JP2003331759A - リングレスゲッターを備えた電子デバイス、リングレスゲッターの固定方法、及びリングレスゲッターの活性化方法 - Google Patents

リングレスゲッターを備えた電子デバイス、リングレスゲッターの固定方法、及びリングレスゲッターの活性化方法

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    • H01J2329/945Means for maintaining vacuum within the vessel by gettering
    • H01J2329/946Means for maintaining vacuum within the vessel by gettering characterised by the position or form of the getter

Abstract

(57)【要約】 【課題】 蛍光表示管等の電子デバイスにおいて、簡単
な構造のリングレスゲッターを簡単に固定すること、及
びリングレスゲッターの配置の自由度を大きくするこ
と。 【解決手段】 リングレスゲッターG11〜G13は、
ガラスのアノード基板111の内面にレーザー光によっ
て固定されている。アノード基板111の外側からレー
ザー光をリングレスゲッターG11〜G13に照射する
と、レーザー光は、アノード基板111を透過し、リン
グレスゲッターG11〜G13を加熱して溶融する。そ
の加熱により、アノード基板111の内面が溶融する。
冷えるとリングレスゲッターG11〜G13とアノード
基板111の溶融した部分は、固化するから、リングレ
スゲッターG11〜G13はアノード基板111に固定
される。リングレスゲッターG11〜G13は、ゲッタ
ー材料をプレス成形によって任意の形状に形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本願発明は、蛍光表示管、C
RT、PDP(プラズマディスプレイ)等の電子管やE
LD(エレクトロルミネセントディスプレイ)等のリン
グレスゲッターを備えた電子デバイス、リングレスゲッ
ターの固定方法、及びリングレスゲッターの活性化方法
に関する。
【0002】
【従来の技術】電子管やELD等の電子デバイスは、密
封容器内にゲッターを取付け、外部から電磁波やレーザ
ー光等によってそのゲッターを加熱し活性化して、密封
容器内のガスや水を吸収したり、所定のガスを放出させ
たりしている。例えば、電子管が真空管系の場合には、
密封容器内のガスを吸収して真空度を高め、電子管が放
電管系の場合には、密封容器内に封入したキセノン、ネ
オン等を主成分とする放電ガス以外の不要又は有害なガ
スを吸収し、ELDの場合には、密封容器内の水を吸収
して長寿命化を図るために、夫々密封容器内にゲッター
を取付けている。図7、図8により、従来のゲッターを
備えた電子デバイスの内、蛍光表示管について説明す
る。なお図7、図8に共通する部分は、同じ符号を使用
している。
【0003】図7は、従来のリングゲッターを取付けた
蛍光表示管の断面図である。図7(a)は、図7(b)
のY2−Y2部分の矢印方向の断面図、図7(b)は、
図7(a)のY1−Y1部分の断面図である。ガラスの
アノード基板511に、蛍光体を塗布したアノード電極
55を形成し、陰極用フィラメント532の保持部材
(アンカー又はサポート)531の取付け部材52を形
成してある。取付け部材52には、リングゲッター54
の保持部材543を取付けてある。ゲッター保持部材5
43には、ゲッター材料542を充填したリング状容器
541を溶接等により固定してある。アノード電極55
とフィラメント532の間には、グリッド56を配置し
てある。なお512は、ガラスのフロント基板、513
〜515は、ガラスの側面板である。またアノード配線
等の配線、フロント基板のネサ膜等は省略してある。
【0004】リング状容器541は、鉄製容器にニッケ
ルメッキしたものからなり、Ba,Mg等又はそれらの
合金に、Al,Ni等の添加金属を添加してなるゲッタ
ー材料542を充填してある。リングゲッター54は、
蛍光表示管の外側から高周波誘導加熱によりリング状容
器541を加熱して、ゲッター材542をフラッシュ
(蒸発)させて、活性化している。蒸発したゲッター材
542の粒子は、フロント基板512の内面にゲッター
ミラー膜を形成する。
【0005】リングゲッター54は、特殊なリング状容
器541や保持部材543等を使用するため、小型化が
難しく、取付けスペースが大きくなってしまう。かつリ
ング状容器541は、アノード基板511と1mm以上
離さないと、加熱の際アノード基板511にクラックが
生じてしまう。そのため、蛍光表示管の小型化、薄型化
の障害になっている。またリング状容器541や保持部
材543は、加工費が高く、かつそれらの取付け作業が
簡単でないため、蛍光表示管の製造コストが高くなって
しまう。またリングゲッター54の取付け場所は、取付
け部材52等金属部品に限られてしまうため、リングゲ
ッター54の配置に自由度がない。
【0006】図7のリングゲッターの欠点を改善するた
め、特殊なリング状容器や保持部材等を使用しない、図
8のリングレスゲッターが提案されている。図8(a)
は、フロント基板512の内面にポケット部(凹状部)
を形成し、そのポケット部にゲッター材料を充填してリ
ングレスゲッター54を形成してある(特開平5−11
4373号公報参照)。この場合には、フロント基板5
12にポケット部を形成しなければならないため、加工
費が高くなり、かつポケット部はあまり深くできないた
め充分なゲッター効果を得るのに必要な量のゲッター材
料を充填することができない。
【0007】図8(b)は、スクリーン印刷や真空蒸着
によりフロント基板512の内面にゲッター材料の厚膜
又は薄膜状のリングレスゲッター54を形成してある
(WO93/16484号公報参照)。この場合には、
リングレスゲッター54は、厚膜又は薄膜状であるから
充分なゲッター効果を得るのに必要な量のゲッター材料
を固定することができない。
【0008】図8(a)、図8(b)のリングレスゲッ
ターに代えて、図8(c)のリングレスゲッター54も
考えられる。図8(c)のリングレスゲッター54は、
ゲッター材料を直径2mm、厚さ0.5mmの円板状に
焼結したものからなり、そのリングレスゲッター54を
フロント基板512の内面に、フリットガラス57によ
り取付けてある。この場合には、リングレスゲッター5
4は、その厚みを厚くすることにより充分な量のゲッタ
ー材料を取付けることができるが、接着強度、特にリン
グレスゲッターとフリットガラスの接着強度が弱いため
(シェア−強度は1N以下)、蛍光表示管の製造過程で
脱落する恐れがある。
【0009】加えて接着用フリットガラスを大気中で焼
成する際、ゲッター材料は、焼成温度が高いと劣化する
ため(例えば成分のBaAl4が酸化する)、焼成温度
を低くするが(大気焼成の場合450℃以下)、焼成温
度が低いとフリットガラスペーストの有機成分(例えば
エチルセルロース)が残ってしまい、蛍光表示管の信頼
性を損なう原因になる。またリングレスゲッター54を
レーザー光でフラッシュする際、レーザー光がフリット
ガラス57に達すると、大量のガスが放出され、フィラ
メント532のエミッションが著しく低下してしまう。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本願発明は、前記した
従来のリングゲッター及びリングレスゲッターの問題点
に鑑み、構造が簡単で、取付けが容易で、配置に自由度
があり、取付け時やフラッシュ時の加熱によるガラスの
基板のクラックがなく、電子管やELD等の電子デバイ
スの小型化や薄型化に適し、かつ電子デバイスの機能を
損なうガスの発生がない、リングレスゲッターを備えた
電子デバイス、リングレスゲッターの固定方法、及びリ
ングレスゲッターの活性化方法を提供することを目的と
する。
【0011】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の電子デ
バイスは、密封容器内に光エネルギーによってガラスの
基材に固定したリングレスゲッターを備えていることを
特徴とする。請求項2に記載の電子デバイスは、密封容
器内に光エネルギーによってガラスの基材に固定したリ
ングレスゲッターを備え、光エネルギーによってその固
定したリングレスゲッターを活性化して形成したゲッタ
ーミラー膜を備えていることを特徴とする。請求項3に
記載の電子デバイスは、請求項1又は請求項2に記載の
電子デバイスにおいて、光エネルギーは、レーザー光で
あることを特徴とする。請求項4に記載の電子デバイス
は、請求項1又は請求項2に記載の電子デバイスにおい
て、前記ガラスの基材は密封容器の一部を構成している
ことを特徴とする。請求項5に記載の電子デバイスは、
請求項1又は請求項2に記載の電子デバイスにおいて、
リングレスゲッターは、ゲッター材料粉末をプレス成形
により形成してあることを特徴とする。請求項6に記載
の電子デバイスは、樹脂製密封容器の内面に光エネルギ
ーによって固定したリングレスゲッターを備えているこ
とを特徴とする。
【0012】請求項7に記載のリングレスゲッターの固
定方法は、電子デバイスにおいて、ガラスの基材にリン
グレスゲッターを仮止めし、そのガラスの基材のリング
レスゲッターを仮止めした面と反対の面から光エネルギ
ーをリングレスゲッターに照射して、リングレスゲッタ
ーをガラスの基材に固定することを特徴とする。請求項
8に記載のリングレスゲッターの固定方法は、請求項7
に記載のリングレスゲッターの固定方法において、光エ
ネルギーは、レーザー光であることを特徴とする。請求
項9に記載のリングレスゲッターの活性化方法は、電子
デバイスにおいて、ガラスの基材にリングレスゲッター
を仮止めし、そのガラスの基材のリングレスゲッターを
仮止めした面と反対の面から光エネルギーをリングレス
ゲッターに照射して、リングレスゲッターをガラスの基
材に固定し、その固定したリングレスゲッターに光エネ
ルギーを照射して、リングレスゲッターを活性化するこ
とを特徴とする。請求項10に記載のリングレスゲッタ
ーの活性化方法は、請求項9に記載のリングレスゲッタ
ーの活性化方法において、光エネルギーは、レーザー光
であることを特徴とする。
【0013】
【発明の実施の形態】図1〜図6により本願発明の実施
の形態に係る電子デバイスの一つである蛍光表示管、リ
ングレスゲッターの固定方法、及びリングレスゲッター
の活性化方法について説明する。なお各図に共通の部分
は、同じ符号を使用している。
【0014】図1は、本願発明の第1実施形態に係る蛍
光表示管の断面図である。図1(a)は、図1(b)の
X2−X2部分の矢印方向の断面図であり、図1(b)
は、図1(a)のX1−X1部分の矢印方向の断面図で
ある。図1において、111は、ガラスのアノード基
板、112は、ガラスのフロント基板、113〜115
は、ガラスの側面板、12は、金属板等からなるフィラ
メントの保持部材(アンカー又はサポート)の取付け部
材、131は、426合金(Ni42%、Cr6%、残
りFe)等の金属部材からなるフィラメントの保持部
材、132は、WやRe−W等の芯線に三元炭酸塩等の
電子放出物質を被着した陰極用のフィラメント、15
は、ZnO:Zn等の蛍光体を塗布したアルミニウム等
の金属膜からなるアノード電極、16は、フィラメント
132とアノード電極15との間に配置したステンレス
や426合金等からなるグリッド、G11〜G13は、
リングレスゲッターである。
【0015】リングレスゲッターG11〜G13は、B
aAl4,MgAl等の粉末、又はBaAl4,MgAl
等とNi,Ti,Fe等の添加金属との混合粉末を、プ
レス成形により形成する。アノード基板111、フロン
ト基板112及び側面板113〜115は、蛍光表示管
の外囲器、即ち密封容器を構成している。ここで側面板
をアノード基板111又はフロント基板112と一体的
に箱状に形成した場合には、側面板は必要ない。
【0016】リングレスゲッターG11〜G13は、後
述するように、アノード基板111の外側からレーザー
光を照射してアノード基板111の内面に接着剤等の固
着部材を使用せずに直接固定してある。リングレスゲッ
ターG11〜G13は、それらの大きさにより一個でよ
い場合もあり、複数個使用する方がよい場合もある。リ
ングレスゲッターG11〜G13の個数は、蛍光表示管
内に発生するガスの吸収に必要なゲッター材料の総量で
決まるから、そのガス量に応じて選定する。リングレス
ゲッターG11〜G13は、プレス成形により任意の形
状に形成できるから、アノード基板111の空きスペー
スの形状に対応した形状のものを複数個用意することに
より、その空きスペースをリングレスゲッターの固定場
所として有効に利用することができる。
【0017】図2は、本願発明の第2実施形態に係る蛍
光表示管の断面図である。図2(a)は、リングレスゲ
ッターG14,G15をフロント基板112の面に固定
した例であり、図2(b)は、リングレスゲッターG1
6を側面板114の内面に固定した例である。図2は、
図2(a)、図2(b)の配置を組合せて、1個の蛍光
表示管のフロント基板112及び側面板114に、リン
グレスゲッターG14,G15,G16を固定すること
もできる。
【0018】図3は、本願発明の第3実施形態に係る蛍
光表示管の断面図である。図3は、フィラメント132
をフロント基板112に取付け、リングレスゲッターG
17をガラスの中間基板116に固定してある。中間基
板116は、グリッド16を保持する部材で、フィラメ
ント132から放出された電子がアノード電極15に向
かって通過できる開口部117を形成してある。中間基
板116は、蛍光表示管の外囲器(密封容器)の中仕切
り部材として使用することもできる。
【0019】フィラメント132の端部は、フロント基
板112に形成したカソード取付け電極となるアルミニ
ウム等の金属層(膜)133に超音波溶接により取付け
てある。即ちフィラメント132の端部を、金属層13
3と金属片134の間に挟持し、金属片134を金属層
133に超音波溶接(拡散溶接、摩擦圧接、固相接合等
を含む)してある。フィラメント132は、アルミニウ
ム細線やガラスファイバー等からなるスペーサー135
により所定の高さに保持されている。図3のリングレス
ゲッターG17は、中間基板116の一方の面に固定し
てあるが、両面に固定することもできる。その場合は、
両面のリングレスゲッターが重ならないように配置す
る。
【0020】図4は、本願発明の第4実施形態に係る蛍
光表示管の断面図である。図4は、アノード基板111
に形成したアルミニウム等の金属膜からなるアノード配
線151の上に、リングレスゲッターG18を直接(S
iO2やSiN等からなる絶縁層を介することなく)固
定してある。ここでアノード配線とは、アノード電極に
接続され、蛍光表示管の外部に引き出されて給電点とな
る配線である(後述のカソード配線とグリッド配線も同
様である)。この場合、リングレスゲッターG18を固
定するときに、仮にアノード配線151が溶融してもリ
ングレスゲッターG18は金属であるから、リングレス
ゲッターG18の部分でアノード配線151が断線する
ことはない。なおリングレスゲッターG18は、後述す
るように蛍光表示管の封止後レーザー光を照射してフラ
ッシュするが、フラッシュによりリングレスゲッターG
18全部が蒸発してしまうことはないから、そのフラッ
シュによりアノード配線151が断線することはない。
本実施形態の場合には、リングレスゲッターをアノード
配線上にも固定できるから、リングレスゲッターの配置
の自由度は一層が大きくなる。これは、カソード基板
(フロント基板)に形成したカソード電極に接続された
カソード配線やグリッドに接続されたグリッド配線にも
同様に適用可能である。
【0021】図5は、本願発明の実施の形態に係るリン
グレスゲッターの平面図と断面図である。図5(a)、
(b)のリングレスゲッターG21は、4角形にプレス
成形してある。図5(b)は、図5(a)のX3−X3
部分の断面図である。図5(c)のリングレスゲッター
G22は、円板状にプレス成形してあり、図5(d)の
リングレスゲッターG23は、ドーナツ状にプレス成形
してある。
【0022】図5(e)、(f)のリングレスゲッター
G24は、4角形にプレス成形してある。図5(f)
は、図5(e)のX4−X4部分の断面図である。リン
グレスゲッター24は、ゲッター材料層G241とAl
等の金属板又は金属材料層の金属層G242からなり、
ゲッター材料と金属板とを一体的にプレス成形してあ
る。リングレスゲッター24は、金属層G242をアノ
ード基板等の固定面に向けて固定する。金属層G242
は、インジウム、錫又はその合金、426合金、アルミ
ニウム等を使用できる。リングレスゲッター24は、金
属層G242を有するから、ゲッター材料層G241の
みの場合よりも壊れ難く、したがってリングレスゲッタ
ーG24の固定作業等が容易になる。
【0023】図5のリングレスゲッターの形状は、一例
であって他の形状のものであってもよい。蛍光表示管に
取付けるリングレスゲッターは、一個に限らず、リング
レスゲッターを取付ける場所の形状に対応した形状のも
のを複数個用い、蛍光表示管内の空きスペースを有効に
利用することができる。
【0024】図6は、本願発明の実施の形態に係るリン
グレスゲッターの固定方法及びリングレスゲッターのフ
ラッシュによる活性化方法を説明するための図である。
まず図6(a)のように、アノード基板111の内面上
に仮止めしたリングレスゲッターG11に、アノード基
板111の外側からレーザー光L1を照射する。その仮
止めは、アクリル等の低温分解性の接着剤により固定す
る方法、或いは機械的にリングレスゲッターをクランプ
してアノード基板へ押し付けて固定する方法等がある。
リレーザー光L1は、アノード基板111にほとんど吸
収されずに透過してリングレスゲッターG11に到達す
る。リングレスゲッターG11は、レーザー光L1によ
り加熱されて溶融する。この際レーザー光L1は、アノ
ード基板111を透過してしまうから、アノード基板1
11を加熱することはないが、リングレスゲッターG1
1の加熱によりアノード基板111も加熱され、アノー
ド基板111のリングレスゲッターG11が接触してい
る部分が溶融する。この状態でリングレスゲッターG1
1とアノード基板111を冷やすと、双方の溶融した部
分が固化するため、リングレスゲッターG11はアノー
ド基板111に強固に固定される。
【0025】ここでリングレスゲッターG11の材料
は、従来ゲッター材料として使用されているものを使用
できるが、例えばBaAl4,MgAl等とNi,T
i,Fe等との混合物を使用した場合には、AlとNi
等とが反応して反応熱を発生する。その反応熱により、
リングレスゲッターG11の温度は、1050℃程度ま
で上昇するため、アノード基板111の内表面(リング
レスゲッターG11に接触している部分)は、急速に溶
融する。リングレスゲッターの材料は、光エネルギーで
あるレーザー光の透過率が低いもの(全透過以外のも
の)を適宜選択する。
【0026】このように本願の発明者は、レーザー光L
1がガラスのアノード基板111を透過してリングレス
ゲッターG11を加熱し、そのリングレスゲッターG1
1の加熱によりアノード基板111も加熱されて溶融す
る点に着目し、レーザー光L1の照射によりリングレス
ゲッターG11をアノード基板111に固定する方法を
発明した。
【0027】レーザー光L1の照射は、レーザーマーカ
ー方式、ドットスポット方式のいずれであってもよい。
またレーザーは、YAGレーザー、エキシマレーザー、
炭酸ガスレーザー等を使用する。ガラスの基材は、可視
光からYAGレーザーで使用される1.06μmまでを
透過する。特に1.06μmの透過率は高いため、YA
Gレーザーを用いると有効である。
【0028】本実施形態は、直径2mm、厚さ0.5m
mの円板状のリングレスゲッターと、2×10mm、厚
さ0.5mmの平板状リングレスゲッターを用い、それ
らのリングレスゲッターを、厚さ1.1mmのソーダ−
ガラスの基板に固定した。なお基板に用いるガラスは、
無アルカリガラス等他のガラスでもよい。レーザーは、
YAGレーザーを使用し、レーザー光の照射条件を、1
7W,10kH,20mm/秒に設定して、レーザーマ
ーカー方式により実施した。
【0029】この方法によるリングレスゲッターの接着
強度(シェア−強度)は、円板状のものは20N、平板
状のものは60N以上となり、同じ大きさ同じ条件のリ
ングレスゲッターをフリットガラスにより接着した場合
の接着強度に比べて、20倍以上になった。ここでシェ
ア−強度は、アノード基板上に固定したリングレスゲッ
ターに、その側面からアノード基板と平行する方向の力
を加えて、リングレスゲッターをアノード基板から剥が
すときの力、即ちリングレスゲッターを剥がすのに要す
る力の最大値のことである。
【0030】アノード基板111にリングレスゲッター
G11を固定した後、従来の組み立工程を経て、図6
(b)のように蛍光表示管を組み立て、封着排気する。
排気後図6(c)のように、フロント基板112の外
側、即ち蛍光表示管の外囲器(密封容器)の外側からレ
ーザー光L2をリングレスゲッターG11に照射する
と、リングレスゲッターG11は活性化(フラッシュ)
して、蒸発した(フラッシュした)ゲッター材料の粒子
が矢印F方向へ飛散してフロント基板112の内面、即
ち蛍光表示管の外囲器の内面にゲッターミラー膜(図示
せず)を形成する。なおレーザー光L2を、側面板11
4の外側からリングレスゲッターG11の側面に照射し
て、Ba等からなるゲッターミラー膜を側面板114の
内面に形成することもできる。レーザーの照射は、照射
条件を8W,5kH,100mm/秒に設定して、レー
ザーマーカー方式により実施した。
【0031】前記各実施形態は、リングレスゲッターを
アノード基板、フロント基板、側面板、或いはグリッド
保持用の中間基板に固定する例について説明したが、リ
ングレスゲッターを固定する部材は、これらに限らな
い。例えば、ガラスの支柱(支持部材或いはスペーサ
ー)、蒸発したゲッター材料が表示領域、電極等へ飛散
するのを防止するガラス板等、蛍光表示管の外囲器内に
配置するガラスの部材であればリングレスゲッターを固
定することができる。本願発明は、これらのリングレス
ゲッターを固定するガラスの部材をガラス基材と呼ぶ。
【0032】前記各実施形態は、個々のガラスの基材に
リングレスゲッターを固定する例について説明したが、
複数のガラス基板にリングレスゲッターを固定すること
もできる。リングレスゲッターを固定するガラスの基材
と場所は、蛍光表示管の構造により適宜選定する。
【0033】前記各実施形態は、レーザー光によりリン
グレスゲッターを取付け、レーザー光によりフラッシュ
する例について説明したが、レーザー光に限らず、レー
ザー光以外の光エネルギーを使用することができる。前
記各実施形態は、蒸発型ゲッターについて説明したが、
Zr,Ti,Ta等を主成分とする非蒸発型ゲッターで
あってもよい。なお非蒸発型ゲッターの場合には、フラ
ッシュさせずに活性化温度に加熱してガス吸着機能を発
現させるが、その加熱に光エネルギーを利用することが
可能である。
【0034】前記各実施形態は、蛍光表示管について説
明したが、蛍光表示管に限らず、電界電子放出型蛍光表
示管、大画面表示装置用発光管、蛍光プリントヘッド用
発光管、CRT等の真空管系電子管、PDP等の放電管
系電子管、ELD等の電子デバイスであってもよい。電
子デバイスが放電管系電子管やELDの場合には、リン
グレスゲッターは、非蒸発型のものを使用し、PDP
は、窒素、酸素等を吸収するゲッター材料を、ELD、
特に第1電極と、第1電極の上に形成された発光層を含
む有機層と、有機層の上に形成された第2電極からなる
有機発光素子が密封容器内に収められている有機ELD
は、水を吸収するゲッター材料を使用する。またELD
は、密封容器にプラスチック、ポリマーフィルム等の樹
脂も使用されているが、樹脂が透明の場合、即ち光エネ
ルギーが透過する場合には、光エネルギーは樹脂を加熱
することなく透過するから、光エネルギーによってリン
グレスゲッターを密封容器の内面に固定することができ
る。
【0035】前記各実施形態は、アノード基板、フロン
ト基板、側面板、或いはグリッド保持用中間基板の全て
の基材がガラスからなる場合について説明したが、必ず
しも全ての基材をガラスにする必要はなく、少なくとも
リングレスゲッターを固定する基材がガラスであればよ
く、また基材は、少なくともリングレスゲッターを固定
する箇所がガラスであればよい。また同様にリングレス
ゲッターを活性化する場合には、リングレスゲッターに
対向する基板(リングレスゲッターに光エネルギーを照
射する際、光エネルギーを透過する基板)の全部又は一
部がガラスであればよい。
【0036】
【発明の効果】本願発明のリングレスゲッターは、構造
が簡単であり、レーザー光等をリングレスゲッターに照
射するのみで、ガラスの基板に固定することができるか
ら、取付け作業が簡単になり、取付けの自動化が容易に
なる。本願発明は、ガラスの基板にリングレスゲッター
を固定することができるから、リングレスゲッターの配
置の自由度が大きく、例えばアノード配線等の金属の配
線(電極配線)の上にも固定することができる。
【0037】本願発明のリングレスゲッターとガラスの
基材は、一旦溶融して固化するから、リングレスゲッタ
ーは、ガラスの基材に強固に固定される。本願発明は、
リングレスゲッターの固定にフリットガラスを使用しな
いから、リングレスゲッターのフラッシュの際、フリッ
トガラスからガスが発生してフィラメント等の電子源の
電子放出を妨げることがない。
【0038】本願発明のリングレスゲッターは、レーザ
ー光等によってガラスの基材に固定し、レーザー光等に
よってフラッシュするから、レーザー光等の照射条件を
変えるのみで、同じレーザー光等の照射装置を、リング
レスゲッターの取付けとフラッシュに共用することがで
きる。
【0039】本願発明のリングレスゲッターは、ゲッタ
ー材料の粉末をプレス成形するのみで形成できるから、
構造が簡単になり、かつ安価に容易に製造することがで
きる。また本願発明のリングレスゲッターは、任意の形
状に成形できるから、電子デバイス内の空きスペースに
対応した形状のものを製造することができる。したがっ
て形状の異なるリングレスゲッターを組合せて使用する
ことにより、電子デバイス内の空きスペースを有効に利
用することができる。
【0040】本願発明のリングレスゲッターは、プレス
成形により形成するから、リングレスゲッターの厚さを
任意に設定できる。したがって本願発明は、電子デバイ
ス内のガスの吸収に必要な充分の量のゲッター材料から
なるリングレスゲッターを電子デバイス内に取付けるこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本願発明の第1実施形態に係る蛍光表示管の断
面図である。
【図2】本願発明の第2実施形態に係る蛍光表示管の断
面図である。
【図3】本願発明の第3実施形態に係る蛍光表示管の断
面図である。
【図4】本願発明の第4実施形態に係る蛍光表示管の断
面図である。
【図5】本願発明の実施形態に係るリングレスゲッター
の平面図と断面図である。
【図6】本願発明の実施形態に係るリングレスゲッター
の固定方法及びリングレスゲッターのフラッシュ方法を
説明するための図である。
【図7】従来のリングゲッターを備えた蛍光表示管の断
面図である。
【図8】従来のリングレスゲッターを備えた蛍光表示管
の断面図である。
【符号の説明】
111 アノード基板 112 フロント基板 113,114,115 側面板 116 中間基板 12 フィラメントの保持部材の取付け部材 131 フィラメントの保持部材(アンカー又はサポ
ート) 132 陰極用のフィラメント 133 金属層(膜) 134 金属片 135 スペーサー 15 蛍光体を塗布したアノード電極 16 グリッド G11〜G18、G21〜G24 リングレスゲッタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小川行雄 千葉県茂原市大芝629双葉電子工業株式会 社内 Fターム(参考) 5C012 AA04 AA05 5C032 AA01 AA06 JJ01 JJ11 5C036 EE14 EF02 EF05 EG50 EH26 5C235 JJ13 JJ14 JJ15

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 密封容器内に光エネルギーによってガラ
    スの基材に固定したリングレスゲッターを備えているこ
    とを特徴とする電子デバイス。
  2. 【請求項2】 密封容器内に光エネルギーによってガラ
    スの基材に固定したリングレスゲッターを備え、光エネ
    ルギーによってその固定したリングレスゲッターを活性
    化して形成したゲッターミラー膜を備えていることを特
    徴とする電子デバイス。
  3. 【請求項3】 請求項1又は請求項2に記載の電子デバ
    イスにおいて、光エネルギーは、レーザー光であること
    を特徴とする電子デバイス。
  4. 【請求項4】 請求項1又は請求項2に記載の電子デバ
    イスにおいて、前記ガラスの基材は密封容器の一部を構
    成していることを特徴とする電子デバイス。
  5. 【請求項5】 請求項1又は請求項2に記載の電子デバ
    イスにおいて、リングレスゲッターは、ゲッター材料粉
    末をプレス成形により形成してあることを特徴とする電
    子デバイス。
  6. 【請求項6】 樹脂製密封容器の内面に光エネルギーに
    よって固定したリングレスゲッターを備えていることを
    特徴とする電子デバイス。
  7. 【請求項7】 電子デバイスにおいて、ガラスの基材に
    リングレスゲッターを仮止めし、そのガラスの基材のリ
    ングレスゲッターを仮止めした面と反対の面から光エネ
    ルギーをリングレスゲッターに照射して、リングレスゲ
    ッターをガラスの基材に固定することを特徴とするリン
    グレスゲッターの固定方法。
  8. 【請求項8】 請求項7に記載のリングレスゲッターの
    固定方法において、光エネルギーは、レーザー光である
    ことを特徴とするリングレスゲッターの固定方法。
  9. 【請求項9】 電子デバイスにおいて、ガラスの基材に
    リングレスゲッターを仮止めし、そのガラスの基材のリ
    ングレスゲッターを仮止めした面と反対の面から光エネ
    ルギーをリングレスゲッターに照射して、リングレスゲ
    ッターをガラスの基材に固定し、その固定したリングレ
    スゲッターに光エネルギーを照射して、リングレスゲッ
    ターを活性化することを特徴とするリングレスゲッター
    の活性化方法。
  10. 【請求項10】 請求項9に記載のリングレスゲッター
    の活性化方法において、光エネルギーは、レーザー光で
    あることを特徴とするリングレスゲッターの活性化方
    法。
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