゾキノン、トリメチルベンゾキノン、アミルキノン、アミロキシヒドロキノン、２，５−ジ−ｔ−ブチルヒドロキノン、２，５−ジフェニル−ｐ−ベンゾキノン等のキノン類、α−ナフトール、２−ニトロ−１−ナフトール、β−ナフトール、１−ニトロ−２−ナフトール等のナフトール類、４−メトキシフェノール、４−エトキシフェノール、ヒドロキノン、フェノール、ｔ−ブチルカテコール、メチルヒドロキノン、ｎ−ブチルフェノール、ヒドロキノンモノプロピルエーテル、ｔ−ブチルクレゾール、ｐ−クレゾール、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、カテコールレゾルシン、ｏ−ｔ−ブチルフェノール、２，６−ジ−ｐ−メトキシフェノール、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール、２，４−ジ−ｔ−ブチルフェノール、３，５−ジ−ｔ−ブチルフェノール、３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ安息香酸、Ｎ，Ｎ´−ビス−３−（３´，５´−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオニルヘキサメチレンジアミン、２，２´−メチレンビス（６−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール）、ｎ−オクタデシル−３−（４−ヒドロキシ−３´，５´−ジ−ｔ−ブチルフェニル）プロピオネート、ジステアリル（４−ヒドロキシ−３−メチル−５−ｔ−ブチル）ベンジルマロネート、２，４，６−トリ−ｔ−ブチルフェノール、１，６−ヘキサンジオール−ビス［３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、トリエチレングリコール−ビス−［３−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、２，２−チオ−ジエチレン−ビス−［３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、３，９−ビス［１，１−ジメチル−２−［β−（３−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）プロピオニロキシエチル−２，４，８，１０−テトラオキサスピロ［５，５］ウンデカン、２，２´−エチリデン−ビス−（２，４−ジ−ｔ−ブチルフェノール）、１，１，３−トリス−（２−メチル−４−ヒドロキシ−５−ｔ−ブチルフェニルブタン、１，３，５−トリメチル−２，４，６−トリス−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）ベンゼン、トリス（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）イソシアネート、トリス［２−（３´，５´−ジ−ｔ−ブチル−４´−ヒドロキシヒドロ−シンナモイロキシル）エチル］イソシアネート、トリス（４−ｔ−ブチル２，６−ジ−メチル−３−ヒドロキシベンジル）イソシアネート、テトラキス［メチレン−３−（３´，５´−ジ−ｔ−ブチル−４´−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］−メタン等のフェノール類、２，４−ジニトロフェノール、ｏ−ニトロフェノール、ｍ−ニトロフェノール、ｐ−ニトロフェノール等のニトロフェノール類、没食子酸、没食子酸メチル、没食子酸プロピル、没食子酸イソアミル等の没食子酸類、メチレンブルー、マラカイトグリーン等の色素類、β−ナフチルアミン、Ｎ−ニトロソシクロヘキシルアミン塩、ジ−ｐ−フルオロフェニルアミン、等のアミン類、ピロガロール、、モノベンジルエーテル、ベンゾキノン、トリフェニルホスフィン、塩化第一銅、フェノチアジン、クロラニール、ピリジン、ニトロベンゼン、ジニトロベンゼン、ｐ−トルイジン、ピクリン酸、サリチル酸メチル等からなる群から選ばれる少なくとも１種を用いることが好ましい。
【００３６】
中でも、４−メトキシフェノール、４−エトキシフェノール、ヒドロキノン、フェノール、ｔ−ブチルカテコール、メチルヒドロキノン、ｎ−ブチルフェノール、ヒドロキノンモノプロピルエーテル、ｔ−ブチルクレゾール、ｐ−クレゾール、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、カテコールレゾルシン、ｏ−ｔ−ブチルフェノール、２，６−ジ−ｐ−メトキシフェノール、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール、２，４−ジ−ｔ−ブチルフェノール、３，５−ジ−ｔ−ブチルフェノール、３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ安息香酸、Ｎ，Ｎ´−ビス−３−（３´，５´−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオニルヘキサメチレンジアミン、２，２´−メチレンビス（６−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール）、ｎ−オクタデシル−３−（４−ヒドロキシ−３´，５´−ジ−ｔ−ブチルフェニル）プロピオネート、ジステアリル（４−ヒドロキシ−３−メチル−５−ｔ−ブチル）ベンジルマロネート、２，４，６−トリ−ｔ−ブチルフェノール、１，６−ヘキサンジオール−ビス［３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、トリエチレングリコール−ビス−［３−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、２，２−チオ−ジエチレン−ビス−［３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、３，９−ビス［１，１−ジメチル−２−［β−（３−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）プロピオニロキシエチル−２，４，８，１０−テトラオキサスピロ［５，５］ウンデカン、２，２´−エチリデン−ビス−（２，４−ジ−ｔ−ブチルフェノール）、１，１，３−トリス−（２−メチル−４−ヒドロキシ−５−ｔ−ブチルフェニルブタン、１，３，５−トリメチル−２，４，６−トリス−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）ベンゼン、トリス（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）イソシアネート、トリス［２−（３´，５´−ジ−ｔ−ブチル−４´−ヒドロキシヒドロ−シンナモイロキシル）エチル］イソシアネート、トリス（４−ｔ−ブチル２，６−ジ−メチル−３−ヒドロキシベンジル）イソシアネート、テトラキス［メチレン−３−（３´，５´−ジ−ｔ−ブチル−４´−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］−メタン等のフェノール類またはこれらの混合物が、現像性を良好にするので好ましい。
【００３７】
特に４−メトキシフェノール、ヒドロキノン、ｔ−ブチルカテコール、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノールが、現像性が良好で、解像度が高く、より一層好ましい。
【００３８】
本発明における、重合禁止剤（Ｄ）の添加割合、重量比Ｄ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）は０．００１〜０．０５であり、この範囲であると、現像マージンが広い光硬化性樹脂組成物となる。さらに、重量比Ｄ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．００２〜０．０３となるようにすると、得られる光硬化性樹脂組成物は現像マージンが広く、高感度であり、一層好ましい。特に、重量比Ｄ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．００３〜０．０２となるようにすると、得られる光硬化性樹脂組成物は現像マージンが広く、高感度であり、解像度が高く、より一層好ましい。
【００３９】
本発明で用いる溶媒（Ｅ）としては、、沸点が１００℃〜２００℃である化合物の少なくとも１種を、溶媒（Ｅ）に対して２０〜１００重量％含有することが好ましい。具体的な例としては、水、酢酸ブチル、プロピオン酸ブチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシー２−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル、ジオキサン、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、トルエン、キシレン、γ−ブチロラクトン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド等からなる群から選ばれる少なくとも１種を用いることが好ましい。
【００４０】
中でもプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテルおよび乳酸エチルからなる群から選ばれる少なくとも１種を用いると塗布均一性が高くなるので好ましい。
【００４１】
特にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチルおおよび乳酸エチルの中からなる群から選ばれる少なくとも１種を用いると、塗布均一性が高く、人体への安全性が高くなるため、より一層好ましい。
【００４２】
本発明における、溶媒（Ｅ）の使用量は、重量比（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ＋Ｅ）が０．０５〜０．６となるようにすると、塗布均一性が良好で好ましい。さらに、重量比（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ＋Ｅ）が０．１〜０．５５となるようにすると、塗布均一性が良好で、膜厚コントロールが容易で、一層好ましい。特に、重量比（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ＋Ｅ）が０．２〜０．５となるようにすると、塗布均一性が良好で、膜厚コントロールが容易で、保存安定性が良好であるため、より一層好ましい。
【００４３】
本発明の光硬化性樹脂組成物には、解像度、塗布均一性、現像性、接着性を向上させるために、各種の添加剤を添加することができる。たとえば、アクリル系、スチレン系、ポリエチレンイミン系もしくはウレタン系の高分子分散剤、アニオン系、カチオン系、ノニオン系もしくはフッ素系の界面活性剤、シリコン樹脂等の塗布性向上剤、シランカップリング剤等の密着性向上剤、アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤、ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤、エポキシ化合物、メラミン化合物もしくはビスアジド化合物等の熱架橋剤、有機カルボン酸等のアルカリ溶解性促進剤等を挙げることができる。
【００４４】
添加剤の具体例としては、ＥＦＫＡ−７４５、ＥＦＫＡ−４６、ＥＦＫＡ−４７、ＥＦＫＡ−４７ＥＡ、ＥＦＫＡポリマー１００、ＥＦＫＡポリマー４００、ＥＦＫＡポリマー４０１、ＥＦＫＡポリマー４５０（商標、以上、森下産業製）、ソルスパーズ（商標）３０００、５０００、９０００、１２０００、１３２４０、１３９４０、１７０００、２００００、２４０００、２４０００ＧＲ、２６０００、２８０００、３２０００（以上、ゼネカ製）、ディスパースエイド６、ディスパースエイド８、ディスパースエイド１５、ディスパースエイド９１００（以上いずれも商標、サンノプコ製）、ポリフローＮｏ．７５、ポリフローＮｏ．９０、ポリフローＮｏ．９５（以上いずれも商標、共栄社油脂化学工業製）、ディスパーベイク（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１６１、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１６２、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１６３、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１６４、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１６６、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１７０、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１８０、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１８１、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１８２（以上いずれも商標、ビックケミー製）、フルオロアルキルベンゼンスルホン酸塩、フルオルアルキルカルボン酸塩、フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル、フルオロアルキルアンモニウムヨージド、フルオロアルキルベタイン、フルオロアルキルスルホン酸塩、ジグリセリンテトラキス（フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル）、フルオロアルキルトリメチルアンモニウム塩、フルオロアルキルアミノスルホン酸塩、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレントリデシルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンラウレート、ポリオキシエチレンオレレート、ポリオキシエチレンステアレート、ポリオキシエチレンラウリルアミン、ソルビタンラウレート、ソルビタンパルミテート、ソルビタンステアレート、ソルビタンオレエート、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタンラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンパルミテート、ポリオキシエチレンソルビタンステアレート、ポリオキシエチレンソルビタンオレエート、ポリオキシエチレンナフチルエーテル、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸塩、ビックケミー（株）製ＢＹＫ３００、同ＢＹＫ３１０、同ＢＹＫ３２０、同ＢＹＫ３３０、同ＢＹＫ３４６、共栄社化学（株）製ポリフローＮｏ．４５、同ポリフローＫＬ−２４５等のなかから選ばれる少なくとも１種をあげることができる。
【００４５】
中でもフルオロアルキルベンゼンスルホン酸塩、フルオルアルキルカルボン酸塩、フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル、フルオロアルキルアンモニウムヨージド、フルオロアルキルベタイン、フルオロアルキルスルホン酸塩、ジグリセリンテトラキス（フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル）、フルオロアルキルトリメチルアンモニウム塩、フルオロアルキルアミノスルホン酸塩のなかから選ばれる少なくとも１種が、塗布均一性が高くなるので好ましい。
【００４６】
本発明の光硬化性樹脂組成物には、耐熱性、耐薬品性を向上させるために、エポキシ基含有ポリマーを添加するのことが好ましい。エポキシ基含有ポリマーとしては、グリシジルメタクリレートのホモポリマーや、グリシジルメタクリレートと他のラジカル重合可能な単官能モノマーとの共重合体が、耐熱性、耐薬品性が高く、現像性が良好で好ましい。特に、グリシジルメタクリレートとメチルメタクリレートの共重合体は、耐熱性、耐薬品性が高く、現像性が良好で、解像度が高く、一層好ましい。
【００４７】
エポキシ基含有ポリマーの、ポリエチレンオキシドを標準としたＧＰＣ分析で求めた重量平均分子量が２，０００〜７０，０００の範囲であると、耐熱性、耐薬品性が高く、好ましい。さらに、重量平均分子量が３，０００〜３０，０００の範囲であると、耐熱性、耐薬品性が高く、現像時間が適正であり、一層好ましい。特に、重量平均分子量が４，０００〜２０，０００の範囲であると、耐熱性、耐薬品性が高く、現像時間が適正であり、解像度が高く、より一層好ましい。
【００４８】
本発明の光硬化性樹脂組成物は、温度−５℃〜２５℃の範囲で遮光して保存すると、組成物の経時安定性が良好である。保存温度が０℃〜１０℃であれば、経時安定性が一層良好である。
【００４９】
本発明の光硬化性樹脂組成物を露光後に現像する場合の現像液としては、アルカリ水溶液が好ましい。アルカリの具体例としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、等を使用することができる。
現像液には現像残渣の低減やパターン形状の適性化を目的として、界面活性剤を添加してもよい。界面活性剤としてはアニオン、カチオン、ノニオン系から選択して使用することができる。特にノニオン系のポリオキシエチレンアルキルエーテルを添加すると、パターン形状が良好になるので好ましい。
【００５０】
現像方法は特に限定されない。ディップ現像、パドル現像、シャワー現像のいずれも用いることができる。
【００５１】
【実施例】
以下、実施例により本発明をさらに説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。
なお、酸価は常法により測定する。
【００５２】
合成例
（１）アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の合成
攪拌器付４つ口フラスコに以下を仕込み、６４℃で６時間加熱した。
メタノール ４１．７ｇ
酢酸エチル ８３．３ｇ
ベンジルメタクリレート ２７．５ｇ
一般式（２）で表される化合物である
日本化薬（株）製ＫＡＹＡＲＡＤ（商標）ＴＣ１１０Ｓ ７．５ｇ
２−ヒドロキシエチルメタクリレート １０．０ｇ
メタクリル酸 ５．０ｇ
アゾビスイソブチロニトリル ０．２５ｇ
チオグリコール酸 ０．７５ｇ
加熱終了後、冷却し、大量のシクロヘキサンに投入した。生成した沈殿を５０℃で真空乾燥し、３８．４ｇのアルカリ可溶性樹脂（Ａ１）を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の酸価は６０．３ｍｇＫＯＨ／ｇ、ポリエチレンオキシドを標準としたＧＰＣ分析により求めた重量平均分子量は７，０００であった。
【００５３】
（２）アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）の合成
攪拌器付４つ口フラスコに以下を仕込み、６４℃で６時間加熱した。
メタノール ４１．７ｇ
酢酸エチル ８３．３ｇ
ベンジルメタクリレート ３０．０ｇ
一般式（２）で表される化合物である
日本化薬（株）製ＫＡＹＡＲＡＤ（商標）ＴＣ１１０Ｓ ２．５ｇ
２−ヒドロキシエチルメタクリレート ５．０ｇ
メタクリル酸 １２．５ｇ
アゾビスイソブチロニトリル ０．２５ｇ
チオグリコール酸 ０．３０ｇ
加熱終了後、冷却し、大量のシクロヘキサンに投入した。生成した沈殿を５０℃
で真空乾燥し、４２．２ｇのアルカリ可溶性樹脂（Ａ２）を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂（Ａ２）の酸価は１５１．７ｍｇＫＯＨ／ｇ、ポリエチレンオキシドを標準としたＧＰＣ分析により求めた重量平均分子量は１８，０００であった。
【００５４】
（３）アルカリ可溶性樹脂（Ａ３）の合成
攪拌器付４つ口フラスコに以下を仕込み、６４℃で６時間加熱した。
メタノール ４１．７ｇ
酢酸エチル ８３．３ｇ
ベンジルメタクリレート ２９．０ｇ
一般式（２）で表される化合物である
日本化薬（株）製ＫＡＹＡＲＡＤ（商標）ＴＣ１１０Ｓ １２．５ｇ
２−ヒドロキシエチルメタクリレート ５．０ｇ
メタクリル酸 ３．５ｇ
アゾビスイソブチロニトリル ０．２５ｇ
チオグリコール酸 ０．７５ｇ
加熱終了後、冷却し、大量のシクロヘキサンに投入した。生成した沈殿を５０℃で真空乾燥し、３７．９ｇのアルカリ可溶性樹脂（Ａ３）を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂（Ａ３）の酸価は３９．０ｍｇＫＯＨ／ｇ、ポリエチレンオキシドを標準としたＧＰＣ分析により求めた重量平均分子量は７，３００であった。
【００５５】
（４）グリシジル基含有ポリマー（Ｇ１）の合成
攪拌器付４つ口フラスコに以下を仕込み、８０℃で４時間加熱した。
２−ブタノン ２００．０ｇ
グリシジルメタクリレート ４０．０ｇ
メチルメタクリレート １０．０ｇ
アゾビスイソブチロニトリル ２．０ｇ
加熱終了後、冷却し、大量のシクロヘキサンに投入した。生成した沈殿を５０℃で真空乾燥し、４５．１ｇのグリシジル基含有ポリマー（Ｇ１）を得た。ポリエチレンオキシドを標準としたＧＰＣ分析により求めた重量平均分子量は６，５００であった。
【００５６】
実施例１
光硬化性樹脂組成物の調製
アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）、グリシジル基含有ポリマー（Ｇ１）、二重結合を有する化合物（Ｂ）であるトリメチロールプロパントリアクリレート（東亜合成（株）製アロニックス（商標）Ｍ３０９、以下Ｍ３０９と略す）、ジペンタエリスルトールヘキサアクリレート（東亜合成（株）製アロニックス（商標）Ｍ４００、以下Ｍ４００と略す）、ジグリセリンテトラアクリレート（ダイセル・ユーシービー（株）製Ｅｂｅｃｒｙｌ（商標）１４０、以下ＥＢ１４０と略す）、光重合開始剤（Ｃ）である２−メチル−１− ［４−（メチルチオ）フェニル ］−２−モルホリノプロパン−１−オン（チバスペシャリティーケミカルズ（株）イルガキュア（商標）９０７、以下Ｉ９０７と略す）、重合禁止剤（Ｄ）である４−メトキシフェノール（以下ＭＱと略す）、フッ素系界面活性剤であるネオス（株）製フタージェント（商標）ＤＦＸ−１８、溶媒（Ｅ）として、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（以下ＰＧＭＥＡと略す）を下記組成にて混合溶解し、光硬化性樹脂組成物を得た。
ＰＧＭＥＡ Ｅ ２．０６００ｇ
アルカリ可溶性樹脂（Ａ１） Ａ ０．５１００ｇ
グリシジル基含有ポリマー（Ｇ１） ０．０９００ｇ
Ｍ４００ Ｂ ０．２４００ｇ
ＥＢ１４０ Ｂ ０．２４００ｇ
Ｍ３０９ Ｂ ０．１８００ｇ
Ｉ９０７ Ｃ ０．１２００ｇ
ＭＱ Ｄ ０．０１２０ｇ
ＤＦＸ−１８ ０．００１７ｇ
上記光硬化性樹脂組成物の重量比Ｃ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）は０．０９２、重量比Ｄ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）は０．００９２、粘度は１７．２ｍＰａ・ｓであった。
【００５７】
この光硬化性樹脂組成物をガラス基板上に１３００ｒｐｍで２０秒間スピンコートし、８０℃のホットプレート上で２分間乾燥した。この基板をウシオ（株）製ＵＩ−５０１Ｃ超高圧水銀灯でホールパターンのマスクを介して、空気中、ギャップ１００μｍで露光した。露光量はウシオ（株）製積算光量計ＵＩＴ−１０２、受光器ＵＶＤ−３６５ＰＤで測定して５０ｍＪ／ｃｍ２とした。露光後のガラス基板を、０．４％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で６０秒間ディップ現像し、未露光部を除去した。基板表面が現れる時間は１５秒であった。現像後の基板を純水で２０秒間洗ってから、２３０℃で３０分ポストベイクした。膜厚は２．６８μｍであった。２００倍の光学顕微鏡で観察したところ、８ミクロン角のホールパターンが解像していた。４００ｎｍでの透過率は９７．６％であった。倍率１万倍のＳＥＭで観察したところ、現像残渣はみられず、パターンエッジの形状は順テーパーであった。ポストベイク後の基板を４０℃の２重量％水酸化ナトリウム水溶液に１０分間浸漬したところ、膜厚の変化率は−０．７％であり、耐薬品性は良好であった。また、ポストベイク後の基板をさらに２３０℃で１時間追加ベイクしたところ、膜厚の変化率は−２．７％、４００ｎｍでの透過率の変化は−０．８％であり、耐熱性は良好であった。この光硬化性樹脂組成物を遮光した５℃の冷蔵庫中で３ヶ月保存したが、粘度、塗布均一性、現像残渣に変化はなかった。
【００５８】
実施例２〜５
光硬化性樹脂組成物を後述の表１に示す仕込み量にて調製した。この光硬化性樹脂組成物を実施例１に準拠して評価を行った。結果を表２に示す。
【００５９】
表１
表２
比較例１
下記組成にてアルカリ可溶性樹脂等を混合溶解し、光硬化性樹脂組成物を得た。
ＰＧＭＥＡ Ｅ ２．０６００ｇ
アルカリ可溶性樹脂（Ａ１） Ａ ０．５１００ｇ
グリシジル基含有ポリマー（Ｇ１） ０．０９００ｇ
Ｍ４００ Ｂ ０．２４００ｇ
ＥＢ１４０ Ｂ ０．２４００ｇ
Ｍ３０９ Ｂ ０．１８００ｇ
Ｉ９０７ Ｃ ０．１２００ｇ
ＭＱ Ｄ ０．０００８ｇ
ＤＦＸ−１８ ０．００１７ｇ
上記光硬化性樹脂組成物の重量比Ｃ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）は０．０９３、重量比Ｄ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）は０．０００６、粘度は１７．４ｍＰａ・ｓであった。
【００６２】
この光硬化性樹脂組成物を実施例１と同様にしてガラス基板上塗布、乾燥、露光、現像、ポストベイクを行った。得られた塗膜の膜厚は２．７１μｍであった。２００倍の光学顕微鏡で観察したところ、３０ミクロン角のホールパターンは解像していたが、２０ミクロン角のホールパターンは解像していなかった。この光硬化性樹脂組成物を遮光した５℃の冷蔵庫中で３ヶ月保存したところ、粘度が２０．４ｍＰａ・ｓに上昇していた。その他の評価項目については、表２に示す。
【００６３】
比較例２，３
光硬化性樹脂組成物を表１に示す仕込み量にて調製した。この光硬化性樹脂組成物を実施例１と同様の評価を行った。結果を表２に示す。
【００６４】
比較例４
従来の技術の欄に記載の特開２００２−１３１８９９公報の実施例１に従い、組成物を調製し評価を行った。
ベンジルメタクリレート−メタクリル酸共重合体（モル比７３：２７）の合成
攪拌器付４つ口フラスコに以下を仕込み、６４℃で６時間加熱した。
メタノール ４１．７ｇ
酢酸エチル ８３．３ｇ
ベンジルメタクリレート ４２．５ｇ
メタクリル酸 ７．５ｇ
アゾビスイソブチロニトリル ０．２５ｇ
加熱終了後、冷却し、大量のシクロヘキサンに投入した。生成した沈殿を５０℃で真空乾燥し、４６．７ｇのベンジルメタクリレート−メタクリル酸共重合体を得た。得られたベンジルメタクリレート−メタクリル酸共重合体の酸価は９３．６ｍｇＫＯＨ／ｇ、ポリエチレンオキシドを標準としたＧＰＣ分析により求めた重量平均分子量は８２，０００であった。
以下の組成で光硬化性樹脂組成物を調製した。
上記ポリマー ２１．０ｇ
ＰＧＭＥＡ ４０．０ｇ
メチルエチルケトン １７．０ｇ
Ｍ４００ １０．０ｇ
ヘキサメトキシメチルメラミン ２．６ｇ
２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４−（Ｎ，Ｎ−
ジエトキシカルボニルメチルアミノ）−３−ブロモフェ
ニル］−ｓ−トリアジン ０．４１ｇ
ビス（ｐ−ｔｅｒｔ−ペンチルフェニル）ヨードニウム−９，
１０−ジメトキシアントラセン−２−スルホネート ０．６３ｇ
染料ヴィクトリアピュアブルーＢＯＨ
（保土谷化学（株）製） ０．０２２５ｇ
フッ素系界面活性剤Ｆ１７６ＰＦ
（大日本インキ（株）製） ０．０３ｇ
この光硬化性樹脂組成物をガラス基板上に１５００ｒｐｍで２０秒間スピンコートし、１００℃のホットプレート上で２分間乾燥した。この基板をウシオ（株）製ＵＩ−５０１Ｃ超高圧水銀灯でホールパターンのマスクを介して、空気中、ギャップ１００μｍで露光した。露光量はウシオ（株）製積算光量計ＵＩＴ−１０２、受光器ＵＶＤ−３６５ＰＤで測定して３００ｍＪ／ｃｍ２とした。露光後のガラス基板を、１％モノエタノールアミン水溶液で６０秒間スプレー現像したところ、露光部まで除去されてしまいパターンを得ることができなかった。この組成物は空気中露光においては実用的な感度が得られていないことが判明した。
【００６５】
【発明の効果】
本発明の光硬化性樹脂組成物は、高い透明性と高い解像度を併せ持ち、かつ高感度であり、さらに塗布均一性、現像性、パターン形状、耐熱性、保存安定性等に優れている。したがって、該光硬化性樹脂組成物を用いることにより、明度、色再現性に優れた表示素子を提供することができる。
Claims (8)
- アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、二重結合を有する化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、重合禁止剤（Ｄ）、および溶媒（Ｅ）を含有する光硬化性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の酸価が２０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、かつ、（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）に対する光重合開始剤（Ｃ）の重量比Ｃ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．０１〜０．５であり、（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）に対する重合禁止剤（Ｄ）の重量比Ｄ／（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）が０．００１〜０．０５である光硬化性樹脂組成物。
- 光重合開始剤（Ｃ）が、下記一般式（１）で表される化合物、ビイミダゾール系化合物、ベンジルジメチルケタール系化合物、α−ヒドロキシケトン系化合物、α−アミノケトン系化合物、ビスアシルフォスフィンオキサイド系化合物、メタロセン系化合物、アミノ基とベンゾフェノン構造を有する化合物、クマリン構造を有する化合物、トリハロメチル基とトリアジン環を有する化合物からなる群の中から選ばれる少なくとも１種の化合物を含有する光重合開始剤である請求項１記載の光硬化性樹脂組成物。
（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４はそれぞれ独立して炭素数１〜１３のアルキル基、Ｘ１、Ｘ２はそれぞれ独立に−Ｏ−、−Ｏ−Ｏ−、または−ＮＨ−である。）。 - アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が、カルボキシル基を有するラジカル重合性モノマーの少なくとも１種と、ベンジル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、スチレン、Ｎ−フェニルマレイミド、ポリスチレンマクロモノマーおよび一般式（２）で表される化合物からなる群の中から選ばれる少なくとも１種とをラジカル重合させて得られる共重合体である請求項１記載の光硬化性樹脂組成物。
（Ｒ５は水素原子もしくはメチル基であり；Ｒ６は水素原子もしくは炭素数１〜５のアルキル基であり；ｎは１〜５の整数である。）。 - アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が、（メタ）アクリル酸、ベンジル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、および一般式（２）で表される化合物からなる群の中から選ばれ得る少なくとも１種を必須成分としたラジカル重合により得られる共重合体である請求項１記載の光硬化性樹脂組成物。
- 溶媒（Ｅ）が、沸点が１００℃〜２００℃である化合物の少なくとも１種を、溶媒（Ｅ）に対して２０〜１００重量％含有する溶媒である請求項１記載の光硬化性樹脂組成物。
- 二重結合を有する化合物（Ｂ）が、二重結合を３個以上有する化合物の少なくとも１種類を、二重結合を有する化合物（Ｂ）に対して２０〜１００重量％含有する化合物である請求項１記載の光硬化性樹脂組成物。
- 重合禁止剤（Ｄ）が、フェノール性化合物の少なくとも１種類を、重合禁止剤（Ｄ）に対して２０〜１００重量％含有する重合禁止剤である請求項１記載の光硬化性樹脂組成物。
- 請求項１〜７のいずれか１項記載の光硬化性樹脂組成物を用いて製造された表示素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002237753A JP4232410B2 (ja) | 2002-08-19 | 2002-08-19 | 光硬化性樹脂組成物およびそれを用いた表示素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002237753A JP4232410B2 (ja) | 2002-08-19 | 2002-08-19 | 光硬化性樹脂組成物およびそれを用いた表示素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004077773A true JP2004077773A (ja) | 2004-03-11 |
| JP4232410B2 JP4232410B2 (ja) | 2009-03-04 |
Family
ID=32021364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002237753A Expired - Fee Related JP4232410B2 (ja) | 2002-08-19 | 2002-08-19 | 光硬化性樹脂組成物およびそれを用いた表示素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4232410B2 (ja) |
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2002
- 2002-08-19 JP JP2002237753A patent/JP4232410B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP4232410B2 (ja) | 2009-03-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050803 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080620 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080820 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080916 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081022 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111219 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111219 Year of fee payment: 3 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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