JP2002287337A - カラー液晶表示装置用感放射線性組成物およびカラー液晶表示装置 - Google Patents

カラー液晶表示装置用感放射線性組成物およびカラー液晶表示装置

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JP2002287337A
JP2002287337A JP2001086042A JP2001086042A JP2002287337A JP 2002287337 A JP2002287337 A JP 2002287337A JP 2001086042 A JP2001086042 A JP 2001086042A JP 2001086042 A JP2001086042 A JP 2001086042A JP 2002287337 A JP2002287337 A JP 2002287337A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 塗膜の上部から底部までの全領域において放
射線の有効強度を十分なレベルに保つことができて、形
成されたパターンが該全領域において高い硬度を有し、
優れた形状のパターンを形成しうるカラー液晶表示装置
用感放射線性組成物を提供する。 【解決手段】 カラー液晶表示装置用感放射線性組成物
は、(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)
多官能性単量体および(D)光重合開始剤を含有する感
放射線性組成物であって、該感放射線性組成物から形成
されたパターンの断面形状の浸食率が30%以下である
ことを特徴とするか、または前記(A)〜(D)および
(E)連鎖移動剤を含有することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラー液晶表示装
置用部材(画素、ブラックマトリックスあるいはスペー
サー)を形成するために用いられるカラー液晶表示装置
用感放射線性組成物、該部材、並びに該部材を備えたカ
ラー液晶表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、カラー液晶表示装置用感放射線性
組成物を用いてカラー液晶表示装置の画素、ブラックマ
トリックスあるいはスペーサーを製造するに当たって
は、基板上に、着色剤が分散された感放射線性組成物を
塗布し、乾燥したのち、得られた塗膜にフォトマスクを
介して放射線を照射(以下、「露光」という。)し、現
像することにより、所望のパターンを形成している。し
かしながら、このようなカラー液晶表示装置用感放射線
性組成物では、露光された放射線が着色剤により吸収さ
れるために、塗膜中の放射線の有効強度が、塗膜の上部
から底部(即ち、基板表面近傍)に向かって次第に小さ
くなる現象が必然的に生じ、その結果塗膜内部における
硬化反応も上部から底部に向かって次第に不十分となる
おそれがある。そのため、露光後現像する際にパターン
が現像液によりえぐられて、最終的にパターンの側面形
状が悪くなり、画素あるいはブラックマトリックスの形
成後に、例えば蒸着などによりITO電極(錫をドープ
した酸化インジウム電極)を形成しようとすると、IT
O電極の断線が起こることがあり、またスペーサーの形
成後配向膜をラビングする際に、スペーサーパターンの
欠けを生じて、異物が発生することがあるため、液晶表
示素子の品質が低下したり、製品歩留りが低くなるとい
う問題があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、塗膜
の上部から底部までの全領域において放射線の有効強度
を十分なレベルに保つことができて、形成されたパター
ンが該全領域において高い硬度を有し、優れた形状のパ
ターンを形成しうるカラー液晶表示装置用感放射線性組
成物を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、前記課
題は、第一に、(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹
脂、(C)多官能性単量体および(D)光重合開始剤を
含有する感放射線性組成物であって、該感放射線性組成
物から形成されたパターンの断面形状の浸食率が30%
以下であることを特徴とするカラー液晶表示装置用感放
射線性組成物、によって達成される。
【0005】本発明によれば、前記課題は、第二に、
(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官
能性単量体、(D)光重合開始剤および(E)連鎖移動
剤を含有することを特徴とするカラー液晶表示装置用感
放射線性組成物、によって達成される。本発明でいう
「放射線」は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、
X線等を含むものを意味する。
【0006】以下に、本発明について詳細に説明する。(A)着色剤 本発明における着色剤は、色調が特に限定されるもので
はなく、得られるカラーフィルタの用途に応じて適宜選
定され、顔料、染料あるいは天然色素の何れでもよい。
カラーフィルタには高精細な発色と耐熱性が求められる
ことから、本発明における着色剤としては、発色性が高
く、かつ耐熱性の高い着色剤、特に耐熱分解性の高い着
色剤が好ましく、通常、顔料、特に好ましくは有機顔料
および/またはカーボンブラックが用いられる。
【0007】前記有機顔料としては、例えば、カラーイ
ンデックス(C.I.;The Society ofDyers and Colouris
ts 社発行) においてピグメント(Pigment)に分類され
ている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデ
ックス(C.I.)番号が付されているものを挙げることが
できる。C.I.ピグメントエロー12、C.I.ピグメントエ
ロー13、C.I.ピグメントエロー14、C.I.ピグメント
エロー17、C.I.ピグメントエロー20、C.I.ピグメン
トエロー24、C.I.ピグメントエロー31、C.I.ピグメ
ントエロー55、C.I.ピグメントエロー83、C.I.ピグ
メントエロー93、C.I.ピグメントエロー109、C.I.
ピグメントエロー110、C.I.ピグメントエロー13
8、C.I.ピグメントエロー139、C.I.ピグメントエロ
ー150、C.I.ピグメントエロー153、C.I.ピグメン
トエロー154、C.I.ピグメントエロー155、C.I.ピ
グメントエロー166、C.I.ピグメントエロー168、
C.I.ピグメントエロー180、C.I.ピグメントエロー1
85;C.I.ピグメントオレンジ36、C.I.ピグメントオ
レンジ43、C.I.ピグメントオレンジ51、C.I.ピグメ
ントオレンジ61、C.I.ピグメントオレンジ71;C.I.
ピグメントレッド9、C.I.ピグメントレッド97、C.I.
ピグメントレッド122、C.I.ピグメントレッド12
3、C.I.ピグメントレッド149、C.I.ピグメントレッ
ド168、C.I.ピグメントレッド176、C.I.ピグメン
トレッド177、C.I.ピグメントレッド180、C.I.ピ
グメントレッド209、C.I.ピグメントレッド215、
C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッド2
42、C.I.ピグメントレッド254;C.I.ピグメントバ
イオレット19、ピグメントバイオレット23、ピグメ
ントバイオレット29;C.I.ピグメントブルー15、C.
I.ピグメントブルー60、C.I.ピグメントブルー15:
3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.I.ピグメントブ
ルー15:6、C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメ
ントグリーン36;C.I.ピグメントブラウン23、C.I.
ピグメントブラウン25;C.I.ピグメントブラック1、
C.I.ピグメントブラック7。これらの有機顔料は、単独
でまたは2種以上を混合して使用することができる。ま
た、前記有機顔料は、例えば、硫酸再結晶法、溶剤洗浄
法や、これらの組み合わせ等により精製して使用するこ
とができる。
【0008】また、無機顔料の具体例としては、酸化チ
タン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸
鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カ
ドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、
アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラッ
ク等を挙げることができる。これらの無機顔料は、単独
でまたは2種以上を混合して使用することができる。本
発明におけるカラー液晶表示装置用感放射線性組成物が
画素を形成するために用いられる場合には、好ましく
は、着色剤として1種以上の有機顔料が使用され、また
ブラックマトリックスを形成するために用いられる場合
には、好ましくは、着色剤として2種以上の有機顔料お
よび/またはカーボンブラックが使用され、さらにスペ
ーサーを形成するために用いられる場合には、好ましく
は、着色剤として1種以上の有機顔料および/またはカ
ーボンブラックが使用される。
【0009】本発明においては、前記各顔料は、所望に
より、その粒子表面をポリマーで改質して使用すること
ができる。顔料の粒子表面を改質するポリマーとして
は、例えば、特開平8−259876号公報等に記載さ
れたポリマーや、市販の各種の顔料分散用のポリマーま
たはオリゴマー等を挙げることができる。また、本発明
における着色剤は、所望により、分散剤と共に使用する
ことができる。前記分散剤としては、例えば、カチオン
系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコーン系、フ
ッ素系等の界面活性剤を挙げることができる。このよう
な界面活性剤の例としては、ポリオキシエチレンラウリ
ルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、
ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエ
チレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンn−オ
クチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンn−ノニ
ルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルフ
ェニルエーテル類;ポリエチレングリコールジラウレー
ト、ポリエチレングリコールジステアレート等のポリエ
チレングリコールジエステル類;ソルビタン脂肪酸エス
テル類;脂肪酸変性ポリエステル類;3級アミン変性ポ
リウレタン類;ポリエチレンイミン類等のほか、以下商
品名で、KP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー
(共栄社化学(株)製)、エフトップ(トーケムプロダ
クツ社製)、メガファック(大日本インキ化学工業
(株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、
アサヒガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)製)、
Disperbyk−101、同103、同107、同
110、同111、同115、同130、同160、同
161、同162、同163、同164、同165、同
166、同170、同180、同182、同2000、
同2001(以上、ビックケミー・ジャパン(株)
製)、ソルスパースS5000、同S12000、同S
13240、同S13940、同S17000、同S2
0000、同S22000、同S24000、同S24
000GR、同S26000、同S27000、同S2
8000(以上、アビシア(株)製)、EFKA46、
同47、同48、同745、同4540、同4550、
同6750、EFKA LP4008、同4009、同
4010、同4015、同4050、同4055、同4
560、同4800、EFKA Polymer40
0、同401、同402、同403、同450、同45
1、同453(以上、エフカケミカルズ(株)製)等を
挙げることができる。これらの界面活性剤は、単独でま
たは2種以上を混合して使用することができる。界面活
性剤の使用量は、着色剤100重量部に対して、通常、
50重量部以下、好ましくは30重量部以下である。
【0010】(B)アルカリ可溶性樹脂 本発明におけるアルカリ可溶性樹脂としては、(A)着
色剤に対してバインダーとして作用し、かつパターンを
形成する際に、現像処理工程において用いられる現像
液、特に好ましくはアルカリ現像液に対して可溶性を有
するものであれば、特に限定されるものではないが、例
えば、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン
酸等の酸性官能基を有する重合性不飽和単量体と他の共
重合可能な不飽和単量体(以下、「共重合性不飽和単量
体」という。)との共重合体を挙げることができる。
【0011】カルボキシル基を有する重合性不飽和単量
体(以下、「カルボキシル基含有不飽和単量体」とい
う。)としては、例えば、(メタ)アクリル酸、クロト
ン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸等の不飽和モノ
カルボン酸類;マレイン酸、無水マレイン酸、フマル
酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水
シトラコン酸、メサコン酸等の不飽和ジカルボン酸また
はその無水物類;3価以上の不飽和多価カルボン酸(無
水物)類;こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキ
シエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロ
キシエチル〕等の非重合性ジカルボン酸のモノ〔2−
(メタ)アクリロイロキシエチル〕エステルや、ω−カ
ルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート
等を挙げることができる。
【0012】これらのカルボキシル基含有不飽和単量体
のうち、特に、(メタ)アクリル酸、こはく酸モノ〔2
−(メタ)アクリロイロキシエチル〕等が好ましい。前
記カルボキシル基含有不飽和単量体は、単独でまたは2
種以上を混合して使用することができる。
【0013】また、フェノール性水酸基を有する重合性
不飽和単量体としては、例えば、o−ヒドロキシスチレ
ン、m−ヒドロキシスチレン、p−ヒドロキシスチレ
ン、o−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、m−ヒドロ
キシ−α−メチルスチレン、p−ヒドロキシ−α−メチ
ルスチレン、N−o−ヒドロキシフェニルマレイミド、
N−m−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−p−ヒド
ロキシフェニルマレイミド等を挙げることができる。こ
れらのフェノール性水酸基を有する重合性不飽和単量体
は、単独でまたは2種以上を混合して使用することがで
きる。また、スルホン酸基を有する重合性不飽和単量体
としては、例えば、イソプレンスルホン酸、p−スチレ
ンスルホン酸等を挙げることができる。これらのスルホ
ン酸基を有する重合性不飽和単量体は、単独でまたは2
種以上を混合して使用することができる。
【0014】次に、共重合性不飽和単量体としては、例
えば、ポリスチレン、ポリメチル(メタ)アクリレー
ト、ポリ−n−ブチル(メタ)アクリレート、ポリシロ
キサン等の重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロ
イル基を有するマクロモノマー類(以下、単に「マクロ
モノマー類」という。):N−フェニルマレイミド、N
−o−メチルフェニルマレイミド、N−m−メチルフェ
ニルマレイミド、N−p−メチルフェニルマレイミド、
N−o−メトキシフェニルマレイミド、N−m−メトキ
シフェニルマレイミド、N−p−メトキシフェニルマレ
イミド等のN−アリールマレイミドや、N−シクロヘキ
シルマレイミド等のN位−置換マレイミド類;
【0015】スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニ
ルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエ
ン、p−クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−
メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニル
ベンジルメチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエ
ーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニ
ルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグ
リシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエー
テル等の芳香族ビニル化合物;インデン、1−メチルイ
ンデン等のインデン類;
【0016】メチル(メタ)アクリレート、エチル(メ
タ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレー
ト、i−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル
(メタ)アクリレート、i−ブチル(メタ)アクリレー
ト、sec−ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル
(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)
アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリ
レート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレー
ト、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3−
ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキ
シブチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリ
レート、ベンジル(メタ)アクリレート、シクロヘキシ
ル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレー
ト、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、2−フ
ェノキシエチル(メタ)アクリレート、メトキシジエチ
レングルコール(メタ)アクリレート、メトキシトリエ
チレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシプロ
ピレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシジプ
ロピレングルコール(メタ)アクリレート、イソボルニ
ル(メタ)アクリレート、トリシクロ[ 5.2.1.0
2.6 ] デカン−8−イル(メタ)アクリレート、2−ヒ
ドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレー
ト、下記式(1)
【0017】
【化1】 〔式(1)において、R1 は水素原子またはメチル基を
示す。〕で表される単量体(以下、「グリセロールモノ
(メタ)アクリレート」という。)等の不飽和カルボン
酸エステル類;
【0018】2−アミノエチル(メタ)アクリレート、
2−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、2−
アミノプロピル(メタ)アクリレート、2−ジメチルア
ミノプロピル(メタ)アクリレート、3−アミノプロピ
ル(メタ)アクリレート、3−ジメチルアミノプロピル
(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸アミノアル
キルエステル類;グリシジル(メタ)アクリレート等の
不飽和カルボン酸グリシジルエステル類;酢酸ビニル、
プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等の
カルボン酸ビニルエステル類;ビニルメチルエーテル、
ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル等の
不飽和エーテル類;(メタ)アクリロニトリル、α−ク
ロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン等のシアン
化ビニル化合物;(メタ)アクリルアミド、α−クロロ
アクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチル(メタ)ア
クリルアミド等の不飽和アミド類;1,3−ブタジエ
ン、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類
等を挙げることができる。これらの共重合性不飽和単量
体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することが
できる。
【0019】前記共重合性不飽和単量体のうち、マクロ
モノマー類、N位−置換マレイミド類、2−ヒドロキシ
エチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリ
レート、グリセロールモノ(メタ)アクリレートが好ま
しい。また、マクロモノマー類の中では、ポリスチレン
マクロモノマー、ポリメチル(メタ)アクリレートマク
ロモノマーが特に好ましく、N位−置換マレイミド類の
中ではN−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマ
レイミドが特に好ましい。
【0020】本発明における好ましいアルカリ可溶性樹
脂としては、カルボキシル基含有不飽和単量体と共重合
性不飽和単量体との共重合体(以下、単に「カルボキシ
ル基含有共重合体」という。)を挙げることができる。
カルボキシル基含有共重合体としては、(a)カルボキ
シル基含有不飽和単量体と(b)マクロモノマー類、N
位−置換マレイミド類、2−ヒドロキシエチル(メタ)
アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレートおよびグ
リセロールモノ(メタ)アクリレートの群から選ばれる
少なくとも1種とを含有し、(c)場合によりスチレ
ン、メチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アク
リレートおよびフェニル(メタ)アクリレートの群から
選ばれる少なくとも1種をさらに含有する単量体混合物
の共重合体(以下、「カルボキシル基含有共重合体
(I)」という。)が好ましく、特に、(a)(メタ)
アクリル酸を必須成分とし、場合によりこはく酸モノ
〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕をさらに含有
するカルボキシル基含有不飽和単量体成分と、(b)ポ
リスチレンマクロモノマー、ポリメチル(メタ)アクリ
レートマクロモノマー、N−フェニルマレイミド、N−
シクロヘキシルマレイミド、2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレートおよ
びグリセロールモノ(メタ)アクリレートの群から選ば
れる少なくとも1種とを含有し、(c)場合によりスチ
レン、メチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)ア
クリレートおよびフェニル(メタ)アクリレートの群か
ら選ばれる少なくとも1種をさらに含有する単量体混合
物の共重合体(以下、「カルボキシル基含有共重合体
(II)」という。)が好ましい。
【0021】カルボキシル基含有共重合体(II)の具体
例としては、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)ア
クリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/
ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー共重合
体、(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/ベ
ンジル(メタ)アクリレート/スチレン共重合体、(メ
タ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロ
イロキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/スチレン
/アリル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アク
リル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシ
エチル〕/N−フェニルマレイミド/ベンジル(メタ)
アクリレート/スチレン共重合体、(メタ)アクリル酸
/N−シクロヘキシルマレイミド/ベンジル(メタ)ア
クリレート/スチレン共重合体、(メタ)アクリル酸/
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕
/N−シクロヘキシルマレイミド/スチレン/アリル
(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕
/N−シクロヘキシルマレイミド/ベンジル(メタ)ア
クリレート/スチレン共重合体、
【0022】(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)ア
クリレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共
重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メ
タ)アクリロイロキシエチル〕/ベンジル(メタ)アク
リレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重
合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/2−
ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/スチレン共重
合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重
合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート共重
合体(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポ
リスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル
酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベン
ジル(メタ)アクリレート/ポリメチル(メタ)アクリ
レートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/
N−フェニルマレイミド/ベンジル(メタ)アクリレー
ト/グリセロールモノ(メタ)アクリレート/スチレン
共重合体等を挙げることができる。
【0023】カルボキシル基含有共重合体におけるカル
ボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合は、通常、5
〜50重量%、好ましくは10〜40重量%である。こ
の場合、カルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合
が5重量%未満では、得られる感放射線性組成物のアル
カリ現像液に対する溶解性が低下する傾向があり、一方
50重量%を超えると、アルカリ現像液に対する溶解性
が過大となり、アルカリ現像液により現像する際に、形
成されたパターンの基板からの脱落やパターン表面の膜
荒れを来たしやすくなる傾向がある。
【0024】本発明におけるアルカリ可溶性樹脂のゲル
パーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶
媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算
重量平均分子量(以下、「Mw」という。)は、好まし
くは3,000〜300,000、さらに好ましくは
5,000〜100,000である。また、本発明にお
けるアルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマ
トグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラ
ン)で測定したポリスチレン換算数平均分子量(以下、
「Mn」という。)は、好ましくは3,000〜60,
000、さらに好ましくは5,000〜25,000で
ある。このような特定のMwあるいはMnを有するアル
カリ可溶性樹脂を使用することによって、現像性に優れ
た感放射線性組成物が得られ、それによりシャープなパ
ターンエッジを有するパターンを形成することができる
とともに、現像時に未露光部の基板上および遮光層上に
残渣、地汚れ、膜残り等が発生し難くなる。また、本発
明におけるアルカリ可溶性樹脂のMwとMnの比(Mw
/Mn)は、通常、1〜5、好ましくは1〜4である。
本発明において、アルカリ可溶性樹脂は、単独でまたは
2種以上を混合して使用することができる。
【0025】本発明におけるアルカリ可溶性樹脂の使用
量は、(A)着色剤100重量部に対して、通常、10
〜1,000重量部、好ましくは20〜500重量部で
ある。この場合、アルカリ可溶性樹脂の使用量が10重
量部未満では、例えば、アルカリ現像性が低下したり、
未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れや膜残りが
発生するおそれがあり、一方1,000重量部を超える
と、相対的に着色剤濃度が低下するため、薄膜として目
的とする色濃度を達成することが困難となる場合があ
る。
【0026】(C)多官能性単量体 本発明における多官能性単量体は、2個以上の重合性不
飽和結合を有する単量体である。多官能性単量体として
は、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコー
ル等のアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート
類;ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコー
ル等のポリアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレ
ート類;グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタ
エリスリトール、ジペンタエリスリトール等の3価以上
の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類やそれ
らのジカルボン酸変性物;ポリエステル、エポキシ樹
脂、ウレタン樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、ス
ピラン樹脂等のオリゴ(メタ)アクリレート類;両末端
ヒドロキシポリ−1,3−ブタジエン、両末端ヒドロキ
シポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクト
ン等の両末端ヒドロキシル化重合体のジ(メタ)アクリ
レート類や、トリス〔2−(メタ)アクリロイロキシエ
チル〕フォスフェート等を挙げることができる。
【0027】これらの多官能性単量体のうち、3価以上
の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類やそれ
らのジカルボン酸変性物が好ましく、具体的には、トリ
メチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタ
エリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリ
スリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリ
スリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリ
スリトールヘキサ(メタ)アクリレート、下記式(2)
【0028】
【化2】 〔式(2)において、R2 は水素原子またはメチル基を
示す。〕
【0029】で表される化合物等が好ましく、特に、ト
リメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリス
リトールトリアクリレートおよびジペンタエリスリトー
ルヘキサアクリレートが、形成されたパターンの強度お
よび表面平滑性に優れ、かつ未露光部の基板上および遮
光層上に地汚れ、膜残り等を発生し難い点で好ましい。
前記多官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合し
て使用することができる。
【0030】本発明における多官能性単量体の使用量
は、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、
通常、5〜500重量部、好ましくは20〜300重量
部である。この場合、多官能性単量体の使用量が5重量
部未満では、パターンの強度や表面平滑性が低下する傾
向があり、一方500重量部を超えると、例えば、アル
カリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮
光層上に地汚れ、膜残り等が発生しやすくなる傾向があ
る。
【0031】本発明においては、多官能性単量体の一部
を、1個の重合性不飽和結合を有する単官能性単量体で
置き換えることもできる。前記単官能性単量体として
は、例えば、前記(B)アルカリ可溶性樹脂について例
示したカルボキシル基含有不飽和単量体、共重合性不飽
和単量体や、N−ビニルサクシンイミド、N−ビニルピ
ロリドン、N−ビニルフタルイミド、N−ビニル−2−
ピペリドン、N−ビニル−ε−カプロラクタム、N−ビ
ニルピロール、N−ビニルピロリジン、N−ビニルイミ
ダゾール、N−ビニルイミダゾリジン、N−ビニルイン
ドール、N−ビニルインドリン、N−ビニルベンズイミ
ダゾ−ル、N−ビニルカルバゾール、N−ビニルピペリ
ジン、N−ビニルピペラジン、N−ビニルモルホリン、
N−ビニルフェノキサジン等のN−ビニル誘導体類;N
−(メタ)アクリロイルモルホリンのほか、市販品とし
て、M−5300、M−5400、M−5600(商品
名、東亞合成(株)製)等を挙げることができる。これ
らの単官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合し
て使用することができる。単官能性単量体の使用割合
は、多官能性単量体と単官能性単量体の合計に対して、
通常、90重量%以下、好ましくは50重量%以下であ
る。この場合、単官能性単量体の使用割合が90重量%
を超えると、パターンの強度や表面平滑性が低下する傾
向がある。
【0032】(D)光重合開始剤 本発明における光重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠
紫外線、電子線、X線等の露光により、前記(C)多官
能性単量体および場合により使用される単官能性単量体
の重合を開始しうる活性種を発生することができる化合
物である。このような光重合開始剤としては、例えば、
アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、ト
リアジン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノ
ン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合
物、キサントン系化合物、ジアゾ系化合物等を挙げるこ
とができる。本発明において、光重合開始剤は、単独で
または2種以上を混合して使用することができるが、本
発明における光重合開始剤としては、アセトフェノン系
化合物、ビイミダゾール系化合物およびトリアジン系化
合物の群から選ばれる少なくとも1種が好ましい。
【0033】本発明における光重合開始剤の一般的な使
用量は、(C)多官能性単量体と単官能性単量体との合
計100重量部に対して、通常、0.01〜80重量
部、好ましくは1〜60重量部である。この場合、光重
合開始剤の使用量が0.01重量部未満では、露光によ
る硬化が不十分となり、例えば、画素パターンが所定の
配列に従って配置された画素アレイを得ることが困難と
なるおそれがあり、一方80重量部を超えると、形成さ
れたパターンが現像時に基板から脱落しやすくなる傾向
がある。
【0034】本発明における好ましい光重合開始剤のう
ち、アセトフェノン系化合物の具体例としては、2−ヒ
ドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オ
ン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]
−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−
2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)
ブタン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシル・フ
ェニルケトン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニ
ルエタン−1−オン等を挙げることができる。これらの
アセトフェノン系化合物のうち、特に、2−メチル−1
−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプ
ロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ
−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン等
が好ましい。前記アセトフェノン系化合物は、単独でま
たは2種以上を混合して使用することができる。
【0035】本発明において、光重合開始剤としてアセ
トフェノン系化合物を使用する場合の使用量は、(C)
多官能性単量体と単官能性単量体との合計100重量部
に対して、通常、0.01〜80重量部、好ましくは1
〜60重量部、さらに好ましくは1〜30重量部であ
る。この場合、アセトフェノン系化合物の使用量が0.
01重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、
例えば、画素パターンが所定の配列に従って配置された
着色層アレイを得ることが困難となるおそれがあり、一
方80重量部を超えると、形成されたパターンが現像時
に基板から脱落しやすくなる傾向がある。
【0036】また、前記ビイミダゾール系化合物の具体
例としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボ
ニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’
−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−
テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,
2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフ
ェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,
2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2、4−ジク
ロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル
−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2、
4、6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−
テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’
−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−
テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’
−ビス(2、4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2、4、6−トリブロモフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾール、等を挙げることができる。
【0037】これらのビイミダゾール系化合物のうち、
2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,
5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾー
ル、2,2’−ビス(2、4−ジクロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾール、2,2’−ビス(2、4、6−トリクロロ
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾール等が好ましく、特に2,2’
−ビス(2、4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールが好
ましい。前記ビイミダゾール系化合物は、溶剤に対する
溶解性に優れ、未溶解物、析出物等の異物を生じること
がなく、しかも感度が高く、少ないエネルギー量の露光
により硬化反応を十分進行させるとともに、コントラス
トが高く、未露光部で硬化反応が生じることがないた
め、露光後の塗膜は、現像液に対して不溶性の硬化部分
と、現像液に対して高い溶解性を有する未硬化部分とに
明確に区分され、それにより、例えば、アンダーカット
のない画素パターンが所定の配列に従って配置された高
精細な画素アレイを形成することができる。前記ビイミ
ダゾール系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して
使用することができる。
【0038】本発明において、光重合開始剤としてビイ
ミダゾール系化合物を使用する場合の使用量は、(C)
多官能性単量体と単官能性単量体との合計100重量部
に対して、通常、0.01〜40重量部、好ましくは1
〜30重量部、さらに好ましくは1〜20重量部であ
る。この場合、ビイミダゾール系化合物の使用量が0.
01重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、
例えば、画素パターンが所定の配列に従って配置された
画素アレイを得ることが困難となるおそれがあり、一方
40重量部を超えると、現像する際に、形成されたパタ
ーンの基板からの脱落やパターン表面の膜あれを来しや
すくなる傾向がある。
【0039】−水素供与体− 本発明においては、光重合開始剤としてビイミダゾール
系化合物を用いる場合、下記する水素供与体を併用する
ことが、感度をさらに改良することができる点で好まし
い。ここでいう「水素供与体」とは、露光によりビイミ
ダゾール系化合物から発生したラジカルに対して、水素
原子を供与することができる化合物を意味する。本発明
における水素供与体としては、下記で定義するメルカプ
タン系化合物、アミン系化合物(但し、後述する(E)
連鎖移動剤を除く。)等が好ましい。前記メルカプタン
系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該
母核に直接結合したメルカプト基を1個以上、好ましく
は1〜3個、さらに好ましくは1〜2個有する化合物
(以下、「メルカプタン系水素供与体」という。)から
なる。前記アミン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素
環を母核とし、該母核に直接結合したアミノ基を1個以
上、好ましくは1〜3個、さらに好ましくは1〜2個有
する化合物(以下、「アミン系水素供与体」という。)
からなる。なお、これらの水素供与体は、メルカプト基
とアミノ基とを同時に有することもできる。
【0040】以下、これらの水素供与体について、より
具体的に説明する。メルカプタン系水素供与体は、ベン
ゼン環あるいは複素環をそれぞれ1個以上有することが
でき、またベンゼン環と複素環との両者を有することが
でき、これらの環を2個以上有する場合、縮合環を形成
しても形成しなくてもよい。また、メルカプタン系水素
供与体は、メルカプト基を2個以上有する場合、少なく
とも1個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、残り
のメルカプト基の1個以上がアルキル、アラルキルまた
はアリール基で置換されていてもよく、さらには少なく
とも1個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、2個
の硫黄原子がアルキレン基等の2価の有機基を介在して
結合した構造単位、あるいは2個の硫黄原子がジスルフ
ィドの形で結合した構造単位を有することができる。さ
らに、メルカプタン系水素供与体は、メルカプト基以外
の箇所で、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、
置換アルコキシカルボニル基、フェノキシカルボニル
基、置換フェノキシカルボニル基、ニトリル基等によっ
て置換されていてもよい。
【0041】このようなメルカプタン系水素供与体の具
体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−
メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾ
イミダゾール、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チ
アジアゾール、2−メルカプト−2,5−ジメチルアミ
ノピリジン等を挙げることができる。これらのメルカプ
タン系水素供与体のうち、2−メルカプトベンゾチアゾ
ール、2−メルカプトベンゾオキサゾール等が好まし
く、特に2−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。
【0042】次に、アミン系水素供与体は、ベンゼン環
あるいは複素環をそれぞれ1個以上有することができ、
またベンゼン環と複素環との両者を有することができ、
これらの環を2個以上有する場合、縮合環を形成しても
形成しなくてもよい。また、アミン系水素供与体は、ア
ミノ基の1個以上がアルキル基または置換アルキル基で
置換されてもよく、またアミノ基以外の箇所で、カルボ
キシル基、アルコキシカルボニル基、置換アルコキシカ
ルボニル基、フェノキシカルボニル基、置換フェノキシ
カルボニル基、ニトリル基等によって置換されていても
よい。
【0043】このようなアミン系水素供与体の具体例と
しては、4、4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェ
ノン、4、4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノ
ン、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチル
アミノプロピオフェノン、エチル−4−ジメチルアミノ
ベンゾエート、4−ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメ
チルアミノベンゾニトリル等を挙げることができる。こ
れらのアミン系水素供与体のうち、4,4’−ビス(ジ
メチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエ
チルアミノ)ベンゾフェノンが好ましく、特に4,4’
−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。
アミン系水素供与体は、ビイミダゾール系化合物以外の
光重合開始剤の場合においても、増感剤としての作用を
有するものである。
【0044】本発明において、水素供与体は、単独でま
たは2種以上を混合して使用することができるが、1種
以上のメルカプタン系水素供与体と1種以上のアミン系
水素供与体とを組み合わせて使用することが、形成され
た着色層が現像時に基板から脱落し難く、また着色層の
強度および感度も高い点で好ましい。メルカプタン系水
素供与体とアミン系水素供与体との好ましい組み合わせ
の具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール/
4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2
−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエ
チルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオ
キサゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾ
フェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,
4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等を挙げ
ることができ、さらに好ましい組み合わせは、2−メル
カプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルア
ミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾ
ール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノ
ンであり、特に好ましい組み合わせは、2−メルカプト
ベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)
ベンゾフェノンである。メルカプタン系水素供与体とア
ミン系水素供与体との組み合わせにおけるメルカプタン
系水素供与体とアミン系水素供与体との重量比は、通
常、1:1〜1:4、好ましくは1:1〜1:3であ
る。
【0045】本発明において、水素供与体をビイミダゾ
ール系化合物と併用する場合の使用量は、(C)多官能
性単量体と単官能性単量体との合計100重量部に対し
て、好ましくは0.01〜40重量部、さらに好ましく
は1〜30重量部、特に好ましくは1〜20重量部であ
る。この場合、水素供与体の使用量が0.01重量部未
満であると、感度の改良効果が低下する傾向があり、一
方40重量部を超えると、形成されたパターンが現像時
に基板から脱落しやすくなる傾向がある。
【0046】また、前記トリアジン系化合物の具体例と
しては、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s
−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロ
メチル)−s−トリアジン、2−[2−(5−メチルフ
ラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロ
ロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(フラン−2
−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、2−[2−(4−ジエチルアミ
ノ−2−メチルフェニル)エテニル]−4,6−ビス
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−
(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−4,6−
ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4
−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)
−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジ
ン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、下記式(3)
で表される化合物(以下、「トリアジン系化合物
(3)」という。)
【0047】
【化3】
【0048】、下記式(4)で表される化合物(以下、
「トリアジン系化合物(4)」という。)
【0049】
【化4】
【0050】等のハロメチル基を有するトリアジン系化
合物を挙げることができる。これらのトリアジン系化合
物のうち、2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)
エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−
トリアジン、トリアジン系化合物(3)、トリアジン系
化合物(4)等が好ましい。前記トリアジン系化合物
は、単独でまたは2種以上を混合して使用することがで
きる。
【0051】本発明において、光重合開始剤としてトリ
アジン系化合物を使用する場合の使用量は、(C)多官
能性単量体と単官能性単量体との合計100重量部に対
して、通常、0.01〜40重量部、好ましくは1〜3
0重量部、さらに好ましくは1〜20重量部である。こ
の場合、トリアジン系化合物の使用量が0.01重量部
未満であると、露光による硬化が不十分となり、例え
ば、画素パターンが所定の配列に従って配置された画素
アレイを得ることが困難となるおそれがあり、一方40
重量部を超えると、形成されたパターンが現像時に基板
から脱落しやすくなる傾向がある。
【0052】(E)連鎖移動剤 本発明のカラー液晶表示装置用感放射線性組成物は、前
記(A)〜(D)成分を必須成分とするが、さらに連鎖
移動剤を含有することが好ましい。前記連鎖移動剤は、
(C)多官能性単量体や場合により使用される単官能性
単量体の露光による重合時に、連鎖移動反応を生起しう
る化合物である。
【0053】連鎖移動剤としては、例えば、アセトアル
デヒド、アセトン、酢酸エチル等のカルボニル化合物あ
るいはカルボン酸エステル類;トルエン、エチルベンゼ
ン、t−ブチルベンセン、トリフェニルメタン、2,4
−ジフェニル−4−メチル−1−ペンテン等の芳香族炭
化水素類;p−ベンゾキノン、ヒドロキノン等のキノン
類;クロロホルム、四塩化炭素、四臭化炭素、ブロモト
リクロロメタン等のハロゲン化炭化水素類;
【0054】ニトロメタン、トリニトロメタン、1,
1,1−トリニトロエタン等のニトロ化合物;p−メト
キシフェノール、2,3,4,6―テトラメチルフェノ
ール等のフェノール類;トリエチルアミン、トリ−n−
プロピルアミン、トリ−n−ブチルアミン、N,N−ジ
メチルアニリン、N,N−ジビニルアニリン等のアミノ
化合物;n―ブチルメルカプタン、n―ペンチルメルカ
プタン、n―ドデシルメルカプタン、t―ドデシルメル
カプタン等のメルカプタン類等を挙げることができる。
【0055】これらの連鎖移動剤のうち、2,4−ジフ
ェニル−4−メチル−1−ペンテン、p−メトキシフェ
ノール、t―ドデシルメルカプタン等が好ましい。前記
連鎖移動剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用す
ることができる。
【0056】本発明において、連鎖移動剤を使用する場
合の使用量は、(C)多官能性単量体と単官能性単量体
との合計100重量部に対して、好ましくは0.01〜
20重量部、さらに好ましくは0.1〜15重量部、特
に好ましくは0.1〜10重量部である。この場合、連
鎖移動剤の使用量が0.01重量部未満であると、感放
射線性組成物の組成によっては、露光による硬化が不十
分となり、パターンが現像液によってえぐられやすくな
って、パターン形状が悪くなるおそれがあり、一方20
重量部を超えると、形成されたパターンが現像時に基板
から脱落しやすくなる傾向がある。
【0057】添加剤 本発明のカラー液晶表示装置用感放射線性組成物は、必
要に応じて種々の添加剤を含有することができる。前記
添加剤としては、感放射線性組成物のアルカリ現像液に
対する溶解特性をより改善し、かつ現像後の未溶解物の
残存をより抑制する作用等を示す、有機酸、有機アミノ
化合物(但し、前記水素供与体および(E)連鎖移動剤
を除く。)等を挙げることができる。
【0058】−有機酸− 前記有機酸としては、分子中に1個以上のカルボキシル
基を有する、脂肪族カルボン酸あるいはフェニル基含有
カルボン酸が好ましい。前記脂肪族カルボン酸の例とし
ては、ぎ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバ
ル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリ
ル酸等の脂肪族モノカルボン酸類;しゅう酸、マロン
酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、
スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、
メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、
メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサ
ンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン
酸、フマル酸、メサコン酸等の脂肪族ジカルボン酸類;
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂
肪族トリカルボン酸類等を挙げることができる。
【0059】また、前記フェニル基含有カルボン酸とし
ては、例えば、カルボキシル基が直接フェニル基に結合
した化合物や、カルボキシル基が炭素鎖を介してフェニ
ル基に結合した化合物等を挙げることができる。フェニ
ル基含有カルボン酸の例としては、安息香酸、トルイル
酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モ
ノカルボン酸類;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル
酸等の芳香族ジカルボン酸類;トリメリット酸、トリメ
シン酸、メロファン酸、ピロメリット酸等の3価以上の
芳香族ポリカルボン酸類や、フェニル酢酸、ヒドロアト
ロパ酸、ヒドロけい皮酸、マンデル酸、フェニルこはく
酸、アトロパ酸、けい皮酸、シンナミリデン酸、クマル
酸、ウンベル酸等を挙げることができる。
【0060】これらの有機酸のうち、アルカリ溶解性、
後述する溶媒に対する溶解性、未露光部の基板上あるい
は遮光層上における地汚れや膜残りの防止等の観点か
ら、脂肪族カルボン酸としては、脂肪族ジカルボン酸類
が好ましく、特に、マロン酸、アジピン酸、イタコン
酸、シトラコン酸、フマル酸、メサコン酸等が好まし
く、またフェニル基含有カルボン酸としては、芳香族ジ
カルボン酸類が好ましく、特にフタル酸が好ましい。前
記有機酸は、単独でまたは2種以上を混合して使用する
ことができる。有機酸の使用量は、感放射線性組成物全
体に対して、通常、15重量%以下、好ましくは10重
量%以下である。この場合、有機酸の使用量が15重量
%を超えると、形成されたパターンの基板に対する密着
性が低下する傾向がある。
【0061】−有機アミノ化合物− また、前記有機アミノ化合物としては、分子中に1個以
上のアミノ基を有する、脂肪族アミンあるいはフェニル
基含有アミンが好ましい。前記脂肪族アミンの例として
は、n−プロピルアミン、i−プロピルアミン、n−ブ
チルアミン、i−ブチルアミン、sec−ブチルアミ
ン、t−ブチルアミン、n−ペンチルアミン、n−ヘキ
シルアミン、n−へプチルアミン、n−オクチルアミ
ン、n−ノニルアミン、n−デシルアミン、n−ウンデ
シルアミン、n−ドデシルアミン、シクロヘキシルアミ
ン、o−メチルシクロヘキシルアミン、m−メチルシク
ロヘキシルアミン、p−メチルシクロヘキシルアミン、
o−エチルシクロヘキシルアミン、m−エチルシクロヘ
キシルアミン、p−エチルシクロヘキシルアミン等のモ
ノ(シクロ)アルキルアミン類;メチルエチルアミン、
ジエチルアミン、メチルn−プロピルアミン、エチルn
−プロピルアミン、ジ−n−プロピルアミン、ジ−i−
プロピルアミン、ジ−n−ブチルアミン、ジ−i−ブチ
ルアミン、ジ−sec−ブチルアミン、ジ−t−ブチル
アミン、ジ−n−ペンチルアミン、ジ−n−ヘキシルア
ミン、メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキ
シルアミン、ジシクロヘキシルアミン等のジ(シクロ)
アルキルアミン類;
【0062】ジメチルエチルアミン、メチルジエチルア
ミン、トリエチルアミン、ジメチルn−プロピルアミ
ン、ジエチルn−プロピルアミン、メチルジ−n−プロ
ピルアミン、エチルジ−n−プロピルアミン、トリ−n
−プロピルアミン、トリ−i−プロピルアミン、トリ−
n−ブチルアミン、トリ−i−ブチルアミン、トリ−s
ec−ブチルアミン、トリ−t−ブチルアミン、トリ−
n−ペンチルアミン、トリ−n−ヘキシルアミン、ジメ
チルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシルア
ミン、メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシクロ
ヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミン等のトリ
(シクロ)アルキルアミン類;2−アミノエタノール、
3−アミノ−1−プロパノール、1−アミノ−2−プロ
パノール、4−アミノ−1−ブタノール、5−アミノ−
1−ペンタノール、6−アミノ−1−ヘキサノール、4
−アミノ−1−シクロヘキサノール等のモノ(シクロ)
アルカノールアミン類;ジエタノールアミン、ジ−n−
プロパノールアミン、ジ−i−プロパノールアミン、ジ
−n−ブタノールアミン、ジ−i−ブタノールアミン、
ジ−n−ペンタノールアミン、ジ−n−ヘキサノールア
ミン、ジ(4−シクロヘキサノール)アミン等のジ(シ
クロ)アルカノールアミン類;
【0063】トリエタノールアミン、トリ−n−プロパ
ノールアミン、トリ−i−プロパノールアミン、トリ−
n−ブタノールアミン、トリ−i−ブタノールアミン、
トリ−n−ペンタノールアミン、トリ−n−ヘキサノー
ルアミン、トリ(4−シクロヘキサノール)アミン等の
トリ(シクロ)アルカノールアミン類;3−アミノ−
1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1,3−プロ
パンジオール、4−アミノ−1,2−ブタンジオール、
4−アミノ−1,3−ブタンジオール、4−アミノ−
1,2−シクロヘキサンジオール、4−アミノ−1,3
−シクロヘキサンジオール、3−ジメチルアミノ−1,
2−プロパンジオール、3−ジエチルアミノ−1,2−
プロパンジオール、2−ジメチルアミノ−1,3−プロ
パンジオール、2−ジエチルアミノ−1,3−プロパン
ジオール等のアミノ(シクロ)アルカンジオール類;
【0064】1−アミノシクロペンタンメタノール、4
−アミノシクロペンタンメタノール、1−アミノシクロ
ヘキサンメタノール、4−アミノシクロヘキサンメタノ
ール、4−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、
4−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジ
メチルアミノシクロヘキサンメタノール、4−ジエチル
アミノシクロヘキサンメタノール等のアミノ基含有シク
ロアルカンメタノール類;β−アラニン、2−アミノ酪
酸、3−アミノ酪酸、4−アミノ酪酸、2−アミノイソ
酪酸、3−アミノイソ酪酸、2−アミノ吉草酸、5−ア
ミノ吉草酸、6−アミノカプロン酸、1−アミノシクロ
プロパンカルボン酸、1−アミノシクロヘキサンカルボ
ン酸、4−アミノシクロヘキサンカルボン酸等のアミノ
カルボン酸類等を挙げることができる。
【0065】また、フェニル基含有アミンとしては、例
えば、アミノ基が直接フェニル基に結合した化合物、ア
ミノ基が炭素鎖を介してフェニル基に結合した化合物等
を挙げることができる。フェニル基含有アミンの例とし
ては、アニリン、o−メチルアニリン、m−メチルアニ
リン、p−メチルアニリン、p―エチルアニリン、p−
n−プロピルアニリン、p−i−プロピルアニリン、p
−n−ブチルアニリン、p−t−ブチルアニリン、1−
ナフチルアミン、2−ナフチルアミン、N,N−ジメチ
ルアニリン、N,N−ジエチルアニリン、p−メチル−
N,N−ジメチルアニリン等の芳香族アミン類;o−ア
ミノベンジルアルコール、m−アミノベンジルアルコー
ル、p−アミノベンジルアルコール、p−ジメチルアミ
ノベンジルアルコール、p−ジエチルアミノベンジルア
ルコール等のアミノベンジルアルコール類;o−アミノ
フェノール、m―アミノフェノール、p―アミノフェノ
ール、p−ジメチルアミノフェノール、p−ジエチルア
ミノフェノール等のアミノフェノール類;m−アミノ安
息香酸、p―アミノ安息香酸、p−ジメチルアミノ安息
香酸、p−ジエチルアミノ安息香酸等のアミノ安息香酸
(誘導体)類等を挙げることができる。
【0066】これらの有機アミノ化合物のうち、後述す
る溶媒に対する溶解性、未露光部の基板上あるいは遮光
層上における地汚れや膜残りの防止等の観点から、脂肪
族アミンとしては、モノ(シクロ)アルカノールアミン
類およびアミノ(シクロ)アルカンジオール類が好まし
く、特に、2−アミノエタノール、3−アミノ−1−プ
ロパノール、5−アミノ−1−ペンタノール、3−アミ
ノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1、3−
プロパンジオール、4−アミノ−1、2−ブタンジオー
ル等が好ましく、またフェニル基含有アミンとしては、
アミノフェノール類が好ましく、特にo−アミノフェノ
ール、m−アミノフェノール、p−アミノフェノール等
が好ましい。前記有機アミノ化合物は、単独でまたは2
種以上混合して使用することができる。有機アミノ化合
物の使用量は、感放射線性組成物全体に対して、通常、
15重量%以下、好ましくは10重量%以下である。こ
の場合、有機アミノ化合物の使用量が15重量%を超え
ると、形成されたパターンの基板との密着性が低下する
傾向がある。
【0067】また、前記以外の添加剤としては、例え
ば、銅フタロシアニン誘導体等の青色顔料誘導体や黄色
顔料誘導体等の分散助剤;ガラス、アルミナ等の充填
剤;ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコールモ
ノアルキルエーテル類、ポリ(フロロアルキルアクリレ
ート)類等の高分子化合物;ノニオン系、カチオン系、
アニオン系等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラ
ン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メ
トキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−
3−アミノプロピル・メチル・ジメトキシシラン、N−
(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキ
シシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3
−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリ
シドキシプロピル・メチル・ジメトキシシラン、2−
(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキ
シシラン、3−クロロプロピル・メチル・ジメトキシシ
ラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メ
タクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカ
プトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,
2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノー
ル)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止
剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキ
シフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコ
キシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤;ポリアクリル
酸ナトリウム等の凝集防止剤;1,1’−アゾビス(シ
クロヘキサン−1−カルボニトリル)、2−フェニルア
ゾ−4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル等
の熱ラジカル発生剤等を挙げることができる。
【0068】溶媒 本発明のカラー液晶表示装置用感放射線性組成物は、好
ましくは溶媒を配合して液状組成物として調製される。
前記溶媒としては、感放射線性組成物を構成する(A)
〜(E)成分や添加剤成分を分散または溶解し、かつこ
れらの成分と反応せず、適度の揮発性を有するものであ
る限り、適宜に選択して使用することができる。このよ
うな溶媒の具体例としては、エチレングリコールモノメ
チルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテ
ル、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、
エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジエチ
レングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコ
ールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−
n−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n
−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチル
エーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテ
ル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピ
レングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコ
ールモノ−n−プロピルエーテル、プロピレングリコー
ルモノ−n−ブチルエーテル、ジプロピレングリコール
モノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチ
ルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−プロピ
ルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−ブチル
エーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテ
ル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の
(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル
類;
【0069】エチレングリコールモノメチルエーテルア
セテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセ
テート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセ
テート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセ
テート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセ
テート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセ
テート等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキル
エーテルアセテート類;ジエチレングリコールジメチル
エーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテ
ル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒ
ドロフラン等の他のエーテル類;メチルエチルケトン、
シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等
のケトン類;2−ヒドロキシプロピオン酸メチル、2−
ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステ
ル類;2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチ
ル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプ
ロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、
3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチ
ル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチ
ルブタン酸メチル、3−メチル−3−メトキシブチルア
セテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネ
ート、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸i−プロピ
ル、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−ペンチ
ル、酢酸i−ペンチル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸
エチル、酪酸n−プロピル、酪酸i−プロピル、酪酸n
−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピル
ビン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エ
チル、2−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類;
トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;N−メチル
ピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−
ジメチルアセトアミド等のアミド類等を挙げることがで
きる。
【0070】これらの溶媒のうち、溶解性、顔料分散
性、塗布性等の観点から、プロピレングリコールモノメ
チルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル
アセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル
アセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル
アセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、
ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘ
キサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、2−ヒド
ロキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸
エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキ
シプロピオン酸エチル、3−メチル−3−メトキシブチ
ルプロピオネート、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、
ぎ酸n−ペンチル、酢酸i−ペンチル、プロピオン酸n
−ブチル、酪酸エチル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブ
チル、ピルビン酸エチル等が好ましい。前記溶媒は、単
独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0071】さらに、前記溶媒と共に、ベンジルエチル
エーテル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、
イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノー
ル、1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジ
ル、安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マレイン酸ジ
エチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロ
ピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセ
テート等の高沸点溶媒を併用することもできる。前記高
沸点溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用する
ことができる。溶媒の使用量は、特に限定されるもので
はないが、得られる感放射線性組成物の塗布性、安定性
等の観点から、当該組成物の溶媒を除いた各成分の合計
濃度が、好ましくは、5〜50重量%、特に好ましくは
10〜40重量%となる量が望ましい。
【0072】パターンの形成方法 次に、本発明のカラー液晶表示装置用感放射線性組成物
を用いて、画素、ブラックマトリックスあるいはスペー
サーからなるカラー液晶表示装置用部材を形成する方法
について説明する。画素を形成する際には、まず、基板
の表面上に、必要に応じて、画素を形成する部分を区画
するように遮光層を形成し、この基板上に、例えば赤色
の顔料が分散された感放射線性組成物の液状組成物を塗
布したのち、プレベークを行って溶剤を蒸発させ、塗膜
を形成する。次いで、この塗膜にフォトマスクを介して
放射線を露光して、露光部を硬化させたのち、アルカリ
現像液を用いて現像して、塗膜の未露光部を溶解除去
し、その後ポストベークすることにより、赤色の画素パ
ターンが所定の配列で配置された画素アレイを形成す
る。その後、緑色または青色の顔料が分散された各感放
射線性組成物の液状組成物を用い、前記と同様にして、
各液状組成物の塗布、プレベーク、露光および現像を行
い、その後ポストベークを行って、緑色の画素アレイお
よび青色の画素アレイを同一基板上に順次形成すること
により、赤色、緑色および青色の三原色の画素アレイが
基板上に配置されたカラーフィルタを得る。但し、カラ
ーフィルタを製造する際の各色の画素の形成順は上記に
限定されるものではない。また、ブラックマトリックス
およびスペーサーも、前記画素の場合と同様にして形成
することができる。
【0073】カラー液晶表示装置用部材を形成する際に
使用される基板としては、例えば、ガラス、シリコン、
ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、
ポリアミドイミド、ポリイミド等を挙げることができ
る。これらの基板には、所望により、シランカップリン
グ剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーテ
ィング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適
宜の前処理を施しておくこともできる。感放射線性組成
物の液状組成物を基板に塗布する際には、回転塗布、流
延塗布、ロール塗布等の適宜の塗布法を採用することが
できる。塗布厚さは、乾燥後の膜厚として、好ましく
は、0.1〜10μm、より好ましくは0.2〜5.0
μm、特に好ましくは0.2〜3.0μmである。着色
層を形成する際に使用される放射線としては、例えば、
可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用す
ることができるが、波長が190〜450nmの範囲に
ある放射線が好ましい。放射線の露光量は、好ましくは
10〜10,000J/m2 である。
【0074】また、前記アルカリ現像液としては、例え
ば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウ
ム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、ジメチル
エタノールアミン、コリン、1,8−ジアザビシクロ−
[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシ
クロ−[4.3.0]−5−ノネン等の水溶液が好まし
い。前記アルカリ現像液には、例えばメタノール、エタ
ノール等の水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適量添加す
ることもできる。なお、アルカリ現像後は、通常、水洗
する。現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー
現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現
像法等を適用することができる。現像条件は、常温で5
〜300秒が好ましい。このようにして形成された部材
を備えたカラー液晶表示装置は、透過型あるいは反射型
であることができ、また本発明のカラー液晶表示装置用
感放射線性組成物は、薄膜トランジスター(TFT)方
式のカラー撮像管素子やカラーセンサー等にも有用であ
る。
【0075】本発明において、カラー液晶表示装置用感
放射線性組成物から形成されたパターンの断面形状の浸
食率は、画素の場合、30%以下、好ましくは−5〜1
0%、さらに好ましくは−5〜5%、特に好ましくは−
5〜0%であり、ブラックマトリックスの場合、30%
以下、好ましくは−5〜20%、特に好ましくは−5〜
15%であり、スペーサーの場合、30%以下、好まし
くは−30〜20%、特に好ましくは−30〜15%で
ある。本発明においては、パターンの断面形状の浸食率
が前記範囲内であることより、塗膜の上部から底部まで
の全領域において放射線の有効強度を十分なレベルに保
つことができて、形成されたパターンが該全領域におい
て高い硬度を有し、優れた形状のパターンを形成するこ
とができる。
【0076】
【発明の実施の形態】本発明における好ましいカラー液
晶表示装置用感放射線性組成物をより具体的に例示する
と、下記(イ)〜(ト)のとおりである。 (イ) (B)アルカリ可溶性樹脂がカルボキシル基含
有共重合体(I)を含む前記(イ)のカラー液晶表示装
置用感放射線性組成物。 (ロ) カルボキシル基含有共重合体(I)がカルボキ
シル基含有共重合体(II)である前記(ロ)のカラー液
晶表示装置用感放射線性組成物。 (ハ) (B)多官能性単量体がトリメチロールプロパ
ントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリ
レートおよびジペンタエリスリトールヘキサアクリレー
トの群から選ばれる少なくとも1種を含む前記(イ)ま
たは(ロ)のカラー液晶表示装置用感放射線性組成物。 (ニ) (D)光重合開始剤がアセトフェノン系化合
物、ビイミダゾール系化合物およびトリアジン系化合物
の群から選ばれる少なくとも1種を含むことを特徴とす
る前記(イ)、(ロ)または(ハ)のカラー液晶表示装
置用感放射線性組成物。 (ホ) (D)光重合開始剤がビイミダゾール系化合物
および水素供与体を含む前記(イ)、(ロ)または
(ハ)のカラー液晶表示装置用感放射線性組成物。 (ヘ) (D)光重合開始剤がさらにアセトフェノン系
化合物およびトリアジン系化合物の群から選ばれる少な
くとも1種を含むことを特徴とする前記(ホ)のカラー
液晶表示装置用感放射線性組成物。 (ト) (A)着色剤が有機顔料および/またはカーボ
ンブラックを含む前記(イ)、(ロ)、(ハ)、
(ニ)、(ホ)または(ヘ)のカラー液晶表示装置用感
放射線性組成物。
【0077】また、本発明の好ましい画素は、 (チ) 前記(イ)、(ロ)、(ハ)、(ニ)、
(ホ)、(ヘ)または(ト)のカラー液晶表示装置用感
放射線性組成物から形成された画素からなる。また、本
発明の好ましいブラックマトリックスは、 (リ) 前記(イ)、(ロ)、(ハ)、(ニ)、
(ホ)、(ヘ)または(ト)のカラー液晶表示装置用感
放射線性組成物から形成されたブラックマトリックスか
らなる。また、本発明の好ましいスペーサーは、 (ヌ) 前記(イ)、(ロ)、(ハ)、(ニ)、
(ホ)、(ヘ)または(ト)のカラー液晶表示装置用感
放射線性組成物から形成されたスペーサーからなる。さ
らに、本発明の好ましいカラー液晶表示装置は、 (ル) 前記(チ)の画素、(リ)のブラックマトリッ
クスあるいは(ヌ)のスペーサーからなるカラー液晶表
示装置用部材の少なくとも1つを備えてなるカラー液晶
表示装置からなる。
【0078】以下、実施例を挙げて本発明の実施の形態
をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、下記実施
例に限定されるものではない。
【実施例】実施例1 (A)着色剤としてC.I.ピグメントレッド177とC.I.
ピグメントレッド224との65/35(重量比)混合
物100重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタ
クリル酸/N−フェニルマレイミド/ベンジルメタクリ
レート/グリセロールモノメタクリレート/スチレン共
重合体(共重合重量比=15/25/35/10/1
5、Mw=30,000、Mn=10,000)70重
量部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリト
ールヘキサアクリレート80重量部、(D)光重合開始
剤として2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4
−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オンを50重量
部、(E)連鎖移動剤としてp−メトキシフェノール
0.1重量部、および溶媒としてプロピレングリコール
モノメチルエーテルアセテート1,000重量部を混合
して、感放射線性組成物の液状組成物(R1)を調製し
た。
【0079】〈画素アレイの形成および評価〉液状組成
物(G1)を、表面にナトリウムイオンの溶出を防止す
るSiO2 膜が形成されたソーダガラス基板表面上に、
スピンコーターを用いて塗布したのち、90℃のクリー
ンオーブン内で10分間プレベークを行って、膜厚1.
7μmの塗膜を形成した。次いで、この基板を室温に冷
却したのち、高圧水銀ランプを用い、フォトマスクを介
して、塗膜に365nm、405nmおよび436nm
の各波長を含む紫外線を2,000J/m2 の露光量で
露光した。その後、この基板を23℃の0.1重量%テ
トラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に1分間浸
漬して現像したのち、超純水で洗浄し、風乾した。その
後、220℃のクリーンオーブン内で25分間ポストベ
ークを行なって、基板上に赤色のストライプ状画素パタ
ーンが配列された画素アレイを形成した。得られた画素
パターンの断面形状を走査線型電子顕微鏡を用いて観察
して、下記の方法で浸食率を測定したところ、−3%で
あった。また、得られた画素アレイを走査線型電子顕微
鏡を用いて観察したところ、画素パターンの側面形状は
良好であった。 浸食率の測定方法;図1に示す画素パターンにおいて、
上端の幅をa、パターンの高さ(L)の下からL/2の
位置での幅をbとするとき、下記式で定義される浸食率
を測定した。 浸食率(%)=(a−b)×100/a
【0080】実施例2 (A)着色剤としてC.I.ピグメントレッド177とC.I.
ピグメントレッド224との65/35(重量比)混合
物100重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタ
クリル酸/N−フェニルマレイミド/ベンジルメタクリ
レート/グリセロールモノメタクリレート/スチレン共
重合体(共重合重量比=15/25/35/10/1
5、Mw=30,000、Mn=10,000)70重
量部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリト
ールヘキサアクリレート80重量部、(D)光重合開始
剤として2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニ
ル〕−2−モルホリノプロパン−1−オンを20重量部
と増感剤として4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベン
ゾフェノン15重量部、(E)連鎖移動剤として2,4
−ジフェニル−4−メチル−1−ペンテン7重量部、お
よび溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテ
ルアセテート1,000重量部を混合して、感放射線性
組成物の液状組成物(R2)を調製した。 〈画素アレイの形成および評価〉液状組成物(R1)の
代わりに、液状組成物(R2)を用いた以外は、実施例
1と同様にして、基板上に赤色のストライプ状画素パタ
ーンが配列された画素アレイを形成して、評価を行っ
た。その結果、画素パターンの断面形状の浸食率は−2
%であり、画素パターンの側面形状は良好であった。
【0081】実施例3 (A)着色剤としてC.I.ピグメントブルー15:6とC.
I.ピグメントバイオレット23との95/5(重量比)
混合物55重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメ
タクリル酸/2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ベ
ンジルメタクリレート共重合体(共重合重量比=15/
15/70、Mw=25,000、Mn=10,00
0)75重量部、(C)多官能性単量体としてジペンタ
エリスリトールヘキサアクリレート75重量部、(D)
光重合開始剤として2,2’−ビス(2−クロロフェニ
ル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’
−ビイミダゾール6重量部とアミン系水素供与体として
4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノ6重量
部とメルカプタン系水素供与体として2−メルカプトベ
ンゾチアゾール3重量部、(E)連鎖移動剤としてp−
メトキシフェノール0.1重量部、および溶媒としてプ
ロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート70
0重量部とシクロヘキサノン300重量部を混合して、
感放射線性組成物の液状組成物(B1)を調製した。 〈画素アレイの形成および評価〉液状組成物(R1)の
代わりに、液状組成物(B1)を用いた以外は、実施例
1と同様にして、基板上に青色のストライプ状画素パタ
ーンが配列された画素アレイを形成して、評価を行っ
た。その結果、画素パターンの断面形状の浸食率は−1
%であり、画素パターンの側面形状は良好であった。
【0082】実施例4 (A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン36とC.I.
ピグメントイエロー150との65/35(重量比)混
合物100重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメ
タクリル酸/2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ベ
ンジルメタクリレート共重合体(共重合重量比=15/
15/70、Mw=25,000、Mn=10,00
0)75重量部、(C)多官能性単量体としてジペンタ
エリスリトールヘキサアクリレート75重量部、(D)
光重合開始剤としてトリアジン系化合物(3)10重量
部、(E)連鎖移動剤としてt−ドデシルメルカプタン
1重量部、および溶媒としてプロピレングリコールモノ
メチルエーテルアセテート700重量部とシクロヘキサ
ノン300重量部を混合して、感放射線性組成物の液状
組成物(G1)を調製した。 〈画素アレイの形成および評価〉液状組成物(R1)の
代わりに、液状組成物(G1)を用いた以外は、実施例
1と同様にして、基板上に緑色のストライプ状画素パタ
ーンが配列された画素アレイを形成して、評価を行っ
た。その結果、画素パターンの断面形状の浸食率は−2
%であり、画素パターンの側面形状は良好であった。
【0083】実施例5 (A)着色剤としてカーボンブラック100重量部と硫
酸バリウム30重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂とし
てメタクリル酸/2−ヒドロキシエチルメタクリレート
/ベンジルメタクリレート/ポリスチレンマクロモノマ
ー共重合体(共重合重量比:15/15/60/10、
Mw=25,000、Mn=10,000)50重量
部、(C)多官能性モノマーとしてジペンタエリスリト
ールヘキサアクリレート40重量部、(D)光重合開始
剤として2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニル
フェニル)−1,2’−ビイミダゾール10重量部と
4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン10
重量部と2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4
−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン20重量部、
(E)連鎖移動剤としてp−メトキシフェノール0.1
重量部、および溶媒として3−エトキシプロピオン酸エ
チル1500重量部を混合して、感放射線性組成物の液
状組成物(BK1)を調製した。 〈画素アレイの形成および評価〉液状組成物(R1)の
代わりに、液状組成物(BK1)を用いた以外は、実施
例1と同様にして、基板上に黒色のストライプ状パター
ンが配列されたパターンアレイを形成して、評価を行っ
た。その結果、パターンの断面形状の浸食率は−1%で
あり、パターンの側面形状は良好であった。
【0084】実施例6 (A)着色剤としてC.I.ピグメントレッド177を14
0重量部とC.I.ピグメントブルー15:4を60重量部
と硫酸バリウム30重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂
としてメタクリル酸/2−ヒドロキシエチルメタクリレ
ート/ベンジルメタクリレート/ポリスチレンマクロモ
ノマー共重合体(共重合重量比:15/15/60/1
0、Mw=25,000、Mn=10,000)50重
量部、(C)多官能性モノマーとしてジペンタエリスリ
ト0ルヘキサアクリレート40重量部、(D)光重合開
始剤として2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボ
ニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール10重量部
と4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン1
0重量部と2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−
(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン20重量
部、(E)連鎖移動剤としてα−スチレンダイマー3重
量部、および溶媒として3−エトキシプロピオン酸エチ
ル1500重量部を混合して、感放射線性組成物の液状
組成物(BK2)を調製した。 〈画素アレイの形成および評価〉液状組成物(R1)の
代わりに、液状組成物(BK2)を用いた以外は、実施
例1と同様にして、基板上に黒色のストライプ状パター
ンが配列されたパターンアレイを形成して、評価を行っ
た。その結果、パターンの断面形状の浸食率は−3%で
あり、パターンの側面形状は良好であった。
【0085】
【発明の効果】本発明のカラー液晶表示装置用感放射線
性組成物は、塗膜の上部から底部までの全領域において
放射線の有効強度を十分なレベルに保つことができて、
形成されたパターンが該全領域において高い硬度を有
し、側面形状に優れたパターンを形成することができ、
例えば、ITO電極を形成する際にITO電極の断線を
起こすおそれがなく、また配向膜のラビング時にスペー
サーパターンの欠けを生じて異物が発生することがない
ため、高品質の液晶表示素子を高い歩留りで製造するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】パターンの浸食率の測定方法を説明する図であ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C08K 5/00 C08K 5/00 C08L 101/12 C08L 101/12 G02B 5/00 G02B 5/00 B 5/20 101 5/20 101 G03F 7/033 G03F 7/033 Fターム(参考) 2H025 AA03 AA13 AB13 AC01 AD01 BC13 BC42 BJ01 CA00 CB14 CB42 CB43 CC11 CC20 FA14 2H042 AA09 AA15 AA26 2H048 BA11 BA48 BB08 BB42 4J002 AA051 BC121 BG011 BG022 BG072 BQ001 DA036 DE126 DE136 DE236 DG046 EE037 EE047 EE057 EU117 FD096 FD147 4J011 AA05 AC04 NA12 NA13 NA18 NA23 NA25 PA69 PA70 PB38 QA13 QA22 QA23 QA24 QB12 QB14 QB16 QB19 QB23 QB24 SA01 SA05 SA15 SA16 SA21 SA31 SA63

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹
    脂、(C)多官能性単量体および(D)光重合開始剤を
    含有する感放射線性組成物であって、該感放射線性組成
    物から形成されたパターンの断面形状の浸食率が30%
    以下であることを特徴とするカラー液晶表示装置用感放
    射線性組成物。
  2. 【請求項2】 (A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹
    脂、(C)多官能性単量体、(D)光重合開始剤および
    (E)連鎖移動剤を含有することを特徴とするカラー液
    晶表示装置用感放射線性組成物。
  3. 【請求項3】 画素の形成に用いられることを特徴とす
    る請求項1または請求項2に記載のカラー液晶表示装置
    用感放射線性組成物。
  4. 【請求項4】 請求項3に記載のカラー液晶表示装置用
    感放射線性組成物から形成されてなる画素。
  5. 【請求項5】 ブラックマトリックスの形成に用いられ
    ることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のカ
    ラー液晶表示装置用感放射線性組成物。
  6. 【請求項6】 請求項5に記載のカラー液晶表示装置用
    感放射線性組成物から形成されてなるブラックマトリッ
    クス。
  7. 【請求項7】 スペーサーの形成に用いられることを特
    徴とする請求項1または請求項2に記載のカラー液晶表
    示装置用感放射線性組成物。
  8. 【請求項8】 請求項7に記載のカラー液晶表示装置用
    感放射線性組成物から形成されてなるスペーサー。
  9. 【請求項9】 請求項4に記載の画素、請求項6に記載
    のブラックマトリックスあるいは請求項8に記載のスペ
    ーサーからなるカラー液晶表示装置用部材の少なくとも
    1つを備えてなるカラー液晶表示装置用感放射線性組成
    物。
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