JP2004006402A - ガス放電パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

　【課題】従来の製造方法によるプラズマディスプレイパネルは画像が安定しない。
　【解決手段】表示電極１を有するパネル基板４と、パネル基板４と対向し、データ電極５を有するパネル基板８と、パネル基板４，８との間にガス放電用空間を形成するための、それら双方の基板の外周端縁部の間に設けられた封着部材９と、パネル基板８に設けられた隔壁７とを備えたガス放電パネルの製造方法であって、パネル基板４、８と封着部材９とを利用してガス放電パネルを組み立てる工程と、パネル基板８に形成された貫通孔８ａを介してガス放電用空間と連通する配管部材１３を、貫通孔８ａを有するパネル基板８に取り付ける工程と、配管部材を用いてガス放電用空間に放電用ガスを封入する工程と、配管部材の周囲圧力を封入された放電用ガスの内圧より高くして配管部材を封止する工程を備える。
　【選択図】　図６

Description

　本発明は、ガス放電パネルの製造方法に関する。

　従来から、ガス放電パネルの一例としては図７で示すようなＡＣ型のプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰという）が知られている。

　以下図面を参照しながら、従来のＰＤＰのパネル構成とその動作を説明する。

　図２０は、従来のＰＤＰの模式的な断面斜視図である。

　同図において、４はフロント基板（上部パネル基板とも呼ぶ）であり、８はバック基板（下部パネル基板とも呼ぶ）である。外囲器１０は、フロント基板４とバック基板８とが対向配置され、その外周端縁部の間には、ガス放電用空間を形成するために低融点ガラスからなる封着部材９（図２１参照）により封着されており、その密閉空間に、３００Ｔｏｒｒから５００Ｔｏｒｒの希ガス（ヘリウム及びキセノンの混合ガス）が封入された構成である。

　フロント基板４は、フロントパネルガラス２０１と、そのフロントパネルガラス２０１上にパターン形成された表示電極１と、それを覆う様に形成された誘電体膜２と、その上に形成されるＭｇＯ保護膜３から構成されている。

　一方、バック基板８は、バックパネルガラス２０２と、バックパネルガラス２０２の表面にパターン形成されたアドレス電極５（データ電極とも呼ぶ）と、それを覆うように成膜形成された誘電体６と、複数のリブからなる隔壁７と、それらリブ同士の間に塗布されたＲＧＢの蛍光体１１ａ〜１１ｃから構成されている。ここで、隔壁７は、上記ガス放電用空間を区切るための手段である。このようにして区切られた空間部１２が発光領域となるものであり、蛍光体１１は、この発光領域毎に塗布されている。又、隔壁７のリブとアドレス電極５とは同一方向に形成されており、表示電極１はアドレス電極５と直交している。

　以上のように構成された外囲器１０は、アドレス電極５，表示電極１に適当なタイミングで電圧を印加することにより、表示画素に相当する、隔壁７で区切られた空間部１２で放電が起こり、紫外線が発生し、その紫外線に励起されたＲＧＢ蛍光体１１ａ〜ｃから可視光が放出されそれが画像として表示されるのである。

　尚、フロントパネルガラスとバックパネルガラスは内部に、放電ガスを封入して、封着されているが、一般には封入された放電ガス圧力が大気圧より低いため、内側に向けて大気圧によって押される状態となり、隔壁７の上端部即ち各リブの頂点とフロントパネルガラス２０１の内面とが接触しており、フロントパネルガラス２０１とバックパネルガラス２０２の間隙を保持している。従って、隔壁７の上端部とフロントパネルガラス２０１の内面とは接着する必要がなく、単に接触させる構造である。
次に、このような従来のＰＤＰの製造方法について図面を参照しながら述べる。

　図２１は、図２０で示したものと同じ従来のＰＤＰの模式的な部分的な断面斜視図である。

　図２１に示す様に、フロント基板４については、ガラス基板２０１上に電極１を形成し、それを覆って誘電体２を成膜し、焼成し、その上に保護膜（ＭｇＯ）３をＥＢ蒸着によって成膜して製作する。

　又、バック基板８については、ガラス基板２０２上に電極５を形成し、それを覆って誘電体膜６を成膜し、焼成し、その上一面に印刷によって隔壁材料を成膜した後、サンドブラストによって、隔壁７を形成しない部分を削り取り、焼成工程を経てライン状になった隔壁７を形成する。その後、隔壁７のリブ間に印刷法等によって蛍光体１１を充填し、乾燥し、焼成して製作する。

　このようにして完成したフロント基板４とバック基板８は、周囲に低融点ガラスを封着部材９として塗布した後、焼成することで封着し、チップ管（配管部材とも呼ぶ）１３より真空引きをした後、希ガスを封入し、チップオフし、ＰＤＰを完成させるものである。

　次に、チップ管１３を用いた希ガスの封入と、チップオフについて、図２１，２０を用いて更に詳細に述べる。

　すなわち、図２１に示すように、従来のＰＤＰ（ガス封入後の器）を製造する際には、下部パネル基板８に形成された貫通孔８ａを通じて外囲器１０内のガス放電用空間と連通する配管部材１３を下部パネル基板８の外部位置に取り付ける。次に、この配管部材１３を介して、外囲器（ガス封入前の器）１０内の排気及び放電ガスの封入を実行した後、配管部材１３の封止に伴って外囲器１０の内部を密封することが行われている。

　ここで、この配管部材１３を封止する場合、図２２（ａ）で示すように、ガスバーナ１４などを用いて、配管部材１３の封じ切り部分１３ａを外部から加熱しながら軟化及び溶融させる。その後、図２２（ｂ）で示すように、軟化及び溶融した封じ切り部分１３ａの下側部分を外囲器１０から遠ざける方向に移動させることによって配管部材１３の材料収縮を生じさせた後、図２２（ｃ）で示すように、配管部材１３を溶断するという方法が行われている。この様に従来の場合、外囲器１０の内圧よりも大気圧の方が高いため、材料収縮が生じた配管部材１３の封じ切り部分１３ａは、配管の内壁部が収縮して完全に閉塞されることになる。

　尚、下部パネル基板８には外囲器１０内の排気時及び放電ガスの封入時に使用された配管部材１３が封止部材９と同等の材料を用いて接着されたままで残っている。

　しかしながら、上記のような従来のＰＤＰの構成では、フロント基板４とバック基板８は、その周辺が封着用のフリットガラス（封着部材９）によって固定されているものの、大部分は外側から加わる大気圧とフロント基板とバック基板間に封入された１気圧以下の気体との圧力差によってフロント基板が隔壁に押さえつけられる形で固定され、その形状が保たれている。

　又、封入される気体は一般には３００Ｔｏｒｒから５００Ｔｏｒｒであり大気圧７６０Ｔｏｒｒとの差はそれほど大きくない。

　そのため、例えば、飛行機等に従来のＰＤＰを搭載していて、飛行機内部の気圧が通常の大気圧に比べて非常に低下する様な飛行条件となった場合、従来のＰＤＰの構成では、ＰＤＰの中央部においてフロント基板の内面が隔壁の上端部から浮き上がり、クロストークが生じると言う課題があった。

　又、通常の大気圧下においても、ＰＤＰに振動が加わると、一時的にフロント基板が隔壁と離れるため、クロストークが生じて、画像が乱れるという課題もあった。

　このため、従来のＰＤＰの構成では、電車、バス等の乗り物に搭載した場合、振動などにより画像が乱れる等の課題を有していた。

　更に、従来のＰＤＰの製造過程においては多くの焼成工程を有しており、多くの電気炉が必要であるために、光熱費が非常に高くつき、省エネルギーによる効率的な生産を実現し難いという課題もあった。

　一方、上述した従来のＰＤＰの構成では、必ずしも十分に満足すべき輝度を得ることができないという課題があった。輝度の向上を実現するためには、外囲器１０内に封入された放電ガスの内圧を５００Ｔｏｒｒを越える程度以上にまで高める必要があると考えられている。

　しかしながら、従来の構造では、外囲器１０内における放電ガスの内圧を７６０Ｔｏｒｒ〜１０００Ｔｏｒｒまで高めた場合には、下部パネル基板８上に形成された隔壁７の上端部と上部パネル基板４との間に隙間が発生したり、あるいは、上部パネル基板４及び下部パネル基板８が外側に向かって膨らんだりする。

　その結果、隔壁７のリブによって仕切られていた、互いに隣接している空間部１２同士が、上記隙間のためにつながってしまい、クロストークが生じる等、かえってＰＤＰの表示品位を劣化させてしまうという課題を有していた。また、外囲器１０内に封入された放電ガスの内圧が大気圧に近いものであったり、大気圧以上となっている場合には、上述した従来の製造方法で述べた様な、封入ガス圧よりも高い圧力である大気圧を利用した封止方法は、もはや採用することができないという課題も有った。

　本発明は、上述した従来のプラズマディスプレイパネルのこのような課題を考慮し、従来に比べてクロストークが生じにくく、より安定した画像を形成出来るガス放電パネルの製造方法を提供することを目的とする。

　又、本発明は、上述した従来のプラズマディスプレイパネルのこのような課題を考慮し、従来に比べて輝度を高く出来るガス放電パネルの製造方法を提供することを目的とする。

　上記課題を解決するために第１の本発明は、第１電極を有する第１パネル基板と、
　前記第１パネル基板と対向する、第２電極を有する第２パネル基板と、
　前記第１と第２パネル基板との間にガス放電用空間を形成するための、それら双方の基板の外周端縁部の間に設けられた封着部と、
　前記第２パネル基板に設けられた、前記ガス放電用空間を区切る隔壁と、
を備えたガス放電パネルの製造方法であって、
　前記第１パネル基板と前記第２パネル基板と前記封着部とを利用して前記ガス放電パネルを組み立てる組立工程と、
　前記第１又は第２パネル基板に形成されている貫通孔を介して前記ガス放電用空間と連通する配管部材を、前記貫通孔を有するパネル基板に取り付ける工程と、
　前記配管部材を利用して、前記ガス放電用空間に放電用ガスを封入する封入工程と、
　前記配管部材の周囲圧力を、前記封入された放電用ガスの内圧よりも高くして、前記配管部材を封止する封止工程と、
を備えたガス放電パネルの製造方法である。

　また、第２の本発明は、前記封止工程では、前記配管部材を加熱し、その配管部材の管部が閉塞する様に前記配管部材の外部から内部に向けて押圧することにより前記封止を行う上記第１の本発明のガス放電パネルの製造方法である。

　また、第３の本発明は、前記封止工程では、前記配管部材を加熱し、その配管部材の内部に収納された封止用部材を溶融させて、前記配管部材の管部を閉塞させることにより前記封止を行う上記第１の本発明のガス放電パネルの製造方法である。

　また、第４の本発明は、前記封止工程では、筒状部材を用いて前記配管部材の外周部を取り囲み、前記筒状部材により取り囲まれた配管部材の部位を加熱し、その部位が閉塞する様に前記筒状部材の軸方向に沿って前記配管部材を押圧することにより前記封止を行う上記第１の本発明のガス放電パネルの製造方法である。

　以上説明したところから明らかなように、本発明は、従来に比べてクロストークが生じにくく、より安定した画像を形成出来るガス放電パネルの製造方法を提供出来る。

　又、本発明は、従来に比べて輝度を高く出来るガス放電パネルの製造方法を提供出来る。

　以下、本発明に関連する技術のガス放電パネル及びその製造方法に係る実施の形態、及び、本発明のガス放電パネルの製造方法の一実施の形態を図面に基づいて説明する。
（実施の形態１）
　図１は本発明に関連する技術のガス放電パネルの一実施の形態であるプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の概略部分断面を示す図である。同図を用いて本実施の形態のＰＤＰの構成について述べる。

　本実施の形態では、本発明に関連する技術の接着部材としてのフリットガラス３１を用いた点等を除いて、図２０を用いて説明した従来のＰＤＰの構成と基本的に同じである。フリットガラス３１については後述する。

　即ち、図１において、２１はフロントパネルガラスであり、２２はバックパネルガラスである。フロントパネルガラス２１には、表示電極２４がパターニングされており、その上部に誘電体膜２８と保護膜２９が積層されており、フロント基板１０４を構成している。

　一方、バック基板１０８は、バックパネルガラス２２とその上部にパターニングされたアドレス電極２３、隔壁３０、蛍光体２５から構成されている。隔壁３０は、アドレス電極２３を覆う誘電体膜と一体的に構成され、本実施の形態ではアルミナを溶射して形成したものである。尚、上述の通り、隔壁３０が、誘電体膜と一体的に構成されている点も図２０の構成と異なるものである。隔壁３０は板状の複数のリブから構成されている。

　ＰＤＰ１００は、上記フロント基板１０４とバック基板１０８とが対向配置され、その外周端縁部の間には、ガス放電用空間を形成するために低融点ガラスからなる封着部材（図示省略）により封着されており、その密閉空間に、３００Ｔｏｒｒから５００Ｔｏｒｒの希ガス（ヘリウム及びキセノンの混合ガス）が封入された構成である。又、隔壁３０は、上記ガス放電用空間を区切るための手段である。このようにして区切られた空間部１１２が発光領域となる。

　次に、本実施の形態の特徴であるフリットガラス３１について述べる。

　フリットガラス３１は、製造工程において、隔壁３０の上端部に予め塗布されている。そして、フロント基板１０４とバック基板１０８を対向配置して、パネルを封着することにより、溶融したフリットガラス３１を介して、フロント基板１０４の内面と隔壁３０の上端部とが接着されるものである。

　又、隔壁３０の表面には、小さな穴が若干存在する。これらの穴は、隔壁３０を溶射方法により形成する場合に出来るものである。フリットガラス３１は、溶融時に隔壁３０の上記穴に浸透するため、隔壁３０の強度が増し、かつ双方の基板１０４，１０８間の接着力は大きくなる。

　尚、隔壁３０及び隔壁３０と一体となった誘電体は、それぞれ印刷等によって作製可能である。また隔壁３０とその下部の誘電体は同一材料でも別材料でも良い。

　これにより、クロストークや画像の乱れが少なく、良好な画質を実現する事ができる。

　また、この様な構成であれば、封入ガス圧を大気圧以上にあげることが可能であり、その場合高輝度で、効率の高いＰＤＰが実現できる。
（実施の形態２）
　図２は、本発明に関連する技術のガス放電パネルの第２の実施の形態であるＰＤＰの概略部分断面を示すものである。同図を用いて、以下に本実施の形態のＰＤＰの構成について述べる。

　本実施の形態のＰＤＰの構成は、隔壁５０の底部がフリットガラス５２によりバック基板１０８側に接着されている点を除いては、図１に示した構成とほぼ同じであり、その説明を省略する。

　隔壁５０は、その底部５０ｂと上端部５０ａにフリットガラス３１、５２があらかじめ塗布されている。

　フロント基板２１の内面と隔壁５０の上端部５０ａとの接着に用いるためのフリットガラス３１は、隔壁５０の上端部５０ａにあらかじめ塗布しても良いし、あるいは、フロント基板２１の内面にあらかじめパターン塗布し、隔壁５０と接着させても良い。

　一方、隔壁５０と誘電体５３との間のフリットガラス５２は、隔壁５０の材料と誘電体膜５３の材料が異なる場合で、双方の接着力が比較的弱いときに有効である。更に、フリットガラス５２が、隔壁５０に形成された上記穴にしみ込むことにより、隔壁５０を強化する働きがある。このフリットガラス５２は隔壁５０を形成する際に同時に形成しても良いし、あらかじめ誘電体５３の上にパターニングし、その上に隔壁５０を形成しても良い。

　このように本実施の形態によれば、実施の形態１と同様の効果を発揮する。
（実施の形態３）
　図３（ａ）〜図３（ｅ）は、本発明に関連する技術のガス放電パネルの製造方法の一実施の形態の概略工程を示した図である。同図を用いて、以下に本実施の形態のＰＤＰの製造方法について述べる。

　図３（ａ）に示すように、６１はアドレス電極であり、６２は、バックパネルガラスである。この工程では、アドレス電極６１が、バックパネルガラス６２の表面にパターニング形成される。

　次に、図３（ｂ）に示すように、６３は誘電体膜であり、誘電体膜６３が、アドレス電極６１及びバックパネルガラス６２の表面を覆って塗布される。

　その後、図３（ｃ）に示すように、誘電体膜６３の表面にレジスト６４を塗布し、露光する事によってパターニングする。

　次に、図３（ｄ）に示すように、レジスト６４の抜けた所に、溶射方法によってアルミナを主成分とする隔壁６５を埋め込み、その後フリットガラス６６を埋め込む。尚、フリットガラス６６は溶射によって埋め込んでも良いし、他の方法、例えば印刷や単なるスキージングによって埋め込んでも良い。

　その後、図３（ｅ）に示すように、その後レジスト６４を剥離し、隔壁６５の上端部にフリットガラス６６が塗布されたものが残る。

　以上のような一連の工程を経て作られたバック基板は、フロント基板と対向配置させ、焼成工程をへて封着し、ガス封入を行う。

　以上の方法によって、非常に簡便に、フロント基板とバック基板が隔壁６５の上端部によって接着された、上記実施の形態１，２で述べたものと同様の構成のＰＤＰが得られる。

　このような方法を取ることによって隔壁の焼成工程が不要になり、省エネルギー性が得られる。

　また、溶射方法による隔壁の形成およびフリットガラスの塗布が完了したものに、蛍光体を隔壁６５のリブ同士の間に塗布し、蛍光体の焼成と両基板の接着および封着を同時に行うことにより、焼成工程が１つに出来る。

　即ち、従来の場合では、隔壁の焼成工程と、蛍光体の焼成工程と、パネル全体の封着時に行う焼成工程がそれぞれ独立して設けられていたのに対して、本実施の形態によれば、焼成工程を２工程削減できることになり、設備削減と光熱費削減に大きな効果が期待できる。

　又、隔壁の材料として溶融性ガラスを含む場合は、焼成工程が必要となるが、その焼成工程を、パネル全体の封着時の焼成工程と同時に行うことにより、上記の場合と同様、従来に比べて焼成工程を２工程削減出来るものである。

　又、隔壁の上端部とフロント基板の内面との接着に利用する接着部材が、溶融性ガラスと有機バインダーと有機溶剤とを含む場合は、その接着部材に含まれる有機バインダーと有機溶剤を除去するために、仮焼成による加熱が必要となる。この仮焼成工程は、接着部材を塗布した後で、且つ、パネルを封着する前に設けられている。
（実施の形態４）
　図４（ａ）〜図４（ｅ）は、本発明に関連する技術のガス放電パネルの製造方法の一実施の形態の概略工程を示した図である。同図を用いて、以下に本実施の形態のＰＤＰの製造方法について述べる。

　図４（ａ）に示すように、７１はアドレス電極であり、７２は誘電体、７３はバックパネルガラスである。誘電体７２の上部に、隔壁７４を形成するための材料であるアルミナとフリットガラスの混合物を一面成膜（図中では、符号７０１を付した）した。

　その後、図４（ｂ）に示すように、フリットガラス７５の一面成膜を行う。隔壁７４とフリットガラス７５は溶射法によって成膜される。

　尚、フリットガラス７５については、印刷法等の方法によって塗布を行い、焼成を行って良い。

　その後、図４（ｃ）に示すように、レジスト７６もしくはドライフィルム等の露光を行い、パターニングを行う。

　しかる後、図４（ｄ）に示すように、サンドブラストによって、レジスト７６の付着していない部分を除去することにより、隔壁７４を形成する。この隔壁７４の上端部には、図４（ｂ）で述べたフリットガラスの膜が付着している。

　その後、図４（ｅ）に示すように、フロント基板とバック基板と封着部材を用いてパネルを組み立て、焼成によって封着を行い、同時に隔壁７４との接着も行う。この様に、上記封着と、隔壁７４の上端部とフロント基板の内面との接着とは、製造工程における省エネルギーの実現という観点からは、同時に行うのが良いが、それぞれ別々の工程に行っても勿論良い。

　また、蛍光体７８の塗布は隔壁７４形成後に行うが、その蛍光体７８の焼成を、上記封着時に行っても良いし、封着前に個別に行っても良い。

　この製造方法によっても焼成工程を削減できることになり、設備削減と光熱費削減に大きな効果を発揮する。

　また、本実施の形態では、隔壁の材料として、アルミナにフリットガラスを混合しているため、封着時にフリットガラスがアルミナの空孔を埋めるため、空隙率が小さくなり、アウトガスの少ない隔壁が実現できる。そのため、不純物ガスによる汚染を減少し、パネルの長寿命化が期待できる。
（実施の形態５）
　図５は、本発明に関連する技術のガス放電パネルの製造方法の一実施の形態である、溶射方法による隔壁の形成方法の概略説明図である。同図を用いて、以下に本実施の形態の溶射方法について述べる。

　図５に示すように、８１は溶射トーチ、８２は冷却ガスである。冷却ガス８２は溶射の再発生する無駄な熱を冷却し、基板温度を２００℃以下に保つことができる。８３は原料粉であり、隔壁８４を形成する材料とフリットガラス８７を粉状で供給する。８６はドライフィルムであり、隔壁を形成したくない場所をマスクする。８５はバックパネルガラスであり、８９はアドレス電極、８８は誘電体膜である。

　溶射トーチ８１から溶融して噴出した原料粉８３のうち隔壁材料はあらかじめ露光、現像されたドライフィルム８６の隙間に成膜され、間隙深さの６割程度の深さまで成膜し、その後フリットガラス８７を溶射し成膜する。溶射は冷却ガス８２によって冷却しながら行われるので、ドライフィルム８６はダメージのない温度まで冷却される。その後ドライフィルムを剥離することによって隔壁８４上部にフリットガラス８７が成膜されたものが得られる。

　本実施の形態によって、非常に簡便な方法で、隔壁の形成が出来、その隔壁の上端部にフリットガラスを成膜したものが得られ、焼成工程の削減および、設備削減と光熱費削減に大きな効果を発揮するものである。

　このように本実施の形態によれば、フロント基板とバック基板が互いに接着された状態となるため、ＰＤＰの内圧が上がった場合でも、従来の様に、パネル中央部でパネルが膨らむことがない。

　また振動が加わった時にも、フロント基板とバック基板の質量の差による共鳴周波数の差から、互いに別の振動を起こすことがない。

　従って、本実施の形態によれば、飛行機の中等の様な、気圧が不安定になりやすい場所や、気圧の低い場所、あるいは、非常に振動の多い環境においても、クロストークや画像の乱れが少なく、良好な画質を実現する事ができる。

　また、上記の様な構成であれば、封入ガス圧を大気圧以上にあげることが可能となり、これによって輝度が高く、効率の高いＰＤＰが実現できる。

　それに加えて本発明に関連する技術の製造方法の実施によって、焼成工程を大幅に削減できることになり、設備削減と光熱費削減に大きな効果が期待できる。

　上記それぞれの実施の形態において述べたことから明らかなように、本発明に関連する技術のＰＤＰは、例えば、バック基板もしくはフロント基板上に形成された隔壁が、もう一方の基板とフリットガラスによって接着された構成を備えたものである。又、その製造方法は、例えば、隔壁形成が溶射法によってなされると共に、その上端部に塗布すべきフリットガラスも溶射法によって形成され、隔壁とフロント基板の接着、フロント基板とバック基板との封着、蛍光体の焼成を一度に行うものである。

　従って、フロント基板とバック基板が隔壁の上部でフリットガラスを介して接着されているために、パネル内の気体の圧力が外気圧より大きくなってもパネルが割れることも、パネルが膨れることもない。そのためクロストーク等の問題が生ずるということがなく飛行機等に搭載した場合でも良好な画像が得られかつ安全性も高い。またパネルに振動等が加わってもフロント基板とバック基板が接着されているために各基板がたわむことがなく、電車、自動車等の中でも、良好な画像が得られる。また、本発明に関連する技術の実施により内部に封入する放電ガスの圧力を大気圧以上にあげることができるために、高輝度で、効率の高いＰＤＰが実現できる。

　一方、従来と異なって、隔壁とフロント基板の接着、フロント基板とバック基板との封着、蛍光体の焼成を同時に行うことにより、焼成工程の数を低減でき、ＰＤＰを製作するための電気エネルギーが削減され、低コスト化が図れるものである。

　以下、本発明のガス放電パネルの製造方法に係る実施の形態を中心として、図面に基づいて説明する。
（実施の形態６）
　図６は、本発明のガス放電パネルの製造方法により作成されるガス放電パネルの一実施の形態に係るＰＤＰの要部構成を簡略化して示す破断斜視図、図７はその変形例に係る断面図、図８は本実施の形態に係る本発明のＰＤＰの製造方法における、配管部材を封止する方法を示す説明図である。図９ないし図１１は、配管部材を封止する方法、及び配管部材の封止手順の第１変形例ないし第３変形例を示す説明図である。

　尚、本実施の形態のＰＤＰの全体構成は、図２０，図２１で述べた従来のＰＤＰと基本的に同じ部分が多いので、図２０，図２１で述べたものと同一もしくは相当する部品、あるいは部分には同一符号を付している。

　図６に示すように、本実施の形態に係る外囲器１０は、上部パネル基板４と下部パネル基板８とを対向配置して、両パネル基板４，８の外周端縁部同士を低融点ガラスからなる封着部材９により封着され、内部に放電用空間を形成する構成である。

　上部パネル基板４は、複数本の表示電極１とともに、これらの表示電極１を覆う低融点ガラス製の誘電体層２及び酸化マグネシウムからなる薄膜状の保護層３が内表面上に形成されたガラス製の基板である。又、下部パネル基板８は、表示電極１とは直交する向きに沿って配置された複数本のデータ電極５及び低融点ガラス製の誘電体層６が内表面上に形成され、かつ、この誘電体層６上の所定位置毎には発光領域を区画する低融点ガラス製の隔壁７が並列形成されたガラス製の基板である。

　そして、これら隔壁７の最上端部には、融点が５００〜６００℃の材料からなる隔壁７よりも融点の低いフリットガラス（融点４５０℃程度）や水ガラスなどのような低融点材料からなる接着部材１５が設けられており、下部パネル基板８上に形成された隔壁７と上部パネル基板４とは接着部材１５を介したうえで互いに接着されている。

　なお、接着部材１５の形成材料としては、吸湿性及びアウトガスの低い紫外線接着剤や真空装置での一般的なシール材を用いることも可能である。ここでは、製造工程上の都合を考慮したうえで接着部材１５の材料が隔壁７よりも低融点であるとしているが、製造工程上の差し支えがなければ、融点の限定されない一般的な接着剤を使用することも可能である。また、この接着部材１５は、隔壁７のリブの全長にわたって設けられていなくても良い。即ち、所定位置毎に分離した状態で接着部材１５が設けられていてもよいことは勿論である。

　ところで、図７で示すように、上部パネル基板４の誘電体層２上における接着対象部分２ａ、つまり、接着部材１５を介したうえで隔壁７の上端部と接着される所定部分と、下部パネル基板８の誘電体層６上における隔壁７の形成部分６ａ、つまり、誘電体層２と誘電体層６のそれぞれの所定部分２ａ，６ａの双方、もしくは、何れか一方を微細な凹凸が形成された粗面部分としても良い。このような構成により、粗面であることによってアンカー効果が発揮される。

　即ち、薄膜状の保護膜３及び接着部材１５を介しながら上部パネル基板４の誘電体層２と隔壁７の上端部との間における接着強度、及び、下部パネル基板８の誘電体層６と隔壁７の底部との間における接着強度がそれぞれ増すことになる。

　なお、この様な粗面部分を設けるには、マスクでもって粗面化が不要な部分を覆ったうえでのサンドブラスト処理を実行するというような一般的な手法を用いればよい。また、この場合、下部パネル基板８の誘電体層６は蛍光体１１により覆われるのであるから、誘電体層６についてはその全面に対する粗面化を実行しておくことも可能である。

　さらに、隔壁７によって区画された各発光領域毎の誘電体層６上にはカラー表示を実現するための蛍光体１１が塗布されている。又、上部パネル基板４と下部パネル基板８上の隔壁７とが接着部材１５を介して接着された外囲器１０の内部にはヘリウム、キセノン及び、ネオン等を混合してなる放電ガスが５００Ｔｏｒｒを越える内圧、例えば、７６０Ｔｏｒｒや１０００Ｔｏｒｒの内圧にしたうえで封入されている。

　また、この場合、図６に示すように、下部パネル基板８の所定の部位には、外囲器１０内の排気時及び放電ガスの封入時に使用された配管部材１３が封着部材９と同等の材料を用いて接着されたままで残っている。

　又、本構成によれば、外囲器１０の外周囲圧力、つまり、大気圧より外囲器１０の内圧が高くなっていたとしても、上部パネル基板４及び下部パネル基板８同士を隔壁７の最上端部に設けられた接着部材１５により接着している。そのため、発光領域となる隣接する各空間部１２同士が隙間を介して連通することがなく、隣接する空間部１２同士の分離は確実に確保されていることになり、これらのパネル基板４，８が外側に膨らんで変形したりすることは生じない。

　なお、ここではＰＤＰが備える外囲器１０内に５００Ｔｏｒｒを越える圧力の放電ガスを封入するとしているが、必ずしも、放電ガスの封入圧力が５００Ｔｏｒｒを越えていなければないらないというわけではなく、封入圧力が５００Ｔｏｒｒ以下であってもよいことは勿論である。

　すなわち、ＰＤＰは航空機や電車などにおいても使用されており、航空機が急上昇や急下降を行った場合の気圧変化や走行中の電車で生じた振動がＰＤＰに対して加わることもあるが、外囲器１０を構成する上部パネル基板４及び下部パネル基板８同士を隔壁７の最上端に設けられた接着部材１５でもって接着しておけば、気圧変化や振動が作用した場合にも外囲器１０が外向きに膨れ上がって変形することは起こり得ないこととなる。

　次に、本発明のガス放電パネルの製造方法に係る一実施の形態として、上記構成のＰＤＰの製造方法を図面用いて説明する。

　まず、表示電極１，誘電体層２及び保護層３が形成された上部パネル基板４と、データ電極５，誘電体層６及び隔壁７が形成され、かつ、蛍光体１１が塗布された下部パネル基板８とをそれぞれ製造する。

　そして、それら双方のパネル基板を用意したうえ、下部パネル基板８における隔壁７の最上端部に対してフリットガラスなどのような低融点材料からなる接着部材１５を設けることを実行する。

　なお、接着部材１５を設ける際にはスクリーン印刷やスタンパを用いた転写などの手法を採用することが行われるが、リフトオフなどの手法によって接着部材１５を設けたうえで蛍光体１１を塗布することも可能である。また、複数回にわたるスクリーン印刷などによって隔壁７を形成するのであれば、最上端に位置する層のみをフリットガラスなどで形成することによって接着部材１５を設けることも可能であり、あるいは、下部パネル基板８上の隔壁７と対応する上部パネル基板４上の所定部位に接着部材１５となるべきフリットガラスなどを塗布することも可能である。ところで、スクリーン印刷においては、隔壁７の最上端に当接するスクリーン版に対して予め所定粘度の接着材料が通過するパターンを形成しておくのが一般的であるが、スクリーン版そのものを全面にわたって接着材料が通過するようにしておいたうえでのスクリーン印刷によって隔壁７の最上端のみに接着部材１５を設けるようにしてもよいことは勿論である。

　次に、上述の様にして接着部材１５が設けられた隔壁７を介し、上部パネル基板４と下部パネル基板８とを互いに対向配置し、かつ、これら両パネル基板４，８の外周端縁部同士の間に封着部材９を介在させたうえで加熱する。これにより、上部パネル基板４及び下部パネル基板８の外周端縁部同士が封着部材９によって封着されて、その結果として外囲器１０が構成される。その際の加熱工程において溶融した接着部材１５により上部パネル基板４と下部パネル基板８とは互いに接着される。

　さらに、外囲器１０を構成している下部パネル基板８に形成された貫通孔８ａを通じて外囲器１０内と連通する配管部材１３を下部パネル基板８の外部位置に取り付ける。

　そして、この配管部材１３を介して外囲器１０内の排気処理と放電ガスの封入処理とを実行する。

　その後、配管部材１３を封止することによって外囲器１０の内部を密封すると、図６で示したＰＤＰが完成する。

　ところで、５００Ｔｏｒｒを越える圧力の放電ガスを外囲器１０内に封入した場合、配管部材１３の封止は、例えば、図８に示すような方法により実行される。

　すなわち、図８に示す様に、まず、外囲器１０を構成する下部パネル基板８に設けられた貫通孔８ａを通じて外囲器１０内と連通する配管部材１３を下部パネル基板８に取り付ける。そして、配管部材１３が取り付けられた外囲器１０を高圧チャンバ１６内の所定位置に載置して、高周波加熱器や電熱ヒータなどの加熱手段１７を配管部材１３における封じ切り部分１３ａの外周囲に沿って配置する。

　そして、配管部材１３を利用して外囲器１０内の排気を実行し、更にこの外囲器１０の内部に対して放電ガスを内圧が５００Ｔｏｒｒを越える所要の内圧となるまで封入する。

　その後、高圧チャンバ１６の内圧を外囲器１０内に封入された放電ガスの内圧よりも高く設定する。

　これにより、外囲器１０の内圧よりも高圧チャンバ１６の内圧の方が高くなっているため、従来の形態と同様の手順により配管部材１３の封止を実行しうることになる。

　即ち、配管部材１３の封じ切り部分１３ａを加熱手段１７によって加熱しながら軟化及び溶融させ、かつ、封じ切り部分１３ａよりも下側部分を外囲器１０から遠ざけて溶断させると、溶断された配管部材１３の封じ切り部分１３ａは閉塞されることになり、配管部材１３の封止に伴って外囲器１０の内部は密封される。なお、ここでは、外囲器１０全体の外周囲圧力を放電ガスの内圧よりも高圧としておいたうえで配管部材１３を封止するとしているが、このように大掛かりな方法を採用する必要はないのであり、少なくとも配管部材１３の外周囲圧力を外囲器１０内に封入された放電ガスの内圧よりも高圧としておくだけのことによっても従来の形態におけると同様な配管部材１３の封止が実行可能となることは勿論である。

　次に、配管部材１３を封止する方法及び手順の変形例を、図９ないし図１１に基づいて説明する。

　まず、図９（ａ）〜図９（ｃ）は配管部材１３を封止する方法及び手順の第１変形例を示している。

　この方法を採用するにあたっては、封止用治具１７、つまり、配管部材１３の径方向に沿って対向する少なくとも２方向から配管部材１３を径方向に沿って押圧する断面視半円形状や三角形状などの突起１７ａが形成され、かつ、突起１７ａを介したうえで配管部材１３を加熱する機能を具備してなる封止用治具１７が用いられる。すなわち、この方法においては、一方側のパネル基板である下部パネル基板８に形成された貫通孔８ａを通じて外囲器１０内と連通する配管部材１３を取り付け、かつ、配管部材１３を介したうえで外囲器１０内の排気と放電ガスの封入とを実行した後、図９（ａ）で示すように、配管部材１３の封じ切り部分１３ａに対して封止用治具１７の突起１７ａを当てつけた後、図９（ｂ）で示すように、封止用治具１７の突起１７ａにより配管部材１３をその径方向に沿って押圧しながら加熱したうえ、図９（ｃ）で示すように、加熱に伴って軟化及び溶融した配管部材１３を溶断することが行われる。そして、この方法を採用した場合には、大気圧よりも外囲器１０の内圧の方が高いにも拘わらず、加熱に伴って軟化及び溶融した配管部材１３の突起１７ａにより押圧される結果として封じ切り部分１３ａが閉塞させられるため、配管部材１３の封止を容易に行えることとなり、外囲器１０が密封されたこととなる。

　また、図１０で示す第２変形例のように、配管部材１３に対して円筒形状の加熱用治具１８を外嵌し、かつ、ガスバーナ１４などにより加熱用治具１８を加熱することによって配管部材１３の封じ切り部分１３ａを軟化及び溶融させたうえ、封じ切り部分１３ａの下側部分を矢印方向へ押し付けて、外囲器１０へと近づけながら封じ切り部分１３ａを捩り切るような手法で配管部材１３を封止することも可能である。なお、ここでの加熱用治具１８は、大気圧よりも内圧の高い配管部材１３が外方へ向かって膨らむのを防止しうるものであればよいのであり、図示省略しているが、金属網などを用いて作製されたものであってもよい。ところで、この加熱用治具１８が配管部材１３と固着することが起こった場合には、この加熱用治具１８を配管部材１３に固着させたままで残しておくことになるが、加熱用治具１８が残されていても何らの不都合を生じないことは勿論である。

　さらにまた、図１１（ａ），図１１（ｂ）で示すような配管部材１３の封止方法を、以上の封止方法に代えて採用することも可能である。

　すなわち、この第３変形例に係る方法では、一方側のパネル基板である下部パネル基板８に形成された貫通孔８ａを通じて外囲器１０内と連通する配管部材１３を取り付け、かつ、配管部材１３を介したうえで外囲器１０内の排気と放電ガスの封入とを順次実行した後、図１１（ａ）で示すように、配管部材１３よりも低融点材料からなる短棒形状などとして作製されたうえで配管部材１３内に収納されていた封止用部材１９を外部からガスバーナ１４などでもって加熱しながら溶融させたうえ、図１１（ｂ）で示すように、配管部材１３を閉塞したうえで封止することが行われる。そして、封止用部材１９でもって封止された配管部材１３の不要部分は、切断などのような手法を採用したうえで除去される。なお、この際における封止用部材１９は、予め配管部材１３内に収納されていたものであっても、下部パネル基板８に取り付け済みの配管部材１３内に投入して収納されたものであってもよく、また、黒色顔料などが混入されていて熱吸収性に優れており、レーザ光の照射によって溶融させられるものであってもよい。

　なお、以上述べた封入ガス圧として５００Ｔｏｒｒ以下の放電ガスが外囲器１０内に封入される場合であれば、従来同様の手順からなる製造方法を採用するのが一般的である。しかし、その様な場合、つまり製造時における外囲器１０の内圧の方が外圧よりも低い場合でも、本実施の形態の方法を採用しても勿論良い。

　以上述べたことから明らかなように、本発明に係るガス放電パネルは、例えば、外囲器を構成するパネル基板同士が隔壁の最上端に設けられた接着部材を介したうえで接着されていることを特徴とするものであり、この際における外囲器内には５００Ｔｏｒｒを越える圧力の放電ガスが封入されていることもある。なお、ここでの接着部材は、隔壁よりも低融点材料からなるものであることが好ましい。そして、パネル基板同士を接着してなる構成の外囲器を採用した際には、外囲器が外向きに膨れ上がって変形することは起こり得なくなり、また、５００Ｔｏｒｒを越える圧力の放電ガスを外囲器内に封入した構成を採用した際には、ガス放電パネルの輝度が向上するという利点が得られる。
このようにガス放電パネルの輝度が向上するのは、ガス放電効率の向上によるものである。

　一方、本発明に係るガス放電パネルの製造方法は、例えば、製造時における外囲器の内圧の方が外圧よりも高い場合の製造方法であって、少なくとも配管部材の外周囲圧力を外囲器内に封入された放電ガスの内圧よりも高圧状態としたうえで配管部材を封止する、または、配管部材の径方向に沿って対向する少なくとも２方向から配管部材を押圧しながら加熱したうえで配管部材を封止する、あるいは、配管部材内に収納された封止用部材を溶融させることによって配管部材を封止することを特徴としている。そして、これらの製造方法によれば、外囲器の内圧の方が外圧よりも高い場合であっても、配管部材の封止を容易かつ確実に実行しうることになる。

　以上説明したように、本発明に係るガス放電パネルによれば、例えば、外囲器を構成するパネル基板同士が隔壁の最上端に設けられた接着部材を介したうえで接着された構成となっているので、隔壁とパネル基板との間に隙間が発生したり、外囲器が外向きに膨れ上がって変形することは起こり得ないという効果が得られる。そこで、５００Ｔｏｒｒを越える圧力の放電ガスを外囲器内に封入しておいても何ら不都合は生じないことになり、ガス放電パネルにおける輝度向上を実現できることになる。

　また、本発明に係るガス放電パネルの製造方法によれば、例えば、製造時の外囲器内に封入された放電ガスの内圧が大気圧に近かったり、大気圧以上となっている場合であっても配管部材を容易かつ安定的に封止しうることとなる結果、輝度の向上したガス放電パネルを容易に作製できるという効果が得られる。
ところで、以上述べた実施の形態では、隔壁７の上端部への接着部材１５の形成手段としては、例えばスクリーン印刷等が考えられる。しかしながら、隔壁７の最上端部は非常に細くて長い領域であり、その上に接着部材１５を均一に形成することが難しい場合がある。

　又、隔壁７は印刷やリフトオフ又はサンドブラスト等の方法で形成されるが、その最上端部が凹凸形状となっている場合がある。特に隔壁７の最上端部における凹部には、接着部材が形成されない場合があり、その部分は上部パネル基板４と隔壁７の接着ができず、その部分については表示品位の劣化につながる事も考えられる。

　又、接着部材１５の形成量が多い場合、又は接着部材１５が隔壁７の幅を越えて形成された場合、接着後の接着部材１５の幅は隔壁７の幅よりも大きくなり、その部分について、上部パネル基板４の外側から見た発光領域を狭め、輝度の低下をまねくことも考えられる。

　一方、従来の封着部材９はパネル基板の外周縁端にのみ形成されており、封着の際にはパネル基板の外周端縁部のみを加圧していた。しかしながら、変形を容易に防止できる外囲器を実現するには、上述した通り、接着部材１５により隔壁７と上部パネル基板４の接着を確実に行う必要があるが、この様な構成でも、外周縁端部のみの加圧では、パネル基板の内側の表示領域内において十分確実な接着は実現できない場合も考えられる。

　そこで、こられの点を考慮して、ＰＤＰの変形をより確実に防止することができるとともに、輝度向上を実現することが可能なガス放電パネルとその製造方法について、以下に述べる。
図１２は、接着部材１５の塗布について説明するための平面図である。又、図１４はその変形例に係る平面図である。図１３は本実施の形態に係るＰＤＰの接着部材の材料粒子径と隔壁幅の関係を説明するための、模式的に描いた断面図である。図１７は封着の際の加圧方法を示す断面図、図１８及び図１９は、それぞれ封着の際に加圧する具体的方法を示す断面図である。

　なお、本実施の形態におけるＰＤＰの全体構成は、図６で述べたものと基本的に同じであるので、以下の説明において、互いに同一もしくは相当する部品、部分には図６と同一符号を付し、その説明を省略する。

　本実施の形態に係るＰＤＰは、図６で説明した通りである。

　即ち、隔壁７の最上端部には、図１２に示すように透明材料からなる接着部材１５が、隔壁７の長手方向に沿ってライン状に設けられている。下部パネル基板８上に形成された隔壁７と上部パネル基板４とは接着部材１５を介して互いに接着されている。

　隔壁７の最上端に形成した接着部材は、上述した様に、塗布量のムラなどにより部分的に隔壁幅からはみ出すことが考えられる。又、上部パネル基板４と接着した際、塗布量が多いときには、接着部材は隔壁頂部で押し広げられ、隔壁幅を越えて発光領域にはみ出すことがある。

　しかしながら、本接着部材１５は透明な材料であるために、発光領域に多少はみ出しても、発光を遮ることがなく、表示特性、特に輝度の劣化をまねかない。

　さらに、隔壁７によって区画された各発光領域毎の誘電体層６上には、カラー表示を実現するための蛍光体１１が塗布されている。そして、上部パネル基板４と下部パネル基板８上の隔壁７とが接着部材１５を介して接着された外囲器１０の内部にはヘリウム、キセノン及び、ネオン等を混合してなる放電ガスが５００Ｔｏｒｒを越える内圧、例えば、７６０Ｔｏｒｒや１０００Ｔｏｒｒの内圧とされた上で封入されている。
次に、接着部材１５についての変形例を図１３を用いて説明する。

　従来、接着部材として使用するフリットガラスは酸化鉛等の材料に、熱特性を調整するとともにガラス基板との接着強度を得るためにセラミックス等のフィラーが含まれている。

　図１３では、隔壁７の幅Ｗに対して、接着部材１５に含まれるフィラー等の材料の最大粒子経ＤはＷを越えない場合を示している。この場合、接着部材１５は最大粒子が隔壁７の中央に位置する場合は隔壁幅からはみ出さず、また、最大粒子が隔壁７の中央から多少ずれて形成されても大きく隔壁幅からはみ出すことはなく、隔壁７と上部パネル４の接着後、表示領域を接着部材１５で覆うことなく、表示特性の良好なＰＤＰを実現できる。尚、この場合重要なことは、接着後に隔壁の上端部の幅から大きくはみ出さない様にすることであり、上記の構成であればそれが実現出来る。ここで、隔壁の上端部の幅から大きくはみ出さない様にするとは、各空間部１２（図６参照）の蛍光領域を実質上減少させる様な幅にならない程度にすることを意味する。この蛍光領域は、各空間部１２に塗布された蛍光体１１の塗布領域によって決まるものである。

　尚、図示していないが、隔壁と上部パネル基板の間に５μｍを越えるすき間がある場合には、パネル点灯時にクロストーク等の表示劣化が生じる。

　一方、接着部材の含有粒子のサイズが大きいと、接着部材の形成ムラが生じやすく、最大粒子の存在する部位のみで隔壁と上部パネルが接着する可能性がある。従って、接着部材の中の最大粒子の粒径は、５μｍ以下であることが一層望ましい。尚、本実施の形態では、隔壁のリブの幅Ｗ（図１３参照）は４０μｍ程度である。

　さらに、接着部材１５についての別の変形例に係るＰＤＰを、図１４を用いて説明する。

　前述の接着部材１５は、隔壁７の最上端部に設けられていたが、この例では、上部パネル基板４の内表面上にライン状に設けられている。即ち、本接着部材１５は、図１４に示す様に、下部パネル基板８上に形成された隔壁７と概交差する方向に（例えば、隔壁７の延設方向（長手方向）とほぼ直交するように）、対をなして配設された表示電極１群と、それに隣接する表示電極１群との中央部にライン状に設けられている。

　尚、この場合、接着部材１５の形成方法は、スクリーン印刷でもよいし、ディスペンサー等で描画してもかまわない。そして接着部材１５と隔壁７が交差する部分で対向する両パネル基板４、８が接着されている。ここで、接着部材１５は平面上に形成するため、容易に形成できるとともに、隔壁７と接着部材１５はともにライン状であり、かつ互いに概交差するため、封着の際の位置あわせも容易となる。又、接着もより確実となる。

　また、この接着部材１５は隔壁７の長手方向に隣接する画素を視覚的に分離する機能をも備えており、外囲器１０が外向きに膨れ上がって変形することを防ぐとともに、コントラストの向上にも有効である。

　本実施例では、接着部材１５を上部パネル基板４の内表面のみに形成する場合を示したが、下部パネル基板８上に形成された隔壁７の最上端にも接着部材１５を形成しても何ら問題なく、確実な接着を行うには接着部分に接着部材が十分形成されることになりより有効である。

　また、図１３および図１４で示した接着部材１５が光吸収材料からなる場合、ＰＤＰコントラストをさらに向上させることはいうまでもない。

　さらに、接着部材１５の別の変形例にかかるＰＤＰを、図１５を用いて説明する。前述の接着部材１５は隔壁７の最上端のほとんどの部分に設け、上部パネル基板４とを接着していたが、必ずしもほとんどの部分で接着する必要はなく、図１５に示す様に一部の接着でも効果を発揮する。

　これらの接着は、繰り返し述べられているように、パネルが外向きに膨れ上がって変形することを防ぐ効果があることはもちろんであるが、隔壁の最上端に生じる上部パネル基板との隙間を接着部材で埋め、各放電セル（放電空間）を完全に仕切ることで、放電セル間のクロストークを防止する作用効果もある。

　この際、接着する部分と接着しない部分は任意に選ぶことができるが、図１５に示すように、隔壁の上端部の内、表示電極１と交差している部分及びその近傍の部位に接着部材１５を設けることがより望ましい。この様な部位では、より大きな放電が起こっているからである。

　なお、図１５では、表示電極１の近傍部分すべてで一様に接着している例を示したが、必ずしも一様である必要はなく、クロストークが起こりやすい部分のみを接着したり、あるいは部分的に隔壁の最上端をライン状に接着してもかまわない。

　ここで、本実施の形態に係わる別の実施例を図１６を用いて説明する。本実施の形態に係わるＰＤＰは従来の形態と同じく、内表面上に複数本の表示電極１が形成された上部パネル基板４と、表示電極１とは直行する向きに配置された複数本のデータ電極５と隔壁７を内表面に形成した下部パネル基板８とを対向配置したうえで両パネルの外周縁部同士を低融点ガラスからなる接着部材１５でもって封止してなる構成の外囲器を備えている。そして、これら隔壁７の最上端は凹状の溝を有しており、その溝を埋めるように接着部材１５が設けられており、上部パネル基板４と隔壁７は、接着部材１５を介して接合している。なお、前記の隔壁７は例えば次のように形成する。下部パネル基板８上に、樹脂被覆層としてドライフィルムレジストをラミネートし、露光マスクを用いて選択的に露光後、現像処理を行いネガパターンを設ける。さらにそのパターンの開口部にスキージなどを用いて樹脂被覆層の最表面と同じ高さまでペーストを埋め込む。その後、その下部パネル基板８を乾燥し、ペーストの中の溶剤を除去すると、ペーストは中央部がくぼんた凹形状となる。この形状は、ペーストに含まれる溶剤の量、フィラーの量、または樹脂被覆層の開口形状によってコントロールすることができる。他に、機械的に隔壁７の最上端を剔るか、もしくは、レーザー光線を照射するなどの方法で凹状に加工することも可能である。こうして形成された隔壁７の凹部に接着部材１５を形成すると、隔壁７と接着部材１５の接合面積が増加し、接合強度が増すとともに接着部材１５の隔壁幅からのはみ出しの減少により見かけの発光面積を増大させることができる。

　次に、本実施の形態に係るＰＤＰの製造方法を手順に従って説明する。

　まず、表示電極１，誘電体層２及び保護層３が形成された上部パネル基板４と、データ電極５，誘電体層６及び隔壁７が形成され、かつ、蛍光体１１が塗布された下部パネル基板８とを用意したうえ、隔壁７の最上端にフリットガラスなどのような低融点材料からなる接着部材１５を設ける。

　なお、接着部材１５を設ける際にはスクリーン印刷やスタンパを用いた転写などの手法を採用することが行われるが、リフトオフなどの手法によって塗布することも可能である。あるいは、隔壁７の最上端部に位置する層のみをフリットガラスなどで形成することによって接着部材１５を設けることも可能である。又は、下部パネル基板８上の隔壁７と対応する上部パネル基板４上の所定部位に接着部材１５となるべきフリットガラスなどを塗布することも可能である。

　ところで、スクリーン印刷においては、隔壁７の最上端に当接するスクリーン版に対して予め所定粘度の接着材料が通過するパターンを形成しておくのが一般的であるが、スクリーン版そのものを全面にわたって接着材料が通過するようにしておいた上でのスクリーン印刷によって隔壁７の最上端のみに接着部材１５を設けるようにしてもよいことは勿論である。

　次に、上述のようにして接着部材１５が設けられた隔壁７を介して、上部パネル基板４と下部パネル基板８とを互いに対向配置し、かつ、これら両パネル基板４，８の外周端縁同士間に封着部材９を介在させる。

　この場合、図１７に示すように、両パネル基板の外表面から内表面にむけて加圧しながら加熱すると、周縁部では上部パネル基板４及び下部パネル基板８の外周端縁部同士が封着部材９により封着される。それと同時に、中央の表示部では加熱によって溶融した接着部材１５で上部パネル基板４と下部パネル基板８とは互いに接着され、結果として外囲器１０が構成されたことになる。

　さらに、外囲器１０を構成している下部パネル基板８に形成された貫通孔８ａを通じて外囲器１０内と連通する配管部材１３を下部パネル基板８の外部位置に取り付けたうえ、この配管部材１３を介して外囲器１０内の排気処理と放電ガスの封入処理とを実行した後、配管部材１３を封止することによって外囲器１０の内部を密封すると、図６で示したＰＤＰが完成する。

　ところで、上部パネル基板４と下部パネル基板８の接着の際の加圧は、例えば図１８に示すような方法で実施される。

　すなわち、まず外囲器１０を構成する上部パネル基板４と下部パネル基板８を所定の位置関係に合わせて仮固定したうえで平坦な台１６上に設置する。

　次に、所定の押圧部位に押圧治具２３を複数個設置する。この押圧治具２３はバネ受けＡ（２０）、バネ受けＢ（２２）、バネ２１、ボルト１９からなり、バネ受けＡ（２０）とバネ受けＢ（２２）は分離しており、その間にバネ２１をはさみこんだものである。

　尚、バネ２１の加圧力は、バネ受けＢ（２２）の位置をボルト１９で調整することができる。この押圧治具２３を、外囲器１０と、台１６に支柱１７を介して固定した枠体１８との間に、押圧治具２３の全長がその間隔より大きくなるようにバネ受けＢ（２２）の位置をボルト１９によって調整して挿入する。こうして、バネ２１は圧縮力を加えた形で設置されるために、両パネル基板には押圧力が加わわる。

　接着部材１５および封着部材９を構成するフリットガラスは通常４５０度に加熱して溶融して使用するが、ここで使用するバネ２１は、４５０度にてもそのバネ性を失わない材料を使用することはいうまでもない。例えばインコネル材を用いる。

　次に加圧方法の変形例を図１９を用いて説明する。
まず、外囲器１０を構成する上部パネル基板４と下部パネル基板８を所定の位置関係に合わせて仮固定したうえで、平坦な台１６上に設置する点は前記実施例と同じである。次に４５０度の加熱状態でも性質を変えないような弾力性のある緩衝材２４を外囲器１０の上部でその全面を覆うように設置する。ここで、緩衝材２４としてはスチールウールのようなものが有効である。

　次に所定の重量で均一な板厚を有する、外囲器全面を覆う大きさの板材２５を外囲器１０上部の緩衝材２４の上に設置する。ここで緩衝材２４は板材２４と外囲器１０の間に異物等を挟む必要性は、部分的に押圧力が変わり外囲器１０を構成する上部パネル基板４と下部パネル基板８のギャップを不均一にさせる場合があるとともに、異物が大きい場合は局所的に力が加わり、外囲器１０の破壊につながる可能性があるためである。

　以上説明したように、本発明に係るガス放電パネルによれば、例えば、外囲器を構成する上部パネル基板と下部パネル基板は接着部材を介したうえで接着されているので、５００Ｔｏｒｒを越える圧力の放電ガスを外囲器内に封入しても、隔壁とパネル基板との間に隙間が発生したり、外囲器が外向きに膨れ上がって変形することは起こり得ないという効果が得られる。

　その上、接着部材は隔壁幅からはみ出さないか、はみ出しても透明な部材を使用しているため、パネルの特性を下げることもない。また、隔壁と垂直に交わる方向に接着部材を形成すると、隔壁方向に隣接する画素を分離することができ、コントラストが向上する効果も得られる。

　また、本発明に係るガス放電パネルの製造方法によれば、例えば、外囲器全面にわたって隔壁と対向するパネル基板との接着を均一に実現できる結果、輝度の向上したガス放電パネルを容易に作製できるという効果が得られる。

　尚、上記実施の形態では、ＰＤＰにおいて、誘電体膜を有する場合について述べたが、これに限らず例えば、誘電体膜が無い構成でもよい。

　又、上記実施の形態においては、ガス放電パネルがＡＣ型のＰＤＰであるとしているが、ガス放電パネルがＡＣ型のＰＤＰに限られることはなく、ＤＣ型のＰＤＰについても本発明の適用が可能となることは勿論である。

　又、本発明の第１パネル基板及び第２パネル基板は、上記実施の形態では、それぞれ、フロント基板及びバック基板に対応していたが、これに限らず例えば、本発明の第１パネル基板がバック基板に対応し、又第２パネル基板がフロント基板に対応する構成でも良い。この場合、隔壁の底部は、フロント基板の内面に設けられており、隔壁の上端部は、バック基板の内面と接着されている構成となる。

　又、上記実施の形態では、接着部材を用いることを前提にして説明したが、これに限らず、例えば、図５で述べた例、図８〜図９で述べた例に関しては、接着部材の使用を前提しない構成でも良い。即ち、その場合、例えば、図５で述べた上記例の変形例として、第１電極を有する第１パネル基板と、前記第１パネル基板と対向する、第２電極を有する第２パネル基板と、前記第１と第２パネル基板との間にガス放電用空間を形成するための、それら双方の基板の外周端縁部の間に設けられた封着部と、前記第２パネル基板に設けられた、前記ガス放電用空間を区切る隔壁とを備えたガス放電パネルの製造方法であって、前記第２パネル基板上に設けられた感光性材料を露光して溝部を形成する工程と、前記隔壁を形成するための誘電体材料又はフリットガラスを、溶射法により前記形成された溝部に埋め込む溶射工程とを備え、前記溶射工程では、溶射ノズルから噴出する材料の流れに沿って、前記第２パネル基板を冷却する冷却用ガスを流すことを特徴とするガス放電パネルの製造方法が挙げられる。又、この製造方法では、上記ガス放電パネルは、前記第２電極を覆う誘電体膜を有し、前記誘電体膜及び前記隔壁の材料がアルミナであることが望ましい。これにより、上記と同様の効果を発揮する。又、例えば、図８〜図９で述べた上記例の変形例として、第１電極を有する第１パネル基板と、前記第１パネル基板と対向する、第２電極を有する第２パネル基板と、前記第１と第２パネル基板との間にガス放電用空間を形成するための、それら双方の基板の外周端縁部の間に設けられた封着部と、前記第２パネル基板に設けられた、前記ガス放電用空間を区切る隔壁とを備えたガス放電パネルの製造方法であって、前記第１パネル基板と前記第２パネル基板と前記封着部とを利用して前記ガス放電パネルを組み立てる組立工程と、前記第１又は第２パネル基板に形成されている貫通孔を介して前記ガス放電用空間と連通する配管部材を、前記貫通孔を有するパネル基板に取り付ける工程と、前記配管部材を利用して、前記ガス放電用空間に放電用ガスを封入する封入工程と、前記配管部材の周囲圧力を、前記封入された放電用ガスの内圧よりも高くして、前記配管部材を封止する封止工程とを備えたことを特徴とするガス放電パネルの製造方法が挙げられる。これにより、従来とは別の製造方法が提供出来るという効果がある。

　本発明に係るガス放電パネルの製造方法は、従来に比べてクロストークが生じにくく、より安定した画像を形成出来るという長所を有し、ガス放電パネルの製造方法等として有用である。

　また、本発明に係るガス放電パネルの製造方法は、従来に比べて輝度を高く出来るという長所を有し、ガス放電パネルの製造方法等として有用である。

本発明に関連する技術の第１の実施例におけるラズマディスプレイパネルの概略部分断面図 本発明に関連する技術の第２の実施例におけるラズマディスプレイパネルの概略部分断面図 （ａ）〜（ｅ）：本発明に関連する技術の第３の実施例におけるプラズマディスプレイパネルの製造方法の概略工程図 （ａ）〜（ｅ）：本発明に関連する技術の第４の実施例におけるプラズマディスプレイパネルの製造方法の概略工程図 本発明に関連する技術の実施例における溶射による隔壁の形成方法を示す概略図 本発明のガス放電パネルの製造方法に係るＰＤＰの要部構成の一例を簡略化して示す破断斜視図 図６に示す構成の変形例に係る断面図 本実施の形態に係るＰＤＰの配管部材を封止する方法を示す説明図 （ａ）〜（ｃ）：本実施の形態に係るＰＤＰの配管部材を封止する方法及び手順の第１変形例を示す説明図 本実施の形態に係るＰＤＰの配管部材を封止する方法及び手順の第２変形例を示す説明図 （ａ）〜（ｂ）：本実施の形態に係るＰＤＰの配管部材を封止する方法及び手順の第３変形例を示す説明図 本実施の形態に係るＰＤＰの接着部材を示す平面図 本実施の形態の接着部材の粒径に関する説明のための模式的な断面図 本実施の形態の接着部材の塗布方法に関する変形例に係る平面図 本実施の形態の接着部材の塗布方法に関する別の例に係る平面図 本実施の形態の隔壁の上端部の形状に関する別の例に係る平面図 本実施の形態に係るＰＤＰの封着する方法を示す概略図 本実施の形態の封着時の加圧方法を示す断面図 本実施の形態の封着時の加圧方法の変形例を示す断面図 従来のプラズマディスプレイパネル部分の斜視断面図 従来の形態に係るＰＤＰの要部構成を簡略化して示す破断斜視図 （ａ）〜（ｃ）：従来の形態に係るＰＤＰの配管部材を封止する手順を示す説明図

符号の説明

　１　　　表示電極
　　２，６　誘電体膜
　　３　　　保護膜
　　４　　　上部パネル基板（フロント基板）
　　５　　　アドレス電極
　　７　　　隔壁
　　８　　　下部パネル基板（バック基板）
　　１０　　外囲器
　　１１　　蛍光体
　　１２　　空間部
　　１３　　配管部材
　　１５　　接着部材
　　１９　　封止用部材

Claims (4)

1. 第１電極を有する第１パネル基板と、
   　前記第１パネル基板と対向する、第２電極を有する第２パネル基板と、
   　前記第１と第２パネル基板との間にガス放電用空間を形成するための、それら双方の基板の外周端縁部の間に設けられた封着部と、
   　前記第２パネル基板に設けられた、前記ガス放電用空間を区切る隔壁と、
   を備えたガス放電パネルの製造方法であって、
   　前記第１パネル基板と前記第２パネル基板と前記封着部とを利用して前記ガス放電パネルを組み立てる組立工程と、
   　前記第１又は第２パネル基板に形成されている貫通孔を介して前記ガス放電用空間と連通する配管部材を、前記貫通孔を有するパネル基板に取り付ける工程と、
   　前記配管部材を利用して、前記ガス放電用空間に放電用ガスを封入する封入工程と、
   　前記配管部材の周囲圧力を、前記封入された放電用ガスの内圧よりも高くして、前記配管部材を封止する封止工程と、
   を備えたことを特徴とするガス放電パネルの製造方法。
2. 前記封止工程では、前記配管部材を加熱し、その配管部材の管部が閉塞する様に前記配管部材の外部から内部に向けて押圧することにより前記封止を行うことを特徴とする請求項１記載のガス放電パネルの製造方法。
3. 前記封止工程では、前記配管部材を加熱し、その配管部材の内部に収納された封止用部材を溶融させて、前記配管部材の管部を閉塞させることにより前記封止を行うことを特徴とする請求項１記載のガス放電パネルの製造方法。
4. 前記封止工程では、筒状部材を用いて前記配管部材の外周部を取り囲み、前記筒状部材により取り囲まれた配管部材の部位を加熱し、その部位が閉塞する様に前記筒状部材の軸方向に沿って前記配管部材を押圧することにより前記封止を行うことを特徴とする請求項１記載のガス放電パネルの製造方法。
   

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