KR20160135923A

KR20160135923A - 대상체 내외부면 세정 장치

Info

Publication number: KR20160135923A
Application number: KR1020150069407A
Authority: KR
Inventors: 박기범; 김철식; 손현호; 김성수
Original assignee: 미노스 주식회사
Priority date: 2015-05-19
Filing date: 2015-05-19
Publication date: 2016-11-29
Also published as: KR101760390B1

Abstract

본 발명은 세정 대상체를 세정할 수 있는 세정 장치에 관한 것으로, 특히 탄피 등과 같이 내부면과 외부면으로 이루어진 세정 대상체를 세정하되, 세정 대상체의 외부면과 내부면을 동시에 세정할 수 있는 세정수단을 세정 대상체의 상측 및 하측에 배치 구성함으로써, 세정 작업이 어려운 세정 대상체에 대한 세정을 용이하게 함과 동시에 세정 효율을 향상시킬 수 있는 대상체 내외부면 세정 장치에 관한 것이다.
본 발명인 대상체 내외부면 세정 장치를 이루는 구성수단은 세정 공정이 진행되는 메인 세정 챔버, 상기 메인 세정 챔버 내에 배치되되, 내부면과 외부면을 가지는 세정 대상체를 안착시켜 적재하고 있는 적재수단, 상기 메인 세정 챔버 내에 배치되어 상기 적재수단에 안착되어 있는 세정 대상체의 외부면을 브러싱하여 세정하는 메인 외부면 세정수단, 상기 메인 세정 챔버 내에 배치되되, 상기 적재수단을 기준으로 상기 메인 외부면 세정수단의 반대편에 배치되어 상기 적재수단에 안착되어 있는 세정 대상체의 내부면을 브러싱하여 세정하는 메인 내부면 세정수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

Description

대상체 내외부면 세정 장치{apparatus for cleaning object}

본 발명은 세정 대상체를 세정할 수 있는 세정 장치에 관한 것으로, 특히 탄피 등과 같이 내부면과 외부면으로 이루어진 세정 대상체를 세정하되, 세정 대상체의 외부면과 내부면을 동시에 세정할 수 있는 세정수단을 세정 대상체의 상측 및 하측에 배치 구성함으로써, 세정 작업이 어려운 세정 대상체에 대한 세정을 용이하게 함과 동시에 세정 효율을 향상시킬 수 있는 대상체 내외부면 세정 장치에 관한 것이다.

세정 장치는 다양한 세정 대상체의 오염을 세척하기 위하여 사용된다. 상기 세정 장치의 구성은 세정 대상체의 종류, 형상 및 오염 정도에 따라 다양하게 형성될 수 있고, 다양한 방법에 의하여 세정 공정이 수행될 수 있다.

이와 같이 세정 대상체의 오염을 세정할 수 있는 세정 장치는 다양하게 구성할 수 있는데, 특수한 형상을 가지는 세정 대상체를 세정하기 위한 세정 장치에 대한 연구개발을 미진한 상황이다.

예를 들어, 내부가 비어 있고 한 쪽이 개방되어 있는 형상을 가지는 대상체, 즉 외부면과 내부면을 가지는 대상체는 그 형상이 특수하기 때문에, 이를 세정하기 위한 별도의 세정 장치가 거의 제시되지 못하고 있다.

대한민국 공개특허공보 10-2000-0059616호(생수통 세척 장치)는 하나의 세척 장치에서 생수통의 내외부면을 동시에 세척시킬 수 있게 하여 세척공정 및 세척시간을 단축시켜 생산성을 향상시키고 세척장치의 부피를 줄여 설치면적을 최소화시킬 수 있게 하는 생수통 세척장치를 제시하고 있다.

이 선행기술은 내외부면을 가지는 생수통의 내부면과 외부면을 동시에 세척할 수 있는 장점이 있으나, 그 구조가 매우 복잡하고, 특히 세정 대상체인 생수통이 회전하면서 세정이 이루어지기 때문에, 안전 사고에 노출되는 단점을 가지고 있다.

또한 대한민국 등록특허공보 10-1204166호(탄피 세척장치)는 외부면과 내부면을 가지는 탄피에 대한 세척 장치이지만, 다량의 탄피를 공간 내에서 진동회전시켜 세척하는 기술일 뿐, 외부면 및 내부면을 동시에 세정하여 세정력을 향상시킬 수 있는 기술에 해당하지 않는다. 이와 같은 선행기술에 의하면 탄피의 외부면은 세정효과가 상당할 수 있으나, 내부면에 대한 세정력은 거의 이루어지지 않는 단점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 탄피 등과 같이 내부면과 외부면으로 이루어진 세정 대상체를 세정하되, 세정 대상체의 외부면과 내부면을 동시에 세정할 수 있는 세정수단을 세정 대상체의 상측 및 하측에 배치 구성함으로써, 세정 작업이 어려운 세정 대상체에 대한 세정을 용이하게 함과 동시에 세정 효율을 향상시킬 수 있는 대상체 내외부면 세정 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

또한 세정 대상체에 대한 세정을 다단 공정으로 진행하되, 약품 세정액과 (초)순수 세정액을 선택적으로 사용할 수 있고, 브러쉬 세정과 브러쉬리스 세정을 선택적으로 사용할 수 있도록 구성함으로써, 세정 대상체의 종류 또는 세정 대상체의 오염 정도에 따라 다양한 방법, 다양한 구성으로 세정할 수 있도록 하는 대상체 내외부면 세정 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 대상체 내외부면 세정 장치를 이루는 구성수단은 세정 공정이 진행되는 메인 세정 챔버, 상기 메인 세정 챔버 내에 배치되되, 내부면과 외부면을 가지는 세정 대상체를 안착시켜 적재하고 있는 적재수단, 상기 메인 세정 챔버 내에 배치되어 상기 적재수단에 안착되어 있는 세정 대상체의 외부면을 브러싱하여 세정하는 메인 외부면 세정수단, 상기 메인 세정 챔버 내에 배치되되, 상기 적재수단을 기준으로 상기 메인 외부면 세정수단의 반대편에 배치되어 상기 적재수단에 안착되어 있는 세정 대상체의 내부면을 브러싱하여 세정하는 메인 내부면 세정수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 메인 외부면 세정수단은 상기 적재수단의 상측에 배치되어, 승하강이 가능하게 배치되는 제1 베이스, 상기 제1 베이스의 하측에 회전 가능하게 결합되는 메인 외부면 세척 모듈을 포함하여 구성되되, 상기 메인 외부면 세척 모듈은 상기 제1 베이스를 관통하여 하측으로 연장형성되되, 상기 제1 베이스의 상부면에 배치되는 제1 구동부에 의하여 회전되는 제1 회전바, 상기 제1 회전바의 말단에 상단이 연결되어 회전되되, 상기 세정 대상체의 외부면을 비접촉된 상태로 감싸는 구조를 가지고, 내측면에 제1 브러쉬가 형성되어 있는 제1 세척 회전체 및 상기 제1 세척 회전체에 의하여 감싸진 상태에 있는 상기 세정 대상체의 외부면에 세정액을 공급하는 제1 세정액 공급라인을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 메인 내부면 세정수단은 상기 적재수단의 하측에 배치되어, 승하강이 가능하게 배치되는 제2 베이스, 상기 제2 베이스의 상측에 회전 가능하게 결합되는 메인 내부면 세척 모듈을 포함하여 구성되되, 상기 메인 내부면 세척 모듈은 상기 제2 베이스를 관통하여 상측으로 연장형성되되, 상기 제2 베이스의 하부면에 배치되는 제2 구동부에 의하여 회전되고, 상기 세정 대상체의 내부면에 비접촉된 상태로 삽입될 수 있는 구조를 가지는 제2 회전바, 상기 제2 회전바의 외측면에 형성되는 제2 브러쉬 및 상기 세정 대상체의 내부면에 세정액을 공급하는 제2 세정액 공급라인을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 메인 세정 챔버의 전면 측부 및 후면 측부 중, 적어도 하나의 측부에는 보조 세정 챔버가 연결되어 있고, 상기 적재수단은 상기 메인 세정 챔버와 보조 세정 챔버 내에 배치되는 이송수단에 의하여 상기 메인 세정 챔버와 보조 세정 챔버 사이에서 자동으로 이송될 수 있으며, 상기 보조 세정 챔버 내부에는 적재수단에 안착되어 있는 세정 대상체의 외부면에 세정액을 분사하여 세정하는 보조 외부면 세정수단과, 상기 적재수단을 기준으로 상기 보조 외부면 세정수단의 반대편에 배치되어 상기 적재수단에 안착되어 있는 세정 대상체의 내부면에 세정액을 분사하여 세정하는 보조 내부면 세정수단이 구비되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 보조 외부면 세정수단은 상기 적재수단의 상측에 배치되어, 승하강이 가능하게 배치되는 제3 베이스, 상기 제3 베이스의 하측에 회전 가능하게 결합되는 보조 외부면 세척 모듈을 포함하여 구성되되, 상기 보조 외부면 세척 모듈은 상기 제3 베이스를 관통하여 하측으로 연장형성되되, 상기 제3 베이스의 상부면에 배치되는 제3 구동부에 의하여 회전되는 제3 회전바, 상기 제3 회전바의 말단에 상단이 연결되어 회전되되, 상기 세정 대상체의 외부면을 비접촉된 상태로 감싸는 구조를 가지는 제3 세척 회전체 및 상기 제3 세척 회전체에 의하여 감싸진 상태에 있는 상기 세정 대상체의 외부면에 세정액을 공급하는 제3 세정액 공급라인을 포함하여 구성되고, 상기 보조 내부면 세정수단은 상기 적재수단의 하측에 배치되어, 승하강이 가능하게 배치되는 제4 베이스, 상기 제4 베이스의 상측에 회전 가능하게 결합되는 보조 내부면 세척 모듈을 포함하여 구성되되, 상기 보조 내부면 세척 모듈은 상기 제4 베이스를 관통하여 상측으로 연장형성되되, 상기 제4 베이스의 하부면에 배치되는 제4 구동부에 의하여 회전되고, 상기 세정 대상체의 내부면에 비접촉된 상태로 삽입될 수 있는 구조를 가지는 제4 회전바 및 상기 세정 대상체의 내부면에 세정액을 공급하는 제4 세정액 공급라인을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 과제 및 해결수단을 가지는 본 발명인 대상체 내외부면 세정 장치에 의하면, 탄피 등과 같이 내부면과 외부면으로 이루어진 세정 대상체를 세정하되, 세정 대상체의 외부면과 내부면을 동시에 세정할 수 있는 세정수단을 세정 대상체의 상측 및 하측에 배치 구성하기 때문에, 세정 작업이 어려운 세정 대상체에 대한 세정을 용이하게 함과 동시에 세정 효율을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.

또한 세정 대상체에 대한 세정을 다단 공정으로 진행하되, 약품 세정액과 (초)순수 세정액을 선택적으로 사용할 수 있고, 브러쉬 세정과 브러쉬리스 세정을 선택적으로 사용할 수 있도록 구성할 수 있기 때문에, 세정 대상체의 종류 또는 세정 대상체의 오염 정도에 따라 다양한 방법, 다양한 구성으로 세정을 수행할 수 있는 장점이 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 대상체 내외부면 세정 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 대상체 내외부면 세정 장치를 구성하는 적재수단의 구성도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 대상체 내외부면 세정 장치를 구성하는 메인 외부면 세정수단의 구성도이다.
도 4는 도 3에 도시된 메인 외부면 세정수단을 구성하는 메인 외부면 세척 모듈의 다양한 구성도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 대상체 내외부면 세정 장치를 구성하는 메인 내부면 세정수단의 구성도이다.
도 6은 도 5에 도시된 메인 내부면 세정수단을 구성하는 메인 내부면 세척 모듈의 상세도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 대상체 내외부면 세정장치의 개략적인 구성도이다.
도 8은 도 7에 도시된 보조 세정 챔버 내에 구비되는 보조 외부면 세정수단 및 보조 내부면 세정수단의 구성도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 대상체 내외부면 세정장치의 동적 설명을 위한 개략도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 과제, 해결수단 및 효과를 가지는 본 발명인 대상체 내외부면 세정 장치에 관한 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.

이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 대상체 내외부면 세정 장치(100)의 구성도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 대상체 내외부면 세정장치(100)는 메인 세정 챔버(10), 상기 메인 세정 챔버(10) 내부에 배치되어 세정 대상체(1)를 적재하고 있는 적재수단(30), 상기 적재수단(30)에 적재된 상기 세정 대상체(1)의 외부면을 세정하는 메인 외부면 세정수단(50) 및 상기 세정 대상체(1)의 내부면을 세정하는 메인 내부면 세정수단(70)을 포함하여 구성된다.

상기 세정 대상체(1)는 본 발명의 실시예에 따른 대상체 내외부면 세정장치에 의하여 세정공정을 수행받는 대상체에 해당된다. 그런데, 상기 세정 대상체(1)는 일반적인 세정 장치, 즉 디스플레이, 반도체 등의 제조 과정에서 적용되는 세정장치에서 적용되는 세정 대상체(1)와 그 형상이 다르다.

즉, 일반적인 세정장치는 디스플레이 등의 기재로 활용되는 글라스, 기판 등 평판형 대상체를 세정하기 위한 장치이다. 따라서 일반적인 세정 대상체(1)는 평판형으로서, 상면과 하면으로 구성되는 양면을 가지는 것이 일반적이다.

반면, 본 발명의 실시예에 따른 대상체 내외부면 세정장치에 적용되는 세정 대상체(1)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 속이 비어있는 대략 원통 형상을 가진다. 즉, 본 발명에 적용되는 세정 대상체(1)는 내부가 비어있고 한 쪽이 개방된 형상을 가진다. 따라서, 본 발명에 적용되는 세정 대상체(1)는 외부면(1a) 및 내부면(1b)을 가지고, 상기 내부면(1b)은 세정 대상체(1)의 개방부(1c)를 통해 외부로 노출된다.

후술하겠지만, 상기 세정 대상체(1)의 외부면(1a)은 상기 메인 외부면 세정수단(50)에 의하여 세정되고, 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)은 상기 세정 대상체(1)의 개방부(1c)를 통해 삽입될 수 있는 상기 메인 내부면 세정수단(70)에 의하여 세정된다.

상기 세정 대상체(1)는 상술한 바와 같이, 상기 세정 대상체(1)의 외부면(1a) 및 상기 세정 대상체(1)의 개방부(1c)를 통해 접근 가능한 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)을 가지는 형상이기 때문에, 다양한 제품, 물품 등이 해당될 수 있다. 예를 들어, 탄피, 용기 등 내외부면을 가지는 대상체라면 본 발명에 적용될 수 있는 세정 대상체(1)에 해당될 수 있다.

본 발명에 따른 세정 대상체(1)에 대한 세정 공정은 메인 세정 챔버(10) 내에서 이루어진다. 상기 메인 세정 챔버(10)는 세정 공정을 위하여 폐쇄된 상태를 유지할 수 있는 공간을 제공한다. 다만, 상기 세정 대상체(1)가 인입 또는 인출될 수 있는 게이트가 형성되는 당연하다.

즉, 후술하겠지만, 본 발명에 적용되는 메인 세정 챔버(10)는 전면 측부(11)에 메인 세정 챔버의 전면 게이트(도 7에서 도면부호 11a로 표기됨)를 구비하고, 후면 측부(13)에 메인 세정 챔버의 후면 게이트(도 7에서 도면부호 13a로 표기됨)를 구비하고 있다.

상기 메인 세정 챔버(10)는 상술한 바와 같이 세정 공정이 진행되는 공간이기 때문에, 상기 적재수단(30), 메인 외부면 세정수단(50) 및 메인 내부면 세정수단(70)을 그 내부에 구비되도록 하고, 세정액이 공급되도록 한다.

상기 메인 세정 챔버(10) 내로 공급되어 상기 세정 대상체(1)에 뿌려질 상기 세정액은 화학 약품일 수도 있고, (초)순수일 수도 있다. 다만, 메인 세정 챔버(10) 내로 공급되어 상기 세정 대상체(1)에 분사되는 세정액은 케미컬인 것이 바람직하다.

상기 세정 대상체(1)의 오염을 효과적으로 제거하기 위하여 상기 메인 세정 챔버 내에서 케미컬 세정액을 이용하는 것이 바람직하고, 상기 메인 세정 챔버(10)의 전면 측부(11)와 후면 측부(13) 중, 적어도 한 측부에 연결될 수 있는 보조 세정 챔버(도 7에서 도면부호 110으로 표기됨) 내에서 (초)순수를 이용하여 세정 공정을 수행할 수 있다. 다만, 상기 보조 세정 챔버 내에서 사용하는 세정액 역시 특정한 것으로 고정되는 것이 아니라 화학약품, (초)순수 등 다양한 세정액 중 어느 하나를 사용할 수 있다.

상기 메인 세정 챔버(10) 내에서 세정 공정을 수행받을 세정 대상체(1)는 상기 적재수단(30)에 배치된 상태로 상기 메인 세정 챔버(10) 내에 배치된다. 즉, 상기 적재수단(30)은 상기 세정 대상체(1)를 적재한 상태로 상기 메인 세정 챔버(1) 내로 인입된다.

상기 적재수단(10)은 다양한 형상으로 형성되어, 상기 메인 세정 챔버(1) 내에 배치되되, 상기 내부면(1b)과 외부면(1a)을 가지는 세정 대상체(1)를 안착시켜 적재하고 있다.

이와 같은 적재수단(10)은 후술하겠지만, 평평한 플레이트 형상을 가지면서 상기 세정 대상체(1)를 복수개 적재할 수 있으며, 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)이 노출되어 상기 메인 내부면 세정수단(70)이 접근 가능할 수 있는 구조를 가지도록 형성된다.

상기 메인 세정 챔버(10) 내에 배치되는 상기 적재수단(30)에는 적어도 하나의 세정 대상체(1)가 적재되고, 상기 세정 대상체(1)는 상기 메인 외부면 세정수단(50)에 의하여 외부면이 세정되고, 상기 메인 내부면 세정수단(70)에 의하여 내부면이 세정된다.

상기 세정 대상체(1)의 외부면을 세정하는 상기 메인 외부면 세정수단(50)은 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 메인 세정 챔버(10) 내에 배치되어 상기 세정 대상체(1)의 외부면(1a)을 세정하되, 브러싱 공정을 통하여 세정 공정을 수행한다.

즉, 상기 메인 외부면 세정수단(50)은 상기 메인 세정 챔버(10) 내에 배치되어 상기 적재수단(30)에 안착되어 있는 세정 대상체(1)의 외부면을 단순한 세정액 타격 또는 분사만으로 세정하는 것이 아니라, 롤 브러쉬 등을 이용한 브러싱 과정을 통하여 세정한다. 상기 메인 외부면 세정수단(50)은 상기 세정 대상체의 외부면을 브러싱하여 세정하기 때문에, 상기 세정 대상체의 외부면의 오염을 효과적으로 제거하여 세정할 수 있다.

상기 메인 외부면 세정수단(50)에 의하여 상기 세정 대상체(1)의 외부면(1a)이 세정됨과 동시에 상기 메인 내부면 세정수단(70)에 의하여 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)이 세정되는 것이 바람직하다.

상기 세정 대상체(1)가 상기 적재수단(30)에 적재된 상태로 그 외부면(1a)이 상기 메인 외부면 세정수단(50)에 의하여 세정되기 때문에, 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)을 세정하는 상기 메인 내부면 세정수단(70)은 상기 메인 외부면 세정수단(50)의 반대편에 배치되는 것이 바람직하다.

상기 메인 내부면 세정수단(70)은 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 메인 세정 챔버(10) 내에 배치되되, 상기 적재수단(30)을 기준으로 상기 메인 외부면 세정수단(50)의 반대편에 배치되어 상기 적재수단(30)에 안착되어 있는 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)을 브러싱하여 세정한다.

즉, 상기 메인 내부면 세정수단(70) 역시 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)을 단순히 세정액 분사만으로 세정하는 것이 아니라 브러싱 동작을 통하여 세정할 수 있도록 구성된다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 대상체 내외부면 세정장치(100)는 적재수단(30)에 고정 적재되는 상기 세정 대상체(1)의 외부면(1a)을 상기 메인 외부면 세정수단(50)에 의하여 세정할 수 있고, 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)을 상기 메인 내부면 세정수단(70)에 의하여 세정할 수 있도록 구성되기 때문에, 상기 세정 대상체(1)의 외부면(1a) 및 내부면(1b)을 동시에 세정할 수 있는 장점이 있다. 또한 브러싱을 통하여 세정하기 때문에 세정 효과를 증대시킬 수 있다.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 실시예에 따른 대상체 내외부 세정장치의 구성수단들의 구체적인 구조적 특징 및 동작에 대하여 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명에 따른 대상체 내외부면 세정장치를 구성하는 적재수단(30)의 일실시예에 따른 구체적인 구성도이다.

상기 적재수단(30)은 상기 세정 대상체(1)를 적어도 하나 적재할 수 있고, 특히 상기 적어도 하나의 세정 대상체(1)를 안정적으로 고정하여 적재할 수 있으며, 상기 세정 대상체의 외부면 및 외부면이 상기 메인 외부면 세정수단, 메인 내부면 세정수단에 의하여 동시에 용이하게 세정될 수 있는 구조를 가지는 것이 바람직하다.

예를 들어, 상기 적재수단(30)은 도 2에 도시된 바와 같이, 평평한 형상의 플레이트 형상을 가지고, 상기 세정 대상체(1)의 개방부(1c)가 상기 적재수단(30)을 향하여 안착될 때, 상기 개방부(1c)를 통하여 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)이 노출될 수 있도록 적재수단의 개방홀(31)을 구비하며, 상기 세정 대상체(1)의 개방부(1c)를 구획하는 상기 세정 대상체(1)의 하단부가 삽입될 수 있도록, 상기 적재수단의 개방홀(31)의 인접 주변을 따라 형성되는 장착홈(33)을 구비한다.

상기 적재수단의 개방홀(31)은 상기 세정 대상체(1)가 상기 장착홈(33)에 장착된 상태로 적재될 때, 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)이 노출될 수 있도록 한다. 따라서, 상기 메인 내부면 세정수단(70)은 상기 적재수단의 개방홀(31)을 통해 노출되는 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)에 삽입 접근하여 브러싱 과정을 통하여 세정 공정을 수행할 수 있다.

상기 적재수단(30)에 형성되는 장착홈(33)은 상기 세정 대상체(1)의 하단부가 삽입되되, 상기 세정 대상체의 고정력 향상을 위하여 상기 세정 대상체를 억지 끼움할 수 있도록 형성되는 것이 바람직하다. 물론, 상기 적재수단(30)에는 상기 세정 대상체를 더욱 견고하게 고정할 수 있는 클램핑 수단이 더 구비될 수 있다.

다만, 후술하겠지만, 상기 적재수단(30)의 장착홈(33)에 삽입되어 장착 고정되는 상기 세정 대상체(1)는 추가적으로 그 상단부(1d)가 상기 메인 외부면 세정수단(50)에 의하여 하방향으로 가압 지지될 수도 있기 때문에, 그 내외부면이 세정되는 과정에서 상기 적재수단(30)에 고정되어 안정적으로 유지될 수 있다.

상기와 같이 구성되는 적재수단(30)에 적재되는 적어도 하나의 세정 대상체(1)의 외부면(1a)을 브러싱을 통하여 세정하기 위한 메인 외부면 세정수단(50)이 상기 적재수단(30)의 상측에 배치된다. 즉, 상기 메인 외부면 세정수단(50)은 상기 메인 세정 챔버(10) 내에 배치되되 상기 적재수단(30)의 상측에 배치된다.

상기 메인 외부면 세정수단(50)은 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 적재수단(30)의 상측에 배치되어, 승하강이 가능하게 배치되는 제1 베이스(51) 및 상기 제1 베이스(51)의 상부면에 배치되는 제1 구동부(55)의 구동에 따라 회전되되, 상기 제1 베이스(51)의 하측에 회전 가능하게 결합되는 메인 외부면 세척 모듈(53)을 포함하여 구성된다.

상기 제1 베이스(51)는 플레이트 형상을 가지는 것이 바람직하고, 상기 메인 세정 챔버(10)의 상부에 결합되되, 상하 수직 방향으로 승하강 가능하게 결합된다. 따라서, 상기 메인 세정 챔버(10)의 외부 상부면에는 상기 제1 베이스(51)의 승하강 구동력을 발생시키는 구동수단이 형성되고, 연결수단이 상기 구동수단과 상기 제1 베이스(51) 사이에 연결될 수 있도록 구성할 수 있다.

상기 제1 베이스(51)의 승하강 구동에 따라 상기 메인 외부면 세척 모듈(53) 역시 상하 수직 방향으로 승하강된다. 상기 메인 외부면 세척 모듈(53)은 상기 적재수단(30)에 적재된 세정 대상체(1)의 외부면(1a)을 감싸서 브러싱하여 세정하고, 세정이 완료된 후, 상기 적재수단(30)이 이송될 수 있도록, 상하 수직 방향으로 승하강될 수 있도록 구동된다.

상기 메인 외부면 세척 모듈(53)은 상기 제1 베이스(51)를 관통하여 하측으로 연장형성되되, 상기 제1 베이스(51)의 상부면에 배치되는 제1 구동부(55)에 의하여 회전되는 제1 회전바(53a), 상기 제1 회전바(53a)의 말단에 상단이 연결되어 회전되되, 상기 세정 대상체(1)의 외부면을 비접촉된 상태로 감싸는 구조를 가지고, 내측면에 제1 브러쉬(53c)가 형성되어 있는 제1 세척 회전체(53b) 및 상기 제1 세척 회전체(53b)에 의하여 감싸진 상태에 있는 상기 세정 대상체(1)의 외부면(1a)에 세정액을 공급하는 제1 세정액 공급라인(도 4에서 도면부호 53d로 표기됨)을 포함하여 구성된다.

상기 제1 회전바(53a)는 상기 제1 베이스(51)의 상부면에 배치되는 제1 구동부(55)의 회전력을 전달받아 회전한다. 따라서, 상기 제1 회전바(53a)는 상기 제1 베이스(51)를 회전 가능하게 관통 배치된다. 예를 들어, 상기 제1 회전바(53a)는 베어링을 개재하여 상기 제1 베이스(51)에 관통 배치될 수 있다.

상기 제1 회전바(53a)는 상기 제1 세정액 공급라인(53d)이 형성될 수 있도록 내부가 비어 있는 중공 구조를 가지거나, 몸체에 복수개의 세정액 이송 라인이 형성될 수도 있다. 이에 대해서는 도 4를 참조하여 후술하겠다.

상기 제1 회전바(53a)의 말단에는 상기 제1 세척 회전체(53b)가 결합된다. 상기 제1 세척 회전체(53b)는 그 상단이 상기 제1 회전바(53a)에 결합되기 때문에, 상기 제1 회전바(53a)의 회전에 따라 함께 회전될 수 있다.

상기 제1 세척 회전체(53b)는 상기 제1 베이스(51)가 하강하면, 상기 세정 대상체(1)를 접촉하지 않은 상태로 감쌀 수 있는 형상을 가진다. 따라서, 상기 제1 세척 회전체(53b)는 하측이 개방되어 있고, 그 내부 형상이 상기 세정 대상체와 유사하며, 그 내경이 상기 세정 대상체의 외경보다 더 큰 형상을 가진다.

그리고, 상기 제1 세척 회전체(53)는 상기 세정 대상체의 외부면(1a)을 비접촉된 상태로 감싼 상태에서 세정하기 위하여, 내측면에 제1 브러쉬(53c)가 부착 형성되어 있다. 따라서, 상기 제1 세척 회전체(53)가 회전되면, 상기 제1 브러쉬(53c)에 의하여 상기 세정 대상체(1)의 외부면(1a)을 세정할 수 있다.

상기 제1 브러쉬(53c)에 의하여 상기 세정 대상체(1)의 외부면(1a)이 효과적으로 세정될 수 있도록 하기 위하여, 상기 제1 세정액 공급라인(53d)은 외부로부터 공급되는 화학 약품 또는 (초)순수에 해당하는 세정액을 상기 세정 대상체(1)의 외부면(1a)에 제공한다.

상기 제1 세정액 공급라인(53d)은 상기 메인 외부면 세척 모듈(53) 내에서 다양한 구조 및 형상으로 배치 형성될 수 있다. 상기 제1 세정액 공급라인(53d)을 통해 상기 세정 대상체(1)의 외부면(1a)으로 공급되는 세정액은 상기 메인 외부면 세척 모듈(53)이 회전되기 때문에, 상기 세정 대상체(1)의 외부면(1a) 전체에 고르게 뿌려질 수 있다.

상기 제1 세정액 공급라인(53d)은 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 제1 회전바(53a)의 중공형 구조의 내부에 배치 형성될 수 있다. 상기 제1 회전바의 중공형 구조의 내부에 배치 형성되는 상기 제1 세정액 공급라인(53d)은 상기 제1 베이스(51) 상에 배치되거나, 상기 메인 세정 챔버(10) 외부에 배치되는 세정액 공급수단(미도시)에 연결되어 세정액을 공급받을 수 있다면, 상기 세정액 공급수단과 다양한 구조, 방법, 배치에 의하여 연결될 수 있다.

상기 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 제1 회전바의 중공형 구조의 내부에 배치 형성되는 상기 제1 세정액 공급라인(53d)의 하단부는 상기 제1 회전바(53a)의 하단부까지 연장 형성된 상태로 개방되어 있다. 따라서, 상기 제1 세정액 공급라인(53d)으로 공급되는 세정액은 상기 제1 세척 회전체(53b)의 내부 공간으로 제공되는데, 상기 제1 세척 회전체(53b)가 회전되기 때문에, 상기 제1 세척 회전체(53b) 내부 공간에 있는 세정 대상체(1)의 외부면(1a) 전체에 뿌려질 수 있다.

한편, 상기 제1 세정액 공급라인(53d)은 도 4의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 메인 외부면 세척 모듈(53)의 몸체 내부에 세정액 이송 라인 형태로 형성될 수 있다.

즉, 상기 메인 외부면 세척 모듈(53)을 구성하는 상기 제1 회전바(53a)와 제1 세척 회전체(53b)의 몸체 내부에 상하 방향으로 복수개의 세정액 이송 라인을 만들어서 상기 제1 세정액 공급라인(53d)을 구성할 수 있다. 이 때, 상기 제1 세척 회전체(53b)의 내측면에는 깊이 방향으로 상기 제1 세정액 공급라인(53d)을 구성하는 세정액 이송 라인에 연결될 수 있는 제1 분사홀(53e)이 형성된다. 상기 제1 분사홀(53e)은 상기 제1 세척 회전체(53b)의 내측면 전체에 걸쳐 골고루 형성되는 것이 바람직하다.

따라서, 외부로부터 가압 공급되는 세정액은 상기 메인 외부면 세척 모듈(53)의 몸체 내부에 형성되는 세정액 이송라인과 상기 제1 분사홀(53e)로 구성되는 제1 세정액 공급라인(53d)을 통하여 상기 제1 세척 회전체(53b)의 내부 공간으로 제공되는데, 상기 제1 세척 회전체(53b)가 회전되기 때문에, 상기 제1 세척 회전체(53b) 내부 공간에 있는 세정 대상체(1)의 외부면(1a) 전체에 뿌려질 수 있다.

한편, 상술한 바와 같이, 상기 세정 대상체(1)는 상기 적재수단(30)에 적재된 상태로 상술한 구성으로 이루어진 메인 외부면 세정수단(50)에 의하여 그 외부면(1a)이 브러싱되어 세정된다. 그런데, 이 세정 과정에서 상기 세정 대상체는 제1 브러쉬(53c)에 의하여 지속적으로 타격이 이루어지기 때문에, 좀 더 안정적으로 고정될 필요성이 있다.

이를 위하여, 본 발명에서는 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 제1 회전바(53a)의 중공형 구조 내부에 삽입 배치되는 가압봉의 말단에 연장 형성되는 밀착 가압부(53d')를 구비한다. 상기 밀착 가압부(53d')는 상기 제1 베이스(51)가 하강하여 상기 제1 세척 회전체(53b)가 상기 세정 대상체를 감싸는 상태가 되는 과정에서 상기 세정 대상체의 상부를 접촉 가압한다.

그러면, 상기 세정 대상체는 상기 적재수단(30)에 하단이 삽입 고정되고, 상부가 하방향으로 가압 지지된 상태가 되기 때문에, 세정 공정이 진행되는 과정에서 매우 안정적이고 견고하게 고정된 상태를 유지할 수 있다.

상기 밀착 가압부(53d')는 상기 세정 대상체의 상부면의 형상, 즉 갓 형상 또는 반구 형상을 가지되, 접촉 부위를 최소화하기 위하여 절개부(53d")를 수직 방향으로 복수개 형성하는 것이 바람직하다.

한편, 상기 밀착 가압부(53d')는 상술한 바와 같이, 상기 제1 회전바(53a)의 중공형 구조 내부에 삽입 배치된 가압봉의 하단에 형성될 수도 있지만, 도 4의 (a)에 도시된 제1 세정액 공급라인(53d)의 하단에 연장 형성되어 구성될 수도 있다. 이 경우, 상기 제1 세정액 공급라인(53d)을 통해 공급되는 세정액은 상기 절개부(53d")를 통하여 상기 세정 대상체(1)의 외부면(1a)으로 제공될 수 있다.

상기와 같이 구성되는 메인 외부면 세정수단(50)은 상기 적재수단(30) 상측에 승하강 가능하게 배치되어 상기 적재수단(30)에 적재된 상기 세정 대상체(1)의 외부면(1a)을 브러싱하여 세정한다.

상기 메인 외부면 세정수단(50)에 대응하여 상기 적재수단(30)의 하측에는 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)을 브러싱하여 세정하는 메인 내부면 세정수단(70)이 배치된다. 즉, 상기 메인 내부면 세정수단(70)은 상기 적재수단을 기준으로 상기 메인 외부면 세정수단(50)의 반대편에 배치되어 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)을 브러싱하여 세정한다.

상기 메인 내부면 세정수단(70)은 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 적재수단(30)의 하측에 배치되어, 승하강이 가능하게 배치되는 제2 베이스(71) 및 상기 제2 베이스(71)의 하부면에 배치되는 제2 구동부(75)의 구동에 따라 회전되되, 상기 제2 베이스(71)의 상측에 회전 가능하게 결합되는 메인 내부면 세척 모듈(73)을 포함하여 구성된다.

상기 제2 베이스(71)는 플레이트 형상을 가지는 것이 바람직하고, 상기 메인 세정 챔버(10)의 하부에 결합되되, 상하 수직 방향으로 승하강 가능하게 결합된다. 따라서, 상기 메인 세정 챔버(10)의 외부 하부면에는 상기 제2 베이스(71)의 승하강 구동력을 발생시키는 구동수단이 형성되고, 연결수단이 상기 구동수단과 상기 제2 베이스(71) 사이에 연결될 수 있도록 구성할 수 있다.

상기 제2 베이스(71)의 승하강 구동에 따라 상기 메인 내부면 세척 모듈(73) 역시 상하 수직 방향으로 승하강된다. 상기 메인 내부면 세척 모듈(73)은 상기 적재수단(30)에 적재된 세정 대상체(1)에 삽입되어 내부면(1b)을 브러싱하여 세정하고, 세정이 완료된 후, 상기 적재수단(30)이 이송될 수 있도록, 상하 수직 방향으로 승하강될 수 있도록 구동된다.

상기 메인 내부면 세척 모듈(73)은 상기 제2 베이스(71)를 관통하여 상측으로 연장형성되되, 상기 제2 베이스(71)의 하부면에 배치되는 제2 구동부(75)에 의하여 회전되고, 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)에 비접촉된 상태로 삽입될 수 있는 구조를 가지는 제2 회전바(73a), 상기 제2 회전바(73a)의 외측면에 형성되는 제2 브러쉬(73b) 및 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)에 세정액을 공급하는 제2 세정액 공급라인(73c)을 포함하여 구성된다.

상기 제2 회전바(73a)는 상기 제2 베이스(71)의 하부면에 배치되는 제2 구동부(75)의 회전력을 전달받아 회전한다. 따라서, 상기 제2 회전바(73a)는 상기 제2 베이스(71)를 회전 가능하게 관통 배치된다. 예를 들어, 상기 제2 회전바(73a)는 베어링을 개재하여 상기 제2 베이스(71)에 관통 배치될 수 있다.

상기 제2 회전바(73a)는 상기 제2 세정액 공급라인(73c)이 형성될 수 있도록, 몸체 내부에 복수개의 세정액 이송 라인이 형성되어 있다. 즉, 상기 제2 회전바(73a)는 내부에 상기 제2 세정액 공급라인(73c)을 구비하고 있다.

상기 제2 회전바(73a)의 외측면에는 상기 제2 브러쉬(73b)가 일정한 간격을 두고 골고루 결합 형성된다. 따라서, 상기 제2 브러쉬(73b)는 상기 제2 회전바(73a)의 회전에 따라 상기 세정 대상체(1)의 내부 공간에서 회전되고, 이를 통하여 상기 세정 대상체의 내부면(1b)을 브러싱하여 세정할 수 있다.

상기 제2 회전바(73a)는 상기 제2 베이스(71)가 상승하면, 상기 세정 대상체(1)의 개방부(1c)를 통하여 상기 세정 대상체의 내부 공간으로 삽입된다. 그리고, 상기 제2 회전바(73a)는 상기 세정 대상체의 내부면(1b)을 비접촉된 상태로 삽입된 상태에서 세정하기 위하여, 외측면에 제2 브러쉬(73b)가 부착 형성되어 있다. 따라서, 상기 제2 회전바(73a)가 회전되면, 상기 제2 브러쉬(73b)에 의하여 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)을 세정할 수 있다.

상기 제2 브러쉬(53b)에 의하여 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)이 효과적으로 세정될 수 있도록 하기 위하여, 상기 제2 세정액 공급라인(73c)은 외부로부터 공급되는 화학 약품 또는 (초)순수에 해당하는 세정액을 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)에 제공한다.

상기 제2 세정액 공급라인(73c)은 상기 메인 내부면 세척 모듈(73) 내에서 다양한 구조 및 형상으로 배치 형성될 수 있다. 상기 제2 세정액 공급라인(73c)을 통해 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)으로 공급되는 세정액은 상기 메인 내부면 세척 모듈(73), 구체적으로 제2 회전바(73a)가 회전되기 때문에, 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b) 전체에 고르게 뿌려질 수 있다.

상기 제2 세정액 공급라인(73c)은 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제2 회전바(73a)의 내부에 세정액 이송 통로 형태로 형성된다. 상기 제2 회전바의 내부에 형성되는 상기 제2 세정액 공급라인(73c)은 상기 제2 베이스(71)의 하부면 배치되거나, 상기 메인 세정 챔버(10) 외부에 배치되는 세정액 공급수단(미도시)에 연결되어 세정액을 공급받을 수 있다면, 상기 세정액 공급수단과 다양한 구조, 방법, 배치에 의하여 연결될 수 있다.

상기 제2 세정액 공급라인(73c)은 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 메인 내부면 세척 모듈(73)을 구성하는 제2 회전바(73a)의 몸체 내부에 세정액 이송 라인 형태로 형성될 수 있다.

즉, 상기 메인 내부면 세척 모듈(73)을 구성하는 상기 제2 회전바(73a)의 몸체 내부에 상하 방향 및 수평 방향으로 복수개의 세정액 이송 라인을 만들어서 상기 제2 세정액 공급라인(73c)을 구성할 수 있다. 이 때, 상기 제2 회전바(73a)의 외측면에는 깊이 방향으로 상기 제2 세정액 공급라인(73c)을 구성하는 세정액 이송 라인에 연결될 수 있는 제2 분사홀(73d)이 형성된다. 상기 제2 분사홀(73d)은 상기 제2 회전바(73a)의 외측면 전체에 걸쳐 골고루 형성되는 것이 바람직하다.

따라서, 외부로부터 가압 공급되는 세정액은 상기 메인 내부면 세척 모듈(73)을 구성하는 제2 회전바(73a)의 몸체 내부에 형성되는 세정액 이송라인(도 6에서 제2 회전바의 길이 방향으로 형성되는 수직 이송라인 및 수직 이송라인에서 분기되어 방사 방향으로 수평하게 형성되는 복수의 수평 이송라인)과 상기 제2 분사홀(73d)로 구성되는 제2 세정액 공급라인(73c)을 통하여 상기 세정 대상체의 내부면으로 제공되는데, 상기 제2 회전바(73a)가 회전되기 때문에, 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b) 전체에 뿌려질 수 있다.

이와 같이 구성되는 메인 내부면 세정수단(70)에 의하여 상기 적재수단(30)에 적재된 세정 대상체의 내부면이 브러싱되어 세정될 수 있고, 상기 메인 내부면 세정수단(70)에 의한 상기 세정 대상체의 내부면에 대한 세정은 상기 메인 외부면 세정수단(50)에 의한 상기 세정 대상체의 외부면에 대한 세정과 동시에 진행된다.

따라서, 상기 세정 대상체(1)의 내부면 및 외부면에 대한 세정은 동시에 진행될 수 있고, 이로 인하여 세정을 위한 시간이 단축될 수 있으며, 더 나아가 브러싱 세정을 통하여 세정력을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.

한편, 상기 메인 세정 챔버(10) 내에서 이루어지는 세정 대상체에 대한 세정은 화학 약품 또는 (초)순수를 이용하여 진행될 수 있다. 만약, 상기 세정 대상체(1)의 오염이 심하면, 특정 화학 약품을 통해 세정 공정을 진행하는 것이 바람직하다.

이와 같이, 상기 메인 세정 챔버(10) 내에서 화학 약품을 이용하여 세정을 진행하는 경우, 상기 화학 약품을 통한 세정 공정 완료 후, (초)순수를 이용하여 세정하는 공정이 연속적으로 적용되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 메인 세정 챔버(10) 내에서 약품에 의한 세정 공정을 진행하기 전에, 먼지 등을 1차적으로 제거하기 위한 사전 세정 공정이 진행될 수도 있다.

즉, 상기 메인 세정 챔버(10) 내에서 진행되는 세정 공정의 이전 또는 이후, 또는 이전 및 이후에 보조적인 세정 공정을 진행할 수 있다. 이를 위하여 본 발명의 실시예에 따른 대상체 내외부면 세정 장치는 도 7에 도시된 바와 같이, 복수개의 세정 챔버가 연속적으로 연결되어 인라인 형태로 세정 공정을 진행할 수 있다.

본 발명에 따른 대상체 내외부면 세정장치는 상기 메인 세정 챔버(10)의 전면 측부(11) 및 후면 측부(13) 중, 적어도 하나의 측부에는 보조 세정 챔버(110)가 연결되어 있고, 상기 적재수단(30)은 상기 메인 세정 챔버(10)와 보조 세정 챔버(110) 내에 배치되는 이송수단(90)에 의하여 상기 메인 세정 챔버(10)와 보조 세정 챔버(110) 사이에서 자동으로 이송될 수 있도록 구성될 수 있다.

도 7은 상기 메인 세정 챔버(10)의 전면 측부(11)와 후면 측부(13) 모두에 보조 세정 챔버(110)가 연결되어 있는 것을 예시하고 있다. 이 경우, 세정 대상체는 메인 세정 챔버(10)의 전면 측부(11)에 연결된 보조 세정 챔버(110) 내에서 먼저 예비 세정 공정을 수행받고, 이후 상기 메인 세정 챔버(10) 내로 이송되어 메인 세정 공정을 수행받는다. 그런 후, 메인 세정 챔버(10)의 후면 측부(13)에 연결된 보조 세정 챔버(110) 내로 이송되어 추가 세정 공정을 수행받은 후 외부로 반출되는 과정을 거친다.

상기 메인 세정 챔버(10)와 보조 세정 챔버(110) 사이에서 상기 세정 대상체를 자동으로 이송시키기 위하여, 상기 메인 세정 챔버와 보조 세정 챔버 내부에는 상기 세정 대상체를 적재하고 있는 적재수단을 자동으로 이송시킬 수 있는 이송수단(90)이 배치된다.

상기 이송수단(90)은 상기 적재수단(30)을 안정적으로 이송시킬 수 있다면 다양한 구조, 배치, 방법으로 구성할 수 있다. 예를 들어, 상기 이송수단(90)은 상기 적재수단의 양 사이드만이 지지된 상태로 수평 방향으로 이송시킬 수 있는 컨베이어 벨트 등을 포함하여 구성될 수 있다.

상기 메인 세정 챔버(10)는 전단에 연결된 보조 세정 챔버(110)에서 예비 세정이 완료된 세정 대상체를 적재하고 있는 적재수단을 자신의 이송수단으로 건너받기 위하여 전면 게이트를 구비하고 있고, 본 세정 공정이 완료된 세정 대상체를 적재하고 있는 적재수단(30)이 후단에 연결된 보조 세정 챔버(110) 내에 배치된 이송수단(90)으로 건너갈 수 있도록 후면 게이트를 구비하고 있다.

즉, 상기 메인 세정 챔버(10)는 전면 측부(11)에 메인 세정 챔버의 전면 게이트(11a)를 구비하고 있고, 후면 측부(13)에 메인 세정 챔버의 후면 게이트(13a)를 구비하고 있다. 결과적으로, 상기 메인 세정 챔버의 전면 게이트(11a)를 통하여 세정 대상체가 적재된 적재수단(30)이 인접 보조 세정 챔버로부터 인입될 수 있고, 메인 세정 챔버의 후면 게이트(13a)를 통하여 본 세정 공정이 완료된 세정 대상체가 적재된 적재수단(30)이 인접 보조 세정 챔버로 반출될 수 있다.

상기 이송수단(90)은 상기 메인 세정 챔버의 전면 게이트(11a), 후면 게이트(13a)의 근접 지점까지 연장 배치된다. 따라서, 상기 세정 대상체가 적재된 적재수단(30)은 상기 전면 게이트 또는 후면 게이트를 통과하면서 인접 챔버 내에 배치되는 이송수단(90)으로 이송될 수 있다.

한편, 상기 보조 세정 챔버(110) 내부에는 상기 적재수단(30)에 적재된 세정 대상체의 내부외면을 세정하기 위한 보조 외부면 세정수단(150) 및 보조 내부면 세정수단(170)이 구비되어 있다.

즉, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 보조 세정 챔버(110) 내부에는 적재수단(30)에 안착되어 있는 세정 대상체(1)의 외부면(1a)에 세정액을 분사하여 세정하는 보조 외부면 세정수단(150)과, 상기 적재수단(30)을 기준으로 상기 보조 외부면 세정수단(150)의 반대편에 배치되어 상기 적재수단(30)에 안착되어 있는 세정 대상체(1)의 내부면(1b)에 세정액을 분사하여 세정하는 보조 내부면 세정수단(170)이 구비된다.

정리하면, 상기 보조 세정 챔버(110) 내에는 상기 세정 대상체의 외부면에 대한 세정 공정을 진행할 보조 외부면 세정수단(150)과 상기 세정 대상체의 내부면에 대한 세정 공정을 진행할 보조 내부면 세정수단(170)이 구비되어 있고, 상기 보조 외부면 세정수단(150) 및 보조 내부면 세정수단(170)은 함께 동작되어 상기 세정 대상체의 내외부면을 동시에 세정한다.

도 7에 도시된 바와 같이, 상기 적재수단(30)에 적재되는 적어도 하나의 세정 대상체(1)의 외부면(1a)을 브러싱을 통하여 세정하기 위한 보조 외부면 세정수단(150)이 상기 적재수단(30)의 상측에 배치된다. 즉, 상기 보조 외부면 세정수단(150)은 상기 보조 세정 챔버(110) 내에 배치되되 상기 적재수단(30)의 상측에 배치된다.

상기 보조 외부면 세정수단(150)은 도 7 및 도 8의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 적재수단(30)의 상측에 배치되어, 승하강이 가능하게 배치되는 제3 베이스(151) 및 상기 제3 베이스(151)의 상부면에 배치되는 제3 구동부(155)의 구동에 따라 회전되되, 상기 제3 베이스(151)의 하측에 회전 가능하게 결합되는 보조 외부면 세척 모듈(153)을 포함하여 구성된다.

상기 제3 베이스(151)는 플레이트 형상을 가지는 것이 바람직하고, 상기 메보조 세정 챔버(110)의 상부에 결합되되, 상하 수직 방향으로 승하강 가능하게 결합된다. 따라서, 상기 보조 세정 챔버(110)의 외부 상부면에는 상기 제3 베이스(151)의 승하강 구동력을 발생시키는 구동수단이 형성되고, 연결수단이 상기 구동수단과 상기 제3 베이스(151) 사이에 연결될 수 있도록 구성할 수 있다.

상기 제3 베이스(151)의 승하강 구동에 따라 상기 보조 외부면 세척 모듈(153) 역시 상하 수직 방향으로 승하강된다. 상기 보조 외부면 세척 모듈(153)은 상기 적재수단(30)에 적재된 세정 대상체(1)의 외부면(1a)을 감싸서 세정액을 분사하여 세정하고, 세정이 완료된 후, 상기 적재수단(30)이 이송될 수 있도록, 상하 수직 방향으로 승하강될 수 있도록 구동된다.

상기 보조 외부면 세척 모듈(153)은 상기 제3 베이스(151)를 관통하여 하측으로 연장형성되되, 상기 제3 베이스(151)의 상부면에 배치되는 제3 구동부(155)에 의하여 회전되는 제3 회전바(153a), 상기 제3 회전바(153a)의 말단에 상단이 연결되어 회전되되, 상기 세정 대상체(1)의 외부면을 비접촉된 상태로 감싸는 구조를 가지는 제3 세척 회전체(153b) 및 상기 제3 세척 회전체(153b)에 의하여 감싸진 상태에 있는 상기 세정 대상체(1)의 외부면(1a)에 세정액을 공급하는 제3 세정액 공급라인을 포함하여 구성된다.

상기 제3 회전바(153a)는 상기 제3 베이스(151)의 상부면에 배치되는 제3 구동부(155)의 회전력을 전달받아 회전한다. 따라서, 상기 제3 회전바(153a)는 상기 제3 베이스(151)를 회전 가능하게 관통 배치된다. 예를 들어, 상기 제3 회전바(153a)는 베어링을 개재하여 상기 제3 베이스(151)에 관통 배치될 수 있다.

상기 제3 회전바(153a)는 상기 제3 세정액 공급라인(153d)이 형성될 수 있도록 내부가 비어 있는 중공 구조를 가지거나, 몸체에 복수개의 세정액 이송 라인이 형성될 수도 있다.

상기 제3 회전바(153a)의 말단에는 상기 제3 세척 회전체(153b)가 결합된다. 상기 제3 세척 회전체(153b)는 그 상단이 상기 제3 회전바(153a)에 결합되기 때문에, 상기 제3 회전바(153a)의 회전에 따라 함께 회전될 수 있다.

상기 제3 세척 회전체(153b)는 상기 제3 베이스(151)가 하강하면, 상기 세정 대상체(1)를 접촉하지 않은 상태로 감쌀 수 있는 형상을 가진다. 따라서, 상기 제3 세척 회전체(153b)는 하측이 개방되어 있고, 그 내부 형상이 상기 세정 대상체와 유사하며, 그 내경이 상기 세정 대상체의 외경보다 더 큰 형상을 가진다.

상기 세정 대상체(1)의 외부면(1a)이 효과적으로 세정될 수 있도록 하기 위하여, 상기 제3 세정액 공급라인(153d)은 외부로부터 공급되는 화학 약품 또는 (초)순수에 해당하는 세정액을 상기 세정 대상체(1)의 외부면(1a)에 제공한다. 다만, 메인 세정 챔버(10) 내에서 화학 약품에 의한 메인 세정이 진행되는 가정하에서, 먼지 등의 이물질을 제거하기 위한 세정액, 즉, (초)순수를를 제공하는 것이 바람직하다.

상기 제3 세정액 공급라인(153d)은 상기 보조 외부면 세척 모듈(153) 내에서 다양한 구조 및 형상으로 배치 형성될 수 있다. 상기 제3 세정액 공급라인(153d)을 통해 상기 세정 대상체(1)의 외부면(1a)으로 공급되는 세정액은 상기 보조 외부면 세척 모듈(53)이 회전되기 때문에, 상기 세정 대상체(1)의 외부면(1a) 전체에 고르게 뿌려질 수 있다.

상기 제3 세정액 공급라인(153d)은 앞서 설명한 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 제3 회전바(153a)의 중공형 구조의 내부에 배치 형성될 수 있다. 상기 제3 회전바의 중공형 구조의 내부에 배치 형성되는 상기 제3 세정액 공급라인(153d)은 상기 제3 베이스(151) 상에 배치되거나, 상기 보조 세정 챔버(110) 외부에 배치되는 세정액 공급수단(미도시)에 연결되어 세정액을 공급받을 수 있다면, 상기 세정액 공급수단과 다양한 구조, 방법, 배치에 의하여 연결될 수 있다.

상기 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 제3 회전바의 중공형 구조의 내부에 배치 형성되는 상기 제3 세정액 공급라인(153d)의 하단부는 상기 제3 회전바(153a)의 하단부까지 연장 형성된 상태로 개방되어 있다. 따라서, 상기 제3 세정액 공급라인(153d)으로 공급되는 세정액은 상기 제3 세척 회전체(153b)의 내부 공간으로 제공되는데, 상기 제3 세척 회전체(153b)가 회전되기 때문에, 상기 제3 세척 회전체(153b) 내부 공간에 있는 세정 대상체(1)의 외부면(1a) 전체에 뿌려질 수 있다.

한편, 상기 제3 세정액 공급라인(153d)은 앞서 설명한 도 4의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 보조 외부면 세척 모듈(153)의 몸체 내부에 세정액 이송 라인 형태로 형성될 수 있다.

즉, 상기 보조 외부면 세척 모듈(153)을 구성하는 상기 제3 회전바(153a)와 제3 세척 회전체(153b)의 몸체 내부에 상하 방향으로 복수개의 세정액 이송 라인을 만들어서 상기 제3 세정액 공급라인(153d)을 구성할 수 있다. 이 때, 상기 제3 세척 회전체(153b)의 내측면에는 깊이 방향으로 상기 제3 세정액 공급라인(153d)을 구성하는 세정액 이송 라인에 연결될 수 있는 제3 분사홀(153e)이 형성된다. 상기 제3 분사홀(153e)은 상기 제3 세척 회전체(153b)의 내측면 전체에 걸쳐 골고루 형성되는 것이 바람직하다.

따라서, 외부로부터 가압 공급되는 세정액은 상기 보조 외부면 세척 모듈(153)의 몸체 내부에 형성되는 세정액 이송라인과 상기 제3 분사홀(153e)로 구성되는 제3 세정액 공급라인(153d)을 통하여 상기 제3 세척 회전체(153b)의 내부 공간으로 제공되는데, 상기 제3 세척 회전체(153b)가 회전되기 때문에, 상기 제3 세척 회전체(153b) 내부 공간에 있는 세정 대상체(1)의 외부면(1a) 전체에 분사되어 뿌려질 수 있다.

이 세정 과정에서 상기 세정 대상체는 좀 더 안정적으로 고정될 필요성이 있다. 이를 위하여, 본 발명에서는 앞서 설명한 바와 같이(도 4의 (b)에 도시된 바와 같이), 상기 제3 회전바(153a)의 중공형 구조 내부에 삽입 배치되는 가압봉의 말단에 연장 형성되는 밀착 가압부(53d')를 구비할 수 있다. 상기 밀착 가압부(53d')는 상기 제3 베이스(151)가 하강하여 상기 제3 세척 회전체(153b)가 상기 세정 대상체를 감싸는 상태가 되는 과정에서 상기 세정 대상체의 상부를 접촉 가압한다.

한편, 상기 밀착 가압부(53d')는 상술한 바와 같이, 상기 제3 회전바(153a)의 중공형 구조 내부에 삽입 배치된 가압봉의 하단에 형성될 수도 있지만, 도 4의 (a)에 도시된 제1 세정액 공급라인(53d)과 유사하게 제3 세정액 공급라인(153d)을 구성하는 경우, 그 하단에 연장 형성되어 구성될 수도 있다. 이 경우, 상기 제3 세정액 공급라인(153d)을 통해 공급되는 세정액은 상기 절개부(53d")를 통하여 상기 세정 대상체(1)의 외부면(1a)으로 제공될 수 있다.

상기와 같이 구성되는 보조 외부면 세정수단(150)은 상기 적재수단(30) 상측에 승하강 가능하게 배치되어 상기 적재수단(30)에 적재된 상기 세정 대상체(1)의 외부면(1a)에 세정액을 분사하여 세정한다.

상기 보조 외부면 세정수단(150)에 대응하여 상기 적재수단(30)의 하측에는 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)에 세정액을 분사하여 세정하는 보조 내부면 세정수단(170)이 배치된다. 즉, 상기 보조 내부면 세정수단(170)은 상기 적재수단을 기준으로 상기 보조 외부면 세정수단(150)의 반대편에 배치되어 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)에 세정액을 분사하여 세정한다.

상기 보조 내부면 세정수단(170)은 도 7 및 도 8의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 적재수단(30)의 하측에 배치되어, 승하강이 가능하게 배치되는 제4 베이스(171) 및 상기 제4 베이스(171)의 하부면에 배치되는 제4 구동부(175)의 구동에 따라 회전되되, 상기 제4 베이스(171)의 상측에 회전 가능하게 결합되는 보조 내부면 세척 모듈(173)을 포함하여 구성된다.

상기 제4 베이스(171)의 승하강 구동에 따라 상기 보조 내부면 세척 모듈(173) 역시 상하 수직 방향으로 승하강된다. 상기 보조 내부면 세척 모듈(173)은 상기 적재수단(30)에 적재된 세정 대상체(1)에 삽입되어 내부면(1b)에 세정액을 분사하여 세정하고, 세정이 완료된 후, 상기 적재수단(30)이 이송될 수 있도록, 상하 수직 방향으로 승하강될 수 있도록 구동된다.

상기 보조 내부면 세척 모듈(173)은 상기 제4 베이스(171)를 관통하여 상측으로 연장형성되되, 상기 제4 베이스(171)의 하부면에 배치되는 제4 구동부(175)에 의하여 회전되고, 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)에 비접촉된 상태로 삽입될 수 있는 구조를 가지는 제4 회전바(73a) 및 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)에 세정액을 공급하는 제4 세정액 공급라인(173c)을 포함하여 구성된다.

상기 제4 회전바(173a)는 상기 제4 베이스(171)의 하부면에 배치되는 제4 구동부(175)의 회전력을 전달받아 회전한다. 따라서, 상기 제4 회전바(173a)는 상기 제4 베이스(171)를 회전 가능하게 관통 배치된다. 예를 들어, 상기 제4 회전바(173a)는 베어링을 개재하여 상기 제4 베이스(171)에 관통 배치될 수 있다.

상기 제4 회전바(173a)는 상기 제4 세정액 공급라인(173c)이 형성될 수 있도록, 몸체 내부에 복수개의 세정액 이송 라인이 형성되어 있다. 즉, 상기 제4 회전바(173a)는 내부에 상기 제4 세정액 공급라인(173c)을 구비하고 있다.

상기 제4 회전바(173a)는 상기 제4 베이스(171)가 상승하면, 상기 세정 대상체(1)의 개방부(1c)를 통하여 상기 세정 대상체의 내부 공간으로 삽입된다. 그리고, 상기 제4 회전바(173a)는 상기 세정 대상체의 내부면(1b)을 비접촉된 상태로 삽입된 상태에서 세정액을 분사하여 세정하기 위하여, 제4 세정액 공급라인(173c)을 구비하고 있다.

상기 제4 세정액 공급라인(173c)은 상기 보조 내부면 세척 모듈(173) 내에서 다양한 구조 및 형상으로 배치 형성될 수 있다. 상기 제4 세정액 공급라인(173c)을 통해 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b)으로 공급되는 세정액은 상기 보조 내부면 세척 모듈(173), 구체적으로 제4 회전바(173a)가 회전되기 때문에, 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b) 전체에 고르게 뿌려질 수 있다.

상기 제4 세정액 공급라인(173c)은 상기 제4 회전바(173a)의 내부에 세정액 이송 통로 형태로 형성된다. 상기 제4 회전바의 내부에 형성되는 상기 제4 세정액 공급라인(173c)은 상기 제4 베이스(171)의 하부면 배치되거나, 상기 보조 세정 챔버(110) 외부에 배치되는 세정액 공급수단(미도시)에 연결되어 세정액을 공급받을 수 있다면, 상기 세정액 공급수단과 다양한 구조, 방법, 배치에 의하여 연결될 수 있다.

상기 제4 세정액 공급라인(173c)은 상기 보조 내부면 세척 모듈(173)을 구성하는 제4 회전바(173a)의 몸체 내부에 세정액 이송 라인 형태로 형성될 수 있다. 즉, 상기 보조 내부면 세척 모듈(173)을 구성하는 상기 제4 회전바(173a)의 몸체 내부에 상하 방향 및 수평 방향으로 복수개의 세정액 이송 라인을 만들어서 상기 제4 세정액 공급라인(173c)을 구성할 수 있다.

이 때, 상기 제4 회전바(173a)의 외측면에는 깊이 방향으로 상기 제4 세정액 공급라인(173c)을 구성하는 세정액 이송 라인에 연결될 수 있는 제4 분사홀(173d)이 형성된다. 상기 제4 분사홀(173d)은 상기 제4 회전바(173a)의 외측면 전체에 걸쳐 골고루 형성되는 것이 바람직하다.

따라서, 외부로부터 가압 공급되는 세정액은 상기 보조 내부면 세척 모듈(173)을 구성하는 제4 회전바(173a)의 몸체 내부에 형성되는 세정액 이송라인(도 8의 (b)에서 제4 회전바의 길이 방향으로 형성되는 수직 이송라인 및 수직 이송라인에서 분기되어 방사 방향으로 수평하게 형성되는 복수의 수평 이송라인)과 상기 제4 분사홀(173d)로 구성되는 제4 세정액 공급라인(173c)을 통하여 상기 세정 대상체의 내부면으로 제공되는데, 상기 제4 회전바(173a)가 회전되기 때문에, 상기 세정 대상체(1)의 내부면(1b) 전체에 뿌려질 수 있다.

이상에서 설명한 보조 외부면 세정수단(150)은 상기 세정 대상체(1)의 외부면에 세정액을 분사하여 세정하고, 상기 보조 내부면 세정수단(170)은 상기 세정 대상체의 내부면에 세정액을 분사하여 세정할 수 있다.

이와 같이, 본 발명에 따른 대상체 내외부면 세정장치에 의하면, 메인 외부면 세정수단(50) 및 메인 내부면 세정수단(70)이 구비되는 메인 세정 챔버 내에서 화학 약품을 이용하여 세정 공정을 진행하기 전에 상기 보조 외부면 세정수단(150) 및 보조 내부면 세정수단(170)이 구비되는 보조 세정 챔버 내에서 먼지 등을 제거할 수 있는 예비 세정을 진행할 수 있고, 더 나아가 상기 메인 세정 챔버 내에서 화학 약품에 의한 세정이 완료된 후, 약품 등을 제거하기 위한 추가 세정 공정을 진행할 수 있기 때문에, 세정 대상체에 대한 세정 효율을 증대시킬 수 있다.

한편, 상술한 바와 같이, 상기 세정 대상체에 대한 내외부면에 대한 세정은 동시에 진행된다. 이에 대하여 첨부된 도 9를 참조하여 간략하게 설명하면 다음과 같다.

상기 세정 대상체에 대한 세정 공정을 진행하기 전에, 상기 세정 대상체를 적재하고 있는 상기 적재수단(30)은 상기 메인 외부면 세정수단(50)과 메인 내부면 세정수단(70) 사이에 위치한다(도 9의 (a) 참조).

이 상태에서, 상기 메인 외부면 세정수단(50)의 하강과 상기 메인 내부면 세정수단(70)의 상승이 동시에 이루어진다. 물론 다소 시간차를 두고 이동할 수도 있다. 그러면, 상기 메인 외부면 세정수단(50)은 상기 세정 대상체의 외부면을 감싼 상태를 유지하고, 상기 메인 내부면 세정수단(70)은 상기 세정 대상체의 내부 공간으로 삽입되어 상기 세정 대상체의 내부면과 마주보게 된다(도 9의 (b) 참조).

이 상태에서 상기 메인 외부면 세정수단(50)과 메인 내부면 세정수단(70)은 회전 동작이 진행되고, 세정액을 분사하면서 브러싱 과정을 통하여 각각 상기 세정 대상체의 외부면과 내부면을 브러싱하여 세정한다. 이와 같은 세정 대상체의 내외부면에 대한 세정 공정은 동시에 진행된다.

이와 같은 과정을 통하여 상기 세정 대상체의 내외부면에 대한 세정이 완료되면, 상기 메인 외부면 세정수단은 상승하고 상기 메인 내부면 세정수단은 하강한다(도 9의 (c) 참조). 이와 같이 상기 메인 외부면 세정수단(50)과 메인 내부면 세정수단(70)이 원래 위치로 이동하면, 상기 적재수단(30)은 외부로 반출되거나 이송수단을 따라 이동하면서 인접하고 있는 보조 세정 챔버로 이송될 수 있다.

도 9를 참조하여 설명한 동작은 메인 세정 챔버 내에서 진행되는 동작에 해당되나, 보조 세정 챔버 내에서도 동일하게 진행된다. 다만 보조 외부면 세정수단 및 보조 내부면 세정수단은 세정액 분사를 통한 브러싱 세정을 수행하는 것이 아니라, 세정액 분사만으로 세정을 수행하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.

1 : 세정 대상체 1a : 세정 대상체의 외부면
1b : 세정 대상체의 내부면 1c : 세정 대상체의 개방부
1d : 세정 대상체의 상단부 10 : 메인 세정 챔버
11 : 메인 세정 챔버의 전면 측부 11a : 메인 세정 챔버의 전면 게이트
13 : 메인 세정 챔버의 후면 측부 11a : 메인 세정 챔버의 후면 게이트
30 : 적재수단 31 : 적재수단의 개방홀
33 : 장착홈 50 : 메인 외부면 세정수단
51 : 제1 베이스 53 : 메인 외부면 세척 모듈
53a : 제1 회전바 53b : 제1 세척 회전체
53c : 제1 브러쉬 53d : 제1 세정액 공급라인
53d': 밀착 가압부 53d" : 절개부
53e : 제1 분사홀 55 : 제1 구동부
70 : 메인 내부면 세정수단 71 : 제2 베이스
73 : 메인 내부면 세척 모듈 73a : 제2 회전바
73b : 제2 브러쉬 73c : 제2 세정액 공급라인
73d : 제2 분사홀 75 : 제2 구동부
90 : 이송수단 100 : 대상체 내외부면 세정장치
110 : 보조 세정 챔버 150 : 보조 외부면 세정수단
151 : 제3 베이스 153 : 보조 외부면 세척 모듈
153a : 제3 회전바 153b : 제3 세척 회전체
53d : 제3 세정액 공급라인 153e : 제3 분사홀
155 : 제3 구동부 170 : 보조 내부면 세정수단
171 : 제4 베이스 173 : 보조 내부면 세척 모듈
173a : 제4 회전바 173c : 제4 세정액 공급라인
173d : 제2 분사홀 175 : 제4 구동부

Claims

세정 공정이 진행되는 메인 세정 챔버;
상기 메인 세정 챔버 내에 배치되되, 내부면과 외부면을 가지는 세정 대상체를 안착시켜 적재하고 있는 적재수단;
상기 메인 세정 챔버 내에 배치되어 상기 적재수단에 안착되어 있는 세정 대상체의 외부면을 브러싱하여 세정하는 메인 외부면 세정수단;
상기 메인 세정 챔버 내에 배치되되, 상기 적재수단을 기준으로 상기 메인 외부면 세정수단의 반대편에 배치되어 상기 적재수단에 안착되어 있는 세정 대상체의 내부면을 브러싱하여 세정하는 메인 내부면 세정수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 대상체 내외부면 세정 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 메인 외부면 세정수단은 상기 적재수단의 상측에 배치되어, 승하강이 가능하게 배치되는 제1 베이스, 상기 제1 베이스의 하측에 회전 가능하게 결합되는 메인 외부면 세척 모듈을 포함하여 구성되되,
상기 메인 외부면 세척 모듈은 상기 제1 베이스를 관통하여 하측으로 연장형성되되, 상기 제1 베이스의 상부면에 배치되는 제1 구동부에 의하여 회전되는 제1 회전바, 상기 제1 회전바의 말단에 상단이 연결되어 회전되되, 상기 세정 대상체의 외부면을 비접촉된 상태로 감싸는 구조를 가지고, 내측면에 제1 브러쉬가 형성되어 있는 제1 세척 회전체 및 상기 제1 세척 회전체에 의하여 감싸진 상태에 있는 상기 세정 대상체의 외부면에 세정액을 공급하는 제1 세정액 공급라인을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 대상체 내외부면 세정 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 메인 내부면 세정수단은 상기 적재수단의 하측에 배치되어, 승하강이 가능하게 배치되는 제2 베이스, 상기 제2 베이스의 상측에 회전 가능하게 결합되는 메인 내부면 세척 모듈을 포함하여 구성되되,
상기 메인 내부면 세척 모듈은 상기 제2 베이스를 관통하여 상측으로 연장형성되되, 상기 제2 베이스의 하부면에 배치되는 제2 구동부에 의하여 회전되고, 상기 세정 대상체의 내부면에 비접촉된 상태로 삽입될 수 있는 구조를 가지는 제2 회전바, 상기 제2 회전바의 외측면에 형성되는 제2 브러쉬 및 상기 세정 대상체의 내부면에 세정액을 공급하는 제2 세정액 공급라인을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 대상체 내외부면 세정 장치.
청구항 1 내지 청구항 3 중, 어느 한 항에 있어서,
상기 메인 세정 챔버의 전면 측부 및 후면 측부 중, 적어도 하나의 측부에는 보조 세정 챔버가 연결되어 있고, 상기 적재수단은 상기 메인 세정 챔버와 보조 세정 챔버 내에 배치되는 이송수단에 의하여 상기 메인 세정 챔버와 보조 세정 챔버 사이에서 자동으로 이송될 수 있으며,
상기 보조 세정 챔버 내부에는 적재수단에 안착되어 있는 세정 대상체의 외부면에 세정액을 분사하여 세정하는 보조 외부면 세정수단과, 상기 적재수단을 기준으로 상기 보조 외부면 세정수단의 반대편에 배치되어 상기 적재수단에 안착되어 있는 세정 대상체의 내부면에 세정액을 분사하여 세정하는 보조 내부면 세정수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 대상체 내외부면 세정 장치.
청구항 4에 있어서,
상기 보조 외부면 세정수단은 상기 적재수단의 상측에 배치되어, 승하강이 가능하게 배치되는 제3 베이스, 상기 제3 베이스의 하측에 회전 가능하게 결합되는 보조 외부면 세척 모듈을 포함하여 구성되되,
상기 보조 외부면 세척 모듈은 상기 제3 베이스를 관통하여 하측으로 연장형성되되, 상기 제3 베이스의 상부면에 배치되는 제3 구동부에 의하여 회전되는 제3 회전바, 상기 제3 회전바의 말단에 상단이 연결되어 회전되되, 상기 세정 대상체의 외부면을 비접촉된 상태로 감싸는 구조를 가지는 제3 세척 회전체 및 상기 제3 세척 회전체에 의하여 감싸진 상태에 있는 상기 세정 대상체의 외부면에 세정액을 공급하는 제3 세정액 공급라인을 포함하여 구성되고,
상기 보조 내부면 세정수단은 상기 적재수단의 하측에 배치되어, 승하강이 가능하게 배치되는 제4 베이스, 상기 제4 베이스의 상측에 회전 가능하게 결합되는 보조 내부면 세척 모듈을 포함하여 구성되되,
상기 보조 내부면 세척 모듈은 상기 제4 베이스를 관통하여 상측으로 연장형성되되, 상기 제4 베이스의 하부면에 배치되는 제4 구동부에 의하여 회전되고, 상기 세정 대상체의 내부면에 비접촉된 상태로 삽입될 수 있는 구조를 가지는 제4 회전바 및 상기 세정 대상체의 내부면에 세정액을 공급하는 제4 세정액 공급라인을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 대상체 내외부면 세정 장치.