KR20110120341A - 플라즈마 도가니 밀봉 - Google Patents

Abstract

플라즈마 도가니(92)는 관통 보어(93)와, 도가니의 단부면(901, 902) 상에 접촉 밀봉되는 2개의 튜브(981, 982)를 갖는다. 튜브들 중 하나의 튜브(981)는 도가니의 충전 전에 폐쇄된다. 튜브는 평탄한 단부(983)를 갖게 형성하도록 유리 선반에서 팁 오프되고 가공된다. 탈기, 도싱 및 가스 충전 후에, 다른 튜브(902)는 유사한 방식으로 팁 오프된다.

Description

플라즈마 도가니 밀봉{PLASMA CRUCIBLE SEALING}

본 발명은 플라즈마 도가니 밀봉 및 밀봉된 플라즈마 도가니에 관한 것이다.

출원인의 PCT/GB2008/003829호에서, 출원인은 마이크로파 에너지에 의해 전력을 공급받는 광원을 설명하고 청구하였으며, 상기 광원은,

ㆍ광의 배출을 위해 반투명성(lucent)을 갖는 재료로 된 솔리드 플라즈마 도가니로서, 플라즈마 도가니는 플라즈마 도가니에 밀봉된 공극을 갖는 것인 플라즈마 도가니,

ㆍ플라즈마 도가니를 둘러싸는 패러데이 케이지(Faraday cage)로서, 이 케이지는 마이크로파가 밀폐된 상태에서 플라즈마 도가니로부터 광 배출을 위해 적어도 부분적으로 광 투과성인 것인 패러데이 케이지,

ㆍ발광 플라즈마를 형성하도록 마이크로파 에너지에 의해 여기될 수 있는 재료로 된 공극 내의 충전재, 및

ㆍ플라즈마 유도 마이크로파 에너지를 충전재로 전송하기 위해 플라즈마 도가니 내에 배치된 안테나를 포함하고, 상기 안테나는,

ㆍ마이크로파 에너지의 소스에 연결하기 위해 플라즈마 도가니 외측에서 연장되는 연결부를 포함한다.

상기 장치는 공극 내의 플라즈마로부터의 광이 플라즈마 도가니를 통과하고 그곳으로부터 케이지를 통해 방출하도록 되어 있다.

이 용례에서, 이하의 정의들을 제공하였다.

"반투명성"은 물품이 반투명성으로서 설명되는 재료가 투명하거나 반투명하다는 것을 의미한다;

"플라즈마 도가니"는 플라즈마를 둘러싸기 위한 폐쇄체를 의미하고, 플라즈마는 공극의 충전재가 안테나로부터 마이크로파 에너지에 의해 여기될 때에 공극 내에 있다. 이 용례에서, 본 발명자들은 도가니를 밀봉하는 문맥에서 밀봉 중에 플라즈마를 포함하지 않는다는 것을 조건부로 상기 정의를 계속 사용한다. 따라서, 여기에 사용된 바와 같이, 정의는 "둘러싸기 위한"을 포함한다.

이 용례에서, "충전된 플라즈마 도가니"는 여기 가능한 발광 충전재를 공극 내에 밀봉한 반투명성 플라즈마 도가니를 의미한다.

따라서, 충전된 플라즈마 도가니는 도가니 내에, 가능하게는 공극 내에 고정 밀봉된 안테나, 또는 안테나가 도가니에 사용하도록 삽입되는 도가니의 재진입부를 가질 수 있다.

본 발명의 목적은 충전된 플라즈마 도가니를 밀봉하는 개선된 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 한가지 양태에 따르면, 충전된 플라즈마 도가니를 밀봉하는 방법으로서,

ㆍ마우스를 갖는 개방 공극을 갖는 반투명성 재료로 된 플라즈마 도가니를 제공하는 단계와;

ㆍ도가니의 마우스로부터 멀리 연장하는 튜브로서, 도가니에 기밀식으로 밀봉되는 상기 튜브를 제공하는 단계와;

ㆍ여기 가능한 재료를 튜브를 통해 공극 내로 삽입하는 단계와;

ㆍ공극을 튜브를 통해 탈기하는 단계와;

ㆍ튜브를 통해 공극 내로 불활성 가스를 도입하는 단계와;

ㆍ공극을 밀봉하고, 튜브를 마우스에서 또는 마우스에 가깝게 밀봉함으로써 여기 가능한 재료와 불활성 가스를 밀폐시키는 단계를 포함하는 밀봉 방법이 제공된다.

바람직하게는, 밀봉 단계는 튜브를 붕괴시키고 융합시키는 것을 포함한다.

특정한 실시예에서, 설명된 플러그가 사용되지 않고, 다른 실시예에서는,

ㆍ공극에 이 공극의 마우스에서 플러그용 정지부가 제공되고,

ㆍ튜브를 통해 정지부에 대해 마우스 내에 플러그가 위치 결정되고, 플러그와 마우스는 마우스에서 그 밀봉을 위한 플러그의 배치를 위해 상보적으로 성형되며 공극으로부터 및 공극으로 가스가 유동하게 하는 틈새 및/또는 국부적 성형부가 제공된다.

다른 변경예에서, 플러그는 도가니의 평탄면에 대해 밀봉될 수 있다.

플러그가 사용되는 경우에, 튜브는 도가니의 면 상에 위치 결정되어 융합될 수 있다. 이와 달리, 튜브는 공극의 마우스에서 도가니의 면에 있는 카운터보어 내에 위치 결정 및 융합될 수 있다.

충전된 플라즈마 도가니의 일부 용도에서, 도가니는 도가니로부터 연장하는 상태로 남아 있는 튜브를 통해 지지된다. 다른 용도에서, 튜브는 시일에 가깝게 제거되고 도가니는 그 본체로부터 지지된다.

본 발명의 다른 양태에 따르면, 밀봉된 마우스로부터 연장하는 튜브 또는 그 흔적(vestige)을 갖는 충전된 플라즈마 도가니가 제공된다.

제2 튜브 또는 그 흔적은 도가니의 양단면에서 밀봉된 마우스로부터 연장한다.

도가니가 석영으로 이루어지는 경우에, 도가니와 튜브를 형성하기 위한 몰딩 및 소결이 가능하지만, 종래에 도가니는 공극이 내부에 기계 가공된 석영 블록으로부터 형성되고, 석영 튜브는 가열 및 융합에 의해 블록에 밀봉된다. 이 도가니의 최종 밀봉은 종래에 도가니에 가까운 튜브의 국부적 가열인 팁 오프(tip off)에 의해 완성되어 유연해질 때에 대기압이 튜브를 붕괴하고 열을 제거하며 남아 있는 튜브를 인출한다.

드릴링 후에 공극을 세척하기 위하여, 특히 플라즈마 방출을 방해하기 쉬운 특별한 불순물을 제거하기 위하여, 공극은 바람직하게는 초음파 세척된 다음 화염 폴리싱되어 투명도를 향상시키고 크랙 전파를 억제시킨다. 이를 용이하게 하기 위하여, 공극은 바람직하게는 도가니를 통해 보어가 생성된 다음 폴리싱 후에 튜브 대향 단부에서 밀봉된다.

플러그는 마우스 내에 융합되거나 붕괴 및 밀봉된 튜브에 의해 적어도 유지된다.

석영 튜브의 융합은 종래의 화염 또는 아르곤 플라즈마 화염을 이용하여 쉽게 수행된다.

일반적으로, 제공된 도가니, 튜브 및 플러그는 동일한 재료로 될 것이다. 재료가 다결정 세라믹이면, 원료 상태에서 쉽게 몰딩되고 마무리 상태로 소성(fire)된다. 튜브의 붕괴 및 융합에 의해 이 도가니를 밀봉하는 것이 덜 용이하고 플러그는 더 많이 사용된다. 프릿 재료가 플러그와 도가니 사이의 계면에 제공되어 그 둘 사이에 융합 가능한 밀봉 계면을 제공한다. 종래에, 프릿은 초기에 플러그 상에 제공된다. 프릿은 레이저의 사용에 의해 쉽게 융합되고, 레이저는 프릿 재료에 집중하도록 세라믹 재료를 통과하도록 배치될 수 있다.

플러그가 사용되는 경우에, 플러그 및/또는 공극의 마우스는 단차부를 갖게 성형되고, 그에 의해서 플러그는 정지부를 제공하는 단계에 의해 적소에 쉽게 배치된다. 플러그는 그 직경에 대해 얇을 수 있지만 - 플러그와 마우스는 일반적으로 원형 단면임 - 일반적으로 상당한 두께를 가질 수 있어 위치되는 동안에 튜브 내에서 정렬이 벗어날 수 없다. 단차식 구성과 달리, 마우스 및 플러그는 테이퍼질 수 있고, 테이퍼는 시트를 제공한다. 그러한 구성은 탈기에 만족스럽지만, 불활성 가스 도입에 대해 자체 밀봉을 제공할 수 있다. 이를 위해, 특정한 가스 통로가 플러그를 따른 폼 또는 얕은 플랫 또는 홈으로 제공될 수 있다. 그러한 플랫 또는 홈에 심지어 단차식 구성이 제공되어 특히 불활성 가스 도입에 대한 단계에서 조기 폐쇄를 방지하는 것이 바람직할 수 있다.

편의하게 및 특히 도가니 내에서 예상 가능한 마이크로파 공명을 향상시키도록, 플러그는 정지부에 위치될 때에 플라즈마 도가니와 국부적으로 높이가 같아지도록 치수설정된다. 그럼에도 불구하고, 플러그가 튜브로 연장되면 밀봉을 위한 융합이 보다 용이해 질 수 있다는 것이 예상될 수 있다. 튜브의 벽에 대한 튜브의 추가 밀봉은 여기 가능한 재료를 위한 응축 공간을 보다 예상할 수 있게 한다. 여기서 고려 사항은 튜브의 흔적이 여기 가능한 재료가 응축할 것 같은 냉각점을 제공하고 재료가 공극과 재빨리 연통하는 표면을 갖게 하는 것이 중요하고, 그에 의해서 재료는 플라즈마에 참여하도록 공극 내에 증발할 수 있다.

바람직하게는, 사용시에, 튜브의 흔적은 전기장 펄스가 도가니 내에 도입되고 그 내부에서 방출을 시작하는 덕트로서 사용된다.

일반적으로, 공극은 도가니의 중앙축에 위치 결정된다.

발광 용도를 위해, 충전된 플라즈마 도가니는 일반적으로 안테나에 의해 점유되는 재진입부를 갖는다. 재진입부는 플러그로부터 반대쪽에 또는 사실상 플러그 내에서 도가니의 중앙축에 있을 수 있다. 이들 경우 중 어느 하나에서, 공극 및 재진입부는 일반적으로 동축이다. 이와 달리, 안테나 재진입부는 공극의 일측면으로 오프셋될 수 있다.

본 발명의 이해를 돕기 위해, 다수의 특정한 실시예를 일례로서 첨부 도면을 참조하여 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명에 따른 밀봉을 위해 준비된 도가니와 튜브의 사시도이고;
도 2는 도 1의 도가니와 튜브의 측단면도이며;
도 3은 함께 밀봉하도록 가열되는 도가니와 튜브의 측면도이고;
도 4는 도가니의 밀봉을 위해 가열되는 튜브의 유사한 도면이며;
도 5는 본 발명에 따라 밀봉되는 충전된 플라즈마 도가니의 도 2와 유사한 측단면도이고;
도 6은 사용 중인 도 1의 충전된 플라즈마 도가니의 개략도이며;
도 7은 도가니의 밀봉을 위해 튜브를 가열하는 대안적인 방식을 도시하는 도 4와 유사한 도면이고;
도 8은 본 발명에 따라 밀봉된 충전된 플라즈마 도가니의 변경예의 도 5와 유사한 도면이며;
도 9는 본 발명에 따라 밀봉된 충전된 플라즈마 도가니의 다른 변경예의 도 5와 유사한 도면이고;
도 10은 본 발명에 따라 밀봉된 충전된 플라즈마 도가니의 또 다른 변경예의 도 5와 유사한 도면이다.

도 1 내지 도 6을 참조하면, 희가스가 충전되고 여기 가능한 플라즈마 재료가 도핑된 석영 도가니(1)는 마감된 도가니의 유효한 치수를 한정하고 마우스(4)에서 도가니의의 일단부에서 개방하는 중앙 공극(3)을 갖는 두꺼운 디스크/짧은 원형 실린더(2)로서 형성된다. 마우스는 한쌍의 카운터보어(5, 6)의 형태이고, 내측 카운터보어(5)는 외측 카운터보어(6)보다 깊어서 상당한 반경 증가분(7)을 제공한다. 일반적으로 상기 증가분과 동일한 벽을 갖는 튜브(8)는 양면 버너(9)를 통해 가열함으로써 실린더에 부착된다. 가열 및 삽입은 기밀식 시일이 실린더와 튜브 사이에 생성되는 보장하도록 제어되고, 튜브의 전체 내측 보어(10)의 최소의 장애물이 외측 카운터보어(5) 내로 튜브를 지나서 연속된다. 튜브가 연장할 때에 도가니의 동일한 단부로부터 안테나 재진입부(11)가 실린더의 직경의 1/4과 동일한 반경으로 실린더 내로 연장된다.

여기 가능한 재료의 펠릿(12)은 튜브, 이어서 원형 원통형 플러그(13)를 통해 공극 내로 낙하된다. 플러그는 보어(10) 내의 틈새 직경이고 카운터보어(5)와 공극(3) 사이의 단차부(14)에 안착된다. 공극으로부터 플러그를 지나 초기의 가스 연통을 제공하기 위하여, 플러그는 그 길이를 따라 얕은 홈(15)을 갖는데, 이 홈은 단차부의 반경 방향 연장부를 지나서 내측면(16)으로 계속된다.

튜브의 말단부는 펌프에 대한 연결을 위한 제1 밸브 및 유니언(17)과 제어된 감압상태(sub-atmospheric pressure)에서 희가스의 소스(또한 도시되지 않은 소스)에 연결하기 위한 제2 밸브 및 유니언(18)을 갖는 Y 피팅을 통해 진공 펌프(도시되지 않음)에 연결된다. 공극은 탈기 후에 폐쇄되는 밸브(17)를 통해 탈기된다. 이어서, 공극은 다시 충전 후에 폐쇄되는 밸브(18)를 통해 희가스가 충전된다. 희가스는 홈(15)을 통해 공극에 도달할 수 있다.

충전된 플라즈마 도가니의 형성에 있어서 최종 스테이지는 버너(19)를 통한 튜브의 가열이다. 튜브의 석영 재료가 튜브의 석영 재료가 유연해지고 희가스의 내압 이상의 대기압의 초과가 튜브를 자체적으로 붕괴되게 할 때가지 상기 가열이 계속된다. 단차부(14) 상에 안착된 플러그는 치수(20)에 의해 도시된 바와 같이 튜브(8) 내로 약간 연장하여 도가니의 단부의 연장면을 지난다. 가열은 이 치수를 지나서만 이루어짐으로써, 튜브가 붕괴될 때에, 튜브는 플러그의 외단부 코너(21) 상으로 수축된다. 따라서, 공극은 플러그의 단부의 임의의 흔적 공간(22)이 코너(21)에서 공극으로부터 밀봉되고 튜브의 완벽한 폐쇄가 튜브의 "팁 오프"(23)에서 달성된다는 점에서 이중 밀봉되고, 튜브의 말단 피스는 튜브의 붕괴 후에 도가니로부터 인출된다.

도 6은 이 충전된 플라즈마 도가니를 패러데이 케이지(C)에 사용하도록 설치된 상태로 도시하고 있는데, 패러데이 케이지는 도가니와 마이크로파의 소스(S)로부터의 마이크로파를 도입하도록 안테나 재진입부(11)로 연장하는 안테나(A)를 둘러싼다. 공극 내에서 플라즈마 방출을 시작하기 위하여, 도가니의 팁 오프(23)와 후단부 사이에 튜브의 흔적 스터브(24)에 인접한 팁(T)과 함께 스타터 프로브(P)가 배치된다.

도 7에 도시된 변경예에서, 튜브는 더 길고 초기에 밀봉되며 도가니로부터 먼 지점(31)에서 팁 오프되어 이전의 벌브 밀봉 특허 EP 1,831,916호와 동일한 방식으로 디바이스 내에 희가스와 여기 가능한 재료를 포획한다. 디바이스는 이제 Y 피팅으로부터 자유롭게 조절될 수 있다. 튜브는 밀봉되고 전술한 바와 같이 프러그의 32에서 팁 오프된다. 이 구조는 폐기될 튜브의 중간 길이(33)의 준비된 조작을 허용하고 균일하게 반복적인 제조를 허용한다.

공극(53)이 도가니 실린더(52)의 단부면(501)으로부터 단부면(502)까지 관통 보어로부터 초기에 형성되는 다른 변경예가 도 8에 도시되어 있다. 보어에는 양면에 단일의 카운터보어(561, 562)가 형성된다. 밀봉 전에, 공극은 크랙 전이 지점을 제거하며, 투명도를 개선시키기 위하여, 초음파 세척된 다음에 화염 폴리싱되어 그렇지 않으면 사용시 플라즈마 방출을 방해할 수 있는 임의의 드릴링 부스러기를 제거한다. 폴리싱 후에, 튜브(581, 582)는 각 보어 내로 밀봉된다. 한 튜브(581)는 밀봉되어 팁 오프되고 흔적 스터브(641)를 떠난다. 다른 튜브는 또한 전술한 바와 같이 여기 가능한 재료와 희가스의 도입 후에 밀봉된다. 이 변경예는 사용시에 도가니의 외측 흔적 스터브에, 즉 광이 사용을 위해 수집되는 단부에 냉각점을 제공할 수 있다. 이 단부는 다른 단부보다 차가울 것으로 예상되고, 상기 단부는 도시되지 않은 케이싱 내에 흔적 스터브를 가지며 그 상세 내용은 도가니의 사용으로 변할 것 같다.

다른 변경예가 도 9에 도시되어 있다. 이 변경예에서, 공극(73)의 2개의 단부는 플러그(831, 832)와 튜브(881, 882)의 흔적부(841, 842)에 의해 폐쇄된다. 이 구조는 공극 내의 가스와의 직접적인 접촉으로부터 도가니/튜브와 튜브 팁 오프 시일의 보호를 허용한다는 점에서 도 8의 구조에 비해 이점을 갖고, 이는 공극의 중앙에 플라즈마를 지지한다. 이 변경예는 공극으로부터 먼 플러그의 단부에 2개의 공간(821, 822)을 갖는다는 점을 유념해야 한다. 튜브가 플러그의 코너(81)에 형성하는 기밀식 시일에 의해 밀봉되지만, 이 시일은 기밀식이 아니고 여기 가능한 재료 공간 내로 응결되게 할 수 있다는 것이 예상될 수 있다. 따라서, 최대 성능을 위해, 여기 가능한 재료는 바람직하게는 이들 공간을 그리고 사실상 희가스가 도입되는 플러그의 홈(752)을 충분히 채울 수 있도록 충분히 초과하여 제공되고, 다른 홈은 가스가 홈을 경유해서 도입되지 않기 때문에 홈이 형성되지 않는다.

본 발명은 전술한 실시예의 상세 내용으로 제한하도록 의도되지 않는다. 예컨대, 단차식 카운터보어와 원형 원통형 플러그는 상보적으로 테이퍼진 보어와 플러그에 의해 대체될 수 있다. 또한, 이 밀봉 작업을 선반에서 수행함으로써 카운터보어 없이 튜브를 도가니에 밀봉할 수 있는 것이 예상된다.

그러한 플라즈마 도가니(92)가 도 10에 도시되어 있다. 도가니는 관통 보어(93)와 초기에 도가니의 단부면(901, 902)에 접촉 밀봉되는 2개의 튜브(981, 982)를 갖는다. 튜브들 중 한 튜브(981)는 도가니의 충전 전에 폐쇄된다. 튜브가 팁 오프될 때에 튜브를 가로질러 차압이 없기 때문에, 평탄한 단부(983)를 갖게 형성하도록 유리 선반에서 작업될 수 있다. 이는 플라즈마 공극이 이 측면에서 잘 한정된 치수가 되게 한다. 표준 튜브의 공차 및 이용 가능성으로 인해, 튜브(901, 902)의 내부 직경은 보어(93)의 내부 직경을 약간 초과할 것으로 예상된다. 근사 치수로 덜 가공되는 것이 고려될 수 있지만, 탈기 후에, 도싱 및 가스가 충전되고, 다른 튜브(902)가 유사한 방식으로 팁 오프된다. 사용시, 평탄한 단부(983)는 최외측에 있고, 가능하게는 패러데이 케이지(도시 생략)에 의해 덮이고 주변 환경에 노출된다. 다른 팁 오프된 단부는 지지 구조(또한 도시 생략)에 의해 덮이는 것 같다. 평탄한 단부(983)에 추가하여, 반구상 단부를 성공적으로 시험하였다.

다른 변경예에서, 전술한 바와 같이 마이크로 크랙, 또는 사실상 두꺼운 벽 튜브의 섹션의 제거를 위해 취급될 수 있는 관통-보어 도가니와는 대조적으로, 공극을 일측면 피스로부터 석영까지 천공하도록, 제품 수명이 주요 관심사가 아닌 용례가 가능하다. 다시, 도가니는 소결 재료로 형성될 수 있다는 것이 예상될 수 있다. 그러한 경우에, 단일의 튜브만이 공극의 마우스 둘레에서 접촉 밀봉될 수 있고 설명한 방식으로 밀봉될 수 있다.

통상적으로, 2.4 GHz로 작동하는 석영 도가니의 사용시에, 도가니는 49 mm의 직경과 21 mm의 두께를 갖는 원통형일 수 있다. 공극의 직경은 중요한 것으로 판단되지 않고 낮은 전력을 위한 1 mm 내지 높은 전력을 위한 10 mm 사이에서 변할 수 있다. 본 발명자들은 1 mm 내지 3 mm의 벽 두께를 갖는 튜브를 밀봉하는 것을 사용하였다. 또한, 본 발명자들은 도가니의 면으로부터 길이가 최대 30 mm인 팁 오프된 튜브를 갖는 도가니를 시험하였다. 면으로 다시 팁 오프된 튜브의 내부 길이가 0 내지 10 mm가 되는 것을 선호한다. 바람직한 거리는 5 mm이다. 튜브의 그러한 길이의 제공은 이후의 처리 및/또는 그 사용시에 도가니를 유지하는 데에 유용하다고 생각된다.

Claims (20)

1. 충전된 플라즈마 도가니를 밀봉하는 방법으로서,
   ㆍ마우스를 갖는 개방 공극을 갖는 반투명성 재료(lucent material)로 된 플라즈마 도가니를 제공하는 단계와;
   ㆍ상기 도가니의 마우스로부터 멀리 연장하는 상기 반투명성 재료에 융합할 수 있는 재료로 된 튜브를 제공하고 상기 튜브를 상기 공극과 연통하도록 상기 도가니에 기밀식으로 밀봉하는 단계와;
   ㆍ여기 가능한 재료를 상기 튜브를 통해 상기 공극 내로 삽입하는 단계와;
   ㆍ상기 공극을 상기 튜브를 통해 탈기하는 단계와;
   ㆍ상기 튜브를 통해 상기 공극 내로 불활성 가스를 도입하는 단계와;
   ㆍ상기 공극을 밀봉하고, 상기 튜브를 상기 마우스에서 또는 상기 마우스에 가깝게 밀봉함으로써 상기 여기 가능한 재료와 상기 불활성 가스를 밀폐시키는 단계를 포함하는 밀봉 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 밀봉 단계는 상기 튜브를 붕괴시키고 융합시키는 것을 포함하는 밀봉 방법.
3. 제2항에 있어서, 상기 튜브는 상기 도가니의 면 상에 위치되어 융합되는 밀봉 방법.
4. 제3항에 있어서, 상기 튜브는 상기 공극의 마우스에서 상기 도가니의 면의 카운터보어 내에 위치되어 융합되는 밀봉 방법.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 마우스에 상기 반투명성 재료에 융합 가능한 재료의 플러그를 위치 결정하는 단계를 포함하고, 상기 밀봉 단계는 상기 플러그를 상기 도가니에 융합하는 것을 포함하는 밀봉 방법.
6. 제5항에 있어서, 상기 플러그는 상기 도가니의 면 상에 위치 결정되어 융합되는 밀봉 방법.
7. 제5항에 있어서, 상기 플러그는 상기 공극의 마우스에서 상기 도가니의 면 내의 카운터보어 내에 위치 결정되어 융합되고, 상기 플러그와 상기 마우스는 상기 마우스 내에서 그 밀봉을 위한 상기 플러그의 배치를 위해 상보적으로 형성되고, 상기 공극으로부터 및 상기 공극으로 가스가 유동할 수 있도록 틈새 및/또는 국부적 성형이 제공되는 밀봉 방법.
8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 제공된 상기 튜브와 상기 플러그는 상기 도가니와 동일한 반투명성 재료로 되어 있는 밀봉 방법.
9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 이전에 드릴링되지 않은 반투명성 도가니에 상기 공극을 형성하는 예비 단계를 포함하는 밀봉 방법.
10. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 공극의 대향 단부를 밀봉하는 예비 단계를 포함하고, 상기 반투명성 도가니는 관통 보어를 미리 갖는 밀봉 방법.
11. 제10항에 있어서, 상기 공극의 대향 단부를 밀봉하는 예비 단계는 예비 튜브를 상기 공극과 연통하도록 상기 도가니에 대해 기밀식으로 밀봉하고 상기 예비 튜브의 붕괴 및 융합시키는 것을 포함하는 밀봉 방법.
12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 공극의 초음파 세척 및 화염 폴리싱의 예비 단계를 포함하는 밀봉 방법.
13. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항 또는 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 종속하는 제8항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 시일 또는 각각의 시일은 튜브가 밀봉되는 도가니의 면과 높이가 동일하게 공극에 단부를 생성하도록 형성되는 밀봉 방법.
14. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항 또는 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 종속하는 제8항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 시일 또는 각각의 시일은 상기 튜브가 밀봉되는 상기 도가니의 면을 지나서 연장하는 상기 공극의 일부를 생성하도록 형성되고, 그에 의해서 상기 공극의 충전을 위한 냉각점이 제공되는 밀봉 방법.
15. 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 도가니로부터 그 시일에서 멀리 있는 상기 튜브 또는 각 튜브의 일부를 분리하는 단계를 포함하는 밀봉 방법.
16. 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 도가니로부터 그 시일에서 멀리 있는 상기 튜브 또는 각 튜브의 임의의 부분을 분리하는 단계를 포함하지 않는 밀봉 방법.
17. 제1항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 반투명성 도가니 재료는 다결정 세라믹인 밀봉 방법.
18. 제1항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 반투명성 도가니 재료는 석영인 밀봉 방법.
19. 제1항 내지 제18항 중 어느 한 항의 방법에 따라 밀봉된 충전된 플라즈마 도가니로서,
    상기 도가니의 밀봉된 마우스로부터 연장하는 튜브 또는 그 흔적을 갖는 충전된 플라즈마 도가니.
20. 제19항에 있어서, 양단부들에서 상기 도가니의 밀봉된 마우스로부터 연장하는 튜브 또는 그 흔적을 갖는 충전된 플라즈마 도가니.
    

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