JP2003344648A - トリミングフィルター、該トリミングフィルターを有する光学系、光学的表示装置 - Google Patents

トリミングフィルター、該トリミングフィルターを有する光学系、光学的表示装置

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JP2003344648A JP2002148321A JP2002148321A JP2003344648A JP 2003344648 A JP2003344648 A JP 2003344648A JP 2002148321 A JP2002148321 A JP 2002148321A JP 2002148321 A JP2002148321 A JP 2002148321A JP 2003344648 A JP2003344648 A JP 2003344648A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】色再現性をより一層改善することが可能となる
トリミングフィルター、該トリミングフィルターを有す
る光学系、光学的表示装置を提供する。 【解決手段】トリミングフィルターにおいて、設計波長
をλ0とした時、基本構成として、光学的膜厚がλ0/
4の交互層からなる第1薄膜群と、光学的膜厚が3λ0
/4と4λ0/4の交互層からなる第2薄膜群と、光学
的膜厚が3λ0/4と2λ0/4の交互層からなる第3
薄膜群との3種類の薄膜群を含み且つこれらの薄膜群を
5群以上積層した構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、トリミングフィル
ター、該トリミングフィルターを有する光学系、光学的
表示装置に関し、例えば色分解光学系を有する液晶プロ
ジェクター等の色再現性の改善に用いられるトリミング
フィルターに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、液晶プロジェクター等の色再現性
の効率改善には、光学系を構成する偏光分離膜、ミラー
膜、色分解ダイクロ膜、色合成ダイクロ膜、投影レンズ
系透過率等の特性によって決まる全体の各色透過率の配
分を調整する手法が主として用いられていた。この時、
色再現に関して色分解ダイクロ膜、色合成ダイクロ膜の
特性が重要になり、膜特性の仕様、即ち色分解、合成の
ための透過率半値波長の値、透過率特性を調整してい
た。
【0003】一方、液晶用のランプ光源は、440、5
50nmに主ピーク、580nmに副ピークのスペクト
ル特性を有し、色再現性の改善からは、青と緑の間の波
長帯の光、緑と赤の間の波長帯の光を含まないことが好
ましい。この不要な光を減じることで、色再現性が向上
すると共に、色分解、合成ダイクロの仕様の許容度が増
すという長所も有り、トリミングフィルターに対する要
望が有った。
【0004】色再現性の改善のために、光源からの光を
青、緑、赤の波長帯の光が主成分となるように分割する
トリミングフィルターの例が特公昭60−038683
号公報に提案されている。この例では、設計波長をλ0
とした時、光学的膜厚λ0/4の交互層からなる第1薄
膜群と、2λ0/4と4λ0/4の交互層からなる第2
薄膜群の2つの薄膜群を4群以上含む構成が開示されて
いる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、液晶プロジ
ェクターの色再現用トリミングフィルターとしては、光
源ランプのスペクトル特性を考慮した特性が必要とな
る。即ち430〜470nmの範囲の透過率、520〜
560nmの範囲の透過率、610〜650nmの範囲
の透過率が高く、青と緑の間の範囲の透過率、緑と赤の
間の範囲の透過率が低いことが要求される。しかしなが
ら、前記、先行例の特公昭60−038683号公報に
記載の構成では、青領域の透過率が大きく低下する(青
透過率を改善すると赤透過率が低下する)という点、及
び各透過帯の高透過率の幅が狭いという点等に改善の余
地があった。
【0006】そこで、本発明は、上記課題を解決し、色
再現性をより一層改善することが可能となるトリミング
フィルター、該トリミングフィルターを有する光学系、
光学的表示装置を提供することを目的とするものであ
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、次の(1)〜
(12)のように構成したトリミングフィルター、該ト
リミングフィルターを有する光学系、光学的表示装置を
提供するものである。 (1)設計波長をλ0とした時、基本構成として、光学
的膜厚がλ0/4の交互層からなる第1薄膜群と、光学
的膜厚が3λ0/4と4λ0/4の交互層からなる第2
薄膜群と、光学的膜厚が3λ0/4と2λ0/4の交互
層からなる第3薄膜群との3種類の薄膜群を含み且つこ
れらの薄膜群を5群以上積層した構成を有することを特
徴とするトリミングフィルター。 (2)前記第1薄膜群は、λ0/4,λ0/4,λ0/
4の順の交互層からなる3層の基本構成を有することを
特徴とする上記(1)に記載のトリミングフィルター。 (3)前記第1薄膜群は、それらの合計膜厚が2λ0/
4〜3.5λ0/4の範囲であることを特徴とする上記
(2)に記載のトリミングフィルター。 (4)前記第2薄膜群は、3λ0/4,4λ0/4,3
λ0/4の順の交互層からなる3層の基本構成を有する
ことを特徴とする上記(1)〜(3)のいずれかに記載
のトリミングフィルター。 (5)前記第2薄膜群は、それらの合計膜厚が9.5λ
0/4〜11λ0/4の範囲であることを特徴とする上
記(4)に記載のトリミングフィルター。 (6)前記第3薄膜群は、3λ0/4,2λ0/4,3
λ0/4の交互層からなる3層の基本構成を有すること
を特徴とする上記(1)〜(5)のいずれかに記載のト
リミングフィルター。 (7)前記第3薄膜群は、それらの合計膜厚が7.5λ
0/4〜9λ0/4の範囲であることを特徴とする上記
(6)に記載のトリミングフィルター。 (8)前記薄膜群において、基板側または大気側に最も
近い薄膜群が第2薄膜群であることを特徴とする上記
(1)〜(7)のいずれかに記載のトリミングフィルタ
ー。 (9)前記薄膜群を積層した合計膜厚が、前記各薄膜群
の基本構成における膜厚の合計の0.95〜1.05倍
の範囲であることを特徴とする上記(1)〜(8)のい
ずれかに記載のトリミングフィルター。 (10)設計波長をλ0とした時、基本構成として光学
的膜厚がλ0/4の交互層からなる第1薄膜群と、光学
的膜厚が3λ0/4と4λ0/4の交互層からなる第2
薄膜群と、光学的膜厚が3λ0/4と2λ0/4の交互
層からなる第3薄膜群との3種類の薄膜群を含む構成を
有することを特徴とするトリミングフィルター。 (11)上記(1)〜(10)のいずれかに記載のトリ
ミングフィルターを有することを特徴とする光学系。 (12)上記(11)に記載の光学系を有することを特
徴とする光学的表示装置。 上記各構成に係る発明は、上記の膜厚の薄膜や薄膜群を
有する形態(基本構成)は勿論のこと、上記膜厚を有す
る薄膜或いは薄膜群を基本構成として、透過率の改善の
ための調整や最適化が行われ、その結果上記膜厚とは異
なる膜厚と成っている薄膜や薄膜群を有する形態もふく
む。このような形態は、後述する実施例に示す。
【0008】
【発明の実施の形態】上記構成を適用し、可視域におい
て特定波長域で透過率が高くなる(又は低くなる)トリ
ミングフィルターにおいて、設計波長をλ0とした時、
光学的膜厚λ0/4の交互層からなる第1薄膜群と、3
λ0/4と4λ0/4の交互層からなる第2薄膜群と、
3λ0/4と2λ0/4の交互層からなる第3薄膜群の
3つの薄膜群を5群以上含む構成とすることにより、青
領域の短波長側、赤領域の長波長側の透過率を改善する
ことが可能となる。また、第1薄膜群をλ0/4,λ0
/4,λ0/4の順の3層基本構成とすることにより、
少ない層数で不透過帯の透過率の改善を図ることが可能
となる。さらに、第1薄膜群の合計膜厚を2λ0/4〜
3.5λ0/4の範囲とすることにより、少ない層数で
透過帯の透過率の改善を図ることが可能となる。
【0009】また、第2薄膜群を3λ0/4,4λ0/
4,3λ0/4の順の3層基本構成とすることにより、
少ない層数で不透過帯の透過率の改善を図ることが可能
となる。さらに、第2薄膜群の合計膜厚を、9.5λ0
/4〜11λ0/4の範囲とすることにより、少ない層
数で透過帯の透過率の改善を図ることが可能となる。ま
た、第3薄膜群を3λ0/4,2λ0/4,3λ0/4
の順の3層基本構成とすることにより、少ない層数で不
透過帯の透過率の改善、及び透過帯の透過率の改善を図
ることが可能となる。さらに、第3薄膜群の合計膜厚を
7.5λ0/4〜9λ0/4の範囲とすることにより、
少ない層数で透過帯の透過率の改善を図ることが可能と
なる。
【0010】また、基板側又は大気側に最も近い薄膜群
を第2薄膜群とすることにより、透過帯の透過率の改善
を図ることが可能となる。また、各薄膜群の合計膜厚
を、各薄膜群の基本構成膜厚の合計の0.95〜1.0
5倍の範囲とすることにより、透過帯の波長域を変化さ
せること無く、透過率の改善を図ることが可能となる。
【0011】
【実施例】以下に、本発明の実施例を示すが、本発明は
これらによって何ら限定されるものではない。 [実施例1]第1薄膜群をSiO2膜とZrO2膜、第2
薄膜群をAl23膜とSiO2膜、第3薄膜群をAl2
3膜とSiO2膜で構成し、5群からなるトリミングフィ
ルターをBK7基板上に真空蒸着法により形成した。表
1に、各薄膜群を含む基本構成の光学膜厚、及び透過率
改善のための調整後の実施した光学膜厚を示す。但し、
表1において、設計波長λ0は540nm、膜厚はλ0
/4の倍数を示し、ZはZrO2膜、AはAl23膜、
SはSiO2膜、MはMgF2膜を示す。
【0012】更に図1に、この時の透過率特性を示す。
横軸は波長、縦軸は透過率を示す。図1において、破線
で囲んだ領域が不透過帯の領域であり、この領域では低
い透過率が好ましく、他の領域では高い透過率が好まし
い。本実施例においては430〜470nmの範囲の
青、520〜560nmの範囲の緑、610〜650n
mの範囲の赤で高い透過率、不透過帯で約30%の低い
透過率が得られ、色再現に効果が有った。
【0013】[実施例2]実施例2においては、第1薄
膜群をSiO2膜とZrO2膜、第2薄膜群をZrO2
とAl23膜、第3薄膜群をZrO2膜とAl23膜で
構成し、5群からなるトリミングフィルターをBK7基
板上に真空蒸着法により形成した。表1に、各薄膜群を
含む基本構成の光学膜厚、及び透過率改善のための調整
後の実施した光学膜厚を示す。更に図2に、この時の透
過率特性を示す。実施例1と比較して、不透過帯で約2
0%の低い透過率が得られ、更に改善されているのが分
かる。
【0014】[実施例3]実施例3においては、第1薄
膜群をSiO2膜とZrO2膜、第2薄膜群をZrO2
とSiO2膜、第3薄膜群をZrO2膜とSiO2膜で構
成し、5群からなるトリミングフィルターをBK7基板
上に真空蒸着法により形成した。表1に、各薄膜群を含
む基本構成の光学膜厚、及び透過率改善のための調整後
の実施した光学膜厚を示す。更に図3に、この時の透過
率特性を示す。実施例1と比較して、不透過帯で約20
%の低い透過率が得られ、更に改善されているのが分か
る。
【0015】
【表1】 (比較例1)比較例1においては、特公昭60−038
683号公報の図2に示される11層特性のものを実施
例1と同様にして形成した。但し、第1薄膜群をSiO
2膜とZrO2膜、第2薄膜群をSiO2膜とZrO2膜と
し、設計波長λ0は540nmとした。第1薄膜群はλ
0/4の交互層であり、第2薄膜群は4λ0/4,2λ
0/4,4λ0/4の基本構成である。この時の特性を
図10に示す。図10において、青の透過帯の透過率が
大幅に低下し、緑、赤の領域でも高透過率の幅が狭いの
が分かる。本比較例の構成では、色再現に効果が無く実
用に適しない。
【0016】[実施例4]実施例4においては、実施例
1と同様にして、第1薄膜群をSiO2膜とZrO2膜、
第2薄膜群をAl23膜とSiO2膜、第3薄膜群をA
23膜とSiO 2膜で構成し、7群からなるトリミン
グフィルターをBK7基板上に真空蒸着法により形成し
た。表2に、各薄膜群を含む基本構成の光学膜厚、及び
透過率改善のための調整後の実施した光学膜厚を示す。
但し、表2において、設計波長λ0は540nm、膜厚
はλ0/4の倍数を示し、ZはZrO2膜、AはAl2
3膜、SはSiO2膜、MはMgF2膜を示す。
【0017】更に図4に、この時の透過率特性を示す。
図4において、破線で囲んだ領域が不透過帯の領域であ
り、この領域では低い透過率が好ましく、他の領域では
高い透過率が好ましい。本実施例においては430〜4
70nmの範囲の青、520〜560nmの範囲の緑、
610〜650nmの範囲の赤で高い透過率、不透過帯
で約20%の低い透過率が得られ、実施例1と比較して
更に改善され、色再現に効果が有った。
【0018】[実施例5]実施例5においては、実施例
4と同様にして、第1薄膜群をSiO2膜とZrO2膜、
第2薄膜群をZrO2膜とAl23膜、第3薄膜群をZ
rO2膜とAl2 3膜で構成し、7群からなるトリミン
グフィルターをBK7基板上に真空蒸着法により形成し
た。表2に、各薄膜群を含む基本構成の光学膜厚、及び
透過率改善のための調整後の実施した光学膜厚を示す。
更に図5に、この時の透過率特性を示す。実施例4と比
較して、青緑間の不透過帯で約10%の低い透過率、緑
赤間の不透過帯で約20%の低い透過率が得られ、更に
改善されているのが分かる。
【0019】
【表2】 [実施例6]実施例6においては、実施例4と同様にし
て、第1薄膜群をSiO2膜とZrO2膜、第2薄膜群を
ZrO2膜とSiO2膜、第3薄膜群をZrO2膜とSi
2膜で構成し、7群からなるトリミングフィルターを
BK7基板上に真空蒸着法により形成した。表2に、各
薄膜群を含む基本構成の光学膜厚、及び透過率改善のた
めの調整後の実施した光学膜厚を示す。更に図6に、こ
の時の透過率特性を示す。実施例4と比較して、青緑間
の不透過帯で約5%の低い透過率、緑赤間の不透過帯で
約20%の低い透過率が得られ、更に改善されているの
が分かる。
【0020】[実施例7]実施例7においては、実施例
4と同様にして、第1薄膜群をSiO2膜とZrO2膜、
第2薄膜群をAl23膜とSiO2膜、第3薄膜群をA
23膜とSiO 2膜で構成し、9群からなるトリミン
グフィルターをBK7基板上に真空蒸着法により形成し
た。表3に、各薄膜群を含む基本構成の光学膜厚、及び
透過率改善のための調整後の実施した光学膜厚を示す。
但し、表3において、設計波長λ0は540nm、膜厚
はλ0/4の倍数を示し、ZはZrO2膜、AはAl2
3膜、SはSiO2膜、MはMgF2膜を示す。
【0021】更に図7に、この時の透過率特性を示す。
図7において、破線で囲んだ領域が不透過帯の領域であ
り、この領域では低い透過率が好ましく、他の領域では
高い透過率が好ましい。本実施例においては430〜4
70nmの範囲の青、520〜560nmの範囲の緑、
610〜650nmの範囲の赤で高い透過率、不透過帯
で約10%の低い透過率が得られ、実施例4と比較して
更に改善され、色再現に効果が有った。
【0022】[実施例8]実施例8においては、実施例
7と同様にして、第1薄膜群をSiO2膜とZrO2膜、
第2薄膜群をZrO2膜とAl23膜、第3薄膜群をZ
rO2膜とAl2 3膜で構成し、9群からなるトリミン
グフィルターをBK7基板上に真空蒸着法により形成し
た。表2に、各薄膜群を含む基本構成の光学膜厚、及び
透過率改善のための調整後の実施した光学膜厚を示す。
更に図8に、この時の透過率特性を示す。実施例7と比
較して、青緑間の不透過帯で約数%の低い透過率、緑赤
間の不透過帯で約10%の低い透過率が得られ、更に改
善されているのが分かる。
【0023】[実施例9]実施例9においては、実施例
8と同様にして、第1薄膜群をSiO2膜とZrO2膜、
第2薄膜群をZrO2膜とSiO2膜、第3薄膜群をZr
2膜とSiO2膜で構成し、9群からなるトリミングフ
ィルターをBK7基板上に真空蒸着法により形成した。
表3に、各薄膜群を含む基本構成の光学膜厚、及び透過
率改善のための調整後の実施した光学膜厚を示す。更に
図9に、この時の透過率特性を示す。実施例7と比較し
て、青緑間の不透過帯で約0%の低い透過率、緑赤間の
不透過帯で約10%の低い透過率が得られ、更に改善さ
れているのが分かる。
【0024】
【表3】 [実施例10]図11に、上記各実施例におけるトリミ
ングフィルターを液晶プロジェクターに用いた実施例1
0の構成を示す。光源10からの白色光はレンズ11、
偏光変換素子12、トリミングフィルター13を経て、
ダイクロ14により赤反射光と青、緑透過光に分離され
る。この透過光はダイクロ15により、更に青反射光と
緑透過光に分離される。各色分離された光は、全反射ミ
ラー16、及び各色用の液晶17、18、19を通っ
て、クロスダイクロ20により再度色合成され、レンズ
21によりスクリーンに投影される。その際、上記トリ
ミングフィルター13を用いることにより、色再現性の
向上が見られた。
【0025】
【発明の効果】本発明によれば、色再現性をより一層改
善することが可能となるトリミングフィルター、該トリ
ミングフィルターを有する光学系、光学的表示装置を実
現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1の特性を示す図である。
【図2】本発明の実施例2の特性を示す図である。
【図3】本発明の実施例3の特性を示す図である。
【図4】本発明の実施例4の特性を示す図である。
【図5】本発明の実施例5の特性を示す図である。
【図6】本発明の実施例6の特性を示す図である。
【図7】本発明の実施例7の特性を示す図である。
【図8】本発明の実施例8の特性を示す図である。
【図9】本発明の実施例9の特性を示す図である。
【図10】比較例1の特性を示す図である。
【図11】本発明の各実施例におけるトリミングフィル
ターを液晶プロジェクターに用いた構成を示す図であ
る。
【符号の説明】 10:光源 11:レンズ 12:偏光変換素子 13:トリミングフィルター 14:赤反射ダイクロ 15:青反射ダイクロ 16:全反射ミラー 17、18、19:液晶 20:クロスダイクロ 21:投影レンズ

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】設計波長をλ0とした時、基本構成とし
    て、光学的膜厚がλ0/4の交互層からなる第1薄膜群
    と、光学的膜厚が3λ0/4と4λ0/4の交互層から
    なる第2薄膜群と、光学的膜厚が3λ0/4と2λ0/
    4の交互層からなる第3薄膜群との3種類の薄膜群を含
    み且つこれらの薄膜群を5群以上積層した構成を有する
    ことを特徴とするトリミングフィルター。
  2. 【請求項2】前記第1薄膜群は、λ0/4,λ0/4,
    λ0/4の順の交互層からなる3層の基本構成を有する
    ことを特徴とする請求項1に記載のトリミングフィルタ
    ー。
  3. 【請求項3】前記第1薄膜群は、それらの合計膜厚が2
    λ0/4〜3.5λ0/4の範囲であることを特徴とす
    る請求項2に記載のトリミングフィルター。
  4. 【請求項4】前記第2薄膜群は、3λ0/4,4λ0/
    4,3λ0/4の順の交互層からなる3層の基本構成を
    有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に
    記載のトリミングフィルター。
  5. 【請求項5】前記第2薄膜群は、それらの合計膜厚が
    9.5λ0/4〜11λ0/4の範囲であることを特徴
    とする請求項4に記載のトリミングフィルター。
  6. 【請求項6】前記第3薄膜群は、3λ0/4,2λ0/
    4,3λ0/4の交互層からなる3層の基本構成を有す
    ることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載
    のトリミングフィルター。
  7. 【請求項7】前記第3薄膜群は、それらの合計膜厚が
    7.5λ0/4〜9λ0/4の範囲であることを特徴と
    する請求項6に記載のトリミングフィルター。
  8. 【請求項8】前記薄膜群において、基板側または大気側
    に最も近い薄膜群が第2薄膜群であることを特徴とする
    請求項1〜7のいずれか1項に記載のトリミングフィル
    ター。
  9. 【請求項9】前記薄膜群を積層した合計膜厚が、前記各
    薄膜群の基本構成における膜厚の合計の0.95〜1.
    05倍の範囲であることを特徴とする請求項1〜8のい
    ずれか1項に記載のトリミングフィルター。
  10. 【請求項10】設計波長をλ0とした時、基本構成とし
    て光学的膜厚がλ0/4の交互層からなる第1薄膜群
    と、光学的膜厚が3λ0/4と4λ0/4の交互層から
    なる第2薄膜群と、光学的膜厚が3λ0/4と2λ0/
    4の交互層からなる第3薄膜群との3種類の薄膜群を含
    む構成を有することを特徴とするトリミングフィルタ
    ー。
  11. 【請求項11】請求項1〜10のいずれか1項に記載の
    トリミングフィルターを有することを特徴とする光学
    系。
  12. 【請求項12】請求項11に記載の光学系を有すること
    を特徴とする光学的表示装置。
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