JP2004071717A - 高圧処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧力容器1内に形成された高圧処理室4に加圧媒体を供給して被処理体を高圧処理する高圧処理装置において、前記圧力容器1は、軸方向に分離可能な第1容器部2と第2容器部3とを有し、前記第1及び第2容器部2,3の間に前記高圧処理室4が形成され、かつ、前記第1及び第2容器部2,3の接合部に高圧処理室4を密封する面シール部5が形成され、前記面シール部5に軸方向力を付与する押圧装置7が設けられ、前記押圧装置7は、前記高圧容器1の軸心部に対応する位置に、所定広さの空間15を有する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、半導体製造工程など、特にウェーハや液晶ガラス基板の処理に用いられる高圧処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
この種の従来の高圧処理装置として、蓋部材と圧力容器のシール部分が軸シールであり、高圧時に発生する軸力をプレスフレームやコラムで受ける形式(例えば、特開2001−250821号公報、特開2001−280856号公報参照)や、シール部分が面シールであり、軸力をシリンダなど押圧装置で受ける形式(例えば、特表平7−502376号公報、特開平9−292181号公報、特開10−335408号公報、特開2001−96103号公報参照)のものがある。
【0003】
前記軸シール形式の場合、シール部が摺動するため、パーティクル発生の原因となっていた。
前記面シール形式の場合、シール部が摺動しないので、パーティクル発生は抑えられるので、半導体製造工程などパーティクルを嫌う高圧処理装置としては適したものであった。
一方、半導体製造工程においては、高圧処理室内の処理液を攪拌する等する補助装置を備えたものがある(例えば、特開平11−87306号公報参照)。
【0004】
そして、このような補助装置を、前記面シール形式の高圧処理装置にも備えたいという要求がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前記従来の面シール形式の高圧処理装置においては、前記押圧装置が装備されているため、前記補助装置を圧力容器の外部に設けることができないという問題があった。
そこで、本発明は、面シール形式のものにおいて、攪拌装置などの補助装置を装備可能とした高圧処理装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明は、次の手段を講じた。即ち、本発明の特徴とするところは、圧力容器内に形成された高圧処理室に加圧媒体を供給して被処理体を高圧処理する高圧処理装置において、前記圧力容器は、軸方向に分離可能な第1容器部と第2容器部とを有し、前記第1及び第2容器部の間に前記高圧処理室が形成され、かつ、前記第1及び第2容器部の接合部に高圧処理室を密封する面シール部が形成され、前記面シール部に軸方向力を付与する押圧装置が設けられ、前記押圧装置は、前記高圧容器の軸心部に対応する位置に、所定広さの空間を有する点にある。
【0007】
前記構成の本発明によれば、押圧装置の空間に、処理室内の状態を変えるための補助装置を配置することができ、設置スペースの減少に寄与する。
前記補助装置は、前記高圧処理室内の加圧媒体を攪拌する攪拌装置であるのが好ましい。
前記補助装置は、前記高圧処理室内に設けられた被処理体載置台を動かす駆動装置とすることができる。
また、前記補助装置は、前記高圧処理室内へ加圧媒体を供給する配管装置であってもよい。
【0008】
前記押圧装置と圧力容器の間にスペーサが介在され、該スペーサを取り除くことにより、前記高圧処理室内から被処理体を取り出し可能とすることができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
図1において、高圧処理装置は、圧力容器1を有する。この圧力容器1は、軸方向に分離可能な第1容器部2と第2容器部3とを有する。前記第1及び第2容器部2,3の間に被処理体を収納する高圧処理室4が形成され、かつ、前記第1及び第2容器部2,3の接合部に前記高圧処理室4を密封する面シール部5が形成されている。
【0010】
圧力容器1には、図示省略の配管が接続され、高圧処理室4内へ圧力媒体を供給可能としている。この圧力媒体として、液体が例示される。前記被処理体として半導体のウェーハや、液晶ガラス基板が例示される。
前記圧力容器1は、軸力支持装置6により、第1及び第2容器部2,3が分離しないように支持され、さらに、前記面シール部5に軸方向力を付与して高圧処理室4内の圧媒の漏洩を防止する押圧装置7が、前記軸力支持装置6と高圧容器1との間に介在されている。
【0011】
前記軸力支持装置6は、上部プレート8と下部プレート9と、この上下部プレート8,9を相対移動不能に連結固定するタイロッド10とを有する。この下部プレート9の上面に前記押圧装置7が設けられ、この押圧装置7の上面と前記上部プレート8の下面間に、前記圧力容器1が挟持される。
前記第1容器部2は、縦軸心を有する円柱状に形成され、その上下面は、互いに平行な平坦面とされて、その下面側に開口する同心円の孔が形成されている。この第1容器部2の上面は、前記軸力支持装置6の上部プレート8の下面に固定されている。
【0012】
前記第2容器部3は、縦軸心を有する円柱状に形成され、その上下面は、互いに平行な平坦面とされて、その上面に上方に突出する同心円の段部が形成されている。
この段部が前記孔に嵌合して、段部上面と孔底面間に、前記高圧処理室4が形成される。
第1容器部2の下面と第2容器部3の上面との接合部に、シール部材11が介在され、前記面シール部5が形成されている。
【0013】
前記圧力容器1には、前記高圧処理室4内の状態を変えるための補助装置12が、外部に設けられている。この実施の形態では、前記補助装置12は、第2容器部3の下面の軸心部に取り付けられている。
即ち、前記高圧処理室4内には、載置台13が設けられ、該載置台13に前記被処理体が載置される。この載置台13は、第2容器部3の軸心に貫通して設けられた軸14により支持されている。この軸14の下端が、前記補助装置12に連結されている。
【0014】
即ち、この補助装置12は、前記載置台13を回転させたり、上下動させたり、又は振動させたりする駆動装置により構成されている。この駆動装置は、電磁モータなどにより構成するのが好ましい。
前記圧力容器1の下面、即ち、第2容器部3の下面は、前記押圧装置7により支持されている。
前記押圧装置7は、軸方向に伸縮自在なシリンダにより構成されている。そして、この押圧装置7には、前記圧力容器1の軸心部に対応する位置に、軸心方向に貫通する所定広さの空間15が形成されている。
【0015】
この空間15に前記補助装置12が収納されている。
即ち、前記押圧装置7は、前記下部プレート9上面に載置されたリング状ピストン16と、該ピストン16に上下方向摺動自在に嵌合するリング状シリンダ17により構成されている。このリング状シリンダ17の中心部の空所が前記空間15を形成し、前記補助装置12が配置されている。
前記シリンダ17の上面が、前記第2容器部3の下面を支持している。このシリンダ17は、下部プレート9に立設されたガイド18により、上下方向移動がガイドされている。
【0016】
前記押圧装置7のシリンダ形式は単動式とされ、シリンダ室に圧媒を供給する配管19が、前記シリンダ17に接続されている。
この配管19を通じて高圧の媒体を流入させることにより、第2容器部3を第1容器部2へ押し付け、面シール部5の押し付け力を確保して、タイロッド10で結ばれた上下部プレート8,9により、高圧処理室4内で発生する圧力を保つことができる。
前記押圧装置7のシリンダ径は、前記高圧処理室4の内径よりも大きくされている。即ち、押圧装置7は、高圧処理室4内の圧力よりも低圧の作動圧力により支持可能とされている。
【0017】
図2に示す如く、シリンダ室内の圧媒を抜くことにより、第2容器部3は下降し、高圧処理室4を開放することができ、被処理体の装着・取外しが可能とされている。
なお、この実施の形態では、前記補助装置12は、リング状シリンダ17に固定されたもの、又は一体的に形成されたものであっても良い。また、シリンダ17とピストン16の配置は、上下逆転させたものであっても良い。第1及び第2容器部2,3の配置も、上下逆転させたものであっても良い。この場合、載置台13や補助装置12は、下部側に配置された容器部に設けられる。勿論、装置全体を上下逆転配置したものであっても良い。
【0018】
図3に示すものは、本発明の他の実施の形態であり、補助装置12として、前記高圧処理室4内の加圧媒体を攪拌する攪拌装置を採用したものである。
この攪拌装置は、第2容器部3の軸心部に回転自在に設けられた攪拌羽根20と、この攪拌羽根20を回転駆動する駆動部21とを有し、該駆動部21が第2容器3の下面に取り付けられ、この駆動部21が前記押圧装置7の空間15に配置されている。
尚、図示省略するが、前記空間15に配置される補助装置12としては、前記高圧処理室4内へ加圧媒体を供給する配管やバルブを含む配管装置であってもよい。
【0019】
図4、5に示すものは、本発明の他の実施の形態であり、前記押圧装置7と圧力容器1の間にスペーサ22が介在され、該スペーサ22を取り除くことにより、前記高圧処理室4内から被処理体を取り出し可能としたものである。
即ち、左右一対のスペーサ22が、第4図の状態と、第5図の状態のように移動可能とされ得ている。
この実施の形態では、軸力支持装置6は、中心部をくり抜いた閉鎖フレームから構成されている。この閉鎖フレーム下部上面に押圧装置7が載置され、同フレーム上部下面に第1容器部2上面が固定されている。
【0020】
前記押圧装置7の上面側に左右一対のスペーサ22が、図示省略の移動装置により左右方向移動自在に設けられ、このスペーサ22の上面に第2容器部3が支持される。第2容器部3は、図示省略の昇降装置によって、昇降自在とされている。
前記押圧装置7は、複動式のシリンダから構成されている。即ち、リング状シリンダ23がフレームの下部に載置されている。このシリンダ23にリング状ピストン24が上下方向摺動自在に嵌合している。このピストン24の上面に前記スペーサ22が載置可能とされている。前記シリンダ23には、ピストン24を上昇させるために圧媒を供給する孔25と、ピストン24を下降させるために圧媒を供給する孔26が設けられている。
【0021】
この実施の形態においても、圧力容器1の下面の中心部には、高圧処理室4内の状態を変えるための補助装置12が設けられ、該補助装置12は、押圧装置7の空間15に配置されている。
前記実施の形態によれば、面シール形式としているので、軸シール形式のものに比べパーティクルの発生が抑えられる。そして、処理室内の状態を変えることができる補助装置を、押圧装置の空間に装着可能としているので、省スペース化が図れる。
【0022】
なお、本発明は、前記実施の形態に示したものに限定されるものではなく、例えば、押圧装置として、シリンダ式以外の所謂コッタ式のものであっても良い。
【0023】
【発明の効果】
本発明によれば、押圧装置の空間に補助装置を配置するようにしたので、押圧装置を設けた高圧処理装置にも、補助装置を設けることが可能になった。また、押圧装置の空間に補助装置を収納するようにしたので、省スペース化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明の高圧処理装置の実施の形態を示し、高圧処理室を密閉した状態を示す一部断面図である。
【図2】図2は、図1の装置において高圧処理室を開放した状態を示す一部断面図である。
【図3】図3は、補助装置の他の態様を示す一部断面図である。
【図4】図4は、本発明の高圧処理装置の他の実施の形態を示し、高圧処理室を密閉した状態を示す一部断面図である。
【図5】図5は、図4の装置において高圧処理室を開放した状態を示す一部断面図である。
【符号の説明】
1 圧力容器
2 第1容器部
3 第2容器部
4 高圧処理室
5 面シール部
7 押圧装置
12 補助装置
15 空間
Claims (6)
- 圧力容器内に形成された高圧処理室に加圧媒体を供給して被処理体を高圧処理する高圧処理装置において、
前記圧力容器は、軸方向に分離可能な第1容器部と第2容器部とを有し、
前記第1及び第2容器部の間に前記高圧処理室が形成され、かつ、前記第1及び第2容器部の接合部に高圧処理室を密封する面シール部が形成され、
前記面シール部に軸方向力を付与する押圧装置が設けられ、
前記押圧装置は、前記高圧容器の軸心部に対応する位置に、所定広さの空間を有することを特徴とする高圧処理装置。 - 前記空間に、前記処理室内の状態を変えるための補助装置が配置されていることを特徴とする請求項1記載の高圧処理装置。
- 前記補助装置は、前記高圧処理室内の加圧媒体を攪拌する攪拌装置であることを特徴とする請求項2記載の高圧処理装置。
- 前記補助装置は、前記高圧処理室内に設けられた被処理体載置台を動かす駆動装置であることを特徴とする請求項2記載の高圧処理装置。
- 前記補助装置は、前記高圧処理室内へ加圧媒体を供給する配管装置であることを特徴とする請求項2記載の高圧処理装置。
- 前記押圧装置と圧力容器の間にスペーサが介在され、該スペーサを取り除くことにより、前記高圧処理室内から被処理体を取り出し可能とされていることを特徴とする請求項1乃至5の何れか一つに記載の高圧処理装置。
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