JP2003308951A

JP2003308951A - 給電用電極棒と給電用端子との連結構造、ヒータエレメント、加熱装置及び基板加熱装置

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Publication number: JP2003308951A
Application number: JP2002112146A
Authority: JP
Inventors: Makoto Nakao; 誠中尾; Tsuyoshi Watanabe; 剛志渡辺; Kazunori Shibukawa; 和典渋川; Yoshihiko Murakami; 嘉彦村上
Original assignee: Sumitomo Osaka Cement Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Osaka Cement Co Ltd
Priority date: 2002-04-15
Filing date: 2002-04-15
Publication date: 2003-10-31
Anticipated expiration: 2022-04-15
Also published as: JP3889309B2

Abstract

(57)【要約】【課題】給電用電極棒と給電用端子との連結部分の破
損を防ぐことができ、優れた耐久性が得られる連結構造
を提供すること。【解決手段】通電により発熱する発熱体素子に、一端
が連結された導電性導電性炭化珪素焼結体製の給電用電
極棒４と、前記給電用電極棒４の他端４ｂに機械的固定
手段２５によって給電用端子７が固定されており、前記
給電用電極棒４の他端４ｂにおける前記給電用端子７と
の接触面７ｄには被覆層４０が形成されている給電用電
極棒と給電用端子との連結構造とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、給電用電極棒と給
電用端子との連結構造、この連結構造を有するヒータエ
レメント、加熱装置並びに基板加熱装置に関し、特に、
給電用電極棒と給電用端子との連結部分の破損を防ぐこ
とができ、優れた耐久性が得られる連結構造と、前記連
結構造を有するヒータエレメント、および前記ヒータエ
レメントを用いた加熱装置並びに基板加熱装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、高温での使用に耐え、酸化性
雰囲気下をはじめとするあらゆる使用雰囲気下において
使用されている基板加熱装置として、例えば、図７に示
すような基板加熱装置が知られている。図７は、従来の
基板加熱装置の一例を示した概略断面図である。この基
板加熱装置３１は、チャンバー１と、導電性セラミック
ス焼結体からなり、通電により発熱する発熱体素子２
と、この発熱体素子２に一端が連結された導電性セラミ
ックス焼結体製の給電用電極棒５４，５４と、給電用電
極棒５４、５４の他端に連結された給電用端子５７、５
７と、給電用端子５７、５７に連結されたリード線５
９、５９と、チャンバー１の壁面を貫通してリード線５
９、５９に電流を導入する電流導入端子１０１，１０１
と、基板支持台１０と、熱電対１５とを備えている。

【０００３】この基板加熱装置３１では、基板支持板１
０の上面１０ａにシリコンウエハ基板８が載置され、リ
ード線５９、１０３と、電流導入端子１０１と、給電用
端子５７と、給電用電極棒５４とを介して、基板支持板
１０の下面に配置されている発熱体素子２に電力を供給
することにより、発熱体素子２が昇温して基板支持台１
０を介してシリコンウエハ基板８が加熱されるようにな
っている。

【０００４】この基板加熱装置３１では、酸化性雰囲気
下においても使用できるように、給電用端子５７とし
て、耐熱性および耐酸化性に優れる金属である例えば、
Ｎｉ、Ｐｔ、Ａｇ、Ａｕ、Ｉｒ、Ｐｄ、インコネル合
金、モネル合金等からなる金属薄板によって形成された
ものを使用している。また、この基板加熱装置３１にお
いて、給電用電極棒５４と給電用端子５７とは、図８に
示すような連結構造を有している。

【０００５】図８は、図７に示した基板加熱装置におけ
る給電用電極棒とリード線との連結構造の一例を示した
図であり、図８（ａ）は、側面図であり、図８（ｂ）
は、給電用電極棒におけるリード線が連結される側の端
部から見た図である。図８において、符号５１は、給電
用電極棒５４とリード線５９との連結部を示している。
連結部５１において、給電用電極棒５４とリード線５９
とは、給電用電極棒５４の端部に巻き付けられた給電用
端子５７の貫通孔５８に、金属製のボルト５２を挿入し
て、金属製のナットおよびワッシャーを用いて固定し、
給電用端子５７が固定されている部分にリード線５９を
連結することによって連結されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図８に
示した給電用電極棒５４とリード線５９との連結構造で
は、金属からなる給電用端子５７と導電性セラミックス
焼結体からなる給電用電極棒５４との接触面積が、給電
用端子５７と給電用電極棒５４との熱膨張係数の差に起
因して低下し、給電用端子５７と給電用電極棒５４との
間に隙間が形成されてしまうことによる異常放電が発生
しやすい。このため、発熱体素子２に通電することによ
って、給電用電極棒５４とリード線５９との連結部分が
破損しやすく、耐久性が充分でないという問題点があっ
た。

【０００７】また、リード線５９が給電用端子５７の軸
の中心部に連結されていないため、基板加熱装置３１を
昇温させた際に、リード線５９の熱膨張による連結部５
１への不均一な応力が発生してしまう。このリード線５
９の熱膨張による不均一な応力が、基板加熱装置３１を
昇温させる度に連結部５１に繰り返し与えられることに
より、連結部５１に緩みが生じ、リード線５９と給電用
電極棒５４とが接触不良を起こすことが問題となってい
た。

【０００８】このような問題を解決する手段として、給
電用電極棒５４と給電用端子５７との連結部５１の温度
が上昇しないように、給電用電極棒５４を長尺として連
結部５１を発熱体素子２から離すことが提案されている
が、これによると基板加熱装置３１全体が大型化してし
まうという問題があった。

【０００９】本発明は、上記の従来技術が有する問題点
に鑑みてなされたものであり、そのための具体的な技術
的課題は、装置の大型化を招くことなく給電用電極棒と
給電用端子との連結部分の破損を防ぐことができ、優れ
た耐久性が得られる連結構造を提供することを目的とす
る。また、前記連結構造を有するヒータエレメント、お
よび前記ヒータエレメントを用いた加熱装置並びに基板
加熱装置を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は以下の構成を採用した。本発明の給電用
電極棒と給電用端子との連結構造は、通電により発熱す
る導電性炭化珪素焼結体製の発熱体素子に一端が連結さ
れた導電性炭化珪素焼結体製の給電用電極棒と、前記給
電用電極棒の他端に連結された金属製の給電用端子との
連結構造であって、前記給電用端子と前記給電用電極棒
とが機械的固定手段により固定され、前記給電用電極棒
の前記給電用電極端子との接触表面に被覆層が形成され
ていることを特徴とする。

【００１１】本願発明において、「機械的固定手段」と
は、嵌着部を締め付け固定するためのものであり、給電
用電極棒と給電用端子との連結を強固にし、給電用端子
の熱膨張を抑制するものである。具体的には、例えば、
ボルトと、ナットおよびワッシャーとからなるものなど
が含まれる。

【００１２】熱膨張係数の小さい導電性炭化珪素焼結体
を給電用電極棒とすれば、昇温による熱膨張を抑制し、
給電用電極棒と給電用端子との接触面積の低下を防ぐこ
とができる。このため、給電用電極棒と給電用端子との
間に隙間が生じにくくなり、異常放電が発生しないもの
となる。したがって、給電用電極棒と給電用端子との連
結部分の破損を防ぐことができ、優れた耐久性が得られ
る。また、給電用電極棒と給電用端子との接触表面に被
覆層を形成することにより、酸化性雰囲気下での加熱に
よる給電用電極棒表面の劣化を防止することができ、よ
り一層耐久性を向上させることができる。

【００１３】上記の給電用電極棒と給電用端子との連結
構造においては、前記給電用端子には凹状部が形成さ
れ、前記凹状部の内部に前記給電用電極棒の他端が挿入
され、前記給電用端子は前記給電用電極棒に嵌着されて
嵌着部を形成し、前記嵌着部において前記給電用端子と
前記給電用電極棒とが機械的固定手段により固定されて
いることが好ましい。

【００１４】このような給電用電極棒と給電用端子との
連結構造では、給電用電極棒と給電用端子とが前記嵌着
部において機械的に固定されることにより、連結構造が
昇温した際に生じる金属製の給電用端子の横方向の熱膨
張を抑制することができ、給電用電極棒と給電用端子と
の接触面積の低下を防ぐことができる。このため、給電
用電極棒と給電用端子との間に隙間が生じにくくなり、
異常放電が発生しないものとなる。また、凹状部の内部
において前記被覆層が接触するので、給電用電極棒と給
電用端子との接触抵抗を容易に低下させることができ
る。従って、給電用電極棒と給電用端子との連結部分の
発熱及び破損を防ぐことができ、優れた耐久性が得られ
る。

【００１５】また、前記被覆層の電気抵抗率は０．１Ω
・ｃｍ以下であることが望ましい。０．１Ω・ｃｍ以下
とすることにより、発熱素子部と比較して十分に抵抗値
が低くなり、給電用電極棒と給電用端子との接触面にお
ける発熱を抑えることができ、その結果、十分な耐久性
が得られる。

【００１６】また、前記被覆層はＰｔ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｓ
ｉ、Ｉｒ、Ｒｕ、Ｒｅから選ばれた少なくとも１種以上
の金属からなることが好ましい。これら金属はいずれも
高い導電性を有するものであるので、給電用電極棒と給
電用端子との接触面における抵抗値を極力小さくするこ
とができる。さらにこれら金属はいずれも高温における
耐酸化性に優れるので、給電用電極棒表面の酸化を防止
することができる。よって、給電用電極棒と給電用端子
との連結部分の発熱と破損とを防止することができ、優
れた耐久性が得られる。

【００１７】さらに、前記被覆層の膜厚は１００μｍ以
下であることが望ましい。１００μｍ以下とすることに
より、通電による熱サイクルがかかる場合においても、
熱膨張差に起因するクラックや剥離が生じず、優れた耐
久性が得られる。

【００１８】また、上記の給電用電極棒と給電用端子と
の連結構造においては、前記給電用端子が、Ｎｉ、Ｐ
ｔ、Ａｇ、Ａｕ、Ｉｒ、Ｐｄ、インコネル合金、モネル
合金のいずれかにより形成されたものであることが望ま
しい。このような給電用電極棒と給電用端子との連結構
造とすることで、給電用端子が耐熱性および耐酸化性に
優れたものとなり、より一層、耐久性を向上させること
ができる。このことにより、大気中や酸化性雰囲気下に
おける高温での使用に際しても十分な耐久性が得られる
ものとなり、大気中や酸化性雰囲気下で高温で使用する
場合でも、支障なく使用することができる優れたものと
なる。

【００１９】また、上記の給電用電極棒と給電用端子と
の連結構造においては、前記機械的固定手段は、前記給
電用電極棒との熱膨張係数の差が２×１０^―6／℃以下
となる材料で形成されていることが望ましい。このよう
な給電用電極棒と給電用端子との連結構造とすること
で、連結構造が昇温した際に、給電用端子が熱膨張する
ことにより、給電用電極棒と給電用端子との接触面積が
低下して異常放電の原因となることを有効に防止するこ
とができ、より一層、耐久性を向上させることができ
る。

【００２０】さらに、上記の給電用電極棒と給電用端子
との連結構造においては、前記機械的固定手段は、導電
性炭化珪素焼結体からなることが望ましい。このような
給電用電極棒と給電用端子との連結構造とすることで、
機械的固定手段と給電用電極棒との熱膨張係数の差がな
いものとなり、より一層、耐久性を向上させることがで
きる。

【００２１】また、上記の給電用電極棒と給電用端子と
の連結構造においては、前記凹状部を構成する壁面の厚
みは、０．０５〜３ｍｍの範囲であることが望ましい。
このような給電用電極棒と給電用端子との連結構造とす
ることで、電流を十分に流すことができるとともに、壁
面が熱膨張して給電用電極棒と給電用端子との接触面積
が低下することによる給電用電極棒と給電用端子との連
結部分の破損を防ぐことができ、優れた耐久性が得られ
る。

【００２２】また、上記の目的を達成するために、本発
明のヒータエレメントは、通電により発熱する発熱体素
子と、前記発熱体素子に一端が連結された給電用電極棒
と、前記給電用電極棒の他端に連結された給電用端子と
を少なくとも備え、上記のいずれかに記載の給電用電極
棒と給電用端子との連結構造を有することを特徴とす
る。

【００２３】このようなヒータエレメントは、上記のい
ずれかに記載の給電用電極棒と給電用端子との連結構造
を有するものであるので、ヒータエレメントを昇温させ
た際の給電用端子の横方向の熱膨張を抑えることがで
き、給電用電極棒と給電用端子との接触面積の低下を防
ぎ、給電用電極棒と給電用端子との間に隙間が生じにく
くなり、異常放電が発生しないものとなる。したがっ
て、給電用電極棒と給電用端子との連結部分の破損を防
ぐことができ、優れた耐久性が得られる。

【００２４】また、上記のヒータエレメントにおいて
は、前記給電用端子は、前記給電用端子の軸の中心部に
リード線が連結されたものであることが望ましい。この
ようなヒータエレメントとすることで、ヒータエレメン
トを昇温させた際に、リード線の熱膨張によって発生す
るリード線と給電用端子との連結部分への応力が均一な
ものとなり、リード線と給電用端子との熱膨張係数の差
に起因するリード線と給電用端子との接触不良を防止す
ることができ、より一層、耐久性を向上させることがで
きる。

【００２５】また、上記の目的を達成するために、本発
明の加熱装置は、チャンバーと、上記のいずれかに記載
のヒータエレメントとを少なくとも備えたことを特徴と
する。このような加熱装置は、上記のいずれかに記載の
ヒータエレメントを備えたものであるので、給電用電極
棒と給電用端子との連結部分の破損を防ぐことができ、
優れた耐久性が得られるものとなる。

【００２６】また、上記の目的を達成するために、本発
明の基板加熱装置は、チャンバーと、上記のいずれかに
記載のヒータエレメントと、前記チャンバー内に設けら
れ、一方の面には基板が載置され、他方の面には前記ヒ
ータエレメントの発熱体素子が配置される基板支持台と
を少なくとも備えたことを特徴とする。このような基板
加熱装置は、上記のいずれかに記載のヒータエレメント
を備えたものであるので、給電用電極棒と給電用端子と
の連結部分の破損を防ぐことができ、優れた耐久性が得
られるものとなる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態に
ついて、図面を参照して詳細に説明する。なお、この実
施形態は、本発明の要旨を説明するためのものであり、
特に限定がない限り本発明を限定するものではない。

【００２８】図１は、本発明の給電用電極棒と給電用端
子との連結構造を有するヒータエレメントの一例を説明
するための図であり、図１（ａ）は、発熱体素子側から
見た平面図であり、図１（ｂ）は、側面図である。図１
において、符号２０は、ヒータエレメントを示してい
る。このヒータエレメント２０は、発熱体素子２と給電
用電極棒４と給電用端子７と機械的固定手段２５とを備
えたものであり、チャンバー（図示略）内に配置される
ものである。

【００２９】発熱体素子２は、通電により発熱するもの
であり、図１に示すように平面視円形の平板状であり、
中央部から外周部に向かって徐々に発熱体素子２の幅が
薄くなるように形成されたスパイラル状となっている。
発熱体素子２は、導電性炭化珪素焼結体からなり、高純
度で金属汚染の原因とならない炭化珪素、例えば、特許
第２７２６６９４号公報に記載されている常温下での熱
伝導率が１２０Ｗ／ｍ・Ｋ以上で、輻射率が０．７５以
上である導電性炭化珪素材料などが好適に使用される。

【００３０】給電用電極棒４は、２本設けられ、一端４
ａ（発熱体素子側の端部）は、発熱体素子２に連結さ
れ、他端４ｂ（給電用端子側の端部）は、図２に示すよ
うに、給電用端子７の凹状部７ａに受容され、嵌着し得
る形状となるように形成されているとともに、ボルト２
１を挿入するための貫通穴４ｃが形成されている。

【００３１】また、給電用電極棒４は、導電性炭化珪素
焼結体からなり、前記発熱体素子２で使用される導電性
炭化珪素焼結体と同材質であることが、高熱伝導性、熱
膨張性などの点において好ましい。

【００３２】前記発熱体素子２と給電用電極棒４とを連
結する際に、特願平１１−１５４３３６に開示されてい
るように、Ｓｉを含む接合剤を用いて接合すれば、ヒー
タエレメントを酸化雰囲気中、不活性雰囲気中、還元雰
囲気中のすべての雰囲気において好適に使用することが
できる。また、前記発熱体素子２と給電用電極棒４との
連結は、例えば導電性炭化珪素焼結体製のボルト等を用
いた機械的連結であってもよく、更には前記の接合法と
機械的連結法とを併用してもよい。

【００３３】給電用端子７は、２本の給電用電極棒４の
他端４ｂにそれぞれ設けられている。給電用端子７の一
方の端部には、図３に示すように、給電用電極棒４の他
端４ｂを受容して嵌着し得る凹状部７ａが形成されてい
る。凹状部７ａは、断面視コの字状であり、底部が矩形
となっている。また、凹状部７ａを構成する壁面７ｅ、
７ｅには、ボルトを挿入するための貫通孔７ｃ、７ｃが
設けられている。

【００３４】給電用電極棒４の他端４ｂと凹状部７ａが
接する接触面７ｄ部において、給電用電極棒４の表面に
は被覆層４０が形成されている。この被覆層４０は、高
い熱伝導度と導電率とを有し、かつ高温の酸化性雰囲気
下での耐食性および耐酸化性を有する材料からなるもの
であって、例えば金属膜のほか、金属を主成分とする複
合材料であってもよい。

【００３５】被覆層４０の導電率は１×１０^-1Ω・ｃｍ
以下であることが好ましい。導電率が１×１０^-1Ω・ｃ
ｍを越える場合、通電することにより被覆層４０におい
ても発熱が起こり、接触面７ｄが高温となり、給電用電
極棒４と給電用端子７との連結部が短時間のうちに破損
する恐れがあるので好ましくない。

【００３６】さらに被覆層４０として好適な材料として
は、耐熱性に優れ高温の酸化性雰囲気においても酸化さ
れないように、例えばＰｔ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｓｉ、Ｉｒ、
Ｒｕ、Ｒｅを例示することができ、これらの純金属のほ
か、これらから選ばれた1種以上の金属の合金を例示す
ることができる。なかでもＰｔ、Ｐｔ−Ｓｉ合金、Ａｕ
−Ｓｉ合金、Ｉｒ−Ｓｉ合金等が好適に使用できる。

【００３７】被覆層４０の膜厚は、１００μｍ以下が好
ましい。膜厚が１００μｍを越える場合、通電によって
熱サイクルがかかる事によって熱膨張差に起因するクラ
ックや剥離が生じ，接触面積が減少し、連結部分に破損
が生じる恐れがあるので、好ましくない。

【００３８】被覆層４０を形成する方法は、特に限定さ
れるものではないが、（１）上記金属微粒子を有機溶剤等で懸濁して懸濁液と
し、はけ塗りあるいはディップコートにより塗布して熱
処理する方法。（２）上記金属コロイドを湿式還元法により析出して懸
濁液とし、はけ塗りあるいはディップコートにより塗布
して、熱処理する方法。（３）上記金属を含む塩化物、硝酸化物、臭化物等の溶
液を用いて、はけ塗りあるいはディップコートにより塗
布して熱処理する方法。（４）メッキ、ＣＶＤ、スパッタ、溶射等により形成す
る方法。等が例示できる。上記（１）の方法では、有機あるいは
無機のバインダーを含んでもよい。

【００３９】給電用端子７の凹状部７ａを構成する壁面
７ｅの厚みｔは、０．０５〜３ｍｍ程度の範囲とするの
が好ましい。壁面７ｅの厚みｔを０．０５ｍｍ未満とし
た場合、十分に電流を流せなくなる恐れや、十分な強度
が得られない恐れがあるため好ましくない。また、壁面
７ｅを３ｍｍを越える厚みｔとした場合、壁面７ｅの熱
膨張により、給電用電極棒４と給電用端子７との接触面
積が低下して、給電用電極棒４と給電用端子７との連結
部分に破損が生じる恐れがあるので、好ましくない。

【００４０】また、図２に示すように、給電用端子７の
他方の端部７ｂにおける給電用端子７の軸の中心部に
は、リード線９が連結されるようになっている。給電用
端子７は、金属からなるものであり、具体的には、耐熱
性に優れ、酸化性雰囲気下での使用も可能となるよう
に、例えば、Ｎｉ、Ｐｔ、Ａｇ、Ａｕ、Ｉｒ、Ｐｄ、Ｆ
ｅ−Ｃｒ−Ｎｉ系合金（インコネル合金）、Ｎｉ−Ｃｕ
−Ｆｅ−Ｓ系合金（モネル合金）等を使用することがで
き、特に、Ｆｅ−Ｃｒ−Ｎｉ系合金またはＮｉが好適で
ある。また、リード線９は、Ｎｉなどの耐熱性に優れた
材料により形成された撚り線の外周部を、アルミナ硝子
などの耐熱性に優れた材料により保護したものである。

【００４１】機械的固定手段２５は、給電用電極棒４と
給電用端子７との連結を確実にし、給電用端子７の熱膨
張を抑制するためのものであり、例えば、図２に示すよ
うに、給電用電極棒４の貫通穴４ｃと凹状部７ａの貫通
孔７ｃとを貫通するように挿入されたボルト２１と、ナ
ット２２およびワッシャー２３とからなるものなどが挙
げられる。また、機械的固定手段２５を形成する材料と
しては、給電用電極棒４との熱膨張係数の差が２×１０
^-6／℃以下となる材料などが好ましい。さらに、機械的
固定手段２５を形成する材料として、給電用電極棒４と
同一材料である導電性炭化珪素焼結体を用いるとより一
層耐久性を向上させることができ、好適である。

【００４２】このようなヒータエレメント２０では、給
電用電極棒４と給電用端子７とは、図２に示すように、
給電用端子７の凹状部７ａ内に給電用電極棒４の他端４
ｂを挿入して、給電用端子７が給電用電極棒４に嵌着さ
れた嵌着部５を形成し、さらに、機械的固定手段２５に
より嵌着部５を固定することによって連結されている。

【００４３】また、給電用端子７とリード線９とは、図
２に示すように、給電用端子７の他方の端部７ｂにおけ
る給電用端子７の軸の中心部にかしめて連結されてい
る。そして、このようなヒータエレメント２０では、給
電用端子７とリード線９とを連結することにより、電力
の供給が可能となり、供給電力の増減により発熱体素子
２の温度制御ができるようになっている。

【００４４】このようなヒータエレメント２０は、上記
の耐熱性導電材料からなる被覆層４０が形成された給電
用電極棒４と給電用端子７との連結構造を有するもので
あるので、高温の酸化雰囲気においても耐久性に優れた
ものとなる。すなわち、本実施形態における耐酸化性導
電材料からなる被覆層４０が形成された給電用電極棒４
と給電用端子７との連結構造では、給電用端子７には凹
状部７ａが形成され、凹状部７ａの内部に給電用電極棒
４の他端４ｂが挿入され、給電用端子７は給電用電極棒
４に嵌着されて嵌着部５を形成し、嵌着部５において給
電用端子７と給電用電極棒４とが機械的固定手段２５に
より固定されているので、ヒータエレメント２０が昇温
した際の給電用端子７の横方向の熱膨張を抑えることが
でき、給電用電極棒４と給電用端子７との接触面積の低
下を防ぎ、給電用電極棒４と給電用端子７との間に隙間
が生じにくくなり、異常放電が発生しないものとなる。
特に、被覆層４０を設けることにより、給電用電極棒４
と給電用端子７との間の接触抵抗を容易に低減すること
ができるばかりでなく、給電用電極棒４の表面の酸化を
防止することができるので、高温の酸化雰囲気において
も給電用電極棒４と給電用端子７との連結部分の破損を
防ぐことができ、より一層優れた耐久性が得られる。

【００４５】また、このヒータエレメント２０において
は、給電用端子７は、給電用端子７の軸の中心部にリー
ド線９が連結されたものであるので、ヒータエレメント
２０を昇温させた際に、リード線９の熱膨張によって発
生するリード線９と給電用端子７との連結部分への応力
が均一なものとなり、リード線９と給電用端子７との熱
膨張係数の差に起因するリード線９と給電用端子７との
接触不良を防止することができ、より一層、耐久性を向
上させることができる。したがって、リード線９の熱膨
張により発生する不均一な応力によって、リード線９が
連結されている部分が緩み、接触不良を起こすこともな
い。

【００４６】また、本実施形態の給電用電極棒４と給電
用端子７との連結構造においては、給電用端子７を、Ｎ
ｉ、Ｐｔ、Ａｇ、Ａｕ、Ｉｒ、Ｐｄ、インコネル合金、
モネル合金のいずれかにより形成されたものとすること
で、給電用端子７が耐熱性および耐酸化性に優れたもの
となり、より一層、耐久性を向上させることができる。
このことにより、大気中や酸化性雰囲気下における高温
での使用に際しても十分な耐久性が得られるものとな
り、大気中や酸化性雰囲気下で高温で使用する場合で
も、支障なく使用することができる優れたものとなる。

【００４７】また、機械的固定手段２５を、給電用電極
棒４との熱膨張係数の差が２×１０ ^-6／℃以下となる材
料で形成することで、ヒータエレメント２０が昇温した
際に、給電用端子７が熱膨張することにより、給電用電
極棒４と給電用端子７との接触面積が低下して異常放電
の原因となることを有効に防止することができ、より一
層、耐久性を向上させることができる。

【００４８】さらに、機械的固定手段２５を、給電用電
極棒４と同一材料の導電性炭化珪素焼結体で形成するこ
とで、機械的固定手段２５と給電用電極棒４との熱膨張
係数の差がないものとなり、より一層、耐久性を向上さ
せることができる。

【００４９】さらに、本実施形態の給電用電極棒４と給
電用端子７との連結構造においては、凹状部７ａを構成
する壁面７ｅの厚みｔを、０．０５〜３ｍｍの範囲とす
ることで、電流を十分に流すことができるとともに、壁
面７ｅが熱膨張して給電用電極棒４と給電用端子７との
接触面積が低下することによる給電用電極棒４と給電用
端子７との連結部分の破損を防ぐことができ、優れた耐
久性が得られる。

【００５０】次に、本発明のヒータエレメントを備えた
基板加熱装置を例に挙げて説明する。図４は、本発明の
基板加熱装置の一例を示した概略断面図である。この基
板加熱装置３０は、チャンバー１と、図１に示したヒー
タエレメント２０と、ヒータケース６と、基板支持台１
０と、熱電対１５と、電流導入端子１０１とを備えてい
る。

【００５１】チャンバー１は、金属アルミニウムなどか
らなるものであり、基板支持板１０は、透明石英などか
らなるものである。基板支持板１０の上面１０ａには、
シリコンウエハ基板８が載置され、下面にはヒータエレ
メント２０の発熱体素子２が配置されている。発熱体素
子２は、基板支持板１０と不透明石英などで形成された
ヒータケース６とによって形成される空間内に、透明石
英などで形成されたヒータケース６の脚１３によって支
えられて収容されている。

【００５２】電流導入端子１０１は、Ｎｉなどの耐熱性
に優れた材料により形成された電流導入棒部１０１ａ、
１０１ａと、チャンバー１に取り付けられてチャンバー
１内を気密に覆うフランジ部１６とからなる２芯タイプ
のものであり、フランジ部１６をボルト１７を用いて固
定することにより、オーリング（Ｏ−リング）１１を介
して、チャンバー１に気密に取り付けられている。

【００５３】また、この基板加熱装置３０では、給電用
端子７にリード線９の一端が連結され、リード線９の他
端が電流導入端子１０１に連結されている。電流導入端
子１０１は、チャンバー１の外に導出され、チャンバー
１の外に向かって延出した電流導入端子１０１の端部に
は、コネクタ１０２を介してリード線１０３が着脱可能
に取り付けられている。そして、このような基板加熱装
置３０では、リード線９、１０３と、電流導入端子１０
１と、給電用端子７と、上述の耐熱性導電材からなる被
覆層４０が形成された給電用電極棒４とを介して発熱体
素子２に電力を供給することにより、発熱体素子２が昇
温して基板支持台１０を介してシリコンウエハ基板８が
加熱されるようになっている。

【００５４】このような基板加熱装置３０は、図１に示
したヒータエレメント２０を備えたものであるので、給
電用電極棒４と給電用端子７との連結部分の破損を防ぐ
ことができ、優れた耐久性が得られるものとなる。

【００５５】なお、本発明においては、上述した例に示
したように、発熱体素子２と給電用電極棒４とは、接合
剤を用いて接合することにより連結されていてもよい
が、他の連結方法によって連結されていてもよく、例え
ば、導電性セラミックス製ナットやワッシャー等を用い
て機械的に連結されていてもよく、更には前記の接合法
と機械的連結法とを併用してもよい。

【００５６】また、本発明においては、給電用端子７の
凹状部７ａの形状は、給電用電極棒４の他端４ａを受容
し、嵌着し得る形状であれば、とくに限定されるもので
はなく、例えば、図５に示すように、壁面が湾曲してい
るものであってもよい。また、本発明の加熱装置は、本
発明のヒータエレメントとチャンバーとを少なくとも備
えたものであればよく、上述した例に示した基板加熱装
置に限定されるものではなく、基板以外のものを加熱す
る装置としても使用することができ、例えば、気体や液
体を加熱する装置としても使用することができる。

【００５７】

【実施例】以下、本発明を具体的に詳しく説明する。（実施例１）「８インチウエハ加熱ユニットによる耐久性試験」図４
に示す構造を有する基板加熱装置を作製した。発熱体素
子２および給電用電極棒４には、常温下での熱伝導率が
１７５Ｗ／ｍ・Ｋで、かつ、輻射率が０．９の導電性炭
化珪素焼結体を用いた。発熱体素子２の形状は、図１に
示される平面視円形の平板状で、厚み３ｍｍ、直径２４
０ｍｍとした。また、発熱体素子２の幅は、中央部で２
４ｍｍ、外周部に向かって徐々に小さくして外周部の一
番外側で６ｍｍのスパイラル状とした。給電用電極棒４
は、直径１０ｍｍ、長さ３００ｍｍの円柱状に形成し
た。また、給電用電極棒４の給電用端子７側の端部４ｂ
は、８ｍｍの角柱状とし、ボルト２１を挿入するための
Ｍ４のネジ切りの貫通孔４ｃを切削法により形成した。
そして、給電用電極棒４、４は、発熱体素子２の中心か
ら１８ｍｍの位置に配置した。

【００５８】基板支持板１０およびヒータケース６の脚
１３は、透明石英製とし、ヒータケース６は、不透明石
英製とした。給電用端子７は、凹状部７ａを構成する対
応する壁面７ｅ、７ｅ同士の距離を１０ｍｍ、壁面７
ｅ、７ｅの厚みｔを１ｍｍとし、その材質はインコネル
６０１とした。ボルト２１と、ナット２２およびワッシ
ャー２３として、発熱体素子２および給電用電極棒４と
同一の材料の導電性炭化珪素焼結体からなるものを用い
た。電流導入端子１０１は、電流導入棒部１０１ａ、１
０１ａが直径５ｍｍのＮｉで形成された２芯タイプのも
のを用いた。リード線９、１０３は、Ｎｉにより形成さ
れた撚り線（断面積５．５ｍｍ²）の外周部を、アルミ
ナ硝子により保護したものを用いた。

【００５９】そして、発熱体素子２と給電用電極棒４の
接合体を、以下のようにして得た。珪素粉末０．７ｇと
モリブデン粉末０．３ｇを秤量し、アクリル樹脂を溶解
してなるα−テルピネオールを加えて混合した後、発熱
体素子２と給電用電極棒４との接合面に塗付した。次い
で、発熱体素子２と給電用電極棒４とを所定の形状に組
み立て、３５０℃にて２０分間脱脂を行い、大気圧下１
５００℃で３０分間熱処理することにより接合した。

【００６０】給電用電極棒表面への被覆層の形成は、以
下のようにした。Ｓｉ粉末４０ｗｔ％とＡｕ粉末６０ｗ
ｔ％の割合で秤量し、アクリル樹脂を溶解してなるα−
テルピネオールを加えて混合した後、この懸濁液を給電
用電極棒４の７ｚ部にはけ塗りにより塗付した。塗布
後、３５０℃にて２０分間脱脂を行い、真空中で１２０
０℃２０分間熱処理し、膜厚４５μｍのＳｉ−Ａｕ膜を
形成した。

【００６１】また、図２に示すように、給電用端子７の
凹状部７ａ内に給電用電極棒４の他端４ｂを挿入して、
給電用端子７が給電用電極棒４に嵌着された嵌着部５を
形成し、さらに、給電用電極棒４の貫通穴４ｃと凹状部
７ａの貫通孔７ｃとを貫通するように挿入されたボルト
２１と、ナット２２およびワッシャー２３により嵌着部
５を固定することによって、給電用電極棒４と給電用端
子７とを連結した。さらに、図４に示すように、給電用
端子７の軸の中心部にリード線９の一端をかしめて連結
し、リード線９の他端を電流導入端子１０１に連結し
た。

【００６２】「耐久性の評価」基板支持板１０の上面１
０ａに８インチシリコンウエハ基板８を載置し、チャン
バー１の外に向かって延出した電流導入端子１０１の端
部に、リード線１０３を介して供給電源を接続し、出力
を調整しながら室温から１０００℃（ウエハ温度）まで
５０分間で昇温し、１０００℃に到達後、２３時間保持
し、３０分間で室温まで降温する熱負荷サイクルを酸素
３０Torr−窒素の雰囲気にて負荷した。１０００℃に到
着後、給電用電極棒４と給電用端子７の接続部の温度を
測定したところ、約７８０℃であった。この結果を表２
に示した。熱サイクルを３００サイクル実施後において
も給電用電極棒４と給電用端子７との連結部分に異常放
電が認められず、連結部分の破損も認められず、優れた
耐久性を有するものであることがわかった。

【００６３】（実施例２）図６に示す構造を有する加熱
ユニットを用意した。この加熱ユニットは、基板支持台
10上に発熱体素子２を載置し、これらをリフレクタ６０
を介してヒータベース６５に固定してなるものであっ
て、ヒータベースへの固定はリフレクタ６０とヒータベ
ース６５とを連結する支柱６６によっている。給電用電
極棒４、給電用端子７およびこれらを連結する機械的固
定手段２５に関しては、図４に示した構成とし、各図中
の同一部材には同一符号を付した。

【００６４】発熱体素子２および給電用電極棒４には、
常温下での熱伝導率が１７５Ｗ／ｍ・Ｋで、かつ、輻射
率が０．９の導電性炭化珪素焼結体を用いた。給電用電
極棒４は、直径１０ｍｍ、長さ３０ｍｍの円柱状に形成
した。また、給電用電極棒４の給電用端子７側の端部４
ｂは、８ｍｍの角柱状とし、ボルト２１を挿入するため
のＭ４のネジ切りの貫通孔４ｃを切削法により形成し
た。そして、給電用電極棒４、４は、発熱体素子２の中
心から１８ｍｍの位置に配置した。

【００６５】発熱体素子２は、石英製の基板支持台１０
に載置し、基板支持台１０及びリフレクタ６０は支柱６
６によりヒータベース６５に固定した。基板支持台１０
及びヒータベース６５は透明石英製とし、支柱６６はＳ
ＵＳ３１６、リフレクタ６０はインコネル６０１とし
た。給電用端子７は、凹状部７ａを構成する壁面７ｅ、
７ｅ同士の距離を１０ｍｍ、壁面７ｅ、７ｅの厚みｔを
０．２ｍｍとし、その材質はインコネル６０１とした。
ボルト２１と、ナット２２およびワッシャー２３とし
て、発熱体素子２および給電用電極棒４と同一の材料の
導電性炭化珪素焼結体製のものを用いた。リード線９
は、Ｎｉにより形成された撚り線（断面積２ｍｍ²）を
用いた。

【００６６】そして、実施例１に準じて、発熱体素子２
と給電用電極棒４との接合体を得て、更に発熱体素子２
および給電用電極棒４と同一の材料の導電性炭化珪素焼
結体製のボルトを用いて接合部分を機械的に連結した。

【００６７】給電用電極棒４の一端の給電用端子７との
接触面には、以下のようにして金属被覆層を形成した。
Ｓｉ粉末とＡｕ粉末とを表１に示した割合で秤量し、ア
クリル樹脂を溶解してなるα−テルピネオールを加えて
混合した後、給電用端子７の凹状部７ａ内に収納される
給電用電極棒４の一端に、上記懸濁液をはけ塗りにより
塗付した。塗布後、３５０℃にて２０分間脱脂を行い、
真空中で表1に示す温度で２０分間熱処理し、金属被覆
層を形成した。

【００６８】その後、図２に示すように、給電用端子７
の凹状部７ａ内に、被覆層が形成された給電用電極棒４
の他端４ｂを挿入して、給電用端子７が給電用電極棒４
に嵌着された嵌着部５を形成し、さらに、給電用電極棒
４の貫通穴４ｃと凹状部７ａの貫通孔７ｃとを貫通する
ように挿入されたボルト２１と、ナット２２およびワッ
シャー２３により嵌着部５を固定することによって、給
電用電極棒４と給電用端子７とを連結した。前記ボルト
２１とナット２２は、給電用電極棒４と同一の導電性炭
化珪素焼結体で形成されている。さらに、図３に示すよ
うに、給電用端子７の軸の中心部にリード線９の一端を
かしめて連結した。

【００６９】

【表１】

【００７０】（実施例３）Ａｕ粉末の換わりにＩｒ粉末
を表１に示した割合で秤量し、表１に併せて示した温度
で熱処理した以外は実施例２と全く同様にして給電用電
極棒の一端の表面に被覆層を形成した。この給電用電極
棒を実施例２と同様にして給電用端子に接続して実施例
３とした。

【００７１】（実施例４）Ａｕ粉末の換わりにＰｔ粉末
を表１に示した割合で秤量し、表１に併せて示した温度
で熱処理した以外は実施例２と全く同様にして給電用電
極棒の一端の表面に被覆層を形成した。この給電用電極
棒を実施例２と同様にして給電用端子に接続して実施例
４とした。

【００７２】（実施例５）Ａｕ粉末の換わりにＰｄ粉末
を表１に示した割合で秤量し、表１に併せて示した温度
で熱処理した以外は実施例２と全く同様にして給電用電
極棒の一端の表面に被覆層を形成した。この給電用電極
棒を実施例２と同様にして給電用端子に接続して実施例
５とした。

【００７３】（実施例６）Ａｕ粉末の換わりにＲｕ粉末
を表１に示した割合で秤量し、表１に併せて示した温度
で熱処理した以外は実施例２と全く同様にして給電用電
極棒の一端の表面に被覆層を形成した。この給電用電極
棒を実施例２と同様にして給電用端子に接続して実施例
６とした。

【００７４】（実施例７）Ａｕ粉末の換わりにＲｅ粉末
を表１に示した割合で秤量し、表１に併せて示した温度
で熱処理した以外は実施例２と全く同様にして給電用電
極棒の一端の表面に被覆層を形成した。この給電用電極
棒を実施例２と同様にして給電用端子に接続して実施例
７とした。

【００７５】（実施例８）給電用電極棒４表面の被覆層
を以下のようにして得た以外は実施例２と同様にした。
塩化白金酸水溶液をはけ塗りにより塗布し、熱分解によ
りＰｔを被覆した。この給電用電極棒を実施例２と同様
にして給電用端子に接続して実施例８とした。

【００７６】（実施例９）給電用電極棒４表面の被覆層
を以下のようにして得た以外は実施例２と同様にした。
塩化金酸水溶液をはけ塗りにより塗布し、熱分解により
Ａｕを被覆した。この給電用電極棒を実施例２と同様に
して給電用端子に接続して実施例９とした。

【００７７】（実施例１０）給電用電極棒４表面の被覆
層を以下のようにして得た以外は実施例２と同様にし
た。硝酸パラジウム水溶液をはけ塗りにより塗布し、熱
分解によりＰｄを被覆した。この給電用電極棒を実施例
２と同様にして給電用端子に接続して実施例１０とし
た。

【００７８】（実施例１１）給電用電極棒４表面の被覆
層を以下のようにして得た以外は実施例２と同様にし
た。塩化イリジウム水溶液をはけ塗りにより塗布し、熱
分解によりＩｒを被覆した。この給電用電極棒を実施例
２と同様にして給電用端子に接続して実施例１１とし
た。

【００７９】（実施例１２）給電用電極棒４表面の被覆
層を以下のようにして得た以外は実施例２と同様にし
た。塩化ルテニウム水溶液をはけ塗りにより塗布し、熱
分解によりＲｕを被覆した。この給電用電極棒を実施例
２と同様にして給電用端子に接続して実施例１２とし
た。

【００８０】(比較例)給電用電極棒へ被覆層を形成しな
かった以外は、実施例２と同様とし、比較例とした。

【００８１】「耐久性の評価試験」上記のようにして製
作した実施例２ないし実施例１２及び比較例の各ヒータ
エレメントについて、以下に示すように、給電用電極棒
と給電用端子との連結部分の耐久性を評価した。給電用
電極棒４の他端４ｂに給電用電極棒温度測定用の熱電対
を埋め込み、リード線９の他端に供給電源を接続し、出
力を調整しながら室温から８００℃（給電用電極棒温
度）まで２０℃／分で昇温し、８００℃に到達後、２３
時間保持し、２０／分間で室温まで降温する熱負荷サイ
クルを大気中で負荷した。これらの評価結果を表２に示
した。

【００８２】

【表２】

【００８３】実施例２ないし実施例１２においては、い
ずれも熱サイクル３００回実施後も連結部分に劣化は認
められなかった。一方、比較例においては、熱サイクル
５１回目で連結部分が破損した。これを分解して分析を
実施した所、給電用電極棒４の他端４ｂに酸化膜の生成
が認められ、導電性が著しく劣化していた。

【００８４】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明の
給電用電極棒と給電用端子との連結構造、この連結構造
を有するヒータエレメント、加熱装置並びに基板加熱装
置によれば、耐食性に優れ、高い熱伝導度と低い電気抵
抗値とを有する導電性炭化珪素焼結体を給電用電極棒と
し、かつこの給電用電極棒に電気伝導率の良好な被覆層
を設けたものであるので、連結構造における電気抵抗値
を極力低減することができる。また、導電性炭化珪素焼
結体性の給電用電極棒に被覆層を設けることにより、昇
温した際の連結構造の熱膨張を効率的に抑えることがで
きるので、装置の大型化を招くことなく、給電用電極棒
と給電用端子との接触面積の低下を防ぎ、給電用電極棒
と給電用端子との間に隙間が生じにくくなり、異常放電
が発生しないものとなる。さらに、被覆層を設けること
によって、高温の酸化雰囲気においても導電性炭化珪素
製給電用電極棒の酸化をより一層防止することができ、
給電用電極棒と給電用端子との連結部分の破損を防ぐこ
とができ、優れた耐久性が得られる。

【００８５】また、本発明においては、給電用端子の軸
の中心部にリード線が連結されたものとすることで、連
結構造が昇温した際に、リード線の熱膨張によって発生
するリード線と給電用端子との連結部分への応力が均一
なものとなり、リード線と給電用端子との熱膨張係数の
差に起因するリード線と給電用端子との接触不良を防止
することができ、より一層、耐久性を向上させることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の給電用電極棒と給電用端子との連結
構造を有するヒータエレメントの一例を説明するための
図であり、図１（ａ）は、発熱体素子側から見た平面図
であり、図１（ｂ）は、側面図である。

【図２】給電用電極棒と給電用端子との連結構造を説
明するための部分拡大図である。

【図３】給電用端子の構造の一例を示した斜視図であ
る。

【図４】本発明の基板加熱装置の一例を示した概略断
面図である。

【図５】本発明の給電用端子の他の例を示した斜視図
である。

【図６】本発明のヒータエレメントの一例を示した概
略断面図である。

【図７】従来の基板加熱装置の一例を示した概略断面
図である。

【図８】図７に示した基板加熱装置における給電用電
極棒とリード線との連結構造の一例を示した図であり、
図８（ａ）は、側面図であり、図８（ｂ）は、給電用電
極棒におけるリード線が連結される側の端部から見た図
である。

【符号の説明】

１チャンバー２発熱体素子４、５４給電用電極棒４ａ一端４ｂ他端４ｃ、７ｃ、５８貫通孔５嵌着部６ヒータケース７、５７給電用端子７ａ凹状部７ｂ他方の端部７ｄ接触面７ｅ壁面８シリコンウエハ基板９、５９、１０３リード線１０基板支持台１０ａ上面１１オーリング（Ｏリング）１３脚１５熱電対１６フランジ部１７、２１、５２ボルト２０ヒータエレメント２２ナット２３ワッシャー２５機械的固定手段３０、３１基板加熱装置４０被覆層５１連結部６０リフレクタ６５ヒータベース６６支柱１０１電流導入端子１０１ａ電流導入棒部１０２コネクタ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０５Ｂ 3/84 Ｈ０５Ｂ 3/20 ３９７Ａ (72)発明者渋川和典東京都千代田区六番町６番地28 住友大阪セメント株式会社内 (72)発明者村上嘉彦東京都千代田区六番町６番地28 住友大阪セメント株式会社内Ｆターム(参考） 3K034 AA02 AA16 AA21 AA37 BB05 BB14 BC12 CA02 CA26 DA04 EA04 EA05 EA14 JA02 3K092 PP09 QA05 QB02 QB32 QB44 QB74 QC02 QC18 QC41 QC59 QC66 RF03 RF12 RF17 RF22 UA05 UB02 VV09 VV34

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】通電により発熱する導電性炭化珪素焼結
体製の発熱体素子に一端が連結された導電性炭化珪素焼
結体製の給電用電極棒と、前記給電用電極棒の他端に連
結された金属製の給電用端子との連結構造であって、前記給電用端子と前記給電用電極棒とが機械的固定手段
により固定され、前記給電用電極棒の前記給電用電極端
子との接触表面に被覆層が形成されていることを特徴と
する給電用電極棒と給電用端子との連結構造。
【請求項２】前記給電用端子には凹状部が形成され、
前記凹状部の内部に前記給電用電極棒の他端が挿入さ
れ、前記給電用端子は前記給電用電極棒に嵌着されて嵌
着部を形成し、前記嵌着部において前記給電用端子と前
記給電用電極棒とが機械的固定手段により固定されてい
ることを特徴とする請求項１に記載の給電用電極棒と給
電用端子との連結構造。
【請求項３】前記被覆層の電気抵抗率が０．１Ω・ｃ
ｍ以下であることを特徴とする請求項１または請求項２
に記載の給電用電極棒と給電用端子との連結構造。
【請求項４】前記被覆層がＰｔ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｓｉ、
Ｉｒ、Ｒｕ、Ｒｅから選ばれた少なくとも１種以上の金
属からなることを特徴とする請求項１ないし請求項３の
いずれか一項に記載の給電用電極棒と給電用端子との連
結構造。
【請求項５】前記被覆層の膜厚が、１００μｍ以下で
あることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれ
か一項に記載の給電用電極棒と給電用端子との連結構
造。
【請求項６】前記給電用端子が、Ｎｉ、Ｐｔ、Ａｇ、
Ａｕ、Ｉｒ、Ｐｄ、インコネル合金、モネル合金のいず
れかにより形成されたものであることを特徴とする請求
項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の給電用電極
棒と給電用端子との連結構造。
【請求項７】前記機械的固定手段は、前記給電用電極
棒との熱膨張係数の差が２×１０^-6／℃以下となる材料
で形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求
項６のいずれか一項に記載の給電用電極棒と給電用端子
との連結構造。
【請求項８】前記機械的固定手段は、導電性炭化珪素
焼結体からなることを特徴とする請求項１ないし請求項
７のいずれか一項に記載の給電用電極棒と給電用端子と
の連結構造。
【請求項９】前記凹状部を構成する壁面の厚みが、
０．０５〜３ｍｍの範囲であることを特徴とする請求項
１ないし請求項８のいずれか一項に記載の給電用電極棒
と給電用端子との連結構造。
【請求項１０】通電により発熱する発熱体素子と、前
記発熱体素子に一端が連結された給電用電極棒と、前記
給電用電極棒の他端に連結された給電用端子とを少なく
とも備え、請求項１ないし請求項９のいずれか一項に記載の給電用
電極棒と給電用端子との連結構造を有することを特徴と
するヒータエレメント。
【請求項１１】前記給電用端子は、前記給電用端子の
軸の中心部にリード線が連結されたものであることを特
徴とする請求項１０に記載のヒータエレメント。
【請求項１２】チャンバーと、請求項１０または請求
項１１に記載のヒータエレメントとを少なくとも備えた
ことを特徴とする加熱装置。
【請求項１３】チャンバーと、請求項１０または請求
項１１に記載のヒータエレメントと、一方の面には基板
が載置され、他方の面には前記ヒータエレメントの発熱
体素子が配置される基板支持台とを少なくとも備えたこ
とを特徴とする基板加熱装置。