JP2004047714A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. 被洗浄物を支持する支持手段と、
   前記支持手段の周囲を囲って洗浄液の飛散を防止する洗浄カップと、
   前記洗浄カップの周囲を囲う洗浄槽とを有する洗浄装置において、
   前記洗浄カップの内壁と前記洗浄槽の内壁の両方を洗浄液で洗浄する洗浄手段を設けたことを特徴とする洗浄装置。
2. 被洗浄物を支持する支持手段と、
   前記支持手段の周囲を囲って洗浄液の飛散を防止する洗浄カップとを有する洗浄装置において、
   前記被洗浄物を洗浄する洗浄手段と、前記支持手段を洗浄液で洗浄する洗浄手段と、を設けたことを特徴とする洗浄装置。
3. 洗浄カップ内で被洗浄物を薬液洗浄する薬液洗浄工程と、
   前記薬液洗浄工程の後に引き続き前記洗浄カップ内で洗浄カップ内壁を洗浄する工程と、
   被洗浄物をリンス洗浄するリンス洗浄工程と、
   前記リンス洗浄工程の後に前記洗浄カップ内で被洗浄物を乾燥させる乾燥工程とを具備することを特徴とする洗浄方法。
4. 支持手段に支持された被洗浄物を、支持手段の周囲を囲む洗浄カップ内でリンス洗浄する洗浄方法において、
   前記被洗浄物のリンス洗浄中に、前記支持手段にも洗浄液を供給して洗浄することを特徴とする洗浄方法。