JP2003529200A - 混色の電磁放射を発生させる半導体コンポーネント - Google Patents

混色の電磁放射を発生させる半導体コンポーネント

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Abstract

(57)【要約】 本発明は、混色の電磁放射(S)を発生させる半導体コンポーネントに関する。この半導体コンポーネントは、第1の半導体層(R)およびこれに隣り合って配置されエレクトロルミネセンス領域(B)をもつ第2の半導体層(E)を有している。第1の半導体層(R)は、第2の半導体層(E)から放出された波長λ の第1の電磁放射により励起されたとき、それよりも長い少なくとも1つの波長λ の放射を放出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】 本発明は、混色の電磁放射たとえば白色光を発生させるための半導体コンポー
ネントに関する。このコンポーネントの半導体チップには、第1の半導体層およ
びこの層に隣り合って配置されエレクトロルミネセンス領域をもつ第2の半導体
層が設けられている。
【0002】 白色光は今日、主として白熱電球や蛍光管によって発せられており、それらは
幅の広い波長スペクトルをもつ光を放出する。
【0003】 これに対し発光ダイオード(LED)や半導体レーザダイオードなど光を発す
る半導体コンポーネントは、典型的には10〜25nmの幅しかない発光スペク
トルをもっており、つまりこれはほとんど単色である。しかしこのような半導体
コンポーネントのもつ格別な利点は、白熱電球や蛍光管が必要とする電流のほん
の一部分しか必要としないことである。しかもその寿命は白熱電球や蛍光管より
もずっと長い。大面積の発光装置が必要とされる場合には、単に複数のLEDま
たはレーザダイオードをまとめてアレイとすればよい。
【0004】 3原色の赤、緑、青または2つの補色である青と黄のLEDを用いて加法混色
により、人間の目には白色に見える光を発生させることができる。しかしながら
これによる著しい欠点は、3つもしくは2つの発光ダイオードを個別に電気的に
制御しなければならず、そのことで煩雑な制御エレクトロニクスが必要となるこ
と(それぞれ異なるLEDのためには一般にそれぞれ異なる制御電圧が必要とさ
れる)、組み立てる手間が非常にかかること、さらにはコンポーネントの小型化
がかなり制約されてしまうことである。
【0005】 W097/50132 には白色光を発する発光ダイオードコンポーネントについて記述
されており、このコンポーネントの場合、青色の光を発する発光ダイオードチッ
プにたとえばYAGりんを含むルミネセンス変換層が被着されている。このルミ
ネセンス変換層は、青色光またはUV放射によって励起されると黄色のスペクト
ル領域で発光する。その際、青色の1次光と黄色の2次光から成る混色を目は白
色として知覚する。この場合の欠点は、ルミネセンス変換層を製造するために付
加的なプロセスステップが必要とされることである。
【0006】 本発明の課題は、製造のために技術的に僅かな手間しかかからない混色光を発
する半導体コンポーネントを開発することである。
【0007】 この課題は基本的に、請求項1の特徴部分に記載の半導体コンポーネントによ
って解決される。従属請求項2から6の構成はこの半導体コンポーネントの有利
な実施形態である。
【0008】 これによれば冒頭で述べた形式の半導体コンポーネントにおいて、第1の半導
体層は有利には、第2の半導体層から放出された放射の波長λ よりも長い波
長λabs に対応する吸収率の状態をもつ材料を有している。そしてこの材料
はλabs よりも短い波長の放射により励起されたとき、λabs よりも長い
波長λ の放射を再放出する。
【0009】 1つの有利な実施形態によれば、第1の半導体層として第2の半導体層のエピ
タキシャル成長のための基板が使用される。
【0010】 1つの別の有利な実施形態によれば、第1の半導体層も第2の半導体層も成長
基板上のエピタキシャルにより被着される。
【0011】 さらに1つの有利な実施形態によれば、第1の半導体層RにはZnSeが、第
2の半導体層EにはCdZn - Se/ZnSe量子井戸系(ただし0≦x
≦1)たとえば多重量子井戸系が、活性化ゾーンとして含まれている。
【0012】 ここで半導体層という用語は、同種の半導体材料から成る単一の層だけを表す
のではなく、異なる複数の層および/または段階づけられた複数の層から成る層
系または層列のことも表すことができる。
【0013】 次に、図1から図5を参照しながら3つの実施例に基づき本発明について詳し
く説明する。
【0014】 図1は、発光ダイオードチップの第1の基本構造図である。
【0015】 図2は、発光ダイオードチップの第2の基本構造図である。
【0016】 図3は、発光ダイオードチップの第3の基本構造図である。
【0017】 図4は、本発明による発光ダイオードチップの基本的な波長スペクトルである
【0018】 図5は、本発明による発光ダイオードの基本的なバンドパターンである。
【0019】 図1による発光ダイオードチップCの基本構造の場合、基板R上に機能的半導
体層Eが取り付けられている。
【0020】 一般に基板Rは単結晶であり、溶解物からの引き上げ、薄いウェハへの切断な
らびに研磨によって製造される。
【0021】 以下ではたいてい略してエミッション層Eと称する機能的半導体層Eとは、チ
ップに電流を流したときにエレクトロルミネセンス領域Bに電磁放射を発生させ
るために用いられる1つまたは複数の半導体層から成る装置のことである。
【0022】 基板Rは安定した機械的な土台として数100μmの厚さをもち、その上にエ
ピタキシャル成長されるエミッション層Eよりもほぼ係数100だけ厚い。
【0023】 発光ダイオードチップの典型的な機能的半導体層Eは周知のようにたいてい、
厚さ、組成、ドーピングがそれぞれ異なる複数の半導体層から成る。また、エレ
クトロルミネセンス領域Bとして、量子膜をもつpn接合部がしばしば使用され
る。システム全体の厚さは通常、μmの領域である。
【0024】 目的に合わせた不純物注入(ドーピング)または混合による所期の特性変化、
ならびに機能的半導体層E内部での原子的に滑らかな界面の製造を達成する目的
で、これはたとえばMBE(Molecular Beam Epitaxy, 分子線エピタキシャル成
長)および/またはMOVPE(Metal Organic Vapor Phase Epitaxy, 有機金
属気相成長)によって製造される。
【0025】 図1による実施例の場合、機能的半導体層Eのエミッション波長λ は、基
板Rの吸光率に対応する波長λabs よりも短い。
【0026】 室温もしくは動作温度では基板Rにおいて、λabs よりも短い波長の放射
によって励起されたとき、高い効率をもつ波長λ (リエミッション波長もし
くは再エミッション波長)における放射再結合が優勢となる。したがって基板R
のバンドギャップは、発光を行うエミッション層Eの接合部よりも小さい。基板
Rにおいて発光ダイオードチップの動作中、エミッション層Eから基板Rの方向
に放出される放射の少なくとも一部分が吸収される。ついで、λabs よりも
大きいリエミッション波長λにおいて基板Rからのリエミッションが行われ、そ
の際、これには基板Rのバンドギャップの状態が関与している。
【0027】 したがって、著しく異なる2つの波長の放射Sを放出するコンパクトなチップ
が実現される。光を発生する両方のボリュームは互いにすぐ近くに配置されてい
るので、人間の目には混色光の印象を与えることができ、特別な事例では白色の
印象を与えることもできる。LEDでは一般的であり図1に略示されているよう
に、発光ダイオードチップを小さいパラボラミラーP内に収めると、この効果が
さらに強められる。
【0028】 図2による実施例が図1による実施例と基本的に異なる点は、吸収およびリエ
ミッションが成長基板A内で行われるのではなく、図2では別個のリエミッショ
ン層Rが設けられていることである。この別個のリエミッション層Rは成長基板
Aとエミッション層Eとの間に配置されていて、これは図1の実施例の基板と同
じ特性を有している。この場合、成長基板Aは透過性または吸収性として形成さ
れていて、もっぱら成長基板としてしか用いられない。
【0029】 図3による実施例は図2による実施例と基本的には同じであり、その相違点は
、図3ではリエミッション層Rが成長基板Aと機能的半導体層Bとの間ではなく
、エミッション層Eにおいて成長基板Aとは反対側の面に配置されていることで
ある。
【0030】 たとえば量子井戸構造をもつ機能的半導体層Eの量子井戸の厚さまたは機能的
半導体層Eにおける組成を変化させることにより、エミッション波長を所定の限
界内に収めることができ、ここで条件λ <λabs に留意されたい。基板も
しくはリエミッション層Rの吸収率の位置は、基板材料もしくはリエミッション
材料の選択によって決められる。(吸収率Aに対し相対的な)リエミッション波
長λ は、バンドギャップ状態を形成するやり方に依存する。
【0031】 (基板Rもしくはリエミッション層Rから放出された放射の強度)/(機能的
半導体層Eから放出された放射の強度)の比は、所期のように以下のことにより
制御することができる。すなわち、 a)基板もしくはリエミッション層Rつまりは吸収およびリエミッションを行う
ボリュームの厚さ(これはたとえば薄くすることにより達成できる); b)基板もしくはリエミッション層Rにおける放射再結合の率(これは(非)放
射再結合チャネルを設けることにより所期のように行うことができる); c)導波体の効率(極度に明るいLEDはいわゆるダブルへテロ構造として構成
されている。この場合、層の相応の屈折率の跳躍的変化により成長方向に対し垂
直に導波効果が得られる。この導波効果が良好になればなるほど、基板もしくは
リエミッション層Rに到達する光子は僅かになり、基板もしくはリエミッション
層Rから放出される放射に対しその成分が多くなる); d)基板もしくはリエミッション層Rに対し相対的なエミッション波長λ
位置(エミッション波長λ が基板もしくはリエミッション層Rの吸収率に近
づけば近づくほど、基板もしくはエミッション層Rはいっそう透過性になり、そ
こにおける吸収/リエミッションはいっそう僅かになる。基板成分もしくはリエ
ミッション層成分を僅かに抑える目的で、λ >λabs についても十分に
吸収が生じるならば、条件λ <λabs とは異ならせることも必要となる可
能性がある。
【0032】 図4に示されている波長スペクトルにおいて横軸には波長λが、縦軸には強度
がそれぞれスケーリングなしで書き込まれている。ピーク波長λ をもつエミ
ッション層EのエミッションスペクトルESは、ピーク波長λ をもつリエミ
ッション層RのリエミッションスペクトルRSよりも短い波長のところにある。
エミッションスペクトルESとリエミッションスペクトルRSとの間の波長λ bs のところにリエミッション層Rの吸収率Kがある。
【0033】 図5のバンド図ではエネルギーが垂直に書き込まれている。左側の部分にはエ
ミッション層Eのバンドギャップが示されており、垂直方向の矢印と曲がりくね
った矢印とによってエミッション層において放射を行う接合部が示されている。
また、バンドギャップ図の右側の部分には、リエミッション層Rのバンドギャッ
プがバンドギャップの状態とともに示されている。垂直方向の矢印および曲がり
くねった矢印により、やはりリエミッション層において放射を行う接合部が示さ
れている。リエミッション層Rにおける再エミッションは、エミッション層Eか
ら放出された放射により励起される。
【0034】 この種の半導体チップの製造のために有利な材料系はたとえば、CdZn - Se/ZnSe(ただし0≦x≦1)を含む第2の半導体層Eであり、これ
は第1の半導体層RとしてのZnSe基板の上に配置されている。
【0035】 ZnSeは室温において2.7eVのバンドギャップをもち、これは460n
mの波長に対応する。ボリューム材料の数多くの成長方法によれば高い温度によ
りあるいは出発材料の純度が低いことによって、バンドギャップにおける状態を
引き起こしかねない不純物が結晶中に意図せずに入り込んでしまう。鉛蒸気中で
のあとからの熱処理またはアルミニウムによるドーピングにより生成できるよう
な導電性のZnSe基板により、600nm付近の格別強い室温ルミネセンスが
生じる。
【0036】 この場合、第2の半導体層Eとして適しているのはたとえば、活性化ゾーン(
エレクトロルミネセンス領域B)として(Cd,Zn)Se/ZnSe多重量子
井戸システムを備えた簡単なZnSe−pnダイオードである。カドミウム含有
量に従い、この種の活性ゾーンから発せられる放射の波長λ を青(460n
m)から緑(540nm)までずらすことができる。
【0037】 基板の吸収率λabs は、高いヨード含有量によって約515nmまでずら
されている。したがって、図1の実施例による半導体コンポーネントに対するす
べての条件が満たされるのは、たとえば489nmおよび/または508nmの
発光波長をもつ発光ダイオード構造体を基板上に取り付けたときである。
【0038】 基板として有利にはZnSe:I基板が用いられ、これはブリッジマン(Brid
geman)成長により製造される。別の基板成長法として挙げられるのは、ヨード
トランスポート(Jodtransport)成長および昇華成長である。
【0039】 上述の基板は必ずしも、層の成長プロセス中は基板として用いられたものでな
くてもよい。むしろ層のコンタクトや吸収/リエミッション基板をあとになって
はじめてたとえばウェファボンディングにより製造してもよい。
【0040】 エミッション層(第2の半導体層E)と基板(第1の半導体層R)の適切な選
択により、所望の混合色を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 発光ダイオードチップの第1の基本構造図である。
【図2】 発光ダイオードチップの第2の基本構造図である。
【図3】 発光ダイオードチップの第3の基本構造図である。
【図4】 本発明による発光ダイオードチップの基本的な波長スペクトルである。
【図5】 本発明による発光ダイオードの基本的なバンドパターンである。
【手続補正書】特許協力条約第34条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成12年8月18日(2000.8.18)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヘルムート ヴェーニッシュ 宮城県仙台市青葉区一番町1−14−25 サ トー ビルディング 201 Fターム(参考) 5F041 AA12 CA05 CA41 CA43 FF11

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の半導体層(R)およびそれに隣り合って配置された第
    2の半導体層(E)を備えた半導体チップ(C)が設けられており、該第2の半
    導体層(E)はエレクトロルミネセンス領域(B)を有する形式の、 混色の電磁放射(S)たとえば白色光を発生させる半導体コンポーネントにお
    いて、 第1の半導体層(R)は、第2の半導体層(E)から放出された波長λ
    第1の電磁放射により励起されたときに、それよりも長い少なくとも1つの波長
    λ の放射を再放出し、 放出された波長λ の放射および再放出された波長λ の放射が合わさって
    混色の放射(S)が生じることを特徴とする、 混色の電磁放射を発生させる半導体コンポーネント。
  2. 【請求項2】 第1の半導体層(R)は有利には、第2の半導体層(E)か
    ら放出された放射の波長λ よりも長い波長λabs に対応するエネルギーレ
    ベルの吸収率をもつ材料を有しており、該材料はλabs よりも短い波長の放
    射により励起されたとき、λabs よりも長い波長λ の放射を再放出する、
    請求項1記載の半導体コンポーネント。
  3. 【請求項3】 第2の半導体層(E)のエピタキシャル成長のための基板が
    同時に第1の半導体層(R)として使われる、請求項1または2記載の半導体コ
    ンポーネント。
  4. 【請求項4】 前記第1の半導体層(R)は成長基板(A)と第2の半導体
    層(E)との間に配置されている、請求項1または2記載の半導体コンポーネン
    ト。
  5. 【請求項5】 前記第1の半導体層(R)は、第2の半導体層(E)におい
    て成長基板(A)とは反対側の面に配置されている、請求項1または2記載の半
    導体コンポーネント。
  6. 【請求項6】 前記第1の半導体層(R)はドーピングされたZnSeを、
    前記第2の半導体層(E)はCdZn - Se/ZnSe(ただし0≦x≦
    1)を有する、請求項1から5のいずれか1項記載の半導体コンポーネント。
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