JP2001108817A - カラーフィルタ用感放射線性組成物およびカラーフィルタ - Google Patents

カラーフィルタ用感放射線性組成物およびカラーフィルタ

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JP2001108817A
JP2001108817A JP28883299A JP28883299A JP2001108817A JP 2001108817 A JP2001108817 A JP 2001108817A JP 28883299 A JP28883299 A JP 28883299A JP 28883299 A JP28883299 A JP 28883299A JP 2001108817 A JP2001108817 A JP 2001108817A
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meth
alkali
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acrylate
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Tomio Nagatsuka
富雄 長塚
Satoko Aoyama
悟子 青山
Takahiro Iijima
孝浩 飯島
Yoshiki Tamaizumi
美喜 玉泉
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 顔料を高濃度で含む場合でも、現像性および
画素の表面平滑性に優れ、かつ画素の基板および遮光層
との密着性にも優れたカラーフィルタ用感放射線性組成
物、並びに当該感放射線性組成物から形成されたカラー
フィルタを提供する。 【解決手段】 カラーフィルタ用感放射線性組成物は、
(A)顔料、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能
性単量体、並びに(D)光重合開始剤を含有するカラー
フィルタ用感放射線性組成物であって、(A)顔料が予
め(B)アルカリ可溶性樹脂および/または他の樹脂か
らなるビヒクル樹脂と共に混練されてなることを特徴と
する。カラーフィルタは、前記カラーフィルタ用感放射
線性組成物から形成された画素を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、透過型あるいは反
射型のカラー液晶表示装置、カラー撮像管素子等に用い
られるカラーフィルタを形成するためのカラーフィルタ
用感放射線性組成物、並びに当該感放射線性組成物から
形成されたカラーフィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、感放射線性組成物を用いてカラー
フィルタを製造するに当たっては、基板上あるいは予め
所望のパターンの遮光層を形成した基板上に、感放射線
性組成物を塗布して、乾燥したのち、乾燥した塗膜に所
望のパターンに放射線を照射(以下、「露光」とい
う。)し、現像することにより、各色の画素を得てい
る。しかし、このようにして製造されたカラーフィルタ
は、現像工程で未露光部の基板上あるいは遮光層上に残
渣や地汚れを生じやすく、また露光部に形成された画素
の基板あるいは遮光層との密着性も十分ではなく、さら
には現像後にポストベークされた画素が、表面平滑性が
悪いなど塗膜物性に劣るという問題があった。しかも、
基板上あるいは遮光層上の残渣や地汚れおよび表面平滑
性の劣化の程度は、感放射線性組成物に含まれる顔料の
濃度が高くなるにつれて著しくなる傾向があり、そのた
め従来のカラーフィルタ用感放射線性組成物では、十分
な色濃度を達成することが困難であった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、顔料
を高濃度で含む場合でも、現像性および画素の表面平滑
性に優れ、かつ画素の基板および遮光層との密着性にも
優れたカラーフィルタ用感放射線性組成物、並びに当該
感放射線性組成物から形成されたカラーフィルタを提供
することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明によると、前記課
題は、第一に、(A)顔料、(B)アルカリ可溶性樹
脂、(C)多官能性単量体、並びに(D)光重合開始剤
を含有するカラーフィルタ用感放射線性組成物であっ
て、(A)顔料が予め(B)アルカリ可溶性樹脂および
/または他の樹脂からなるビヒクル樹脂と共に混練され
てなることを特徴とするカラーフィルタ用感放射線性組
成物、によって達成される。
【0005】本発明によると、前記課題は、第二に、
(A)顔料、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能
性単量体、並びに(D)光重合開始剤を含有するカラー
フィルタ用感放射線性組成物であって、(A)顔料が予
め(B)アルカリ可溶性樹脂および/または他の樹脂か
らなるビヒクル樹脂と共に混練されてなるカラーフィル
タ用感放射線性組成物から形成された画素を有すること
を特徴とするカラーフィルタ、によって達成される。
【0006】以下、本発明を詳細に説明する。(A)顔料 本発明において使用される顔料は、色調が特に限定され
るものではなく、得られるカラーフィルタの用途に応じ
て適宜選定され、有機顔料でも無機顔料でもよい。前記
有機顔料としては、例えば、カラーインデックス(C.
I.;The Society ofDyers and Colourists 社発行) に
おいてピグメント(Pigment)に分類されている化合物、
具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.)
番号が付されているものを挙げることができる。
【0007】C.I.ピグメントイエロー1、C.I.ピグメン
トイエロー3、C.I.ピグメントイエロー12、C.I.ピグ
メントイエロー13、C.I.ピグメントイエロー14、C.
I.ピグメントイエロー15、C.I.ピグメントイエロー1
6、C.I.ピグメントイエロー17、C.I.ピグメントイエ
ロー20、C.I.ピグメントイエロー24、C.I.ピグメン
トイエロー31、C.I.ピグメントイエロー55、C.I.ピ
グメントイエロー60、C.I.ピグメントイエロー61、
C.I.ピグメントイエロー65、C.I.ピグメントイエロー
71、C.I.ピグメントイエロー73、C.I.ピグメントイ
エロー74、C.I.ピグメントイエロー81、C.I.ピグメ
ントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.
ピグメントイエロー95、C.I.ピグメントイエロー9
7、C.I.ピグメントイエロー98、C.I.ピグメントイエ
ロー100、C.I.ピグメントイエロー101、C.I.ピグ
メントイエロー104、C.I.ピグメントイエロー10
6、C.I.ピグメントイエロー108、C.I.ピグメントイ
エロー109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピ
グメントイエロー113、C.I.ピグメントイエロー11
4、C.I.ピグメントイエロー116、C.I.ピグメントイ
エロー117、C.I.ピグメントイエロー119、C.I.ピ
グメントイエロー120、C.I.ピグメントイエロー12
6、C.I.ピグメントイエロー127、C.I.ピグメントイ
エロー128、C.I.ピグメントイエロー129、C.I.ピ
グメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー13
9、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイ
エロー151、C.I.ピグメントイエロー152、C.I.ピ
グメントイエロー153、C.I.ピグメントイエロー15
4、C.I.ピグメントイエロー155、C.I.ピグメントイ
エロー156、C.I.ピグメントイエロー166、C.I.ピ
グメントイエロー168、C.I.ピグメントイエロー17
5、C.I.ピグメントイエロー180、C.I.ピグメントイ
エロー185;
【0008】C.I.ピグメントオレンジ1、C.I.ピグメン
トオレンジ5、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピグ
メントオレンジ14、C.I.ピグメントオレンジ16、C.
I.ピグメントオレンジ17、C.I.ピグメントオレンジ2
4、C.I.ピグメントオレンジ34、C.I.ピグメントオレ
ンジ36、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメン
トオレンジ40、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピ
グメントオレンジ46、C.I.ピグメントオレンジ49、
C.I.ピグメントオレンジ51、C.I.ピグメントオレンジ
61、C.I.ピグメントオレンジ63、C.I.ピグメントオ
レンジ64、C.I.ピグメントオレンジ71、C.I.ピグメ
ントオレンジ73;C.I.ピグメントバイオレット1、C.
I.ピグメントバイオレット19、C.I.ピグメントバイオ
レット23、C.I.ピグメントバイオレット29、C.I.ピ
グメントバイオレット32、C.I.ピグメントバイオレッ
ト36、C.I.ピグメントバイオレット38;
【0009】C.I.ピグメントレッド1、C.I.ピグメント
レッド2、C.I.ピグメントレッド3、C.I.ピグメントレ
ッド4、C.I.ピグメントレッド5、C.I.ピグメントレッ
ド6、C.I.ピグメントレッド7、C.I.ピグメントレッド
8、C.I.ピグメントレッド9、C.I.ピグメントレッド1
0、C.I.ピグメントレッド11、C.I.ピグメントレッド
12、C.I.ピグメントレッド14、C.I.ピグメントレッ
ド15、C.I.ピグメントレッド16、C.I.ピグメントレ
ッド17、C.I.ピグメントレッド18、C.I.ピグメント
レッド19、C.I.ピグメントレッド21、C.I.ピグメン
トレッド22、C.I.ピグメントレッド23、C.I.ピグメ
ントレッド30、C.I.ピグメントレッド31、C.I.ピグ
メントレッド32、C.I.ピグメントレッド37、C.I.ピ
グメントレッド38、C.I.ピグメントレッド40、C.I.
ピグメントレッド41、C.I.ピグメントレッド42、C.
I.ピグメントレッド48:1、C.I.ピグメントレッド4
8:2、C.I.ピグメントレッド48:3、C.I.ピグメン
トレッド48:4、C.I.ピグメントレッド49:1、C.
I.ピグメントレッド49:2、C.I.ピグメントレッド5
0:1、C.I.ピグメントレッド52:1、C.I.ピグメン
トレッド53:1、C.I.ピグメントレッド57、C.I.ピ
グメントレッド57:1、C.I.ピグメントレッド57:
2、C.I.ピグメントレッド58:2、C.I.ピグメントレ
ッド58:4、C.I.ピグメントレッド60:1、C.I.ピ
グメントレッド63:1、C.I.ピグメントレッド63:
2、C.I.ピグメントレッド64:1、C.I.ピグメントレ
ッド81:1、C.I.ピグメントレッド83、C.I.ピグメ
ントレッド88、C.I.ピグメントレッド90:1、C.I.
ピグメントレッド97、C.I.ピグメントレッド101、
C.I.ピグメントレッド102、C.I.ピグメントレッド1
04、C.I.ピグメントレッド105、C.I.ピグメントレ
ッド106、C.I.ピグメントレッド108、C.I.ピグメ
ントレッド112、C.I.ピグメントレッド113、C.I.
ピグメントレッド114、C.I.ピグメントレッド12
2、C.I.ピグメントレッド123、C.I.ピグメントレッ
ド144、C.I.ピグメントレッド146、C.I.ピグメン
トレッド149、C.I.ピグメントレッド150、C.I.ピ
グメントレッド151、C.I.ピグメントレッド166、
C.I.ピグメントレッド168、C.I.ピグメントレッド1
70、C.I.ピグメントレッド171、C.I.ピグメントレ
ッド172、C.I.ピグメントレッド174、C.I.ピグメ
ントレッド175、C.I.ピグメントレッド176、C.I.
ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド17
8、C.I.ピグメントレッド179、C.I.ピグメントレッ
ド180、C.I.ピグメントレッド185、C.I.ピグメン
トレッド187、C.I.ピグメントレッド188、C.I.ピ
グメントレッド190、C.I.ピグメントレッド193、
C.I.ピグメントレッド194、C.I.ピグメントレッド2
02、C.I.ピグメントレッド206、C.I.ピグメントレ
ッド207、C.I.ピグメントレッド208、C.I.ピグメ
ントレッド209、C.I.ピグメントレッド215、C.I.
ピグメントレッド216、C.I.ピグメントレッド22
0、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッ
ド226、C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメン
トレッド243、C.I.ピグメントレッド245、C.I.ピ
グメントレッド254、C.I.ピグメントレッド255、
C.I.ピグメントレッド264、C.I.ピグメントレッド2
65;
【0010】C.I.ピグメントブルー15、C.I.ピグメン
トブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.
I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントブルー6
0;C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリー
ン36;C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメント
ブラウン25;C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメ
ントブラック7。また、前記有機顔料は、例えば、硫酸
再結晶法、溶剤洗浄法や、これらの組み合わせ等により
精製して使用することができる。
【0011】次に、無機顔料としては、例えば、酸化チ
タン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸
鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カ
ドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、
アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラッ
ク等を挙げることができる。本発明において、顔料が単
独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
また、前記各顔料は、予めその粒子表面をポリマーで改
質して使用することができる。ここでいう顔料の粒子表
面の改質処理は、個々の粒子の表面を改質することを意
味し、後述する本発明における混練顔料を調製する処理
とは異なる処理である。顔料の粒子表面を改質するポリ
マーとしては、例えば、特開平8−259876号公報
等に記載されたポリマーや、市販の各種の顔料分散用の
ポリマーまたはオリゴマー等を挙げることができる。本
発明における顔料としては、カラーフィルタには高精細
な発色と耐熱性が求められることから、発色性が高く、
かつ耐熱性の高い顔料、特に耐熱分解性の高い顔料が好
ましく、特に、有機顔料および/またはカーボンブラッ
クが好ましい。また、本発明においては、場合により、
前記顔料と共に、染料や天然色素を1種以上併用するこ
ともできる。
【0012】本発明における顔料は、予め(B)アルカ
リ可溶性樹脂および/または他の樹脂からなるビヒクル
樹脂と共に混練されてなるものである。以下、この混練
された顔料を「混練顔料」という。本発明において、ビ
ヒクル樹脂とは、当該樹脂からなる連続相中に顔料粒子
を分散させて該粒子を内包し、それにより顔料粒子の凝
集を防止する作用を有する樹脂を意味する。本発明にお
けるビヒクル樹脂としては、前記作用を有する限り適宜
の樹脂を使用することができるが、カラーフィルタを形
成する際に使用されるアルカリ現像液に可溶なアルカリ
可溶性樹脂が好ましい。以下では、ビヒクル樹脂として
使用されるアルカリ可溶性樹脂を、「アルカリ可溶性ビ
ヒクル樹脂」という。アルカリ可溶性ビヒクル樹脂は、
カラーフィルタ用感放射線性組成物の調製に使用される
(B)アルカリ可溶性樹脂と同一でも異なってもよい。
この場合、カラーフィルタ用感放射線性組成物の調製に
使用される(B)アルカリ可溶性樹脂と異なるアルカリ
可溶性ビヒクル樹脂としては、例えば、後述する(B)
アルカリ可溶性樹脂について例示する樹脂の中から適宜
選択して使用することができる。また、アルカリ可溶性
ビヒクル樹脂がカラーフィルタ用感放射線性組成物の調
製に使用される(B)アルカリ可溶性樹脂と同一の樹脂
を含む場合、当該(B)アルカリ可溶性樹脂の一部また
は全部をアルカリ可溶性ビヒクル樹脂として使用するこ
とができる。本発明において、アルカリ可溶性ビヒクル
樹脂は、単独でまたは2種以上を混合して使用すること
ができる。
【0013】また、アルカリ可溶性ビヒクル樹脂以外の
ビヒクル樹脂(以下、「他のビヒクル樹脂」という。)
としては、例えば、ニトロセルロース、エチルセルロー
ス、酢酸セルロース、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル/酢
酸ビニル共重合体、アクリル酸エステル系樹脂(但し、
アルカリ可溶性樹脂を除く。)、ビニルブチラール樹
脂、ポリアミド、エポキシ樹脂、ポリエステル等を挙げ
ることができる。これらの他のビヒクル樹脂は、単独で
または2種以上を混合して使用することができ、またア
ルカリ可溶性ビヒクル樹脂と併用することもできる。
【0014】本発明における混練顔料は、基本的には、
従来の塗料やインキ用のカラーチップの場合と同様にし
て調製することができるが、その調製時の混練過程では
顔料成分に対して剪断力を作用させることが好ましい。
それにより、顔料成分の二次粒子が混練過程で離解し
て、実質上一次粒子のレベルにまで微細化され、この微
細な顔料粒子は、連続相をなすビヒクル樹脂に内包され
て、該連続相中に安定して分散しているため、コントラ
ストや画素の表面平滑性の向上、現像不均一による残渣
発生の抑制等の効果が奏される。混練顔料の好ましい調
製法としては、より具体的には、例えば、(i) ビヒ
クル樹脂に、必要に応じて、適量の溶剤や可塑剤、分散
剤、分散助剤等の混練助剤を加えたのち、顔料を加え、
その後、例えば、2本ロール混練機、3本ロール混練機
等の、顔料に対して剪断作用を及ぼしうる混練機を用い
て混練することにより、顔料をビヒクル樹脂中に分散さ
せる方法、(ii) ビヒクル樹脂を、必要に応じて、適
量の可塑剤、分散剤、分散助剤等の混練助剤の存在下
で、加熱して溶融させたのち、顔料を加え、その後、例
えば、2本ロール混練機、3本ロール混練機等の、顔料
に対して剪断作用を及ぼしうる混練機を用いて混練する
ことにより、顔料をビヒクル樹脂中に分散させる方法等
を挙げることができる。本発明においては、このように
して調製された混練顔料は、そのまま感放射線性組成物
の調製に使用することができるが、当該組成物の調製時
の操作性等の観点から、得られた混練顔料をチップ化し
たのち、感放射線性組成物の調製に供するのが好まし
い。前記(i)の方法に使用される溶剤としては、例え
ば、後述する感放射線性組成物の液状組成物の調製につ
いて例示した溶媒と同様のものを使用することができ
る。また、前記(i)および(ii)の方法に使用される
可塑剤は特に限定されるものではなく、一般の樹脂用可
塑剤をビヒクル樹脂の種類に応じて適宜選定して使用す
ることができる。これらの溶剤や可塑剤の添加量は、混
練時に顔料に対して剪断作用を有効に及ぼしうる範囲で
適宜選定される。さらに、前記(i)およびは(ii)の
方法に使用される分散剤および分散助剤としては、例え
ば、後述する分散剤や分散助剤を、顔料やビヒクル樹脂
の種類に応じて適宜選定して使用することができる。前
記(i)の方法における処理温度は、常温で十分である
が、場合により70℃以下の範囲で加熱してもよい。ま
た、前記(ii)の方法における処理温度は、ビヒクル樹
脂の種類や分子量、顔料の濃度等により変わるが、通
常、70〜150℃、好ましくは90〜110℃であ
る。
【0015】混練顔料中の顔料の割合は、好ましくは1
0〜80重量%、さらに好ましくは30〜70重量%で
ある。この場合、顔料の割合が10重量%未満では、塗
膜中の顔料濃度が低くなり、カラーフィルタとして十分
な色濃度を確保できなくなるおそれがあり、一方80重
量%を超えると、予め顔料をビヒクル樹脂と共に混練す
ることによる本発明の効果が十分達成できなくなるおそ
れがある。また、混練顔料をチップ化する場合のチップ
のサイズは、感放射線性組成物の調製、特に感放射線性
組成物の液状組成物の調製時の操作性等を考慮して適宜
選定されるが、通常、0.1〜20mmの範囲、好まし
くは1〜10mmの範囲にある。このようにして調製さ
れた混練顔料は、そのまま感放射線性組成物の調製に使
用することができるが、好ましくは混練顔料をチップ化
したのち、その顔料成分およびビヒクル樹脂を実質上溶
解しない溶媒に分散した分散液として、感放射線性組成
物の調製、特に感放射線性組成物の液状組成物の調製に
供することが好ましい。混練顔料の前記分散液の調製に
使用される溶媒としては、例えば、3−メトキシプロピ
ルアセテート、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−
メトキシブチルアセテート、シクロヘキサノン等を挙げ
ることができる。これらの溶媒は、単独でまたは2種以
上を混合して使用することができる。
【0016】本発明における混練顔料は、その分散液を
調製する際に、場合により、分散剤や分散助剤と共に使
用することができる。前記分散剤としては、例えば、ポ
リアクリル酸エステル等の不飽和カルボン酸エステルの
(共)重合体類;ポリアクリル酸等の不飽和カルボン酸
の(共)重合体の(部分)アミン塩、(部分)アンモニ
ウム塩や(部分)アルキルアミン塩類;水酸基含有ポリ
アクリル酸エステル等の水酸基含有不飽和カルボン酸エ
ステルの(共)重合体やそれらの変性物;ポリウレタン
類;不飽和ポリアミド類;ポリシロキサン類;長鎖ポリ
アミノアミドリン酸塩類;ポリ(低級アルキレンイミ
ン)と遊離カルボキシル基含有ポリエステルとの反応に
より得られるアミドやそれらの塩類等を挙げることがで
き、商品名では、 Disperbyk−101、同−130、同
−140、同−160、同−161、同−162、同−
163、同−164、同−165、同−166、同−1
70、同−171、同−182(以上、ビックケミー・
ジャパン(株)製)、EFKA−47、同−47EA、
同−48、同−49、同−100、同−400、同−4
50(以上、EFKA CHEMICALS社製) 、ソルスパース 12
000 、同 13240 、同 13940 、同 17000 、同 2000
0 、同24000GR、同 24000SC、同 27000 、同 280
00 (以上、ゼネカ(株)製)、PB711、同821
(以上、味の素(株)製)等を挙げることができる。
【0017】また、前記以外の分散剤としては、例え
ば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリ
コーン系、フッ素系等の界面活性剤を挙げることができ
る。前記界面活性剤の例としては、ポリオキシエチレン
ラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエー
テル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオ
キシエチレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレン
n−オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンn
−ノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアル
キルフェニルエーテル類;ポリエチレングリコールジラ
ウレート、ポリエチレングリコールジステアレート等の
ポリエチレングリコールジエステル類;ソルビタン脂肪
酸エステル類;脂肪酸変性ポリエステル類;3級アミン
変性ポリウレタン類;ポリエチレンイミン類を挙げるこ
とができ、商品名では、KP(信越化学工業(株)
製)、ポリフロー(共栄社化学(株)製)、エフトップ
(トーケムプロダクツ社製)、メガファック(大日本イ
ンキ化学工業(株)製)、フロラード(住友スリーエム
(株)製)、アサヒガード、サーフロン(以上、旭硝子
(株)製)等を挙げることができる。これらの分散剤
は、単独でまたは2種以上を混合して使用することがで
きる。また、前記分散助剤としては、例えば、顔料を
酸、塩基やポリマー等で処理した顔料誘導体、具体的に
は、銅フタロシアニン誘導体等の青色顔料誘導体や黄色
顔料誘導体等を挙げることができる。これらの分散助剤
は、単独でまたは2種以上を混合して使用することがで
きる。なお、分散剤や分散助剤が混練顔料の調製時に既
に添加されている場合、混練顔料の分散液の調製段階で
は、分散剤や分散助剤をさらに添加しても添加しなくて
もよい。分散剤および/または分散助剤の使用量は、
練顔料100重量部に対して、通常、50重量部以下、
好ましくは0〜30重量部である。
【0018】(B)アルカリ可溶性樹脂 次に、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂としては、
(A)顔料に対してバインダーとして作用し、かつカラ
ーフィルタを製造する際に、その現像処理工程において
用いられる現像液、特に好ましくはアルカリ現像液に対
して可溶性を有するものであれば、特に限定されるもの
ではないが、例えば、カルボキシル基、フェノール性水
酸基、スルホン酸基等の酸性官能基を1種以上有する樹
脂を挙げることができる。
【0019】本発明におけるアルカリ可溶性樹脂として
は、より具体的には、酸性官能基を有する重合性不飽和
単量体とそれ以外の共重合性不飽和単量体との共重合体
等を挙げることができる。前記酸性官能基を有する重合
性不飽和単量体としては、例えば、(メタ)アクリル
酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、エタクリル
酸、けい皮酸等の不飽和モノカルボン酸類;マレイン
酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタ
コン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸
等の不飽和ジカルボン酸またはその無水物類;前記不飽
和ジカルボン酸のモノメチルエステル、モノエチルエス
テル等のモノエステル類;3価以上の不飽和多価カルボ
ン酸またはその無水物類;こはく酸モノ〔2−(メタ)
アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メ
タ)アクリロイロキシエチル〕等の2価以上の多価カル
ボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイロキシアルキル〕エ
ステル類;ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メ
タ)アクリレート等の末端にカルボキシル基と水酸基と
を有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート類等の1
個以上のカルボキシル基を有する重合性不飽和単量体
(以下、単に「カルボキシル基含有不飽和単量体」とい
う。);o−ヒドロキシスチレン、m−ヒドロキシスチ
レン、p−ヒドロキシスチレン、o−ヒドロキシ−α−
メチルスチレン、m−ヒドロキシ−α−メチルスチレ
ン、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、N−o−ヒ
ドロキシフェニルマレイミド、N−m−ヒドロキシフェ
ニルマレイミド、N−p−ヒドロキシフェニルマレイミ
ド等の1個以上のフェノール性水酸基を有する重合性不
飽和単量体;イソプレンスルホン酸、p−スチレンスル
ホン酸等の1個以上のスルホン酸基を有する重合性不飽
和単量体等を挙げることができる。これらの酸性官能基
を有する重合性不飽和単量体のうち、カルボキシル基含
有不飽和単量体が好ましく、特に、(メタ)アクリル
酸、こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチ
ル〕、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)
アクリレート等が好ましい。前記酸性官能基を有する重
合性不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して
使用することができる。
【0020】また、共重合性不飽和単量体としては、例
えば、重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル
基を有するマクロモノマー類、より具体的には、ポリス
チレン、ポリメチル(メタ)アクリレート、ポリ−n−
ブチル(メタ)アクリレート、ポリシロキサン等の分子
鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロ
モノマー類;N位に、例えば、炭素数6〜10のアリー
ル基、炭素数7〜12のアラルキル基、炭素数6〜10
のシクロアルキル基、炭素数1〜12の直鎖状もしくは
分岐状のアルキル基や、これらの基の置換誘導体等の置
換基を有するN位−置換マレイミド類、より具体的に
は、N−フェニルマレイミド、N−o−メチルフェニル
マレイミド、N−m−メチルフェニルマレイミド、N−
p−メチルフェニルマレイミド、N−o−メトキシフェ
ニルマレイミド、N−m−メトキシフェニルマレイミ
ド、N−p−メトキシフェニルマレイミド等のN−(置
換)アリールマレイミドや、N−ベンジルマレイミド、
N−シクロヘキシルマレイミド、N−メチルマレイミド
等;下記式(1)
【0021】
【化2】
【0022】〔式(1)において、R1 は水素原子また
はメチル基を示す。〕で表される単量体(以下、「グリ
セロールモノ(メタ)アクリレート」という。);
【0023】スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニ
ルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエ
ン、p−クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−
メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニル
ベンジルメチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエ
ーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニ
ルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグ
リシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエー
テル等の芳香族ビニル化合物;インデン、1−メチルイ
ンデン等のインデン類;
【0024】メチル(メタ)アクリレート、エチル(メ
タ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレー
ト、i−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル
(メタ)アクリレート、i−ブチル(メタ)アクリレー
ト、sec−ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル
(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)
アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリ
レート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレー
ト、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3−
ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキ
シブチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリ
レート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジ
ル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレー
ト、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、2−フ
ェノキシエチル(メタ)アクリレート、メトキシジエチ
レングルコール(メタ)アクリレート、メトキシトリエ
チレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシプロ
ピレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシジプ
ロピレングルコール(メタ)アクリレート、イソボルニ
ル(メタ)アクリレート、トリシクロ[ 5.2.1.0
2,6 ] デカン−8−イル (メタ)アクリレート、2−ヒ
ドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレー
ト等の不飽和カルボン酸エステル類;
【0025】2−アミノエチル(メタ)アクリレート、
2−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、2−
アミノプロピル(メタ)アクリレート、2−ジメチルア
ミノプロピル(メタ)アクリレート、3−アミノプロピ
ル(メタ)アクリレート、3−ジメチルアミノプロピル
(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸アミノアル
キルエステル類;グリシジル(メタ)アクリレート等の
不飽和カルボン酸グリシジルエステル類;酢酸ビニル、
プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等の
カルボン酸ビニルエステル類;ビニルメチルエーテル、
ビニルエチルエーテル、(メタ)アリルグリシジルエー
テル等の不飽和エーテル類;(メタ)アクリロニトリ
ル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン
等のシアン化ビニル化合物;(メタ)アクリルアミド、
α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリルアミド等の不飽和アミド類;1,3−
ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役
ジエン類;マレイミド等の不飽和イミド類等を挙げるこ
とができる。
【0026】これらの共重合性不飽和単量体のうち、マ
クロモノマー類、N位−置換マレイミド類、グリセロー
ルモノ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレートが好ましい。また、マクロモノマ
ー類の中では、特に、ポリスチレンマクロモノマー、ポ
リメチル(メタ)アクリレートマクロモノマーが好まし
く、N位−置換マレイミド類の中では、特に、N−フェ
ニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミドが好ま
しい。前記共重合性不飽和単量体は、単独でまたは2種
以上を混合して使用することができる。以下では、マク
ロモノマー類、N位−置換マレイミド類、グリセロール
モノ(メタ)アクリレートおよび2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレートの四者を除く共重合性不飽和単量
体を、「他の共重合性不飽和単量体」という。
【0027】本発明におけるアルカリ可溶性樹脂として
は、(a)カルボキシル基含有不飽和単量体と(b)マ
クロモノマー類、N位−置換マレイミド類、グリセロー
ルモノ(メタ)アクリレートおよび2−ヒドロキシエチ
ル(メタ)アクリレートの群から選ばれる少なくとも1
種を含む単量体混合物の共重合体が好ましく、下記アル
カリ可溶性樹脂(B1)〜アルカリ可溶性樹脂(B5)
がさらに好ましい。(B1)カルボキシル基含有不飽
和単量体とマクロモノマーとの、場合により他の共
重合性不飽和単量体成分をさらに含有する共重合体(以
下、「アルカリ可溶性樹脂(B1)」という。)、(B
2)カルボキシル基含有不飽和単量体とN位−置換
マレイミドとの、場合により他の共重合性不飽和単量
体成分をさらに含有する共重合体(以下、「アルカリ可
溶性樹脂(B2)」という。)、(B3)カルボキシ
ル基含有不飽和単量体とグリセロールモノ(メタ)ア
クリレートと他の共重合性不飽和単量体との共重合体
(以下、「アルカリ可溶性樹脂(B3)」という。)、
(B4)カルボキシル基含有不飽和単量体と2−ヒ
ドロキシエチル(メタ)アクリレートとの、場合により
他の共重合性不飽和単量体成分をさらに含有する共重
合体(以下、「アルカリ可溶性樹脂(B4)」とい
う。)、(B5)カルボキシル基含有不飽和単量体と
マクロモノマー、N位−置換マレイミド、グリセロー
ルモノ(メタ)アクリレートおよび2−ヒドロキシエチ
ル(メタ)アクリレートの群から選ばれる2種以上と
の、場合により他の共重合性不飽和単量体成分をさら
に含有する共重合体(以下、「アルカリ可溶性樹脂(B
5)」という。)。
【0028】以下、アルカリ可溶性樹脂(B1)〜アル
カリ可溶性樹脂(B5)について、順次説明する。アル
カリ可溶性樹脂(B1)としては、(メタ)アクリル
酸を必須成分とし、場合によりこはく酸モノ〔2−(メ
タ)アクリロイロキシエチル〕および/またはω−カル
ボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレートを
含有するカルボキシル基含有不飽和単量体とポリスチ
レンマクロモノマーおよび/またはポリメチル(メタ)
アクリレートマクロモノマーとの、場合によりスチレ
ン、メチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アク
リレート、ベンジル(メタ)アクリレートおよびフェニ
ル(メタ)アクリレートの群から選ばれる少なくとも1
種をさらに含有する共重合体(以下、「アルカリ可溶性
樹脂(β−1)」という。)が好ましい。
【0029】アルカリ可溶性樹脂(β−1)の具体例と
しては、メタクリル酸/ベンジルメタクリレート/PS
T−Mマクロモノマー共重合体、メタアクリル酸/ベン
ジルメタクリレート/PMMA−Mマクロモノマー共重
合体等を挙げることができる。
【0030】アルカリ可溶性樹脂(B1)において、カ
ルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合は、好まし
くは5〜50重量%、特に好ましくは10〜20重量%
であり、マクロモノマーの共重合割合は、好ましくは1
〜20重量%、特に好ましくは5〜15重量%であり、
他の共重合性不飽和単量体の共重合割合は、通常、90
重量%以下、好ましくは80重量%以下である。この場
合、カルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合が5
重量%未満では、得られる組成物のアルカリ現像液への
溶解性が低下し、未露光部に地汚れや膜残りが発生しや
すくなる傾向があり、一方50重量%を超えると、得ら
れる組成物のアルカリ現像液への溶解性が過剰となり、
形成された画素が基板から脱落しやすくなる傾向があ
る。また、マクロモノマーの共重合割合が1重量%未満
では、顔料の分散性が不十分となり、画素の表面平滑性
等が損なわれるおそれがあり、一方20重量%を超える
と、得られる組成物のアルカリ現像液への溶解性が低下
する傾向がある。アルカリ可溶性樹脂(B1)のゲルパ
ーミエーションクロマトグラフィ(GPC;溶出溶媒テ
トラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算重量平
均分子量(以下、「Mw」という。)は、好ましくは1
0,000〜500,000、特に好ましくは20,0
00〜300,000である。このような特定のMwを
有するアルカリ可溶性樹脂(B1)を使用することによ
り、現像性に優れた感放射線性組成物が得られ、それに
よりシャープなパターンエッジを有する画素を形成する
ことができるとともに、現像時に未露光部の基板上ある
いは遮光層上に残渣、地汚れ、膜残り等が発生し難くな
り、さらには最適な現像結果を与える現像時間が広くな
り、いわゆる現像マージンを大きくすることができる。
【0031】また、アルカリ可溶性樹脂(B2)として
は、(メタ)アクリル酸を必須成分とし、場合により
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕
および/またはω−カルボキシポリカプロラクトンモノ
(メタ)アクリレートを含有するカルボキシル基含有不
飽和単量体と、N−フェニルマレイミドとの、場合に
よりスチレンと、メチル(メタ)アクリレート、ア
リル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレ
ートおよびフェニル(メタ)アクリレートの群から選ば
れる少なくとも1種をさらに含有する共重合体(以下、
「アルカリ可溶性樹脂(β−2)」という。)が好まし
い。
【0032】アルカリ可溶性樹脂(β−2)の具体例と
しては、(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド
/スチレン/ベンジルメタクリレート共重合体、(メ
タ)アクリル酸/こはく酸モノ(2−メタクリロイロキ
シエチル)/N−フェニルマレイミド/スチレン/アリ
ルメタクリレート/共重合体、(メタ)アクリル酸/こ
はく酸モノ(2−メタクリロイロキシエチル)/N−フ
ェニルマレイミド/スチレン/ベンジルメタクリレート
/共重合体、(メタ)アクリル酸/N−シクロヘキシル
マレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート
共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−
(メタ)アクリロイロキシエチル〕/N−シクロヘキシ
ルマレイミド/スチレン/アリル(メタ)アクリレート
/共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−
(メタ)アクリロイロキシエチル〕/N−シクロヘキシ
ルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレー
ト/共重合体等を挙げることができる。
【0033】アルカリ可溶性樹脂(B2)において、カ
ルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合は、好まし
くは5〜50重量%、特に好ましくは10〜40重量%
であり、N位−置換マレイミドの共重合割合は、好まし
くは5〜50重量%、特に好ましくは10〜40重量%
であり、他の共重合性不飽和単量体の共重合割合は、好
ましくは90重量%以下、特に好ましくは80重量%以
下である。この場合、カルボキシル基含有不飽和単量体
の共重合割合が5重量%未満では、得られる組成物のア
ルカリ現像液への溶解性が低下する傾向があり、一方5
0重量%を超えると、得られる組成物のアルカリ現像液
への溶解性が過剰となり、形成された画素が基板から脱
落しやすくなったり、画素表面の膜荒れを来たしやすく
なったりする傾向がある。また、N位−置換マレイミド
の共重合割合が5重量%未満では、画素の耐熱性が低下
する傾向があり、一方50重量%を超えると、得られる
組成物のアルカリ現像液への溶解性が低下して、未露光
部の基板上あるいは遮光層上に残渣や地汚れを生じるお
それがある。アルカリ可溶性樹脂(B2)のMwは、好
ましくは3,000〜300,000、特に好ましくは
5,000〜100,000である。このような特定の
Mwを有するアルカリ可溶性樹脂(B2)を使用するこ
とにより、現像性に優れた感放射線性組成物が得られ、
それによりシャープなパターンエッジを有する画素を形
成することができるとともに、現像時に基板上の画素を
形成する部分以外の領域における地汚れ、膜残り等が発
生し難くなる。
【0034】また、アルカリ可溶性樹脂(B3)として
は、(メタ)アクリル酸を必須成分とし、場合により
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕
および/またはω−カルボキシポリカプロラクトンモノ
(メタ)アクリレートを含有するカルボキシル基含有不
飽和単量体と、グリセロールモノ(メタ)アクリレー
トと、スチレン、メチル(メタ)アクリレート、アリ
ル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレー
トおよびフェニル(メタ)アクリレートの群から選ばれ
る少なくとも1種との共重合体(以下、「アルカリ可溶
性樹脂(β−3)」という。)が好ましい。
【0035】アルカリ可溶性樹脂(β−3)の具体例と
しては、(メタ)アクリル酸/グリセロールモノ(メ
タ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重
合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メ
タ)アクリロイロキシエチル〕/グリセロールモノ(メ
タ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重
合体等を挙げることができる。
【0036】アルカリ可溶性樹脂(B3)において、カ
ルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合は、好まし
くは5〜50重量%、特に好ましくは10〜40重量%
であり、グリセロールモノ(メタ)アクリレートの共重
合割合は、好ましくは5〜35重量%、特に好ましくは
10〜25重量%であり、他の共重合性不飽和単量体の
共重合割合は、好ましくは15〜90重量%、特に好ま
しくは35〜80重量%である。この場合、カルボキシ
ル基含有不飽和単量体の共重合割合が5重量%未満で
は、得られる組成物のアルカリ現像液に対する溶解性が
低下する傾向があり、一方50重量%を超えると、得ら
れる組成物のアルカリ現像液への溶解性が過剰となり、
形成された画素が基板からの脱落しやすくなったり、画
素表面の膜荒れを来たしやすくなったりする傾向があ
る。また、グリセロールモノ(メタ)アクリレートの共
重合割合が5重量%未満では、未露光部の基板上あるい
は遮光層上に残渣、地汚れ等を生じるおそれがあり、一
方35重量%を超えると、アルカリ現像液による現像時
に、形成された画素が基板から脱落しやすくなる傾向が
ある。アルカリ可溶性樹脂(B3)のMwは、好ましく
は3,000〜300,000、特に好ましくは5,0
00〜100,000である。このような特定のMwを
有するアルカリ可溶性樹脂(B3)を使用することによ
り、現像性に優れた感放射線性組成物が得られ、それに
よりシャープなパターンエッジを有する画素を形成する
ことができるとともに、現像時に基板上の画素を形成す
る部分以外の領域における地汚れ、膜残り等が発生し難
くなる。
【0037】また、アルカリ可溶性樹脂(B4)として
は、(メタ)アクリル酸を必須成分とし、場合により
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕
および/またはω−カルボキシポリカプロラクトンモノ
(メタ)アクリレートを含有するカルボキシル基含有不
飽和単量体と、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリ
レートとの、場合によりスチレン、メチル(メタ)ア
クリレート、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル
(メタ)アクリレートおよびフェニル(メタ)アクリレ
ートの群から選ばれる少なくとも1種をさらに含有する
共重合体(以下、「アルカリ可溶性樹脂(β−4)」と
いう。)が好ましい。
【0038】アルカリ可溶性樹脂(β−4)の具体例と
しては、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/
スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート
共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート
共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート
共重合体等を挙げることができる。
【0039】アルカリ可溶性樹脂(B4)において、カ
ルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合は、好まし
くは5〜30重量%、特に好ましくは10〜20重量%
であり、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートの
共重合割合は、好ましくは5〜30重量%、特に好まし
くは10〜20重量%であり、他の共重合性不飽和単量
体の共重合割合は、好ましくは90重量%以下、特に好
ましくは80重量%以下である。この場合、カルボキシ
ル基含有不飽和単量体の共重合割合が5重量%未満で
は、得られる組成物のアルカリ現像液に対する溶解性が
低下する傾向があり、一方30重量%を超えると、得ら
れる組成物のアルカリ現像液への溶解性が過剰となり、
形成された画素が基板からの脱落しやすくなったり、画
素表面の膜荒れを来たしやすくなったりする傾向があ
る。また、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート
の共重合割合が5重量%未満では、膜硬度が不足するお
それがあり、一方30重量%を超えると、地汚れ、膜残
り等が発生しやすくなる傾向がある。アルカリ可溶性樹
脂(B4)のMwは、好ましくは3,000〜300,
000、特に好ましくは5,000〜100,000で
ある。このような特定のMwを有するアルカリ可溶性樹
脂(B4)を使用することにより、現像性に優れた感放
射線性組成物が得られ、それによりシャープなパターン
エッジを有する画素を形成することができるとともに、
現像時に基板上の画素を形成する部分以外の領20おけ
る地汚れ、膜残り等が発生し難くなる。
【0040】また、アルカリ可溶性樹脂(B5)として
は、(メタ)アクリル酸を必須成分とし、場合により
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕
および/またはω−カルボキシポリカプロラクトンモノ
(メタ)アクリレートを含有するカルボキシル基含有不
飽和単量体と、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメ
チル(メタ)アクリレートマクロモノマー、N−フェニ
ルマレイミド、グリセロールモノ(メタ)アクリレート
および2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートの群
から選ばれる2種以上との、場合によりスチレン、メ
チル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレー
ト、ベンジル(メタ)アクリレートおよびフェニル(メ
タ)アクリレートの群から選ばれる少なくとも1種をさ
らに含有する共重合体(以下、「アルカリ可溶性樹脂
(β−5)」という。)が好ましい。
【0041】アルカリ可溶性樹脂(β−5)の具体例と
しては、メタクリル酸/2−ヒドロキシエチルメタクリ
レート/ベンジルメタアクリレート/PST−Mマクロ
モノマー共重合体、メタクリル酸/2−ヒドロキシエチ
ルメタクリレート/ベンジルメタアクリレート/PMM
A−Mマクロモノマー共重合体、メタクリル酸/N−フ
ェニルマレイミド/グリセロールモノメタクリレート/
スチレン/ベンジルメタクリレート共重合体等を挙げる
ことができる。
【0042】アルカリ可溶性樹脂(B5)において、カ
ルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合は、好まし
くは5〜50重量%、特に好ましくは10〜40重量%
であり、マクロモノマー、N位−置換マレイミド、グリ
セロールモノ(メタ)アクリレートおよび2−ヒドロキ
シエチル(メタ)アクリレートの群から選ばれる2種以
上の合計共重合割合は、好ましくは10〜60重量%、
特に好ましくは20〜50重量%であり、他の共重合性
不飽和単量体の共重合割合は、通常、80重量%以下、
好ましくは60重量%以下である。この場合、カルボキ
シル基含有不飽和単量体の共重合割合が5重量%未満で
は、得られる組成物のアルカリ現像液への溶解性が低下
し、未露光部に地汚れや膜残りが発生しやすくなる傾向
があり、一方50重量%を超えると、得られる組成物の
アルカリ現像液への溶解性が過剰となり、形成された画
素が基板からの脱落しやすくなったり、画素表面の膜荒
れを来たしやすくなったりする傾向がある。また、マク
ロモノマー、N位−置換マレイミド、グリセロールモノ
(メタ)アクリレートおよび2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレートの群から選ばれる2種以上の合計共重
合割合が10重量%未満では、現像性や画素の耐熱性が
低下する傾向があり、一方60重量%を超えると、得ら
れる組成物のアルカリ現像液への溶解性が低下して、未
露光部の基板上あるいは遮光層上に残渣や地汚れを生じ
るおそれがある。アルカリ可溶性樹脂(B5)のゲルパ
ーミエーションクロマトグラフィ(GPC;溶出溶媒テ
トラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算重量平
均分子量(以下、「Mw」という。)は、好ましくは
3,000〜500,000、特に好ましくは5,00
0〜300,000である。このような特定のMwを有
するアルカリ可溶性樹脂(B5)を使用することによ
り、現像性に優れた感放射線性組成物が得られ、それに
よりシャープなパターンエッジを有する画素を形成する
ことができるとともに、現像時に未露光部の基板上ある
いは遮光層上に残渣、地汚れ、膜残り等が発生し難くな
り、さらには最適な現像結果を与える現像時間が広くな
り、いわゆる現像マージンを大きくすることができる。
本発明において、アルカリ可溶性樹脂(B1)〜アルカ
リ可溶性樹脂(B5)は、単独でまたは2種以上を混合
して使用することができる。
【0043】さらに、前記アルカリ可溶性樹脂(B1)
〜アルカリ可溶性樹脂(B5)以外のアルカリ可溶性樹
脂としては、前記カルボキシル基含有不飽和単量体と他
の共重合性不飽和単量体との共重合体(以下、「アルカ
リ可溶性樹脂(B6)」という。)等を挙げることがで
きる。アルカリ可溶性樹脂(B6)としては、(メ
タ)アクリル酸を必須成分とし、場合によりこはく酸モ
ノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕および/ま
たはω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)ア
クリレートを含有するカルボキシル基含有不飽和単量体
とスチレン、メチル(メタ)アクリレート、アリル
(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート
およびフェニル(メタ)アクリレートの群から選ばれる
少なくとも1種との共重合体(以下、「アルカリ可溶性
樹脂(β−6)」という。)が好ましい。
【0044】アルカリ可溶性樹脂(β−6)の具体例と
しては、(メタ)アクリル酸/スチレン共重合体、(メ
タ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート共重合
体、(メタ)アクリル酸/アリル(メタ)アクリレート
共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アク
リレート共重合体、(メタ)アクリル酸/フェニル(メ
タ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/スチ
レン/メチル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)
アクリル酸/スチレン/アリル(メタ)アクリレート共
重合体、(メタ)アクリル酸/スチレン/ベンジル(メ
タ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/スチ
レン/フェニル(メタ)アクリレート共重合体、(メ
タ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート/ベンジ
ル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸
/メチル(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アク
リレート共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メ
タ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート共重
合体、
【0045】(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−
(メタ)アクリロイロキシエチル〕//スチレン共重合
体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)
アクリロイロキシエチル〕/ベンジル(メタ)アクリレ
ート共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2
−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/フェニル(メ
タ)アクリレート共重合体等を挙げることができる。前
記アルカリ可溶性樹脂(β−6) は、単独でまたは2種
以上を混合して使用することができる。
【0046】アルカリ可溶性樹脂(B6)におけるカル
ボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合は、通常、5
〜50重量%、好ましくは10〜40重量%である。こ
の場合、カルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合
が5重量%未満では、得られる組成物のアルカリ現像液
に対する溶解性が低下する傾向があり、一方50重量%
を超えると、得られる組成物のアルカリ現像液に対する
溶解性が過剰となり、アルカリ現像液により現像する際
に、画素が基板から脱落しやすくなったり、画素表面の
膜荒れを来たしやすくなったりする傾向がある。アルカ
リ可溶性樹脂(B6)のMwは、通常、3,000〜3
00,000、好ましくは5,000〜100,000
である。
【0047】本発明におけるアルカリ可溶性樹脂として
は、現像性、画素の表面平滑性、基板との密着性等の観
点から、アルカリ可溶性樹脂(B1)〜アルカリ可溶性
樹脂(B5)が好ましいものであり、したがって他のア
ルカリ可溶性樹脂を使用する際には、アルカリ可溶性樹
脂(B1)〜アルカリ可溶性樹脂(B5)の1種以上と
併用することが望ましい。他のアルカリ可溶性樹脂をア
ルカリ可溶性樹脂(B1)〜アルカリ可溶性樹脂(B
5)と併用する際の使用割合は、アルカリ可溶性樹脂の
合計量に対して、通常、50重量%以下、好ましくは3
0重量%以下である。この場合、他のアルカリ可溶性樹
脂の使用量が50重量%を超えると、感放射線性組成物
の現像性や画素の耐熱性等が低下する傾向がある。
【0048】本発明におけるアルカリ可溶性樹脂の使用
量は、混練顔料のビヒクル樹脂として使用されるアルカ
リ可溶性樹脂を含む合計量として、(A)顔料100重
量部に対して、通常、10〜1,000重量部、好まし
くは20〜500重量部である。この場合、アルカリ可
溶性樹脂の使用量が10重量部未満では、例えば、アル
カリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮
光層上に残渣、地汚れ等が発生するおそれがあり、一方
1,000重量部を超えると、相対的に顔料濃度が低下
するため、カラーフィルタとして十分な色濃度を確保す
ることが困難となるおそれがある。
【0049】(C)多官能性単量体 本発明における多官能性単量体は、2個以上の重合性不
飽和結合を有する単量体であり、その例としては、エチ
レングリコール、プロピレングリコール等のアルキレン
グリコールのジ(メタ)アクリレート類;ポリエチレン
グリコール、ポリプロピレングリコール等のポリアルキ
レングリコールのジ(メタ)アクリレート類;グリセリ
ン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、
ジペンタエリスリトール等の3価以上の多価アルコール
のポリ(メタ)アクリレート類や、それらのジカルボン
酸変性物;ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹
脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂等の
オリゴ(メタ)アクリレート類;両末端ヒドロキシポリ
−1,3−ブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレ
ン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトン等の両末端ヒ
ドロキシル化重合体のジ(メタ)アクリレート類のほ
か、トリス〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕フ
ォスフェート等を挙げることができる。
【0050】これらの多官能性単量体のうち、3価以上
の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類やそれ
らのジカルボン酸変性物が好ましく、具体的には、トリ
メチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタ
エリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリ
スリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリ
スリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリ
スリトールヘキサ(メタ)アクリレート、下記式(2)
で表される化合物等が好ましく、特に、トリメチロール
プロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリ
アクリレートおよびジペンタエリスリトールヘキサアク
リレートが、画素強度が高く、画素の表面平滑性に優
れ、かつ未露光部の基板上および遮光層上に地汚れ、膜
残り等を発生し難い点で好ましい。
【0051】
【化3】
【0052】前記多官能性単量体は、単独でまたは2種
以上を混合して使用することができる。また、本発明に
おいては、場合により、前記多官能性単量体と共に、単
官能性単量体を併用することもできる。このような単官
能性単量体の具体例としては、(B)アルカリ可溶性樹
脂について例示した前記カルボキシル基含有不飽和単量
体や共重合性不飽和単量体と同様の単量体のほか、市販
品として、M−5300、M−5400(商品名、東亞
合成(株)製)等を挙げることができる。これらの単官
能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用す
ることができる。前記単官能性単量体の使用割合は、多
官能性単量体と単官能性単量体との合計量に対して、通
常、90重量%以下、好ましくは0〜50重量%であ
る。この場合、単官能性単量体の使用割合が90重量%
を超えると、得られる画素の強度や表面平滑性が不十分
となるおそれがある。本発明における多官能性単量体と
単官能性単量体との合計使用量は、(B)アルカリ可溶
性樹脂100重量部に対して、通常、5〜500重量
部、好ましくは20〜300重量部である。この場合、
前記使用量が5重量部未満では、画素の強度や表面平滑
性が低下する傾向があり、一方500重量部を超える
と、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の
基板上あるいは遮光層上に地汚れ、膜残り等が発生しや
すくなる傾向がある。
【0053】(D)光重合開始剤 本発明における光重合開始剤とは、可視光線、紫外線、
遠紫外線、電子線、X線等の露光により分解または結合
の開裂を生じ、ラジカル、カチオン、アニオン等の前記
(C)多官能性単量体および場合により使用される単官
能性単量体の重合を開始することのできる活性種を発生
する化合物を意味する。このような光重合開始剤として
は、例えば、ビイミダゾール系化合物、ベンゾイン系化
合物、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合
物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサ
ントン系化合物、トリアジン系化合物等を挙げることが
できる。
【0054】前記ビイミダゾール系化合物の具体例とし
ては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニル
フェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビ
ス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’
−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−
1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,
6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’
−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニ
ル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシ
カルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニル
フェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビ
ス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,
5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニ
ル)−1,2’−ビイミダゾール、
【0055】2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニ
ル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’
−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリ
クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニ
ル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−
ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニ
ル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,
4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ
フェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス
(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等を
挙げることができる。
【0056】これらのビイミダゾール系化合物は、溶剤
に対する溶解性に優れ、未溶解物、析出物等の異物を生
じることがなく、しかも感度が高く、少ないエネルギー
量の露光により硬化反応を十分進行させるとともに、コ
ントラストが高く、未露光部で硬化反応が生じることが
ないため、露光後の塗膜は、現像液に対して不溶性の硬
化領域と現像液に対して高い溶解性を有する未硬化領域
とに明確に区分され、これにより、アンダーカットのな
い画素パターンが所定の配列にしたがって配置された高
精細な画素アレイを形成することができる。
【0057】本発明においては、光重合開始剤としてビ
イミダゾール系化合物を用いる場合、下記する水素供与
体を併用することが、感度をさらに改良することができ
る点で好ましい。ここでいう「水素供与体」とは、露光
によりビイミダゾール系化合物から発生したラジカルに
対して、水素原子を供与することができる化合物を意味
する。水素供与体としては、メルカプタン系化合物、ア
ミン系化合物等が好ましい。前記メルカプタン系化合物
は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直
接結合したメルカプト基を1個以上、好ましくは1〜3
個、さらに好ましくは1〜2個有する化合物(以下「メ
ルカプタン系水素供与体」という。)からなる。このよ
うなメルカプタン系水素供与体の具体例としては、2−
メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオ
キサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2,
5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、2−
メルカプト−2,5−ジメチルアミノピリジン等が挙げ
ることができる。これらのメルカプタン系水素供与体の
うち、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプ
トベンゾオキサゾールが好ましい。
【0058】また、前記アミン系化合物は、ベンゼン環
あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したアミ
ノ基を1個以上、好ましくは1〜3個、さらに好ましく
は1〜2個有する化合物(以下「アミン系水素供与体」
という。)からなる。このようなアミン系水素供与体の
具体例としては、4−ジエチルアミノアセトフェノン、
4−ジメチルアミノプロピオフェノン、エチル−4−ジ
メチルアミノベンゾエート、i−プロピル−4−ジメチ
ルアミノベンゾエート、4−ジメチルアミノ安息香酸、
4−ジメチルアミノベンゾニトリル等が挙げることがで
きる。
【0059】本発明において、水素供与体は、単独でま
たは2種以上を混合して使用することができるが、1種
以上のメルカプタン系水素供与体と1種以上のアミン系
水素供与体とを組み合わせて使用することが、形成され
た画素が現像時に基板から脱落し難く、また画素強度お
よび感度も高い点で好ましい。また、メルカプト基とア
ミノ基とを同時に有する水素供与体も好適に使用でき
る。本発明において、水素供与体をビイミダゾール系化
合物と併用する場合の使用量は、(C)多官能性単量体
と場合により使用される単官能性単量体の合計100重
量部に対して、通常、0.01〜40重量部、好ましく
は1〜30重量部、さらに好ましくは1〜20重量部で
ある。この場合、水素供与体の使用量が0.01重量部
未満であると、感度の改良効果が低下する傾向があり、
一方40重量部を超えると、形成された画素が現像時に
基板から脱落しやすくなる傾向がある。
【0060】また、前記ベンゾイン系化合物の具体例と
しては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベン
ゾインエチルエーテル、ベンゾインi−プロピルエーテ
ル、ベンゾインi−ブチルエーテル、2−ベンゾイル安
息香酸メチル等を挙げることができる。前記アセトフェ
ノン系化合物の具体例としては、2,2−ジメトキシ−
2−フェニルアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メ
チル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−(4’−
i−プロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチル
プロパン−1−オン、4−(2’−ヒドロキシエトキ
シ)フェニル(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケト
ン、2,2−ジメトキシアセトフェノン、2,2−ジエ
トキシアセトフェノン、2−メチル−1−(4’−メチ
ルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オ
ン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4’−
モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、1−ヒドロ
キシシクロヘキシルフェニルケトン、2,2−ジメトキ
シ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン等を挙げるこ
とができる。前記ベンゾフェノン系化合物の具体例とし
ては、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノ
ン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
等を挙げることができる。
【0061】前記α−ジケトン系化合物の具体例として
は、ジアセチル、ジベンゾイル、メチルベンゾイルホル
メート等を挙げることができる。前記多核キノン系化合
物の具体例としては、アントラキノン、2−エチルアン
トラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1,4−
ナフトキノン等を挙げることができる。前記キサントン
系化合物の具体例としては、キサントン、チオキサント
ン、2−クロロチオキサントン等を挙げることができ
る。前記トリアジン系化合物の具体例としては、1,
3,5−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジ
ン、1,3−ビス(トリクロロメチル)−5−(2’−
クロロフェニル)−s−トリアジン、1,3−ビス(ト
リクロロメチル)−5−(4’−クロロフェニル)−s
−トリアジン、1,3−ビス(トリクロロメチル)−5
−(2’−メトキシフェニル)−s−トリアジン、1,
3−ビス(トリクロロメチル)−5−(4’−メトキシ
フェニル)−s−トリアジン、2−(2’−フリルエチ
リデン)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−ト
リアジン、2−(4’−メトキシスチリル)−4,6−
ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−
(3’,4’−ジメトキシスチリル)−4,6−ビス
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4’−
メトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、2−(2’−ブロモ−4’−メ
チルフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−
s−トリアジン、2−(2’−チオフェニルエチリデ
ン)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリア
ジン、下記式(3)で表される化合物
【0062】
【化4】
【0063】等を挙げることができる。これらの光重合
開始剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用するこ
とができる。
【0064】本発明における光重合開始剤の使用量は、
(C)多官能性単量体と場合により使用される単官能性
単量体との合計100重量部に対して、通常、0.01
〜200重量部、好ましくは1〜120重量部、特に好
ましくは1〜100重量部である。この場合、光重合開
始剤の使用量が0.01重量部未満では、露光による硬
化が不十分となり、画素パターンが所定の配列に従って
配置された画素アレイを得ることが困難となるおそれが
あり、一方200重量部を超えると、形成された画素が
現像時に基板から脱落しやすくなったり、また未露光部
の基板上あるいは遮光層上に地汚れ、膜残り等を生じや
すくなったりするおそれがある。さらに、本発明におい
ては、前記光重合開始剤と共に、必要に応じて、増感
剤、硬化促進剤あるいは高分子光架橋・増感剤の1種以
上を併用することもできる。
【0065】添加剤 本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物は、必要に
応じて、種々の添加剤を含有することもできる。前記添
加剤としては、カラーフィルタ用感放射線性組成物のア
ルカリ現像液に対する溶解性をより改善し、かつ現像後
の未溶解物の残存をより抑制する作用を示す有機酸、お
よび有機アミノ化合物を挙げることができる。前記有機
酸としては、分子量が1,000以下である、脂肪族カ
ルボン酸あるいはフェニル基含有カルボン酸が好まし
い。前記脂肪族カルボン酸としては、例えば、ぎ酸、酢
酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン
酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等のモノカ
ルボン酸類;しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル
酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン
酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチル
マロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラ
メチルこはく酸、1,2−シクロヘキサンジカルボン
酸、1,3−シクロヘキサンジカルボン酸、1,4−シ
クロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン
酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸等のジカルボン
酸類;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸
等のトリカルボン酸類等を挙げることができる。また、
前記フェニル基含有カルボン酸としては、カルボキシル
基が直接フェニル基に結合した芳香族カルボン酸や、カ
ルボキシル基が炭素鎖を介してフェニル基に結合したカ
ルボン酸等を挙げることができ、それらの例としては、
安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチ
レン酸等の芳香族モノカルボン酸類;フタル酸、イソフ
タル酸、テレフタル酸等の芳香族ジカルボン酸類;トリ
メリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリッ
ト酸等の3価以上の芳香族ポリカルボン酸類や、フェニ
ル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロけい皮酸、マンデル
酸、フェニルこはく酸、アトロパ酸、けい皮酸、シンナ
ミリデン酸、クマル酸、ウンベル酸等を挙げることがで
きる。
【0066】これらの有機酸のうち、マロン酸、アジピ
ン酸、イタコン酸、シトラコン酸、フマル酸、メサコン
酸、フタル酸等の脂肪族ジカルボン酸類および芳香族ジ
カルボン酸類が、アルカリ溶解性、後述する溶媒に対す
る溶解性、未露光部の基板上および遮光層上における地
汚れや膜残りの防止等の観点から好ましい。前記有機酸
は、単独でまたは2種以上を混合して使用することがで
きる。有機酸の使用量は、感放射線性組成物全体に対し
て、通常、10重量%以下、好ましくは5重量%以下、
さらに好ましくは1重量%以下である。この場合、有機
酸の使用量が10重量%を超えると、形成された画素の
基板に対する密着性が低下する傾向がある。
【0067】また、前記有機アミノ化合物は、分子中に
1個以上のアミノ基を有する分子量1,000以下の化
合物からなる。このような有機アミノ化合物としては、
脂肪族アミンまたはフェニル基含有アミンが好ましい。
前記脂肪族アミンとしては、モノ(シクロ)アルカノー
ルアミン類およびアミノ(シクロ)アルカンジオール類
が好ましく、特に、2−アミノエタノール、3―アミノ
−1−プロパノール、5−アミノ−1−ペンタノール、
3−アミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−
1,3−プロパンジオール、4−アミノ−1,2−ブタ
ンジオール等が好ましい。また、前記フェニル基含有ア
ミンとしては、アミノフェノール類が好ましく、特に、
o−アミノフェノール、m−アミノフェノール、p−ア
ミノフェノール等が好ましい。これらの有機アミノ化合
物は、単独でまたは2種以上混合して使用することがで
きる。有機アミノ化合物の使用量は、通常、感放射性組
成物全体に対して、通常、15重量%以下、好ましくは
10重量%以下である。この場合、有機アミノ化合物の
使用量が15重量%を超えると、画素と基板との密着性
が低下して、画素が基板から欠落しやすくなる場合があ
る。
【0068】溶媒 本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物は、前記混
練顔料および(B)〜(D)成分を必須成分とし、必要
に応じて前記添加剤成分を含有するが、通常、溶媒を配
合して液状組成物として調製される。前記溶媒として
は、感放射線性組成物を構成する各成分を分散または溶
解し、かつこれらの成分と反応せず、適度の揮発性を有
するものである限り、適宜に選択して使用することがで
きる。このような溶媒としては、例えば、エチレングリ
コールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエ
チルエーテル、エチレングリコールモノ−n−プロピル
エーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテ
ル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチ
レングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコ
ールモノ−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコー
ルモノ−n−ブチルエーテル、トリエチレングリコール
モノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチ
ルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピ
レングリコールモノ−n−プロピルエーテル、プロピレ
ングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジプロピレン
グリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコー
ルモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−
n−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−
n−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメ
チルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエ
ーテル等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキル
エーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテルア
セテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセ
テート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセ
テート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセ
テート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセ
テート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセ
テート等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキル
エーテルアセテート類;ジエチレングリコールジメチル
エーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテ
ル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒ
ドロフラン等の他のエーテル類;メチルエチルケトン、
シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等
のケトン類;2−ヒドロキシプロピオン酸メチル、2−
ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステ
ル類;2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチ
ル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプ
ロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、
3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチ
ル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチ
ルブタン酸メチル、3−メチル−3−メトキシブチルア
セテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネ
ート、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸i−プロピ
ル、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−アミ
ル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エ
チル、酪酸n−プロピル、酪酸i−プロピル、酪酸n−
ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビ
ン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチ
ル、2−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類;ト
ルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;N−メチルピ
ロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジ
メチルアセトアミド等のアミド類等を挙げることができ
る。
【0069】これらの溶媒のうち、溶解性、顔料分散
性、塗布性等の観点から、エチレングリコールモノメチ
ルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル
アセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル
アセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、
ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘ
キサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、2−ヒド
ロキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸
エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキ
シプロピオン酸エチル、3−メチル−3−メトキシブチ
ルプロピオネート、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、
ぎ酸n−アミル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブ
チル、酪酸エチル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチ
ル、ピルビン酸エチル等が好ましい。前記溶媒は、単独
でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0070】さらに、前記溶媒と共に、ベンジルエチル
エーテル、ジ−n−ヘキシルエーテル、アセトニルアセ
トン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オク
タノール、1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸
ベンジル、安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マレイ
ン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭
酸プロピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテ
ルアセテート等の高沸点溶媒を併用することもできる。
これらの高沸点溶媒のうち、γ−ブチロラクトン等が好
ましい。前記高沸点溶媒は、単独でまたは2種以上を混
合して使用することができる。溶媒の合計使用量は、特
に限定されるものではないが、得られる感放射線性組成
物の塗布性、安定性等の観点から、当該組成物の溶媒を
除いた各成分の合計濃度が、通常、5〜50重量%、好
ましくは10〜40重量%となる量が望ましい。このよ
うにして調製された感放射線性組成物の液状組成物で
は、混練顔料中のビヒクル樹脂が溶媒に溶解し、顔料成
分が溶媒および他の配合成分からなる液状媒質中に安定
して分散されることとなる。
【0071】カラーフィルタの形成方法 次に、本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物を用
いて、カラーフィルタを形成する方法について説明す
る。まず、基板の表面上に、必要に応じて、画素を形成
する部分を区画するように遮光層を形成し、この基板上
に、例えば赤色の顔料が分散された感放射線性組成物の
液状組成物を塗布したのち、プレベークを行って溶剤を
蒸発させ、塗膜を形成する。次いで、この塗膜にフォト
マスクを介して露光したのち、アルカリ現像液を用いて
現像して、塗膜の未露光部を溶解除去し、その後ポスト
ベークを行うことにより、赤色の画素パターンが所定の
配列で配置された画素アレイを形成する。その後、緑色
または青色の顔料が分散された各感放射線性組成物の液
状組成物を用い、前記と同様にして、各液状組成物の塗
布、プレベーク、露光および現像を行い、その後ポスト
ベークを行って、緑色の画素アレイおよび青色の画素ア
レイを同一基板上に順次形成することにより、赤色、緑
色および青色の三原色の画素アレイが基板上に配置され
たカラーフィルタを得る。カラーフィルタを形成する際
に使用される基板としては、例えば、ガラス、シリコ
ン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミ
ド、ポリアミドイミド、ポリイミド等を挙げることがで
きる。これらの基板には、所望により、シランカップリ
ング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレー
ティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の
適宜の前処理を施しておくこともできる。感放射線性組
成物の液状組成物を基板に塗布する際には、回転塗布、
流延塗布、ロール塗布等の適宜の塗布法を採用すること
ができる。塗布厚さは、乾燥後の膜厚として、通常、
0.1〜10μm、好ましくは0.2〜5.0μm、特
に好ましくは0.2〜3.0μmである。カラーフィル
タを作製する際に使用される放射線としては、例えば、
可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用す
ることができるが、波長が190〜450nmの範囲に
ある放射線が好ましい。放射線の露光エネルギー量は、
通常、1〜1,000mJ/cm2 である。また、前記
アルカリ現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、水
酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモ
ニウムハイドロオキサイド、コリン、1,8−ジアザビ
シクロ−[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジ
アザビシクロ−[4.3.0]−5−ノネン等の水溶液
が好ましい。前記アルカリ現像液には、例えばメタノー
ル、エタノール等の水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適
量添加することもできる。なお、アルカリ現像後は、通
常、水洗する。現像処理法としては、シャワー現像法、
スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液
盛り)現像法等を適用することができ、現像条件は、常
温で5〜300秒が好ましい。このようにして形成され
た本発明のカラーフィルタは、例えば、透過型あるいは
反射型のカラー液晶表示装置、カラー撮像管素子、カラ
ーセンサー等に極めて有用である。
【0072】
【発明の実施の形態】本発明のカラーフィルタ用感放射
線性組成物は、前記混練顔料および(B)〜(D)成分
を必須成分として含有するものであるが、特に好ましい
組成物を具体的に例示すると、下記(イ)〜(ト)のと
おりである。 (イ) (B)アルカリ可溶性樹脂が、(a)カルボキ
シル基含有不飽和単量体の少なくとも1種と(b)マク
ロモノマー、N位−置換マレイミド、グリセロールモノ
(メタ)アクリレートおよび2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレートの群から選ばれる少なくとも1種とを
含む単量体混合物の共重合体を含むカラーフィルタ用感
放射線性組成物。 (ロ) (B)アルカリ可溶性樹脂がアルカリ可溶性樹
脂(B1)、アルカリ可溶性樹脂(B2)、アルカリ可
溶性樹脂(B3)、アルカリ可溶性樹脂(B4)および
アルカリ可溶性樹脂(B5)の群から選ばれる少なくと
も1種を含む前記(イ)のカラーフィルタ用感放射線性
組成物。 (ハ) アルカリ可溶性樹脂(B1)がアルカリ可溶性
樹脂(β−1)からなり、アルカリ可溶性樹脂(B2)
がアルカリ可溶性樹脂(β−2)からなり、アルカリ可
溶性樹脂(B3)がアルカリ可溶性樹脂(β−3)から
なり、アルカリ可溶性樹脂(B4)がアルカリ可溶性樹
脂(β−4)からなり、アルカリ可溶性樹脂(B5)が
アルカリ可溶性樹脂(β−5)からなる前記(ロ)のカ
ラーフィルタ用感放射線性組成物。 (ニ) (C)多官能性単量体がトリメチロールプロパ
ントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリ
レートおよびジペンタエリスリトールヘキサアクリレー
トの群から選ばれる少なくとも1種からなる前記
(イ)、(ロ)または(ハ)のカラーフィルタ用感放射
線性組成物。 (ホ) 顔料が有機顔料および/またはカーボンブラッ
クを含む前記(イ)、(ロ)、(ハ)または(ニ)のカ
ラーフィルタ用感放射線性組成物。 (ヘ) ビヒクル樹脂である他の樹脂がアルカリ可溶性
ビヒクル樹脂を含む前記(イ)、(ロ)、(ハ)、
(ニ)または(ホ)のカラーフィルタ用感放射線性組成
物。 (ト) アルカリ可溶性ビヒクル樹脂が(B)アルカリ
可溶性樹脂の一部または全部を含む前記(ヘ)のカラー
フィルタ用感放射線性組成物。また、本発明の好ましい
カラーフィルタは、 (チ) 前記(イ)、(ロ)、(ハ)、(ニ)、
(ホ)、(ヘ)または(ト)のカラーフィルタ用感放射
線性組成物から形成された画素を有するカラーフィル
タ、からなる。
【0073】以下、実施例を挙げて、本発明の実施の形
態をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、下記実
施例に限定されるものではない。
【実施例】実施例1 〔液状組成物の調製〕(A)顔料としてC.I.ピグメント
グリーン36を60重量部とC.I.ピグメントイエロー1
50を30重量部、および(B)アルカリ可溶性樹脂と
してメタクリル酸/2−ヒドロキシエチルメタクリレー
ト/ベンジルメタクリレート/PST−Mマクロモノマ
ー共重合体(共重合重量比=15/15/60/10、
Mw=30,000)90重量部を、2本ロールで混練
したのちチップ化して、混練顔料を調製した。その後、
この混練顔料を3−メトキシプロピルアセテート420
重量部中に分散させて、顔料分散液とした。次いで、前
記顔料分散液を、(C)多官能性単量体としてジペンタ
エリスリトールヘキサアクリレート60重量部、(D)
光重合開始剤として2−ベンジル−2−ジメチルアミノ
−1−(4’−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オ
ン50重量部、および溶媒として3−エトキシプロピオ
ン酸エチル1,500重量部と混合して、感放射線性組
成物の液状組成物を調製した。この液状組成物を、組成
物(G1)とする。 〔画素アレイの作製〕組成物(G1)を、表面にナトリ
ウムイオンの溶出を防止するシリカ(SiO 2)膜が形成
されたソーダガラス製基板の表面上に、スピンコーター
を用いて塗布したのち、90℃のホットプレート上で3
分間プリベークを行って、膜厚2.0μmの塗膜を形成
した。次いで、この基板を室温まで冷却したのち、高圧
水銀ランプを用い、フォトマスクを介して、塗膜に36
5nm、405nmおよび436nmの各波長を含む紫
外線を100mJ/cm2 の露光量で露光した。その
後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム
水溶液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄
して、乾燥した。その後、230℃のクリーンオーブン
内で30分間ポストベークを行なって、基板上に緑色の
画素パターンが配列された画素アレイを作製した。 〔評価〕得られた画素アレイを光学顕微鏡にて観察した
ところ、未露光部の基板上に残存が認められず、画素の
表面平滑性に優れており、また投光器を用いて観察した
ところ、未露光部の基板上に地汚れも認められなかっ
た。さらに、この画素アレイの未露光部の基板表面を、
エタノールを含ませたレンズクリーナー(商品名トレシ
ー、東レ(株)製)にて10回擦ったところ、レンズク
リーナーが緑色に着色されることがなく、しかも画素と
基板との密着性にも優れていた。
【0074】比較例1 〔液状組成物の調製〕(A)顔料としてC.I.ピグメント
グリーン36を60重量部とC.I.ピグメントイエロー1
50を30重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメ
タクリル酸/2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ベ
ンジルメタクリレート/PST−Mマクロモノマー共重
合体(共重合重量比=15/15/60/10、Mw=
30,000)90重量部、(C)多官能性単量体とし
てジペンタエリスリトールヘキサアクリレート60重量
部、(D)光重合開始剤として2−ベンジル−2−ジメ
チルアミノ−1−(4’−モルフォリノフェニル)ブタ
ン−1−オン50重量部、および溶媒として3−エトキ
シプロピオン酸エチル1,500重量部と3−メトキシ
プロピルアセテート420重量部を混合して、感放射線
性組成物の液状組成物を調製した。この液状組成物を、
組成物(g1)とする。 〔画素アレイの作製および評価〕組成物(G1)に代え
て組成物(g1)を用いた以外は、実施例1と同様にし
て、基板上に緑色の画素パターンが配列された画素アレ
イを作製して、評価を行なった。得られた画素アレイを
光学顕微鏡にて観察したところ、未露光部の基板上に残
存が認められ、画素の表面平滑性も悪く、また投光器を
用いて観察したところ、未露光部の基板上に地汚れが認
められた。さらに、この画素アレイの未露光部の基板表
面を、エタノールを含ませたレンズクリーナー(商品名
トレシー、東レ(株)製)にて10回擦ったところ、レ
ンズクリーナーが緑色に着色された。
【0075】実施例2 〔液状組成物の調製〕(A)顔料としてC.I.ピグメント
ブルー15:6を90重量部、および(B)アルカリ可
溶性樹脂としてメタクリル酸/N−フェニルマレイミド
/スチレン/ベンジルメタクリレート共重合体(共重合
重量比=20/30/20/30、Mw=10,00
0)90重量部を、2本ロールで混練したのちチップ化
して、混練顔料を調製した。その後、この混練顔料を3
−メトキシプロピルアセテート420重量部中に分散さ
せて、顔料分散液とした。次いで、前記顔料分散液を、
(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘ
キサアクリレート60重量部、(D)光重合開始剤とし
て2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4’−モ
ルフォリノフェニル)ブタン−1−オン50重量部、お
よび溶媒として3−エトキシプロピオン酸エチル1,5
00重量部と混合して、感放射線性組成物の液状組成物
を調製した。この液状組成物を、組成物(B1)とす
る。 〔画素アレイの作製および評価〕組成物(G1)に代え
て組成物(B1)を用いた以外は、実施例1と同様にし
て、基板上に青色の画素パターンが配列された画素アレ
イを作製して、評価を行なった。得られた画素アレイを
光学顕微鏡にて観察したところ、未露光部の基板上に残
存が認められず、画素の表面平滑性に優れており、また
投光器を用いて観察したところ、未露光部の基板上に地
汚れも認められなかった。さらに、この画素アレイの未
露光部の基板表面を、エタノールを含ませたレンズクリ
ーナー(商品名トレシー、東レ(株)製)にて10回擦
ったところ、レンズクリーナーが青色に着色されること
がなく、しかも画素と基板との密着性および画素の耐熱
性にも優れていた。
【0076】比較例2 〔液状組成物の調製〕(A)顔料としてC.I.ピグメント
ブルー15:6を90重量部、(B)アルカリ可溶性樹
脂としてメタクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチ
レン/ベンジルメタクリレート共重合体(共重合重量比
=20/30/20/30、Mw=10,000)90
重量部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリ
トールヘキサアクリレート60重量部、(D)光重合開
始剤として2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−
(4’−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン50
重量部、および溶媒として3−エトキシプロピオン酸エ
チル1,500重量部と3−メトキシプロピルアセテー
ト420重量部を混合して、感放射線性組成物の液状組
成物を調製した。この液状組成物を、組成物(b1)と
する。 〔画素アレイの作製および評価〕組成物(G1)に代え
て組成物(b1)を用いた以外は、実施例1と同様にし
て、基板上に青色の画素パターンが配列された画素アレ
イを作製して、評価を行なった。得られた画素アレイを
光学顕微鏡にて観察したところ、未露光部の基板上に残
存が認められ、画素の表面平滑性も悪く、また投光器を
用いて観察したところ、未露光部の基板上に地汚れが認
められ。さらに、この画素アレイの未露光部の基板表面
を、エタノールを含ませたレンズクリーナー(商品名ト
レシー、東レ(株)製)にて10回擦ったところ、レン
ズクリーナーが青色に着色された。
【0077】実施例3 〔液状組成物の調製〕(A)顔料としてC.I.ピグメント
レッド177を100重量部、および(B)アルカリ可
溶性樹脂としてメタクリル酸/N−フェニルマレイミド
/グリセロールモノメタクリレート/スチレン/ベンジ
ルメタクリレート共重合体(共重合重量比=15/25
/10/15/35、Mw=28,000)90重量部
を、2本ロールで混練したのちチップ化して、混練顔料
を調製した。その後、この混練顔料を3−メトキシプロ
ピルアセテート170重量部中に分散させて、顔料分散
液とした。次いで、前記顔料分散液を、(C)多官能性
単量体としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレー
ト60重量部、(D)光重合開始剤として2−ベンジル
−2−ジメチルアミノ−1−(4’−モルフォリノフェ
ニル)ブタン−1−オン50重量部、および溶媒として
3−エトキシプロピオン酸エチル1,500重量部と混
合して、感放射線性組成物の液状組成物を調製した。こ
の液状組成物を、組成物(R1)とする。 〔画素アレイの作製〕組成物(R1)を、表面にナトリ
ウムイオンの溶出を防止するシリカ(SiO 2)膜が形成
されたソーダガラス製基板の表面上に、スピンコーター
を用いて塗布したのち、90℃のホットプレート上で3
分間プリベークを行って、膜厚2.0μmの塗膜を形成
した。次いで、この基板を室温まで冷却したのち、高圧
水銀ランプを用い、フォトマスクを介して、塗膜に36
5nm、405nmおよび436nmの各波長を含む紫
外線を100mJ/cm2 の露光量で露光した。その
後、この基板を23℃の0.04重量%水酸化カリウム
水溶液に1分間浸漬して、現像したのち、超純水で洗浄
して、乾燥した。その後、230℃のクリーンオーブン
内で30分間ポストベークを行なって、基板上に赤色の
画素パターンが配列された画素アレイを作製した。 〔評価〕得られた画素アレイを光学顕微鏡にて観察した
ところ、未露光部の基板上に残存が認められず、画素の
表面平滑性に優れており、また投光器を用いて観察した
ところ、未露光部の基板上に地汚れも認められなかっ
た。さらに、この画素アレイの未露光部の基板表面を、
エタノールを含ませたレンズクリーナー(商品名トレシ
ー、東レ(株)製)にて10回擦ったところ、レンズク
リーナーが赤色に着色されることがなく、しかも画素と
基板との密着性にも優れていた。
【0078】比較例3 〔液状組成物の調製〕(A)顔料としてC.I.ピグメント
レッド177を100重量部、および(B)アルカリ可
溶性樹脂としてメタクリル酸/N−フェニルマレイミド
/グリセロールモノメタクリレート/スチレン/ベンジ
ルメタクリレート共重合体(共重合重量比=15/25
/10/15/35、Mw=28,000)90重量
部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトー
ルヘキサアクリレート60重量部、(D)光重合開始剤
として2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4’
−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン50重量
部、および溶媒として3−エトキシプロピオン酸エチル
1,500重量部と3−メトキシプロピルアセテート4
20重量部と混合して、感放射線性組成物の液状組成物
を調製した。この液状組成物を、組成物(r1)とす
る。 〔画素アレイの作製および評価〕組成物(R1)に代え
て組成物(r1)を用いた以外は、実施例3と同様にし
て、基板上に赤色の画素パターンが配列された画素アレ
イを作製して、評価を行なった。得られた画素アレイを
光学顕微鏡にて観察したところ、未露光部の基板上に残
存が認められ、画素の表面平滑性も悪く、また投光器を
用いて観察したところ、未露光部の基板上に地汚れが認
められ。さらに、この画素アレイの未露光部の基板表面
を、エタノールを含ませたレンズクリーナー(商品名ト
レシー、東レ(株)製)にて10回擦ったところ、レン
ズクリーナーが赤色に着色された。
【0079】実施例4 〔液状組成物の調製〕(A)顔料としてC.I.ピグメント
レッド209を25重量部とC.I.ピグメントイエロー1
39を5重量部、およびビヒクル樹脂としてメタクリル
酸/2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ベンジルメ
タクリレート/PST−Mマクロモノマー共重合体(共
重合重量比=15/15/60/10、Mw=30,0
00)からなるアルカリ可溶性樹脂30重量部を、2本
ロールで混練したのちチップ化して、混練顔料を調製し
た。その後、この混練顔料を3−メトキシプロピルアセ
テート190重量部中に分散させて、顔料分散液とし
た。次いで、前記顔料分散液を、(B)アルカリ可溶性
樹脂としてメタクリル酸/N−フェニルマレイミド/グ
リセロールモノメタクリレート/スチレン/ベンジルメ
タクリレート共重合体(共重合重量比=15/25/1
0/15/35、Mw=28,000)60重量部、
(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘ
キサアクリレート60重量部、(D)光重合開始剤とし
て2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4’−モ
ルフォリノフェニル)ブタン−1−オン50重量部、お
よび溶媒として3−エトキシプロピオン酸エチル1,5
00重量部と混合して、感放射線性組成物の液状組成物
を調製した。この液状組成物を、組成物(R2)とす
る。 〔画素アレイの作製および評価〕組成物(G1)に代え
て組成物(R2)を用いた以外は、実施例1と同様にし
て、基板上に赤色の画素パターンが配列された画素アレ
イを作製して、評価を行なった。得られた画素アレイを
光学顕微鏡にて観察したところ、未露光部の基板上に残
存が認められず、画素の表面平滑性に優れており、また
投光器を用いて観察したところ、未露光部の基板上に地
汚れも認められなかった。さらに、この画素アレイの未
露光部の基板表面を、エタノールを含ませたレンズクリ
ーナー(商品名トレシー、東レ(株)製)にて10回擦
ったところ、レンズクリーナーが赤色に着色されること
がなく、しかも画素と基板との密着性にも優れていた。
【0080】
【発明の効果】本発明のカラーフィルター用感放射線性
組成物は、顔料を高濃度で含む場合でも、優れた現像性
を示し、現像時に未露光部の基板上および遮光層上に残
渣や地汚れを生じることがなく、かつ画素の表面平滑性
に優れ、しかも画素の基板および遮光層との密着性にも
優れている。したがって、本発明のカラーフィルター用
感放射線性組成物は、電子工業分野におけるカラー液晶
表示装置用カラーフィルタを始めとする各種のカラーフ
ィルターの製造に極めて好適に使用することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 飯島 孝浩 東京都中央区築地二丁目11番24号 ジェイ エスアール株式会社内 (72)発明者 玉泉 美喜 東京都中央区築地二丁目11番24号 ジェイ エスアール株式会社内 Fターム(参考) 2H025 AA04 AA18 AB13 AC01 AD01 BC43 CA06 CB14 CC12 DA19 EA05 FA03 FA17 FA29 2H048 BA45 BA47 BB14

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (A)顔料、(B)アルカリ可溶性樹
    脂、(C)多官能性単量体、並びに(D)光重合開始剤
    を含有するカラーフィルタ用感放射線性組成物であっ
    て、(A)顔料が予め(B)アルカリ可溶性樹脂および
    /または他の樹脂からなるビヒクル樹脂と共に混練され
    てなることを特徴とするカラーフィルタ用感放射線性組
    成物。
  2. 【請求項2】 ビヒクル樹脂である他の樹脂がアルカリ
    可溶性樹脂を含む請求項1に記載のカラーフィルタ用感
    放射線性組成物。
  3. 【請求項3】 ビヒクル樹脂が(B)アルカリ可溶性樹
    脂の一部または全部を含む請求項1または請求項2に記
    載のカラーフィルタ用感放射線性組成物。
  4. 【請求項4】 (B)アルカリ可溶性樹脂が、(a)1
    個以上のカルボキシル基を有する重合性不飽和単量体の
    少なくとも1種と(b)重合体分子鎖の末端にモノ(メ
    タ)アクリロイル基を有するマクロモノマー、N位−置
    換マレイミド、下記式(1)で表される単量体および2
    −ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートの群から選ば
    れる少なくとも1種とを含む単量体混合物の共重合体を
    含む請求項1〜3のいずれかに記載のカラーフィルタ用
    感放射線性組成物。 【化1】 〔式(1)において、R1 は水素原子またはメチル基を
    示す。〕
  5. 【請求項5】 請求項1〜4のいずれかに記載のカラー
    フィルタ用感放射線性組成物から形成された画素を有す
    ることを特徴とするカラーフィルタ。
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