JP2004006877A - 追記型メモリで使用するための異方性半導体シート - Google Patents

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Abstract

【課題】クロスポイントダイオードメモリ層の2次元メモリアレイの行線と列線との間に挟着することができる異方性半導体材料の薄シートを提供する。
【解決手段】2次元クロスポイントダイオードメモリアレイの行線と列線との間に配置されることにより、アレイの各格子点に対しヒューズ・ダイオードメモリ素子としての役割を果たす、小型分子有機化合物を含むシート状の異方性の半導体材料を提供する。異方性半導体材料は、ドナー/アクセプタ有機接合デバイスを提供するように形成されまたは互いに貼合される異なる小型分子有機化合物からなる2つの層を含む。半導体シートが異方性であるため、および電流が概して半導体シートの平面を流れないため、メモリアレイ格子の行線と列線との間に単一の異方性半導体シートを狭着することにより、メモリアレイ格子に対しすべてのメモリ素子を提供することができる。
【選択図】図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、メモリデバイスに関し、特に、ヒューズ・ダイオードメモリ素子の2次元アレイとして異方性半導体シートを採用するクロスポイントダイオードメモリデバイスに関する。
【0002】
【従来の技術】
コンシューマエレクトロニクス(consumer electronics)においてコンピュータプロセッサおよびデジタルデータ記憶装置がますます一般的に使用されてくるにしたがい、高容量であるが安価なデジタル記憶装置に対する必要が大幅に増大してきた。場合によっては、十分安価で高容量のデジタルメモリデバイスがないために、動作中に大量のデジタルデータを格納する、新たなコンシューマエレクトロニクス機器のマーケティングが阻害された。安価で高容量のデジタルメモリを必要とするコンシューマ電子機器の例は、高解像度デジタルカメラである。デジタルカメラは、人気が上昇しているが、目下、世間一般に広く受入れられるためにはまだ非常に高価である。さらに、ずっと高解像度なデジタルカメラを製造することが可能であるが、これらのより高解像度のデジタルカメラによって取込まれるより高解像度イメージに対するデジタルカメラ記憶要件により、それらの動作コストがさらに増大する。
【0003】
デジタルデータは、一般に、回転する磁気ディスクドライブと、EEPROMおよびフラッシュメモリ等の半導体ベースメモリと、に格納される。ディスクドライブは、高価であり、幾分大量の電力を消費し、多くのコンシューマ機器には頑強性が不十分である。フラッシュメモリはまだ頑強であるが、マイクロプロセッサおよび他の半導体電子機器を制作するために使用される写真平板技術によって製作されるために、安価なコンシューマ電子機器に使用するためか、もしくはデジタルカメラで取込まれたデジタルイメージを格納するなど追記型(write−once)コンシューマアプリケーションのためには、目下非常に高価である。
【0004】
近年、デジタルカメラ等のコンシューマ電子機器において高容量の追記型メモリとしての役割を果たすために、新たなクロスポイントダイオードメモリ(cross−point diode memory)が開発された。図1は、クロスポイントダイオードメモリモジュールの一部の切取等角図である。クロスポイントダイオードメモリモジュールは、複数の同一の積重ねられた層を有する。図1には、層101〜113を示す。各層は、2次元メモリアレイ118が形成される基板116を備える。2次元メモリアレイは、行および列の導電素子または線を備え、それらは互いに格子状パターンを形成する。2次元メモリアレイの行線は、行マルチプレクサ/デマルチプレクサ回路124を介して入出力(「I/O」)リード120〜123に電子的に結合される。列線は、列マルチプレクサ/デマルチプレクサ回路130を介して列I/Oリード126〜129に結合される。行I/Oリード120〜123と列I/Oリード126〜129とは、行I/Oリード120が接続される接点素子132等、クロスポイントダイオードメモリモジュールの側面に沿って延在することにより、メモリモジュールのすべての層101〜113の行I/Oリードおよび列I/Oリードを電子的に相互接続する接点素子と、電子的に接続される。2次元メモリアレイ118の行線および列線の各格子点交差部は、単一の2値記憶素子を表す。なお、後述するように、行線は格子点交差部において列線と物理的に接触しないが、メモリ素子を通して連結される。接点素子132等の接点素子において適当な電流をもたらすことにより、読出しまたは書込みのために各メモリ素子に電子的にアクセスすることができる。
【0005】
図2は、クロスポイントダイオードメモリデバイスの1つの層からの2次元メモリアレイの単一メモリ素子を示す。図2では、行線202の一部を列線204の一部に対して直交しかつその上にあるように示す。上述したように、行線202と列線204との交差部は、格納されたデジタル情報の単一ビットに対応する。クロスポイントダイオードメモリでは、図2の行202および列204等、交差する行線および列線は、メモリ素子206を通して電気的に結合される。電気的に、メモリ素子は、直列のヒューズ208とダイオード210とを備える。
【0006】
デジタル2進数またはビットは、2つのあり得る値、すなわち「0」および「1」のうちの1つを有することができる。デジタルメモリデバイスにデジタルデータを格納する物理媒体は、概して、相互変換することができ物理信号を介して検出することができる、2つの異なる物理状態を有する。図2のメモリ素子206等のクロスポイントダイオードメモリ素子の場合、2つの2値状態のうちの一方は、無傷の(intact)ヒューズ208によって表され、2つの2値状態のうちの他方は、切断した(blown)ヒューズ208によって表される。ハードディスクドライブ等の読出し/書込みメモリと異なり、クロスポイントメモリ素子を、ヒューズが無傷の状態からヒューズが切断した状態に1回だけ変化させることができ、このためクロスポイントダイオードメモリは概して追記型メモリである。メモリ素子206のダイオード210コンポーネントは、行線と列線との間の望ましくない電気経路を除去する役割を果たす。メモリ素子206のヒューズコンポーネント208が無傷である場合、メモリ素子206の電気抵抗は比較的低く、電流は行線202と列線204との間を流れることができる。メモリ素子の状態をヒューズが無傷の状態からヒューズが切断した状態に変化させるためには、行線202と列線204との間のメモリ素子206にずっと高い電流を流し、ヒューズコンポーネント208が破壊するようにする。ヒューズコンポーネント208が破壊すると、メモリ素子206の電気抵抗が相対的に高くなり、行線202からメモリ素子206を通って列線204に、比較的わずかな電流が流れるかまったく電流が流れないようにすることができる。このように、クロスポイントダイオードメモリのメモリ素子に書込みを行うか、高電流信号を介してヒューズ無傷状態からヒューズ切断状態に変化させることができ、メモリ素子の状態を、メモリ素子が比較的低い電流信号を流すか否かを判断することによって判断することができる。
【0007】
図2に示すヒューズ・ダイオードメモリ素子206等のヒューズ・ダイオードメモリ素子を製造するために安価で効率的な技術を見つけることができた場合、図1および図2に示すクロスポイントダイオードメモリモジュールは、コンシューマエレクトロニクス機器の高容量であるが安価なデジタルデータ記憶コンポーネントとしての役割を果たすことができる。このため、安価で高容量のデジタルデータ記憶コンポーネントを必要とするコンシューマエレクトロニクス機器の設計者および製造業者は、クロスポイントダイオードメモリ素子を製造する安価かつ効率的な方法が必要であることを認めている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、クロスポイントダイオードメモリ層の2次元メモリアレイの行線と列線との間に挟着することができる異方性半導体材料の薄シートを提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
異方性半導体材料は、一方が他方の上にある安定した薄膜で形成するかまたは互いに貼合せることができる、小型分子有機化合物から構成され、ドナー/アクセプタ有機接合デバイスを生成することができる。ドナー/アクセプタ有機接合デバイスは、本質的にダイオードである。薄膜は、薄膜の平面に対して垂直な方向に比較的低い電気抵抗を有し、薄膜の平面において比較的高い電気抵抗を有するように製造することができ、したがって異方性である。半導体シートが電気抵抗に関して異方性であるため、メモリ素子を、高価な写真平板技術によって製造する必要がなく、もしくは行線および列線の寸法および方向に対応するように別の方法で製造する必要がなく、代りにそれらは、異方性ドナー/アクセプタ有機接合材料をメモリアレイ格子点に近接して配置することからもたらされる。
【0010】
異方性半導体シートは、2次元メモリアレイの交差する行線と列線との間を一方向に電流を流す。列線と行線との間を高電圧または高電流信号が流れると、異方性半導体シートを形成する小型分子化合物が気化し、異方性半導体シートの、高電流または高電圧が通過する行線と列線との交差部に間隙が残る。間隙が形成されると、列線と行線との間にもはや比較的低い電流信号は流れず、このため、異方性半導体シートは、クロスポイントダイオードメモリ素子のヒューズコンポーネントとしての役割を果たす。したがって、小型分子有機化合物の薄膜から構成される異方性半導体シートは、クロスポイントダイオードメモリデバイスの2次元メモリアレイの各格子点においてヒューズ・ダイオードメモリ素子のアレイとしての役割を果たす。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施形態は、2次元クロスポイントダイオードメモリアレイの行線と列線との間に配置されることにより、アレイの各格子点に対しヒューズ・ダイオードメモリ素子としての役割を果たす、小型分子有機化合物を含むシート状の異方性の半導体材料を提供する。異方性半導体材料は、ドナー/アクセプタ有機接合デバイスを提供するように形成されまたは互いに貼合される異なる小型分子有機化合物からなる2つの層を含む。2つの化学的に別個の層の間の界面によって表されるドナー/アクセプタ有機接合は、メモリ素子のダイオード機能をもたらし、薄膜を構成する容易に気化する小型分子有機化合物は、メモリ素子のヒューズ機能を提供する。半導体シートが異方性であるため、および電流が概して半導体シートの平面を流れないため、メモリアレイ格子の行線と列線との間に単一の異方性半導体シートを狭着することにより、メモリアレイ格子に対しすべてのメモリ素子を提供することができる。
【0012】
分子は、共有結合、概して分子内の2つ以上の原子間で共有される電子が存在する結合性分子軌道を介して、互いに結合される原子を有する。分子の電子は、別々のエネルギ準位を有する分子軌道を占有し、または言換えれば、量子化エネルギ準位状態または量子状態を占有する。固体では、固体内の隣接する分子の分子軌道を結合することにより、固体内の非局在化分子軌道に存在している電子が固体内を比較的自由に移動することができるようにする非局在化軌道をもたらすことができる。この移動度により、非局在化軌道を占有する電子が、固体内に電流を伝えることができる。
【0013】
有機ダイオードの動作を、分子軌道電子エネルギ準位の挙動によって説明することができる。零度での最高エネルギ占有分子軌道(Highest energy Occupied Molecular Orbital)をHOMOと示し、最低エネルギ非占有分子軌道(Lowest energy Unoccupied Molecular Orbital)をLUMOと示す。2つの有機材料のドナー・アクセプタ接合を、図3に示すエネルギ図によって表すことができる。ドナー材料は、銅フタロシアニン(「CuPc」)とすることができ、アクセプタ材料は、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボキシリック−ビス−ベンズイミダゾール(3,4,9,10−perylenetetra−carboxylic−bis−benzimidazole(「PTCBI」))とすることができる。図3および図4に示すように、バイアス下で、エネルギ準位は傾く。図4において、接合は順方向バイアス状態にある。電子はカソード402からドナーのLUMOに注入されそこからアクセプタのLUMOに注入され、アノード404への電気回路を完了する。
【0014】
図5は、逆バイアス状態の接合を示す。ここでは、電子はアクセプタのLUMOに注入されるが、エネルギ障壁E502によりドナーのLUMOに入るのが妨げられる。したがって、このドナー・アクセプタ接合は、ダイオードのように作用し、順方向バイアス下では電流を自由に流し逆バイアスでは電流を遮る。
【0015】
ヒューズは、過度な電流から電気回路を保護するために使用される単純な電気デバイスである。ヒューズが回路に挿入されることにより、電流がある閾値を超過すると、ヒューズが破壊し、回路が遮断され閾値より上の電流が流れなくなる。回路ブレーカパネルが出現する前は、家庭用回路では、単純なねじ込みヒューズが一般的であった。これらの家庭用ヒューズは、ソケットにねじ込まれ、ヒューズの上部の透明な窓を通して見える薄い金属ストリップに電流が流れるように仕向けていた。家庭用回路の電流が閾値を超過した場合、金属箔が灰化し、それによって回路が遮断され、内部の家庭用回路が破損から保護される。
【0016】
図1および図2に示す2次元メモリアレイを、マイクロチップ内の複雑な回路が製造される方法と同様に、写真平板プロセスを介してシリコンベース半導体材料から形成することが可能である。このプロセスにより、ダイオード・ヒューズメモリ素子を、行線と列線との間のアレイの各格子点に置くことができる。不都合なことに、写真平板プロセスは、ハイエンドコンピュータおよび電子機器において概して幾度も使用されるマイクロプロセッサおよびRAMメモリには経済的であるが、写真フィルムにアナログの写真を格納するのに類似してデジタルカメラ内にデジタル写真を格納する等、追記型コンシューマアプリケーションには高価でありすぎる。
【0017】
本発明は、連続シート状の異方性ドナー/アクセプタ有機材料が、高価な超微細製造技術(マイクロマニュファクチャリング)を必要とすることなく、クロスポイントダイオードメモリの層の2次元メモリアレイ全体のためのメモリ素子の役割を果たすことができる、という認識から生まれた。図6は、本発明の一実施形態を表す単一メモリ素子を示す。図6は、図2において先に例示したように、2次元メモリアレイ内の行線602と列線604との間の交差部を示す。しかしながら、別個の超微細製造されたアレイ素子(図2の206)の代りに、本発明の一実施形態によって構成されるメモリ素子は、行線602と列線604との間に一定量のドナー/アクセプタ有機接合シート材料606を有する。有機シートは、薄いドナー層610と、それに対して形成されるかまたはそれに貼合される薄いアクセプタ層608と、を備える。図6に示す向きでは、電流は列線604から行線602に流れることができるが、行線602から列線604には、わずかな逆電流しか流れることができない。このため、ドナー/アクセプタ有機接合シート606は、図2に示すメモリ素子のダイオードコンポーネントとしての役割を果たす。
【0018】
ドナー/アクセプタ有機接合シート606は、閾値電流より上では物理的に不安定であるため、図2に示すメモリ素子のヒューズコンポーネントとしての役割も果たす。図7は、列線604と行線602との間のドナー/アクセプタ有機接合シートに対する破壊閾値電流を超過する電流が流れた後の、図6に示す2次元格子点交差部を示す。閾値より高い電流は、格子点交差部の間のおよびその近傍のドナー/アクセプタ有機接合シートを気化させ、行線602と列線604との間の空乏領域、すなわち間隙702を残す。間隙は空気で充填されており、行線602と列線604との間の抵抗器の挿入と等価である。代替的に、ドナー/アクセプタ有機接合シートの層を、格子点交差部の間におよびその近傍において高電圧で局部的に剥離してよく、同様に、層間剥離に続いて電気を伝導しなくなるようにしてよい。このように、図6および図7は、本発明の一実施形態によって構成される2次元アレイ格子点におけるメモリ素子の2つの2値状態を示し、図6はヒューズ無傷状態を示し、図7はヒューズ切断状態を表す。ヒューズ無傷状態は、2値「1」を表してよく、ヒューズ切断状態は、2値「0」を表してよく、あるいは代替的な取決めにより、ヒューズ無傷状態が2値「0」を表してよく、ヒューズ切断状態が2値「1」を表してよい。
【0019】
本発明の一実施形態のドナー/アクセプタ有機接合シートに必要な追加の特性は、それがシートの平面に対して垂直な方向に電流を伝導するが、シートの平面に対して平行な方向には電流をほとんどかまったく伝導しない、というものである。この通電異方性は、メモリ素子の超微細製造を必要とすることなく各2次元メモリアレイ格子点に電気的に別個のメモリ素子を提供する。電流がシートの平面に対して平行な方向に伝導されないため、電流は、ドナー/アクセプタ有機接合シートを通ってアクティブな格子点から非アクティブな格子点まで流れることができず、したがって2次元メモリアレイを短絡させる。さらに、格子点において書込み動作中にメモリ素子を切断する強電流が採用される場合、強電流はドナー/アクセプタ有機接合シート内で横方向に移動して他の格子点のメモリ素子ヒューズを切断することはできない。
【0020】
したがって、ドナー/アクセプタ有機接合シートは、2次元メモリアレイにおける上述した使用のために以下の特性を有していなければならない。すなわち、(1)優れた整流比、言換えれば、ドナー/アクセプタ有機接合シートは、シートの平面に対して垂直な順方向において比較的低い電気抵抗で電流を流すが、反対の逆方向では比較的高い電気抵抗で電流を流さなければないということと、(2)メモリ読出し動作中に印加される電圧より高い電圧での物理的不安定性と、(3)順方向における低電気抵抗すなわち高導電率と、(4)順方向における安定した電気抵抗すなわち高導電率と、である。さらに、ドナー/アクセプタ有機接合シートが、所定の公差まで容易に製造され、比較的安価であり、メモリ読出し動作中に印加される電圧以下の電圧でかつメモリデバイスが晒されることが予期される温度の範囲内で物理的に安定することが望ましい。
【0021】
クロスポイントダイオードメモリ内の2次元メモリアレイの複数のメモリ素子として使用する連続ドナー/アクセプタ有機接合シートを、ドナータイプ材料CuPcの薄膜をアクセプタタイプ材料PTCBIの薄膜に貼合せるかまたはその上に形成するものとして製造することができる。図8Aは、CuPcの化学構造を示し、図8Bは、PTCBIの化学構造を示す。CuPcおよびPTCBIの層を含む2層ドナー/アクセプタ有機接合シートは、先の段落で上述したクロスポイントダイオードメモリアプリケーションに必要な高電流での電流異方性および物理的不安定性を有する。本発明によるクロスポイントダイオードメモリアプリケーションにおいて役立つことができるドナー/アクセプタ有機接合シートに対し、他の多くの化学的組成が可能である。各層が1つまたは複数の小型分子有機化合物からなる2層有機シートが適当であるが、適当な異方性および高電流不安定性の特性を有する多層ドナー/アクセプタ有機接合シートを使用してよい。たとえば、CuPcの代りに、多くの異なる代用フタロシアニン、またはポルフィリン、テトラベンゾポルフィリンまたはテトラアザポルフィリン等の関連する有機分子を採用してよく、PTCBIの代りに、多くの適当に代用されるペリレン、またはあらゆるペリレンテトラカルボン酸アミドおよびペリレンテトラカルボキシリックジイミド等、他の大型の縮合環分子を使用してよい。
【0022】
本発明を特定の実施形態に関して説明したが、本発明がこの実施形態に限定されることは意図されていない。当業者には、本発明の理念内での変更が明らかとなろう。たとえば、上述したように、図2および図4〜図5に示す連続シートメモリ素子アプリケーションに必要な通電異方性および高電流物理的不安定性を有する、いかなる単層、2層または多層ドナー/アクセプタ有機接合シートも、本発明の範囲内にある。なお、本発明を、図1に示すクロスポイントダイオードメモリデバイスに採用してよいが、本発明の連続ドナー/アクセプタ有機接合シートが複数のダイオード・ヒューズメモリ素子に対して採用される場合、異なる内部構造を有する追記型メモリデバイスで採用してもよい。
【0023】
例示の目的のために、上述した説明は、本発明の完全な理解を提供するために特定の術語を使用した。しかしながら、当業者には、特定の詳細が本発明を実施するために必ずしも必要ではない、ということが明らかとなろう。言換えれば、基礎となる発明から不必要にずれることを回避するために、既知の回路およびデバイスをブロック図形態で示している。このため、本発明の特定の実施形態の上述した説明は、例示および説明の目的のために提供するものであり、網羅的であるようにも本発明を開示した厳密な形態に限定するようにも意図されておらず、明らかに、上記教示を鑑みて多くの変更および変形が可能である。本発明の原理とその実際的な適用とを最もよく説明するため、および、それにより当業者が、本発明とあらゆる実施形態とを企図される特定の使用に適するようにあらゆる変更を行って最もよく利用することができるように、実施形態を選択し説明した。本発明の範囲は、以下の特許請求の範囲とそれらの等価物とによって画定される、ということが意図されている。
【図面の簡単な説明】
【図1】クロスポイントダイオードメモリモジュールの一部の切取等角図である。
【図2】クロスポイントダイオードメモリの層からの2次元メモリアレイの単一メモリ素子を示す。
【図3】ドナー/アクセプタ有機接合デバイスを示す。
【図4】ドナー/アクセプタ有機接合デバイスを示す。
【図5】ドナー/アクセプタ有機接合デバイスを示す。
【図6】本発明の一実施形態を表す単一メモリ素子を示す。
【図7】列線と行線との間の比較的高い電流の通過後の、図6に示す2次元格子点交差部を示す。
【図8A】銅フタロシアニンの化学構造を示す。
【図8B】3,4,9,10−ペリレンテトラカルボキシリック−ビス−ベンズイミダゾールの化学構造を示す。
【符号の説明】
202、602 行線
204、604 列線
606 連続ダイオードシート
206 ダイオード・ヒューズメモリ素子
208 ヒューズ
210 ダイオード

Claims (10)

  1. 電子メモリアレイで使用され、2次元メモリアレイ内で行線を列線に結合する連続ダイオードシートであり、該電子メモリアレイの各交差する行・列線格子点の間の該ダイオードシートの部分がダイオード・ヒューズメモリ素子としての役割を果たす、連続ダイオードシートであって、
    半導体接合シートを有し、
    該半導体接合シートは、
    順方向バイアス下では、該ダイオードシートに対して垂直な方向に高導電率を有するが逆バイアス下では低導電率を有し、ゆえにダイオードであり、
    閾値電流より大きい電流が間に流れる行線と列線との間の部分内で物理的に劣化し、ゆえにヒューズとしての役割を果たし、
    前記シートに対して平行な方向において電流の流れに抵抗し、前記電子メモリアレイの行・列線格子点間の前記ダイオードシートの部分が、前記電子メモリアレイの他の行・列線格子点の間の前記ダイオードシートの他のすべての部分から相対的に電気的に隔離されるようにする、
    連続ダイオードシート。
  2. 連続ダイオードシートであって、
    銅フタロシアニンの薄膜からなる第1層と、それが接合された3,4,9,10−ペリレンテトラカルボキシリック−ビス−イミダゾールの薄膜からなる第2層と、を有する請求項1記載の連続ダイオードシート。
  3. 請求項1記載の前記連続ダイオードシートを含む電子メモリアレイであって、
    一組の実質的に平行な導電行線と、
    一組の実質的に平行な導電列線と、
    前記一組の導電行線と前記一組の導電列線との間にあって、該一組の導電行線と該一組の導電列線に対して実質的に平行な上面および下面を有し、行線と列線との各交差点における該ダイオードシートの局部は、ダイオード・ヒューズメモリ素子を構成する前記連続ダイオードシートと、
    を有する電子メモリアレイ。
  4. 前記ダイオードシートの電気抵抗は異方性であり、該ダイオードシートの前記上面および下面に対して垂直な方向には低電気抵抗であり、逆方向および該ダイオードシートの前記上面および下面に対して実質的に平行なすべての方向には高電気抵抗である請求項3記載の電子メモリアレイ。
  5. 前記行線および列線に結合された外部からアクセス可能な導電コネクタをさらに含む請求項4記載の電子メモリアレイ。
  6. 各ダイオード・ヒューズメモリ素子は、1ビットの情報を格納する請求項4記載の電子メモリアレイ。
  7. 切断されたダイオード・ヒューズメモリ素子はビット「1」を表し、無傷のダイオード・ヒューズメモリ素子はビット「0」を表す請求項6記載の電子メモリアレイ。
  8. 切断されたダイオード・ヒューズメモリ素子はビット「0」を表し、無傷のダイオード・ヒューズメモリ素子はビット「1」を表す請求項6記載の電子メモリアレイ。
  9. 2次元メモリアレイを構成する方法であって、
    基板に平行導電線の第1の組を提供するステップと、
    前記平行導電線の第1の組の上部に、ドナー/アクセプタ有機接合シートを積層するステップとを含み、
    該ドナー/アクセプタ有機接合シートは、
    該シートに対して垂直な一方向には電流を伝導し、ゆえにダイオードとして作用し、
    閾値電流より大きい電流が間に流れる行線と列線との間の部分で物理的に不安定であり、
    該シートに対して平行な方向において前記電流の流れに抵抗し、前記2次元メモリアレイの行・列線格子点間の該ドナー/アクセプタ有機接合シートの部分が、該2次元メモリアレイの他の行・列線格子点間の該ドナー/アクセプタ有機接合シートの他のすべての部分から相対的に電気的に隔離されるようになっており、
    前記ドナー/アクセプタ有機接合シートの上部に、前記平行導電線の第1の組に対して垂直な平行導電線の第2の組を配置するステップと、
    前記行線および列線に結合される外部からアクセス可能な導電コネクタを提供するステップと、
    を有する方法。
  10. 前記ドナー/アクセプタ有機接合シートは、銅フタロシアニンの薄膜からなる第1層と、それが接合された3,4,9,10−ペリレンテトラカルボキシリック−ビス−イミダゾールの薄膜からなる第2層と、を有する請求項9記載の方法。
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