JP2004006877A - 追記型メモリで使用するための異方性半導体シート - Google Patents
追記型メモリで使用するための異方性半導体シート Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004006877A JP2004006877A JP2003140244A JP2003140244A JP2004006877A JP 2004006877 A JP2004006877 A JP 2004006877A JP 2003140244 A JP2003140244 A JP 2003140244A JP 2003140244 A JP2003140244 A JP 2003140244A JP 2004006877 A JP2004006877 A JP 2004006877A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- diode
- memory array
- row
- donor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000015654 memory Effects 0.000 title claims abstract description 110
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 26
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N heliogen blue Chemical compound [Cu].[N-]1C2=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=NC([N-]1)=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=N2 RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- DNFRDFNNAQQIKW-UHFFFAOYSA-N 1h-imidazole;perylene-3,4,9,10-tetracarboxylic acid Chemical group C1=CNC=N1.C1=CNC=N1.C=12C3=CC=C(C(O)=O)C2=C(C(O)=O)C=CC=1C1=CC=C(C(O)=O)C2=C1C3=CC=C2C(=O)O DNFRDFNNAQQIKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 14
- -1 small molecule organic compound Chemical class 0.000 abstract description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 19
- 238000004776 molecular orbital Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N copper(II) phthalocyanine Chemical compound [Cu+2].C12=CC=CC=C2C(N=C2[N-]C(C3=CC=CC=C32)=N2)=NC1=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000004768 lowest unoccupied molecular orbital Methods 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- XQNMSKCVXVXEJT-UHFFFAOYSA-N 7,14,25,32-tetrazaundecacyclo[21.13.2.22,5.03,19.04,16.06,14.08,13.020,37.024,32.026,31.034,38]tetraconta-1(36),2,4,6,8,10,12,16,18,20(37),21,23(38),24,26,28,30,34,39-octadecaene-15,33-dione 7,14,25,32-tetrazaundecacyclo[21.13.2.22,5.03,19.04,16.06,14.08,13.020,37.025,33.026,31.034,38]tetraconta-1(37),2,4,6,8,10,12,16,18,20,22,26,28,30,32,34(38),35,39-octadecaene-15,24-dione Chemical compound O=c1c2ccc3c4ccc5c6nc7ccccc7n6c(=O)c6ccc(c7ccc(c8nc9ccccc9n18)c2c37)c4c56.O=c1c2ccc3c4ccc5c6c(ccc(c7ccc(c8nc9ccccc9n18)c2c37)c46)c1nc2ccccc2n1c5=O XQNMSKCVXVXEJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- NAZODJSYHDYJGP-UHFFFAOYSA-N 7,18-bis[2,6-di(propan-2-yl)phenyl]-7,18-diazaheptacyclo[14.6.2.22,5.03,12.04,9.013,23.020,24]hexacosa-1(23),2,4,9,11,13,15,20(24),21,25-decaene-6,8,17,19-tetrone Chemical compound CC(C)C1=CC=CC(C(C)C)=C1N(C(=O)C=1C2=C3C4=CC=1)C(=O)C2=CC=C3C(C=C1)=C2C4=CC=C3C(=O)N(C=4C(=CC=CC=4C(C)C)C(C)C)C(=O)C1=C23 NAZODJSYHDYJGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000002918 Fraxinus excelsior Nutrition 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002730 additional effect Effects 0.000 description 1
- 239000002956 ash Substances 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000004770 highest occupied molecular orbital Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 150000002979 perylenes Chemical class 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004032 porphyrins Chemical class 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K19/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic element specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, covered by group H10K10/00
- H10K19/202—Integrated devices comprising a common active layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
- H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0009—RRAM elements whose operation depends upon chemical change
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C13/00—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00
- G11C13/0002—Digital stores characterised by the use of storage elements not covered by groups G11C11/00, G11C23/00, or G11C25/00 using resistive RAM [RRAM] elements
- G11C13/0009—RRAM elements whose operation depends upon chemical change
- G11C13/0014—RRAM elements whose operation depends upon chemical change comprising cells based on organic memory material
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C17/00—Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards
- G11C17/14—Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards in which contents are determined by selectively establishing, breaking or modifying connecting links by permanently altering the state of coupling elements, e.g. PROM
- G11C17/16—Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards in which contents are determined by selectively establishing, breaking or modifying connecting links by permanently altering the state of coupling elements, e.g. PROM using electrically-fusible links
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C17/00—Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards
- G11C17/14—Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards in which contents are determined by selectively establishing, breaking or modifying connecting links by permanently altering the state of coupling elements, e.g. PROM
- G11C17/16—Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards in which contents are determined by selectively establishing, breaking or modifying connecting links by permanently altering the state of coupling elements, e.g. PROM using electrically-fusible links
- G11C17/165—Memory cells which are electrically programmed to cause a change in resistance, e.g. to permit multiple resistance steps to be programmed rather than conduct to or from non-conduct change of fuses and antifuses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/10—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
- H01L27/102—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration including bipolar components
- H01L27/1021—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration including bipolar components including diodes only
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K19/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic element specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, covered by group H10K10/00
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C2213/00—Indexing scheme relating to G11C13/00 for features not covered by this group
- G11C2213/70—Resistive array aspects
- G11C2213/71—Three dimensional array
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C2213/00—Indexing scheme relating to G11C13/00 for features not covered by this group
- G11C2213/70—Resistive array aspects
- G11C2213/72—Array wherein the access device being a diode
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having potential barriers
- H10K10/701—Organic molecular electronic devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/30—Coordination compounds
- H10K85/311—Phthalocyanine
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/60—Organic compounds having low molecular weight
- H10K85/615—Polycyclic condensed aromatic hydrocarbons, e.g. anthracene
- H10K85/621—Aromatic anhydride or imide compounds, e.g. perylene tetra-carboxylic dianhydride or perylene tetracarboxylic di-imide
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Read Only Memory (AREA)
Abstract
【解決手段】2次元クロスポイントダイオードメモリアレイの行線と列線との間に配置されることにより、アレイの各格子点に対しヒューズ・ダイオードメモリ素子としての役割を果たす、小型分子有機化合物を含むシート状の異方性の半導体材料を提供する。異方性半導体材料は、ドナー/アクセプタ有機接合デバイスを提供するように形成されまたは互いに貼合される異なる小型分子有機化合物からなる2つの層を含む。半導体シートが異方性であるため、および電流が概して半導体シートの平面を流れないため、メモリアレイ格子の行線と列線との間に単一の異方性半導体シートを狭着することにより、メモリアレイ格子に対しすべてのメモリ素子を提供することができる。
【選択図】図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、メモリデバイスに関し、特に、ヒューズ・ダイオードメモリ素子の2次元アレイとして異方性半導体シートを採用するクロスポイントダイオードメモリデバイスに関する。
【0002】
【従来の技術】
コンシューマエレクトロニクス(consumer electronics)においてコンピュータプロセッサおよびデジタルデータ記憶装置がますます一般的に使用されてくるにしたがい、高容量であるが安価なデジタル記憶装置に対する必要が大幅に増大してきた。場合によっては、十分安価で高容量のデジタルメモリデバイスがないために、動作中に大量のデジタルデータを格納する、新たなコンシューマエレクトロニクス機器のマーケティングが阻害された。安価で高容量のデジタルメモリを必要とするコンシューマ電子機器の例は、高解像度デジタルカメラである。デジタルカメラは、人気が上昇しているが、目下、世間一般に広く受入れられるためにはまだ非常に高価である。さらに、ずっと高解像度なデジタルカメラを製造することが可能であるが、これらのより高解像度のデジタルカメラによって取込まれるより高解像度イメージに対するデジタルカメラ記憶要件により、それらの動作コストがさらに増大する。
【0003】
デジタルデータは、一般に、回転する磁気ディスクドライブと、EEPROMおよびフラッシュメモリ等の半導体ベースメモリと、に格納される。ディスクドライブは、高価であり、幾分大量の電力を消費し、多くのコンシューマ機器には頑強性が不十分である。フラッシュメモリはまだ頑強であるが、マイクロプロセッサおよび他の半導体電子機器を制作するために使用される写真平板技術によって製作されるために、安価なコンシューマ電子機器に使用するためか、もしくはデジタルカメラで取込まれたデジタルイメージを格納するなど追記型(write−once)コンシューマアプリケーションのためには、目下非常に高価である。
【0004】
近年、デジタルカメラ等のコンシューマ電子機器において高容量の追記型メモリとしての役割を果たすために、新たなクロスポイントダイオードメモリ(cross−point diode memory)が開発された。図1は、クロスポイントダイオードメモリモジュールの一部の切取等角図である。クロスポイントダイオードメモリモジュールは、複数の同一の積重ねられた層を有する。図1には、層101〜113を示す。各層は、2次元メモリアレイ118が形成される基板116を備える。2次元メモリアレイは、行および列の導電素子または線を備え、それらは互いに格子状パターンを形成する。2次元メモリアレイの行線は、行マルチプレクサ/デマルチプレクサ回路124を介して入出力(「I/O」)リード120〜123に電子的に結合される。列線は、列マルチプレクサ/デマルチプレクサ回路130を介して列I/Oリード126〜129に結合される。行I/Oリード120〜123と列I/Oリード126〜129とは、行I/Oリード120が接続される接点素子132等、クロスポイントダイオードメモリモジュールの側面に沿って延在することにより、メモリモジュールのすべての層101〜113の行I/Oリードおよび列I/Oリードを電子的に相互接続する接点素子と、電子的に接続される。2次元メモリアレイ118の行線および列線の各格子点交差部は、単一の2値記憶素子を表す。なお、後述するように、行線は格子点交差部において列線と物理的に接触しないが、メモリ素子を通して連結される。接点素子132等の接点素子において適当な電流をもたらすことにより、読出しまたは書込みのために各メモリ素子に電子的にアクセスすることができる。
【0005】
図2は、クロスポイントダイオードメモリデバイスの1つの層からの2次元メモリアレイの単一メモリ素子を示す。図2では、行線202の一部を列線204の一部に対して直交しかつその上にあるように示す。上述したように、行線202と列線204との交差部は、格納されたデジタル情報の単一ビットに対応する。クロスポイントダイオードメモリでは、図2の行202および列204等、交差する行線および列線は、メモリ素子206を通して電気的に結合される。電気的に、メモリ素子は、直列のヒューズ208とダイオード210とを備える。
【0006】
デジタル2進数またはビットは、2つのあり得る値、すなわち「0」および「1」のうちの1つを有することができる。デジタルメモリデバイスにデジタルデータを格納する物理媒体は、概して、相互変換することができ物理信号を介して検出することができる、2つの異なる物理状態を有する。図2のメモリ素子206等のクロスポイントダイオードメモリ素子の場合、2つの2値状態のうちの一方は、無傷の(intact)ヒューズ208によって表され、2つの2値状態のうちの他方は、切断した(blown)ヒューズ208によって表される。ハードディスクドライブ等の読出し/書込みメモリと異なり、クロスポイントメモリ素子を、ヒューズが無傷の状態からヒューズが切断した状態に1回だけ変化させることができ、このためクロスポイントダイオードメモリは概して追記型メモリである。メモリ素子206のダイオード210コンポーネントは、行線と列線との間の望ましくない電気経路を除去する役割を果たす。メモリ素子206のヒューズコンポーネント208が無傷である場合、メモリ素子206の電気抵抗は比較的低く、電流は行線202と列線204との間を流れることができる。メモリ素子の状態をヒューズが無傷の状態からヒューズが切断した状態に変化させるためには、行線202と列線204との間のメモリ素子206にずっと高い電流を流し、ヒューズコンポーネント208が破壊するようにする。ヒューズコンポーネント208が破壊すると、メモリ素子206の電気抵抗が相対的に高くなり、行線202からメモリ素子206を通って列線204に、比較的わずかな電流が流れるかまったく電流が流れないようにすることができる。このように、クロスポイントダイオードメモリのメモリ素子に書込みを行うか、高電流信号を介してヒューズ無傷状態からヒューズ切断状態に変化させることができ、メモリ素子の状態を、メモリ素子が比較的低い電流信号を流すか否かを判断することによって判断することができる。
【0007】
図2に示すヒューズ・ダイオードメモリ素子206等のヒューズ・ダイオードメモリ素子を製造するために安価で効率的な技術を見つけることができた場合、図1および図2に示すクロスポイントダイオードメモリモジュールは、コンシューマエレクトロニクス機器の高容量であるが安価なデジタルデータ記憶コンポーネントとしての役割を果たすことができる。このため、安価で高容量のデジタルデータ記憶コンポーネントを必要とするコンシューマエレクトロニクス機器の設計者および製造業者は、クロスポイントダイオードメモリ素子を製造する安価かつ効率的な方法が必要であることを認めている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、クロスポイントダイオードメモリ層の2次元メモリアレイの行線と列線との間に挟着することができる異方性半導体材料の薄シートを提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
異方性半導体材料は、一方が他方の上にある安定した薄膜で形成するかまたは互いに貼合せることができる、小型分子有機化合物から構成され、ドナー/アクセプタ有機接合デバイスを生成することができる。ドナー/アクセプタ有機接合デバイスは、本質的にダイオードである。薄膜は、薄膜の平面に対して垂直な方向に比較的低い電気抵抗を有し、薄膜の平面において比較的高い電気抵抗を有するように製造することができ、したがって異方性である。半導体シートが電気抵抗に関して異方性であるため、メモリ素子を、高価な写真平板技術によって製造する必要がなく、もしくは行線および列線の寸法および方向に対応するように別の方法で製造する必要がなく、代りにそれらは、異方性ドナー/アクセプタ有機接合材料をメモリアレイ格子点に近接して配置することからもたらされる。
【0010】
異方性半導体シートは、2次元メモリアレイの交差する行線と列線との間を一方向に電流を流す。列線と行線との間を高電圧または高電流信号が流れると、異方性半導体シートを形成する小型分子化合物が気化し、異方性半導体シートの、高電流または高電圧が通過する行線と列線との交差部に間隙が残る。間隙が形成されると、列線と行線との間にもはや比較的低い電流信号は流れず、このため、異方性半導体シートは、クロスポイントダイオードメモリ素子のヒューズコンポーネントとしての役割を果たす。したがって、小型分子有機化合物の薄膜から構成される異方性半導体シートは、クロスポイントダイオードメモリデバイスの2次元メモリアレイの各格子点においてヒューズ・ダイオードメモリ素子のアレイとしての役割を果たす。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施形態は、2次元クロスポイントダイオードメモリアレイの行線と列線との間に配置されることにより、アレイの各格子点に対しヒューズ・ダイオードメモリ素子としての役割を果たす、小型分子有機化合物を含むシート状の異方性の半導体材料を提供する。異方性半導体材料は、ドナー/アクセプタ有機接合デバイスを提供するように形成されまたは互いに貼合される異なる小型分子有機化合物からなる2つの層を含む。2つの化学的に別個の層の間の界面によって表されるドナー/アクセプタ有機接合は、メモリ素子のダイオード機能をもたらし、薄膜を構成する容易に気化する小型分子有機化合物は、メモリ素子のヒューズ機能を提供する。半導体シートが異方性であるため、および電流が概して半導体シートの平面を流れないため、メモリアレイ格子の行線と列線との間に単一の異方性半導体シートを狭着することにより、メモリアレイ格子に対しすべてのメモリ素子を提供することができる。
【0012】
分子は、共有結合、概して分子内の2つ以上の原子間で共有される電子が存在する結合性分子軌道を介して、互いに結合される原子を有する。分子の電子は、別々のエネルギ準位を有する分子軌道を占有し、または言換えれば、量子化エネルギ準位状態または量子状態を占有する。固体では、固体内の隣接する分子の分子軌道を結合することにより、固体内の非局在化分子軌道に存在している電子が固体内を比較的自由に移動することができるようにする非局在化軌道をもたらすことができる。この移動度により、非局在化軌道を占有する電子が、固体内に電流を伝えることができる。
【0013】
有機ダイオードの動作を、分子軌道電子エネルギ準位の挙動によって説明することができる。零度での最高エネルギ占有分子軌道(Highest energy Occupied Molecular Orbital)をHOMOと示し、最低エネルギ非占有分子軌道(Lowest energy Unoccupied Molecular Orbital)をLUMOと示す。2つの有機材料のドナー・アクセプタ接合を、図3に示すエネルギ図によって表すことができる。ドナー材料は、銅フタロシアニン(「CuPc」)とすることができ、アクセプタ材料は、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボキシリック−ビス−ベンズイミダゾール(3,4,9,10−perylenetetra−carboxylic−bis−benzimidazole(「PTCBI」))とすることができる。図3および図4に示すように、バイアス下で、エネルギ準位は傾く。図4において、接合は順方向バイアス状態にある。電子はカソード402からドナーのLUMOに注入されそこからアクセプタのLUMOに注入され、アノード404への電気回路を完了する。
【0014】
図5は、逆バイアス状態の接合を示す。ここでは、電子はアクセプタのLUMOに注入されるが、エネルギ障壁Eb502によりドナーのLUMOに入るのが妨げられる。したがって、このドナー・アクセプタ接合は、ダイオードのように作用し、順方向バイアス下では電流を自由に流し逆バイアスでは電流を遮る。
【0015】
ヒューズは、過度な電流から電気回路を保護するために使用される単純な電気デバイスである。ヒューズが回路に挿入されることにより、電流がある閾値を超過すると、ヒューズが破壊し、回路が遮断され閾値より上の電流が流れなくなる。回路ブレーカパネルが出現する前は、家庭用回路では、単純なねじ込みヒューズが一般的であった。これらの家庭用ヒューズは、ソケットにねじ込まれ、ヒューズの上部の透明な窓を通して見える薄い金属ストリップに電流が流れるように仕向けていた。家庭用回路の電流が閾値を超過した場合、金属箔が灰化し、それによって回路が遮断され、内部の家庭用回路が破損から保護される。
【0016】
図1および図2に示す2次元メモリアレイを、マイクロチップ内の複雑な回路が製造される方法と同様に、写真平板プロセスを介してシリコンベース半導体材料から形成することが可能である。このプロセスにより、ダイオード・ヒューズメモリ素子を、行線と列線との間のアレイの各格子点に置くことができる。不都合なことに、写真平板プロセスは、ハイエンドコンピュータおよび電子機器において概して幾度も使用されるマイクロプロセッサおよびRAMメモリには経済的であるが、写真フィルムにアナログの写真を格納するのに類似してデジタルカメラ内にデジタル写真を格納する等、追記型コンシューマアプリケーションには高価でありすぎる。
【0017】
本発明は、連続シート状の異方性ドナー/アクセプタ有機材料が、高価な超微細製造技術(マイクロマニュファクチャリング)を必要とすることなく、クロスポイントダイオードメモリの層の2次元メモリアレイ全体のためのメモリ素子の役割を果たすことができる、という認識から生まれた。図6は、本発明の一実施形態を表す単一メモリ素子を示す。図6は、図2において先に例示したように、2次元メモリアレイ内の行線602と列線604との間の交差部を示す。しかしながら、別個の超微細製造されたアレイ素子(図2の206)の代りに、本発明の一実施形態によって構成されるメモリ素子は、行線602と列線604との間に一定量のドナー/アクセプタ有機接合シート材料606を有する。有機シートは、薄いドナー層610と、それに対して形成されるかまたはそれに貼合される薄いアクセプタ層608と、を備える。図6に示す向きでは、電流は列線604から行線602に流れることができるが、行線602から列線604には、わずかな逆電流しか流れることができない。このため、ドナー/アクセプタ有機接合シート606は、図2に示すメモリ素子のダイオードコンポーネントとしての役割を果たす。
【0018】
ドナー/アクセプタ有機接合シート606は、閾値電流より上では物理的に不安定であるため、図2に示すメモリ素子のヒューズコンポーネントとしての役割も果たす。図7は、列線604と行線602との間のドナー/アクセプタ有機接合シートに対する破壊閾値電流を超過する電流が流れた後の、図6に示す2次元格子点交差部を示す。閾値より高い電流は、格子点交差部の間のおよびその近傍のドナー/アクセプタ有機接合シートを気化させ、行線602と列線604との間の空乏領域、すなわち間隙702を残す。間隙は空気で充填されており、行線602と列線604との間の抵抗器の挿入と等価である。代替的に、ドナー/アクセプタ有機接合シートの層を、格子点交差部の間におよびその近傍において高電圧で局部的に剥離してよく、同様に、層間剥離に続いて電気を伝導しなくなるようにしてよい。このように、図6および図7は、本発明の一実施形態によって構成される2次元アレイ格子点におけるメモリ素子の2つの2値状態を示し、図6はヒューズ無傷状態を示し、図7はヒューズ切断状態を表す。ヒューズ無傷状態は、2値「1」を表してよく、ヒューズ切断状態は、2値「0」を表してよく、あるいは代替的な取決めにより、ヒューズ無傷状態が2値「0」を表してよく、ヒューズ切断状態が2値「1」を表してよい。
【0019】
本発明の一実施形態のドナー/アクセプタ有機接合シートに必要な追加の特性は、それがシートの平面に対して垂直な方向に電流を伝導するが、シートの平面に対して平行な方向には電流をほとんどかまったく伝導しない、というものである。この通電異方性は、メモリ素子の超微細製造を必要とすることなく各2次元メモリアレイ格子点に電気的に別個のメモリ素子を提供する。電流がシートの平面に対して平行な方向に伝導されないため、電流は、ドナー/アクセプタ有機接合シートを通ってアクティブな格子点から非アクティブな格子点まで流れることができず、したがって2次元メモリアレイを短絡させる。さらに、格子点において書込み動作中にメモリ素子を切断する強電流が採用される場合、強電流はドナー/アクセプタ有機接合シート内で横方向に移動して他の格子点のメモリ素子ヒューズを切断することはできない。
【0020】
したがって、ドナー/アクセプタ有機接合シートは、2次元メモリアレイにおける上述した使用のために以下の特性を有していなければならない。すなわち、(1)優れた整流比、言換えれば、ドナー/アクセプタ有機接合シートは、シートの平面に対して垂直な順方向において比較的低い電気抵抗で電流を流すが、反対の逆方向では比較的高い電気抵抗で電流を流さなければないということと、(2)メモリ読出し動作中に印加される電圧より高い電圧での物理的不安定性と、(3)順方向における低電気抵抗すなわち高導電率と、(4)順方向における安定した電気抵抗すなわち高導電率と、である。さらに、ドナー/アクセプタ有機接合シートが、所定の公差まで容易に製造され、比較的安価であり、メモリ読出し動作中に印加される電圧以下の電圧でかつメモリデバイスが晒されることが予期される温度の範囲内で物理的に安定することが望ましい。
【0021】
クロスポイントダイオードメモリ内の2次元メモリアレイの複数のメモリ素子として使用する連続ドナー/アクセプタ有機接合シートを、ドナータイプ材料CuPcの薄膜をアクセプタタイプ材料PTCBIの薄膜に貼合せるかまたはその上に形成するものとして製造することができる。図8Aは、CuPcの化学構造を示し、図8Bは、PTCBIの化学構造を示す。CuPcおよびPTCBIの層を含む2層ドナー/アクセプタ有機接合シートは、先の段落で上述したクロスポイントダイオードメモリアプリケーションに必要な高電流での電流異方性および物理的不安定性を有する。本発明によるクロスポイントダイオードメモリアプリケーションにおいて役立つことができるドナー/アクセプタ有機接合シートに対し、他の多くの化学的組成が可能である。各層が1つまたは複数の小型分子有機化合物からなる2層有機シートが適当であるが、適当な異方性および高電流不安定性の特性を有する多層ドナー/アクセプタ有機接合シートを使用してよい。たとえば、CuPcの代りに、多くの異なる代用フタロシアニン、またはポルフィリン、テトラベンゾポルフィリンまたはテトラアザポルフィリン等の関連する有機分子を採用してよく、PTCBIの代りに、多くの適当に代用されるペリレン、またはあらゆるペリレンテトラカルボン酸アミドおよびペリレンテトラカルボキシリックジイミド等、他の大型の縮合環分子を使用してよい。
【0022】
本発明を特定の実施形態に関して説明したが、本発明がこの実施形態に限定されることは意図されていない。当業者には、本発明の理念内での変更が明らかとなろう。たとえば、上述したように、図2および図4〜図5に示す連続シートメモリ素子アプリケーションに必要な通電異方性および高電流物理的不安定性を有する、いかなる単層、2層または多層ドナー/アクセプタ有機接合シートも、本発明の範囲内にある。なお、本発明を、図1に示すクロスポイントダイオードメモリデバイスに採用してよいが、本発明の連続ドナー/アクセプタ有機接合シートが複数のダイオード・ヒューズメモリ素子に対して採用される場合、異なる内部構造を有する追記型メモリデバイスで採用してもよい。
【0023】
例示の目的のために、上述した説明は、本発明の完全な理解を提供するために特定の術語を使用した。しかしながら、当業者には、特定の詳細が本発明を実施するために必ずしも必要ではない、ということが明らかとなろう。言換えれば、基礎となる発明から不必要にずれることを回避するために、既知の回路およびデバイスをブロック図形態で示している。このため、本発明の特定の実施形態の上述した説明は、例示および説明の目的のために提供するものであり、網羅的であるようにも本発明を開示した厳密な形態に限定するようにも意図されておらず、明らかに、上記教示を鑑みて多くの変更および変形が可能である。本発明の原理とその実際的な適用とを最もよく説明するため、および、それにより当業者が、本発明とあらゆる実施形態とを企図される特定の使用に適するようにあらゆる変更を行って最もよく利用することができるように、実施形態を選択し説明した。本発明の範囲は、以下の特許請求の範囲とそれらの等価物とによって画定される、ということが意図されている。
【図面の簡単な説明】
【図1】クロスポイントダイオードメモリモジュールの一部の切取等角図である。
【図2】クロスポイントダイオードメモリの層からの2次元メモリアレイの単一メモリ素子を示す。
【図3】ドナー/アクセプタ有機接合デバイスを示す。
【図4】ドナー/アクセプタ有機接合デバイスを示す。
【図5】ドナー/アクセプタ有機接合デバイスを示す。
【図6】本発明の一実施形態を表す単一メモリ素子を示す。
【図7】列線と行線との間の比較的高い電流の通過後の、図6に示す2次元格子点交差部を示す。
【図8A】銅フタロシアニンの化学構造を示す。
【図8B】3,4,9,10−ペリレンテトラカルボキシリック−ビス−ベンズイミダゾールの化学構造を示す。
【符号の説明】
202、602 行線
204、604 列線
606 連続ダイオードシート
206 ダイオード・ヒューズメモリ素子
208 ヒューズ
210 ダイオード
Claims (10)
- 電子メモリアレイで使用され、2次元メモリアレイ内で行線を列線に結合する連続ダイオードシートであり、該電子メモリアレイの各交差する行・列線格子点の間の該ダイオードシートの部分がダイオード・ヒューズメモリ素子としての役割を果たす、連続ダイオードシートであって、
半導体接合シートを有し、
該半導体接合シートは、
順方向バイアス下では、該ダイオードシートに対して垂直な方向に高導電率を有するが逆バイアス下では低導電率を有し、ゆえにダイオードであり、
閾値電流より大きい電流が間に流れる行線と列線との間の部分内で物理的に劣化し、ゆえにヒューズとしての役割を果たし、
前記シートに対して平行な方向において電流の流れに抵抗し、前記電子メモリアレイの行・列線格子点間の前記ダイオードシートの部分が、前記電子メモリアレイの他の行・列線格子点の間の前記ダイオードシートの他のすべての部分から相対的に電気的に隔離されるようにする、
連続ダイオードシート。 - 連続ダイオードシートであって、
銅フタロシアニンの薄膜からなる第1層と、それが接合された3,4,9,10−ペリレンテトラカルボキシリック−ビス−イミダゾールの薄膜からなる第2層と、を有する請求項1記載の連続ダイオードシート。 - 請求項1記載の前記連続ダイオードシートを含む電子メモリアレイであって、
一組の実質的に平行な導電行線と、
一組の実質的に平行な導電列線と、
前記一組の導電行線と前記一組の導電列線との間にあって、該一組の導電行線と該一組の導電列線に対して実質的に平行な上面および下面を有し、行線と列線との各交差点における該ダイオードシートの局部は、ダイオード・ヒューズメモリ素子を構成する前記連続ダイオードシートと、
を有する電子メモリアレイ。 - 前記ダイオードシートの電気抵抗は異方性であり、該ダイオードシートの前記上面および下面に対して垂直な方向には低電気抵抗であり、逆方向および該ダイオードシートの前記上面および下面に対して実質的に平行なすべての方向には高電気抵抗である請求項3記載の電子メモリアレイ。
- 前記行線および列線に結合された外部からアクセス可能な導電コネクタをさらに含む請求項4記載の電子メモリアレイ。
- 各ダイオード・ヒューズメモリ素子は、1ビットの情報を格納する請求項4記載の電子メモリアレイ。
- 切断されたダイオード・ヒューズメモリ素子はビット「1」を表し、無傷のダイオード・ヒューズメモリ素子はビット「0」を表す請求項6記載の電子メモリアレイ。
- 切断されたダイオード・ヒューズメモリ素子はビット「0」を表し、無傷のダイオード・ヒューズメモリ素子はビット「1」を表す請求項6記載の電子メモリアレイ。
- 2次元メモリアレイを構成する方法であって、
基板に平行導電線の第1の組を提供するステップと、
前記平行導電線の第1の組の上部に、ドナー/アクセプタ有機接合シートを積層するステップとを含み、
該ドナー/アクセプタ有機接合シートは、
該シートに対して垂直な一方向には電流を伝導し、ゆえにダイオードとして作用し、
閾値電流より大きい電流が間に流れる行線と列線との間の部分で物理的に不安定であり、
該シートに対して平行な方向において前記電流の流れに抵抗し、前記2次元メモリアレイの行・列線格子点間の該ドナー/アクセプタ有機接合シートの部分が、該2次元メモリアレイの他の行・列線格子点間の該ドナー/アクセプタ有機接合シートの他のすべての部分から相対的に電気的に隔離されるようになっており、
前記ドナー/アクセプタ有機接合シートの上部に、前記平行導電線の第1の組に対して垂直な平行導電線の第2の組を配置するステップと、
前記行線および列線に結合される外部からアクセス可能な導電コネクタを提供するステップと、
を有する方法。 - 前記ドナー/アクセプタ有機接合シートは、銅フタロシアニンの薄膜からなる第1層と、それが接合された3,4,9,10−ペリレンテトラカルボキシリック−ビス−イミダゾールの薄膜からなる第2層と、を有する請求項9記載の方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/160,802 US6813182B2 (en) | 2002-05-31 | 2002-05-31 | Diode-and-fuse memory elements for a write-once memory comprising an anisotropic semiconductor sheet |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004006877A true JP2004006877A (ja) | 2004-01-08 |
JP2004006877A5 JP2004006877A5 (ja) | 2005-08-04 |
Family
ID=29419735
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003140244A Pending JP2004006877A (ja) | 2002-05-31 | 2003-05-19 | 追記型メモリで使用するための異方性半導体シート |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6813182B2 (ja) |
EP (1) | EP1367596A1 (ja) |
JP (1) | JP2004006877A (ja) |
KR (1) | KR20030094054A (ja) |
CN (2) | CN101232039A (ja) |
TW (1) | TW200307293A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7218482B2 (en) | 2004-01-26 | 2007-05-15 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Micro-actuator, head gimbal assembly and manufacturing method thereof |
JP2007200521A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-08-09 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 不揮発性メモリおよびその書き込み方法、並びに半導体装置 |
JP2010522987A (ja) * | 2007-03-28 | 2010-07-08 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. | 3次元クロスバーアレイシステム、並びに3次元クロスバーアレイ接合部に情報を書き込む方法及び3次元クロスバーアレイ接合部に格納された情報を読み出す方法 |
US8339832B2 (en) | 2005-12-28 | 2012-12-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Write-once nonvolatile memory with redundancy capability |
Families Citing this family (51)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060203541A1 (en) | 2003-03-18 | 2006-09-14 | Haruki Toda | Phase change memory device |
US20060067117A1 (en) * | 2004-09-29 | 2006-03-30 | Matrix Semiconductor, Inc. | Fuse memory cell comprising a diode, the diode serving as the fuse element |
KR20140015128A (ko) | 2004-10-18 | 2014-02-06 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
US7358590B2 (en) * | 2005-03-31 | 2008-04-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and driving method thereof |
US7486534B2 (en) * | 2005-12-08 | 2009-02-03 | Macronix International Co., Ltd. | Diode-less array for one-time programmable memory |
KR100859488B1 (ko) * | 2007-05-17 | 2008-09-24 | 주식회사 동부하이텍 | 비휘발성 반도체 메모리 소자 및 그 제조방법 |
KR20100041155A (ko) * | 2008-10-13 | 2010-04-22 | 삼성전자주식회사 | 저항성 메모리 소자 |
US8539395B2 (en) | 2010-03-05 | 2013-09-17 | Micronic Laser Systems Ab | Method and apparatus for merging multiple geometrical pixel images and generating a single modulator pixel image |
US9224496B2 (en) | 2010-08-11 | 2015-12-29 | Shine C. Chung | Circuit and system of aggregated area anti-fuse in CMOS processes |
US9019742B2 (en) | 2010-08-20 | 2015-04-28 | Shine C. Chung | Multiple-state one-time programmable (OTP) memory to function as multi-time programmable (MTP) memory |
US10249379B2 (en) | 2010-08-20 | 2019-04-02 | Attopsemi Technology Co., Ltd | One-time programmable devices having program selector for electrical fuses with extended area |
US9070437B2 (en) | 2010-08-20 | 2015-06-30 | Shine C. Chung | Circuit and system of using junction diode as program selector for one-time programmable devices with heat sink |
US10229746B2 (en) | 2010-08-20 | 2019-03-12 | Attopsemi Technology Co., Ltd | OTP memory with high data security |
US9711237B2 (en) | 2010-08-20 | 2017-07-18 | Attopsemi Technology Co., Ltd. | Method and structure for reliable electrical fuse programming |
US9431127B2 (en) | 2010-08-20 | 2016-08-30 | Shine C. Chung | Circuit and system of using junction diode as program selector for metal fuses for one-time programmable devices |
US10916317B2 (en) | 2010-08-20 | 2021-02-09 | Attopsemi Technology Co., Ltd | Programmable resistance memory on thin film transistor technology |
US10923204B2 (en) | 2010-08-20 | 2021-02-16 | Attopsemi Technology Co., Ltd | Fully testible OTP memory |
US8644049B2 (en) | 2010-08-20 | 2014-02-04 | Shine C. Chung | Circuit and system of using polysilicon diode as program selector for one-time programmable devices |
US9818478B2 (en) | 2012-12-07 | 2017-11-14 | Attopsemi Technology Co., Ltd | Programmable resistive device and memory using diode as selector |
US9496033B2 (en) | 2010-08-20 | 2016-11-15 | Attopsemi Technology Co., Ltd | Method and system of programmable resistive devices with read capability using a low supply voltage |
US9460807B2 (en) | 2010-08-20 | 2016-10-04 | Shine C. Chung | One-time programmable memory devices using FinFET technology |
US8830720B2 (en) | 2010-08-20 | 2014-09-09 | Shine C. Chung | Circuit and system of using junction diode as program selector and MOS as read selector for one-time programmable devices |
TWI462107B (zh) * | 2010-08-20 | 2014-11-21 | Chien Shine Chung | 電子系統、記憶體及其提供方法 |
US9251893B2 (en) | 2010-08-20 | 2016-02-02 | Shine C. Chung | Multiple-bit programmable resistive memory using diode as program selector |
US9042153B2 (en) | 2010-08-20 | 2015-05-26 | Shine C. Chung | Programmable resistive memory unit with multiple cells to improve yield and reliability |
US9236141B2 (en) | 2010-08-20 | 2016-01-12 | Shine C. Chung | Circuit and system of using junction diode of MOS as program selector for programmable resistive devices |
US9824768B2 (en) | 2015-03-22 | 2017-11-21 | Attopsemi Technology Co., Ltd | Integrated OTP memory for providing MTP memory |
US8488359B2 (en) | 2010-08-20 | 2013-07-16 | Shine C. Chung | Circuit and system of using junction diode as program selector for one-time programmable devices |
US9025357B2 (en) | 2010-08-20 | 2015-05-05 | Shine C. Chung | Programmable resistive memory unit with data and reference cells |
US8988965B2 (en) | 2010-11-03 | 2015-03-24 | Shine C. Chung | Low-pin-count non-volatile memory interface |
US9019791B2 (en) | 2010-11-03 | 2015-04-28 | Shine C. Chung | Low-pin-count non-volatile memory interface for 3D IC |
US8913449B2 (en) | 2012-03-11 | 2014-12-16 | Shine C. Chung | System and method of in-system repairs or configurations for memories |
US8923085B2 (en) | 2010-11-03 | 2014-12-30 | Shine C. Chung | Low-pin-count non-volatile memory embedded in a integrated circuit without any additional pins for access |
CN102544011A (zh) | 2010-12-08 | 2012-07-04 | 庄建祥 | 反熔丝存储器及电子系统 |
US10192615B2 (en) | 2011-02-14 | 2019-01-29 | Attopsemi Technology Co., Ltd | One-time programmable devices having a semiconductor fin structure with a divided active region |
US10586832B2 (en) | 2011-02-14 | 2020-03-10 | Attopsemi Technology Co., Ltd | One-time programmable devices using gate-all-around structures |
US8848423B2 (en) | 2011-02-14 | 2014-09-30 | Shine C. Chung | Circuit and system of using FinFET for building programmable resistive devices |
US9324849B2 (en) | 2011-11-15 | 2016-04-26 | Shine C. Chung | Structures and techniques for using semiconductor body to construct SCR, DIAC, or TRIAC |
US9136261B2 (en) | 2011-11-15 | 2015-09-15 | Shine C. Chung | Structures and techniques for using mesh-structure diodes for electro-static discharge (ESD) protection |
US8912576B2 (en) | 2011-11-15 | 2014-12-16 | Shine C. Chung | Structures and techniques for using semiconductor body to construct bipolar junction transistors |
US9007804B2 (en) | 2012-02-06 | 2015-04-14 | Shine C. Chung | Circuit and system of protective mechanisms for programmable resistive memories |
US9076526B2 (en) | 2012-09-10 | 2015-07-07 | Shine C. Chung | OTP memories functioning as an MTP memory |
US9183897B2 (en) | 2012-09-30 | 2015-11-10 | Shine C. Chung | Circuits and methods of a self-timed high speed SRAM |
US9324447B2 (en) | 2012-11-20 | 2016-04-26 | Shine C. Chung | Circuit and system for concurrently programming multiple bits of OTP memory devices |
US9412473B2 (en) | 2014-06-16 | 2016-08-09 | Shine C. Chung | System and method of a novel redundancy scheme for OTP |
US10726914B2 (en) | 2017-04-14 | 2020-07-28 | Attopsemi Technology Co. Ltd | Programmable resistive memories with low power read operation and novel sensing scheme |
US11615859B2 (en) | 2017-04-14 | 2023-03-28 | Attopsemi Technology Co., Ltd | One-time programmable memories with ultra-low power read operation and novel sensing scheme |
US10535413B2 (en) | 2017-04-14 | 2020-01-14 | Attopsemi Technology Co., Ltd | Low power read operation for programmable resistive memories |
US11062786B2 (en) | 2017-04-14 | 2021-07-13 | Attopsemi Technology Co., Ltd | One-time programmable memories with low power read operation and novel sensing scheme |
US10770160B2 (en) | 2017-11-30 | 2020-09-08 | Attopsemi Technology Co., Ltd | Programmable resistive memory formed by bit slices from a standard cell library |
US11133049B2 (en) * | 2018-06-21 | 2021-09-28 | Tc Lab, Inc. | 3D memory array clusters and resulting memory architecture |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000011725A1 (en) * | 1998-08-19 | 2000-03-02 | The Trustees Of Princeton University | Organic photosensitive optoelectronic device |
JP2002502128A (ja) * | 1998-02-02 | 2002-01-22 | ユニアックス コーポレイション | X−yアドレス指定可能な電気的マイクロスイッチアレイとこれを使用したセンサマトリックス |
US6385075B1 (en) * | 2001-06-05 | 2002-05-07 | Hewlett-Packard Company | Parallel access of cross-point diode memory arrays |
JP2003036684A (ja) * | 2001-06-05 | 2003-02-07 | Hewlett Packard Co <Hp> | 不揮発性メモリ |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2228271B1 (ja) * | 1973-05-04 | 1976-11-12 | Honeywell Bull Soc Ind | |
CA1135854A (en) * | 1977-09-30 | 1982-11-16 | Michel Moussie | Programmable read only memory cell |
US4545111A (en) | 1983-01-18 | 1985-10-08 | Energy Conversion Devices, Inc. | Method for making, parallel preprogramming or field programming of electronic matrix arrays |
US4569120A (en) * | 1983-03-07 | 1986-02-11 | Signetics Corporation | Method of fabricating a programmable read-only memory cell incorporating an antifuse utilizing ion implantation |
US6545898B1 (en) * | 2001-03-21 | 2003-04-08 | Silicon Valley Bank | Method and apparatus for writing memory arrays using external source of high programming voltage |
US6567295B2 (en) * | 2001-06-05 | 2003-05-20 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Addressing and sensing a cross-point diode memory array |
-
2002
- 2002-05-31 US US10/160,802 patent/US6813182B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-12-25 TW TW091137356A patent/TW200307293A/zh unknown
-
2003
- 2003-03-31 CN CNA2008100012889A patent/CN101232039A/zh active Pending
- 2003-03-31 CN CNB031084168A patent/CN100375289C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-05-16 EP EP03253060A patent/EP1367596A1/en not_active Withdrawn
- 2003-05-19 JP JP2003140244A patent/JP2004006877A/ja active Pending
- 2003-05-30 KR KR10-2003-0034764A patent/KR20030094054A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002502128A (ja) * | 1998-02-02 | 2002-01-22 | ユニアックス コーポレイション | X−yアドレス指定可能な電気的マイクロスイッチアレイとこれを使用したセンサマトリックス |
WO2000011725A1 (en) * | 1998-08-19 | 2000-03-02 | The Trustees Of Princeton University | Organic photosensitive optoelectronic device |
US6385075B1 (en) * | 2001-06-05 | 2002-05-07 | Hewlett-Packard Company | Parallel access of cross-point diode memory arrays |
JP2003036684A (ja) * | 2001-06-05 | 2003-02-07 | Hewlett Packard Co <Hp> | 不揮発性メモリ |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7218482B2 (en) | 2004-01-26 | 2007-05-15 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Micro-actuator, head gimbal assembly and manufacturing method thereof |
JP2007200521A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-08-09 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 不揮発性メモリおよびその書き込み方法、並びに半導体装置 |
US8339832B2 (en) | 2005-12-28 | 2012-12-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Write-once nonvolatile memory with redundancy capability |
JP2010522987A (ja) * | 2007-03-28 | 2010-07-08 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. | 3次元クロスバーアレイシステム、並びに3次元クロスバーアレイ接合部に情報を書き込む方法及び3次元クロスバーアレイ接合部に格納された情報を読み出す方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6813182B2 (en) | 2004-11-02 |
KR20030094054A (ko) | 2003-12-11 |
EP1367596A1 (en) | 2003-12-03 |
CN101232039A (zh) | 2008-07-30 |
CN100375289C (zh) | 2008-03-12 |
CN1462073A (zh) | 2003-12-17 |
TW200307293A (en) | 2003-12-01 |
US20030223270A1 (en) | 2003-12-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2004006877A (ja) | 追記型メモリで使用するための異方性半導体シート | |
US6646912B2 (en) | Non-volatile memory | |
US6552409B2 (en) | Techniques for addressing cross-point diode memory arrays | |
US6456525B1 (en) | Short-tolerant resistive cross point array | |
JP4037407B2 (ja) | クロスポイント抵抗素子を含むクロスポイントメモリアレイ用のアドレス指定回路 | |
US6879508B2 (en) | Memory device array having a pair of magnetic bits sharing a common conductor line | |
KR100392446B1 (ko) | 스케일가능 집적 데이터 처리 디바이스 | |
CN100401422C (zh) | 寻址交叉点存储器阵列的电路、存储器模块和寻址方法 | |
JP2004006877A5 (ja) | ||
JP2003036684A5 (ja) | ||
CA2353496C (en) | Scalable data processing apparatus | |
US20050195640A1 (en) | Two-component, rectifying-junction memory element | |
US6661704B2 (en) | Diode decoupled sensing method and apparatus | |
TWI328873B (en) | Thin film fuse phase change cell with thermal isolation layer and manufacturing method | |
US20050128801A1 (en) | Magnetic random access memory device and a method of switching a magnetic orientation of memory elements therein | |
US7505306B2 (en) | Magnetic memory device | |
JP2004235510A (ja) | 磁気記憶装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050106 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050106 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070425 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070501 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20070726 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20070731 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071024 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20071127 |