JPH08148102A - 表示装置用容器 - Google Patents

表示装置用容器

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JPH08148102A
JPH08148102A JP6311345A JP31134594A JPH08148102A JP H08148102 A JPH08148102 A JP H08148102A JP 6311345 A JP6311345 A JP 6311345A JP 31134594 A JP31134594 A JP 31134594A JP H08148102 A JPH08148102 A JP H08148102A
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衛 浪川
Tomoshi Yoshimura
智志 吉村
Kenichi Honda
健一 本多
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    • H01J2329/00Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
    • H01J2329/86Vessels
    • H01J2329/8625Spacing members

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  • Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 カソード基板とアノード基板とからなる容器
において、スペーサをその間に配設しても電子源を汚染
しないと共に、蛍光体層を変質させない表示装置用容器
を提供すること。 【構成】 エミッタコーン9の先端から放出された電子
は、ゲート導体8に対し正の電圧が印加されているアノ
ード導体6−1により加速されて、蛍光体層6−2に衝
突し、蛍光体層6−2を励起して発光させる。この発光
は、透明のアノード基板5を介して観察することができ
る。スペーサ3は、カソード基板1側の端部だけがアク
リル樹脂(残渣)4で仮固定されているため、スペーサ
3の固着部に放出された電子が照射されても酸素が遊離
されることはない。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、2枚の基板からなる表
示装置用容器に関するものであり、特に電界放出表示装
置に適用して好適なものである。
【0002】
【従来の技術】金属または半導体表面の印加電界を10
9 [V/m]程度にするとトンネル効果により、電子が
障壁を通過して常温でも真空中に電子放出が行われる。
この現象は電界放出(Field Emission)といわれており
古くから知られた現象であるが、このような原理を利用
して電子を放出するカソードを電界放出カソード(Fiel
d Emission Cathode)と呼んでいる。近年、半導体微細
加工技術を駆使して、ミクロンサイズの前記電界放出カ
ソードの作成が可能となり、この電界放出カソードを基
板上に多数形成することにより、面放出型の電界放出ア
レイを作成することが可能となっている。このような電
界放出アレイは、表示装置、CRT、電子顕微鏡や電子
ビーム装置の電子源として適用することが提案されてい
る。
【0003】図5に、適用例の一例である従来の表示装
置を示す。この表示装置(以下、FEDと記す)は、電
界放出アレイ10が形成されたカソード基板1と、アノ
ード基板5とが、所定間隔をもって対向配置されて内部
を高真空に保持する容器を形成している。このカソード
基板1に形成された電界放出アレイ10は、スパッタ等
により形成されたカソード導体2と、その上に複数形成
された円錐状のエミッタコーン9と、このエミッタコー
ン9の先端近傍に形成されたゲート導体8とから構成さ
れるスピント(Spindt)型の電界放出アレイ10とされ
ている。さらに、アノード基板5の内側には、アノード
導体6−1と、その上に蛍光体層6−2が積層されて発
光部6が形成されている。
【0004】このエミッタコーン9間のピッチは10ミ
クロン以下の寸法で作成することが出来、このようなエ
ミッタコーン9を数万ないし数10万個、1枚のカソー
ド基板1上に設けるようにしている。なお、この電界放
出アレイにおいては、ゲート・カソード間の距離をサブ
ミクロンとすることが出来るため、ゲート・カソード間
に僅か数10ボルトの電圧VGEを印加することによりエ
ミッタコーン9から電子を放出することが出来る。
【0005】ところで、アノード導体6−1にはゲート
導体8に対し正電圧VA が印加されているため、エミッ
タコーン9から放出された電子は、図示する破線の軌道
で加速されてアノード導体6−1に捕捉されるようにな
る。この時、捕捉される電子がアノード導体6−1上に
積層されている蛍光体層6−2に衝突してこれを励起す
るため、蛍光体層6−2が発光するようになる。この発
光は透明のアノード基板5を介して観察することができ
る。
【0006】ところで、アノード基板5とカソード基板
1との間隔が数100ミクロンとなるよう、周縁部に側
面板、あるいはガラスビーズやガラスファイバを挟持す
るようにしているが、その内部が高真空に引かれている
ために、アノード基板5とカソード基板4とで構成され
る容器が大気圧により押圧されて間隔が狭まるよう撓む
ようになる。そこで、これを防止するため、アノード基
板5とカソード基板1との間にスペーサ3を所定間隔で
複数配設するようにして、容器全体にわたり所定の間隔
を保持するようにしている。
【0007】このスペーサ3の一端はシールガラス12
1によりアノード基板5の内側に溶着されており、スペ
ーサ3の他端はシールガラス11によりカソード基板1
に溶着されている。このスペーサ3は約2mm程度の間
隔でFEC10が形成されていない部分に複数配設され
ている。
【0008】ここで、スペーサ3を容器内に配設した容
器の作成方法を図3および図4を参照しながら説明す
る。まず、スペーサ3を形成する材料の、例えば直径約
50μmのガラスファイバ101を数百本図3(a)に
示すように、ガラス基台100上に互いに密着するよう
に接着剤により固定する。この場合、ガラス基台100
の長軸に対しガラスファイバ101は平行になるよう固
定される。そして、所定長、例えば約200μmの長さ
になるよう切断線に沿ってダイシングソーにより繰り返
し切断する。
【0009】切断されたガラスファイバ101は、固定
されていた接着剤が溶剤により溶融され、さらに洗浄さ
れた後、スペーサ3としてアノード基板5に配設される
位置の位置決めを行う治具110にセットされる。この
治具110は図3(b)に示すように箱形をしており、
その上部に所定長とされたガラスファイバ101を起立
・保持させるための開口部114を有する起立部111
と、多孔質材料からなる多孔質部112と、治具110
内部を排気する排気部113とから構成されている。な
お、開口部114の位置はアノード基板5にスペーサを
配設する位置に対応して設けられている。
【0010】このような構成の治具110において、排
気部113に真空ポンプを接続して治具110内部を排
気しながら、治具110の起立部111上に、所定長に
切断されたガラスファイバ101を散布すると、開口部
114から引かれた気体が多孔質部112を通過して排
気部113から排気されるようにされているため、所定
長のガラスファイバ101の径より若干大きい径とされ
ている開口部114にガラスファイバ101が入り込ん
で起立するようセットされ、ガラスファイバ101は開
口部114に吸引されて図3(b)に示すように起立し
た状態を保持するようになる。
【0011】この状態において、図3(c)に示すよう
に転写ペースト121を塗布したガラス基板120を治
具110上に配置し、治具110に保持されているガラ
スファイバ101の上端に転写ペースト121が転写さ
れるように、ガラス基板120をガラスファイバ101
に接触させる。次いで、転写ペースト121が転写され
たガラスファイバ101が保持された治具110上にア
ノード基板5を位置合わせして載置することにより、ガ
ラスファイバ101をアノード基板5の所定位置に付着
させる。そして、アノード基板5を焼成することにより
転写ペースト121を溶融してアノード基板5にガラス
ファイバ101の一端を溶着する。
【0012】なお、転写ペースト121は、ガラス製の
アノード基板5と熱膨張率が一致するよう鉛が混入され
た低融点のシールガラス11が主成分とされ、必要に応
じてこれに樹脂等を混入して粘着性を有するペースト状
とされたものであり、焼成されることにより樹脂等が消
散しシールガラス11が残るものである。また、アノー
ド基板5には発光部6がほぼ全面に形成されており、ガ
ラスファイバ101が溶着される部分は発光部6が形成
されている間の間隙部分とされている。
【0013】このようにガラスファイバ101の一端が
スペーサ3として溶着されたアノード基板5において、
さらにスペーサ3の他端に転写ペースト121を転写す
るよう、転写ペースト121を塗布したガラス基板12
0をスペーサ3の他端に接触させる。次いで、アノード
基板5に対しカソード基板1を位置合わせして重ね合わ
せた状態で、封着炉内にて封着すると転写ペースト12
1が溶融し、スペーサ3とカソード基板1とが溶着され
るようになる。すなわち、アノード基板5とカソード基
板からなる容器が形成されることになる。この場合、カ
ソード基板1およびアノード基板5の周縁部に所定厚さ
の側面板、あるいはガラスビーズやガラスファイバ等が
シールガラスと共に挟持されて封着されることにより、
内部を真空とできる気密の容器が形成されており、封着
後に容器内部が真空に引かれて図5に示すような表示装
置が作製されている。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
図5に示すようなスペーサを有する表示装置用容器にお
いては、エミッタコーン9から放出された電子は発光部
6の蛍光体層6−2を励起して発光させているが、エミ
ッタコーン9からはかなり広い角度で電子が放出される
ため、図5に示すようにスペーサ3をアノード基板5に
融着しているシールガラス11に電子が照射される場合
が生じる。すると、シールガラス11には酸化鉛が混入
されていることから、電子が照射されることにより酸素
が遊離してエミッタコーン9の先端等に付着するように
なる。このため、エミッタコーン9のエミッションが低
下してしまうという問題点があった。
【0015】また、転写ペースト121をスペーサ3に
転写する際に、転写ペースト121の塗布状態のばらつ
きにより、スペーサ3の先端に多量の転写ペーストが付
着することがある。この場合、アノード基板5上にスペ
ーサ3を転写した際のペーストパターンサイズが大きく
なり、蛍光体層6−2のパターンと接触する恐れが生じ
る。このようにペースト121が蛍光体層6−2のパタ
ーンと接触すると、焼成時に蛍光体層6−2の接触部位
が変質を起こすという問題点があった。さらに、スペー
サ3の両端をシールガラス11で溶着しているため作成
方法が煩雑であるという問題点があった。
【0016】そこで、本発明はカソード基板とアノード
基板とからなる容器において、作成方法が容易であり、
スペーサをその間に配設しても電子源を汚染しないと共
に、蛍光体層を変質させない表示装置用容器を提供する
ことを目的としている。
【0017】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の表示装置用容器は、電子源が形成されてい
るカソード基板と、前記電子源から放出された電子によ
り励起される発光部が形成されているアノード基板と、
前記カソード基板と前記アノード基板とが対向して所定
間隔を保持するように、前記カソード基板と前記アノー
ド基板間に配設されたスペーサとを備え、前記スペーサ
の一端が接着剤の残渣物によりカソード基板に仮固着さ
れた状態において、前記スペーサをカソード基板とアノ
ード基板とで挟持するようにしたものである。
【0018】さらに、前記表示装置用容器において、前
記スペーサの仮固定用接着剤にアエロジルを添加し、仮
固定強度を上げるようにしてもよいものであり、また、
複数本のガラスファイバーを互いに密着するようガラス
基板上に固定し、ダイシングソーにより所定長に前記ガ
ラスファイバーを切り出すことにより、前記スペーサを
作製するようにしてもよいものである。
【0019】
【作用】本発明によれば、スペーサの一端を、容器を構
成する一方の基板に仮固定するようにしてスペーサを配
設するようにしたので、スペーサの固着手段としてのシ
ールガラスを不要とすることができ、電子線の照射によ
り酸素が遊離される恐れをほとんどなくすことができる
と共に、蛍光体層の変質を防止することができる。さら
に、スペーサは仮固定されているだけであるので製作方
法を簡単化することができる。
【0020】
【実施例】本発明の表示装置用容器の実施例の断面図を
図2に示す。この図において、1はカソード基板、2は
カソード基板1上にスパッタ等により形成されているカ
ソード導体、3はカソード基板1とアノード基板5との
間隔を保持するスペーサ、4はスペーサ3をカソード基
板1側に仮固定しているアクリル樹脂(残渣)、5はカ
ソード基板1と共に内部が高真空に保持される容器を構
成するアノード基板、6はアノード導体6−1と蛍光体
層6−2とからなる発光部、6−1はアノード基板5上
にスパッタ等により形成されているアノード導体、6−
2は電子で励起されて発光する蛍光体層、7はカソード
導体2上に積層されている絶縁層、8は絶縁層7上に積
層されているゲート導体、9はその先端がゲート導体8
と対向するよう円錐状にカソード導体2上に形成されて
いるエミッタコーン、10はカソード導体2、絶縁層
7、ゲート導体8、エミッタコーン9から構成されるス
ピント型の電界放出カソード(FEC)アレイである。
【0021】カソード基板1とアノード基板5からなる
容器内に収納されている表示装置の動作を説明すると、
カソード導体2に対し所定の大きさの正の電圧をゲート
導体8に印加すると、エミッタコーン9の先端から電子
が放出される。この電子はゲート導体8に対し正の電圧
が印加されているアノード導体6−1が発生する電界に
より加速されて、蛍光体層6−2に衝突するようにな
る。これにより、蛍光体層6−2が励起されて発光する
ようになる。この発光は、透明のアノード基板5を介し
て観察することができる。
【0022】この実施例の表示装置用容器においては、
スペーサ3の一端がカソード基板1側に形成されている
絶縁層7上にアクリル樹脂4により仮固定されているだ
けであり、スペーサ3は、カソード基板1とアノード基
板5とで挟持されているだけとされている。このため、
エミッタコーン9から広い角度で図示する破線のように
電子が放出されても、照射された電子により酸素が遊離
するシールガラスが存在しないため、酸素が遊離されず
エミッタコーン9の先端等が汚染されることをほぼ防止
することができる。
【0023】また、スペーサ3のアノード基板5側の端
部は当接されているだけであり、シールガラス等の固着
手段が設けられていないため、シールガラス等の固着手
段のパターンと蛍光体層6−2のパターンとが接触する
ことがなく、封着時に蛍光体層6−2が変質することを
防止することができる。
【0024】次に、スペーサ3を容器内に配設する方法
を説明するが、図3(b)に示す途中までの工程は従来
と同様であるので、図3(b)に示す以後の工程を図1
を参照して説明する。まず、図1(a)に示すように治
具110の起立部111に設けられている開口部114
に起立されて保持されたガラスファイバ101の先端に
アクリル樹脂4を付着するよう、一面にアクリル樹脂4
を塗布したガラス基板120を治具110に載置して、
ガラスファイバ101の先端に接触させる。このように
してアクリル樹脂4がガラスファイバ101の先端に転
写された状態において、図1(b)に示すようにカソー
ド基板1を治具110に対し位置合わせして載置し、次
いで排気部113からの排気を停止することにより、ガ
ラスファイバ101はスペーサ3としてカソード基板1
に付着されるようになる。
【0025】この状態でカソード基板1を約480°C
で焼成すると、アクリル樹脂4が焼き飛ばされその残渣
分だけが残るようになる。この場合には、スペーサ3は
カソード基板1にアクリル樹脂(残渣)4により仮固定
された状態を維持している。次いで、スペーサ3が仮固
定されているカソード基板1に対し、図1(c)に示す
ようにアノード基板5を位置合わせして、カソード基板
1上にアノード基板5を載置する。この場合、図示して
いないがカソード基板1とアノード基板5との周縁部に
は、両基板1,5を所定間隔で対向させるようシールガ
ラスが設けられた所定厚さのサイド基板、あるいはシー
ルガラスとガラスビーズやガラスファイバとが挟持され
ており、カソード基板1とアノード基板5とが所定間隔
を有して対向するようにされる。
【0026】そして、カソード基板1にアノード基板5
を載置した状態で封着炉内に搬入し、全体を加熱するこ
とにより周縁部のシールガラスを溶融する。これにより
容器の封着を完了し、冷却してから図示しない排気管あ
るいは排気口から容器内部を真空に排気する。すると、
容器内部が真空とされることから、大気圧によりカソー
ド基板1とアノード基板5とが押圧されるようになり、
カソード基板1とアノード基板5との間に所定間隔をも
って配設されたスペーサ3は、大気圧で加圧された状態
となり、カソード基板1とアノード基板5とを安定に保
持されたスペーサ3により、所定間隔に保持することが
できるようになる。
【0027】なお、アクリル樹脂4は温度により分解し
易いアクリル樹脂等の樹脂とその溶剤とから構成されて
いる。ところで、作成されたスペーサ3の高さには多少
のばらつきがあるが、このばらつきがあると、背の低い
スペーサ3が遊ぶようになるため、封着時にスペーサ3
が軟化することにより、ばらつきのあるスペーサ3の高
さを吸収するようにしている。このため、スペーサ3は
低軟化点のガラスファイバを用いて作成されている。
【0028】以上の説明においては、スペーサはカソー
ド基板上に形成した絶縁層上に仮固定するようにした
が、これに限らず、絶縁層およびカソード導体を形成し
ない部分をカソード基板に設けて、スペーサをカソード
基板に直接仮固定するか、あるいは、絶縁層を形成しな
い部分を設けてカソード導体上に仮固定するようにして
もよい。さらに、カソード基板側に替えてアノード基板
側に仮固定するようにしてもよい。
【0029】
【発明の効果】本発明は以上のように、スペーサを基板
の一方に仮固定するようにしたので、シールガラスを使
用する必要がなく電子線がスペーサの固着部分に照射さ
れても酸素が遊離される恐れをなくすことができると共
に、シールガラスを用いていないためシールガラスが蛍
光体層に接触することがなく蛍光体層の変質を防止する
ことができる。
【0030】また、スペーサは大気圧により加圧された
状態とされているため、安定にカソード基板とアノード
基板との間隔を保持することができるようになる。さら
に、スペーサ長のばらつきを封着時に吸収することがで
きるため、容器内で遊ぶスペーサをほぼなくすことがで
きる。なお、シールガラスを使用する必要がないことか
ら作成方法を簡単化することができると共に、コストダ
ウンすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の表示装置用容器の作成方法を示す図で
ある。
【図2】本発明の表示装置用容器の実施例の断面図であ
る。
【図3】従来の表示装置用容器の作成方法を示す図であ
る。
【図4】従来の表示装置用容器の作成方法を示す図であ
る。
【図5】従来の表示装置用容器の実施例の断面図であ
る。
【符号の説明】
1 カソード基板 2 カソード導体 3 スペーサ 4 アクリル樹脂 5 アノード基板 6 発光部 6−1 アノード導体 6−2 蛍光体層 7 絶縁層 8 ゲート導体 9 エミッタコーン 10 FEC 11 シールガラス 101 ガラスファイバ 110 治具
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉村 智志 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株式 会社内 (72)発明者 本多 健一 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株式 会社内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電子源が形成されているカソード基板
    と、 前記電子源から放出された電子により励起される発光部
    が形成されているアノード基板と、 前記カソード基板と前記アノード基板とが対向して所定
    間隔を保持するように、前記カソード基板と前記アノー
    ド基板間に配設されたスペーサとを備え、 前記スペーサの一端が接着剤の残渣物によりカソード基
    板に仮固着された状態において、前記スペーサをカソー
    ド基板とアノード基板とで挟持するようにしたことを特
    徴とする表示装置用容器。
  2. 【請求項2】 前記スペーサの仮固定強度を上げるた
    めに、アエロジルを前記接着剤に添加することを特徴と
    する請求項1記載の表示装置用容器。
  3. 【請求項3】 前記スペーサが、複数本のガラスファ
    イバーを互いに密着するようガラス基板上に固定し、ダ
    イシングソーにより所定長に前記ガラスファイバーを切
    り出すことにより作製されていることを特徴とする請求
    項1記載の表示装置用容器。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2004319452A (ja) * 2003-03-28 2004-11-11 Futaba Corp 支柱材配設用治具および支柱材配設方法

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