JP2003302515A - 放射線性組成物、カラーフィルタ、ブラックマトリクスおよび液晶表示素子 - Google Patents

放射線性組成物、カラーフィルタ、ブラックマトリクスおよび液晶表示素子

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JP2003302515A JP2002106220A JP2002106220A JP2003302515A JP 2003302515 A JP2003302515 A JP 2003302515A JP 2002106220 A JP2002106220 A JP 2002106220A JP 2002106220 A JP2002106220 A JP 2002106220A JP 2003302515 A JP2003302515 A JP 2003302515A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 低露光量でかつ現像液の吐出圧を
上げても、パターンに欠けおよび剥がれを生じることが
なく、未露光部の基板上および遮光層上に残渣および地
汚れが発生するのを防止しうる感放射線性組成物、それ
から形成されたカラーフィルタおよびブラックマトリク
ス、およびそのカラーフィルタまたはブラックマトリク
スを具備する液晶表示素子を提供すること。 【解決手段】 組成物は、(A)着色剤、(B)
特定の単量体と他の共重合可能な単量体との共重合体を
含むアルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、およ
び(D)光重合開始剤を含有する。カラーフィルタおよ
びブラックマトリクスは上記組成物から形成され、液晶
表示素子は上記カラーフィルタまたはブラックマトリク
スを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラー表示装置等
に用いられるカラーフィルタまたはブラックマトリクス
を形成するための感放射線性組成物、それから形成され
たカラーフィルタまたはブラックマトリクス、ならびに
そのカラーフィルタまたはブラックマトリクスを具備す
る液晶表示素子に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、感放射線性組成物を用いてカラー
フィルタまたはブラックマトリクスを製造するに当たっ
ては、たとえば特開平2−144502号公報、特開平
3−53201号公報等に開示されているように、基板
上、または予め所望のパターンの遮光層を形成した基板
上に、感放射線性組成物の塗膜を形成し、所望のパター
ンマスクを介して放射線を照射(以下、「露光」とい
う。)、現像することにより、各色の画素またはマトリ
クスを得る形成方法が知られている。しかし、このよう
にして製造されたカラーフィルタまたはブラックマトリ
クスには、現像時に、未露光部の基板上あるいは遮光層
上に残渣や地汚れを生じる場合がある。このような残渣
や地汚れの生成を回避するためには、現像液の吐出圧を
上げることが効果的ではあるが、その一方でパターンの
欠けや剥がれが発生する弊害が現れるため、現像液の吐
出圧を上げても、パターンの欠けや剥がれが生じない材
料が求められるようになってきた。また、近年、液晶表
示装置の大型化が求められており、カラーフィルタ、ブ
ラックマトリクスをその上に形成するべき基板も大きく
なってきている。そのため、カラーフィルタ、ブラック
マトリクスを形成する際の露光工程において、露光を数
回に分けて実施する「分割露光」と呼ばれる方法が採用
されており、露光工程に要する時間は長くなってきてい
る。そこで、生産性向上の観点から、より短い露光時間
によってパターニングできる感放射線性組成物が求めら
れている。しかし、従来知られている組成物では、短い
露光時間、すなわち低露光量にて硬化物を形成すると、
現像工程においてパターンの欠けや欠落が生ずる場合が
あり、上記した目的を満足するものではない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、優れ
た現像耐性を有する感放射線性組成物、より具体的に
は、低露光量でかつ現像液の吐出圧を上げても、パター
ンに欠けおよび剥がれを生じることがなく、未露光部の
基板上および遮光層上に残渣および地汚れが発生するの
を防止しうる感放射線性組成物、それから形成されたカ
ラーフィルタおよびブラックマトリクス、およびそのカ
ラーフィルタまたはブラックマトリクスを具備する液晶
表示素子を与えることにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、本発明
の前記目的は、第一に、露光量600J/mで露光し
たときに、突出圧0.2MPa以上の現像耐性を有する
ことを特徴とする、カラーフィルタ形成用感放射線性組
成物によって達成される。本発明の前記目的は、第二
に、露光量800J/mで露光したときに、突出圧
0.2MPa以上の現像耐性を有することを特徴とす
る、ブラックマトリクス形成用感放射線性組成物によっ
て達成される。
【0005】また、本発明によれば、本発明の前記目的
は、第三に、(A)着色剤、(B)下記一般式(1)で
表される単量体と他の共重合可能な単量体との共重合体
を含むアルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、お
よび(D)光重合開始剤を含有することを特徴とする、
感放射線性組成物によって達成される。
【0006】
【化2】
【0007】(式中、R〜Rはそれぞれ独立に、水
素原子、水酸基、炭素数1〜6のアルキル基、またはハ
ロゲン原子を示す。)
【0008】さらに、本発明の前記目的は、上記いずれ
かの感放射線性組成物から形成されたカラーフィルタま
たはブラックマトリクス、ならびにそのカラーフィルタ
またはブラックマトリクスを具備する液晶表示素子によ
って達成される。なお、本発明でいう「放射物」とは、
可視光、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を含むもの
である。以下、本発明の組成物について詳述する。
【0009】(A)着色剤 本発明における着色剤は、色調が特に限定されるもので
はなく、得られるカラーフィルタ、ブラックマトリクス
の用途に応じて適宜選定され、顔料、染料あるいは天然
色素の何れでもよい。カラーフィルタには高純度で高透
過性の発色と耐熱性が求められることから、本発明にお
ける着色剤としては、発色性が高く、かつ耐熱分解性の
高い着色剤が好ましく、通常、顔料、特に好ましくは有
機顔料が用いられる。また、ブラックマトリクスには高
遮光性と耐熱性が求められることから、通常、顔料、特
に好ましくは有機顔料および/またはカーボンブラック
が用いられる。前記有機顔料としては、例えば、カラー
インデックス(C.I.;The Society ofDyers and Colour
ists 社発行) においてピグメント(Pigment)に分類さ
れている化合物、具体的には、下記のようなカラーイン
デックス(C.I.)番号が付されているものを挙げること
ができる。
【0010】C.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメ
ントイエロー128、C.I.ピグメントイエロー138、
C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロ
ー150、C.I.ピグメントイエロー151、C.I.ピグメ
ントイエロー152、C.I.ピグメントイエロー153、
C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピグメントイエロ
ー155、C.I.ピグメントイエロー156、C.I.ピグメ
ントイエロー166、C.I.ピグメントイエロー168、
C.I.ピグメントイエロー175、C.I.ピグメントイエロ
ー185、C.I.ピグメントイエロー211、;C.I.ピグ
メントバイオレット19、C.I.ピグメントバイオレット
23、C.I.ピグメントバイオレット29、C.I.ピグメン
トバイオレット32、C.I.ピグメントバイオレット3
6、C.I.ピグメントバイオレット38;
【0011】C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメ
ントレッド202、C.I.ピグメントレッド206、C.I.
ピグメントレッド207、C.I.ピグメントレッド20
8、C.I.ピグメントレッド209、C.I.ピグメントレッ
ド215、C.I.ピグメントレッド216、C.I.ピグメン
トレッド220、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピ
グメントレッド226、C.I.ピグメントレッド242、
C.I.ピグメントレッド243、C.I.ピグメントレッド2
45、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントレ
ッド255、C.I.ピグメントレッド264、C.I.ピグメ
ントレッド265;
【0012】C.I.ピグメントブルー15、C.I.ピグメン
トブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.
I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントブルー6
0;C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリー
ン36、C.I.ピグメントグリーン136、C.I.ピグメン
トグリーン210;C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピ
グメントブラック7。これらの有機顔料は、単独でまた
は2種以上を混合して使用することができる。また、前
記有機顔料は、例えば、硫酸再結晶法、溶剤洗浄法や、
これらの組み合わせ等により精製して使用することがで
きる。
【0013】また、無機顔料の具体例としては、酸化チ
タン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸
鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カ
ドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、
アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラッ
ク等を挙げることができる。これらの無機顔料は、単独
でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0014】本発明における感放射線性組成物が画素を
形成するために用いられる場合には、好ましくは、着色
剤として1種以上の有機顔料が使用され、またブラック
マトリックスを形成するために用いられる場合には、好
ましくは、着色剤として2種以上の有機顔料および/ま
たはカーボンブラックが使用される。ブラックマトリッ
クスの形成に使用することのできるカーボンブラックと
しては、例えば、SAF、SAF−HS、ISAF、I
SAF−LS、ISAF−HS、HAF、HAF−L
S、HAF−HS、NAF、FEF、FEF−HS、S
RF、SRF−LM、SRF−LS、GPF、ECF、
N−339、N−351等のファーネスブラック;F
T、MT等のサーマルブラック;アセチレンブラック等
を挙げることができる。これらのカーボンブラックは、
単独でまたは2種以上を混合して使用することができ
る。
【0015】本発明において、前記各顔料は、所望によ
り、その粒子表面をポリマーで改質して使用することが
できる。顔料の粒子表面を改質するポリマーとしては、
例えば、特開平8−259876号公報等に記載された
ポリマーや、市販の各種の顔料分散用のポリマーまたは
オリゴマー等を挙げることができる。
【0016】また、本発明における着色剤は、所望によ
り、分散剤と共に使用することができる。このような分
散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニ
オン系、両性、シリコーン系、フッ素系等の界面活性剤
を挙げることができる。前記界面活性剤の具体例として
は、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシ
エチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレ
イルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル
類;ポリオキシエチレン n−オクチルフェニルエーテ
ル、ポリオキシエチレン n−ノニルフェニルエーテル
等のポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類;
ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレング
リコールジステアレート等のポリエチレングリコールジ
エステル類;ソルビタン脂肪酸エステル類;脂肪酸変性
ポリエステル類;3級アミン変性ポリウレタン類;ポリ
エチレンイミン類等のほか、以下商品名で、KP(信越
化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄社化学(株)
製)、エフトップ(トーケムプロダクツ社製)、メガフ
ァック(大日本インキ化学工業(株)製)、フロラード
(住友スリーエム(株)製)、アサヒガード、サーフロ
ン(以上、旭硝子(株)製)、Disperbyk−1
01、同103、同107、同110、同111、同1
15、同130、同160、同161、同162、同1
63、同164、同165、同166、同170、同1
80、同182、同2000、同2001(以上、ビッ
クケミー・ジャパン(株)製)、ソルスパースS500
0、同S12000、同S13240、同S1394
0、同S17000、同S20000、同S2200
0、同S24000、同S24000GR、同S260
00、同S27000、同S28000(以上、アビシ
ア(株)製)、EFKA46、同47、同48、同74
5、同4540、同4550、同6750、EFKA
LP4008、同4009、同4010、同4015、
同4050、同4055、同4560、同4800、E
FKA Polymer400、同401、同402、
同403、同450、同451、同453(以上、エフ
カケミカルズ(株)製)等を挙げることができる。これ
らの界面活性剤は、単独でまたは2種以上を混合して使
用することができる。界面活性剤の使用量は、着色剤1
00重量部に対して、通常、50重量部以下、好ましく
は0〜30重量部である。
【0017】(B)アルカリ可溶性樹脂 本発明に使用される(B)アルカリ可溶性樹脂は、下記
一般式(1)で表される単量体(以下、「単量体
(1)」という。)と他の共重合可能な単量体との共重
合体(以下、「共重合体(1)」という。)を含むもの
である。
【0018】
【化3】
【0019】(式中、R〜Rはそれぞれ独立に、水
素原子、水酸基、炭素数1〜6のアルキル基、またはハ
ロゲン原子を示す。)
【0020】上記単量体(1)の好ましい具体例として
は、例えば、α−メチルスチレン、p−ヒドロキシ−α
−メチルスチレン、p−クロロ−α−メチルスチレン等
を挙げることができる。このうち、特にα−メチルスチ
レン、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレンが好まし
い。本発明において、単量体(1)は、単独でまたは2
種以上を混合して使用することができる。
【0021】本発明で使用される(B)アルカリ可溶性
樹脂は、上記単量体(1)と他の共重合可能な単量体と
の共重合体であり、アルカリ可溶性である限り限定され
るものではないが、単量体(1)と、1個以上のカルボ
キシル基を有するエチレン性不飽和単量体(以下、単に
「カルボキシル基含有不飽和単量体」という。)と、こ
れら以外の共重合可能なエチレン性不飽和単量体(以
下、単に「他の不飽和単量体」という。)との共重合体
が好ましい。
【0022】カルボキシル基含有不飽和単量体として
は、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、
α−クロルアクリル酸、けい皮酸等の不飽和モノカルボ
ン酸類;マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタ
コン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコ
ン酸、メサコン酸等の不飽和ジカルボン酸またはその無
水物類;3価以上の不飽和多価カルボン酸またはその無
水物類;こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチ
ル)、こはく酸モノ(2−メタクリロイロキシエチ
ル)、フタル酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)、
フタル酸モノ(2−メタクリロイロキシエチル)等の2
価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイロ
キシアルキル〕エステル類や、ω−カルボキシポリカプ
ロラクトンモノアクリレート、ω−カルボキシポリカプ
ロラクトンモノメタクリレート等を挙げることができ
る。これらのカルボキシル基含有不飽和単量体は、単独
でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0023】また、他の不飽和単量体としては、例え
ば、スチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエ
ン、p−ビニルトルエン、p−クロルスチレン、o−メ
トキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシ
スチレン、インデン、p−ビニルベンジルメチルエーテ
ル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の芳香族
ビニル化合物;メチルアクリレート、メチルメタクリレ
ート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n
−プロピルアクリレート、n−プロピルメタクリレー
ト、i−プロピルアクリレート、i−プロピルメタクリ
レート、n−ブチルアクリレート、n−ブチルメタクリ
レート、i−ブチルアクリレート、i−ブチルメタクリ
レート、sec−ブチルアクリレート、sec−ブチル
メタクリレート、t−ブチルアクリレート、t−ブチル
メタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、
2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシ
プロピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタク
リレート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−
ヒドロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシブ
チルアクリレート、2−ヒドロキシブチルメタクリレー
ト、3−ヒドロキシブチルアクリレート、3−ヒドロキ
シブチルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリ
レート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリル
アクリレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリ
レート、ベンジルメタクリレート、フェニルアクリレー
ト、フェニルメタクリレート、メトキシトリエチレング
ルコールアクリレート、メトキシトリエチレングルコー
ルメタクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類;
【0024】2−アミノエチルアクリレート、2−アミ
ノエチルメタクリレート、2−アミノプロピルアクリレ
ート、2−アミノプロピルメタクリレート、3−アミノ
プロピルアクリレート、3−アミノプロピルメタクリレ
ート等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類;
グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート等
の不飽和カルボン酸グリシジルエステル類;酢酸ビニ
ル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル
等のカルボン酸ビニルエステル類;ビニルメチルエーテ
ル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテ
ル、メタリルグリシジルエーテル等の不飽和エーテル
類;アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロ
ロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン等のシアン化
ビニル化合物;アクリルアミド、メタクリルアミド、α
−クロロアクリルアミド、N−ヒドロキシエチルアクリ
ルアミド、N−ヒドロキシエチルメタクリルアミド等の
不飽和アミド類;マレイミド、N−フェニルマレイミ
ド、N−シクロヘキシルマレイミド等の不飽和イミド
類;
【0025】1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロ
プレン等の脂肪族共役ジエン類;ポリスチレン、ポリメ
チルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリ−
n−ブチルアクリレート、ポリ−n−ブチルメタクリレ
ート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノア
クリロイル基あるいはモノメタクリロイル基を有するマ
クロモノマー類等を挙げることができる。これらの他の
不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用
することができる。
【0026】共重合体(1)としては、特に、単量体
(1)と、アクリル酸および/またはメタクリル酸を
必須成分とするカルボキシル基含有不飽和単量体と、
メチルアクリレート、メチルメタクリレート、2−ヒド
ロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタ
クリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリ
レート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレー
ト、グリセロールモノアクリレート、グリセロールモノ
メタクリレート、N−フェニルマレイミド、ポリスチレ
ンマクロモノマーおよびポリメチルメタクリレートマク
ロモノマーの群から選ばれる少なくとも1種を含有する
他の不飽和単量体との共重合体(以下、「アルカリ可溶
性樹脂(I)」という。)が好ましい。
【0027】アルカリ可溶性樹脂(I)の具体例として
は、α−メチルスチレン/(メタ)アクリル酸/ベンジ
ル(メタ)アクリレート共重合体、α−メチルスチレン
/(メタ)アクリル酸/フェニルメタクリレート共重合
体、α−メチルスチレン/(メタ)アクリル酸/N−フ
ェニルマレイミド/ベンジル(メタ)アクリレート共重
合体、α−メチルスチレン/(メタ)アクリル酸/N−
フェニルマレイミド/フェニルメタクリレート共重合
体、α−メチルスチレン/(メタ)アクリル酸/N−フ
ェニルマレイミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリ
レート共重合体、α−メチルスチレン/(メタ)アクリ
ル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/フェニル
(メタ)アクリレート共重合体、α−メチルスチレン/
(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/ベンジ
ルメタクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合
体、α−メチルスチレン/(メタ)アクリル酸/N−フ
ェニルマレイミド/ベンジルメタクリレート/ポリメチ
ルメタクリレートマクロモノマー共重合体、α−メチル
スチレン/(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミ
ド/フェニルメタクリレート/ポリスチレンマクロモノ
マー共重合体、α−メチルスチレン/(メタ)アクリル
酸/N−フェニルマレイミド/フェニルメタクリレート
/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
α−メチルスチレン/(メタ)アクリル酸/N−フェニ
ルマレイミド/2−ヒドロキシエチルメタクリレート/
ベンジルメタクリレート/ポリスチレンマクロモノマー
共重合体、α−メチルスチレン/(メタ)アクリル酸/
N−フェニルマレイミド/2−ヒドロキシエチルメタク
リレート/ベンジルメタクリレート/ポリメチルメタク
リレートマクロモノマー共重合体、α−メチルスチレン
/(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/2−
ヒドロキシエチルメタクリレート/フェニルメタクリレ
ート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、α−メチ
ルスチレン/(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイ
ミド/2−ヒドロキシエチルメタクリレート/フェニル
メタクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノ
マー共重合体
【0028】p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン/
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート共
重合体、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン/(メ
タ)アクリル酸/フェニルメタクリレート共重合体、p
−ヒドロキシ−α−メチルスチレン/(メタ)アクリル
酸/N−フェニルマレイミド/ベンジル(メタ)アクリ
レート共重合体、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン
/(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/フェ
ニルメタクリレート共重合体、p−ヒドロキシ−α−メ
チルスチレン/(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレ
イミド/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重
合体、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン/(メタ)
アクリル酸/N−フェニルマレイミド/スチレン/フェ
ニル(メタ)アクリレート共重合体、p−ヒドロキシ−
α−メチルスチレン/(メタ)アクリル酸/N−フェニ
ルマレイミド/ベンジルメタクリレート/ポリスチレン
マクロモノマー共重合体、p−ヒドロキシ−α−メチル
スチレン/(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミ
ド/ベンジルメタクリレート/ポリメチルメタクリレー
トマクロモノマー共重合体、p−ヒドロキシ−α−メチ
ルスチレン/(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイ
ミド/フェニルメタクリレート/ポリスチレンマクロモ
ノマー共重合体、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン
/(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/フェ
ニルメタクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロ
モノマー共重合体、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレ
ン/(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/2
−ヒドロキシエチルメタクリレート/ベンジルメタクリ
レート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、p−ヒ
ドロキシ−α−メチルスチレン/(メタ)アクリル酸/
N−フェニルマレイミド/2−ヒドロキシエチルメタク
リレート/ベンジルメタクリレート/ポリメチルメタク
リレートマクロモノマー共重合体、p−ヒドロキシ−α
−メチルスチレン/(メタ)アクリル酸/N−フェニル
マレイミド/2−ヒドロキシエチルメタクリレート/フ
ェニルメタクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共
重合体、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン/(メ
タ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/2−ヒドロ
キシエチルメタクリレート/フェニルメタクリレート/
ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体を挙
げることができる。
【0029】これらのアルカリ可溶性樹脂(I)のう
ち、特に好ましいものとして、α−メチルスチレン/
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチルメタクリレ
ート/ベンジルメタクリレート共重合体、α−メチルス
チレン/(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド
/ベンジルメタクリレート共重合体、α−メチルスチレ
ン/(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/フ
ェニルメタクリレート共重合体、α−メチルスチレン/
(メタ)アクリル酸/p−ヒドロキシ−α−メチルスチ
レン/N−フェニルマレイミド/ベンジルメタクリレー
ト共重合体、α−メチルスチレン/(メタ)アクリル酸
/p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン/N−フェニル
マレイミド/フェニルメタクリレート共重合体、p−ヒ
ドロキシ−α−メチルスチレン/(メタ)アクリル酸/
2−ヒドロキシエチルメタクリレート/ベンジルメタク
リレート共重合体、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレ
ン/(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/ベ
ンジルメタクリレート共重合体、p−ヒドロキシ−α−
メチルスチレン/(メタ)アクリル酸/N−フェニルマ
レイミド/フェニルメタクリレート共重合体を挙げるこ
とができる。
【0030】共重合体(1)における単量体(1)の共
重合割合は、通常、5〜60重量%、好ましくは10〜
40重量%である。この範囲の共重合割合とすること
で、パターン欠けおよび剥がれと残渣および地汚れのバ
ランスに優れたカラーフィルタ用感放射線性組成物とす
ることができる。また、共重合体(1)が単量体(1)
とカルボキシル基含有不飽和単量体と他の不飽和単量体
との共重合体である場合、カルボキシル基含有不飽和単
量体の共重合割合は、通常、5〜50重量%、好ましく
は10〜40重量%であり、他の不飽和単量体の共重合
割合は、通常、15〜90重量%、好ましくは35〜8
0重量%である。この場合、カルボキシル基含有不飽和
単量体の共重合割合が5重量%未満では、得られる感放
射線性組成物のアルカリ現像液に対する溶解性が低下す
る傾向があり、一方50重量%を超えると、アルカリ現
像液による現像時に、形成された画素の基板からの脱落
や画素表面の膜荒れを来たしやすくなる傾向がある。本
発明において、共重合体(1)は、単独でまたは2種以
上を混合して使用することができる。
【0031】本発明における共重合体(1)のゲルパー
ミエーションクロマトグラフィ(GPC;溶出溶媒テト
ラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算重量平均
分子量(以下、「Mw」という。)は、好ましくは3,
000〜300,000、さらに好ましくは5,000
〜100,000であり、またゲルパーミエーションク
ロマトグラフィ(GPC;溶出溶媒テトラヒドロフラ
ン)で測定したポリスチレン換算数平均分子量(以下、
「Mn」という。)は、好ましくは500〜75,00
0、さらに好ましくは1,000〜25,000であ
る。このような特定のMwあるいはMnを有するアルカ
リ可溶性樹脂を使用することによって、現像性に優れた
感放射線性組成物が得られ、それによりシャープなパタ
ーンエッジを有する画素を形成することができるととも
に、現像時に未露光部の基板上あるいは遮光層上に残
渣、地汚れ、膜残り等が発生し難くなる。また、本発明
におけるアルカリ可溶性樹脂のMwとMnとの比(Mw
/Mn)は、通常、1〜5、好ましくは1〜4である。
【0032】本発明においては、場合により、前記共重
合体(1)と共に、他のアルカリ可溶性樹脂を併用する
こともできる。前記他のアルカリ可溶性樹脂としては、
例えば、カルボキシル基、フェノール性水酸基等の酸性
官能基を含有する樹脂を挙げることができる。このよう
な他のアルカリ可溶性樹脂としては、カルボキシル基を
含有する樹脂が好ましく、さらに好ましくは共重合体
(1)について例示した前記カルボキシル基含有不飽和
単量体と前記他の不飽和単量体との共重合体であり、特
に好ましくは、アクリル酸および/またはメタクリル
酸を必須成分とするカルボキシル基含有不飽和単量体
と、スチレン、メチルアクリレート、メチルメタクリ
レート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒド
ロキシエチルメタクリレート、アリルアクリレート、ア
リルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジル
メタクリレート、グリセロールモノアクリレート、グリ
セロールモノメタクリレート、N−フェニルマレイミ
ド、ポリスチレンマクロモノマーおよびポリメチルメタ
クリレートマクロモノマーの群から選ばれる少なくとも
1種との共重合体(以下、「アルカリ可溶性樹脂(I
I)」という。)である。
【0033】アルカリ可溶性樹脂(II)の具体例として
は、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート
共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アク
リレート共重合体、(メタ)アクリル酸/メチル(メ
タ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合
体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート
/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/
ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリ
ル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタ
クリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル
酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベン
ジル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル
酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベン
ジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマ
ー共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチ
ル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレー
ト/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合
体、メタクリル酸/スチレン/ベンジルメタクリレート
/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル
酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチ
ル〕/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−
フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/こ
はく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/
スチレン/アリル(メタ)アクリレート/N−フェニル
マレイミド共重合体、メタクリル酸/スチレン/ベンジ
ルメタクリレート/グリセロール(メタ)アクリレート
/N−フェニルマレイミド共重合体等を挙げることがで
きる。アルカリ可溶性樹脂(II)における、カルボキシ
ル基含有不飽和単量体の共重合割合は、通常、5〜50
重量%、好ましくは10〜40重量%である。この場
合、カルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合が5
重量%未満では、得られる感放射線性組成物のアルカリ
現像液に対する溶解性が低下する傾向があり、一方50
重量%を超えると、アルカリ現像液による現像時に、形
成された画素の基板からの脱落や画素表面の膜荒れを来
たしやすくなる傾向がある。これらのアルカリ可溶性樹
脂(II)は、単独でまたは2種以上を混合して使用する
ことができる。前記他のアルカリ可溶性樹脂を使用する
際の該樹脂の使用量は、アルカリ可溶性樹脂の合計量に
対して、通常、50重量%以下、好ましくは30重量%
以下である。この場合、他のアルカリ可溶性樹脂の使用
量が50重量%を超えると、現像工程における現像液の
突出圧を上げたときに、形成されたパターンに欠けおよ
び剥がれが発生しやすくなる場合がある。
【0034】本発明におけるアルカリ可溶性樹脂(II)
のMwは、好ましくは3,000〜300,000、さ
らに好ましくは5,000〜100,000であり、ま
たMnは、好ましくは500〜75,000、さらに好
ましくは1,000〜25,000である。このような
特定のMwあるいはMnを有するアルカリ可溶性樹脂を
使用することによって、現像性に優れた感放射線性組成
物が得られ、それによりシャープなパターンエッジを有
する画素を形成することができるとともに、現像時に未
露光部の基板上あるいは遮光層上に残渣、地汚れ、膜残
り等が発生し難くなる。 また、本発明におけるアルカ
リ可溶性樹脂のMwとMnとの比(Mw/Mn)は、通
常、1〜5、好ましくは1〜4である。
【0035】本発明におけるアルカリ可溶性樹脂の使用
量は、(A)着色剤100重量部に対して、通常、10
〜1000重量部、好ましくは20〜500重量部であ
る。この場合、アルカリ可溶性樹脂の使用量が10重量
部未満では、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未
露光部の基板上あるいは遮光層上に残渣、地汚れ等が発
生するおそれがあり、一方1000重量部を超えると、
相対的に着色剤濃度が低下するため、薄膜として目的と
する色濃度を達成することが困難となる場合がある。
【0036】(C)多官能性モノマー 本発明に使用される多官能性モノマーは、エチレン性二
重結合を2個以上有する分子量3000未満の化合物で
あり、その具体例とてえは、例えばエチレングリコー
ル、プロピレングリコール等のアルキレングリコールの
ジアクリレートまたはジメタクリレート類;ポリエチレ
ングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリアル
キレングリコールのジアクリレートまたはジメタクリレ
ート類;グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタ
エリスリトール、ジペンタエリスリトール等の3価以上
の多価アルコールのポリアクリレートまたはポリメタク
リレート類やそれらのジカルボン酸変性物;ポリエステ
ル、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アルキド樹脂、シリ
コーン樹脂、スピラン樹脂等のオリゴアクリレートまた
はオリゴメタクリレート類;両末端ヒドロキシポリブタ
ジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒド
ロキシポリカプロラクトン等の両末端ヒドロキシル化重
合体のジアクリレートまたはジメタクリレート類や、ト
リスアクリロイロキシエチルフォスフェート、トリスメ
タクリロイロキシエチルフォスフェート等を挙げること
ができる。
【0037】これらの多官能性モノマーのうち、3価以
上の多価アルコールのポリアクリレートまたはポリメタ
クリレート類やそれらのジカルボン酸変性物が好まし
く、具体的にはトリメチロールプロパントリアクリレー
ト、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペン
タエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリト
ールトリメタクリレート、コハク酸変性ペンタエリスリ
トールトリアクリレート、コハク酸変性ペンタエリスリ
トールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテト
ラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリ
レート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、
ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート等を挙げ
ることができ、特にトリメチロールプロパントリアクリ
レート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペ
ンタエリスリトールヘキサアクリレートが、画素強度が
高く、画素表面の平滑性に優れ、かつ画素が形成される
部分以外の領域での地汚れや膜残りを発生し難い点で好
ましい。前記多官能性モノマーは、単独でまたは2種以
上を混合して使用することができる。本発明における多
官能性モノマーの使用割合は、(B)アルカリ可溶性樹
脂100重量部に対して、通常、5〜500重量部、好
ましくは20〜300重量部である。この場合、多官能
性モノマーの使用割合が5重量部未満では、画素強度や
画素表面の平滑性が低下する傾向があり、一方500重
量部を超えると、例えば、アルカリ現像性が低下した
り、画素が形成される部分以外の領域での地汚れや膜残
りが発生しやすくなる傾向がある。
【0038】また本発明においては、前記多官能性モノ
マーの一部を単官能性モノマーに置き換えることもでき
る。このような単官能性モノマーの具体例としては、ω
−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノアクリレート、
ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノメタクリレー
ト、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、メ
トキシトリエチレングリコールメタクリレート、メトキ
シジプロピレングリコールアクリレート、メトキシジプ
ロピレングリコールメタクリレート、2−ヒドロキシ−
3−フェノキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシ
−3−フェノキシプロピルメタクリレート、2−アクリ
ロイロキシエチルこはく酸、2−メタクリロイロキシエ
チルこはく酸等を挙げることができ、さらに市販品とし
てM−5300(商品名、東亞合成(株)製)等を挙げ
ることができる。これらの単官能性モノマーは、単独で
または2種以上を混合して使用することができる。単官
能性モノマーを使用する場合、その使用量は、多官能性
モノマーと単官能性モノマーとの合計に対して、通常、
90重量%以下、好ましくは50重量%以下である。
【0039】(D)光重合開始剤 本発明における光重合開始剤とは、露光により分解また
は結合の開裂を生じ、ラジカル、カチオン、アニオン等
の前記(C)多官能性モノマーの重合を開始することが
できる活性種を発生する化合物を意味する。このような
光重合開始剤としては、イミダゾール環を有する化合
物、ベンゾイン結合を有する化合物、アセトフェノン系
化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合
物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ジアゾ
系化合物、トリハロメチル基を有する化合物、その他の
光重合開始剤を挙げることができる。これらのうち、イ
ミダゾール環を有する化合物、アセトフェノン系化合
物、トリハロメチル基を有する化合物が好ましく用いら
れる。前記イミダゾール環を有する化合物の具体例とし
ては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニル
フェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビ
ス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’
−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,
2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニル
フェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビ
ス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’
−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,
2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール等を挙げることができる。これらのビイミダゾー
ル系化合物は、溶剤に対する溶解性に優れ、未溶解物、
析出物等の異物を生じることがなく、しかも感度が高
く、少ないエネルギー量の露光により硬化反応を十分進
行させるとともに、コントラストが高く、未露光部で硬
化反応が生じることがないため、露光後の塗膜は、アル
カリ現像液に対して不溶性の硬化部分と、アルカリ現像
液に対して高い溶解性を有する未硬化部分とに明確に区
分され、パターンの欠落、欠損やアンダーカットのない
優れたカラーフィルタを形成することができる。
【0040】また、前記ベンゾイン結合を有する化合物
としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエー
テル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロ
ピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、メチル
−2−ベンゾイルベンゾエート等を挙げることができ
る。前記アセトフェノン系化合物としては、例えば、
2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1
−フェニル−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1
−オン、1−(4−i−プロピルフェニル)−2−ヒド
ロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、4−(2−ヒ
ドロキシエトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−
プロピル)ケトン、2,2−ジメトキシアセトフェノ
ン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、2−メチル−
(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノ−1−
プロパン−1−オン、1−(4−モルフォリノフェニ
ル)−2−ベンジル−2−ジメチルアミノブタン−1−
オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、
4−アジドアセトフェノン、4−アジドベンザルアセト
フェノン等を挙げることができる。前記ベンゾフェノン
系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、4,4’
−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−
ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、3,3−ジメ
チル−4−メトキシベンゾフェノン等を挙げることがで
きる。
【0041】前記α−ジケトン系化合物としては、例え
ば、ジアセチル、ジベンゾイル、メチルベンゾイルホル
メート等を挙げることができる。前記多核キノン系化合
物としては、例えば、アントラキノン、2−エチルアン
トラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1,4−
ナフトキノン等を挙げることができる。前記キサントン
系化合物としては、例えば、キサントン、チオキサント
ン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオ
キサントン等を挙げることができる。前記ジアゾ系化合
物としては、例えば、4−ジアゾジフェニルアミン、4
−ジアゾ−4’−メトキシジフェニルアミン、4−ジア
ゾ−3−メトキシジフェニルアミン等を挙げることがで
きる。前記トリハロメチル基を有する化合物としては、
例えば、2−(2−フリルエチリデン)−4,6−ビス
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(3,4
−ジメトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメ
チル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシナフチ
ル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリア
ジン、2−(2−ブロモ−4−メチルフェニル)−4,
6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−
(2−チオフェニルエチリデン)−4,6−ビス(トリ
クロロメチル)−s−トリアジン等を挙げることができ
る。さらに、その他の光重合開始剤として、4−アジド
ベンズアルデヒド、アジドピレン、ビス(2,6−ジメ
トキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチル
フォスフィンオキサイド、N−フェニルチオアクリド
ン、トリフェニルピリリウムパークロレート等を挙げる
ことができる。
【0042】本発明において、光重合開始剤は、単独で
または2種以上を混合して使用することができる。本発
明における光重合開始剤の使用量は、(C)多官能性モ
ノマーと場合により使用される単官能性モノマーとの合
計100重量部に対して、通常、0.01〜500重量
部、好ましくは1〜300重量部、さらに好ましくは1
0〜200重量部である。この場合、光重合開始剤の使
用量が0.01重量部未満では、露光による硬化が不十
分となり、画素パターンに欠落、欠損やアンダーカット
を生じるおそれがあり、一方500重量部を超えると、
形成された画素が現像時に基板から脱落しやすく、また
画素が形成される部分以外の領域で地汚れ、膜残り等を
生じやすくなる。
【0043】さらに、本発明においては、前記光重合開
始剤と共に、増感剤、硬化促進剤、高分子光架橋・増感
剤等を1種以上併用することもできる。前記増感剤とし
ては、例えば、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4
−ジメチルアミノプロピオフェノン、4−ジメチルアミ
ノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エ
チルヘキシル、2,5−ビス(4−ジエチルアミノベン
ザル)シクロヘキサノン、7−ジエチルアミノ−3−
(4−ジエチルアミノベンゾイル)クマリン、4−(ジ
エチルアミノ)カルコン等を挙げることができる。これ
らの増感剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用す
ることができる。また、前記硬化促進剤としては、例え
ば、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプ
トベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾー
ル、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾー
ル、2−メルカプト−4,6−ジメチルアミノピリジン
等の連鎖移動剤を挙げることができる。これらの硬化促
進剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用すること
ができる。また、前記高分子光架橋・増感剤は、露光に
より架橋剤および/または増感剤として作用しうる少な
くとも1種の官能基を主鎖および/または側鎖中に有す
る高分子化合物であり、その例としては、4−アジドベ
ンズアルデヒドとポリビニルアルコールとの縮合物、4
−アジドベンズアルデヒドとフェノールノボラック樹脂
との縮合物、けい皮酸4−アクリロイルフェニルの
(共)重合体、1,4−ポリブタジエン、1,2−ポリ
ブタジエン等を挙げることができる。これらの高分子光
架橋・増感剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用
することができる。本発明における増感剤、硬化促進剤
および高分子光架橋・増感剤の合計使用量は、光重合開
始剤100重量部に対して、通常、300重量部以下、
好ましくは5〜200重量部、さらに好ましくは10〜
100重量部である。
【0044】添加剤 本発明の感放射線性組成物は、前記(A)着色剤、
(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性モノマーお
よび(D)光重合開始剤を必須成分とするものである
が、本発明の目的を損なわない範囲で、必要に応じてそ
の他の添加剤を含有することもできる。このような添加
剤としては、例えば、銅フタロシアニン誘導体等の青色
顔料誘導体や黄色顔料誘導体等の分散助剤;ガラス、ア
ルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリエチレ
ングリコールモノアルキルエーテル類、ポリ(フロロア
ルキルアクリレート)類等の高分子化合物;ノニオン系
界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活
性剤等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニ
ルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエ
トキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミ
ノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノ
エチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3
−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキ
シプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロ
ピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシ
シクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロ
ロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピ
ルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルト
リメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキ
シシラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチ
ル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブ
チルフェノール等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル
−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロ
ベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン類等の
紫外線吸収剤;ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止
剤等を挙げることができる。
【0045】さらに、本発明の感放射線性組成物は、有
機酸を含有するこもできる。このような有機酸として
は、分子量が1000以下である、脂肪族カルボン酸あ
るいはフェニル基含有カルボン酸が好ましい。前記脂肪
族カルボン酸の具体例としては、ぎ酸、酢酸、プロピオ
ン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル
酢酸、エナント酸、カプリル酸等のモノカルボン酸類;
しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン
酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン
酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジ
メチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく
酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラ
コン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸等のジカル
ボン酸類;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロ
ン酸等のトリカルボン酸類を挙げることができる。ま
た、前記フェニル基含有カルボン酸としては、カルボキ
シル基が直接フェニル基に結合した芳香族カルボン酸
や、カルボキシル基が炭素鎖を介してフェニル基に結合
したカルボン酸等を挙げることができ、それらの具体例
としては、安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト
酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸類;フタル
酸、イソフタル酸、テレフタル酸等の芳香族ジカルボン
酸類;トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、
ピロメリット酸等の3価以上の芳香族ポリカルボン酸類
や、フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロけい皮
酸、マンデル酸、フェニルこはく酸、アトロパ酸、けい
皮酸、シンナミリデン酸、クマル酸、ウンベル酸等を挙
げることができる。これらの有機酸のうち、マロン酸、
アジピン酸、イタコン酸、シトラコン酸、フマル酸、メ
サコン酸、フタル酸等の脂肪族ジカルボン酸類および芳
香族ジカルボン酸類が、アルカリ溶解性、後述する溶剤
に対する溶解性、画素が形成される部分以外の領域での
地汚れや膜残りの防止等の観点から好ましい。前記有機
酸は、単独でまたは2種以上を混合して使用することが
できる。本発明における有機酸の使用量は、感放射線性
組成物全体に対して、通常、10重量%以下、好ましく
は10重量%以下、さらに好ましくは1重量%以下であ
る。この場合、有機酸の使用量が10重量%を超える
と、形成された画素の基板に対する密着性が低下する傾
向がある。
【0046】溶剤 本発明の感放射線性組成物は、前記(A)着色剤、
(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性モノマーお
よび(D)光重合開始剤を必須成分とし、必要に応じて
前記添加剤成分を含有するものであるが、通常、各成分
を適当な溶剤に溶解または分散した液状組成物として調
製される。前記溶剤としては、(A)着色剤、(B)ア
ルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性モノマーおよび
(D)光重合開始剤、ならびに任意的に添加されるその
他の添加剤成分を分散または溶解し、かつこれらの成分
と反応せず、適度の揮発性を有するものである限り、適
宜に選択して使用することができる。このような溶剤と
しては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテ
ル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレ
ングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコー
ルモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n
−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−
ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエ
ーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、
プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレン
グリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコー
ルモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエ
チルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−プロ
ピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−ブチ
ルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエー
テル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等
の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル
類;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテー
ト、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテー
ト、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテー
ト、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテー
ト等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエー
テルアセテート類;ジエチレングリコールジメチルエー
テル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジ
エチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフ
ラン等の他のエーテル類;メチルエチルケトン、シクロ
ヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等のケト
ン類;2−ヒドロキシプロピオン酸メチル、2−ヒドロ
キシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステル類;
2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル2−
ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、3−メト
キシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エ
チル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシ
プロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ
酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチル酪酸メチル、
3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチ
ル−3−メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、
酢酸n−ブチル、酢酸n−プロピル、酢酸i−プロピ
ル、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、酢酸n−アミ
ル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エ
チル、酪酸n−プロピル、酪酸i−プロピル、酪酸n−
ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビ
ン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチ
ル、2−オキソ酪酸エチル等の他のエステル類;トルエ
ン、キシレン等の芳香族炭化水素類;N−メチルピロリ
ドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチ
ルアセトアミド等のカルボン酸アミド類等を挙げること
ができる。これらの溶剤は、単独でまたは2種以上を混
合して使用することができる。
【0047】さらに、前記溶剤と共に、ベンジルエチル
エーテル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、
イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノー
ル、1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジ
ル、安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マレイン酸ジ
エチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロ
ピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセ
テート等の高沸点溶剤を併用することもできる。これら
の高沸点溶剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用
することができる。前記溶剤のうち、溶解性、顔料分散
性、塗布性等の観点から、エチレングリコールモノメチ
ルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチ
ルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチル
エーテル、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘ
プタノン、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、3−メ
チル−3−メトキシブチルプロピオネート、3−メトキ
シプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチ
ル、3−エトキシプロピオン酸エチル、酢酸n−ブチ
ル、酢酸i−ブチル、酢酸n−アミル、酢酸i−アミ
ル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸i−プ
ロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸エチル等が好まし
く、また高沸点溶剤としてはγ−ブチロラクトン等が好
ましい。本発明における溶剤の使用量は、(B)アルカ
リ可溶性樹脂100重量部に対して、通常、100〜1
0000重量部、好ましくは500〜5000重量部で
あり、液状組成物中の固形分濃度としては、通常、5〜
50重量%、好ましくは10〜40重量%である。
【0048】カラーフィルタの形成方法 次に、本発明の感放射線性組成物を用いて、本発明のカ
ラーフィルタを形成する方法について説明する。まず、
基板の表面上の画素を形成する部分を区画するように遮
光層を形成し、この基板上に、例えば赤色の顔料が分散
された感放射線性組成物の液状組成物を塗布したのち、
プレベークを行って溶剤を蒸発させ、塗膜を形成する。
次いで、この塗膜にフォトマスクを介して放射線を露光
したのち、アルカリ現像液を用いて現像して、塗膜の非
露光部を除去することにより、赤色の画素が所定のパタ
ーンで配置された画素アレイを形成する。その後、緑色
または青色の顔料が分散された各感放射線性組成物の液
状組成物を用い、前記と同様にして、各液状組成物の塗
布、プレベーク、露光および現像を行って、緑色の画素
アレイおよび青色の画素アレイを同一基板上に順次形成
することにより、赤色、緑色および青色の三原色の画素
アレイが基板上に配置されたカラーフィルタを得る。な
お、カラーフィルタを形成する際の順番は上記の形成順
に限られるものではない。
【0049】カラーフィルタを形成する際に使用される
基板としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボ
ネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミド
イミド、ポリイミド等を挙げることができる。これらの
基板には、所望により、シランカップリング剤等による
薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパ
ッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理を
施しておくこともできる。感放射線性組成物の液状組成
物を基板に塗布する際には、回転塗布、流延塗布、ロー
ル塗布等の適宜の塗布法を採用することができる。塗布
厚さは、溶媒除去後の膜厚として、通常、0.1〜10
μm、好ましくは0.2〜5.0μm、特に好ましくは
0.2〜3.0μmである。カラーフィルタを形成する
際に使用される放射線としては、例えば、可視光線、紫
外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用することができ
るが、波長が190〜450nmの範囲にある放射線が
好ましい。放射線の照射エネルギー量(以下、「露光
量」という。)は、通常10〜10,000J/m2
あり、好ましくは100〜5,000J/m2である。
なお、従来知られているカラーフィルタ形成用感放射線
性組成物は、十分な硬度や基板との密着性を有する硬化
物を得るためには、通常800J/m2 以上、好ましく
は1,000J/m2 以上の露光量が必要であったが、
本発明の組成物は、600J/m2以下の露光量でも十
分な硬度、基板との密着性を有する硬化物を得ることが
でき、さらには400J/m2以下、特に200J/m2
以下の露光量でも硬度、基板との密着性に優れた硬化物
を得ることができる。
【0050】前記アルカリ現像液としては、例えば、炭
酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テ
トラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コリン、
1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデ
セン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]−5−
ノネン等の水溶液が好ましい。前記アルカリ現像液に
は、例えばメタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤
や界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、ア
ルカリ現像後は、通常、水洗する。現像処理法として
は、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸
漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適用すること
ができ、現像条件は、常温で5〜300秒が好ましい。
【0051】ブラックマトリクスの形成方法 次に、本発明の感放射線性組成物を用いて、本発明のブ
ラックマトリクスを形成する方法について説明する。ま
ず、基板の表面上に例えば2種以上の有機顔料および/
またはカーボンブラックが分散された感放射線性組成物
の液状組成物を塗布したのち、プレベークを行って溶剤
を蒸発させ、塗膜を形成する。次いで、この塗膜にフォ
トマスクを介して放射線を露光したのち、アルカリ現像
液を用いて現像して、塗膜の非露光部を除去することに
より、所定のパターンのブラックマトリクスを形成する
ことができる。ブラックマトリクスを形成する際に使用
される基板としては、前述のカラーフィルタの形成につ
いて記載したのと同様の基板を使用することができる。
感放射線性組成物の液状組成物を基板に塗布する方法と
しては、前述のカラーフィルタの形成について記載した
と同様の塗布方法を採用することができる。塗布厚さ
は、溶媒除去後の膜厚として、通常、0.1〜10μ
m、好ましくは0.2〜3.0μm、特に好ましくは
0.2〜2.0mである。ブラックマトリクスを形成す
る際に使用される放射線としては、前述のカラーフィル
タの形成について記載したのと同様の放射線を使用する
ことができる。放射線の照射エネルギー量(以下、「露
光量」という。)は、通常10〜10,000J/m2
であり、好ましくは200〜5,000/m2である。
なお、従来知られているブラックマトリクス形成用感放
射線性組成物は、十分な硬度や基板との密着性を有する
硬化物を得るためには、通常1,000J/m2 以上、
好ましくは1,500J/m2 以上の露光量が必要であ
ったが、本発明の組成物は、800J/m2以下の露光
量でも十分な硬度、基板との密着性を有する硬化物を得
ることができ、さらには600J/m2以下、特に40
0J/m2以下の露光量でも硬度、基板との密着性に優
れたブラックマトリクスを得ることができる。前記アル
カリ現像液、および現像方法としては、前述のカラーフ
ィルタ形成における現像工程にて記載したと同様の現像
液を使用し、同様の方法にて行うことができる。
【0052】ところで、カラーフィルタやブラックマト
リクスを形成する際の現像時には、未露光部の基板上あ
るいは遮光層上に残渣や地汚れを生じるおそれがあり、
このような残渣や地汚れの発生を防止する観点から、例
えばシャワー現像法等の、現像液をある程度高い圧力で
吐出できる現像法が採用されてきている。このような方
法において、現像液の吐出圧は、通常0.2MPa以上
に設定されている。本発明の感放射線性組成物は、カラ
ーフィルタ形成用として使用する場合、600J/m2
以下、さらには400J/m2以下、特に200J/m2
以下の露光量で露光した場合でも、その硬化物は吐出圧
0.2MPa以上の現像耐性を有するものである。ま
た、本発明の感放射線性組成物は、ブラックマトリクス
形成用として使用する場合、800J/m2以下、さら
には600J/m2以下、特に400J/m2以下の露光
量で露光した場合でも、その硬化物は吐出圧0.2MP
a以上の現像耐性を有するものである。なお、上記でい
う「吐出圧0.2MPa以上の現像耐性を有する」と
は、現像液を0.2MPa以上の吐出圧で吐出させて現
像しても、パターンの欠けおよび剥がれを生じることが
ないことを意味する。
【0053】以下、実施例を挙げて、本発明の実施の形
態をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、これら
の実施例に何ら制約されるものではない。
【実施例】
【0054】実施例1 (A)着色剤としてC.I.ピグメントレッド177と
C.I.ピグメントレッド224の65/35(重量比)
混合物100重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂として
メタクリル酸/α−メチルスチレン/2−ヒドロキシエ
チルメタクリレート/ベンジルメタクリレート共重合体
(共重合重量比=15/35/15/35、Mw=23
000、Mn=10500)60重量部、(C)多官能
性モノマーとしてジペンタエリスリトールヘキサアクリ
レート40重量部、(D)光重合開始剤として2,2’
−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール10
重量部と4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェ
ノン10重量部と2−メチル−(4−メチルチオフェニ
ル)−2−モルフォリノ−1−プロパン−1−オン20
重量部と2−メルカプトベンゾチアゾール5重量部、お
よび溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテ
ルアセテート800重量部とシクロヘキサノン200重
量部を混合して、カラーフィルタ用感放射線性組成物
(R1)を調製した。この液状組成物を、表面にナトリ
ウムイオンの溶出を防止するSiO2 膜が形成されたソ
ーダガラス基板表面上に、スピンコーターを用いて塗布
したのち、70℃で3分間プレベイクを行って、膜厚
2.5μmの塗膜を形成した。基板を室温に冷却したの
ち、高圧水銀ランプ(照度 25mW/cm)を用
い、フォトマスクを介して、塗膜に365nm、405
nmおよび436nmの各波長を含む紫外線を、200
0J/m2の露光量でステップタブレットマスク(Op
toline社製、Photoresist Step Tablet)を介し
て露光した。この結果、塗膜は8つの領域に分割され、
各領域はそれぞれ100、200、400、600、8
00、1000、1500及び2000J/m2(露光
時間に換算して0.4、0.8、1.6、2.4、3.
2、4.0、6.0、および8.0秒)で露光されたこ
ととなる。次いで、現像液として23℃の0.04重量
%水酸化カリウム水溶液を用い、現像液突出圧0.3M
Pa(ノズル径1.0mm)にてシャワー現像を1分間
行い現像したのち、超純水で洗浄し、基板上に90/2
10μmのライン・アンド・スペースにて赤色のストラ
イプ状カラーフィルタを形成した。得られた赤色のスト
ライプ状カラーフィルタには、未露光部の基板上および
遮光層上に残渣や地汚れは見られなかった。また、すべ
ての露光量で得られた画素パターンにに欠けおよび剥が
れは認められなかった。
【0055】実施例2 着色剤としてC.I.ピグメントグリーン36を100重
量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタクリル酸/
α−メチルスチレン/N−フェニルマレイミド/ベンジ
ルメタクリレート共重合体(共重合重量比=25/22
/30/23、Mw=13500、Mn=6000)5
0重量部、(C)多官能性モノマーとしてジペンタエリ
スリトールヘキサアクリレート50重量部、(D)光重
合開始剤として2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1
−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オンを
40重量部、および溶剤としてプロピレングリコールモ
ノメチルエーテルアセテート800重量部とシクロヘキ
サノン200重量部を混合して、カラーフィルタ用感放
射線性組成物(G1)を調製した。上記組成物G1を用
いて、実施例1と同様にして、基板上に緑色のストライ
プ状カラーフィルタを形成した。得られた緑色のストラ
イプ状カラーフィルタには、未露光部の基板上および遮
光層上に残渣や地汚れは見られなかった。また、100
J/m2(露光時間換算0.4秒) の露光量で得られた
画素パターンに、じゃっかんの欠けおよび剥がれが認め
られたものの、200J/m2(露光時間換算0.8
秒)以上の露光量で得られた画素パターンに欠けおよび
剥がれは認められなかった。
【0056】実施例3 着色剤としてC.I. ピグメントブルー15を100重
量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタクリル酸/
α−メチルスチレン/N−フェニルマレイミド/フェニ
ルメタクリレート共重合体(共重合重量比=25/22
/30/23、Mw=12000、Mn=6500)3
0重量部、(C)多官能性モノマーとしてジペンタエリ
スリトールヘキサアクリレート70重量部、(D)光重
合開始剤として2−メチル−(4−メチルチオフェニ
ル)−2−モルフォリノ−1−プロパン−1−オンを4
0重量部、および溶剤としてプロピレングリコールモノ
メチルエーテルアセテート800重量部とシクロヘキサ
ノン200重量部を混合して、カラーフィルタ用感放射
線性組成物(B1)を調製した。上記組成物B1を用い
て実施例1と同様にして、基板上に青色のストライプ状
カラーフィルタを形成した。得られた青色のストライプ
状カラーフィルタには、未露光部の基板上および遮光層
上に残渣や地汚れは見られなかった。また、すべての露
光量で得られた画素パターンにに欠けおよび剥がれは認
められなかった。
【0057】実施例4 着色剤としてC.I.ピグメントグリーン36を100重
量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタクリル酸/
α−メチルスチレン/p−ヒドロキシ−α−メチルスチ
レン/N−フェニルマレイミド/ベンジルメタクリレー
ト共重合体(共重合重量比=25/12/12/30/
21、Mw=9500、Mn=5000)40重量部、
(C)多官能性モノマーとしてジペンタエリスリトール
ヘキサアクリレート60重量部、(D)光重合開始剤と
して2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾール2重量部と4,4’−ビス(ジエチルアミ
ノ)ベンゾフェノン6重量部と2−ベンジル−2−ジメ
チルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタ
ン−1−オン30重量部と2−メルカプトベンゾチアゾ
ール2重量部、および溶剤としてプロピレングリコール
モノメチルエーテルアセテート800重量部とシクロヘ
キサノン200重量部を混合して、カラーフィルタ用感
放射線性組成物(G2)を調製した。上記組成物G2を
用いて実施例1と同様にして、基板上に緑色のストライ
プ状カラーフィルタを形成した。得られた緑色のストラ
イプ状カラーフィルタには、未露光部の基板上および遮
光層上に残渣や地汚れは見られなかった。また、すべて
の露光量で得られた画素パターンに欠けおよび剥がれは
認められなかった。
【0058】実施例5 着色剤としてカーボンブラック100重量部、(B)ア
ルカリ可溶性樹脂としてメタクリル酸/p−ヒドロキシ
−α−メチルスチレン/N−フェニルマレイミド/ベン
ジルメタクリレート共重合体(共重合重量比=15/2
4/30/31、Mw=8000、Mn=5000)5
0重量部、(C)多官能性モノマーとしてジペンタエリ
スリトールヘキサアクリレート50重量部、(D)光重
合開始剤として2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェ
ニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,
2’−ビイミダゾール15重量部と4,4’−ビス(ジ
エチルアミノ)ベンゾフェノン5重量部と2−メチル−
(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノ−1−
プロパン−1−オン20重量部と2−メルカプトベンゾ
チアゾール5重量部、および溶剤としてプロピレングリ
コールモノメチルエーテルアセテート800重量部とシ
クロヘキサノン200重量部を混合して、ブラックマト
リクス用感放射線性組成物(BK1)を調製した。上記
組成物BK1を、表面にナトリウムイオンの溶出を防止
するSiO2 膜が形成されたソーダガラス基板表面上
に、スピンコーターを用いて塗布したのち、90℃で3
分間プレベイクを行って、膜厚1.3μmの塗膜を形成
した。基板を室温に冷却したのち、高圧水銀ランプ(照
度 25mW/cm)を用い、フォトマスクを介し
て、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの
各波長を含む紫外線を、2,000J/m2の露光量で
ステップタブレットマスク(Optoline社製、Ph
otoresist Step Tablet)を介して露光した。この結
果、塗膜は8つの領域に分割され、各領域はそれぞれ1
00、200、400、600、800、1,000、
1,500及び2,000J/m2(露光時間に換算し
て0.4、0.8、1.6、2.4、3.2、4.0、
6.0、および8.0秒)で露光されたこととなる。次
いで、現像液として23℃の0.04重量%水酸化カリ
ウム水溶液を用い、現像液突出圧0.3MPa(ノズル
径1.0mm)にてシャワー現像を1分間行い現像した
のち、超純水で洗浄し、基板上に黒色のパターンが形成
されたブラックマトリクスを作成した。得られた黒色の
ブラックマトリクスには、未露光部の基板上および遮光
層上に残渣や地汚れは見られなかった。また、200J
/m2(露光時間換算0.8秒) の露光量で得られた画
素パターンに、じゃっかんの欠けおよび剥がれが認めら
れたものの、400J/m2(露光時間換算1.6秒)
以上の露光量で得られた画素パターンに欠けおよび剥が
れは認められなかった。
【0059】比較例1 実施例1における(B)アルカリ可溶性樹脂60重量部
に代えて、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタクリル
酸/スチレン/2−ヒドロキシエチルメタクリレート/
ベンジルメタクリレート共重合体(共重合重量比=15
/35/15/35、Mw=20000、Mn=900
0)60重量部を用いた以外は、実施例1と同様にし
て、感放射線性組成物の液状組成物を調製して、基板上
に赤色のストライプ状カラーフィルタを形成した。得ら
れた赤色のストライプ状カラーフィルタには、未露光部
の基板上および遮光層上に残渣や地汚れは見られず、ま
た、800J/m2(露光時間換算3.2秒)以上の露
光量で得られた画素パターンに欠けおよび剥がれは認め
られなかった。しかし、100、200、400及び6
00J/m2(露光時間に換算して0.4、0.8、
1.6、および2.4秒)の露光量で得られた画素パタ
ーンには、いずれも欠けおよび剥がれが認められた。
【0060】
【発明の効果】本発明の感放射線性組成物は、低露光量
でかつ現像液の吐出圧を上げても、パターンに欠けおよ
び剥がれを生じることがなく、未露光部の基板上および
遮光層上に残渣および地汚れが発生するのを防止するこ
とができ、それから形成されたカラーフィルタ、および
ブラックマトリクス、ならびにそれらを具備する液晶表
示素子は信頼性に優れる。したがって、液晶表示素子の
製造工程において本発明の感放射線性組成物を用いる
と、短い露光時間で信頼性の高い製品を得ることがで
き、分割露光を採用した場合でも、製品の生産性向上に
資する。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G02F 1/1335 505 G02F 1/1335 505 4J026 G03F 7/004 505 G03F 7/004 505 7/033 7/033 Fターム(参考) 2H025 AA01 AA04 AA13 AB13 AC01 AD01 BC13 BC42 CA00 CB13 CB16 CB43 FA17 2H042 AA09 AA26 2H048 BA02 BA45 BA48 BB02 BB42 2H091 FA02Y FA35Y FB02 LA30 4J011 AA05 PA03 PA22 PA65 PB25 PC02 PC08 QA07 QA13 QA17 SA04 SA05 SA06 SA15 SA16 SA22 SA25 SA26 SA32 SA34 SA62 SA63 SA64 SA77 SA78 SA79 SA84 UA01 UA03 UA04 UA06 WA01 4J026 AA17 AA20 AA21 BA28 BA50 BB01 DB06 DB12 DB16 DB36 FA05

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 露光量600J/mで露光したとき
    に、突出圧0.2MPa以上の現像耐性を有することを
    特徴とする、カラーフィルタ形成用感放射線性組成物。
  2. 【請求項2】 露光量800J/mで露光したとき
    に、突出圧0.2MPa以上の現像耐性を有することを
    特徴とする、ブラックマトリクス形成用感放射線性組成
    物。
  3. 【請求項3】 (A)着色剤、(B)下記一般式(1)
    で表される単量体と他の共重合可能な単量体との共重合
    体を含むアルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、
    および(D)光重合開始剤を含有することを特徴とす
    る、感放射線性組成物。 【化1】 (式中、R〜Rはそれぞれ独立に、水素原子、水酸
    基、炭素数1〜6のアルキル基、またはハロゲン原子を
    示す。)
  4. 【請求項4】 カラーフィルタ形成用である、請求項3
    に記載の感放射線性組成物。
  5. 【請求項5】 請求項1または4に記載の感放射線性組
    成物から形成されたカラーフィルタ。
  6. 【請求項6】 請求項5に記載のカラーフィルタを具備
    する液晶表示素子。
  7. 【請求項7】 ブラックマトリクス形成用である、請求
    項3に記載の感放射線性組成物。
  8. 【請求項8】 請求項2または7に記載の感放射線性組
    成物から形成されたブラックマトリクス。
  9. 【請求項9】 請求項8に記載のブラックマトリクスを
    具備する液晶表示素子。
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