JP6379094B2 - Luwplのルツボ - Google Patents
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Description
(a)前記導波路は基本的に、2を超える誘電率、0.01以下の損失正接、1インチ2.54cmとして200キロボルト/インチを越える直流破壊限界値、を持つ誘電物質で構成されている本体を備え、
(b)前記導波路の大きさや形は、0.5から30GHzまでの周波数のうち、少なくとも1つの作動周波数で、前記導波路の本体に、少なくとも一つの電界最大値を保持できるようになっていて、
(c)空洞は、前記導波路の第一側面に従属し、
(d)前記バルブは、作動中、前記空洞内で電界が最大となる部分に配置され、前記気体充填材は、共振している前記導波路の本体からのマイクロ波エネルギーを受け取ると発光するプラズマを形成し、
(e)前記導波路の本体の内部に設けられたマイクロ波供給部は、前記エネルギー源からのマイクロ波エネルギーを受け取るように構成され、前記導波路の本体と密接に接触している、
ことを特徴とする光源が特許請求されている。
・中に密封されたボイド空間を有する本体と、
・前記本体を取り囲む、マイクロ波を閉じ込めているファラデー箱であって、
・前記本体は、前記ファラデー箱に入っている共振導波路であるファラデー箱と、
・前記ボイド空間において、その内部で発光プラズマを生成するために充填された、マイクロ波のエネルギーによって励起可能な材料からなる充填材と、
・前記充填材にプラズマを誘導するマイクロ波エネルギーを伝送するために前記本体の中に設けられたアンテナであって、
・前記アンテナは、マイクロ波エネルギー源と結合するために前記本体の外側に伸びている接続部を有しているアンテナと、
を有しており、
・前記本体が、そこから出て行く光のための半透明の材料からなる固体でできたプラズマのルツボであることと、
・前記ファラデー箱は前記プラズマのルツボから出てきた光を少なくとも部分的に透過するものであることと、を特徴とし、前記ボイド空間のプラズマからの光が前記プラズマのルツボを通過可能であり、前記ファラデー箱を介して放射されるような配置になっている光源が記載され、また特許請求されている。
・固体誘電体材料からなる半透明な導波路であって
・前記導波路を取り囲む、少なくとも一部が光を伝達するファラデー箱であって、光を放射状に伝達するために構成されるファラデー箱と、
・前記導波路と前記ファラデー箱との内部のバルブ型空洞共振器と、
・前記導波路と前記ファラデー箱との内部のアンテナ凹部と、
を有する半透明な導波路と、
・マイクロ波により励起可能な充填物を有するバルブであって、前記バルブ型空洞共振器内に入れるバルブと、
を備えた光源が記述、特許請求されている。
・「マイクロ波」は、ある特定の周波数帯をさすわけではない。我々は「マイクロ波」を、300MHz周辺から300GHz周辺まで3桁に及ぶ周波数帯を意味するものとして用いている。
・「半透明」とは、半透明とされている物の材料が透明または半透明であることを意味する。
・「プラズマのルツボ」とはプラズマを閉じ込めた密封体を意味し、ボイド空間の充填材がアンテナからのマイクロ波エネルギーによって励起された時は、該ボイド空間内(該密封体内)を意味する。
・「ファラデー箱」とは電磁放射を閉じ込める導電性の覆いを意味し、作動周波数、すなわちマイクロ波での周波数における電磁波を、少なくとも、十分に透過させない。
・ファラデー箱であって、
・導波路を仕切り、
・発光のために、少なくとも一部が半透明で、通常は少なくとも一部が透明であって、
・通常は不透明な覆いを有するファラデー箱と、
・前記導波路を前記ファラデー箱に統合する、半透明な固体誘電体材料からなる本体と、
・マイクロ波によって励起可能な材料を含む、前記導波路内の密閉されたボイド空間と、
・プラズマを励起させるマイクロ波を前記導波路に導入するための供給手段と、
を備え、
所定の周波数を持ったマイクロ波が導入されると、前記ボイド空間内にプラズマが作り出され、前記ファラデー箱を通って発光するように配置されるマイクロ波プラズマ光源。
・半透明な固体誘電体材料からなる加工品であって、
・電磁波、通常はマイクロ波により励起可能な材料を含む密閉されたボイド空間を有する加工品と、
・ファラデー箱であって、
・導波路を仕切り、
・発光のために、少なくとも一部が半透明で、通常は少なくとも一部が透明であって、
・通常は不透明な覆いを有し、
・前記加工品を包み込むファラデー箱と、
・プラズマを励起させる電磁波、通常はマイクロ波を導波路に導入するための供給手段と、
を備え、
所定の周波数を持った電磁波、通常はマイクロ波が導入されると、前記ボイド空間内にプラズマが作り出され、前記ファラデー箱を通って発光するように配置されるマイクロ波プラズマ光源。
・穴を有する、半透明材料からなる導波路本体と、
・前記穴に設けられた、半透明材料からなる管であって、
・両端で密閉され、
・前記管の、その密封された両端間の穴に形成されるボイド空間に励起可能な材料を含み、
・前記本体の半透明材料と密接に接触する管と、
を備えるルツボを我々は開示している。
・穴を有する、半透明材料からなる導波路本体と、
・前記穴に設けられた、半透明材料からなる管であって、前記管が、
・両端で密閉されており、
・前記管の該密封された両端間の穴に形成されたボイド空間に励起可能な材料を含み、
・前記導波路本体の前記穴における、滑りばめ用の環状の空隙に収容され、
・前記穴のオリフィスで、接合用材料により前記導波路本体に固定される管と、
を備える。
・典型的にはセラミック組成物を備えるフリットで、望ましくは、オーブンで溶かし、急冷させ、粒状にされた、もしくは粉に挽かれた酸化物の混合物を備えるフリット。
・典型的には粒状にされた、もしくは粉に挽かれた、フリットに加工されない酸化物の混合物。及び、
・セラミック接着剤で、望ましくは、例えばアレムコ・セロマボンド(Aremco Ceramabond)618などの、リン酸シリカを充填したセラミック接着剤。
・中に穴を有する半透明の導波路本体を設けるステップと、
・半透明の管を前記穴に挿入するステップと、
・前記穴のオリフィスで、接合用材料により前記導波路本体に固定するステップと、
を含む。
・固定のためにリング状もしくは複数の弧状の前記溶融可能な材料を前記接合表面に用いるステップと、
・前記溶融可能な材料を加熱するステップと、
をさらに備え得ると予想される。
1.10mm径の管は、導波路本体2の厚さと同等の長さ44である一方で、6mm径の管46の更なる長さが8mm径の中間物45と融合し、該10mm径の管が該中間物45の一部分と融合した。
2.上記の一体化した管の端41で密封され、平坦に加工される。
3.一体化した管を空にして、希ガスを有する励起可能な材料をその中に導入した。ガス導入後、6mm径の部分での印47で一体化した管を密封する。該導入工程は、端41で加熱することにより励起可能な材料から不純物を除去するステップを含めることができ、不純物を空にし、一体化した管の冷たい部分に電荷が凝集している状態になる。
4.仮密封後、現在は冷たい端41に戻る励起可能な材料を追跡するために、電荷を凝縮した部分を加熱する。8mm径の部分で一体化した管を再密封し、小型の先端43を備えるためにガラス旋盤で加工される。
Claims (20)
- LUWPLのルツボであって、前記ルツボが、
・貫通する穴を有する、半透明材料からなる導波路本体と、
・前記穴に設けられた、半透明材料からなる管であって、前記管は、
・両端で密閉されており、
・その全長にわたって均一な直径を有する管本体と、前記管本体より小さな直径を有する残留端とを備え、
・前記管の密封された前記両端間の穴に形成されたボイド空間に励起可能な材料を含み、
・前記導波路本体の前記穴における、滑りばめ用の環状の空隙に収容され、
・前記穴のオリフィスで、前記管本体と前記導波路本体の間に直接塗布される接合用材料により前記導波路本体に固定され、前記接合用材料においてのみ、前記導波路本体と前記管の間の接触をもたらす管と、
を備えることを特徴とするルツボ。 - 前記接合用材料は、前記オリフィスの360°にわたって連続的に設けられることを特徴とする請求項1に記載のルツボ。
- 前記接合用材料は、前記オリフィスの周囲で複数の別々の場所に設けられることを特徴とする請求項1に記載のルツボ。
- 前記接合用材料は、熱接合用材料であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のルツボ。
- 前記熱接合用材料はフリットであることを特徴とする請求項4に記載のルツボ。
- 前記熱接合用材料は、フリットに加工されない酸化物の混合物であることを特徴とする請求項4に記載のルツボ。
- 前記熱接合用材料はセラミック接着剤であることを特徴とする請求項4に記載のルツボ。
- 前記管が、密封されたプラズマバルブであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載のルツボ。
- 請求項1に記載のルツボの製造方法であって、
・中に穴を有する半透明の導波路本体を設けるステップと、
・半透明の管を前記穴に挿入するステップであって、前記管は、その全長にわたって均一な直径を有する管本体と、前記管本体より小さな直径を有する残留端とを備えるステップと、
・前記穴のオリフィスで、接合用材料により前記導波路本体に前記管を固定するステップであって、前記接合用材料は、前記管本体と前記導波路本体の間に直接塗布され、前記接合用材料においてのみ、前記導波路本体と前記管の間の接触をもたらすステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記管を前記導波路本体に固定した後で、前記管を密封することを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記管を前記穴に挿入する前に、前記管を密封することを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記接合用材料は、熱接合用材料であることを特徴とする請求項9〜11のいずれか1つに記載の方法。
- 前記導波路本体に前記管を固定する前記ステップは、
・固定のためにリング状もしくは複数の弧状の溶融可能な材料を表面に用いるステップと、
・前記溶融可能な材料を加熱するステップと、をさらに備えることを特徴とする請求項12に記載の方法。 - 前記加熱するステップは、固定のために前記溶融可能な材料を前記表面に用いる前に行われることを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記加熱するステップは、固定のために前記溶融可能な材料を前記表面に用いた後に行われることを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記加熱するステップは、炎により前記溶融可能な材料を加熱することを備えることを特徴とする請求項13〜15のいずれか1つに記載の方法。
- 前記加熱するステップは、レーザーにより前記溶融可能な材料を加熱することを備えることを特徴とする請求項13又は14に記載の方法。
- 前記加熱するステップは、炉により前記導波路、前記管及び前記溶融可能な材料を加熱することを備えることを特徴とする請求項13又は15に記載の方法。
- 前記固定するステップは、望ましくは固定のために前記溶融可能な材料を前記表面に用いる前に、前記溶融可能な材料をリング状もしくは複数の弧状にプレス成型するステップを更に含み得ることを特徴とする請求項13〜18のいずれか1つに記載の方法。
- 前記管が、密封されたプラズマバルブであることを特徴とする請求項10〜19のいずれか1つに記載の方法。
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