JP2003298292A - 電子部品実装装置および電子部品実装方法ならびにペースト供給装置 - Google Patents

電子部品実装装置および電子部品実装方法ならびにペースト供給装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 品種切り替え性を向上させることができる電
子部品実装装置および電子部品実装方法ならびにペース
ト供給装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 ペースト容器12の仕切壁12’で仕切
られた複数のパート12a,12bの塗膜部13a,1
3bに水平な膜厚基準面130に対してそれぞれ異なる
高さで設けられた複数の平坦な底面131〜134を形
成し、スキージ14の摺接部14cを膜厚基準面130
に接触させた状態で移動させることにより、底面131
〜134上に複数の膜厚が異なるフラックス膜を形成す
る。これにより、必要膜厚が異なる電子部品を対象とす
る場合にあっても、品種切り替えの都度スキージ交換を
行う必要がなく、品種切り替え性を向上できる。また各
パート12a,12bは仕切壁12’で仕切られている
ので、各パート12a,12bに異品種のペーストを貯
溜してもペースト同士は混り合わない。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品にペース
トを転写して基板に実装する電子部品実装装置および電
子部品実装方法ならびにペーストを延展して所定膜厚の
ペースト膜の形態で供給するペースト供給装置に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】電子部品の実装方法として半田接合を用
いる方法が広く用いられている。半田接合に際しては半
田接合性を向上させる目的でペースト状のフラックスを
半田接合部に供給することが行われる。このフラックス
供給の方法として、転写による方法が知られている。こ
の方法は、ペースト(フラックス)容器にスキージでス
キージングされたフラックス膜を形成し、このフラック
ス膜に電子部品に形成された半田バンプなどの転写対象
物を接触させることにより、転写対象物にフラックスを
転写するものである。転写対象物によって使用するペー
ストの種類や必要な転写量が異なる場合には、従来より
ペースト(フラックス)容器を複数個準備し、これに形
成されるフラックス膜の膜厚を変えることにより、転写
量を調整するようにしていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ペース
ト容器を複数個準備するのは、スペースとコストの点で
問題があった。また、従来のフラックス膜厚はスキージ
の下端部に形成された塗膜形成用のギャップ寸法によっ
て設定されるようになっていた。このため、例えば実装
される電子部品の品種が切り替えられ半田バンプのサイ
ズが変更になる度に、スキージを交換する必要があり、
品種切り替え時等の段取り替え作業に手間と時間を要し
ていた。
【0004】そこで本発明は、スペースとコストを削減
し、品種切り替え性を向上させることができる電子部品
実装装置および電子部品実装方法ならびにペースト供給
装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の電子部品
実装装置は、移載ヘッドによって基板に電子部品を実装
する電子部品実装装置であって、前記移載ヘッドを移動
させる移動手段と、この移動手段による移載ヘッドの移
動経路に配設されてペーストを貯溜するペースト供給部
と、前記移動手段を制御することにより移載ヘッドに保
持された電子部品を前記ペースト供給部のペースト膜に
対して昇降させて電子部品にペーストを転写する転写制
御部とを備え、前記ペースト供給部に設けられたペース
ト容器が仕切壁で仕切られた複数のパートを有する。
【0006】請求項2記載の電子部品実装方法は、請求
項1に記載の電子部品実装装置を用いる電子部品実装方
法であって、電子部品を保持した前記移載ヘッドを前記
ペースト供給部に移動させて、移載ヘッドに保持された
電子部品を前記何れかのパートの底面上のペースト膜に
対して選択的に昇降させて電子部品にペーストを転写す
る工程と、ペーストが転写された電子部品を移載ヘッド
によって基板に移送搭載する工程とを含む。
【0007】請求項3記載のペースト供給装置は、スキ
ージによってペースト容器に貯溜されたペーストを延展
することによりペーストを所定膜厚のペースト膜の形態
で供給するペースト供給装置であって、前記ペースト容
器が仕切壁で仕切られた複数のパートを有する。
【0008】請求項4記載のペースト供給装置は、請求
項3記載のペースト供給装置であって、前記底面に平行
な膜厚基準面を設け、前記スキージの一部を前記膜厚基
準面に接触させながら相対移動させるようにした。
【0009】本発明によれば、仕切壁で各パートを仕切
ることにより、各パートに異品種のペーストを貯溜して
もペースト同士が混り合うことはないので、一つのペー
スト供給部に複数品種のペーストを貯溜して移載ヘッド
に供給することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】(実施の形態1)次に本発明の実
施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の実
施の形態1における電子部品実装装置の平面図、図2は
本発明の実施の形態1におけるペースト供給装置の斜視
図、図3(a)は本発明の実施の形態1におけるペース
ト供給装置の部分斜視図、図3(b)は本発明の実施の
形態1におけるペースト供給装置の部分側面図、図4
(a),(b)は本発明の実施の形態1におけるペース
ト供給装置の塗膜形成スキージの説明図、図5は本発明
の実施の形態1におけるペースト供給装置の塗膜掻き取
りスキージの説明図、図6、図7は本発明の実施の形態
1における電子部品実装装置の動作説明図である。
【0011】まず図1を参照して電子部品実装装置につ
いて説明する。図1において、基台1の中央部には、基
板3を搬送する搬送路2が設けられている。搬送路2は
基板3を搬送し、電子部品実装位置に基板3を位置決め
する。基台1上面の両端部には、Y軸モータ4aを備え
たY軸テーブル4およびY軸ガイド部4cが配設されて
いる。Y軸モータ4aはY方向の送りねじ4bを回転さ
せる。Y軸テーブル4およびY軸ガイド部4cにはX軸
モータ5aを備えたX軸テーブル5が架設されており、
X軸テーブル5には移載ヘッド6が装着されている。X
軸モータ5aはX方向の送りねじ5bを回転させる。本
発明では、搬送路2による基板3の搬送方向をX方向と
する。
【0012】X軸モータ5a、Y軸モータ4aを駆動す
ることにより、移載ヘッド6はX方向、Y方向に水平移
動する。すなわち、X軸テーブル5、Y軸テーブル4
は、移載ヘッド6を水平方向へ移動させる移動手段とな
っている。このとき、制御部10によってX軸モータ5
a、Y軸モータ4aおよび移載ヘッド6の駆動を制御す
ることにより、移載ヘッド6を以下に説明するペースト
供給装置9を含む移動範囲内の任意位置で水平移動を停
止させ、この停止位置で昇降させることができる。
【0013】搬送路2の手前側には、部品供給部7およ
びペースト供給装置(ペースト供給部)9が配設されて
いる。部品供給部7はバンプ付きの電子部品8を格子状
に収納し、移載ヘッド6に対して供給する。ペースト供
給装置9は、部品供給部7から電子部品8を取り出した
移載ヘッド6が基板3へ移動する移動経路に配設され、
電子部品8のバンプにペーストであるフラックスを転写
により塗布するためのペースト膜としてのフラックス膜
を供給する。
【0014】次に図2を参照して、ペースト供給装置9
の構造を説明する。図2において、水平なベース部9a
には、ポスト部材11によって支持されてフラックスな
どのペーストを貯溜するペースト容器12が配設されて
いる。ペースト容器12は上面が開放された薄底箱状の
容器であり、ペースト容器12は中央の仕切壁12’に
より複数のパート(本実施の形態1では左右の2つのパ
ート12a,12b)に仕切られており、各パート12
a,12bはペーストであるフラックスの塗膜ステージ
となっている。各パート12a,12bは、塗膜面(ペ
ースト膜形成面)が上面に形成される階段状の塗膜部1
3a,13bを備えており、後述するようにこれらの塗
膜部13a,13b上をスキージを相対移動させること
により、フラックスを延展してペースト膜であるフラッ
クス膜を形成する。
【0015】ペースト容器12には、各パート12a,
12bにおける塗膜形成のためのスキージ14および形
成された塗膜を掻き取るためのスキージ18が配設され
ている。スキージ14とスキージ18の両端はそれぞれ
保持ブロック15,19に結合されており、保持ブロッ
ク15,19はペースト容器12の下方に配置された移
動ブロック20に昇降自在に保持されている。ペースト
容器12の両側方には、ガイドレール24,25がX方
向に配設されており、ガイドレール24,25は保持ブ
ロック15,19に結合されたカムフォロア17(保持
ブロック19に結合されたカムフォロア17は反対側の
ため図示せず)を下方から支持している。
【0016】ガイドレール24はシリンダ26によって
昇降自在となっており、ガイドレール24の昇降動作は
シャフト24aによってスライド自在に支持されてい
る。シリンダ26によってガイドレール24を上昇させ
ることにより、ガイドレール24上に当接したカムフォ
ロア17を介してスキージ14は上昇する。また保持ブ
ロック15はスプリング16によって常に下方に付勢さ
れており、ガイドレール24を下降させることにより保
持ブロック15に結合されたスキージ14は下降し、そ
の下端部が塗膜部13a,13bに対して押しつけられ
る。ガイドレール24と同様の昇降機構(図2におい
て、反対側のために図示せず)によりガイドレール25
を昇降させることにより、スキージ18は塗膜部13
a,13bに対して昇降する。
【0017】図2において、ベース部9a上のペースト
容器12の手前側にはモータ23が配置されており、モ
ータ23の回転軸に結合されたプーリ22にはベルト2
1が調帯されている。ベルト21の端部は移動ブロック
20に結合されており、モータ23を正逆回転すること
により、移動ブロック20および保持ブロック15,1
9はペースト容器12の下方で一体的にX方向に往復動
し、したがってスキージ14,18は塗膜部13a,1
3b上を一体的にX方向に往復動する。
【0018】このスキージ14,18の往復動と前述の
昇降動作とを組み合わせることにより、スキージ14と
スキージ18のいずれかを選択的に塗膜部13a,13
bに対して下降させた状態で往復動させることができ、
これによりスキージ14、スキージ18はそれぞれ後述
する塗膜形成動作と塗膜掻き取り動作を行う。
【0019】次に図3を参照して、塗膜部13aについ
て説明する。なお他方の塗膜部13bは塗膜部13aと
同構造であるから、説明は省略する。図3に示すよう
に、塗膜部13aは底面に段差が設けられた階段状の板
状部材であり、上面の両側部には塗膜部13aの長さ方
向に形成された平滑な膜厚基準面130が、水平面に平
行に形成されている。塗膜部13aには、水平面に平行
で異なる高さで設けられた複数の平坦な塗膜面(ペース
ト膜形成面)である底面131,132,133,13
4およびペースト溜め面135が設けられている。
【0020】図3(b)に示すように、底面131,1
32,133,134は、それぞれ隣接した底面との間
で段差dを有する階段状に形成されており、各塗膜面の
膜厚基準面130からの高さ寸法は、それぞれh1,h
2,h3,h4に設定されている。すなわち、塗膜ステ
ージであるパート12aの塗膜部13aは、複数の底面
131〜134と膜厚基準面130とが一体形成された
塗膜部13aを備えている。
【0021】この塗膜部13a上でのペースト膜である
フラックス塗膜の形成について説明する。図4(a)に
示すように、フラックス膜の形成に用いられるスキージ
14(塗膜形成スキージ)は、ペースト容器12をまた
ぐ棒状部14aの下面(図4(a)に示す上下反転図で
は上面)に、各底面131〜134上に貯溜されたフラ
ックスの上面を掻き均して延展する直線状の延展部14
bと、延展部14bの端部に突出した摺接部14cとを
設けた構造となっている。ここで、延展部14bと摺接
部14cとの高さ差が所定高さ寸法H(図4(b))と
なるよう、各部寸法が設定されている。
【0022】スキージ14を塗膜部13a,13b上に
配置して塗膜形成を行う際には、スキージ14の一部で
ある摺接部14cを膜厚基準面130に接触させた状態
で矢印方向(X方向)に水平移動する。すなわち、パー
ト12a,12bには水平面に平行な膜厚基準面130
が設けられており、スキージ14の一部である摺接部1
4cを膜厚基準面130に接触させながら相対移動する
ようになっている。図4に示すように、膜厚基準面13
0は複数個互いに平行に設けられており、これによりス
キージ14の安定した移動を実現している。
【0023】この塗膜形成動作により、スキージ14の
延展部14bと底面131との間に生じる隙間に等しい
所定膜厚のフラックス塗膜が、底面131上に形成さ
れ、形成されるフラックス塗膜の膜厚t1は、H−h1
となる。同様に、底面132,133,134上には、
膜厚t2(H−h2),t3(H−h3),t4(H−
h4)のフラックス塗膜が形成される。
【0024】この塗膜形成動作に際して、スキージ14
は、その摺接部14cが常に膜厚基準面130に接触し
た状態で移動することから、形成されるフラックス塗膜
の膜厚が変動することがなく、膜厚精度を向上させるこ
とができる。また、複数の底面131〜134と膜厚基
準面130とが一体形成された塗膜部13a,13bを
用いることにより、部品加工精度のみによって塗膜部1
3a,13bの寸法精度が確保され、組み立て時の調整
作業を必要とすることなく、必要な膜厚精度を確保する
ことが可能となっている。
【0025】そして、これらのフラックス塗膜に対し
て、移載ヘッド6に保持された電子部品8を下降させる
ことにより、電子部品8のバンプ8a(図6(b)参
照)にフラックス27を転写により塗布することができ
る。このとき、制御部10によって移載ヘッド6の水平
移動および昇降動作を制御することにより、膜厚が異な
る何れかのパート12a,12bの何れかの底面131
〜134上のフラックス塗膜に対して移載ヘッド6を選
択的に昇降させることが可能となっている。これによ
り、電子部品8のバンプ8aに塗布されるフラックスの
塗布量を膜厚によって調整することができるようになっ
ている。このように、制御部10は、移載ヘッド6をフ
ラックス塗膜のいずれかに対して選択的に昇降させて電
子部品にペーストを転写する転写制御部となっている。
【0026】次に、形成されたフラックス塗膜を各塗膜
面から除去する塗膜掻き取りについて説明する。図5に
示すように、フラックス塗膜の除去に用いられるスキー
ジ18(塗膜掻き取りスキージ)は、スキージ14と同
様にペースト容器12をまたぐ棒状部18aの下面(図
5に示す上下反転図では上面)に、各底面131〜13
4の上面に摺接して付着したフラックスを掻き取る掻き
取り部18bを設けた構造となっている。
【0027】スキージ18を塗膜部13a,13b上に
装着した状態では、掻き取り部18bが各パート12
a,12bの各底面131〜134に当接し、その状態
でX方向に移動する。このとき、スキージ18はスプリ
ング(図2に示すスプリング16参照)の付勢力によっ
て常に塗膜部13a,13bに対して押しつけられてい
ることから、スキージ18の移動に伴い、掻き取り部1
8bは各底面131,132,133,134の各面間
の段差dにならって摺接する(破線矢印a,b参照)。
これにより、塗膜形成動作によって底面131,13
2,133,134に形成された塗膜は、底面131,
132,133,134から掻き取られて除去される。
【0028】次に、図6、図7を参照して、移載ヘッド
6に保持された電子部品8のバンプ8aにフラックス2
7を転写するための塗膜形成動作およびフラックス転写
動作について説明する。図6(a)は、ペースト容器1
2のパート12aの断面を示している。電子部品実装動
作の開始に先立って、ペースト容器12内のフラックス
溜め面135には、フラックス27が供給される。
【0029】そしてスキージ14をフラックス溜め面1
35側から塗膜面131へ向かって移動(原理的には、
逆方向の移動も可能)させることにより、スキージ14
によってフラックス27が延展され、各底面131,1
32,133,134上には所定膜厚のフラックス塗膜
27b,27c,27d,27eが形成される(図6
(a)参照)。これにより、ペースト供給装置9によっ
て複数の膜厚が異なるフラックス塗膜が移載ヘッド6に
対して供給される。このとき、形成されるフラックス塗
膜27b〜27eの液面は同一高さとなる。
【0030】この後、電子部品8のバンプ8aに対して
フラックス27の塗布が行われる。すなわち、部品供給
部7から電子部品8をピックアップした移載ヘッド6は
ペースト供給装置9の上方に移動する。そして移載ヘッ
ド6を所定の膜厚のフラックス塗膜(ここでは、フラッ
クス塗膜27d)上に位置させて、ここで移載ヘッド6
が昇降動作を行うことにより、電子部品8のバンプ8a
がフラックス塗膜27dに対して接触し、これにより図
6(b)に示すように、所定量のフラックス27がバン
プ8aに転写により塗布される。
【0031】次いでフラックス転写後の電子部品8を保
持した移載ヘッド6は、搬送路2に位置決めされた基板
3上に移動する。そしてここで移載ヘッド6が基板3に
対して昇降することにより、電子部品8のバンプ8aを
基板3の電極上に着地させて搭載する。
【0032】図6(c)、(d)は、電子部品8へのフ
ラックス転写後に、塗膜部13aあるいは13bからフ
ラックス27を除去する塗膜掻き取り動作を示してい
る。すなわち、スキージ18をまず底面131に対して
下降させ、スキージ18の下端部の掻き取り部18bを
底面131に当接させた状態でスキージ18を右方向に
移動させる。これにより、掻き取り部18bは各底面1
31,132,133,134上のフラックス27を順
次掻き取って、フラックス溜め面135上に掻き寄せ
る。
【0033】そして次回のフラックス塗膜形成動作を開
始する際には、図6(e)に示すように、掻き溜めたフ
ラックス27をスキージ14を左方向に移動させて延展
し、再び図6(a)に示すように各底面131,13
2,133,134上にフラックス塗膜を形成する。
【0034】次に図7を参照して、上述の電子部品実装
動作において電子部品の種類に応じてフラックス塗布量
を調整する必要がある場合の塗膜面の選択について説明
する。まず電子部品8が小型のバンプ8aを有するもの
で、必要とされるフラックス塗布量が小さい場合には、
図7(a)に示すように、バンプ8aのサイズに応じた
膜厚t1のフラックス塗膜27bが形成された底面13
1に対して、電子部品8を保持した移載ヘッド6を下降
させる。これにより、バンプ8aには適正量のフラック
ス27が転写により塗布される。
【0035】これに対し、大きなサイズのバンプ8’a
を有する電子部品8’に対してフラックス転写を行う場
合には、バンプ8’aのサイズに応じた膜厚t4のフラ
ックス塗膜27eが形成された底面134に対して、電
子部品8’を保持した移載ヘッド6を下降させる。これ
により、バンプ8’aには適正量のフラックス27が転
写により塗布される。
【0036】上記電子部品に応じたフラックス塗布量の
調整において、塗膜部13a,13bの各底面131〜
134上には予め膜厚が異なる複数のフラックス塗膜が
形成されていることから、転写対象の電子部品8を保持
した移載ヘッド6をこれらのフラックス塗膜に対して選
択的に昇降させることのみで、フラックス塗布量の調整
が行える。したがって、従来の転写によるフラックス塗
布において必要とされた塗布量調整のためのスキージの
交換を行うことなく、同一のスキージによって多種類の
電子部品に対して適正量のフラックス塗布が行え、品種
切り替え性を大幅に向上させることができる。また、単
一種類の電子部品について適正塗布量を求めるための条
件出しを行う場合にあっても、フラックス塗膜の膜厚微
調整を容易に行うことができる。
【0037】またペースト容器12は仕切壁12’によ
り複数のパート(本例では2つのパート12a,12
b)に仕切られているので、各パート12a,12bに
異品種のペーストを貯溜してもペースト同士が混り合う
ことはないので、一つのペースト供給部に複数品種のペ
ーストを貯溜して移載ヘッドに供給することができる。
これにより、複数のペースト供給部を設ける必要はなく
なり、装置内のスペースの有効活用及び装置のコストダ
ウンを図ることができる。
【0038】(実施の形態2)図8は本発明の実施の形
態2におけるペースト供給装置の部分斜視図である。こ
のペースト供給装置40の主体となるペースト容器41
は皿状(円型容器状)であって、例えば特開平6−69
285号公報に記載されたものと同様のものである。
【0039】ペースト容器41の上面は環状の仕切壁4
2により複数のパート(本実施の形態2では外側のパー
ト43aと内側のパート43b)に仕切られている。各
々のパート43a,43bには塗膜部44a,44bが
平面視してリング状に設けられている。各塗膜部44
a,44bには、段差のある複数の底面441,442
がリング状に形成されている。各底面441,442に
はスキージ45a,45b,45c,45dが設けられ
ている。したがって、図外の駆動手段によりペースト容
器41がスキージ45a〜45dに対して相対的に水平
回転することにより、各底面441,442上に貯溜さ
れたフラックスの上面はスキージ45a〜45dにより
平滑される。電子部品8のバンプ8aにフラックスを付
着させて基板に搭載する機構や動作は実施の形態1と同
じである。
【0040】なお上記各実施の形態では、ペーストとし
てフラックスを例にとって説明したが、フラックス以外
にも電子部品を基板に接着するためのボンド、例えば銀
ペースト等の導電性接着剤等に本発明を適用してもよ
い。
【0041】
【発明の効果】本発明によれば、複数のパートを設け、
仕切壁で各パートを仕切ることにより、各パートに異品
種のペーストを貯溜してもペースト同士が混り合うこと
はないので、一つのペースト供給部に複数品種のペース
トを貯溜して移載ヘッドに供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1における電子部品実装装
置の平面図
【図2】本発明の実施の形態1におけるペースト供給装
置の斜視図
【図3】(a)本発明の実施の形態1におけるペースト
供給装置の部分斜視図 (b)本発明の実施の形態1におけるペースト供給装置
の部分側面図
【図4】(a)本発明の実施の形態1におけるペースト
供給装置の塗膜形成スキージの説明図 (b)本発明の実施の形態1におけるペースト供給装置
の塗膜形成スキージの説明図
【図5】本発明の実施の形態1におけるペースト供給装
置の塗膜掻き取りスキージの説明図
【図6】本発明の実施の形態1における電子部品実装装
置の動作説明図
【図7】本発明の実施の形態1における電子部品実装装
置の動作説明図
【図8】本発明の実施の形態2におけるペースト供給装
置の部分斜視図
【符号の説明】
3 基板 6 移載ヘッド 8 電子部品 9,40 ペースト供給装置 10 制御部(転写制御部) 12,41 ペースト容器 12a,12b,43a,43b パート(塗膜ステー
ジ) 12’,42 仕切壁 13a,13b,44a,44b 塗膜部 130 膜厚基準面 131,132,133,134,441,442 底
面 14,18,45a,45b,45c,45d スキー
ジ 14b 延展部 14c 摺接部 27 フラックス
フロントページの続き Fターム(参考) 2C035 AA06 FA27 FB23 FD01 FD05 FD15 FD31 5E313 AA02 AA11 AA23 CC03 CC05 DD02 DD05 EE05 EE24 EE35 FG02 FG04 5E319 AA03 CD04 CD29 GG03 GG15

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】移載ヘッドによって基板に電子部品を実装
    する電子部品実装装置であって、前記移載ヘッドを移動
    させる移動手段と、この移動手段による移載ヘッドの移
    動経路に配設されてペーストを貯溜するペースト供給部
    と、前記移動手段を制御することにより移載ヘッドに保
    持された電子部品を前記ペースト供給部のペースト膜に
    対して昇降させて電子部品にペーストを転写する転写制
    御部とを備え、前記ペースト供給部に設けられたペース
    ト容器が仕切壁で仕切られた複数のパートを有すること
    を特徴とする電子部品実装装置。
  2. 【請求項2】請求項1に記載の電子部品実装装置を用い
    る電子部品実装方法であって、電子部品を保持した前記
    移載ヘッドを前記ペースト供給部に移動させて、移載ヘ
    ッドに保持された電子部品を前記何れかのパートの底面
    上のペースト膜に対して選択的に昇降させて電子部品に
    ペーストを転写する工程と、ペーストが転写された電子
    部品を移載ヘッドによって基板に移送搭載する工程とを
    含むことを特徴とする電子部品実装方法。
  3. 【請求項3】スキージによってペースト容器に貯溜され
    たペーストを延展することによりペーストを所定膜厚の
    ペースト膜の形態で供給するペースト供給装置であっ
    て、前記ペースト容器が仕切壁で仕切られた複数のパー
    トを有することを特徴とするペースト供給装置。
  4. 【請求項4】前記底面に平行な膜厚基準面を設け、前記
    スキージの一部を前記膜厚基準面に接触させながら相対
    移動させるようにしたことを特徴とする請求項3記載の
    ペースト供給装置。
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