JP2001264530A - カラーフィルタ用感放射線性組成物およびカラーフィルタ - Google Patents

カラーフィルタ用感放射線性組成物およびカラーフィルタ

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JP2001264530A
JP2001264530A JP2000079637A JP2000079637A JP2001264530A JP 2001264530 A JP2001264530 A JP 2001264530A JP 2000079637 A JP2000079637 A JP 2000079637A JP 2000079637 A JP2000079637 A JP 2000079637A JP 2001264530 A JP2001264530 A JP 2001264530A
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carbon atoms
substituted
phenyl
alkyl
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JP2000079637A
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Takeshi Watanabe
毅 渡邉
Koichiro Yoshida
光一郎 吉田
Hideyuki Kamii
英行 神井
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Original Assignee
JSR Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 現像時に未溶解物が残存したり、パターンの
エッジにスカムを生じたりすることがなく、かつパター
ンにアンダーカットを生じることがなく、しかも表面平
滑性に優れた画素およびブラックマトリックスを与える
新規なカラーフィルタ用感放射線性組成物、並びに該カ
ラーフィルタ用感放射線性組成物から形成された画素お
よび/またはブラックマトリックスを有するカラーフィ
ルタを提供する。 【解決手段】 (A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹
脂、(C)多官能性単量体および(D)下記式(1)で
表される化合物に代表される光ラジカル発生剤を含有す
ることを特徴とするカラーフィルタ用感放射線性組成
物。 【化1】 カラーフィルタは、当該カラーフィルタ用感放射線性組
成物から形成された素および/またはブラックマトリ
ックスを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルタ用
感放射線性組成物に関わり、より詳しくは、透過型ある
いは反射型のカラー液晶表示装置、カラー撮像管素子等
に用いられるカラーフィルタの製造に有用なカラーフィ
ルタ用感放射線性組成物、並びに該カラーフィルタ用感
放射線性組成物から形成されたカラーフィルタに関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、着色感放射線性組成物を用いてカ
ラーフィルタを製造するに当たっては、基板上あるいは
予め所望のパターンの遮光層を形成した基板上に、着色
感放射線性組成物を塗布して乾燥したのち、乾燥塗膜を
所望のパターン形状に放射線を照射(以下、「露光」と
いう。)し、現像することにより、各色の画素を得る形
成方法(特開平2−144502号公報および特開平3
−53201号公報参照)が知られている。しかしなが
ら、このような方法により得られるカラーフィルタは、
現像の際に未露光部の基板上あるいは遮光層上に残さを
生じやすいという問題があり、またその程度は、着色感
放射線性組成物に含まれる顔料の濃度が高くなるにつれ
て著しくなる傾向があるため、十分な色濃度を達成する
ことが困難であった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、顔料
を高濃度で含む場合でも優れた現像性を示すカラーフィ
ルタ用感放射線性組成物、より具体的には、現像時に未
溶解物が残存したり、パターンエッジにスカムを生じた
りすることがなく、かつパターンにアンダーカットを生
じることがなく、しかも表面平滑性に優れた画素および
ブラックマトリックスを与える新規なカラーフィルタ用
感放射線性組成物、並びに該カラーフィルタ用感放射線
性組成物から形成された画素および/またはブラックマ
トリックスを有するカラーフィルタを提供することにあ
る。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明によると、前記課
題は、(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、
(C)多官能性単量体および(D)下記式(1)、式
(2)、式(3)または式(4)で表される化合物の群
から選ばれる少なくとも1種を必須成分とする光ラジカ
ル発生剤を含有することを特徴とするカラーフィルタ用
感放射線性組成物、により達成される。
【0005】
【化12】
【0006】〔式(1)において、R1 はフェニル基
(但し、炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基、ハロ
ゲン原子、−OR8 、−SR9 もしくは−N(R10)(R
11)の1個以上で置換されてもよい。)、炭素数1〜2
0のアルキル基(但し、アルキル基の炭素数が2〜20
の場合、主鎖炭素原子間に1個以上の酸素原子を有する
か、および/または1個以上の水酸基で置換されてもよ
い。)、炭素数5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜
20のアルカノイル基、ベンゾイル基(但し、炭素数1
〜6のアルキル基、フェニル基、−OR8 、−SR9
しくは−N(R10)(R11)の1個以上で置換されてもよ
い。)、炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基(但
し、アルコキシル基の炭素数が2〜11の場合、該アル
コキシル基は主鎖炭素原子間に1個以上の酸素原子を有
するか、および/または1個以上の水酸基で置換されて
もよい。)、フェノキシカルボニル基(但し、炭素数1
〜6のアルキル基、フェニル基、ハロゲン原子、−OR
8 もしくは−N(R10)(R11)の1個以上で置換されて
もよい。)、シアノ基、ニトロ基、−CON(R10)(R
11)、炭素数1〜4のハロアルキル基、−S(O)m−R
12(但し、R12は炭素数1〜6のアルキル基を示し、m
は1または2である。)、−S(O)m−R13(但し、R
13は炭素数6〜12のアリール基を示し、炭素数1〜1
2のアルキル基で置換されてもよく、mは1または2で
ある。)、炭素数1〜6のアルコキシスルホニル基、炭
素数6〜10のアリーロキシスルホニル基、またはジフ
ェニルホスフィノイル基を示し;
【0007】R2 は炭素数2〜12のアルカノイル基
(但し、ハロゲン原子もしくはシアノ基の1個以上で置
換されてもよい。)、その二重結合がカルボニル基と共
役していない炭素数4〜6のアルケノイル基、ベンゾイ
ル基(但し、炭素数1〜6のアルキル基、ハロゲン原
子、シアノ基、−OR8 、−SR9 もしくは−N
(R10)(R11)の1個以上で置換されていてもよ
い。)、炭素数2〜6のアルコキシカルボニル基、また
はフェノキシカルボニル基(但し、炭素数1〜6のアル
キル基もしくはハロゲン原子の1個以上で置換されても
よい。)を示し;
【0008】R3 、R4 、R5 、R6 およびR7 は相互
に独立に水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜12のア
ルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、また
はフェニル基(但し、−OR8 、−SR9 もしくは−N
(R10)(R11)の1個以上で置換されていてもよ
い。)、ベンジル基、ベンゾイル基、炭素数2〜12の
アルカノイル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニ
ル基(但し、アルコキシル基の炭素数が2〜11の場
合、該アルコキシル基は主鎖炭素原子間に1個以上の酸
素原子を有するか、および/または1個以上の水酸基で
置換されてもよい。)、フェノキシカルボニル基、−O
8(但し、R8 はフェニル環中もしくはフェニル環への
置換基中の炭素原子の一つと共に、5−員環もしくは6
−員環を形成してもよい。)、−SR9(但し、R9 はフ
ェニル環中のもしくはフェニル環への置換基中の炭素原
子の一つと共に、5−員環もしくは6−員環を形成して
もよい。)、−S(O)R9(但し、R9 はフェニル環中
のもしくはフェニル環への置換基中の炭素原子の一つと
共に、5−員環もしくは6−員環を形成してもよ
い。)、−SO2 9(但し、R9 はフェニル環中のもし
くはフェニル環への置換基中の炭素原子の一つと共に、
5−員環もしくは6−員環を形成してもよい。)、また
は−N(R10)(R11)(但し、R10および/またはR11
はフェニル環中のもしくはフェニル環への置換基中の炭
素原子の一つと共に、5−員環もしくは6−員環を形成
してもよい。)を示し、かつR3 、R4 、R5 、R6
よびR7 の少なくとも一つは−OR8 、−SR9 または
−N(R10)(R11)であり;
【0009】R8 は水素原子、炭素数1〜12のアルキ
ル基、置換された炭素数2〜6のアルキル基{但し、置
換基は、水酸基、メルカプト基、シアノ基、炭素数1〜
4のアルコキシル基、炭素数3〜6のアルケニルオキシ
基、2−シアノエトキシ基、炭素数4〜7の2−(アル
コキシカルボニル)エトキシ基、炭素数2〜5のアルキ
ルカルボニルオキシ基、フェニルカルボニルオキシ基、
カルボキシル基もしくは炭素数2〜5のアルコキシカル
ボニル基の1個以上からなる。}、主鎖炭素原子間に1
個以上の酸素原子を有する炭素数2〜6のアルキル基、
炭素数2〜8のアルカノイル基、−(CH2 CH2 O)n
H(但し、nは1〜20の整数である。)、炭素数3〜
12のアルケニル基、炭素数3〜6のアルケノイル基、
シクロヘキシル基、フェニル基(但し、ハロゲン原子、
炭素数1〜12のアルキル基もしくは炭素数1〜4のア
ルコキシル基で置換されてもよい。)、炭素数7〜9の
フェニルアルキル基、−Si(R14)r(R15)3-r(但
し、R14は炭素数1〜8のアルキル基を示し、R15はフ
ェニル基を示し、rは1〜3の整数である。)、
【0010】下記式で表される基
【化13】
【0011】、または下記式で表される基
【化14】 を示し;
【0012】R9 は水素原子、炭素数1〜12のアルキ
ル基、炭素数3〜12のアルケニル基、シクロヘキシル
基、置換された炭素数2〜6のアルキル基{但し、置換
基は、水酸基、メルカプト基、シアノ基、炭素数1〜4
のアルコキシル基、炭素数3〜6のアルケニルオキシ
基、2−シアノエトキシ基、炭素数4〜7の2−(アル
コキシカルボニル)エトキシ基、炭素数2〜5のアルキ
ルカルボニルオキシ基、フェニルカルボニルオキシ基、
カルボキシル基もしくは炭素数2〜5のアルコキシカル
ボニル基の1個以上からなる。}、主鎖炭素原子間に1
個以上の酸素原子もしくは硫黄原子を有する炭素数2〜
12のアルキル基、フェニル基(但し、ハロゲン原子、
炭素数1〜12のアルキル基もしくは炭素数1〜4のア
ルコキシル基で置換されてもよい。)、炭素数7〜9の
フェニルアルキル基、
【0013】下記式で表される基
【化15】
【0014】、または下記式で表される基
【化16】 を示し;
【0015】R10およびR11は相互に独立に水素原子、
炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜4のヒドロキ
シアルキル基、炭素数2〜10のアルコキシアルキル
基、炭素数3〜5のアルケニル基、炭素数5〜12のシ
クロアルキル基、炭素数7〜9のフェニルアルキル基、
フェニル基(但し、炭素数1〜12のアルキル基もしく
は炭素数1〜4のアルコキシル基の1個以上で置換され
てもよい。)、炭素数2〜3のアルカノイル基、炭素数
3〜6のアルケノイル基、ベンゾイル基を示すか、ある
いはR10とR11が一緒になって炭素数2〜6のアルキレ
ン基(但し、主鎖炭素原子間に1個以上の酸素原子もし
くは−NR8 −を有するか、および/または水酸基、炭
素数1〜4のアルコキシル基、炭素数2〜4のアルカノ
イルオキシ基もしくはベンゾイルオキシ基の1個以上で
置換されてもよい。)を示すか、あるいはR10が水素原
子のとき、R11
【0016】下記式で表される基
【化17】
【0017】、または下記式で表される基
【化18】 を示し;
【0018】R16は炭素数2〜12のアルコキシカルボ
ニル基(但し、アルコキシル基の炭素数が2〜11の場
合、該アルコキシル基は主鎖炭素原子間に1個以上の酸
素原子を有するか、および/または1個以上の水酸基で
置換されてもよい。)、フェノキシカルボニル基(但
し、炭素数1〜6のアルキル基、ハロゲン原子、フェニ
ル基、−OR8 もしくは−N(R10)(R11)の1個以上
で置換されていてもよい。)、炭素数5〜8のシクロア
ルキル基、−CON(R10)(R11)、シアノ基、置換さ
れたフェニル基(但し、置換基は−SR9 である。)、
または炭素数1〜12のアルキル基(但し、ハロゲン原
子、水酸基、−OR2 、フェニル基、ハロゲン化フェニ
ル基もしくは−SR9 の1個以上で置換されるか、およ
び/または主鎖炭素原子間に酸素原子もしくは−NH
(CO)−の1個以上を有してもよい。)を示し;
【0019】M1 は直接結合または−R17−O−を示
し;M2 は直接結合または−R17−S−を示し;M3
直接結合、ピペラジノ基または−R17−NH−を示し;
17は炭素数1〜12のアルキレン基を示し、その炭素
数が2〜12の場合、主鎖炭素原子間に酸素原子、硫黄
原子もしくは−NR10−の1〜5個を有してもよ
い。)〕
【0020】
【化19】
【0021】〔式(2)において、R2 、R3 、R4
5 、R6 およびR7 は式(1)のそれぞれR2
3 、R4 、R5 、R6 およびR7 と同義であり;Mは
炭素数1〜12のアルキレン基、シクロヘキシレン基、
フェニレン基、−COO−R18−OCO−、−COO−
(CH2 CH2 O)n−CO−(但し、nは1〜20の整
数である。)、または−CO−R18−CO−を示し;R
18は炭素数2〜12のアルキレン基を示す。〕
【0022】
【化20】
【0023】〔式(3)において、R2 は式(1)のR
2 と同義であり;R19は炭素数2〜12のアルコキシカ
ルボニル基(但し、アルコキシル基の炭素数が2〜11
の場合、該アルコキシル基は主鎖炭素原子間に1個以上
の酸素原子を有するか、および/または1個以上の水酸
基で置換されてもよい。)、フェノキシカルボニル基
(但し、炭素数1〜6のアルキル基、ハロゲン原子、フ
ェニル基、−OR8 もしくは−N(R10)(R11)の1個
以上で置換されていてもよい。)、炭素数5〜8のシク
ロアルキル基、−CON(R10)(R11)、シアノ基、ま
たは置換されたフェニル基(但し、置換基は−SR9
ある。)を示すか、あるいはR20、R21およびR22を有
するフェニル環中の炭素原子と結合して、基R9 を介し
5−員環もしくは6−員環を形成してもよく、あるいは
20、R21およびR22の少なくとも1個が−SR9 のと
き、炭素数1〜12のアルキル基{但し、炭素数が2〜
12の場合、主鎖炭素原子間に酸素原子もしくは−NH
(CO)−の1個以上を有するか、および/またはハロ
ゲン原子、水酸基、−OR2 、フェニル基、ハロゲン化
フェニル基もしくは置換フェニル基(但し、置換基は−
SR9 である。)の1個以上で置換されてもよい。}を
示し;
【0024】R20、R21およびR22は相互に独立に水素
原子、ハロゲン原子、炭素数1〜12のアルキル基、シ
クロペンチル基、シクロヘキシル基、フェニル基(但
し、−OR8 、−SR9 もしくは−N(R10)(R11)の
1個以上で置換されてもよい。)、ベンジル基、ベンゾ
イル基、炭素数2〜12のアルカノイル基、炭素数2〜
12のアルコキシカルボニル基(但し、アルコキシル基
の炭素数が2〜11の場合、該アルコキシル基は主鎖炭
素原子間に1個以上の酸素原子を有するか、および/ま
たは水酸基の1個以上で置換されてもよい。)、フェノ
キシカルボニル基、−OR8(但し、R8 はフェニル環中
のもしくはフェニル環への置換基中の炭素原子の一つと
共に、5−員環もしくは6−員環を形成してもよ
い。)、−SR9(但し、R9 はフェニル環中のもしくは
フェニル環への置換基中の炭素原子の一つと共に、5−
員環もしくは6−員環を形成してもよい。)、−S
(O)R9 、−SO2 9 、または−N(R10)(R11
(但し、R10および/またはR11はフェニル環中のもし
くはフェニル環への置換基中の炭素原子の一つと共に、
5−員環もしくは6−員環を形成してもよい。)を示
し、かつR20、R21およびR22の少なくとも一つは−O
8 、−SR9 または−N(R10)(R11)であり、;R
8 ,R9 、R10およびR11は式(1)のそれぞれR8
9 、R10およびR11と同義である。〕
【0025】
【化21】
【0026】〔式(4)において、R2 およびMは式
(1)のそれぞれR2 およびMと同義であり;R20、R
21およびR22は式(3)のそれぞれR20、R21およびR
22と同義である。〕
【0027】本発明の前記課題は、第二に、第1発明の
カラーフィルタ用感放射線性組成物から形成された画素
および/またはブラックマトリックスを備えたことを特
徴とするカラーフィルタ(以下、「第2発明」ともい
う。)、によって達成される。
【0028】以下、本発明について詳細に説明する。(A)着色剤 第1発明における着色剤は、色調が特に限定されるもの
ではなく、得られるカラーフィルタの用途に応じて適宜
選定され、顔料、染料あるいは天然色素の何れでもよ
い。カラーフィルタには高精細な発色と耐熱性が求めら
れることから、第1発明における着色剤としては、発色
性が高く、かつ耐熱性の高い着色剤、特に耐熱分解性の
高い着色剤が好ましく、通常、顔料、特に好ましくは有
機顔料、カーボンブラックが用いられる。前記有機顔料
としては、例えば、カラーインデックス(C.I.;The So
ciety ofDyers and Colourists 社発行) においてピグ
メント(Pigment)に分類されている化合物、具体的に
は、下記のようなカラーインデックス(C.I.)番号が付
されているものを挙げることができる。
【0029】C.I.ピグメントイエロー1、C.I.ピグメン
トイエロー3、C.I.ピグメントイエロー12、C.I.ピグ
メントイエロー13、C.I.ピグメントイエロー14、C.
I.ピグメントイエロー15、C.I.ピグメントイエロー1
6、C.I.ピグメントイエロー17、C.I.ピグメントイエ
ロー20、C.I.ピグメントイエロー24、C.I.ピグメン
トイエロー31、C.I.ピグメントイエロー55、C.I.ピ
グメントイエロー60、C.I.ピグメントイエロー61、
C.I.ピグメントイエロー65、C.I.ピグメントイエロー
71、C.I.ピグメントイエロー73、C.I.ピグメントイ
エロー74、C.I.ピグメントイエロー81、C.I.ピグメ
ントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.
ピグメントイエロー95、C.I.ピグメントイエロー9
7、C.I.ピグメントイエロー98、C.I.ピグメントイエ
ロー100、C.I.ピグメントイエロー101、C.I.ピグ
メントイエロー104、C.I.ピグメントイエロー10
6、C.I.ピグメントイエロー108、C.I.ピグメントイ
エロー109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピ
グメントイエロー113、C.I.ピグメントイエロー11
4、C.I.ピグメントイエロー116、C.I.ピグメントイ
エロー117、C.I.ピグメントイエロー119、C.I.ピ
グメントイエロー120、C.I.ピグメントイエロー12
6、C.I.ピグメントイエロー127、C.I.ピグメントイ
エロー128、C.I.ピグメントイエロー129、C.I.ピ
グメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー13
9、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイ
エロー151、C.I.ピグメントイエロー152、C.I.ピ
グメントイエロー153、C.I.ピグメントイエロー15
4、C.I.ピグメントイエロー155、C.I.ピグメントイ
エロー156、C.I.ピグメントイエロー166、C.I.ピ
グメントイエロー168、C.I.ピグメントイエロー17
5、C.I.ピグメントイエロー180、C.I.ピグメントイ
エロー185;
【0030】C.I.ピグメントオレンジ1、C.I.ピグメン
トオレンジ5、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピグ
メントオレンジ14、C.I.ピグメントオレンジ16、C.
I.ピグメントオレンジ17、C.I.ピグメントオレンジ2
4、C.I.ピグメントオレンジ34、C.I.ピグメントオレ
ンジ36、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメン
トオレンジ40、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピ
グメントオレンジ46、C.I.ピグメントオレンジ49、
C.I.ピグメントオレンジ51、C.I.ピグメントオレンジ
61、C.I.ピグメントオレンジ63、C.I.ピグメントオ
レンジ64、C.I.ピグメントオレンジ71、C.I.ピグメ
ントオレンジ73;C.I.ピグメントバイオレット1、C.
I.ピグメントバイオレット19、C.I.ピグメントバイオ
レット23、C.I.ピグメントバイオレット29、C.I.ピ
グメントバイオレット32、C.I.ピグメントバイオレッ
ト36、C.I.ピグメントバイオレット38;
【0031】C.I.ピグメントレッド1、C.I.ピグメント
レッド2、C.I.ピグメントレッド3、C.I.ピグメントレ
ッド4、C.I.ピグメントレッド5、C.I.ピグメントレッ
ド6、C.I.ピグメントレッド7、C.I.ピグメントレッド
8、C.I.ピグメントレッド9、C.I.ピグメントレッド1
0、C.I.ピグメントレッド11、C.I.ピグメントレッド
12、C.I.ピグメントレッド14、C.I.ピグメントレッ
ド15、C.I.ピグメントレッド16、C.I.ピグメントレ
ッド17、C.I.ピグメントレッド18、C.I.ピグメント
レッド19、C.I.ピグメントレッド21、C.I.ピグメン
トレッド22、C.I.ピグメントレッド23、C.I.ピグメ
ントレッド30、C.I.ピグメントレッド31、C.I.ピグ
メントレッド32、C.I.ピグメントレッド37、C.I.ピ
グメントレッド38、C.I.ピグメントレッド40、C.I.
ピグメントレッド41、C.I.ピグメントレッド42、C.
I.ピグメントレッド48:1、C.I.ピグメントレッド4
8:2、C.I.ピグメントレッド48:3、C.I.ピグメン
トレッド48:4、C.I.ピグメントレッド49:1、C.
I.ピグメントレッド49:2、C.I.ピグメントレッド5
0:1、C.I.ピグメントレッド52:1、C.I.ピグメン
トレッド53:1、C.I.ピグメントレッド57、C.I.ピ
グメントレッド57:1、C.I.ピグメントレッド57:
2、C.I.ピグメントレッド58:2、C.I.ピグメントレ
ッド58:4、C.I.ピグメントレッド60:1、C.I.ピ
グメントレッド63:1、C.I.ピグメントレッド63:
2、C.I.ピグメントレッド64:1、C.I.ピグメントレ
ッド81:1、C.I.ピグメントレッド83、C.I.ピグメ
ントレッド88、C.I.ピグメントレッド90:1、C.I.
ピグメントレッド97、C.I.ピグメントレッド101、
C.I.ピグメントレッド102、C.I.ピグメントレッド1
04、C.I.ピグメントレッド105、C.I.ピグメントレ
ッド106、C.I.ピグメントレッド108、C.I.ピグメ
ントレッド112、C.I.ピグメントレッド113、C.I.
ピグメントレッド114、C.I.ピグメントレッド12
2、C.I.ピグメントレッド123、C.I.ピグメントレッ
ド144、C.I.ピグメントレッド146、C.I.ピグメン
トレッド149、C.I.ピグメントレッド150、C.I.ピ
グメントレッド151、C.I.ピグメントレッド166、
C.I.ピグメントレッド168、C.I.ピグメントレッド1
70、C.I.ピグメントレッド171、C.I.ピグメントレ
ッド172、C.I.ピグメントレッド174、C.I.ピグメ
ントレッド175、C.I.ピグメントレッド176、C.I.
ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド17
8、C.I.ピグメントレッド179、C.I.ピグメントレッ
ド180、C.I.ピグメントレッド185、C.I.ピグメン
トレッド187、C.I.ピグメントレッド188、C.I.ピ
グメントレッド190、C.I.ピグメントレッド193、
C.I.ピグメントレッド194、C.I.ピグメントレッド2
02、C.I.ピグメントレッド206、C.I.ピグメントレ
ッド207、C.I.ピグメントレッド208、C.I.ピグメ
ントレッド209、C.I.ピグメントレッド215、C.I.
ピグメントレッド216、C.I.ピグメントレッド22
0、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッ
ド226、C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメン
トレッド243、C.I.ピグメントレッド245、C.I.ピ
グメントレッド254、C.I.ピグメントレッド255、
C.I.ピグメントレッド264、C.I.ピグメントレッド2
65;
【0032】C.I.ピグメントブルー15、C.I.ピグメン
トブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.
I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントブルー6
0;C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリー
ン36;C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメント
ブラウン25;C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメ
ントブラック7。また、これらの有機顔料は、例えば、
硫酸再結晶法、溶剤洗浄法や、これらの組み合わせ等に
より精製して使用することができる。
【0033】また、無機顔料の具体例としては、酸化チ
タン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸
鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カ
ドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、
アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラッ
ク等を挙げることができる。第1発明において、前記有
機顔料および無機顔料は、それぞれ単独でまたは2種以
上を混合して使用することができ、また有機顔料と無機
顔料とを併用することができるが、カラーフィルタ用画
素を形成する際には、好ましくは1種以上の有機顔料が
使用され、またカラーフィルタ用ブラックマトリックス
を形成する際には、好ましくは2種以上の有機顔料およ
び/またはカーボンブラックが使用される。
【0034】第1発明においては、前記各顔料は、所望
により、その粒子表面をポリマーで改質して使用するこ
とができる。顔料の粒子表面を改質するポリマーとして
は、例えば、特開平8−259876号公報等に記載さ
れたポリマーや、市販の各種の顔料分散用のポリマーま
たはオリゴマー等を挙げることができる。また、第1発
明における着色剤は、所望により、分散剤と共に使用す
ることができる。このような分散剤としては、例えば、
カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコー
ン系、フッ素系等の界面活性剤を挙げることができる。
前記界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレン
ラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエー
テル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオ
キシエチレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレン
n−オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン
n−ノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレン
アルキルフェニルエーテル類;ポリエチレングリコール
ジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート
等のポリエチレングリコールジエステル類;ソルビタン
脂肪酸エステル類;脂肪酸変性ポリエステル類;3級ア
ミン変性ポリウレタン類;ポリエチレンイミン類等のほ
か、以下商品名で、KP(信越化学工業(株)製)、ポ
リフロー(共栄社化学(株)製)、エフトップ(トーケ
ムプロダクツ社製)、メガファック(大日本インキ化学
工業(株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)
製)、アサヒガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)
製)、Disperbyk(ビックケミー・ジャパン
(株)製)、ソルスパース(セネカ(株)製)等を挙げ
ることができる。これらの界面活性剤は、単独でまたは
2種以上を混合して使用することができる。界面活性剤
の使用量は、着色剤100重量部に対して、通常、50
重量部以下、好ましくは0〜30重量部である。
【0035】(B)アルカリ可溶性樹脂 第1発明におけるアルカリ可溶性樹脂としては、着色剤
に対してバインダーとして作用し、かつカラーフィルタ
を製造する際に、その現像処理工程において用いられる
現像液、特に好ましくはアルカリ現像液に対して可溶性
を有するものであれば、特に限定されるものではない
が、カルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂が好ま
しく、特に、1個以上のカルボキシル基を有するエチレ
ン性不飽和単量体(以下、単に「カルボキシル基含有不
飽和単量体」という。)と他の共重合可能なエチレン性
不飽和単量体(以下、単に「共重合性不飽和単量体」と
いう。)との共重合体(以下、単に「カルボキシル基含
有共重合体」という。)が好ましい。
【0036】カルボキシル基含有不飽和単量体の例とし
ては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α−ク
ロルアクリル酸、けい皮酸等の不飽和モノカルボン酸
類;マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン
酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン
酸、メサコン酸等の不飽和ジカルボン酸またはその無水
物類;3価以上の不飽和多価カルボン酸またはその無水
物類;こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)、
こはく酸モノ(2−メタクリロイロキシエチル)、フタ
ル酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)、フタル酸モ
ノ(2−メタクリロイロキシエチル)等の2価以上の多
価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイロキシアルキ
ル〕エステル類;ω−カルボキシポリカプロラクトンモ
ノアクリレート、ω−カルボキシポリカプロラクトンモ
ノメタクリレート等の両末端にカルボキシ基と水酸基と
を有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート類等を挙
げることができる。これらのカルボキシル基含有不飽和
単量体のうち、こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエ
チル)およびフタル酸モノ(2−アクリロイロキシエチ
ル)は、それぞれM−5300およびM−5400(東
亞合成(株)製)の商品名で市販されている。前記カル
ボキシル基含有不飽和単量体は、単独でまたは2種以上
を混合して使用することができる。
【0037】また、共重合性不飽和単量体としては、例
えば、スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトル
エン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−
クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシ
スチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルベンジル
メチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、
p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジ
ルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジル
エーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の
芳香族ビニル化合物;インデン、1−メチルインデン等
のインデン類;
【0038】メチルアクリレート、メチルメタクリレー
ト、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n−
プロピルアクリレート、n−プロピルメタクリレート、
i−プロピルアクリレート、i−プロピルメタクリレー
ト、n−ブチルアクリレート、n−ブチルメタクリレー
ト、i−ブチルアクリレート、i−ブチルメタクリレー
ト、sec−ブチルアクリレート、sec−ブチルメタ
クリレート、t−ブチルアクリレート、t−ブチルメタ
クリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−
ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロ
ピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレ
ート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−ヒド
ロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシブチル
アクリレート、2−ヒドロキシブチルメタクリレート、
3−ヒドロキシブチルアクリレート、3−ヒドロキシブ
チルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレー
ト、4−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアク
リレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレー
ト、ベンジルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレ
ート、シクロヘキシルメタクリレート、フェニルアクリ
レート、フェニルメタクリレート、2−メトキシエチル
アクリレート、2−メトキシエチルメタクリレート、2
−フェノキシエチルアクリレート、2−フェノキシエチ
ルメタクリレート、メトキシジエチレングルコールアク
リレート、メトキシジエチレングルコールメタクリレー
ト、メトキシトリエチレングルコールアクリレート、メ
トキシトリエチレングルコールメタクリレート、メトキ
シプロピレングルコールアクリレート、メトキシプロピ
レングルコールメタクリレート、メトキシジプロピレン
グルコールアクリレート、メトキシジプロピレングルコ
ールメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソ
ボルニルメタクリレート、ジシクロペンタジエニルアク
リレート、ジシクロペンタジエニルメタクリレート、2
−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、
2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルメタクリレー
ト、グリセロールモノアクリレート、グリセロールモノ
メタクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類;
【0039】2−アミノエチルアクリレート、2−アミ
ノエチルメタクリレート、2−ジメチルアミノエチルア
クリレート、2−ジメチルアミノエチルメタクリレー
ト、2−アミノプロピルアクリレート、2−アミノプロ
ピルメタクリレート、2−ジメチルアミノプロピルアク
リレート、2−ジメチルアミノプロピルメタクリレー
ト、3−アミノプロピルアクリレート、3−アミノプロ
ピルメタクリレート、3−ジメチルアミノプロピルアク
リレート、3−ジメチルアミノプロピルメタクリレート
等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類;グリ
シジルアクリレート、グリシジルメタクリレート等の不
飽和カルボン酸グリシジルエステル類;酢酸ビニル、プ
ロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等のカ
ルボン酸ビニルエステル類;ビニルメチルエーテル、ビ
ニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル等の不
飽和エーテル類;アクリロニトリル、メタクリロニトリ
ル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン
等のシアン化ビニル化合物;アクリルアミド、メタクリ
ルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロ
キシエチルアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチル
メタクリルアミド等の不飽和アミド類;マレイミド、N
−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド
等の不飽和イミド類;1,3−ブタジエン、イソプレ
ン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類;ポリスチレ
ン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレー
ト、ポリ−n−ブチルアクリレート、ポリ−n−ブチル
メタクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末
端にモノアクリロイル基あるいはモノメタクリロイル基
を有するマクロモノマー類等を挙げることができる。こ
れらの共重合性不飽和単量体は、単独でまたは2種以上
を混合して使用することができる。
【0040】第1発明におけるカルボキシル基含有共重
合体としては、アクリル酸および/またはメタクリル
酸を必須成分とし、場合により、こはく酸モノ(2−ア
クリロイロキシエチル)、こはく酸モノ(2−メタクリ
ロイロキシエチル)、ω−カルボキシポリカプロラクト
ンモノアクリレートおよびω−カルボキシポリカプロラ
クトンモノメタクリレートの群から選ばれる少なくとも
1種の化合物をさらに含有するカルボキシル基含有不飽
和単量体成分と、スチレン、メチルアクリレート、メ
チルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレー
ト、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、アリルアク
リレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレー
ト、ベンジルメタクリレート、グリセロールモノアクリ
レート、グリセロールモノメタクリレート、N−フェニ
ルマレイミド、ポリスチレンマクロモノマーおよびポリ
メチルメタクリレートマクロモノマーの群から選ばれる
少なくとも1種との共重合体(以下、「カルボキシル基
含有共重合体(I)」という。)が好ましい。
【0041】カルボキシル基含有共重合体(I)の具体
例としては、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アク
リレート共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メ
タ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/2−
ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メ
タ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/メチ
ル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー
共重合体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリ
レート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重
合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレ
ート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)
アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチ
ルメタクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)ア
クリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート
/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロ
モノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキ
シエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アク
リレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共
重合体、メタクリル酸/スチレン/ベンジル(メタ)ア
クリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、
【0042】(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−
(メタ)アクリロイロキシエチル〕/スチレン/ベンジ
ル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重
合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メ
タ)アクリロイロキシエチル〕/スチレン/アリル(メ
タ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体 (メタ)アクリル酸/スチレン/ベンジル(メタ)アク
リレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート/N
−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/
ω−カルボキシポリカクロラクトンモノ(メタ)アクリ
レート/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/グ
リセロールモノ(メタ)アクリレート/N−フェニルマ
レイミド共重合体等を挙げることができる。
【0043】カルボキシル基含有共重合体におけるカル
ボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合は、通常、5
〜50重量%、好ましくは10〜40重量%である。こ
の場合、前記共重合割合が5重量%未満では、得られる
感放射線性組成物のアルカリ現像液に対する溶解性が低
下する傾向があり、一方50重量%を超えると、アルカ
リ現像液に対する溶解性が過大となり、アルカリ現像液
により現像する際に、画素あるいはブラックマトリック
スの基板からの脱落や画素表面の膜荒れを来たしやすく
なる傾向がある。第1発明におけるアルカリ可溶性樹脂
のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、
溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレ
ン換算重量平均分子量(以下、「Mw」という。)は、
通常、3,000〜300,000、好ましくは5,0
00〜100,000である。また、第1発明における
アルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグ
ラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で
測定したポリスチレン換算数平均分子量(以下、「M
n」という。)は、通常、3,000〜60,000、
好ましくは5,000〜25,000である。第1発明
においては、このような特定のMwおよびMnを有する
アルカリ可溶性樹脂を使用することによって、現像性に
優れた感放射線性組成物が得られ、それにより、シャー
プなパターンエッジを有する画素およびブラックマトリ
ックスを形成することができるとともに、現像時に未露
光部の基板上および遮光層上に残渣、地汚れ、膜残り等
が発生し難くなる。また、第1発明におけるアルカリ可
溶性樹脂のMwとMnの比(Mw/Mn)は、好ましく
は1〜5、特に好ましくは1〜4である。
【0044】第1発明において、アルカリ可溶性樹脂
は、単独でまたは2種以上を混合して使用することがで
きる。第1発明におけるアルカリ可溶性樹脂の使用量
は、(A)着色剤100重量部に対して、通常、10〜
1,000重量部、好ましくは20〜500重量部であ
る。この場合、アルカリ可溶性樹脂の使用量が10重量
部未満では、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未
露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れや膜残りが発
生するおそれがあり、一方1,000重量部を超える
と、相対的に着色剤濃度が低下するため、薄膜として目
的とする色濃度を達成することが困難となる場合があ
る。
【0045】(C)多官能性単量体 本発明における多官能性単量体は、2個以上の重合性不
飽和結合を有する単量体である。多官能性単量体の例と
しては、エチレングリコール、プロピレングリコール等
のアルキレングリコールのジアクリレートまたはジメタ
クリレート類;ポリエチレングリコール、ポリプロピレ
ングリコール等のポリアルキレングリコールのジアクリ
レートまたはジメタクリレート類;グリセリン、トリメ
チロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエ
リスリトール等の3価以上の多価アルコールのポリアク
リレートまたはポリメタクリレート類や、それらのジカ
ルボン酸変性物;ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタ
ン樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂
等のオリゴアクリレートまたはオリゴメタクリレート
類;両末端ヒドロキシポリ−1,3−ブタジエン、両末
端ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカ
プロラクトン等の両末端ヒドロキシル化重合体のジアク
リレートまたはジメタクリレート類や、トリス(2−ア
クリロイロキシエチル)フォスフェート、トリス(2−
メタクリロイロキシエチル)フォスフェート等を挙げる
ことができる。
【0046】これらの多官能性単量体のうち、3価以上
の多価アルコールのポリアクリレートまたはポリメタク
リレート類やそれらのジカルボン酸変性物、具体的に
は、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメ
チロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリ
トールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメ
タクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレー
ト、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペ
ンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリ
スリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリト
ールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキ
サメタクリレート、下記式(6)
【0047】
【化22】
【0048】で表される化合物等が好ましく、特に、ト
リメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリス
リトールトリアクリレートおよびジペンタエリスリトー
ルヘキサアクリレートが、画素強度が高く、画素表面の
平滑性に優れ、かつ未露光部の基板上および遮光層上に
地汚れ、膜残り等を発生し難い点で好ましい。前記多官
能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用す
ることができる。
【0049】第1発明における多官能性単量体の使用量
は、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、
通常、5〜500重量部、好ましくは20〜300重量
部である。この場合、多官能性単量体の使用量が5重量
部未満では、画素の強度や表面平滑性が低下する傾向が
あり、一方500重量部を超えると、例えば、アルカリ
現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層
上に地汚れ、膜残り等が発生しやすくなる傾向がある。
【0050】また、第1発明においては、多官能性単量
体の一部を、重合性不飽和結合を1個有する単官能性単
量体に置き換えることもできる。前記単官能性単量体と
しては、例えば、(B)アルカリ可溶性樹脂について例
示した前記カルボキシル基含有不飽和単量体や共重合性
不飽和単量体と同様の単量体、N−アクリロイルモルフ
ォリン、N−メタクリロイルモルフォリン、N−ビニル
ピロリドン、N−ビニル−ε−カプロラクタム等のほ
か、市販品として、M−5600(商品名、東亞合成
(株)製)等を挙げることができる。これらの単官能性
単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用するこ
とができる。前記単官能性単量体の使用割合は、多官能
性単量体と単官能性単量体との合計に対して、通常、9
0重量%以下、好ましくは50重量%以下である。この
場合、単官能性単量体の使用割合が90重量%を超える
と、得られる画素あるいはブラックマトリックスの強度
や表面平滑性が不十分となるおそれがある。第1発明に
おける多官能性単量体と単官能性単量体との合計使用量
は、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、
通常、5〜500重量部、好ましくは20〜300重量
部である。この場合、前記合計使用量が5重量部未満で
は、画素あるいはブラックマトリックスの強度や表面平
滑性が低下する傾向があり、一方500重量部を超える
と、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の
基板上あるいは遮光層上に地汚れ、膜残り等が発生しや
すくなる傾向がある。
【0051】(D)光ラジカル発生剤 第1発明における光ラジカル発生剤は、前記式(1)で
表される化合物(以下、「光ラジカル発生剤(1)」と
いう。)、前記式(2)で表される化合物(以下、「光
ラジカル発生剤(2)」という。)、前記式(3)で表
される化合物(以下、「光ラジカル発生剤(3)」とい
う。)および前記式(4)で表される化合物(以下、
「光ラジカル発生剤(4)」という。)の群から選ばれ
る少なくとも1種を必須成分として含有し、可視光線、
紫外線、遠紫外線、電子線、X線等の露光によりラジカ
ルを発生する作用を有するものである。本発明におい
て、光ラジカル発生剤(1)〜(4)の群の中では、光
ラジカル発生剤(1)が好ましく、特に、下記式(5)
で表される化合物(以下、「光ラジカル発生剤(1−
α)」という。)が好ましい。
【0052】
【化23】
【0053】また、本発明においては、光ラジカル発生
剤(1)〜(4)の群から選ばれる少なくとも1種と共
に、他の光ラジカル発生剤を1種以上併用することがで
きる。前記他の光ラジカル発生剤としては、例えば、下
記式(7)、式(8)または式(9)で表される主要骨
格を少なくとも1種有するビイミダゾール系化合物、ベ
ンゾイン系化合物、アセトフェノン系化合物、ベンゾフ
ェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系
化合物、キサントン系化合物、ホスフィン系化合物、ト
リアジン系化合物等を挙げることができる。
【0054】
【化24】
【0055】前記ビイミダゾール系化合物の具体例とし
ては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニル
フェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビ
ス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’
−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニ
ル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’
−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロ
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,
6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビ
ス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビ
ス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’
−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,
2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール等を挙げることができる。
【0056】前記ビイミダゾール系化合物のうち、2,
2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾールおよび2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロ
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾールが好ましく、特に好ましく
は、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾールである。これらのビイミダゾール系化合物
は、溶剤に対する溶解性に優れ、未溶解物、析出物等の
異物を生じることがなく、しかも感度が高く、少ないエ
ネルギー量の露光により硬化反応を十分進行させるとと
もに、コントラストが高く、未露光部で硬化反応が生じ
ることがないため、露光後の塗膜は、現像液に対して不
溶性の硬化部分と、現像液に対して高い溶解性を有する
未硬化部分とに明確に区分され、これにより、アンダー
カットのない画素パターンおよびブラックマトリックス
パターンが所定の配列に従って配置された高精細なパタ
ーンアレイを形成することができる。
【0057】−水素供与体− また、第1発明においては、光ラジカル発生剤としてビ
イミダゾール系化合物を併用する場合、下記する水素供
与体を併用することが、感度をさらに改良することがで
きる点で好ましい。ここでいう「水素供与体」とは、露
光によりビイミダゾール系化合物から発生したラジカル
に対して、水素原子を供与することができる化合物を意
味する。このような水素供与体としては、下記で定義す
るメルカプタン系化合物、下記で定義するアミン系化合
物等が好ましい。前記メルカプタン系化合物は、ベンゼ
ン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合した
メルカプト基を1個以上、好ましくは1〜3個、さらに
好ましくは1〜2個有する化合物(以下「メルカプタン
系水素供与体」という。)からなる。また、前記アミン
系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該
母核に直接結合したアミノ基を1個以上、好ましくは1
〜3個、さらに好ましくは1〜2個有する化合物(以下
「アミン系水素供与体」という。)からなる。なお、こ
れらの水素供与体は、メルカプト基とアミノ基とを同時
に有することもできる。
【0058】以下、水素供与体について、より具体的に
説明する。メルカプタン系水素供与体は、ベンゼン環あ
るいは複素環をそれぞれ1個以上有することができ、ま
たベンゼン環と複素環との両者を有することができ、こ
れらの環を2個以上有する場合、縮合環を形成しても形
成しなくてもよい。また、メルカプタン系水素供与体
は、メルカプト基を2個以上有する場合、少なくとも1
個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、残りのメル
カプト基の1個以上がアルキル、アラルキルまたはアリ
ール基で置換されていてもよく、さらには少なくとも1
個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、2個の硫黄
原子がアルキレン基等の2価の有機基を介在して結合し
た構造単位、あるいは2個の硫黄原子がジスルフィドの
形で結合した構造単位を有することができる。さらに、
メルカプタン系水素供与体は、メルカプト基以外の箇所
で、カルボキシル基、置換もしくは非置換のアルコキシ
カルボニル基、置換もしくは非置換のフェノキシカルボ
ニル基、ニトリル基等によって置換されていてもよい。
【0059】このようなメルカプタン系水素供与体の具
体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−
メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾ
イミダゾール、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チ
アジアゾール、2−メルカプト−2,5−ジメチルアミ
ノピリジン等が挙げることができる。これらのメルカプ
タン系水素供与体のうち、2−メルカプトベンゾチアゾ
ール、2−メルカプトベンゾオキサゾールが好ましく、
特に、2−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。
【0060】次に、アミン系水素供与体は、ベンゼン環
あるいは複素環をそれぞれ1個以上有することができ、
またベンゼン環と複素環との両者を有することができ、
これらの環を2個以上有する場合、縮合環を形成しても
形成しなくてもよい。また、アミン系水素供与体は、ア
ミノ基の1個以上がアルキル基または置換アルキル基で
置換されてもよく、またアミノ基以外の箇所で、カルボ
キシル基、置換もしくは非置換のアルコキシカルボニル
基、置換もしくは非置換のフェノキシカルボニル基、ニ
トリル基等によって置換されていてもよい。
【0061】このようなアミン系水素供与体の具体例と
しては、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェ
ノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノ
ン、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチル
アミノプロピオフェノン、4−ジメチルアミノ安息香酸
エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸i−アミル、4−
ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメチルアミノベンゾニ
トリル等が挙げることができる。これらのアミン系水素
供与体のうち、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベン
ゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾ
フェノンが好ましく、特に、4,4’−ビス(ジエチル
アミノ)ベンゾフェノンが好ましい。なお、4,4’−
ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノンや4,4’−ビ
ス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンは、ビイミダゾー
ル系化合物が存在しない場合でも、それ単独で光ラジカ
ル開始剤として作用しうるものである。
【0062】第1発明において、水素供与体は、単独で
または2種以上を混合して使用することができるが、1
種以上のメルカプタン系水素供与体と1種以上のアミン
系水素供与体とを組み合わせて使用することが、形成さ
れた画素およびブラックマトリックスが現像時に基板か
ら脱落し難く、また画素およびブラックマトリックスの
強度および感度も高い点で好ましい。メルカプタン系水
素供与体とアミン系水素供与体との好ましい組み合わせ
の具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール/
4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2
−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエ
チルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオ
キサゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾ
フェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,
4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等を挙げ
ることができ、さらに好ましい組み合わせは、2−メル
カプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルア
ミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾ
ール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノ
ンであり、特に好ましい組み合わせは、2−メルカプト
ベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)
ベンゾフェノンである。メルカプタン系水素供与体とア
ミン系水素供与体との組み合わせにおけるメルカプタン
系水素供与体とアミン系水素供与体との重量比は、通
常、1:1〜1:4、好ましくは1:1〜1:3であ
る。
【0063】第1発明において、水素供与体をビイミダ
ゾール系化合物と併用する場合の使用量は、(C)多官
能性単量体と場合により使用される単官能性単量体との
合計100重量部に対して、通常、0.01〜40重量
部、好ましくは1〜30重量部、さらに好ましくは1〜
20重量部である。この場合、水素供与体の使用量が
0.01重量部未満であると、感度の改良効果が低下す
る傾向があり、一方40重量部を超えると、形成された
画素あるいはブラックマトリックスが現像時に基板から
脱落しやすくなる傾向がある。
【0064】また、前記ベンゾイン系化合物の具体例と
しては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベン
ゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテ
ル、ベンゾインイソブチルエーテル、メチル−2−ベン
ゾイルベンゾエート等を挙げることができる。また、前
記アセトフェノン系化合物の具体例としては、2,2−
ジメトキシアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセト
フェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフ
ェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプ
ロパン−1−オン、1−(4−i−プロピルフェニル)
−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、2
−メチル−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォ
リノ−1−プロパン−1−オン、4−(2−ヒドロキシ
エトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピ
ル)ケトン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−
(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、1−
ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2,2−ジ
メトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン等を挙
げることができる。
【0065】また、前記ベンゾフェノン系化合物の具体
例としては、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾ
フェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフ
ェノン等を挙げることができる。また、前記α−ジケト
ン系化合物の具体例としては、ジアセチル、ジベンゾイ
ル、メチルベンゾイルホルメート等を挙げることができ
る。また、前記多核キノン系化合物の具体例としては、
アントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−
ブチルアントラキノン、1,4−ナフトキノン等を挙げ
ることができる。また、前記キサントン系化合物の具体
例としては、キサントン、チオキサントン、2−クロロ
チオキサントン等を挙げることができる。また、前記ホ
スフィン系化合物の具体例としては、ビス(2,4,6
−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイ
ド、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホス
フィンオキサイド等を挙げることができる。
【0066】また、前記トリアジン系化合物の具体例と
しては、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s
−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロ
メチル)−s−トリアジン、2−〔2−(フラン−2−
イル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)
−s−トリアジン、2−〔2−(5−メチルフラン−2
−イル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、2−〔2−(4−ジエチルアミ
ノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−4,6−ビス
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−
(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−4,6−
ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4
−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)
−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジ
ン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、
【0067】下記構造式(10)
【化25】 で表される化合物、
【0068】下記構造式(11)
【化26】 で表される化合物
【0069】等のハロメチル基を有するトリアジン系化
合物等を挙げることができる。これらの他の光ラジカル
発生剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用するこ
とができる。他の光ラジカル発生剤の使用割合は、光ラ
ジカル発生剤(1)〜(4)の群から選ばれる化合物と
他の光ラジカル発生剤との合計量に対して、通常、95
重量%以下、好ましくは90重量%以下、さらに好まし
くは85重量%以下である。この場合、他の光ラジカル
発生剤の使用割合が95重量%を超えると、本発明の所
期の効果が損なわれるおそれがある。
【0070】第1発明における光ラジカル発生剤の合計
使用量は、(C)多官能性単量体100重量部に対し
て、通常、0.01〜200重量部、好ましくは1〜1
20重量部、特に好ましくは1〜100重量部である。
この場合、光ラジカル発生剤の合計使用量が0.01重
量部未満では、露光による硬化が不十分となり、画素パ
ターンあるいはブラックマトリックスパターンが所定の
配列に従って配置されたパターンアレイを得ることが困
難となるおそれがあり、一方200重量部を超えると、
形成された画素あるいはブラックマトリックスが現像時
に基板から脱落しやすくなり、また未露光部の基板上あ
るいは遮光層上に地汚れ、膜残り等を生じやすくなる。
さらに、本発明においては、前記光ラジカル発生剤と共
に、必要に応じて、増感剤、硬化促進剤あるいは高分子
光架橋・増感剤の1種以上を併用することもできる。
【0071】添加剤 第1発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物は、必要
に応じて、種々の添加剤を含有することもできる。前記
添加剤としては、カラーフィルタ用感放射線性組成物の
アルカリ現像液に対する溶解特性をより改善し、かつ現
像後の未溶解物の残存をより抑制する作用等を示す、有
機酸または有機アミノ化合物(但し、前記水素供与体を
除く。)等を挙げることができる。
【0072】前記有機酸としては、分子中に1個以上の
カルボキシル基を有し、分子量が1,000以下であ
る、脂肪族カルボン酸あるいはフェニル基含有カルボン
酸が好ましい。前記脂肪族カルボン酸の例としては、ぎ
酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カ
プロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の
モノカルボン酸類;しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グ
ルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼ
ライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、
エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、
テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、
イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メ
サコン酸等のジカルボン酸類;トリカルバリル酸、アコ
ニット酸、カンホロン酸等のトリカルボン酸類等を挙げ
ることができる。
【0073】また、前記フェニル基含有カルボン酸とし
ては、例えば、カルボキシル基が直接フェニル基に結合
した化合物、カルボキシル基が炭素鎖を介してフェニル
基に結合したカルボン酸等を挙げることができる。フェ
ニル基含有カルボン酸の例としては、安息香酸、トルイ
ル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族
モノカルボン酸類;フタル酸、イソフタル酸、テレフタ
ル酸等の芳香族ジカルボン酸類;トリメリット酸、トリ
メシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸等の3価以上
の芳香族ポリカルボン酸類や、フェニル酢酸、ヒドロア
トロパ酸、ヒドロけい皮酸、マンデル酸、フェニルこは
く酸、アトロパ酸、けい皮酸、シンナミリデン酸、クマ
ル酸、ウンベル酸等を挙げることができる。
【0074】これらの有機酸のうち、アルカリ溶解性、
後述する溶媒に対する溶解性、未露光部の基板上あるい
は遮光層上における地汚れや膜残りの防止等の観点か
ら、脂肪族カルボン酸としては、脂肪族ジカルボン酸類
が好ましく、特に、マロン酸、アジピン酸、イタコン
酸、シトラコン酸、フマル酸、メサコン酸等が好まし
い。また、フェニル基含有カルボン酸としては、芳香族
ジカルボン酸類が好ましく、特に、フタル酸が好まし
い。前記有機酸は、単独でまたは2種以上を混合して使
用することができる。有機酸の使用量は、感放射線性組
成物全体に対して、通常、15重量%以下、好ましくは
10重量%以下である。この場合、有機酸の使用量が1
5重量%を超えると、形成された画素あるいはブラック
マトリックスの基板に対する密着性が低下する傾向があ
る。
【0075】また、前記有機アミノ化合物としては、分
子中に1個以上のアミノ基を有し、分子量が1,000
以下である、脂肪族アミンあるいはフェニル基含有アミ
ンが好ましい。前記脂肪族アミンの例としては、n−プ
ロピルアミン、i−プロピルアミン、n−ブチルアミ
ン、i−ブチルアミン、sec−ブチルアミン、t−ブ
チルアミン、n−ペンチルアミン、n−ヘキシルアミ
ン、n−へプチルアミン、n−オクチルアミン、n−ノ
ニルアミン、n−デシルアミン、n−ウンデシルアミ
ン、n−ドデシルアミン、シクロヘキシルアミン、2−
メチルシクロヘキシルアミン、3−メチルシクロヘキシ
ルアミン、4−メチルシクロヘキシルアミン、2−エチ
ルシクロヘキシルアミン、3−エチルシクロヘキシルア
ミン、4−エチルシクロヘキシルアミン等のモノ(シク
ロ)アルキルアミン類;メチルエチルアミン、ジエチル
アミン、メチルn−プロピルアミン、エチルn−プロピ
ルアミン、ジ−n−プロピルアミン、ジ−i−プロピル
アミン、ジ−n−ブチルアミン、ジ−i−ブチルアミ
ン、ジ−sec−ブチルアミン、ジ−t−ブチルアミ
ン、ジ−n−ペンチルアミン、ジ−n−ヘキシルアミ
ン、メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキシ
ルアミン、ジシクロヘキシルアミン等のジ(シクロ)ア
ルキルアミン類;ジメチルエチルアミン、メチルジエチ
ルアミン、トリエチルアミン、ジメチルn−プロピルア
ミン、ジエチルn−プロピルアミン、メチルジ−n−プ
ロピルアミン、エチルジ−n−プロピルアミン、トリ−
n−プロピルアミン、トリ−i−プロピルアミン、トリ
−n−ブチルアミン、トリ−i−ブチルアミン、トリ−
sec−ブチルアミン、トリ−t−ブチルアミン、トリ
−n−ペンチルアミン、トリ−n−ヘキシルアミン、ジ
メチルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシル
アミン、メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシク
ロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミン等のトリ
(シクロ)アルキルアミン類;
【0076】2−アミノエタノール、3−アミノ−1−
プロパノール、1−アミノ−2−プロパノール、4−ア
ミノ−1−ブタノール、5−アミノ−1−ペンタノー
ル、6−アミノ−1−ヘキサノール、4−アミノ−1−
シクロヘキサノール等のモノ(シクロ)アルカノールア
ミン類;ジエタノールアミン、ジ−n−プロパノールア
ミン、ジ−i−プロパノールアミン、ジ−n−ブタノー
ルアミン、ジ−i−ブタノールアミン、ジ−n−ペンタ
ノールアミン、ジ−n−ヘキサノールアミン、ジ(4−
シクロヘキサノール)アミン等のジ(シクロ)アルカノ
ールアミン類;トリエタノールアミン、トリ−n−プロ
パノールアミン、トリ−i−プロパノールアミン、トリ
−n−ブタノールアミン、トリ−i−ブタノールアミ
ン、トリ−n−ペンタノールアミン、トリ−n−ヘキサ
ノールアミン、トリ(4−シクロヘキサノール)アミン
等のトリ(シクロ)アルカノールアミン類;
【0077】3−アミノ−1,2−プロパンジオール、
2−アミノ−1,3−プロパンジオール、4−アミノ−
1,2−ブタンジオール、4−アミノ−1,3−ブタン
ジオール、4−アミノ−1,2−シクロヘキサンジオー
ル、4−アミノ−1,3−シクロヘキサンジオール、3
−ジメチルアミノ−1,2−プロパンジオール、3−ジ
エチルアミノ−1,2−プロパンジオール、2−ジメチ
ルアミノ−1,3−プロパンジオール、2−ジエチルア
ミノ−1,3−プロパンジオール等のアミノ(シクロ)
アルカンジオール類;1−アミノシクロペンタンメタノ
ール、4−アミノシクロペンタンメタノール、1−アミ
ノシクロヘキサンメタノール、4−アミノシクロヘキサ
ンメタノール、4−ジメチルアミノシクロペンタンメタ
ノール、4−ジエチルアミノシクロペンタンメタノー
ル、4−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、4
−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノール等のアミノ
基含有シクロアルカンメタノール類;β−アラニン、2
−アミノ酪酸、3−アミノ酪酸、4−アミノ酪酸、2−
アミノイソ酪酸、3−アミノイソ酪酸、2−アミノ吉草
酸、5−アミノ吉草酸、6−アミノカプロン酸、1−ア
ミノシクロプロパンカルボン酸、1−アミノシクロヘキ
サンカルボン酸、4−アミノシクロヘキサンカルボン酸
等のアミノカルボン酸類等を挙げることができる。
【0078】また、前記フェニル基含有アミンとして
は、例えば、アミノ基が直接フェニル基に結合した化合
物、アミノ基が炭素鎖を介してフェニル基に結合した化
合物等を挙げることができる。フェニル基含有アミンの
例としては、アニリン、2−メチルアニリン、3−メチ
ルアニリン、4−メチルアニリン、4―エチルアニリ
ン、4−n−プロピルアニリン、4−i−プロピルアニ
リン、4−n−ブチルアニリン、4−t−ブチルアニリ
ン、1−ナフチルアミン、2−ナフチルアミン、N,N
−ジメチルアニリン、N,N−ジエチルアニリン、4−
メチル−N,N−ジメチルアニリン等の芳香族アミン
類;2−アミノベンジルアルコール、3−アミノベンジ
ルアルコール、4−アミノベンジルアルコール、4−ジ
メチルアミノベンジルアルコール、4−ジエチルアミノ
ベンジルアルコール等のアミノベンジルアルコール類;
2−アミノフェノール、3―アミノフェノール、4―ア
ミノフェノール、4−ジメチルアミノフェノール、4−
ジエチルアミノフェノール等のアミノフェノール類等を
挙げることができる。
【0079】これらの有機アミノ化合物のうち、後述す
る溶媒に対する溶解性、未露光部の基板上あるいは遮光
層上における地汚れや膜残りの防止等の観点から、脂肪
族アミンとしては、モノ(シクロ)アルカノールアミン
類およびアミノ(シクロ)アルカンジオール類が好まし
く、特に、2−アミノエタノール、3−アミノ−1−プ
ロパノール、5−アミノ−1−ペンタノール、3−アミ
ノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1,3−
プロパンジオール、4−アミノ−1,2−ブタンジオー
ル等が好ましい。また、フェニル基含有アミンとして
は、アミノフェノール類が好ましく、特に、2−アミノ
フェノール、3−アミノフェノール、4−アミノフェノ
ール等が好ましい。前記有機アミノ化合物は、単独でま
たは2種以上混合して使用することができる。有機アミ
ノ化合物の使用量は、感放射線性組成物全体に対して、
通常、15重量%以下、好ましくは10重量%以下であ
る。この場合、有機アミノ化合物の使用量が15重量%
を超えると、形成された画素あるいはブラックマトリッ
クスの基板に対する密着性が低下する傾向がある。
【0080】さらに、前記有機酸、有機アミノ化合物以
外の添加剤としては、例えば、銅フタロシアニン誘導体
等の青色顔料誘導体や黄色顔料誘導体等の分散助剤;ガ
ラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポ
リエチレングリコールモノアルキルエーテル類、ポリ
(フロロアルキルアクリレート)類等の高分子化合物;
ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤;
ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラ
ン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N
−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジ
メトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミ
ノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルト
リエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメト
キシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキ
シシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エ
チルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジ
メトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラ
ン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、
3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促
進剤;2,2’−チオビス(4−メチル−6−t−ブチ
ルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等
の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2
−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾー
ル、アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤;ポ
リアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤;1,1’−ア
ゾビス(シクロヘキサン−1−カルボニトリル)、2−
フェニルアゾ−4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロ
ニトリル等の熱ラジカル発生剤等を挙げることができ
る。
【0081】溶媒 第1発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物は、前記
(A)〜(D)成分を必須成分とし、必要に応じて前記
添加剤成分を含有するが、通常、溶媒を配合して液状組
成物として調製される。前記溶媒としては、感放射線性
組成物を構成する(A)〜(D)成分や添加剤成分を分
散または溶解し、かつこれらの成分と反応せず、適度の
揮発性を有するものである限り、適宜に選択して使用す
ることができる。このような溶媒の例としては、エチレ
ングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコール
モノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−プ
ロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチル
エーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、
ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレン
グリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジエチレング
リコールモノ−n−ブチルエーテル、トリエチレングリ
コールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモ
ノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエ
ーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プ
ロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、プロ
ピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジプロピ
レングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリ
コールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモ
ノ−n−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモ
ノ−n−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモ
ノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチ
ルエーテル等の(ポリ)アルキレングリコールモノアル
キルエーテル類;
【0082】エチレングリコールモノメチルエーテルア
セテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセ
テート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセ
テート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセ
テート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセ
テート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセ
テート等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキル
エーテルアセテート類;ジエチレングリコールジメチル
エーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテ
ル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒ
ドロフラン等の他のエーテル類;メチルエチルケトン、
シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等
のケトン類;2−ヒドロキシプロピオン酸メチル、2−
ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステ
ル類;2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチ
ル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプ
ロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、
3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチ
ル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチ
ルブタン酸メチル、3−メチル−3−メトキシブチルア
セテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネ
ート、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸i−プロピ
ル、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−アミ
ル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エ
チル、酪酸n−プロピル、酪酸i−プロピル、酪酸n−
ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビ
ン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチ
ル、2−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類;ト
ルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;N−メチルピ
ロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジ
メチルアセトアミド等のアミド類等を挙げることができ
る。
【0083】これらの溶媒のうち、溶解性、顔料分散
性、塗布性等の観点から、プロピレングリコールモノメ
チルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル
アセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル
アセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル
アセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、
ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘ
キサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、2−ヒド
ロキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸
エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキ
シプロピオン酸エチル、3−メチル−3−メトキシブチ
ルプロピオネート、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、
ぎ酸n−アミル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブ
チル、酪酸エチル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチ
ル、ピルビン酸エチル等が好ましい。前記溶媒は、単独
でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0084】また、前記溶媒と共に、ベンジルエチルエ
ーテル、ジ−n−ヘキシルエーテル、アセトニルアセト
ン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタ
ノール、1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベ
ンジル、安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マレイン
酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸
プロピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテル
アセテート等の高沸点溶媒を併用することもできる。こ
れらの高沸点溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して
使用することができる。溶媒の使用量は、特に限定され
るものではないが、得られる感放射線性組成物の塗布
性、安定性等の観点から、当該組成物の溶媒を除いた各
成分の合計濃度が、通常、5〜50重量%、好ましくは
10〜40重量%となる量が望ましい。
【0085】カラーフィルタの形成方法 次に、第1発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物を
用いて、第2発明のカラーフィルタを形成する方法につ
いて説明する。まず、基板の表面上に、必要に応じて、
画素を形成する部分を区画するように遮光層を形成し、
この基板上に、例えば赤色の顔料が分散された感放射線
性組成物の液状組成物を塗布したのち、プレベークを行
って溶剤を蒸発させ、塗膜を形成する。次いで、この塗
膜にフォトマスクを介して露光したのち、アルカリ性現
像液を用いて現像して、塗膜の未露光部を溶解除去し、
その後ポストベークすることにより、赤色の画素パター
ンが所定の配列で配置された画素アレイを形成する。そ
の後、緑色または青色の顔料が分散された各感放射線性
組成物の液状組成物を用い、前記と同様にして、各液状
組成物の塗布、プレベーク、露光、現像およびポストベ
ークを行って、緑色の画素アレイおよび青色の画素アレ
イを同一基板上に順次形成することにより、赤色、緑色
および青色の三原色の画素アレイが基板上に配置された
カラーフィルタを得る。
【0086】感放射線性組成物の液状組成物を基板に塗
布する際には、回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の適
宜の塗布法を採用することができる。塗布厚さは、乾燥
後の膜厚として、通常、0.1〜10μm、好ましくは
0.2〜8.0μm、特に好ましくは0.2〜6.0μm
である。カラーフィルタを作製する際に使用される放射
線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、電
子線、X線等を使用することができるが、波長が190
〜450nmの範囲にある放射線が好ましい。放射線の
露光量は、好ましくは10〜10,000J/m2 であ
る。また、前記アルカリ現像液としては、例えば、炭酸
ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テト
ラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コリン、
1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデ
セン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]−5−
ノネン等の水溶液が好ましい。前記アルカリ現像液に
は、例えばメタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤
や界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、ア
ルカリ現像後は、通常、水洗する。現像処理法として
は、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸
漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適用すること
ができる。現像条件は、常温で5〜300秒が好まし
い。また、第2発明におけるブラックマトリックスは、
第1発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物を用い、
前記画素アレイの場合と同様にして形成することができ
る。
【0087】画素および/またはブラックマトリックス
を備えたカラーフィルタを形成する際に使用される基板
としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボネー
ト、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミ
ド、ポリイミド等を挙げることができる。また、これら
の基板には、所望により、シランカップリング剤等によ
る薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、ス
パッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理
を施しておくこともできる。このようにして得られた第
2発明のカラーフィルタは、例えば、透過型あるいは反
射型のカラー液晶表示装置、カラー撮像管素子、カラー
センサー等に極めて有用である。さらに、第2発明のカ
ラーフィルタの1つの実施の形態として、第1発明のカ
ラーフィルタ用感放射線性組成物を用いて、薄膜トラン
ジスタ基板アレイ上に、前述したようにして画素および
/またはブラックマトリックスを形成することにより、
特に優れた特性を有する液晶ディスプレイを作製するこ
とができる。
【0088】
【発明の実施の形態】本発明のカラーフィルタ用感放射
線性組成物は、前記(A)〜(D)成分を必須成分とし
て含有するものであるが、特に好ましい組成物を具体的
に例示すると、下記(イ)〜(ホ)のとおりである。 (イ) (B)アルカリ可溶性樹脂がカルボキシル基含
有共重合体(I)を含むカラーフィルタ用感放射線性組
成物。 (ロ) (C)多官能性単量体がトリメチロールプロパ
ントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリ
レートおよびジペンタエリスリトールヘキサアクリレー
トの群から選ばれる少なくとも1種からなる前記(イ)
のカラーフィルタ用感放射線性組成物。 (ハ) (D)光ラジカル発生剤が光ラジカル発生剤
(1)を含む前記(イ)または(ロ)のカラーフィルタ
用感放射線性組成物。 (ニ) 光ラジカル発生剤(1)が光ラジカル発生剤
(1−α)を含む前記(ハ)のカラーフィルタ用感放射
線性組成物。 (ホ) (A)着色剤が有機顔料および/またはカーボ
ンブラックを含む前記(イ)、(ロ)、(ハ)または
(ニ)のカラーフィルタ用感放射線性組成物。また、第
2発明の好ましいカラーフィルタは、 (ヘ) 前記(イ)、(ロ)、(ハ)、(ニ)または
(ホ)のカラーフィルタ用感放射線性組成物から形成さ
れた画素および/またはブラックマトリックスを備えて
いる。
【0089】
【実施例】以下、実施例を挙げて、本発明の実施の形態
をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、下記実施
例に限定されるものではない。 実施例1 (A)着色剤としてC.I.ピグメントレッド177とC.I.
ピグメントレッド224との65/35(重量比)混合
物100重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタ
クリル酸/スチレン/ベンジルメタクリレート/グリセ
ロールモノメタクリレート/N−フェニルマレイミド共
重合体(共重合重量比=15/15/35/10/2
5、Mw=30,000、Mn=10,000)70重
量部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリト
ールヘキサアクリレート80重量部、(D)光重合開始
剤として光ラジカル発生剤(1−α)10重量部と2−
ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリ
ノフェニル)ブタノン−1を30重量部、および溶媒と
してプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテー
ト1,000重量部を混合して、感放射線性組成物の液
状組成物(R1)を調製した。 〈カラーフィルタの形成〉液状組成物(R1)を、表面
にナトリウムイオンの溶出を防止するSiO2 膜が形成
されたソーダガラス基板表面上に、スピンコーターを用
いて塗布したのち、90℃のクリーンオーブン内で10
分間プレベークを行って、膜厚1.7μmの塗膜を形成
した。次いで、この基板を室温に冷却したのち、高圧水
銀ランプを用い、フォトマスクを介して、塗膜に365
nm、405nmおよび436nmの各波長を含む紫外
線を800J/m2 の露光量で露光した。その後、この
基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液に
1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄して、風
乾した。その後、220℃のクリーンオーブン内で25
分間ポストベークを行なって、基板上に赤色のストライ
プ状カラーフィルタを形成した。
【0090】〈評価〉得られた画素アレイを光学顕微鏡
にて観察したところ、未露光部の基板上には現像残さは
認められず、かつ画素パターンのエッジにスカムは認め
られなかった。また、画素アレイの残膜率は95%と良
好であり、画素パターンの断面を走査型電子顕微鏡(S
EM)にて観察したところ、アンダーカットは認められ
なかった。しかも、得られた画素の基板との密着性も優
れていた。さらに、得られたカラーフィルタの表面平滑
性をデジタルインスツルメント社製Nano Scop
e III を用いて測定したところ、42Åであった。
【0091】実施例2 (A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン36とC.I.
ピグメントイエロー150との70/30(重量比)混
合物95重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタ
クリル酸/スチレン/ベンジルメタクリレート/グリセ
ロールモノメタクリレート/N−フェニルマレイミド共
重合体(共重合重量比=15/15/35/10/2
5、Mw=35,000、Mn=17,500)60重
量部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリト
ールヘキサアクリレート90重量部、(D)光重合開始
剤として光ラジカル発生剤(1−α)40重量部、およ
び溶媒として3−エトキシプロピオン酸エチルとシクロ
ヘキサノンとの90/10(重量比)1,000重量部
を混合して、感放射線性組成物の液状組成物(G1)を
調製した。次いで、液状組成物(R1)に代えて液状組
成物(G1)を用いた以外は、実施例1と同様にして、
基板上に緑色のストライプ状カラーフィルタを形成し
た。
【0092】〈評価〉得られた画素アレイを光学顕微鏡
にて観察したところ、未露光部の基板上には現像残さは
認められず、かつ画素パターンのエッジにスカムは認め
られなかった。また、画素アレイの残膜率は90%と良
好であり、画素パターンの断面を走査型電子顕微鏡(S
EM)にて観察したところ、アンダーカットは認められ
なかった。しかも、得られた画素の基板との密着性も優
れていた。さらに、得られたカラーフィルタの表面平滑
性をデジタルインスツルメント社製Nano Scop
e III を用いて測定したところ、45Åであった。
【0093】実施例3 (A)着色剤としてC.I.ピグメントブルー15:6を1
00重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタクリ
ル酸/スチレン/ベンジルメタクリレート/グリセロー
ルモノメタクリレート/N−フェニルマレイミド共重合
体(共重合重量比=15/15/35/10/25、M
w=35,000、Mn=17,500)67重量部、
(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘ
キサアクリレート83重量部、単官能単量体として、こ
はく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)7重量部、
(D)光重合開始剤として光ラジカル発生剤(1−α)
40重量部、添加剤としてA−60(商品名、花王
(株)製ノニオン系界面活性剤)7重量部とシトランコ
ン酸3重量部、および溶媒としてプロピレングリコール
モノメチルエーテルアセテート1,000重量部を混合
して、感放射線性組成物の液状組成物(B1)を調製し
た。次いで、液状組成物(R1)に代えて液状組成物
(B1)を用いた以外は、実施例1と同様にして、基板
上に青色のストライプ状カラーフィルタを形成した。
【0094】〈評価〉得られた画素アレイを光学顕微鏡
にて観察したところ、未露光部の基板上には現像残さは
認められず、かつ画素パターンのエッジにスカムは認め
られなかった。また、画素アレイの残膜率は90%と良
好であり、画素パターンの断面を走査型電子顕微鏡(S
EM)にて観察したところ、アンダーカットは認められ
なかった。しかも、得られた画素の基板との密着性も優
れていた。さらに、得られたカラーフィルタの表面平滑
性をデジタルインスツルメント社製Nano Scop
e III を用いて測定したところ、46Åであった。
【0095】実施例4 (A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン7とC.I.ピ
グメントイエロー83との70/30(重量比)混合物
90重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタクリ
ル酸/ω−カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレ
ート/スチレン/ベンジルメタクリレート/グリセロー
ルモノメタクリレート/N−フェニルマレイミド共重合
体(共重合重量比=15/10/11.2/35/10
/18.8、Mw=40,000、Mn=20,00
0)75重量部、(C)多官能性単量体としてジペンタ
エリスリトールヘキサアクリレート75重量部、(D)
光重合開始剤として光ラジカル発生剤(1−α)15重
量部と2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−
モルフォリノフェニル)ブタノン−1を15重量部と
2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール3重量部、水素供与体として4,4’−ビス(ジ
エチルアミノ)ベンゾフェノン3重量部と2−メルカプ
トベンゾチアゾール1.5重量部、および溶媒としてプ
ロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート1,
000重量部を混合して、感放射線性組成物の液状組成
物(G2)を調製した。次いで、液状組成物(R1)に
代えて液状組成物(G2)を用いた以外は、実施例1と
同様にして、基板上に緑色のストライプ状カラーフィル
タを形成した。
【0096】〈評価〉得られた画素アレイを光学顕微鏡
にて観察したところ、未露光部の基板上には現像残さは
認められず、かつ画素パターンのエッジにスカムは認め
られなかった。また、画素アレイの残膜率は92%と良
好であり、画素パターンの断面を走査型電子顕微鏡(S
EM)にて観察したところ、アンダーカットは認められ
なかった。しかも、得られた画素の基板との密着性も優
れていた。さらに、得られたカラーフィルタの表面平滑
性をデジタルインスツルメント社製Nano Scop
e III を用いて測定したところ、36Åであった。
【0097】実施例5 (A)着色剤としてC.I.ピグメントレッド177とC.I.
ピグメントレッド224との65/35(重量比)混合
物100重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタ
クリル酸/2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ベン
ジルメタクリレート共重合体(共重合重量比=15/1
5/70、Mw=20,000、Mn=9,000)7
5重量部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリス
リトールヘキサアクリレート75重量部、(D)光重合
開始剤として光ラジカル発生剤(1−α)40重量部、
および溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエー
テルアセテート1,000重量部を混合して、感放射線
性組成物の液状組成物(R2)を調製した。次いで、液
状組成物(R1)に代えて液状組成物(R2)を用いた
以外は、実施例1と同様にして、基板上に赤色のストラ
イプ状カラーフィルタを形成した。
【0098】(評価)得られた画素アレイを光学顕微鏡
にて観察したところ、未露光部の基板上には現像残さは
認められず、かつ画素パターンのエッジにスカムは認め
られなかった。また、画素アレイの残膜率は91%と良
好であり、画素パターンの断面を走査型電子顕微鏡(S
EM)にて観察したところ、アンダーカットは認められ
なかった。しかも、得られた画素の基板との密着性も優
れていた。さらに、得られたカラーフィルタの表面平滑
性をデジタルインスツルメント社製Nano Scop
e III を用いて測定したところ、50Åであった。
【0099】比較例1 (D)光重合開始剤として光ラジカル発生剤(1−α)
を添加しなかった以外は、実施例1と同様にして、感放
射線性組成物(r1)を調製した。次いで、液状組成物
(R1)に代えて液状組成物(r1)を用いた以外は、
実施例1と同様にして、基板上に赤色のストライプ状カ
ラーフィルタを形成した。 〈評価〉得られた画素アレイを光学顕微鏡にて観察した
ところ、未露光部の基板上に現像残さが認められ、かつ
画素パターンのエッジにはスカムが認められた。また、
画素アレイの残膜率は75%であり、画素パターンの断
面を走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察したところ、
アンダーカットが認められた。さらに、得られたカラー
フィルタの表面平滑性をデジタルインスツルメント社製
Nano Scope III を用いて測定したところ、
85Åであった。
【0100】比較例2 (D)光重合開始剤として、光ラジカル発生剤(1−
α)の代わりに、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−
1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1を同一
重量部使用した以外は、実施例3と同様にして、感放射
線性組成物(b1)を調製した。次いで、液状組成物
(R1)に代えて液状組成物(b1)を用いた以外は、
実施例1と同様にして、基板上に青色のストライプ状カ
ラーフィルタを形成した。 〈評価〉得られた画素アレイを光学顕微鏡にて観察した
ところ、未露光部の基板上に現像残さが認められ、かつ
画素パターンのエッジにはスカムが認められた。また、
画素アレイの残膜率は78%であり、画素パターンの断
面を走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察したところ、
アンダーカットが認められ、得られた画素の基板との密
着性も不十分であり、部分的に基板から剥離しているの
が観察された。さらに、得られたカラーフィルタの表面
平滑性をデジタルインスツルメント社製Nano Sc
ope III を用いて測定したところ、78Åであっ
た。
【0101】
【発明の効果】本発明のカラーフィルタ用感放射線性組
成物は、放射線に対する感度の高い特定の化合物を必須
成分とする光ラジカル発生剤を用いることにより、顔料
を高濃度で含む場合においても、現像時に未露光部の基
板上および遮光層上に未溶解物が残存したり、画素パタ
ーンおよびブラックマトリックスパターンのエッジにス
カムを生じたりすることがなく、しかもアンダーカット
のない良好な画素パターンおよびブラックマトリックス
パターンを形成することができる。さらに、本発明のカ
ラーフィルター用感放射線性組成物を用いて形成された
画素およびブラックマトリックスは、表面平滑性が高
く、また基板との密着性も優れている。したがって、本
発明のカラーフィルター用感放射線性組成物は、電子工
業分野におけるカラー液晶表示装置用カラーフィルタを
始めとする各種のカラーフィルタの製造に極めて好適に
使用することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G03F 7/027 502 G03F 7/027 502 7/028 7/028 (72)発明者 神井 英行 東京都中央区築地二丁目11番24号 ジェイ エスアール株式会社内 Fターム(参考) 2H025 AA03 AA04 AA18 AB11 AB13 AC01 AD01 BC14 BC34 BC43 CA01 CC12 FA17 2H048 BA02 BA11 BA15 BA16 BA17 BA25 BA28 BA29 BB02 BB14 BB42 BB46 2H091 FA02Y FA35Y FB02 FC10 FC12 FC22 FC23 FC26 4J002 BC04W BG01W BG02W BG03W BG04W BG05W BQ00X ES016 FD206 GP00

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹
    脂、(C)多官能性単量体および(D)下記式(1)、
    式(2)、式(3)または式(4)で表される化合物の
    群から選ばれる少なくとも1種を必須成分とする光ラジ
    カル発生剤を含有することを特徴とするカラーフィルタ
    用感放射線性組成物。 【化1】 〔式(1)において、R1 はフェニル基(但し、炭素数
    1〜6のアルキル基、フェニル基、ハロゲン原子、−O
    8 、−SR9 もしくは−N(R10)(R11)の1個以上
    で置換されてもよい。)、炭素数1〜20のアルキル基
    (但し、アルキル基の炭素数が2〜20の場合、主鎖炭
    素原子間に1個以上の酸素原子を有するか、および/ま
    たは1個以上の水酸基で置換されてもよい。)、炭素数
    5〜8のシクロアルキル基、炭素数2〜20のアルカノ
    イル基、ベンゾイル基(但し、炭素数1〜6のアルキル
    基、フェニル基、−OR8 、−SR9 もしくは−N(R
    10)(R11)の1個以上で置換されてもよい。)、炭素数
    2〜12のアルコキシカルボニル基(但し、アルコキシ
    ル基の炭素数が2〜11の場合、該アルコキシル基は主
    鎖炭素原子間に1個以上の酸素原子を有するか、および
    /または1個以上の水酸基で置換されてもよい。)、フ
    ェノキシカルボニル基(但し、炭素数1〜6のアルキル
    基、フェニル基、ハロゲン原子、−OR8 もしくは−N
    (R10)(R11)の1個以上で置換されてもよい。)、シ
    アノ基、ニトロ基、−CON(R10)(R11)、炭素数1
    〜4のハロアルキル基、−S(O)m−R12(但し、R12
    は炭素数1〜6のアルキル基を示し、mは1または2で
    ある。)、−S(O)m−R13(但し、R13は炭素数6〜
    12のアリール基を示し、炭素数1〜12のアルキル基
    で置換されてもよく、mは1または2である。)、炭素
    数1〜6のアルコキシスルホニル基、炭素数6〜10の
    アリーロキシスルホニル基、またはジフェニルホスフィ
    ノイル基を示し;R2 は炭素数2〜12のアルカノイル
    基(但し、ハロゲン原子もしくはシアノ基の1個以上で
    置換されてもよい。)、その二重結合がカルボニル基と
    共役していない炭素数4〜6のアルケノイル基、ベンゾ
    イル基(但し、炭素数1〜6のアルキル基、ハロゲン原
    子、シアノ基、−OR8 、−SR9 もしくは−N
    (R10)(R11)の1個以上で置換されていてもよ
    い。)、炭素数2〜6のアルコキシカルボニル基、また
    はフェノキシカルボニル基(但し、炭素数1〜6のアル
    キル基もしくはハロゲン原子の1個以上で置換されても
    よい。)を示し;R3 、R4 、R5 、R6 およびR7
    相互に独立に水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜12
    のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、
    またはフェニル基(但し、−OR8 、−SR9 もしくは
    −N(R10)(R11)の1個以上で置換されていてもよ
    い。)、ベンジル基、ベンゾイル基、炭素数2〜12の
    アルカノイル基、炭素数2〜12のアルコキシカルボニ
    ル基(但し、アルコキシル基の炭素数が2〜11の場
    合、該アルコキシル基は主鎖炭素原子間に1個以上の酸
    素原子を有するか、および/または1個以上の水酸基で
    置換されてもよい。)、フェノキシカルボニル基、−O
    8(但し、R8 はフェニル環中もしくはフェニル環への
    置換基中の炭素原子の一つと共に、5−員環もしくは6
    −員環を形成してもよい。)、−SR9(但し、R9 はフ
    ェニル環中のもしくはフェニル環への置換基中の炭素原
    子の一つと共に、5−員環もしくは6−員環を形成して
    もよい。)、−S(O)R9(但し、R9 はフェニル環中
    のもしくはフェニル環への置換基中の炭素原子の一つと
    共に、5−員環もしくは6−員環を形成してもよ
    い。)、−SO2 9(但し、R9 はフェニル環中のもし
    くはフェニル環への置換基中の炭素原子の一つと共に、
    5−員環もしくは6−員環を形成してもよい。)、また
    は−N(R10)(R11)(但し、R10および/またはR11
    はフェニル環中のもしくはフェニル環への置換基中の炭
    素原子の一つと共に、5−員環もしくは6−員環を形成
    してもよい。)を示し、かつR3 、R4 、R5 、R6
    よびR7 の少なくとも一つは−OR8 、−SR9 または
    −N(R10)(R11)であり;R8 は水素原子、炭素数1
    〜12のアルキル基、置換された炭素数2〜6のアルキ
    ル基{但し、置換基は、水酸基、メルカプト基、シアノ
    基、炭素数1〜4のアルコキシル基、炭素数3〜6のア
    ルケニルオキシ基、2−シアノエトキシ基、炭素数4〜
    7の2−(アルコキシカルボニル)エトキシ基、炭素数
    2〜5のアルキルカルボニルオキシ基、フェニルカルボ
    ニルオキシ基、カルボキシル基もしくは炭素数2〜5の
    アルコキシカルボニル基の1個以上からなる。}、主鎖
    炭素原子間に1個以上の酸素原子を有する炭素数2〜6
    のアルキル基、炭素数2〜8のアルカノイル基、−(C
    2 CH2 O)nH(但し、nは1〜20の整数であ
    る。)、炭素数3〜12のアルケニル基、炭素数3〜6
    のアルケノイル基、シクロヘキシル基、フェニル基(但
    し、ハロゲン原子、炭素数1〜12のアルキル基もしく
    は炭素数1〜4のアルコキシル基で置換されてもよ
    い。)、炭素数7〜9のフェニルアルキル基、−Si
    (R14)r(R15)3-r(但し、R14は炭素数1〜8のアル
    キル基を示し、R15はフェニル基を示し、rは1〜3の
    整数である。)、下記式で表される基 【化2】 、または下記式で表される基 【化3】 を示し;R9 は水素原子、炭素数1〜12のアルキル
    基、炭素数3〜12のアルケニル基、シクロヘキシル
    基、置換された炭素数2〜6のアルキル基{但し、置換
    基は、水酸基、メルカプト基、シアノ基、炭素数1〜4
    のアルコキシル基、炭素数3〜6のアルケニルオキシ
    基、2−シアノエトキシ基、炭素数4〜7の2−(アル
    コキシカルボニル)エトキシ基、炭素数2〜5のアルキ
    ルカルボニルオキシ基、フェニルカルボニルオキシ基、
    カルボキシル基もしくは炭素数2〜5のアルコキシカル
    ボニル基の1個以上からなる。}、主鎖炭素原子間に1
    個以上の酸素原子もしくは硫黄原子を有する炭素数2〜
    12のアルキル基、フェニル基(但し、ハロゲン原子、
    炭素数1〜12のアルキル基もしくは炭素数1〜4のア
    ルコキシル基で置換されてもよい。)、炭素数7〜9の
    フェニルアルキル基、下記式で表される基 【化4】 、または下記式で表される基 【化5】 を示し;R10およびR11は相互に独立に水素原子、炭素
    数1〜12のアルキル基、炭素数2〜4のヒドロキシア
    ルキル基、炭素数2〜10のアルコキシアルキル基、炭
    素数3〜5のアルケニル基、炭素数5〜12のシクロア
    ルキル基、炭素数7〜9のフェニルアルキル基、フェニ
    ル基(但し、炭素数1〜12のアルキル基もしくは炭素
    数1〜4のアルコキシル基の1個以上で置換されてもよ
    い。)、炭素数2〜3のアルカノイル基、炭素数3〜6
    のアルケノイル基、ベンゾイル基を示すか、あるいはR
    10とR11が一緒になって炭素数2〜6のアルキレン基
    (但し、主鎖炭素原子間に1個以上の酸素原子もしくは
    −NR8 −を有するか、および/または水酸基、炭素数
    1〜4のアルコキシル基、炭素数2〜4のアルカノイル
    オキシ基もしくはベンゾイルオキシ基の1個以上で置換
    されてもよい。)を示すか、あるいはR10が水素原子の
    とき、R11は下記式で表される基 【化6】 、または下記式で表される基 【化7】 を示し;R16は炭素数2〜12のアルコキシカルボニル
    基(但し、アルコキシル基の炭素数が2〜11の場合、
    該アルコキシル基は主鎖炭素原子間に1個以上の酸素原
    子を有するか、および/または1個以上の水酸基で置換
    されてもよい。)、フェノキシカルボニル基(但し、炭
    素数1〜6のアルキル基、ハロゲン原子、フェニル基、
    −OR8 もしくは−N(R10)(R11)の1個以上で置換
    されていてもよい。)、炭素数5〜8のシクロアルキル
    基、−CON(R10)(R11)、シアノ基、置換されたフ
    ェニル基(但し、置換基は−SR9 である。)、または
    炭素数1〜12のアルキル基(但し、ハロゲン原子、水
    酸基、−OR2 、フェニル基、ハロゲン化フェニル基も
    しくは−SR9 の1個以上で置換されるか、および/ま
    たは主鎖炭素原子間に酸素原子もしくは−NH(CO)
    −の1個以上を有してもよい。)を示し;M1 は直接結
    合または−R17−O−を示し;M2 は直接結合または−
    17−S−を示し;M3 は直接結合、ピペラジノ基また
    は−R17−NH−を示し;R17は炭素数1〜12のアル
    キレン基を示し、その炭素数が2〜12の場合、主鎖炭
    素原子間に酸素原子、硫黄原子もしくは−NR10−の1
    〜5個を有してもよい。)〕 【化8】 〔式(2)において、R2 、R3 、R4 、R5 、R6
    よびR7 は式(1)のそれぞれR2 、R3 、R4
    5 、R6 およびR7 と同義であり;Mは炭素数1〜1
    2のアルキレン基、シクロヘキシレン基、フェニレン
    基、−COO−R18−OCO−、−COO−(CH2
    2 O)n−CO−(但し、nは1〜20の整数であ
    る。)、または−CO−R18−CO−を示し;R18は炭
    素数2〜12のアルキレン基を示す。〕 【化9】 〔式(3)において、R2 は式(1)のR2 と同義であ
    り;R19は炭素数2〜12のアルコキシカルボニル基
    (但し、アルコキシル基の炭素数が2〜11の場合、該
    アルコキシル基は主鎖炭素原子間に1個以上の酸素原子
    を有するか、および/または1個以上の水酸基で置換さ
    れてもよい。)、フェノキシカルボニル基(但し、炭素
    数1〜6のアルキル基、ハロゲン原子、フェニル基、−
    OR8 もしくは−N(R10)(R11)の1個以上で置換さ
    れていてもよい。)、炭素数5〜8のシクロアルキル
    基、−CON(R10)(R11)、シアノ基、または置換さ
    れたフェニル基(但し、置換基は−SR9 である。)を
    示すか、あるいはR20、R21およびR22を有するフェニ
    ル環中の炭素原子と結合して、基R9 を介し5−員環も
    しくは6−員環を形成してもよく、あるいはR20、R21
    およびR22の少なくとも1個が−SR9 のとき、炭素数
    1〜12のアルキル基{但し、炭素数が2〜12の場
    合、主鎖炭素原子間に酸素原子もしくは−NH(CO)
    −の1個以上を有するか、および/またはハロゲン原
    子、水酸基、−OR2 、フェニル基、ハロゲン化フェニ
    ル基もしくは置換フェニル基(但し、置換基は−SR9
    である。)の1個以上で置換されてもよい。}を示し;
    20、R21およびR22は相互に独立に水素原子、ハロゲ
    ン原子、炭素数1〜12のアルキル基、シクロペンチル
    基、シクロヘキシル基、フェニル基(但し、−OR8
    −SR9 もしくは−N(R10)(R11)の1個以上で置換
    されてもよい。)、ベンジル基、ベンゾイル基、炭素数
    2〜12のアルカノイル基、炭素数2〜12のアルコキ
    シカルボニル基(但し、アルコキシル基の炭素数が2〜
    11の場合、該アルコキシル基は主鎖炭素原子間に1個
    以上の酸素原子を有するか、および/または水酸基の1
    個以上で置換されてもよい。)、フェノキシカルボニル
    基、−OR8(但し、R8 はフェニル環中のもしくはフェ
    ニル環への置換基中の炭素原子の一つと共に、5−員環
    もしくは6−員環を形成してもよい。)、−SR9(但
    し、R9 はフェニル環中のもしくはフェニル環への置換
    基中の炭素原子の一つと共に、5−員環もしくは6−員
    環を形成してもよい。)、−S(O)R9 、−SO2
    9 、または−N(R10)(R11)(但し、R10および/ま
    たはR11はフェニル環中のもしくはフェニル環への置換
    基中の炭素原子の一つと共に、5−員環もしくは6−員
    環を形成してもよい。)を示し、かつR20、R21および
    22の少なくとも一つは−OR8 、−SR9 または−N
    (R10)(R11)であり、;R8 ,R9 、R10およびR11
    は式(1)のそれぞれR8 ,R9 、R10およびR11と同
    義である。〕 【化10】 〔式(4)において、R2 およびMは式(1)のそれぞ
    れR2 およびMと同義であり;R20、R21およびR22
    式(3)のそれぞれR20、R21およびR22と同義であ
    る。〕
  2. 【請求項2】 (D)光ラジカル発生剤が下記式(5)
    で表される化合物を必須成分とする請求項1記載のカラ
    ーフィルタ用感放射線性組成物。 【化11】
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2記載のカラーフ
    ィルタ用感放射線性組成物から形成された画素および/
    またはブラックマトリックスを備えたことを特徴とする
    カラーフィルタ。
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