JP2000310707A - カラーフィルタ用感放射線性組成物およびカラーフィルタ - Google Patents

カラーフィルタ用感放射線性組成物およびカラーフィルタ

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JP2000310707A JP12070299A JP12070299A JP2000310707A JP 2000310707 A JP2000310707 A JP 2000310707A JP 12070299 A JP12070299 A JP 12070299A JP 12070299 A JP12070299 A JP 12070299A JP 2000310707 A JP2000310707 A JP 2000310707A
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pigment
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幸一 櫻井
Hideyuki Kamii
英行 神井
Takahiro Sakai
孝広 坂井
Takeshi Watanabe
毅 渡邉
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 トリアジン系化合物を含む光重合開始剤を使
用する際に、放射線の照射時にマスク付着物を生じるこ
とがなく、かつ現像性が優れ、また基板および遮光層へ
の密着性にも優れた画素を与えることができるカラーフ
ィルタ用感放射線性組成物、並びに該組成物から形成さ
れたカラーフィルタを提供する。 【解決手段】 カラーフィルタ用感放射線性組成物は、
(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官
能性単量体、(D)トリアジン系化合物を含む光重合開
始剤、および(E)分子中に1個以上のアミノ基を有す
る有機アミノ化合物を含有することを特徴とする。カラ
ーフィルタは、前記カラーフィルタ用感放射線性組成物
から形成された画素を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルタ用
感放射線性組成物およびカラーフィルタに関わり、より
詳しくは、放射線の照射時にマスク付着物を生じること
がなく、かつ現像性等にも優れた、透過型あるいは反射
型のカラー液晶表示装置、カラー撮像管素子等に用いら
れるカラーフィルタの製造に有用なカラーフィルタ用感
放射線性組成物、並びに該カラーフィルタ用感放射線性
組成物から形成されたカラーフィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、着色感放射線性組成物を用いてカ
ラーフィルタを製造するに当たっては、基板上あるいは
予め所望のパターンの遮光層を形成した基板上に、着色
感放射線性組成物を塗布して乾燥したのち、乾燥塗膜に
所望のパターン形状に放射線を照射(以下、「露光」と
いう。)し、現像することにより、各色の画素を得る形
成方法(特開平2−144502号公報および特開平3
−53201号公報参照)が知られている。しかしなが
ら、このような方法により得られるカラーフィルタの場
合、現像時に未露光部の基板上あるいは遮光層上に残渣
や地汚れを生じる場合があり、従来の着色感放射線性組
成物では、このような残渣や地汚れをブラシ洗浄などで
除去する際に、画素表面を傷つけたり、パターンの欠け
が生じたりして、パターン不良の大きな原因になってい
た。また、光重合開始剤としてハロメチルオキサジアゾ
ール系化合物やハロメチル−s−トリアジン系化合物を
用いたカラーフィルタ用感放射線性組成物において、こ
れらの化合物から副生するハロゲン化水素の影響を抑え
るために、(ジ)グリシジルエーテル等のエポキシ基を
有する有機化合物や、エポキシ樹脂を配合する技術が提
案されている(特開平1−254918号(特公平8−
95238号)公報および特開平8−94824号公報
参照)。これらのカラーフィルタ用感放射線性組成物で
は、電気的・化学的安定性に優れたカラーフィルタを作
製でき、あるいはマスク付着物を抑制できるとされてい
るが、特に、ハロメチル−s−トリアジン系化合物のよ
うなトリアジン系化合物を使用する場合のマスク付着物
を抑制する点において未だ十分ではなかった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明の課題
は、トリアジン系化合物を含む光重合開始剤を使用する
際に、露光時にマスク付着物を生じることがなく、かつ
現像性が優れ、また基板および遮光層への密着性にも優
れた画素を与えることができる新規なカラーフィルタ用
感放射線性組成物、並びに該カラーフィルタ用感放射線
性組成物から形成されたカラーフィルタを提供すること
にある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、本発明
の前記課題は、第一に、(A)着色剤、(B)アルカリ
可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、(D)トリアジン
系化合物を含む光重合開始剤、および(E)分子中に1
個以上のアミノ基を有する有機アミノ化合物を含有する
ことを特徴とするカラーフィルタ用感放射線性組成物
(以下、「第1発明」ともいう。)、によって達成され
る。
【0005】本発明によれば、本発明の前記課題は、第
二に、(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、
(C)多官能性単量体、(D)トリアジン系化合物を含
む光重合開始剤、および(E)分子中に1個以上のアミ
ノ基を有する有機アミノ化合物を含有するカラーフィル
タ用感放射線性組成物から形成された画素を有すること
を特徴とするカラーフィルタ(以下、「第2発明」とも
いう。)、によって達成される。本発明でいう「放射
線」は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等
を含むものを意味する。
【0006】以下に、本発明について詳細に説明する。(A)着色剤 本発明における着色剤は、色調が特に限定されるもので
はなく、得られるカラーフィルタの用途に応じて適宜選
定され、顔料、染料あるいは天然色素の何れでもよい。
カラーフィルタには高精細な発色と耐熱性が求められる
ことから、第1発明における着色剤としては、発色性が
高く、かつ耐熱性の高い着色剤、特に耐熱分解性の高い
着色剤が好ましく、通常、顔料、特に好ましくは有機顔
料が用いられる。
【0007】前記有機顔料としては、例えば、カラーイ
ンデックス(C.I.;The Society ofDyers and Colouris
ts 社発行) においてピグメント(Pigment)に分類され
ている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデ
ックス(C.I.)番号が付されているものを挙げることが
できる。C.I.ピグメントイエロー1、C.I.ピグメントイ
エロー3、C.I.ピグメントイエロー12、C.I.ピグメン
トイエロー13、C.I.ピグメントイエロー14、C.I.ピ
グメントイエロー15、C.I.ピグメントイエロー16、
C.I.ピグメントイエロー17、C.I.ピグメントイエロー
20、C.I.ピグメントイエロー24、C.I.ピグメントイ
エロー31、C.I.ピグメントイエロー55、C.I.ピグメ
ントイエロー60、C.I.ピグメントイエロー61、C.I.
ピグメントイエロー65、C.I.ピグメントイエロー7
1、C.I.ピグメントイエロー73、C.I.ピグメントイエ
ロー74、C.I.ピグメントイエロー81、C.I.ピグメン
トイエロー83、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.ピ
グメントイエロー95、C.I.ピグメントイエロー97、
C.I.ピグメントイエロー98、C.I.ピグメントイエロー
100、C.I.ピグメントイエロー101、C.I.ピグメン
トイエロー104、C.I.ピグメントイエロー106、C.
I.ピグメントイエロー108、C.I.ピグメントイエロー
109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグメン
トイエロー113、C.I.ピグメントイエロー114、C.
I.ピグメントイエロー116、C.I.ピグメントイエロー
117、C.I.ピグメントイエロー119、C.I.ピグメン
トイエロー120、C.I.ピグメントイエロー126、C.
I.ピグメントイエロー127、C.I.ピグメントイエロー
128、C.I.ピグメントイエロー129、C.I.ピグメン
トイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.
I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー
151、C.I.ピグメントイエロー152、C.I.ピグメン
トイエロー153、C.I.ピグメントイエロー154、C.
I.ピグメントイエロー155、C.I.ピグメントイエロー
156、C.I.ピグメントイエロー166、C.I.ピグメン
トイエロー168、C.I.ピグメントイエロー175、C.
I.ピグメントイエロー180、C.I.ピグメントイエロー
185;
【0008】C.I.ピグメントオレンジ1、C.I.ピグメン
トオレンジ5、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピグ
メントオレンジ14、C.I.ピグメントオレンジ16、C.
I.ピグメントオレンジ17、C.I.ピグメントオレンジ2
4、C.I.ピグメントオレンジ34、C.I.ピグメントオレ
ンジ36、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメン
トオレンジ40、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピ
グメントオレンジ46、C.I.ピグメントオレンジ49、
C.I.ピグメントオレンジ51、C.I.ピグメントオレンジ
61、C.I.ピグメントオレンジ63、C.I.ピグメントオ
レンジ64、C.I.ピグメントオレンジ71、C.I.ピグメ
ントオレンジ73;C.I.ピグメントバイオレット1、C.
I.ピグメントバイオレット19、C.I.ピグメントバイオ
レット23、C.I.ピグメントバイオレット29、C.I.ピ
グメントバイオレット32、C.I.ピグメントバイオレッ
ト36、C.I.ピグメントバイオレット38;
【0009】C.I.ピグメントレッド1、C.I.ピグメント
レッド2、C.I.ピグメントレッド3、C.I.ピグメントレ
ッド4、C.I.ピグメントレッド5、C.I.ピグメントレッ
ド6、C.I.ピグメントレッド7、C.I.ピグメントレッド
8、C.I.ピグメントレッド9、C.I.ピグメントレッド1
0、C.I.ピグメントレッド11、C.I.ピグメントレッド
12、C.I.ピグメントレッド14、C.I.ピグメントレッ
ド15、C.I.ピグメントレッド16、C.I.ピグメントレ
ッド17、C.I.ピグメントレッド18、C.I.ピグメント
レッド19、C.I.ピグメントレッド21、C.I.ピグメン
トレッド22、C.I.ピグメントレッド23、C.I.ピグメ
ントレッド30、C.I.ピグメントレッド31、C.I.ピグ
メントレッド32、C.I.ピグメントレッド37、C.I.ピ
グメントレッド38、C.I.ピグメントレッド40、C.I.
ピグメントレッド41、C.I.ピグメントレッド42、C.
I.ピグメントレッド48:1、C.I.ピグメントレッド4
8:2、C.I.ピグメントレッド48:3、C.I.ピグメン
トレッド48:4、C.I.ピグメントレッド49:1、C.
I.ピグメントレッド49:2、C.I.ピグメントレッド5
0:1、C.I.ピグメントレッド52:1、C.I.ピグメン
トレッド53:1、C.I.ピグメントレッド57、C.I.ピ
グメントレッド57:1、C.I.ピグメントレッド57:
2、C.I.ピグメントレッド58:2、C.I.ピグメントレ
ッド58:4、C.I.ピグメントレッド60:1、C.I.ピ
グメントレッド63:1、C.I.ピグメントレッド63:
2、C.I.ピグメントレッド64:1、C.I.ピグメントレ
ッド81:1、C.I.ピグメントレッド83、C.I.ピグメ
ントレッド88、C.I.ピグメントレッド90:1、C.I.
ピグメントレッド97、C.I.ピグメントレッド101、
C.I.ピグメントレッド102、C.I.ピグメントレッド1
04、C.I.ピグメントレッド105、C.I.ピグメントレ
ッド106、C.I.ピグメントレッド108、C.I.ピグメ
ントレッド112、C.I.ピグメントレッド113、C.I.
ピグメントレッド114、C.I.ピグメントレッド12
2、C.I.ピグメントレッド123、C.I.ピグメントレッ
ド144、C.I.ピグメントレッド146、C.I.ピグメン
トレッド149、C.I.ピグメントレッド150、C.I.ピ
グメントレッド151、C.I.ピグメントレッド166、
C.I.ピグメントレッド168、C.I.ピグメントレッド1
70、C.I.ピグメントレッド171、C.I.ピグメントレ
ッド172、C.I.ピグメントレッド174、C.I.ピグメ
ントレッド175、C.I.ピグメントレッド176、C.I.
ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド17
8、C.I.ピグメントレッド179、C.I.ピグメントレッ
ド180、C.I.ピグメントレッド185、C.I.ピグメン
トレッド187、C.I.ピグメントレッド188、C.I.ピ
グメントレッド190、C.I.ピグメントレッド193、
C.I.ピグメントレッド194、C.I.ピグメントレッド2
02、C.I.ピグメントレッド206、C.I.ピグメントレ
ッド207、C.I.ピグメントレッド208、C.I.ピグメ
ントレッド209、C.I.ピグメントレッド215、C.I.
ピグメントレッド216、C.I.ピグメントレッド22
0、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッ
ド226、C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメン
トレッド243、C.I.ピグメントレッド245、C.I.ピ
グメントレッド254、C.I.ピグメントレッド255、
C.I.ピグメントレッド264、C.I.ピグメントレッド2
65;
【0010】C.I.ピグメントブルー15、C.I.ピグメン
トブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.
I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントブルー6
0;C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリー
ン36;C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメント
ブラウン25;C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメ
ントブラック7。また、これらの有機顔料は、例えば、
硫酸再結晶法、溶剤洗浄法や、これらの組み合わせ等に
より精製して使用することができる。前記有機顔料は、
単独でまたは2種以上を混合して使用することができ
る。
【0011】また、無機顔料としては、例えば、酸化チ
タン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸
鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カ
ドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、
アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラッ
ク等を挙げることができる。これらの無機顔料は、単独
でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0012】本発明において、前記各着色剤は、所望に
より、その粒子表面をポリマーで改質して使用すること
ができる。着色剤の粒子表面を改質するポリマーとして
は、例えば、特開平8−259876号公報等に記載さ
れたポリマーや、市販の各種の顔料分散用のポリマーま
たはオリゴマー等を挙げることができる。また、本発明
における着色剤は、所望により、分散剤と共に使用する
ことができる。このような分散剤としては、例えば、カ
チオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリコーン
系、フッ素系等の界面活性剤を挙げることができる。前
記界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンラ
ウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテ
ル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキ
シエチレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンn
−オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンn−
ノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキ
ルフェニルエーテル類;ポリエチレングリコールジラウ
レート、ポリエチレングリコールジステアレート等のポ
リエチレングリコールジエステル類;ソルビタン脂肪酸
エステル類;脂肪酸変性ポリエステル類;3級アミン変
性ポリウレタン類;ポリエチレンイミン類等のほか、以
下商品名で、KP(信越化学工業(株)製)、ポリフロ
ー(共栄社化学(株)製)、エフトップ(トーケムプロ
ダクツ社製)、メガファック(大日本インキ化学工業
(株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、
アサヒガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)製)、
Disperbyk(ビックケミー・ジャパン(株)
製)、ソルスパース(ゼネカ(株)製)等を挙げること
ができる。これらの界面活性剤は、単独でまたは2種以
上を混合して使用することができる。界面活性剤の使用
量は、着色剤100重量部に対して、通常、50重量部
以下、好ましくは30重量部以下である。
【0013】(B)アルカリ可溶性樹脂 本発明におけるアルカリ可溶性樹脂としては、(A)着
色剤に対してバインダーとして作用し、かつカラーフィ
ルタを製造する際に、その現像処理工程において用いら
れる現像液、特に好ましくはアルカリ現像液に対して可
溶性を有するものであれば、特に限定されるものではな
いが、カルボキシル基を有するアルカリ可溶性樹脂が好
ましく、特に、1個以上のカルボキシル基を有するエチ
レン性不飽和単量体(以下、単に「カルボキシル基含有
不飽和単量体」という。)と他の共重合可能なエチレン
性不飽和単量体(以下、単に「共重合性不飽和単量体」
という。)との共重合体(以下、単に「カルボキシル基
含有共重合体」という。)が好ましい。
【0014】カルボキシル基含有不飽和単量体として
は、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、
α−クロルアクリル酸、けい皮酸等の不飽和モノカルボ
ン酸類;マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタ
コン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコ
ン酸、メサコン酸等の不飽和ジカルボン酸またはその無
水物類;3価以上の不飽和多価カルボン酸またはその無
水物類;こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチ
ル)、こはく酸モノ(2−メタクリロイロキシエチ
ル)、フタル酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)、
フタル酸モノ(2−メタクリロイロキシエチル)等の2
価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイロ
キシアルキル〕エステル類;ω−カルボキシポリカプロ
ラクトンモノアクリレート、ω−カルボキシポリカプロ
ラクトンモノメタクリレート等の両末端にカルボキシ基
と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレー
ト類等を挙げることができる。これらのカルボキシル基
含有不飽和単量体のうち、こはく酸モノ(2−アクリロ
イロキシエチル)およびフタル酸モノ(2−アクリロイ
ロキシエチル)は、それぞれM−5300およびM−5
400(東亞合成(株)製)の商品名で市販されてい
る。前記カルボキシル基含有不飽和単量体は、単独でま
たは2種以上を混合して使用することができる。
【0015】また、共重合性不飽和単量体としては、例
えば、スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトル
エン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−
クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシ
スチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルベンジル
メチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、
p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジ
ルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジル
エーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の
芳香族ビニル化合物;インデン、1−メチルインデン等
のインデン類;
【0016】メチルアクリレート、メチルメタクリレー
ト、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n−
プロピルアクリレート、n−プロピルメタクリレート、
i−プロピルアクリレート、i−プロピルメタクリレー
ト、n−ブチルアクリレート、n−ブチルメタクリレー
ト、i−ブチルアクリレート、i−ブチルメタクリレー
ト、sec−ブチルアクリレート、sec−ブチルメタ
クリレート、t−ブチルアクリレート、t−ブチルメタ
クリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−
ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロ
ピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレ
ート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−ヒド
ロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシブチル
アクリレート、2−ヒドロキシブチルメタクリレート、
3−ヒドロキシブチルアクリレート、3−ヒドロキシブ
チルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレー
ト、4−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアク
リレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレー
ト、ベンジルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレ
ート、シクロヘキシルメタクリレート、フェニルアクリ
レート、フェニルメタクリレート、2−メトキシエチル
アクリレート、2−メトキシエチルメタクリレート、2
−フェノキシエチルアクリレート、2−フェノキシエチ
ルメタクリレート、メトキシジエチレングルコールアク
リレート、メトキシジエチレングルコールメタクリレー
ト、メトキシトリエチレングルコールアクリレート、メ
トキシトリエチレングルコールメタクリレート、メトキ
シプロピレングルコールアクリレート、メトキシプロピ
レングルコールメタクリレート、メトキシジプロピレン
グルコールアクリレート、メトキシジプロピレングルコ
ールメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソ
ボルニルメタクリレート、ジシクロペンタジエニルアク
リレート、ジシクロペンタジエニルメタクリレート、2
−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、
2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルメタクリレー
ト、グリセロールモノアクリレート、グリセロールモノ
メタクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類;
【0017】2−アミノエチルアクリレート、2−アミ
ノエチルメタクリレート、2−ジメチルアミノエチルア
クリレート、2−ジメチルアミノエチルメタクリレー
ト、2−アミノプロピルアクリレート、2−アミノプロ
ピルメタクリレート、2−ジメチルアミノプロピルアク
リレート、2−ジメチルアミノプロピルメタクリレー
ト、3−アミノプロピルアクリレート、3−アミノプロ
ピルメタクリレート、3−ジメチルアミノプロピルアク
リレート、3−ジメチルアミノプロピルメタクリレート
等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類;グリ
シジルアクリレート、グリシジルメタクリレート等の不
飽和カルボン酸グリシジルエステル類;酢酸ビニル、プ
ロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等のカ
ルボン酸ビニルエステル類;ビニルメチルエーテル、ビ
ニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル等の不
飽和エーテル類;アクリロニトリル、メタクリロニトリ
ル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン
等のシアン化ビニル化合物;アクリルアミド、メタクリ
ルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロ
キシエチルアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチル
メタクリルアミド等の不飽和アミド類;マレイミド、N
−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド
等の不飽和イミド類;1,3−ブタジエン、イソプレ
ン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類;ポリスチレ
ン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレー
ト、ポリ−n−ブチルアクリレート、ポリ−n−ブチル
メタクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末
端にモノアクリロイル基あるいはモノメタクリロイル基
を有するマクロモノマー類等を挙げることができる。こ
れらの共重合性不飽和単量体は、単独でまたは2種以上
を混合して使用することができる。
【0018】本発明におけるカルボキシル基含有共重合
体としては、アクリル酸および/またはメタクリル酸
を必須成分とし、場合により、こはく酸モノ(2−アク
リロイロキシエチル)、こはく酸モノ(2−メタクリロ
イロキシエチル)、ω−カルボキシポリカプロラクトン
モノアクリレートおよびω−カルボキシポリカプロラク
トンモノメタクリレートの群から選ばれる少なくとも1
種をさらに含有するカルボキシル基含有不飽和単量体成
分と、スチレン、2−ヒドロキシエチルアクリレー
ト、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、アリルアク
リレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレー
ト、ベンジルメタクリレート、グリセロールモノアクリ
レート、グリセロールモノメタクリレート、N−フェニ
ルマレイミド、ポリスチレンマクロモノマーおよびポリ
メチルメタクリレートマクロモノマーの群から選ばれる
少なくとも1種との共重合体(以下、「カルボキシル基
含有共重合体(I)」という。)が好ましい。
【0019】カルボキシル基含有共重合体(I)の具体
例としては、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)ア
クリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロ
キシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)ア
クリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル
(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共
重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリ
レート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重
合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポ
リスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル
酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベン
ジル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレート
マクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/スチレ
ン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレ
イミド共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ
〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/スチレン/
ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミ
ド共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−
(メタ)アクリロイロキシエチル〕/スチレン/アリル
(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合
体 (メタ)アクリル酸/スチレン/ベンジル(メタ)アク
リレート/グリセロールモノ(メタ)アクリレート/N
−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/
ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリ
レート/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/グ
リセロールモノ(メタ)アクリレート/N−フェニルマ
レイミド共重合体等を挙げることができる。
【0020】カルボキシル基含有共重合体におけるカル
ボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合は、通常、5
〜50重量%、好ましくは10〜40重量%である。こ
の場合、カルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合
が5重量%未満では、得られる感放射線性組成物のアル
カリ現像液に対する溶解性が低下する傾向があり、一方
50重量%を超えると、アルカリ現像液に対する溶解性
が過大となり、アルカリ現像液により現像する際に、画
素の基板からの脱落や画素表面の膜荒れを来たしやすく
なるおそれがある。アルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエ
ーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テト
ラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算重量平均
分子量(以下、「Mw」という。)は、好ましくは3,
000〜300,000、さらに好ましくは5,000
〜100,000である。また、アルカリ可溶性樹脂の
ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶
出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン
換算数平均分子量(以下、「Mn」という。)は、好ま
しくは3,000〜60,000、さらに好ましくは
5,000〜25,000である。このような特定のM
wあるいはMnを有するアルカリ可溶性樹脂を使用する
ことによって、現像性に優れた感放射線性組成物が得ら
れ、それによりシャープなパターンエッジを有する画素
を形成することができるとともに、現像時に未露光部の
基板上および遮光層上に残渣、地汚れ、膜残り等が発生
し難くなる。また、アルカリ可溶性樹脂のMwとMnの
比(Mw/Mn)は、通常、1〜5、好ましくは1〜4
である。本発明において、アルカリ可溶性樹脂は、単独
でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0021】本発明におけるアルカリ可溶性樹脂の使用
量は、(A)着色剤100重量部に対して、通常、10
〜1,000重量部、好ましくは20〜500重量部で
ある。この場合、アルカリ可溶性樹脂の使用量が10重
量部未満では、例えば、アルカリ現像性が低下したり、
未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れや膜残りが
発生するおそれがあり、一方1,000重量部を超える
と、相対的に着色剤濃度が低下するため、薄膜として目
的とする色濃度を達成することが困難となる場合があ
る。
【0022】(C)多官能性単量体 本発明における多官能性単量体は、2個以上の重合性不
飽和結合を有する単量体である。多官能性単量体として
は、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコー
ル等のアルキレングリコールのジアクリレートまたはジ
メタクリレート類;ポリエチレングリコール、ポリプロ
ピレングリコール等のポリアルキレングリコールのジア
クリレートまたはジメタクリレート類;グリセリン、ト
リメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペン
タエリスリトール等の3価以上の多価アルコールのポリ
アクリレートまたはポリメタクリレート類やそれらのジ
カルボン酸変性物;ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレ
タン樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹
脂等のオリゴアクリレートまたはオリゴメタクリレート
類;両末端ヒドロキシポリ−1,3−ブタジエン、両末
端ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカ
プロラクトン等の両末端ヒドロキシル化重合体のジアク
リレートまたはジメタクリレート類や、トリス(2−ア
クリロイロキシエチル)フォスフェート、トリス(2−
メタクリロイロキシエチル)フォスフェート等を挙げる
ことができる。
【0023】これらの多官能性単量体のうち、3価以上
の多価アルコールのポリアクリレートまたはポリメタク
リレート類やそれらのジカルボン酸変性物が好ましく、
具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペン
タエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリト
ールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラ
アクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレ
ート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジ
ペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタ
エリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリ
トールヘキサメタクリレート、下記式(1)
【0024】
【化1】
【0025】で表される化合物等が好ましく、特に、ト
リメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリス
リトールトリアクリレートおよびジペンタエリスリトー
ルヘキサアクリレートが、画素強度が高く、画素表面の
平滑性に優れ、かつ未露光部の基板上および遮光層上に
地汚れ、膜残り等を発生し難い点で好ましい。本発明に
おいて、多官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混
合して使用することができる。
【0026】本発明における多官能性単量体の使用量
は、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、
通常、5〜500重量部、好ましくは20〜300重量
部である。この場合、多官能性単量体の使用量が5重量
部未満では、画素の強度や表面平滑性が低下する傾向が
あり、一方500重量部を超えると、例えば、アルカリ
現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層
上に地汚れ、膜残り等が発生しやすくなる傾向がある。
【0027】また、本発明においては、場合により、前
記多官能性単量体と共に、単官能性単量体を併用するこ
ともできる。このような単官能性単量体の例としては、
前記カルボキシル基含有共重合体について例示したカル
ボキシル基含有不飽和単量体および共重合性不飽和単量
体や、N−アクリロイルモルフォリン、N−メタクリロ
イルモルフォリン、N−ビニルピロリドン、N−ビニル
−ε−カプロラクタム等のほか、市販品として、M−5
600(商品名、東亞合成(株)製)等を挙げることが
できる。これらの単官能性単量体は、単独でまたは2種
以上を混合して使用することができる。単官能性単量体
の使用割合は、多官能性単量体と単官能性単量体との合
計に対して、通常、90重量%以下、好ましくは50重
量%以下である。この場合、単官能性単量体の使用割合
が90重量%を超えると、得られる画素の強度や表面平
滑性が低下する傾向がある。
【0028】(D)光重合開始剤 本発明における光重合開始剤は、トリアジン系化合物を
含み、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等の
露光により、前記(C)多官能性単量体の重合を開始し
うる活性種を発生することができる成分である。
【0029】前記トリアジン系化合物の具体例として
は、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−ト
リアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、2−[2−(5−メチルフラン
−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメ
チル)−s−トリアジン、2−[2−(フラン−2−イ
ル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−
s−トリアジン、2−[2−(4−ジエチルアミノ−2
−メチルフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリク
ロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(3,4−
ジメトキシフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリ
クロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシ
フェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−
トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−
ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4
−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロ
メチル)−s−トリアジン、下記式(2)で表される化
合物(以下、「トリアジン系化合物(2)」という。)
【0030】
【化2】
【0031】下記式(3)で表される化合物(以下、
「トリアジン系化合物(3)」という。)
【0032】
【化3】
【0033】等のハロメチル基を有するトリアジン系化
合物を挙げることができる。これらのトリアジン系化合
物のうち、2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)
エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−
トリアジン、トリアジン系化合物(2)、トリアジン系
化合物(3)等が好ましい。前記トリアジン系化合物
は、単独でまたは2種以上を混合して使用することがで
きる。
【0034】本発明におけるトリアジン系化合物の使用
量は、(C)多官能性単量体と場合により使用される単
官能性単量体との合計100重量部に対して、通常、
0.01〜40重量部、好ましくは1〜30重量部、さ
らに好ましくは1〜20重量部である。この場合、トリ
アジン系化合物の使用量が0.01重量部未満では、露
光による硬化が不十分となり、画素パターンが所定の配
列に従って配置された画素アレイを得ることが困難とな
るおそれがあり、一方40重量部を超えると、形成され
た画素が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向があ
る。
【0035】また、本発明においては、光重合開始剤の
構成成分として、トリアジン系化合物と共に、他の化合
物(以下、「他の光重合開始剤」という。)を併用する
ことができる。他の光重合開始剤としては、例えば、ア
セトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、ベン
ゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケト
ン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合
物、ジアゾ系化合物等を挙げることができ、これらのう
ち、アセトフェノン系化合物およびビイミダゾール系化
合物の群から選ばれる少なくとも1種が好ましい。前記
アセトフェノン系化合物の具体例としては、2−ヒドロ
キシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、
2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2
−モルフォリノプロパノン−1、2−ベンジル−2−ジ
メチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタ
ノン−1、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケト
ン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−
1−オン等を挙げることができる。これらのアセトフェ
ノン系化合物のうち、特に、2−ベンジル−2−ジメチ
ルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン
−1が好ましい。前記アセトフェノン系化合物は、単独
でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0036】本発明において、光重合開始剤の構成成分
としてアセトフェノン系化合物をトリアジン系化合物と
併用する場合の使用割合は、トリアジン系化合物とアセ
トフェノン系化合物との合計に対して、通常、90重量
%以下、好ましくは30〜80重量%である。この場
合、アセトフェノン系化合物の使用割合が90重量%を
超えると、形成された画素が現像時に基板から脱落しや
すくなる傾向がある。
【0037】また、前記ビイミダゾール系化合物の具体
例としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボ
ニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’
−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−
テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,
2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフ
ェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェ
ノキシカルボニルフェニル−1,2’−ビイミダゾー
ル、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボ
ニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’
−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)
−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4
−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキ
ス(4−フェノキシカルボニルフェニル)−1,2’−
ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリク
ロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4
−メトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダ
ゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェ
ニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキ
シカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカル
ボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
【0038】2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボ
ニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’
−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−
テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,
2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフ
ェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェ
ノキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾー
ル、2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボ
ニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’
−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)
−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4
−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキ
ス(4−フェノキシカルボニルフェニル)−1,2’−
ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリブ
ロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4
−メトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダ
ゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェ
ニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキ
シカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカル
ボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
【0039】2,2’−ビス(2−シアノフェニル)−
4,4’,5.5’−テトラキス(4−メトキシカルボ
ニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’
−ビス(2−シアノフェニル)−4,4’,5.5’−
テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,
2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−シアノフ
ェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェ
ノキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾー
ル、2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニル
フェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビ
ス(2−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’
−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−メチルフェニ
ル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキ
シカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−エチルフェニル)−4,4’,
5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニ
ル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2
−エチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス
(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイ
ミダゾール、2,2’−ビス(2−エチルフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカル
ボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,
2’−ビス(2−フェニルフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)
−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−フ
ェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス
(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイ
ミダゾール、2,2’−ビス(2−フェニルフェニル)
−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカ
ルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
【0040】2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニ
ル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’
−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリ
クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニ
ル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−
ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニ
ル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,
4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ
フェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス
(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−シアノフェニル)−4,4’,
5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾー
ル、2,2’−ビス(2,4−ジシアノフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリシアノ
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−メチ
ルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−
ジメチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェ
ニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス
(2,4,6−トリメチルフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−エチルフェニル)−4,4’,
5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾー
ル、2,2’−ビス(2,4−ジエチルフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリエチル
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−フェ
ニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル
−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4
−ジフェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ
フェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス
(2,4,6−トリフェニルフェニル)−4,4’,
5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール
等を挙げることができる。
【0041】これらのビイミダゾール系化合物のうち、
好ましい化合物は、2,2’−ビス(2−クロロフェニ
ル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシ
カルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,
5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニ
ル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2
−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェ
ニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス
(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−
テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’
−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール、2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)
−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビ
イミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリブロ
モフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾールであり、さらに好ましい化合
物は、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)
−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビ
イミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロ
ロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾールであり、特に好ましい化合物
は、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾールである。これらのビイミダゾール系化合物
は、溶剤に対する溶解性に優れ、未溶解物、析出物等の
異物を生じることがなく、しかも感度が高く、少ないエ
ネルギー量の露光により硬化反応を十分進行させるとと
もに、コントラストが高く、未露光部で硬化反応が生じ
ることがないため、露光後の塗膜は、現像液に対して不
溶性の硬化部分と、現像液に対して高い溶解性を有する
未硬化部分とに明確に区分され、それにより、アンダー
カットのない画素パターンが所定の配列に従って配置さ
れた高精細な画素アレイを形成することができる。前記
ビイミダゾール系化合物は、単独でまたは2種以上を混
合して使用することができる。
【0042】本発明において、光重合開始剤の構成成分
としてビイミダゾール系化合物をトリアジン系化合物と
併用する場合の使用割合は、トリアジン系化合物とビイ
ミダゾール系化合物との合計に対して、通常、90重量
%以下、好ましくは5〜80重量%である。この場合、
ビイミダゾール系化合物の使用割合が90重量%を超え
ると、形成された画素が現像時に基板から脱落しやすく
なる傾向がある。
【0043】−水素供与体− 本発明においては、光重合開始剤の構成成分としてビイ
ミダゾール系化合物を用いる場合、下記する水素供与体
を併用することが、感度をさらに改良することができる
点で好ましい。ここでいう「水素供与体」とは、露光に
よりビイミダゾール系化合物から発生したラジカルに対
して、水素原子を供与することができる化合物を意味す
る。前記水素供与体としては、下記で定義するメルカプ
タン系化合物、下記で定義するアミン系化合物等が好ま
しい。前記メルカプタン系化合物は、ベンゼン環あるい
は複素環を母核とし、該母核に直接結合したメルカプト
基を1個以上、好ましくは1〜3個、さらに好ましくは
1〜2個有する化合物(以下、「メルカプタン系水素供
与体」という。)からなる。前記アミン系化合物は、ベ
ンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合
したアミノ基を1個以上、好ましくは1〜3個、さらに
好ましくは1〜2個有する化合物(以下、「アミン系水
素供与体」という。)からなる。なお、これらの水素供
与体は、メルカプト基とアミノ基とを同時に有すること
もできる。
【0044】以下、これらの水素供与体について、より
具体的に説明する。メルカプタン系水素供与体は、ベン
ゼン環あるいは複素環をそれぞれ1個以上有することが
でき、またベンゼン環と複素環との両者を有することが
でき、これらの環を2個以上有する場合、縮合環を形成
しても形成しなくてもよい。また、メルカプタン系水素
供与体は、メルカプト基を2個以上有する場合、少なく
とも1個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、残り
のメルカプト基の1個以上がアルキル、アラルキルまた
はアリール基で置換されていてもよく、さらには少なく
とも1個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、2個
の硫黄原子がアルキレン基等の2価の有機基を介在して
結合した構造単位、あるいは2個の硫黄原子がジスルフ
ィドの形で結合した構造単位を有することができる。さ
らに、メルカプタン系水素供与体は、メルカプト基以外
の箇所で、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、
置換アルコキシカルボニル基、フェノキシカルボニル
基、置換フェノキシカルボニル基、ニトリル基等によっ
て置換されていてもよい。
【0045】このようなメルカプタン系水素供与体の具
体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−
メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾ
イミダゾール、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チ
アジアゾール、2−メルカプト−2,5−ジメチルアミ
ノピリジン等を挙げることができる。これらのメルカプ
タン系水素供与体のうち、2−メルカプトベンゾチアゾ
ール、2−メルカプトベンゾオキサゾールが好ましく、
特に2−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。
【0046】次に、アミン系水素供与体は、ベンゼン環
あるいは複素環をそれぞれ1個以上有することができ、
またベンゼン環と複素環との両者を有することができ、
これらの環を2個以上有する場合、縮合環を形成しても
形成しなくてもよい。また、アミン系水素供与体は、ア
ミノ基の1個以上がアルキル基または置換アルキル基で
置換されてもよく、またアミノ基以外の箇所で、カルボ
キシル基、アルコキシカルボニル基、置換アルコキシカ
ルボニル基、フェノキシカルボニル基、置換フェノキシ
カルボニル基、ニトリル基等によって置換されていても
よい。
【0047】このようなアミン系水素供与体の具体例と
しては、4、4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェ
ノン、4、4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノ
ン、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチル
アミノプロピオフェノン、4−ジメチルアミノ安息香酸
エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸i−アミル、4−
ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメチルアミノベンゾニ
トリル等を挙げることができる。これらのアミン系水素
供与体のうち、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベン
ゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾ
フェノンが好ましく、特に4,4’−ビス(ジエチルア
ミノ)ベンゾフェノンが好ましい。
【0048】本発明において、水素供与体は、単独でま
たは2種以上を混合して使用することができるが、1種
以上のメルカプタン系水素供与体と1種以上のアミン系
水素供与体とを組み合わせて使用することが、形成され
た画素が現像時に基板から脱落し難く、また画素強度お
よび感度も高い点で好ましい。メルカプタン系水素供与
体とアミン系水素供与体との好ましい組み合わせの具体
例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,
4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メ
ルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチル
アミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサ
ゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェ
ノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−
ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等を挙げること
ができ、さらに好ましい組み合わせは、2−メルカプト
ベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)
ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/
4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンであ
り、、特に好ましい組み合わせは、2−メルカプトベン
ゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベン
ゾフェノンである。メルカプタン系水素供与体とアミン
系水素供与体との組み合わせにおけるメルカプタン系水
素供与体とアミン系水素供与体との重量比は、通常、
1:1〜1:4、好ましくは1:1〜1:3である。
【0049】本発明において、水素供与体をビイミダゾ
ール系化合物と併用する場合の使用量は、(C)多官能
性単量体と場合により使用される単官能性単量体の合計
100重量部に対して、通常、0.01〜40重量部、
好ましくは1〜30重量部、さらに好ましくは1〜20
重量部である。この場合、水素供与体の使用量が0.0
1重量部未満であると、感度の改良効果が低下する傾向
があり、一方40重量部を超えると、形成された画素が
現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。
【0050】ここで、本発明における(a)トリアジン
系化合物とアセトフェノン系化合物との組み合わせ、
(b)トリアジン系化合物とビイミダゾール系化合物と
の組み合わせ、(c)トリアジン系化合物、アセトフェ
ノン系化合物およびビイミダゾール系化合物の組み合わ
せ、(d)トリアジン系化合物、ビイミダゾール系化合
物、メルカプタン系水素供与体およびアミン系水素供与
体の組み合わせ、(e)トリアジン系化合物、アセトフ
ェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、メルカプタ
ン系水素供与体およびアミン系水素供与体の組み合わせ
の特に好ましい具体例を示すと、下記のものを挙げるこ
とができる。
【0051】前記(a)の特に好ましい組み合わせは、
2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]
−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン
/2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モル
フォリノフェニル)ブタノン−1、トリアジン系化合物
(2)/2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4
−モルフォリノフェニル)ブタノン−1、トリアジン系
化合物(3)/2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1
−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1等であ
る。
【0052】前記(b)の特に好ましい組み合わせは、
2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]
−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン
/2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール、トリアジン系化合物(2)/2,2’−ビス
(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−
テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、トリアジ
ン系化合物(3)/2,2’−ビス(2,4−ジクロロ
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾール等である。
【0053】前記(c)の特に好ましい組み合わせは、
2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]
−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン
/2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モル
フォリノフェニル)ブタノン−1/2,2’−ビス
(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−
テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、トリアジ
ン系化合物(2)/2−ベンジル−2−ジメチルアミノ
−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1/
2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール、トリアジン系化合物(3)/2−ベンジル−2
−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)
ブタノン−1/2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェ
ニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,
2’−ビイミダゾール等である。
【0054】前記(d)の特に好ましい組み合わせは、
2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]
−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン
/2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール/2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−
ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、トリアジン系
化合物(2)/2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェ
ニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,
2’−ビイミダゾール/2−メルカプトベンゾチアゾー
ル/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノ
ン、トリアジン系化合物(3)/2,2’−ビス(2,
4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ
フェニル−1,2’−ビイミダゾール/2−メルカプト
ベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)
ベンゾフェノン等である。
【0055】前記(e)の特に好ましい組み合わせは、
2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]
−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン
/2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モル
フォリノフェニル)ブタノン−1/2,2’−ビス
(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−
テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール/2−メル
カプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルア
ミノ)ベンゾフェノン、トリアジン系化合物(2)/2
−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォ
リノフェニル)ブタノン−1/2,2’−ビス(2,4
−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフ
ェニル−1,2’−ビイミダゾール/2−メルカプトベ
ンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベ
ンゾフェノン、トリアジン系化合物(3)/2−ベンジ
ル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェ
ニル)ブタノン−1/2,2’−ビス(2,4−ジクロ
ロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾール/2−メルカプトベンゾチア
ゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェ
ノン等である。
【0056】(E)有機アミノ化合物 本発明における有機アミノ化合物は、分子中に1個以上
のアミノ基を有する有機アミノ化合物(以下、「(E)
有機アミノ化合物」という。)である。(E)有機アミ
ノ化合物は、露光時にカラーフィルタ用感放射線性組成
物中の光重合開始剤に含まれるトリアジン系化合物から
発生する活性ラジカルや、該活性ラジカルが感放射線性
組成物中の有機化合物と反応して副生する揮発性の酸性
化合物(例えば、ハロゲン化水素等)を捕捉して、マス
ク付着物の発生を防止するとともに、形成される画素の
基板および遮光層との密着性を改良する作用を奏する成
分である。なお、前記アミン系水素供与体自体も、この
ような作用を有するものであるが、該アミン系水素供与
体は、(C)光重合開始剤の主成分である前記ビイミダ
ゾール系化合物との相互作用により消費されるため、該
アミン系水素供与体それ自体が実際に前記作用を示すこ
とはない。
【0057】(E)有機アミノ化合物としては、脂肪族
アミンまたはフェニル基含有アミンが好ましい。前記脂
肪族アミンの例としては、n−プロピルアミン、i−プ
ロピルアミン、n−ブチルアミン、i−ブチルアミン、
sec−ブチルアミン、t−ブチルアミン、n−ペンチ
ルアミン、n−ヘキシルアミン、n−へプチルアミン、
n−オクチルアミン、n−ノニルアミン、n−デシルア
ミン、n−ウンデシルアミン、n−ドデシルアミン、シ
クロヘキシルアミン、o−メチルシクロヘキシルアミ
ン、m−メチルシクロヘキシルアミン、p−メチルシク
ロヘキシルアミン、o−エチルシクロヘキシルアミン、
m−エチルシクロヘキシルアミン、p−エチルシクロヘ
キシルアミン等のモノ(シクロ)アルキルアミン類;メ
チルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルn−プロピ
ルアミン、エチルn−プロピルアミン、ジ−n−プロピ
ルアミン、ジ−i−プロピルアミン、ジ−n−ブチルア
ミン、ジ−i−ブチルアミン、ジ−sec−ブチルアミ
ン、ジ−t−ブチルアミン、ジ−n−ペンチルアミン、
ジ−n−ヘキシルアミン、メチルシクロヘキシルアミ
ン、エチルシクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルア
ミン等のジ(シクロ)アルキルアミン類;ジメチルエチ
ルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、
ジメチルn−プロピルアミン、ジエチルn−プロピルア
ミン、メチルジ−n−プロピルアミン、エチルジ−n−
プロピルアミン、トリ−n−プロピルアミン、トリ−i
−プロピルアミン、トリ−n−ブチルアミン、トリ−i
−ブチルアミン、トリ−sec−ブチルアミン、トリ−
t−ブチルアミン、トリ−n−ペンチルアミン、トリ−
n−ヘキシルアミン、ジメチルシクロヘキシルアミン、
ジエチルシクロヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシ
ルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロ
ヘキシルアミン等のトリ(シクロ)アルキルアミン類;
【0058】2−アミノエタノール、3−アミノ−1−
プロパノール、1−アミノ−2−プロパノール、4−ア
ミノ−1−ブタノール、5−アミノ−1−ペンタノー
ル、6−アミノ−1−ヘキサノール、4−アミノ−1−
シクロヘキサノール等のモノ(シクロ)アルカノールア
ミン類;ジエタノールアミン、ジ−n−プロパノールア
ミン、ジ−i−プロパノールアミン、ジ−n−ブタノー
ルアミン、ジ−i−ブタノールアミン、ジ−n−ペンタ
ノールアミン、ジ−n−ヘキサノールアミン、ジ(4−
シクロヘキサノール)アミン等のジ(シクロ)アルカノ
ールアミン類;トリエタノールアミン、トリ−n−プロ
パノールアミン、トリ−i−プロパノールアミン、トリ
−n−ブタノールアミン、トリ−i−ブタノールアミ
ン、トリ−n−ペンタノールアミン、トリ−n−ヘキサ
ノールアミン、トリ(4−シクロヘキサノール)アミン
等のトリ(シクロ)アルカノールアミン類;
【0059】3−アミノ−1,2−プロパンジオール、
2−アミノ−1,3−プロパンジオール、4−アミノ−
1,2−ブタンジオール、4−アミノ−1,3−ブタン
ジオール、4−アミノ−1,2−シクロヘキサンジオー
ル、4−アミノ−1,3−シクロヘキサンジオール、3
−ジメチルアミノ−1,2−プロパンジオール、3−ジ
エチルアミノ−1,2−プロパンジオール、2−ジメチ
ルアミノ−1,3−プロパンジオール、2−ジエチルア
ミノ−1,3−プロパンジオール等のアミノ(シクロ)
アルカンジオール類;1−アミノシクロペンタンメタノ
ール、4−アミノシクロペンタンメタノール、1−アミ
ノシクロヘキサンメタノール、4−アミノシクロヘキサ
ンメタノール、4−ジメチルアミノシクロペンタンメタ
ノール、4−ジエチルアミノシクロペンタンメタノー
ル、4−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、4
−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノール等のアミノ
基含有シクロアルカンメタノール類;β−アラニン、2
−アミノ酪酸、3−アミノ酪酸、4−アミノ酪酸、2−
アミノイソ酪酸、3−アミノイソ酪酸、2−アミノ吉草
酸、5−アミノ吉草酸、6−アミノカプロン酸、1−ア
ミノシクロプロパンカルボン酸、1−アミノシクロヘキ
サンカルボン酸、4−アミノシクロヘキサンカルボン酸
等のアミノカルボン酸類等を挙げることができる。
【0060】また、フェニル基含有アミンとしては、例
えば、アミノ基が直接フェニル基に結合した化合物、ア
ミノ基が2価の結合基を介してフェニル基に結合した化
合物等を挙げることができる。フェニル基含有アミンの
例としては、アニリン、o−メチルアニリン、m−メチ
ルアニリン、p−メチルアニリン、p―エチルアニリ
ン、p−n−プロピルアニリン、p−i−プロピルアニ
リン、p−n−ブチルアニリン、p−t−ブチルアニリ
ン、1−ナフチルアミン、2−ナフチルアミン、N,N
−ジメチルアニリン、N,N−ジエチルアニリン、p−
メチル−N,N−ジメチルアニリン等の芳香族アミン
類;o−アミノベンジルアルコール、m−アミノベンジ
ルアルコール、p−アミノベンジルアルコール、p−ジ
メチルアミノベンジルアルコール、p−ジエチルアミノ
ベンジルアルコール等のアミノベンジルアルコール類;
o−アミノフェノール、m―アミノフェノール、p―ア
ミノフェノール、p−ジメチルアミノフェノール、p−
ジエチルアミノフェノール等のアミノフェノール類;m
−アミノ安息香酸、p―アミノ安息香酸、p−ジメチル
アミノ安息香酸、p−ジエチルアミノ安息香酸等のアミ
ノ安息香酸(誘導体)類等を挙げることができる。
【0061】これらの(E)有機アミノ化合物のうち、
後述する溶媒に対する溶解性、未露光部の基板上あるい
は遮光層上における地汚れや膜残りの防止等の観点か
ら、脂肪族アミンとしては、モノ(シクロ)アルカノー
ルアミン類およびアミノ(シクロ)アルカンジオール類
が好ましく、特に、2−アミノエタノール、3−アミノ
−1−プロパノール、5−アミノ−1−ペンタノール、
3−アミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−
1,3−プロパンジオール、4−アミノ−1,2−ブタ
ンジオール等が好ましい。また、フェニル基含有アミン
としては、アミノフェノール類が好ましく、特に、o−
アミノフェノール、m−アミノフェノール、p−アミノ
フェノール等が好ましい。本発明において、(E)有機
アミノ化合物は、単独でまたは2種以上混合して使用す
ることができる。
【0062】本発明における(E)有機アミノ化合物の
使用量は、感放射線性組成物全体に対して、通常、0.
01〜15重量%、好ましくは0.01〜10重量%で
ある。この場合、有機アミノ化合物(E)の使用量が
0.01重量%未満では、マスク付着物の抑制効果ある
いは形成された画素の基板や遮光層への密着性の改良効
果が低下する傾向があり、一方15重量%を超えると、
形成された画素の基板との密着性が却って低下する傾向
がある。
【0063】添加剤 本発明におけるカラーフィルタ用感放射線性組成物は、
必要に応じて、種々の添加剤を含有することもできる。
前記添加剤としては、カラーフィルタ用感放射線性組成
物のアルカリ現像液に対する溶解特性をより改善し、か
つ現像後の未溶解物の残存をより抑制する作用等を示
す、有機酸等を挙げることができる。 −有機酸− 前記有機酸としては、分子中に1個以上のカルボキシル
基を有し分子量が1,000以下である、脂肪族カルボ
ン酸あるいはフェニル基含有カルボン酸が好ましい。前
記脂肪族カルボン酸の例としては、ぎ酸、酢酸、プロピ
オン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチ
ル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボ
ン酸類;しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、
アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、
セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロ
ン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチ
ルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン
酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸
等の脂肪族ジカルボン酸類;トリカルバリル酸、アコニ
ット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸類等を
挙げることができる。
【0064】また、前記フェニル基含有カルボン酸とし
ては、例えば、カルボキシル基が直接フェニル基に結合
した化合物や、カルボキシル基が2価の結合基を介して
フェニル基に結合した化合物等を挙げることができる。
フェニル基含有カルボン酸の例としては、安息香酸、ト
ルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳
香族モノカルボン酸類;フタル酸、イソフタル酸、テレ
フタル酸等の芳香族ジカルボン酸類;トリメリット酸、
トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸等の3価
以上の芳香族ポリカルボン酸類や、フェニル酢酸、ヒド
ロアトロパ酸、ヒドロけい皮酸、マンデル酸、フェニル
こはく酸、アトロパ酸、けい皮酸、シンナミリデン酸、
クマル酸、ウンベル酸等を挙げることができる。
【0065】これらの有機酸のうち、アルカリ溶解性、
後述する溶媒に対する溶解性、未露光部の基板上および
遮光層上における地汚れや膜残りの防止等の観点から、
脂肪族カルボン酸としては、脂肪族ジカルボン酸類が好
ましく、特に、マロン酸、アジピン酸、イタコン酸、シ
トラコン酸、フマル酸、メサコン酸等が好ましい。ま
た、フェニル基含有カルボン酸としては、芳香族ジカル
ボン酸類が好ましく、特にフタル酸が好ましい。有機酸
の使用量は、感放射線性組成物全体に対して、通常、1
5重量%以下、好ましくは10重量%以下である。この
場合、有機酸の使用量が15重量%を超えると、形成さ
れた画素の基板に対する密着性が低下する傾向がある。
【0066】また、前記以外の添加剤としては、例え
ば、銅フタロシアニン誘導体等の青色顔料誘導体や黄色
顔料誘導体等の分散助剤;ガラス、アルミナ等の充填
剤;ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコールモ
ノアルキルエーテル類、ポリ(フロロアルキルアクリレ
ート)類等の高分子化合物;ノニオン系、カチオン系、
アニオン系等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラ
ン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メ
トキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−
3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2
−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシ
ラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グ
リシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシド
キシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−
エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、
3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロ
ロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプ
ロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルト
リメトキシシラン等の密着促進剤;2,2’−チオビス
(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−
ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2−(3−
t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−
5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェ
ノン類等の紫外線吸収剤;ポリアクリル酸ナトリウム等
の凝集防止剤;1,1’−アゾビス(シクロヘキサン−
1−カルボニトリル)、2−フェニルアゾ−4−メトキ
シ−2,4−ジメチルバレロニトリル等の熱ラジカル発
生剤;
【0067】下記式(4)で表される化合物、
【化4】
【0068】下記式(5)で表される化合物、
【化5】 等のオキセタン系化合物等を挙げることができる。
【0069】溶媒 本発明におけるカラーフィルタ用感放射線性組成物は、
(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官
能単量体、(D)トリアジン系化合物を含む光重合開始
剤、および(E)有機アミノ化合物を必須成分とし、必
要に応じて前記添加剤成分を含有するが、好ましくは溶
媒を配合して液状組成物として調製される。前記溶媒と
しては、感放射線性組成物を構成する(A)〜(E)成
分や添加剤成分を分散または溶解し、かつこれらの成分
と反応せず、適度の揮発性を有するものである限り、適
宜に選択して使用することができる。このような溶媒と
しては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテ
ル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレン
グリコールモノ−n−プロピルエーテル、エチレングリ
コールモノ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコー
ルモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチ
ルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−プロピル
エーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエー
テル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、ト
リエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレン
グリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコール
モノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−
プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブ
チルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエー
テル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジ
プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジ
プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリ
プロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピ
レングリコールモノエチルエーテル等の(ポリ)アルキ
レングリコールモノアルキルエーテル類;エチレングリ
コールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコ
ールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコ
ールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコ
ールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコ
ールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコ
ールモノエチルエーテルアセテート等の(ポリ)アルキ
レングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;ジ
エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリ
コールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジ
エチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル
類;
【0070】メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、
2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等のケトン類;2−ヒ
ドロキシプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシプロピオ
ン酸エチル等の乳酸アルキルエステル類;2−ヒドロキ
シ−2−メチルプロピオン酸エチル、3−メトキシプロ
ピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3
−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオ
ン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチ
ル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、3−
メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−
3−メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸
n−プロピル、酢酸i−プロピル、酢酸n−ブチル、酢
酸i−ブチル、ぎ酸n−ペンチル、酢酸i−ペンチル、
プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸n−プロピ
ル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸メ
チル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n−プロピル、ア
セト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン
酸エチル等の他のエステル類;トルエン、キシレン等の
芳香族炭化水素類;N−メチルピロリドン、N,N−ジ
メチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等
のアミド類等を挙げることができる。
【0071】これらの溶媒のうち、溶解性、顔料分散
性、塗布性等の観点から、プロピレングリコールモノメ
チルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル
アセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル
アセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル
アセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、
ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘ
キサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、2−ヒド
ロキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸
エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキ
シプロピオン酸エチル、3−メチル−3−メトキシブチ
ルプロピオネート、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、
ぎ酸n−ペンチル、酢酸i−ペンチル、プロピオン酸n
−ブチル、酪酸エチル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブ
チル、ピルビン酸エチル等が好ましい。前記溶媒は、単
独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0072】さらに、前記溶媒と共に、ベンジルエチル
エーテル、ジ−n−ヘキシルエーテル、アセトニルアセ
トン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オク
タノール、1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸
ベンジル、安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マレイ
ン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭
酸プロピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテ
ルアセテート等の高沸点溶媒を併用することもできる。
前記高沸点溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使
用することができる。溶媒の使用量は、特に限定される
ものではないが、得られる感放射線性組成物の塗布性、
安定性等の観点から、液状組成物の溶媒を除いた各成分
の合計濃度が、好ましくは5〜50重量%、さらに好ま
しくは10〜40重量%となる量が望ましい。
【0073】カラーフィルタの形成方法 次に、第1発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物を
用いて、第2発明のカラーフィルタを形成する方法につ
いて説明する。まず、基板の表面上に、必要に応じて、
画素を形成する部分を区画するように遮光層を形成し、
この基板上に、例えば赤色の顔料が分散された感放射線
性組成物の液状組成物を塗布したのち、プレベークを行
って溶剤を蒸発させ、塗膜を形成する。次いで、この塗
膜にフォトマスクを介して露光したのち、アルカリ現像
液を用いて現像して、塗膜の未露光部を溶解除去し、そ
の後ポストベークすることにより、赤色の画素パターン
が所定の配列で配置された画素アレイを形成する。次い
で、緑色または青色の顔料が分散された各感放射線性組
成物の液状組成物を用い、前記と同様にして、各液状組
成物の塗布、プレベーク、露光、現像およびポストベー
クを行って、緑色の画素アレイおよび青色の画素アレイ
を同一基板上に順次形成することにより、赤色、緑色お
よび青色の三原色の画素アレイが基板上に配置されたカ
ラーフィルタを得る。カラーフィルタを形成する際に使
用される基板としては、例えば、ガラス、シリコン、ポ
リカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポ
リアミドイミド、ポリイミド等を挙げることができる。
これらの基板には、所望により、シランカップリング剤
等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティン
グ、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の
前処理を施しておくこともできる。
【0074】感放射線性組成物の液状組成物を基板に塗
布する際には、回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の適
宜の塗布法を採用することができる。塗布厚さは、乾燥
後の膜厚として、通常、0.1〜10μm、好ましくは
0.2〜8.0μm、さらに好ましくは0.2〜6.0
μmである。カラーフィルタを作製する際に使用される
放射線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外
線、電子線、X線等を使用することができるが、波長が
190〜450nmの範囲にある放射線が好ましい。放
射線の露光量は、好ましくは1〜1,000mJ/cm
2 程度である。また、前記アルカリ現像液としては、例
えば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリ
ウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、
コリン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7
−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.
0]−5−ノネン等の水溶液が好ましい。前記アルカリ
現像液には、例えばメタノール、エタノール等の水溶性
有機溶剤や界面活性剤等を適量添加することもできる。
なお、アルカリ現像後は、通常、水洗する。現像処理法
としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ
(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適用する
ことができ、現像条件は、常温で5〜300秒が好まし
い。このようにして形成された第2発明のカラーフィル
タは、例えば、透過型あるいは反射型のカラー液晶表示
装置、カラー撮像管素子、カラーセンサー等に極めて有
用である。
【0075】
【発明の実施の形態】第1発明のカラーフィルタ用感放
射線性組成物は、(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性
樹脂、(C)多官能単量体、(D)トリアジン系化合物
を含む光重合開始剤、および(E)有機アミノ化合物を
必須成分とするものであるが、好ましい組成物を具体的
に例示すると、下記(イ)〜(ホ)のとおりである。 (イ) (B)アルカリ可溶性樹脂がカルボキシル基含
有共重合体(I)を含むカラーフィルタ用感放射線性組
成物。 (ロ) (C)多官能性単量体がトリメチロールプロパ
ントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリ
レートおよびジペンタエリスリトールヘキサアクリレー
トの群から選ばれる少なくとも1種からなる前記(イ)
のカラーフィルタ用感放射線性組成物。 (ハ) (D)光重合開始剤が更にアセトフェノン系化
合物およびビイミダゾール系化合物の群から選ばれる少
なくとも1種を含む前記(イ)または(ロ)のカラーフ
ィルタ用感放射線性組成物。 (ニ) (E)有機アミノ化合物がモノ(シクロ)アル
カノールアミン類、アミノ(シクロ)アルカンジオール
類およびアミノフェノール類の群から選ばれる少なくと
も1種、さらに好ましくは2−アミノエタノール、3−
アミノ−1−プロパノール、5−アミノ−1−ペンタノ
ール、3−アミノ−1,2−プロパンジオール、2−ア
ミノ−1,3−プロパンジオール、4−アミノ−1,2
−ブタンジオール、o−アミノフェノール、m−アミノ
フェノールおよびp−アミノフェノールの群から選ばれ
る少なくとも1種を含む前記(イ)、(ロ)または
(ハ)のカラーフィルタ用感放射線性組成物。 (ホ) (A)着色剤が有機顔料を含む前記(イ)、
(ロ)、(ハ)または(ニ)のカラーフィルタ用感放射
線性組成物。また、第2発明の好ましいカラーフィルタ
は、 (ヘ) 前記(イ)、(ロ)、(ハ)、(ニ)または
(ホ)のカラーフィルタ用感放射線性組成物から形成さ
れた画素を有するカラーフィルタ、からなる。
【0076】以下、実施例を挙げて本発明の実施の形態
をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、下記実施
例に限定されるものではない。
【実施例】実施例1 (A)着色剤としてC.I.ピグメントグレッド177とC.
I.ピグメントレッド224との65/35(重量比)混
合物80重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタ
クリル酸/スチレン/ベンジルメタクリレート/グリセ
ロールモノメタクリレート/N−フェニルマレイミド共
重合体(共重合重量比=15/15/35/10/2
5、Mw=30,000、Mn=10,000)70重
量部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリト
ールヘキサアクリレート80重量部、(D)光重合開始
剤としてトリアジン系化合物(2)9重量部、(E)有
機アミノ化合物として2−アミノエタノール2重量部、
および溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエー
テルアセテートとシクロヘキサノンとの95/5(重量
比)混合物1,000重量部を混合して、感放射線性組
成物の液状組成物(R1)を調製した。 〈カラーフィルタの形成〉液状組成物(R1)を、表面
にナトリウムイオンの溶出を防止するSiO2 膜が形成
されたソーダガラス基板表面上に、スピンコーターを用
いて塗布したのち、80℃のクリーンオーブン内で10
分間プレベークを行って、膜厚1.8μmの塗膜を形成
した。次いで、この基板を室温に冷却したのち、高圧水
銀ランプを用い、フォトマスクを介して、塗膜に365
nm、405nmおよび436nmの各波長を含む紫外
線を50mJ/cm2 の露光量で露光した。その後、こ
の基板を、23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶
液に1分間浸漬して、現像した。その後、基板を超純水
で洗浄して、風乾したのち、200℃のクリーンオーブ
ン内で30分間ポストベークを行なって、基板上に赤色
のストライプ状カラーフィルタを形成した。得られたカ
ラーフィルタを光学顕微鏡を用いて観察したところ、未
露光部の基板上には残渣および地汚れは認められず、か
つ得られた画素の基板との密着性も優れていた。
【0077】〈マスク付着物の評価〉液状組成物(R
1)を、表面にナトリウムイオンの溶出を防止するSi
2 膜が形成された15cm×15cmの大きさのソー
ダガラス基板表面上に、スピンコーターを用いて塗布し
たのち、80℃のクリーンオーブン内で10分間プレベ
ークを行って、膜厚1.8μmの塗膜が形成された塗布
基板(1)を作製した。これとは別に、前記ソーダガラ
ス基板の片側表面の外周部に沿って、幅5mm、厚さ4
3μmの両面接着テープ(商品名ICテープ レッド、
いづみやアイシー(株)製)を張りつけて、対向基板
(1)を作製した。塗布基板(1)と対向基板(1)
を、塗布基板(1)の塗膜面が内側となるようにして、
前記両面接着テープで張り合わせたのち、対向基板
(1)を通して、150mJ/cm2 の露光量にて露光
し、塗布基板(1)のみを交換しながら、この操作を1
0回繰り返した。その後、対向基板(1)を取り外して
投光器を用いて観察したところ、この対向基板(1)に
は付着物が認められなかった。
【0078】実施例2 (A)着色剤としてC.I.ピグメントレッド177とC.I.
ピグメントイエロー83との80/20(重量比)混合
物65重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタク
リル酸/スチレン/ベンジルメタクリレート/N−フェ
ニルマレイミド共重合体(共重合重量比=20/18.
8/30/31.2、Mw=45,000、Mn=1
8,000)60重量部、(C)多官能性単量体として
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート90重量
部、(D)光重合開始剤としてトリアジン系化合物
(3)5重量部、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−
1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1を20
重量部、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)
−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビ
イミダゾール5重量部、および水素供与体として2−メ
ルカプトベンゾチアゾール2.5重量部と4,4’−ビ
ス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン5重量部、(E)
有機アミノ化合物として3−アミノ−1−プロパノール
5重量部、並びに溶媒としてプロピレングリコールモノ
メチルエーテルアセテート1,000重量部を混合し
て、感放射線性組成物の液状組成物(R2)を調製し
た。次いで、液状組成物(R1)に代えて液状組成物
(R2)を用いた以外は、実施例1と同様にして、基板
上に赤色のストライプ状カラーフィルタを形成した。得
られたカラーフィルタを光学顕微鏡を用いて観察したと
ころ、未露光部の基板上には残渣および地汚れは認めら
れず、かつ得られた画素の基板との密着性も優れてい
た。 〈マスク付着物の評価〉液状組成物(R1)に代えて液
状組成物(R2)を用いた以外は、実施例1と同様にし
て、塗布基板(2)および対向基板(2)を作製し、マ
スク付着物の評価を実施した。その結果、取り外した対
向基板(2)には付着物が認められなかった。
【0079】実施例3 (A)着色剤としてC.I.ピグメントレッド254とC.I.
ピグメントイエロー139との75/25(重量比)混
合物75重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタ
クリル酸/ω−カルボキシポリカプロラクトンモノアク
リレート/スチレン/ベンジルメタクリレート/グリセ
ロールモノメタクリレート/N−フェニルマレイミド共
重合体(共重合重量比=15/10/11.3/35/
10/18.7、Mw=40,000、Mn=20,0
00)75重量部、(C)多官能性単量体としてジペン
タエリスリトールヘキサアクリレート75重量部、
(D)光重合開始剤としてトリアジン系化合物(2)8
重量部、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4
−モルフォリノフェニル)ブタノン−1を10重量部、
2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール3重量部、および水素供与体として2−メルカプ
トベンゾチアゾール1.5重量部と4,4’−ビス(ジ
エチルアミノ)ベンゾフェノン3重量部、(E)有機ア
ミノ化合物としてp−アミノフェノール10重量部、並
びに溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテ
ルアセテート1,000重量部を混合して、感放射線性
組成物の液状組成物(R3)を調製した。次いで、液状
組成物(R1)に代えて液状組成物(R3)を用いた以
外は、実施例1と同様にして、基板上に赤色のストライ
プ状カラーフィルタを形成した。得られたカラーフィル
タを光学顕微鏡を用いて観察したところ、未露光部の基
板上には残渣および地汚れは認められず、かつ得られた
画素の基板との密着性も優れていた。 〈マスク付着物の評価〉液状組成物(R1)に代えて液
状組成物(R3)を用いた以外は、実施例1と同様にし
て、塗布基板(3)および対向基板(3)を作製し、マ
スク付着物の評価を実施した。その結果、取り外した対
向基板(3)には付着物が認められなかった。
【0080】実施例4 (A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン36とC.I.
ピグメントイエロー150との70/30(重量比)混
合物90重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタ
クリル酸/スチレン/ベンジルメタクリレート/グリセ
ロールモノメタクリレート/N−フェニルマレイミド共
重合体(共重合重量比=15/15/35/10/2
5、Mw=35,000、Mn=17,500)60重
量部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリト
ールヘキサアクリレート90重量部、(D)光重合開始
剤としてトリアジン系化合物(2)10重量部、および
2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフ
ォリノフェニル)ブタノン−1を15重量部、(E)有
機アミノ化合物として5−アミノ−1−ペンタノール
7.5重量部、および溶媒として3−エトキシプロピオ
ン酸エチル1,000重量部を混合して、感放射線性組
成物の液状組成物(G1)を調製した。次いで、液状組
成物(R1)に代えて液状組成物(G1)を用いた以外
は、実施例1と同様にして、基板上に緑色のストライプ
状カラーフィルタを形成した。得られたカラーフィルタ
を光学顕微鏡を用いて観察したところ、未露光部の基板
上には残渣および地汚れは認められず、かつ得られた画
素の基板との密着性も優れていた。 〈マスク付着物の評価〉液状組成物(R1)に代えて液
状組成物(G1)を用いた以外は、実施例1と同様にし
て、塗布基板(4)および対向基板(4)を作製し、マ
スク付着物の評価を実施した。その結果、取り外した対
向基板(4)には付着物が認められなかった。
【0081】実施例5 (A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン36とC.I.
ピグメントイエロー138との75/25(重量比)混
合物80重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタ
クリル酸/こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチ
ル)/スチレン/ベンジルメタクリレート/N−フェニ
ルマレイミド共重合体(共重合重量比=15/10/1
8.8/25/31.2、Mw=15,000、Mn=
6,000)65重量部、(C)多官能性単量体として
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート80重量
部、(D)光重合開始剤としてトリアジン系化合物
(3)10重量部、2,2’−ビス(2,4−ジクロロ
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾール6重量部、および水素供与体
として2−メルカプトベンゾチアゾール3重量部と4,
4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン6重量
部、(E)有機アミノ化合物として3−アミノ−1,2
−プロパンジオール2重量部、および溶媒として3−エ
トキシプロピオン酸エチル1,000重量部を混合し
て、感放射線性組成物の液状組成物(G2)を調製し
た。次いで、液状組成物(R1)に代えて液状組成物
(G2)を用いた以外は、実施例1と同様にして、基板
上に緑色のストライプ状カラーフィルタを形成した。得
られたカラーフィルタを光学顕微鏡を用いて観察したと
ころ、未露光部の基板上には残渣および地汚れは認めら
れず、かつ得られた画素の基板との密着性も優れてい
た。 〈マスク付着物の評価〉液状組成物(R1)に代えて液
状組成物(G2)を用いた以外は、実施例1と同様にし
て、塗布基板(5)および対向基板(5)を作製し、マ
スク付着物の評価を実施した。その結果、取り外した対
向基板(5)には付着物が認められなかった。
【0082】実施例6 (A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン7とC.I.ピ
グメントイエロー83との65/35(重量比)混合物
60重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタクリ
ル酸/こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)/
スチレン/ベンジルメタクリレート/N−フェニルマレ
イミド共重合体(共重合重量比=15/10/18.8
/25/31.2、Mw=24,000、Mn=10,
000)75重量部、(C)多官能性単量体としてジペ
ンタエリスリトールヘキサアクリレート75重量部、
(D)光重合開始剤としてトリアジン系化合物(3)1
2重量部、(E)有機アミノ化合物として2−アミノエ
タノール5重量部、および溶媒として3−エトキシプロ
ピオン酸エチルとシクロヘキサノンとの90/10(重
量比)1,000重量部を混合して、感放射線性組成物
の液状組成物(G3)を調製した。次いで、液状組成物
(R1)に代えて液状組成物(G3)を用いた以外は、
実施例1と同様にして、基板上に緑色のストライプ状カ
ラーフィルタを形成した。得られたカラーフィルタを光
学顕微鏡を用いて観察したところ、未露光部の基板上に
は残渣および地汚れは認められず、かつ得られた画素の
基板との密着性も優れていた。 〈マスク付着物の評価〉液状組成物(R1)に代えて液
状組成物(G3)を用いた以外は、実施例1と同様にし
て、塗布基板(6)および対向基板(6)を作製し、マ
スク付着物の評価を実施した。その結果、取り外した対
向基板(6)には付着物が認められなかった。
【0083】比較例1 (E)有機アミノ化合物である5−アミノ−1−ペンタ
ノールを添加しなかった以外は、実施例4と同様にし
て、感放射線性組成物の液状組成物(g1)を調製し
た。 次いで、液状組成物(R1)に代えて液状組成物
(g1)を用いた以外は、実施例1と同様にして、基板
上に緑色のストライプ状カラーフィルタを形成した。得
られたカラーフィルタを光学顕微鏡を用いて観察したと
ころ、未露光部の基板上には乳白色の地汚れが認められ
た。 〈マスク付着物の評価〉液状組成物(R1)に代えて液
状組成物(g1)を用いた以外は、実施例1と同様にし
て、塗布基板(7)および対向基板(7)を作製し、マ
スク付着物の評価を実施した。その結果、取り外した対
向基板(7)には白色の付着物が認められた。
【0084】比較例2 (E)有機アミノ化合物である5−アミノ−1−ペンタ
ノールの代わりに、脂環式エポキシ樹脂セロキサイド2
021P(商品名、ダイセル化学工業(株)製)を5部
添加した以外は、実施例4と同様にして、感放射線性組
成物の液状組成物(g2)を調製した。次いで、液状組
成物(R1)に代えて液状組成物(g2)を用いた以外
は、実施例1と同様にして、基板上に緑色のストライプ
状カラーフィルタを形成した。得られたカラーフィルタ
を光学顕微鏡を用いて観察したところ、未露光部の基板
上には乳白色の地汚れが認められた。 〈マスク付着物の評価〉液状組成物(R1)に代えて液
状組成物(g2)を用いた以外は、実施例1と同様にし
て、塗布基板(8)および対向基板(8)を作製し、マ
スク付着物の評価を実施した。その結果、取り外した対
向基板(8)には、白色の付着物が認められた。
【0085】比較例3 (E)有機アミノ化合物である5−アミノ−1−ペンタ
ノールの代わりに、多官能脂環式エポキシ樹脂エポリー
ドGT401(商品名、ダイセル化学工業(株)製)を
5部添加した以外は、実施例4と同様にして、感放射線
性組成物の液状組成物(g3)を調製した。次いで、液
状組成物(R1)に代えて液状組成物(g3)を用いた
以外は、実施例1と同様にして、基板上に緑色のストラ
イプ状カラーフィルタを形成した。得られたカラーフィ
ルタを光学顕微鏡を用いて観察したところ、未露光部の
基板上には乳白色の地汚れが認められた。 〈マスク付着物の評価〉液状組成物(R1)に代えて液
状組成物(g3)を用いた以外は、実施例1と同様にし
て、塗布基板(9)および対向基板(9)を作製し、マ
スク付着物の評価を実施した。その結果、取り外した対
向基板(9)には白色の付着物が認められた。
【0086】
【発明の効果】第1発明のカラーフィルタ用感放射線性
組成物は、(E)有機アミノ化合物を含有することによ
り、光重合開始剤に含まれるトリアジン系化合物から発
生なしし副生する活性ラジカルや揮発性の酸性化合物
(例えば、ハロゲン化水素等)を捕捉するため、露光時
のマスク付着物の発生を防止することができるのみなら
ず、現像性に優れ、未露光部の基板上に残渣および地汚
れを発生することがなく、しかも基板および遮光層への
密着性にも優れた画素を与えることができる。また、第
2発明のカラーフィルタは、第1発明のカラーフィルタ
用感放射線性組成物から形成されており、その形成過程
で未露光部の残渣および地汚れをブラシ洗浄やスポンジ
洗浄等により除去する操作が必要ないため、画素パター
ンが損傷を受けるおそれがなく、かつ画素の基板との密
着性も優れており、高度の信頼性を有し、しかも露光時
にマスク付着物が発生することがなく、工業的に極めて
有利に作製することができる。したがって、第1発明の
カラーフィルタ用感放射線性組成物および第2発明のカ
ラーフィルタは、透過型あるいは反射型のカラー液晶表
示装置、カラー撮像管素子、カラーセンサー等に極めて
有用である。
フロントページの続き (72)発明者 坂井 孝広 東京都中央区築地二丁目11番24号 ジェイ エスアール株式会社内 (72)発明者 渡邉 毅 東京都中央区築地二丁目11番24号 ジェイ エスアール株式会社内 Fターム(参考) 2H048 BA45 BA48 BB02 BB14

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹
    脂、(C)多官能性単量体、(D)トリアジン系化合物
    を含む光重合開始剤、および(E)分子中に1個以上の
    アミノ基を有する有機アミノ化合物を含有することを特
    徴とするカラーフィルタ用感放射線性組成物。
  2. 【請求項2】 (D)光重合開始剤が更にアセトフェノ
    ン系化合物およびビイミダゾール系化合物の群から選ば
    れる少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項1記
    載のカラーフィルタ用感放射線性組成物。
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2記載のカラーフ
    ィルタ用感放射線性組成物から形成された画素を有する
    ことを特徴とするカラーフィルタ。
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