JP2003294967A - プラスチック光導波路の製造方法 - Google Patents

プラスチック光導波路の製造方法

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JP2003294967A
JP2003294967A JP2002093102A JP2002093102A JP2003294967A JP 2003294967 A JP2003294967 A JP 2003294967A JP 2002093102 A JP2002093102 A JP 2002093102A JP 2002093102 A JP2002093102 A JP 2002093102A JP 2003294967 A JP2003294967 A JP 2003294967A
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JP
Japan
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bis
amino
carboxyphenyl
diamino
acid
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Withdrawn
Application number
JP2002093102A
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English (en)
Inventor
Kenji Miyao
憲治 宮尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Bakelite Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Bakelite Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 電気特性、耐熱性、及び透明性に優れ、低価
格で、大面積化を実現することができるプラスチック光
導波路用の製造方法を提供する。 【課題手段】 一般式(1)で表される繰り返し単位を
有するポリベンゾオキサゾール前駆体を閉環した構造を
有するポリベンゾオキサゾール樹脂からなるなることを
特徴とする光通信用のプラスチック光導波路の製造方
法。 (但し、式中のmおよびnは、m>0、n≧0、2≦m
+n≦1000、および0.05≦m/(m+n)≦1
を満たす整数である。また、R1〜R4は、水素原子また
は一価の有機基である。)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラスチック光導
波路の製造方法に関するものである。更に詳しくは、耐
熱性、電気特性に、機械特性、物理特性に優れレーザー
光などを低損失で結合伝送するプラスチック光導波路を
用いたインターコネクション・光通信デバイス等に適用
することができるプラスチック光導波路の製造方法に関
するものである。。
【0002】
【従来の技術】従来、光導波路材料としては、ガラス
(石英)やプラスチックなどの材料が検討されている。
そのうち、石英で構成した光導波路は、低損失および高
耐熱性などの利点を有するため、光ファイバーや光イン
ターコネクション・光通信デバイスなどの分野に置いて
数多く検討され実際に利用されている。
【0003】一方、プラスチックで構成された光導波路
は、石英光導波路よりも作成および大面積化が容易であ
り、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネートおよ
び紫外線硬化型樹脂などのポリマーを用いたプラスチッ
ク光導波路が検討されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の石英光導波路では、作製に長い工程を要するた
め、本質的に低価格化は困難である。また、製作プロセ
スにおいて1000℃前後の高熱処理を要するため、電
気回路基板との融合性が悪い上、大面積化が困難である
問題があった。
【0005】また、ポリメタクリレート、ポリカーボネ
ートもしくは紫外線硬化型樹脂で構成したプラスチック
光導波路では、その構成材料の耐熱性は、100℃前後
であるため使用環境が限定されると共に、実装回路とし
て組み込むためには数百度のハンダ工程を通過すること
が必要となり、電気回路基板との融合性が悪くなるとい
う問題があった。
【0006】また、プラスチック材料でありながら30
0℃以上の耐熱性を有するポリイミドをプラスチック光
導波路に用いようとする試みも一部でなされているが、
現状のポリイミドでは、その特異な分子構造のため、構
造に起因する吸収による光損失がはなはだ大きく、光導
波路には適さないという問題があった。また、ポリイミ
ド樹脂において、その構造から結晶性の高い樹脂があ
り、膜厚が薄い場合は影響が少ないが、導波路に使用す
る膜厚になると、その結晶性の高さから膜が脆くなる場
合や、屈折率が変化することがある。
【0007】そこで、本発明は、電気特性、耐熱性、及
び透明性に優れ、低価格で、大面積化を実現することが
できるプラスチック光導波路の製造方法を提供すること
にある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記従来
の問題点を鑑み、鋭意検討を重ねた結果、一般式(1)
で表される構造を有するポリベンゾオキサゾール前駆体
をクラッド材料及びコア材料として用い、クラッド層と
コア層を形成することにより、本発明の目的を達成する
ことを見いだし、本発明を完成するに至った。
【0009】即ち、本発明は、 1. 一般式(1)で表される構造を有するポリベンゾ
オキサゾール前駆体をクラッド材料及びコア材料として
用い、該クラッド材料により下部クラッド層を形成し硬
化した後に、下部クラッド層上に、該コア材料によりコ
ア層を形成し硬化し、該コア層をフォトリソグラフィと
ドライエッチングにより加工してコアを形成することを
特徴とするプラスチック光導波路の製造方法、
【0010】
【化18】 (但し、式中のmおよびnは、m>0、n≧0、2≦m
+n≦1000、および0.05≦m/(m+n)≦1
を満たす整数である。また、R1〜R4は、水素原子また
は一価の有機基である。) 2. コア及び下部クラッド層の露出面上に、クラッド
材料により、上部クラッド層を形成し硬化して上部クラ
ッドを形成する前記第1項記載のプラスチック光導波路
の製造方法、 3. ポリベンゾオキサゾール前駆体が、一般式(1)
中のXとして、一般式(2)〜(7)で表される基の中
から選ばれる4価の基を有するものである、前記第1項
または第2項記載のプラスチック光導波路の製造方法、
【0011】
【化19】
【0012】
【化20】
【0013】
【化21】
【0014】
【化22】
【0015】
【化23】
【0016】
【化24】 (式(2)〜(7)で表される構造中、ベンゼン環上の
水素原子は、メチル基、フッ素原子、トリフルオロメチ
ル基および塩素原子の中から選ばれる、少なくとも1個
の基で置換されていても良い。Z1は、単結合または一
般式(8)〜(10)の中より選ばれる基を表す。)
【0017】
【化25】
【0018】
【化26】 (式(9)中、aは1〜5までの整数を表す。)
【0019】
【化27】 (式(9)、式(10)で表される構造中、ベンゼン環
上の水素原子は、メチル基、フッ素原子、トリフルオロ
メチル基および塩素原子の中から選ばれる、少なくとも
1個の基で置換されていても良い。)
【0020】4. ポリベンゾオキサゾール前駆体が、
一般式(1)中のY1、Y2として、一般式(11)〜
(13)の中から選ばれる2価の基を有するものであ
る、前記第1項1〜第3項のいずれかに記載のプラスチ
ック光導波路用の製造方法、
【0021】
【化28】
【0022】
【化29】
【0023】
【化30】 (式(13)中、i,j,kは2〜10までの整数を表
す。)
【0024】
【化31】 (式(11)、式(12)、式(14)で表される構造
中、ベンゼン環上の水素原子は、メチル基、、フッ素原
子、トリフルオロメチル基および塩素原子の中から選ば
れる、少なくとも1個の基で置換されていても良い。Z
2は、単結合または一般式(15)〜(16)の中より
選ばれる基を表す。)
【0025】
【化32】
【0026】
【化33】 (式(16)中、bは1〜5までの整数を表す。)
【0027】
【化34】 (式(16)、式(17)で表される構造中、ベンゼン
環上の水素原子は、メチル基、フッ素原子、トリフルオ
ロメチル基および塩素原子の中から選ばれる、少なくと
も1個の基で置換されていても良い。)、を提供するも
のである。
【0028】
【発明の実施の形態】本発明に用いるポリベンゾオキサ
ゾール前駆体は、ビスアミノフェノール化合物もしくは
ジアミノジヒドロキシベンゼン化合物、またはそれらの
エステル化物やエーテル化物などの誘導体とジカルボン
酸とから、酸クロリド法、活性化エステル法またはポリ
リン酸もしくはジシクロヘキシルカルボジイミド等の脱
水縮合剤の存在下での縮合反応等の方法により得ること
ができる。
【0029】本発明に用いるジアミノジヒドロキシ化合
物の例で、一般式(1)中のXとして、特に式(2)で
表される4価の基を構成するものとしては、1,3−ジ
アミノ−4,6−ジヒドロキシベンゼン、1,4−ジア
ミノ−3,6−ジヒドロキシベンゼン、3−ジアミノ−
4,6−ジヒドロキシジフルオロベンゼン、1,4−ジ
アミノ−3,6−ジヒドロキシジフルオロベンゼン、
1,4−ジアミノ−2,3−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン、1,2−ジアミノ−3,6−ジヒドロキシジフ
ルオロベンゼン、1−メチル−2,4−ジアミノ−3,
5−ジヒドロキシベンゼン、1−メチル−2,5−ジア
ミノ−3,6−ジヒドロキシベンゼン、1−メチル−
2,4−ジアミノ−3,5−ジヒドロキシフルオロベン
ゼン、1−メチル−2,5−ジアミノ−3,6−ジヒド
ロキシフルオロベンゼン、1,4−ジメチル−2,5−
ジアミノ−3,6−ジヒドロキシベンゼン、1−トリフ
ルオロメチル−2,4−ジアミノ−3,5−ジヒドロキ
シベンゼン、1−トリフルオロメチル−2,5−ジアミ
ノ−3,6−ジヒドロキシベンゼン、1−トリフルオロ
メチル−2,4−ジアミノ−3,5−ジヒドロキシフル
オロベンゼン、1−トリフルオロメチル−2,5−ジア
ミノ−3,6−ジヒドロキシフルオロベンゼン、1,4
−ビス(トリフルオロメチル)−2,5−ジアミノ−
3,6−ジヒドロキシベンゼン、1,3−ジアミノ−
4,6−ジヒドロキシジクロロベンゼン、1,4−ジア
ミノ−3,6−ジヒドロキシジクロロベンゼン、1,4
−ジアミノ−2,3−ジヒドロキシジクロロベンゼン、
1,2−ジアミノ−3,6−ジヒドロキシジクロロベン
ゼン等を挙げることができ、またこれらのエステル化合
物やエーテル化合物などの誘導体を挙げることができる
るが、これらに限定されるものではない。これらのジア
ミノジヒドロキシ化合物は単独、または組み合わせて使
用することができる。
【0030】本発明に用いるジアミノジヒドロキシ化合
物の例で、一般式(1)中のXとして、特に式(3)で
表される4価の基を構成するものとしては、2,7−ジ
アミノ−3,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジ
アミノ−3,7−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジ
アミノ−2,5−ジヒドロキシナフタレン、3,6−ジ
アミノ−2,5−ジヒドロキシナフタレン、2,7−ジ
アミノ−1,8−ジヒドロキシナフタレン、1−メチル
−3,6−ジアミノ−2,7−ジヒドロキシナフタレ
ン、1,5−ジメチル−3,7−ジアミノ−2,6−ジ
ヒドロキシナフタレン、1−メチル−3,6−ジアミノ
−2,5−ジヒドロキシナフタレン、1−トリフルオロ
メチル−3,6−ジアミノ−2,7−ジヒドロキシナフ
タレン、1,5−ビス(トリフルオロメチル)−3,7
−ジアミノ−2,6−ジヒドロキシナフタレン、1−ト
リフルオロメチル−3,6−ジアミノ−2,5−ジヒド
ロキシナフタレン、2,7−ジアミノ−3,6−ジヒド
ロキシテトラフルオロナフタレン、2,6−ジアミノ−
3,7−ジヒドロキシテトラフルオロナフタレン、1,
6−ジアミノ−2,5−ジヒドロキシテトラフルオロナ
フタレン、3,6−ジアミノ−2,5−ジヒドロキシテ
トラフルオロナフタレン、2,7−ジアミノ−1,8−
ジヒドロキシテトラフルオロナフタレン、2,7−ジア
ミノ−3,6−ジヒドロキシテトラクロロナフタレン、
2,6−ジアミノ−3,7−ジヒドロキシテトラクロロ
ナフタレン、1,6−ジアミノ−2,5−ジヒドロキシ
テトラクロロナフタレン、3,6−ジアミノ−2,5−
ジヒドロキシテトラクロロナフタレン、2,7−ジアミ
ノ−1,8−ジヒドロキシテトラクロロナフタレン、−
3,6−ジアミノ−2,5−ジヒドロキシナフタレン等
を挙げることができ、またこれらのエステル化合物やエ
ーテル化合物などの誘導体を挙げることができるるが、
これらに限定されるものではない。これらのジアミノジ
ヒドロキシル化合物は単独、または組み合わせて使用す
ることができる。
【0031】本発明に用いるビスアミノフェノール化合
物の例で、一般式(1)中のXとして、特に、式(4)
〜(6)で表される4価の基を構成するものとしては、
9,9−ビス(4−((4−アミノ−3−ヒドロキシ)
フェノキシ)フェニル)フルオレン、9,9−ビス(4
−((3−アミノ−4−ヒドロキシ)フェノキシ)フェ
ニル)フルオレン、9,9−ビス−((4−アミノ−3
−ヒドロキシ)フェニル)フルオレン、9,9−ビス−
((3−アミノ−4−ヒドロキシ)フェニル)フルオレ
ン、9,9−ビス(4−((4−アミノ−3−ヒドロキ
シ)フェノキシ)−3−フェニル−フェニル)−フルオ
レン、9,9−ビス(4−((3−アミノ−4−ヒドロ
キシ)フェノキシ)−3−フェニル−フェニル)−フル
オレン、9,9−ビス−((2−アミノ−3−ヒドロキ
シ−4−フェニル)−フェニル)−フルオレン、9,9
−ビス−((2−ヒドロキシ−3−アミノ−4−フェニ
ル)−フェニル)−フルオレン等を挙げることができ、
またこれらのエステル化合物やエーテル化合物などの誘
導体を挙げることができるるが、これらに限定されるも
のではない。これらのジアミノジヒドロキシル化合物は
単独、または組み合わせて使用することができる。
【0032】本発明に用いるビスアミノフェノール化合
物の例で、一般式(1)中のXとして、特に、式(7)
中のZ1が式(8)で表される2価の基を有するものと
しては、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシ
ビフェニル、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロ
キシビフェニル、3,4’−ジアミノ−4,3’−ジヒ
ドロキシビフェニル、4,4’−ジアミノ−3,3’−
ジヒドロキシ−5,5’−ジメチルビフェニル、3,
3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシ−5,5’−
ジメチルビフェニル、4,4’−ジアミノ−3,3’−
ジヒドロキシ−6,6’−ジメチルビフェニル、3,
3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシ−6,6’−
ジメチルビフェニル、3,4’−ジアミノ−4,3’−
ジヒドロキシ−5,5’−ジメチルビフェニル、3,
4’−ジアミノ−4,3’−ジヒドロキシ−6,6’−
ジメチルビフェニル、4,4’−ジアミノ−3,3’−
ジヒドロキシ−5,5’−トリフルオロメチルビフェニ
ル、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシ−
5,5’−トリフルオロメチルビフェニル、4,4’−
ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシ−6,6’−トリフ
ルオロメチルビフェニル、3,3’−ジアミノ−4,
4’−ジヒドロキシ−6,6’−トリフルオロメチルビ
フェニル、3,4’−ジアミノ−4,3’−ジヒドロキ
シ−5,5’−トリフルオロメチルビフェニル、3,
4’−ジアミノ−4,3’−ジヒドロキシ−6,6’−
トリフルオロメチルビフェニル、4,4’−ジアミノ−
3,3’−ジヒドロキシ−5,5’−ジフルオロビフェ
ニル、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシ−
5,5’−ジフルオロビフェニル、4,4’−ジアミノ
−3,3’−ジヒドロキシ−6,6’−ジフルオロビフ
ェニル、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシ
−6,6’−ジフルオロビフェニル、3,4’−ジアミ
ノ−4,3’−ジヒドロキシ−5,5’−ジフルオロビ
フェニル、3,4’−ジアミノ−4,3’−ジヒドロキ
シ−6,6’−ジフルオロビフェニル、4,4’−ジア
ミノ−3,3’−ジヒドロキシ−5,5’−ジクロロビ
フェニル、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキ
シ−5,5’−ジクロロビフェニル、4,4’−ジアミ
ノ−3,3’−ジヒドロキシ−6,6’−ジクロロビフ
ェニル、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシ
−6,6’−ジクロロビフェニル、3,4’−ジアミノ
−4,3’−ジヒドロキシ−5,5’−ジクロロビフェ
ニル、3,4’−ジアミノ−4,3’−ジヒドロキシ−
6,6’−ジクロロビフェニル、ビス(4−アミノ−3
−ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(3−アミノ−
4−ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(4−アミノ
−3−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)エーテル、ビ
ス(3−アミノ−4−ヒドロキシ−5−メチルフェニ
ル)エーテル、ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−5
−トリフルオロメチルフェニル)エーテル、ビス(3−
アミノ−4−ヒドロキシ−5−トリフルオロメチルフェ
ニル)エーテル、ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−
5−フルオロフェニル)エーテル、ビス(3−アミノ−
4−ヒドロキシ−5−フルオロフェニル)エーテル、ビ
ス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−2,5,6−トリフ
ルオロフェニル)エーテル、ビス(3−アミノ−4−ヒ
ドロキシ−2,5,6−トリフルオロフェニル)エーテ
ル、ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−5−クロロフ
ェニル)エーテル、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシ
−5−クロロフェニル)エーテル、ビス(4−アミノ−
3−ヒドロキシ−2,5,6−トリクロロフェニル)エ
ーテル、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシ−2,5,
6−トリクロロフェニル)エーテル、ビス(3−アミノ
−4−ヒドロキシフェニル)スルフィド、ビス(4−ア
ミノ−3−ヒドロキシフェニル)スルフィド、ビス(3
−アミノ−4−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)スル
フィド、ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−5−メチ
ルフェニル)スルフィド、ビス(3−アミノ−4−ヒド
ロキシ−5−トリフルオロメチルフェニル)スルフィ
ド、ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−5−トリフル
オロメチルフェニル)スルフィド、ビス(3−アミノ−
4−ヒドロキシ−5−フルオロフェニル)スルフィド、
ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−5−フルオロフェ
ニル)スルフィド、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシ
−2,5,6−トリフルオロフェニル)スルフィド、ビ
ス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−2,5,6−トリフ
ルオロフェニル)スルフィド、ビス(3−アミノ−4−
ヒドロキシ−5−クロロフェニル)スルフィド、ビス
(4−アミノ−3−ヒドロキシ−5−クロロフェニル)
スルフィド、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシ−2,
5,6−トリクロロフェニル)スルフィド、ビス(4−
アミノ−3−ヒドロキシ−2,5,6−トリクロロフェ
ニル)スルフィド、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシ
フェニル)スルホン、ビス(4−アミノ−3−ヒドロキ
シフェニル)スルホン、ビス(3−アミノ−4−ヒドロ
キシ−5−メチルフェニル)スルホン、ビス(4−アミ
ノ−3−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)スルホン、
ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシ−5−トリフルオロ
メチルフェニル)スルホン、ビス(4−アミノ−3−ヒ
ドロキシ−5−トリフルオロメチルフェニル)スルホ
ン、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシ−5−フルオロ
フェニル)スルホン、ビス(4−アミノ−3−ヒドロキ
シ−5−フルオロフェニル)スルホン、ビス(3−アミ
ノ−4−ヒドロキシ−2,5,6−トリフルオロフェニ
ル)スルホン、ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−
2,5,6−トリフルオロフェニル)スルホン、ビス
(3−アミノ−4−ヒドロキシ−5−クロロフェニル)
スルホン、ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−5−ク
ロロフェニル)スルホン、ビス(3−アミノ−4−ヒド
ロキシ−2,5,6−トリクロロフェニル)スルホン、
ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−2,5,6−トリ
クロロフェニル)スルホン、ビス(3−アミノ−4−ヒ
ドロキシフェニル)ケトン、ビス(4−アミノ−3−ヒ
ドロキシフェニル)ケトン、ビス(3−アミノ−4−ヒ
ドロキシ−5−メチルフェニル)ケトン、ビス(4−ア
ミノ−3−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)ケトン、
ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシ−5−トリフルオロ
メチルフェニル)ケトン、ビス(4−アミノ−3−ヒド
ロキシ−5−トリフルオロメチルフェニル)ケトン、ビ
ス(3−アミノ−4−ヒドロキシ−5−フルオロフェニ
ル)ケトン、ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−5−
フルオロフェニル)ケトン、ビス(3−アミノ−4−ヒ
ドロキシ−2,5,6−トリフルオロフェニル)ケト
ン、ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−2,5,6−
トリフルオロフェニル)ケトン、ビス(3−アミノ−4
−ヒドロキシ−5−クロロフェニル)ケトン、ビス(4
−アミノ−3−ヒドロキシ−5−クロロフェニル)ケト
ン、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシ−2,5,6−
トリクロロフェニル)ケトン、ビス(4−アミノ−3−
ヒドロキシ−2,5,6−トリクロロフェニル)ケト
ン、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)メタ
ン、2,2−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェニ
ル)メタン、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシ−5−
メチルフェニル)メタン、ビス(4−アミノ−3−ヒド
ロキシ−5−メチルフェニル)メタン、ビス(3−アミ
ノ−4−ヒドロキシ−5−トリフルオロメチルフェニ
ル)メタン、ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−5−
トリフルオロメチルフェニル)メタン、ビス(3−アミ
ノ−4−ヒドロキシ−5−フルオロフェニル)メタン、
ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−5−フルオロフェ
ニル)メタン、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシ−
2,5,6−トリフルオロフェニル)メタン、ビス(4
−アミノ−3−ヒドロキシ−2,5,6−トリフルオロ
フェニル)メタン、ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシ
−5−クロロフェニル)メタン、ビス(4−アミノ−3
−ヒドロキシ−5−クロロフェニル)メタン、ビス(3
−アミノ−4−ヒドロキシ−2,5,6−トリクロロフ
ェニル)メタン、ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−
2,5,6−トリクロロフェニル)メタン、2,2−ビ
ス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)プロパン、
2,2−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェニル)
プロパン、2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシ
−5−メチルフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−
アミノ−3−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)プロパ
ン、2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシ−5−
トリフルオロメチルフェニル)プロパン、2,2−ビス
(4−アミノ−3−ヒドロキシ−5−トリフルオロメチ
ルフェニル)プロパン、2,2−ビス(3−アミノ−4
−ヒドロキシ−5−フルオロフェニル)プロパン、2,
2−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−5−フルオロ
フェニル)プロパン、2,2−ビス(3−アミノ−4−
ヒドロキシ−2,5,6−トリフルオロフェニル)プロ
パン、2,2−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−
2,5,6−トリフルオロフェニル)プロパン、2,2
−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシ−5−クロロフェ
ニル)プロパン、2,2−ビス(4−アミノ−3−ヒド
ロキシ−5−クロロフェニル)プロパン、2,2−ビス
(3−アミノ−4−ヒドロキシ−2,5,6−トリクロ
ロフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−アミノ−3
−ヒドロキシ−2,5,6−トリクロロフェニル)プロ
パン、2,2−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェ
ニル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(3−ア
ミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパ
ン、2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシ−5−
メチルフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビ
ス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−5−メチルフェニ
ル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(3−アミ
ノ−4−ヒドロキシ−5−トリフルオロメチルフェニ
ル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(4−アミ
ノ−3−ヒドロキシ−5−トリフルオロメチルフェニ
ル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(3−アミ
ノ−4−ヒドロキシ−5−フルオロフェニル)ヘキサフ
ルオロプロパン、ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−
5−フルオロフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,
2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシ−2,5,6−
トリフルオロフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,
2−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ−2,5,6−
トリフルオロフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,
2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシ−5−クロロフ
ェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(4−
アミノ−3−ヒドロキシ−5−クロロフェニル)ヘキサ
フルオロプロパン、2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒ
ドロキシ−2,5,6−トリクロロフェニル)ヘキサフ
ルオロプロパン、2,2−ビス(4−アミノ−3−ヒド
ロキシ−2,5,6−トリクロロフェニル)ヘキサフル
オロプロパン等を挙げることができるがこれらに限定さ
れるものではない。またこれらのエステル化合物やエー
テル化合物などの誘導体を挙げることができるる
【0033】本発明に用いるビスアミノフェノール化合
物の例で、一般式(1)中のXとして、特に、式(7)
中のZ1が式(9)で表される2価の基を有するものと
しては、1,2−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフ
ェノキシ)ベンゼン、1,2−ビス(3−アミノ−4−
ヒドロキシフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−
アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)ベンゼン、1,3
−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェノキシ)ベン
ゼン、1,4−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェ
ノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノ−4−ヒ
ドロキシフェノキシ)ベンゼン、1,2−ビス(4−ア
ミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)テトラフルオロベン
ゼン、1,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェ
ノキシ)テトラフルオロベンゼン、1,3−ビス(4−
アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)テトラフルオロベ
ンゼン、1,3−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフ
ェノキシ)テトラフルオロベンゼン、1,4−ビス(4
−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)テトラフルオロ
ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシ
フェノキシ)テトラフルオロベンゼン、1,2−ビス
(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)テトラフク
ロロベンゼン、1,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロ
キシフェノキシ)テトラクロロベンゼン、1,3−ビス
(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)テトラクロ
ロベンゼン、1,3−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキ
シフェノキシ)テトラクロロベンゼン、1,4−ビス
(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)テトラクロ
ロベンゼン、1,4−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキ
シフェノキシ)テトラクロロベンゼン、等を挙げること
ができるがこれらに限定されるものではない。またこれ
らのエステル化合物やエーテル化合物などの誘導体を挙
げることができるる。
【0034】本発明に用いるビスアミノフェノール化合
物の例で、一般式(1)中のXとして、特に、式(7)
中のZ1が式(10)で表される2価の基を有するもの
としては、1,2−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシ
フェノキシ)ビフェニル、1,2−ビス(3−アミノ−
4−ヒドロキシフェノキシ)ビフェニル、1,3−ビス
(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)ビフェニ
ル、1,3−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェノ
キシ)ビフェニル、1,4−ビス(4−アミノ−3−ヒ
ドロキシフェノキシ)ビフェニル、1,4−ビス(3−
アミノ−4−ヒドロキシフェノキシ)ビフェニル、2−
ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)オクタ
フルオロビフェニル、1,2−ビス(3−アミノ−4−
ヒドロキシフェノキシ)オクタフルオロビフェニル、
1,3−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフェノキ
シ)オクタフルオロビフェニル、1,3−ビス(3−ア
ミノ−4−ヒドロキシフェノキシ)オクタフルオロビフ
ェニル、1,4−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキシフ
ェノキシ)オクタフルオロビフェニル、1,4−ビス
(3−アミノ−4−ヒドロキシフェノキシ)オクタフル
オロビフェニル、2−ビス(4−アミノ−3−ヒドロキ
シフェノキシ)オクタクロロビフェニル、1,2−ビス
(3−アミノ−4−ヒドロキシフェノキシ)オクタクロ
ロビフェニル、1,3−ビス(4−アミノ−3−ヒドロ
キシフェノキシ)オクタクロロビフェニル、1,3−ビ
ス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェノキシ)オクタク
ロロビフェニル、1,4−ビス(4−アミノ−3−ヒド
ロキシフェノキシ)オクタクロロビフェニル、1,4−
ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェノキシ)オクタ
クロロビフェニル等が挙げられるが、これらに限定され
るものではない。これらのビスアミノフェノール化合物
は単独、または組み合わせて使用することができる。
【0035】また、本発明に用いるポリベンゾオキサゾ
ール前駆体において、式(2)〜式(10)で表される
構造を有するジアミノジヒドロキシ化合物又はビスアミ
ノフェノール化合物から1種、または2種、あるいは、
それぞれ1種以上混合して用いることが出来る。
【0036】(ここでも一般式で表すならば) 本発明
に用いるジカルボン酸の例で、一般式(1)中のY1
2として、特に式(11)で表される2価の基を構成
するものとしては、フタル酸、イソフタル酸、テレフタ
ル酸、2−メチルイソフタル酸、3−メチルフタル酸、
2−メチルテレフタル酸、2,4,5,6−テトラメチ
ルイソフタル酸、3,4,5,6−テトラメチルフタル
酸、2−フルオロイソフタル酸、3−フルオロフタル
酸、2−フルオロテレフタル酸、2,4,5,6−テト
ラフルオロイソフタル酸、3,4,5,6−テトラフル
オロフタル酸、2−トリフルオロメチルイソフタル酸、
3−トリフルオロメチルフタル酸、2−トリフルオロメ
チルテレフタル酸、2,4,5,6−トリフルオロメチ
ルイソフタル酸、3,4,5,6−トリフルオロメチル
フタル酸、2−クロロイソフタル酸、3−クロロフタル
酸、2−クロロテレフタル酸、2,4,5,6−テトラ
クロロイソフタル酸、3,4,5,6−テトラクロロフ
タル酸等が挙げられるが、これらに限定されるものでは
ない。これらのジカルボン酸化合物は単独、または組み
合わせて使用することができる。
【0037】(ここでも一般式で表すならば) 本発明
に用いるジカルボン酸の例で、一般式(1)中のY1
2として、特に式(12)で表される2価の基を構成
するものとしては、1,4−ジカルボキシナフタレン、
1,5−ジカルボキシナフタレン、1,6−ジカルボキ
シナフタレン、1,7−ジカルボキシナフタレン、1,
8−ジカルボキシナフタレン、1,4−ジカルボキシヘ
キサフルオロナフタレン、1,5−ジカルボキシヘキサ
フルオロナフタレン、1,6−ジカルボキシヘキサフル
オロナフタレン、1,7−ジカルボキシヘキサフルオロ
ナフタレン、1,8−ジカルボキシヘキサフルオロナフ
タレン、1,4−ジカルボキシヘキサクロロナフタレ
ン、1,5−ジカルボキシヘキサクロロナフタレン、
1,6−ジカルボキシヘキサクロロナフタレン、1,7
−ジカルボキシヘキサクロロナフタレン、1,8−ジカ
ルボキシヘキサクロロナフタレン等が挙げられるが、こ
れらに限定されるものではない。これらのジカルボン酸
化合物は単独、または組み合わせて使用することができ
る。
【0038】(ここでも一般式で表すならば) 本発明
に用いるジカルボン酸の例で、一般式(1)中のY1
2として、特に式(13)で表される2価の基を構成
するものとしては、コハク酸、グルタル酸、アジピン
酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン
酸、1,9−ノナンジカルボン酸、ドデカン二酸、トリ
デカン二酸、1,12−ドデカンジカルボン酸、テトラ
フルオロコハク酸、ヘキサフルオログルタル酸、オクタ
フルオロアジピン酸、パーフルオロピメリン酸、パーフ
ルオロスベリン酸、パーフルオロアゼライン酸、パーフ
ルオロセバシン酸、1,9−パーフルオロノナンジカル
ボン酸、パーフルオロドデカン二酸、パーフルオロトリ
デカン二酸、1,12−パーフルオロドデカンジカルボ
ン酸、テトラクロロコハク酸、ヘキサクロログルタル
酸、オクタクロロアジピン酸、パークロロピメリン酸、
パークロロスベリン酸、パークロロアゼライン酸、パー
クロロセバシン酸、1,9−パークロロノナンジカルボ
ン酸、パークロロドデカン二酸、パークロロトリデカン
二酸、1,12−パークロロドデカンジカルボン酸、
1,4−パーフルオロシクロヘキサンジカルボン酸、
1,3−パーフルオロシクロヘキサンジカルボン酸、
1,2−パーフルオロシクロヘキサンジカルボン酸、
1,4−シクロヘキサンジカルボン酸、1,3−シクロ
ヘキサンジカルボン酸、1,2−シクロヘキサンジカル
ボン酸、1,4−パークロロシクロヘキサンジカルボン
酸、1,3−パークロロシクロヘキサンジカルボン酸、
1,2−パークロロヘキサンジカルボン酸等が挙げられ
るが、これらに限定されるものではない。これらのジカ
ルボン酸化合物は単独、または組み合わせて使用するこ
とができる。
【0039】(ここでも一般式で表すならば) 本発明
に用いるジカルボン酸の例で、一般式(1)中のY1
2として、特に式(14)中のZ2が式(15)で表さ
れる2価の基を有するものとしては、4,4’−オキシ
ビス安息香酸、3,3’−オキシビス安息香酸、3,
4’−オキシビス安息香酸、2,4’−オキシビス安息
香酸、3,4’−オキシビス安息香酸、2,3’−オキ
シビス安息香酸、4,4’−オキシビスオクタフルオロ
安息香酸、3,3’−オキシビスオクタフルオロ安息香
酸、3,4’−オキシビスオクタフルオロ安息香酸、
2,4’−オキシビスオクタフルオロ安息香酸、3,
4’−オキシビスオクタフルオロ安息香酸、2,3’−
オキシビスオクタフルオロ安息香酸、4,4’−オキシ
ビスオクタクロロ安息香酸、3,3’−オキシビスオク
タクロロ安息香酸、3,4’−オキシビスオクタクロロ
安息香酸、2,4’−オキシビスオクタクロロ安息香
酸、3,4’−オキシビスオクタクロロ安息香酸、2,
3’−オキシビスオクタクロロ安息香酸、ビス(4−カ
ルボキシフェニル)−スルフィド、ビス(3−カルボキ
シフェニル)−スルフィド、ビス(2−メチル−4−カ
ルボキシフェニル)−スルフィド、ビス(2−メチル−
3−カルボキシフェニル)−スルフィド、ビス(3−メ
チル−4−カルボキシフェニル)−スルフィド、ビス
(4−メチル−3−カルボキシフェニル)−スルフィ
ド、ビス(5−メチル−4−カルボキシフェニル)−ス
ルフィド、ビス(5−メチル−3−カルボキシフェニ
ル)−スルフィド、ビス(6−メチル−4−カルボキシ
フェニル)−スルフィド、ビス(6−メチル−3−カル
ボキシフェニル)−スルフィド、ビス(2−トリフルオ
ロメチル−4−カルボキシフェニル)−スルフィド、ビ
ス(2−トリフルオロメチル−3−カルボキシフェニ
ル)−スルフィド、ビス(3−トリフルオロメチル−4
−カルボキシフェニル)−スルフィド、ビス(4−トリ
フルオロメチル−3−カルボキシフェニル)−スルフィ
ド、ビス(5−トリフルオロメチル−4−カルボキシフ
ェニル)−スルフィド、ビス(5−トリフルオロメチル
−3−カルボキシフェニル)−スルフィド、ビス(6−
トリフルオロメチル−4−カルボキシフェニル)−スル
フィド、ビス(6−トリフルオロメチル−3−カルボキ
シフェニル)−スルフィド、ビス(4−カルボキシオク
タフルオロフェニル)−スルフィド、ビス(3−カルボ
キシオクタフルオロフェニル)−スルフィド、ビス(4
−カルボキシオクタクロロフェニル)−スルフィド、ビ
ス(3−カルボキシオクタクロロフェニル)−スルフィ
ド、ビス(4−カルボキシフェニル)−スルホン、ビス
(3−カルボキシフェニル)−スルホン、ビス(2−メ
チル−4−カルボキシフェニル)−スルホン、ビス(2
−メチル−3−カルボキシフェニル)−スルホン、ビス
(3−メチル−4−カルボキシフェニル)−スルホン、
ビス(4−メチル−3−カルボキシフェニル)−スルホ
ン、ビス(5−メチル−4−カルボキシフェニル)−ス
ルホン、ビス(5−メチル−3−カルボキシフェニル)
−スルホン、ビス(6−メチル−4−カルボキシフェニ
ル)−スルホン、ビス(6−メチル−3−カルボキシフ
ェニル)−スルホン、ビス(2−トリフルオロメチル−
4−カルボキシフェニル)−スルホン、ビス(2−トリ
フルオロメチル−3−カルボキシフェニル)−スルホ
ン、ビス(3−トリフルオロメチル−4−カルボキシフ
ェニル)−スルホン、ビス(4−トリフルオロメチル−
3−カルボキシフェニル)−スルホン、ビス(5−トリ
フルオロメチル−4−カルボキシフェニル)−スルホ
ン、ビス(5−トリフルオロメチル−3−カルボキシフ
ェニル)−スルホン、ビス(6−トリフルオロメチル−
4−カルボキシフェニル)−スルホン、ビス(6−トリ
フルオロメチル−3−カルボキシフェニル)−スルホ
ン、ビス(4−カルボキシオクタフルオロフェニル)−
スルホン、ビス(3−カルボキシオクタフルオロフェニ
ル)−スルホン、ビス(4−カルボキシオクタクロロフ
ェニル)−スルホン、ビス(3−カルボキシオクタクロ
ロフェニル)−スルホン、ビス(4−カルボキシフェニ
ル)−ケトン、ビス(3−カルボキシフェニル)−ケト
ン、ビス(2−メチル−4−カルボキシフェニル)−ケ
トン、ビス(2−メチル−3−カルボキシフェニル)−
ケトン、ビス(3−メチル−4−カルボキシフェニル)
−ケトン、ビス(4−メチル−3−カルボキシフェニ
ル)−ケトン、ビス(5−メチル−4−カルボキシフェ
ニル)−ケトン、ビス(5−メチル−3−カルボキシフ
ェニル)−ケトン、ビス(6−メチル−4−カルボキシ
フェニル)−ケトン、ビス(6−メチル−3−カルボキ
シフェニル)−ケトン、ビス(2−トリフルオロメチル
−4−カルボキシフェニル)−ケトン、ビス(2−トリ
フルオロメチル−3−カルボキシフェニル)−ケトン、
ビス(3−トリフルオロメチル−4−カルボキシフェニ
ル)−ケトン、ビス(4−トリフルオロメチル−3−カ
ルボキシフェニル)−ケトン、ビス(5−トリフルオロ
メチル−4−カルボキシフェニル)−ケトン、ビス(5
−トリフルオロメチル−3−カルボキシフェニル)−ケ
トン、ビス(6−トリフルオロメチル−4−カルボキシ
フェニル)−ケトン、ビス(6−トリフルオロメチル−
3−カルボキシフェニル)−ケトン、ビス(4−カルボ
キシオクタフルオロフェニル)−ケトン、ビス(3−カ
ルボキシオクタフルオロフェニル)−ケトン、ビス(4
−カルボキシオクタクロロフェニル)−ケトン、ビス
(3−カルボキシオクタクロロフェニル)−ケトン、ビ
ス(4−カルボキシフェニル)−メタン、ビス(3−カ
ルボキシフェニル)−メタン、ビス(2−メチル−4−
カルボキシフェニル)−メタン、ビス(2−メチル−3
−カルボキシフェニル)−メタン、ビス(3−メチル−
4−カルボキシフェニル)−メタン、ビス(4−メチル
−3−カルボキシフェニル)−メタン、ビス(5−メチ
ル−4−カルボキシフェニル)−メタン、ビス(5−メ
チル−3−カルボキシフェニル)−メタン、ビス(6−
メチル−4−カルボキシフェニル)−メタン、ビス(6
−メチル−3−カルボキシフェニル)−メタン、ビス
(2−トリフルオロメチル−4−カルボキシフェニル)
−メタン、ビス(2−トリフルオロメチル−3−カルボ
キシフェニル)−メタン、ビス(3−トリフルオロメチ
ル−4−カルボキシフェニル)−メタン、ビス(4−ト
リフルオロメチル−3−カルボキシフェニル)−メタ
ン、ビス(5−トリフルオロメチル−4−カルボキシフ
ェニル)−メタン、ビス(5−トリフルオロメチル−3
−カルボキシフェニル)−メタン、ビス(6−トリフル
オロメチル−4−カルボキシフェニル)−メタン、ビス
(6−トリフルオロメチル−3−カルボキシフェニル)
−メタン、ビス(4−カルボキシオクタフルオロフェニ
ル)−メタン、ビス(3−カルボキシオクタフルオロフ
ェニル)−メタン、ビス(4−カルボキシオクタクロロ
フェニル)−メタン、ビス(3−カルボキシオクタクロ
ロフェニル)−メタン、2,2−ビス(4−カルボキシ
フェニル)−プロパン、2,2−ビス(3−カルボキシ
フェニル)−プロパン、2,2−ビス(2−メチル−4
−カルボキシフェニル)−プロパン、2,2−ビス(2
−メチル−3−カルボキシフェニル)−プロパン、2,
2−ビス(3−メチル−4−カルボキシフェニル)−プ
ロパン、2,2−ビス(4−メチル−3−カルボキシフ
ェニル)−プロパン、2,2−ビス(5−メチル−4−
カルボキシフェニル)−プロパン、2,2−ビス(5−
メチル−3−カルボキシフェニル)−プロパン、2,2
−ビス(6−メチル−4−カルボキシフェニル)−プロ
パン、2,2−ビス(6−メチル−3−カルボキシフェ
ニル)−プロパン、2,2−ビス(2−トリフルオロメ
チル−4−カルボキシフェニル)−プロパン、2,2−
ビス(2−トリフルオロメチル−3−カルボキシフェニ
ル)−プロパン、2,2−ビス(3−トリフルオロメチ
ル−4−カルボキシフェニル)−プロパン、2,2−ビ
ス(4−トリフルオロメチル−3−カルボキシフェニ
ル)−プロパン、2,2−ビス(5−トリフルオロメチ
ル−4−カルボキシフェニル)−プロパン、2,2−ビ
ス(5−トリフルオロメチル−3−カルボキシフェニ
ル)−プロパン、2,2−ビス(6−メチル−4−カル
ボキシフェニル)−プロパン、2,2−ビス(6−トリ
フルオロメチル−3−カルボキシフェニル)−プロパ
ン、2,2−ビス(4−カルボキシオクタフルオロフェ
ニル)−プロパン、2,2−ビス(3−カルボキシオク
タフルオロフェニル)−プロパン、2,2−ビス(4−
カルボキシオクタクロロフェニル)−プロパン、2,2
−ビス(3−カルボキシオクタクロロフェニル)−プロ
パン、2,2−ビス(4−カルボキシフェニル)−ヘキ
サフルオロプロパン、2,2−ビス(3−カルボキシフ
ェニル)−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(2
−メチル−4−カルボキシフェニル)−ヘキサフルオロ
プロパン、2,2−ビス(2−メチル−3−カルボキシ
フェニル)−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス
(3−メチル−4−カルボキシフェニル)−ヘキサフル
オロプロパン、2,2−ビス(4−メチル−3−カルボ
キシフェニル)−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビ
ス(5−メチル−4−カルボキシフェニル)−ヘキサフ
ルオロプロパン、2,2−ビス(5−メチル−3−カル
ボキシフェニル)−ヘキサフルオロプロパン、2,2−
ビス(6−メチル−4−カルボキシフェニル)−ヘキサ
フルオロプロパン、2,2−ビス(6−メチル−3−カ
ルボキシフェニル)−ヘキサフルオロプロパン、2,2
−ビス(2−トリフルオロメチル−4−カルボキシフェ
ニル)−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(2−
トリフルオロメチル−3−カルボキシフェニル)−ヘキ
サフルオロプロパン、2,2−ビス(3−トリフルオロ
メチル−4−カルボキシフェニル)−ヘキサフルオロプ
ロパン、2,2−ビス(4−トリフルオロメチル−3−
カルボキシフェニル)−ヘキサフルオロプロパン、2,
2−ビス(5−トリフルオロメチル−4−カルボキシフ
ェニル)−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(5
−トリフルオロメチル−3−カルボキシフェニル)−ヘ
キサフルオロプロパン、2,2−ビス(6−トリフルオ
ロメチル−4−カルボキシフェニル)−ヘキサフルオロ
プロパン、2,2−ビス(6−トリフルオロメチル−3
−カルボキシフェニル)−ヘキサフルオロプロパン、
2,2−ビス(4−カルボキシオクタフルオロフェニ
ル)−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(3−カ
ルボキシオクタフルオロフェニル)−ヘキサフルオロプ
ロパン、2,2−ビス(4−カルボキシオクタクロロフ
ェニル)−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(3
−カルボキシオクタクロロフェニル)−ヘキサフルオロ
プロパン等が挙げられるが、これらに限定されるもので
はない。これらのジカルボン酸化合物は単独、または組
み合わせて使用することができる。
【0040】(ここでも一般式で表すならば) 本発明
に用いるジカルボン酸として、特に式(14)中のZ2
が式(16)で表されるものとしては、1,2−ビス
(4−カルボキシフェノキシ)ベンゼン、1,2−ビス
(3−カルボキシフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス
(4−カルボキシフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス
(3−カルボキシフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス
(4−カルボキシフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス
(3−カルボキシフェノキシ)ベンゼン、1,2−ビス
(4−カルボキシフェノキシ)テトラフルオロベンゼ
ン、1,2−ビス(3−カルボキシフェノキシ)テトラ
フルオロベンゼン、1,3−ビス(4−カルボキシフェ
ノキシ)テトラフルオロベンゼン、1,3−ビス(3−
カルボキシフェノキシ)テトラフルオロベンゼン、1,
4−ビス(4−カルボキシフェノキシ)テトラフルオロ
ベンゼン、1,4−ビス(3−カルボキシフェノキシ)
テトラフルオロベンゼン、1,2−ビス(4−カルボキ
シフェノキシ)テトラクロロベンゼン、1,2−ビス
(3−カルボキシフェノキシ)テトラクロロベンゼン、
1,3−ビス(4−カルボキシフェノキシ)テトラクロ
ロベンゼン、1,3−ビス(3−カルボキシフェノキ
シ)テトラクロロベンゼン、1,4−ビス(4−カルボ
キシフェノキシ)テトラクロロベンゼン、1,4−ビス
(3−カルボキシフェノキシ)テトラクロロベンゼン等
が挙げられるが、これらに限定されるものではない。こ
れらのジカルボン酸化合物は単独、または組み合わせて
使用することができる。
【0041】(ここでも一般式で表すならば) 本発明
に用いるジカルボン酸の例で、一般式(1)中のY1
2として、特に式(14)中のZ2が式(17)で表さ
れる2価の基を有するものとしては、1,2−ビス(4
−カルボキシフェノキシ)ビフェニル、1,2−ビス
(3−カルボキシフェノキシ)ビフェニル、1,3−ビ
ス(4−カルボキシフェノキシ)ビフェニル、1,3−
ビス(3−カルボキシフェノキシ)ビフェニル、1,4
−ビス(4−カルボキシフェノキシ)ビフェニル、1,
4−ビス(3−カルボキシフェノキシ)ビフェニル、
1,2−ビス(4−カルボキシフェノキシ)オクタフル
オロビフェニル、1,2−ビス(3−カルボキシフェノ
キシ)オクタフルオロビフェニル、1,3−ビス(4−
カルボキシフェノキシ)オクタフルオロビフェニル、
1,3−ビス(3−カルボキシフェノキシ)オクタフル
オロビフェニル、1,4−ビス(4−カルボキシフェノ
キシ)オクタフルオロビフェニル、1,4−ビス(3−
カルボキシフェノキシ)オクタフルオロビフェニル、
1,2−ビス(4−カルボキシフェノキシ)オクタクロ
ロビフェニル、1,2−ビス(3−カルボキシフェノキ
シ)オクタクロロビフェニル、1,3−ビス(4−カル
ボキシフェノキシ)オクタクロロビフェニル、1,3−
ビス(3−カルボキシフェノキシ)オクタクロロビフェ
ニル、1,4−ビス(4−カルボキシフェノキシ)オク
タクロロビフェニル、1,4−ビス(3−カルボキシフ
ェノキシ)オクタクロロビフェニル等を挙げることがで
きるが、これらに限定されるものではない。これらのジ
カルボン酸は単独、または組み合わせて使用することが
できる。
【0042】本発明に用いるポリベンゾオキサゾール前
駆体製造方法の中で、酸クロリド法による合成の例を挙
げると、まず前記ジカルボン酸を、N,N−ジメチルホ
ルムアミド等の触媒存在下、過剰量の塩化チオニルと、
室温から75℃で反応させ、過剰の塩化チオニルを加熱
及び減圧により留去する。その後残査をヘキサン等の溶
媒で再結晶することにより、酸クロリドであるジカルボ
ン酸クロリドを得ることができる。次いで前記ビスアミ
ノフェノール化合物及び/またはジアミノジヒドロキシ
化合物を、通常N−メチル−2−ピロリドン等の極性溶
媒に溶解し、ピリジン等の酸受容剤存在下で、ジカルボ
ン酸クロリドと、−30℃から室温で反応することによ
りポリベンゾオキサゾール前駆体を得ることができる。
【0043】本発明において、このようにして得られた
ポリベンゾオキサゾール前駆体を、従来法の通り、加熱
または脱水剤で処理するにより、閉環反応してポリベン
ゾオキサゾール樹脂とすることができる。このポリベン
ゾオキサゾール前駆体又は樹脂に、必要により、各種添
加剤として、界面活性剤やカップリング剤等を添加して
用いることができる。
【0044】本発明に用いるポリベンゾオキサゾール前
駆体は、光導波路のクラッド材及びコア材として用いら
れ、一般に製造されている基板上のシングルモード光導
波路と同様の構造に適用できる。例えば、スラブ型、リ
ッジ型、埋め込み型等がある。
【0045】本発明のプラスチック光導波路の製造方法
について、前記光導波路構造の内、埋め込み型シングル
モード光導波路を用いて、図1を参照しつつ説明する。
まず、シリコン等の基板1の上に下部クラッド用とし
て、前記ポリベンゾオキサゾールの前駆体溶液を、スピ
ンコート等の方法により塗布し、これを加熱等により硬
化して閉環し樹脂とした下部クラッド層2を得る。次
に、この上に下部クラッド層として用いた前記ポリベン
ゾオキサゾールより、屈折率が高いポリベンゾオキサゾ
ールの前駆体溶液をコア材として用いて、前記下部クラ
ッド層2を形成したときと同様の方法により、コア層3
を形成する。次に、この上にコアパターンを形成するた
めのマスク層4を形成する(図1(a))。マスク層用
材料としては、Al、Ti等の金属、SiO2、スピン
オングラス(SOG)、Si含有レジスト、感光性ポリ
ベンゾオキサゾール等を用いることができる。
【0046】次いで、マスク層4の上に、レジストを塗
布して、プリベーク、露光、現像、アフターベークを行
い、パターニングされたレジスト層5を得る(図1
(b))。次に、レジスト層5で保護されていないマス
ク層4をエッチングで除去(図1(c))した後、レジ
スト層5をエッチング液で除去し、マスク層4でコア層
3のポリベンゾオキサゾールをドライエッチングにより
除去する(図1(d))。マスク層4にSi含有レジス
トや感光性ポリベンゾオキサゾールを用いた場合には、
フォトレジストを使用する必要はない。
【0047】次に、残ったマスク層4を、ドライエッチ
ングやはく離液を用いることにより除去することによ
り、コアを形成する(図1(e))。更に、この上に、
前記下部クラッド材に用いたのと同じポリベンゾオキサ
ゾール前駆体を、スピンコート等で塗布して、上部クラ
ッド層6を形成し、これを加熱など硬化して閉環し樹脂
とした上部クラッド層6を得る(図1(f))。このよ
うにして、光損失等の光導波路特性の良好なポリベンゾ
オキサゾール樹脂からなるシングルモード光導波路を作
製できる。
【0048】本発明のプラスチック光導波路用材料であ
るポリベンゾオキサゾール、ポリベンゾオキサゾール共
重合体及び混合物の前駆体溶液を閉環させたポリベンゾ
オキサゾール樹脂からなるシングルモード光導波路を作
製することにより、その光導波路における光損失等の光
導波特性の偏光波に対する相違を低減できる。
【0049】
【実施例】以下、実施例により本発明を更に詳しく説明
するが、本発明はこれらに限定されない。
【0050】合成例1 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2部(0.2mol)を乾燥したジメチル
アセトアミド200部に溶解し、ピリジン39.6部
(0.5mol)を添加後、乾燥窒素下、−15℃でシ
クロヘキサン100部に2,2’−ビス(トリフルオロ
メチル)−4,4’−ビフェニレンジカルボン酸クロリ
ド83.0部(0.2mol)を溶解したものを30分
掛けて滴下した。滴下終了後、室温まで戻し、室温で5
時間かく拌した。その後、反応溶液を蒸留水7Lに滴下
し、沈殿物を集め、乾燥することによりポリベンゾオキ
サゾール前駆体(A)106.4部を得た。前駆体の分
子量をゲル・パーミエイション・クロマトグラフィ(以
下GPCと略記)を用いて測定した所、22,000で
あった。屈折率は1.560であった。
【0051】合成例2 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2部(0.2mol)を1−トリフルオロ
メチル−2,6−ジアミノ−3,5−ジヒドロキシフル
オロベンゼン45.2部(0.2mol)に置き換えた
以外は合成例1と同様にして、ポリベンゾオキサゾール
前駆体(B)115.4部を得た。前駆体(B)の分子
量をGPCを用いて測定した所、23,000であっ
た。屈折率は1.541であった。
【0052】合成例3 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2部(0.2mol)を2,2−ビス(3
−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプ
ロパン73.2部(0.2mol)に、2,2’−ビス
(トリフルオロメチル)−4,4’−ビフェニレンジカ
ルボン酸クロリド83.0部(0.2mol)を1−ト
リフルオロメチルナフタレン−2,6−ジカルボン酸ク
ロリド64.2部(0.2mol)に置き換えた以外
は、合成例1と同様にして、ポリベンゾオキサゾール前
駆体(C)123.7部を得た。前駆体(C)の分子量
をGPCを用いて測定した所、24,000であった。
屈折率は1.562であった。
【0053】合成例4 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2(0.2mol)を2,7−ジアミノ−
3,6−ジヒドロキシテトラフルオロナフタレン52.
4部(0.2mol)に置き換えた以外は合成例1と同
様にして、ポリベンゾオキサゾール前駆体(D)12
1.9部を得た。前駆体(D)の分子量をGPCを用い
て測定した所、23,000であった。屈折率は1.5
59であった。
【0054】合成例5 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2(0.2mol)を1−トリフルオロメ
チル−3,6−ジアミノ−2,7−ジヒドロキシナフタ
レン41.6部(0.2mol)に置き換えた以外は合
成例1と同様にして、ポリベンゾオキサゾール前駆体
(E)112.1部を得た。前駆体(E)の分子量をG
PCを用いて測定した所、23,000であった。屈折
率は1.564であった。
【0055】合成例6 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2部(0.2mol)をビス(3−アミノ
−4−ヒドロキシフェニル)スルフィド49.6部
(0.2mol)に、2,2’−ビス(トリフルオロメ
チル)−4,4’−ビフェニレンジカルボン酸クロリド
83.0部(0.2mol)を4,4’−オクタフルオ
ロビフェニレンジカルボン酸クロリド84.6部(0.
2mol)に置き換えた以外は合成例1と同様にして、
ポリベンゾオキサゾール前駆体(F)120.8部を得
た。前駆体(F)の分子量をGPCを用いて測定した
所、23,000であった。屈折率は1.591であっ
た。
【0056】合成例7 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2部(0.2mol)を4,4’−ジアミ
ノ−3,3’−ジヒドロキシ−5,5’−トリフルオロ
メチルビフェニル70.4部(0.2mol)に置き換
えた以外は合成例1と同様にして、ポリベンゾオキサゾ
ール前駆体(G)138.1部を得た。前駆体(G)の
分子量をGPCを用いて測定した所、24,000であ
った。屈折率は1.543であった。
【0057】合成例8 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2部(0.2mol)を3,4’−ジアミ
ノ−4,3’−ジヒドロキシ−6,6’−トリフルオロ
メチルビフェニル70.4部(0.2mol)に、2,
2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ビフェ
ニレンジカルボン酸クロリド83.0部(0.2mo
l)を1,4−シクロヘキサンジカルボン酸41.8部
(0.2mol)に置き換えた以外は合成例1と同様に
して、ポリベンゾオキサゾール前駆体(H)101.0
部を得た。前駆体(H)の分子量をGPCを用いて測定
した所、22,000であった。屈折率は1.558で
あった。
【0058】合成例9 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2部(0.2mol)を2,2−ビス(3
−アミノ−4−ヒドロキシ−5−トリフルオロメチルフ
ェニル)ヘキサフルオロプロパン100.4部(0.2
mol)に、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−
4,4’−ビフェニレンジカルボン酸クロリド83.0
部(0.2mol)をオクタフルオロアジピン酸クロリ
ド65.8部(0.2mol)に置き換えた以外は合成
例1と同様にして、ポリベンゾオキサゾール前駆体
(I)149.6部を得た。前駆体(I)の分子量をG
PCを用いて測定した所、24,000であった。屈折
率は1.460であった。
【0059】合成例10 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2(0.2mol)を2,2−ビス(3−
アミノ−4−ヒドロキシ−2−トリフルオロメチルフェ
ニル)ヘキサフルオロプロパン100.4部(0.2m
ol)に、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−
4,4’−ビフェニレンジカルボン酸クロリド83.0
部(0.2mol)をアジピン酸クロリド36.6部
(0.2mol)に置き換えた以外は合成例1と同様に
して、ポリベンゾオキサゾール前駆体(J)123.3
部を得た。前駆体(J)の分子量をGPCを用いて測定
した所、24,000であった。屈折率は1.499で
あった。
【0060】合成例11 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2部(0.2mol)を2−ビス(4−ア
ミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)オクタフルオロビフ
ェニル108.8部(0.2mol)に置き換えた以外
は合成例1と同様にして、ポリベンゾオキサゾール前駆
体(K)172.6部を得た。前駆体(K)の分子量を
GPCを用いて測定した所、23,000であった。屈
折率は1.556であった。
【0061】合成例12 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2部(0.2mol)を9,9−ビス(4
−((4−アミノ−3−ヒドロキシ)フェノキシ)フェ
ニル)フルオレン76.0部(0.2mol)に置き換
えた以外は合成例1と同様にして、ポリベンゾオキサゾ
ール前駆体(L)143.1部を得た。前駆体(L)の
分子量をGPCを用いて測定した所、25,000であ
った。屈折率は1.612であった。
【0062】合成例13 2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ビ
フェニレンジカルボン酸クロリド83.0部(0.2m
ol)を2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,
4’−ビフェニレンジカルボン酸クロリド74.7部
(0.18mol)と4,4’−オキシビス安息香酸部
5.9(0.02mol)の混合物に置き換えた以外
は、合成例1と同様にして、ポリベンゾオキサゾール前
駆体(M)104.2部を得た。前駆体(M)の分子量
をGPCを用いて測定した所、24,000であった。
屈折率は1.566であった。
【0063】合成例14 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2部(0.2mol)を1−トリフルオロ
メチル−2,6−ジアミノ−3,5−ジヒドロキシフル
オロベンゼン45.2部(0.2mol)に、2,2’
−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ビフェニレ
ンジカルボン酸クロリド83.0部(0.2mol)を
2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ビ
フェニレンジカルボン酸クロリド74.7部(0.18
mol)と4,4’−オキシビス安息香酸部5.9
(0.02mol)の混合物の混合物に置き換えた以外
は合成例1と同様にして、ポリベンゾオキサゾール前駆
体(N)113.2部を得た。前駆体(N)の分子量を
GPCを用いて測定した所、21,000であった。屈
折率は1.547であった。
【0064】合成例15 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2部(0.2mol)を2,2−ビス(3
−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプ
ロパン73.2部(0.2mol)に、2,2’−ビス
(トリフルオロメチル)−4,4’−ビフェニレンジカ
ルボン酸クロリド83.0部(0.2mol)を1−ト
リフルオロメチルナフタレン−2,6−ジカルボン酸ク
ロリド57.8部(0.18mol)と4,4’−オキ
シビス安息香酸部5.9(0.02mol)の混合物に
置き換えた以外は、合成例1と同様にして、ポリベンゾ
オキサゾール前駆体(O)123.2部を得た。前駆体
(O)の分子量をGPCを用いて測定した所、25,0
00であった。屈折率は1.568であった。
【0065】合成例16 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2(0.2mol)を2,7−ジアミノ−
3,6−ジヒドロキシテトラフルオロナフタレン52.
4部(0.2mol)に、2,2’−ビス(トリフルオ
ロメチル)−4,4’−ビフェニレンジカルボン酸クロ
リド83.0部(0.2mol)を2,2’−ビス(ト
リフルオロメチル)−4,4’−ビフェニレンジカルボ
ン酸クロリド74.7部(0.18mol)と4,4’
−オキシビス安息香酸部5.9(0.02mol)の混
合物に置き換えた以外は合成例1と同様にして、ポリベ
ンゾオキサゾール前駆体(P)119.7部を得た。前
駆体(P)の分子量をGPCを用いて測定した所、2
5,000であった。屈折率は1.565であった。
【0066】合成例17 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2(0.2mol)を1−トリフルオロメ
チル−3,6−ジアミノ−2,7−ジヒドロキシナフタ
レン41.6部(0.2mol)に、2,2’−ビス
(トリフルオロメチル)−4,4’−ビフェニレンジカ
ルボン酸クロリド83.0部(0.2mol)を2,
2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ビフェ
ニレンジカルボン酸クロリド74.7部(0.18mo
l)と4,4’−オキシビス安息香酸部5.9(0.0
2mol)の混合物に置き換えた以外は合成例1と同様
にして、ポリベンゾオキサゾール前駆体(Q)110.
0部を得た。前駆体(Q)の分子量をGPCを用いて測
定した所、24,000であった。屈折率は1.570
であった。
【0067】合成例18 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2部(0.2mol)をビス(3−アミノ
−4−ヒドロキシフェニル)スルフィド49.6部
(0.2mol)に、2,2’−ビス(トリフルオロメ
チル)−4,4’−ビフェニレンジカルボン酸クロリド
83.0部(0.2mol)を4,4’−オクタフルオ
ロビフェニレンジカルボン酸クロリド76.1部(0.
18mol)に置き換えた以外は合成例1と同様にし
て、ポリベンゾオキサゾール前駆体(R)118.5部
を得た。前駆体(R)の分子量をGPCを用いて測定し
た所、25,000であった。屈折率は1.597であ
った。
【0068】合成例19 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2部(0.2mol)を4,4’−ジアミ
ノ−3,3’−ジヒドロキシ−5,5’−トリフルオロ
メチルビフェニル70.4部(0.2mol)に、2,
2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ビフェ
ニレンジカルボン酸クロリド83.0部(0.2mo
l)を2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,
4’−ビフェニレンジカルボン酸クロリド74.7部
(0.18mol)と4,4’−オキシビス安息香酸部
5.9(0.02mol)の混合物に置き換えた以外は
合成例1と同様にして、ポリベンゾオキサゾール前駆体
(S)135.9部を得た。前駆体(S)の分子量をG
PCを用いて測定した所、26,000であった。屈折
率は1.549であった。
【0069】合成例20 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2部(0.2mol)を3,4’−ジアミ
ノ−4,3’−ジヒドロキシ−6,6’−トリフルオロ
メチルビフェニル70.4部(0.2mol)に、2,
2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ビフェ
ニレンジカルボン酸クロリド83.0部(0.2mo
l)を1,4−シクロヘキサンジカルボン酸37.6部
(0.18mol)と4,4’−オキシビス安息香酸部
5.9(0.02mol)の混合物に置き換えた以外は
合成例1と同様にして、ポリベンゾオキサゾール前駆体
(T)102.5部を得た。前駆体(T)の分子量をG
PCを用いて測定した所、23,000であった。屈折
率は1.564であった。
【0070】合成例21 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2部(0.2mol)を2,2−ビス(3
−アミノ−4−ヒドロキシ−5−トリフルオロメチルフ
ェニル)ヘキサフルオロプロパン100.4部(0.2
mol)に、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−
4,4’−ビフェニレンジカルボン酸クロリド83.0
部(0.2mol)をオクタフルオロアジピン酸クロリ
ド59.2部(0.18mol)と4,4’−オキシビ
ス安息香酸部5.9(0.02mol)の混合物に置き
換えた以外は合成例1と同様にして、ポリベンゾオキサ
ゾール前駆体(U)149.0部を得た。前駆体(U)
の分子量をGPCを用いて測定した所、24,000で
あった。屈折率は1.466であった。
【0071】合成例22 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2(0.2mol)を2,2−ビス(3−
アミノ−4−ヒドロキシ−2−トリフルオロメチルフェ
ニル)ヘキサフルオロプロパン100.4部(0.2m
ol)に、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−
4,4’−ビフェニレンジカルボン酸クロリド83.0
部(0.2mol)をアジピン酸クロリド32.9部
(0.18mol)と4,4’−オキシビス安息香酸部
5.9(0.02mol)の混合物に置き換えた以外は
合成例1と同様にして、ポリベンゾオキサゾール前駆体
(V)125.3部を得た。前駆体(V)の分子量をG
PCを用いて測定した所、25,000であった。屈折
率は1.505であった。
【0072】合成例23 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2部(0.2mol)を2−ビス(4−ア
ミノ−3−ヒドロキシフェノキシ)オクタフルオロビフ
ェニル108.8部(0.2mol)に、2,2’−ビ
ス(トリフルオロメチル)−4,4’−ビフェニレンジ
カルボン酸クロリド83.0部(0.2mol)を2,
2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ビフェ
ニレンジカルボン酸クロリド74.7部(0.18mo
l)と4,4’−オキシビス安息香酸部5.9(0.0
2mol)の混合物に置き換えた以外は合成例1と同様
にして、ポリベンゾオキサゾール前駆体(W)170.
5部を得た。前駆体(W)の分子量をGPCを用いて測
定した所、24,000であった。屈折率は1.562
であった。
【0073】合成例24 1,3−ジアミノ−4,6−ジヒドロキシジフルオロベ
ンゼン35.2部(0.2mol)を9,9−ビス(4
−((4−アミノ−3−ヒドロキシ)フェノキシ)フェ
ニル)フルオレン76.0部(0.2mol)に、2,
2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ビフェ
ニレンジカルボン酸クロリド83.0部(0.2mo
l)を2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,
4’−ビフェニレンジカルボン酸クロリド74.7部
(0.18mol)と4,4’−オキシビス安息香酸部
5.9(0.02mol)の混合物に置き換えた以外は
合成例1と同様にして、ポリベンゾオキサゾール前駆体
(X)140.9部を得た。前駆体(X)の分子量をG
PCを用いて測定した所、25,000であった。屈折
率は1.618であった。
【0074】実施例1 光導波路の製造;合成例1で合成したポリベンゾオキサ
ゾールの前駆体(A)をスピンコート法により、シリコ
ン基板上に塗布して成膜した。形成した薄膜は、320
℃で1時間加熱することにより硬化し、下部クラッド層
とした。次いで、この上に合成例6で合成したポリベン
ゾオキサゾールの前駆体(M)を用いて、コア層をスピ
ンコート法により形成した。下部クラッド膜とコア膜の
間でインターミキシングはまったく認められなかった。
形成したコア層は320℃で1時間加熱することにより
硬化した。
【0075】次に、このコア層上に膜厚0.3μmのア
ルミニウム層を蒸着し、マスク層を形成した。次にこの
アルミニウム層上にポジ型フォトレジスト(ジアゾナフ
トキノン−ノボラック樹脂系、東京応化製、商品名OF
PR−800)をスピンコート法により塗布した後約9
5℃でプリベークを行った。次に、パターン形成用のフ
ォトマスク(Ti)を、超高圧水銀ランプを用いて紫外線
を照射した後、ポジ型レジスト用現像液(TMAH2.
38%:テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶
液、東京応化製、商品名NMD−3)を用いて現像し
た。その後、135℃でポストベークを行った。これに
より線幅7μmを有する直線状のレジストパターンが得
られた。次に、アルミニウムのウエットエッチングを行
い、レジストパターンをアルミニウム層に転写した。更
にパターニングされたアルミニウムをマスクとして、コ
ア層のポリベンゾオキサゾールをドライエッチングによ
り加工した。次に、ポリベンゾオキサゾールの上層にあ
るアルミニウムをエッチング液で除去した。更に、この
上に下部クラッド層と同じポリベンゾオキサゾールの前
駆体(A)をスピンコートにより塗布した。この塗膜を
320℃で1時間熱処理して、上部クラッドを形成し
た。最後に、光導波路の両端をダイシングソーで切り落
として、光の入出射端面を形成した。このようにして、
シリコン基板上に、埋め込み型シングルモード光導波路
が得られた。
【0076】上記で得られた埋め込み型シングルモード
光導波路の伝播損失をカットバック法で測定したとこ
ろ、波長1.3μmで0.3dB/cm、1.55μmで
0.3dB/cmであった。この光導波路の伝播損失は
75℃/相対湿度90%の条件以下においても1ヶ月以
上変動しなかった。
【0077】実施例2〜12は表−1の組み合わせで実
施例1と同様にして行った。また、評価結果を表−1に
示す。
【0078】比較例1 2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ジ
アミノビフェニル64.0部(0.2mol)とピロメ
リット酸二無水物43.6部(0.2mol)、及びジ
メチルアセトアミド358.7部に溶解させ窒素雰囲気
下、室温で1日間撹拌し反応させ、ポリアミド酸(Y)
を得た。このポリアミド酸の分子量を、GPCを用いて
測定した所、54,000であった。屈折率は1.52
3であった。次いで、2、2’−ビス(トリフルオロメ
チル)−4,4’−ジアミノビフェニル64.0部
(0.2mol)とピロメリット酸二無水物39.2部
(0.18mol)と4,4’−ジアミノフェニルエー
テル4.0部(0.02mol)及びジメチルアセトア
ミド357.3部に溶解させ窒素雰囲気下、室温で1日
間撹拌し反応させ、ポリアミド酸(Z)を得た。このポ
リアミド酸の分子量をGPCを用いて測定した所、5
1,000であった。屈折率は1.529であった。上
記で得られたポリアミド酸(Z)をコア層に、ポリアミ
ド酸(Y)を上部及び下部クラッド層に用いて、これら
以外は、実施例1と同様にして、埋め込み型シングルモ
ード光導波路を作製し、評価した。結果を表−1に示
す。
【0079】
【表1】
【0080】
【発明の効果】本発明によれば、電気特性、耐熱性、及
び透明性に優れ、低価格で、大面積化を実現することが
でき、特に、光通信に利用される近赤外波長領域で透明
度が高く、光損失の小さい光導波路の製造方法を提供で
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による埋め込み型光導波路の作成方法の
一例を示す工程図である。
【符号の説明】
1 基板 2 下部クラッド層 3 コア層 4 コアパターンを形成するためのマスク層 5 レジスト層 6 上部クラッド層
フロントページの続き Fターム(参考) 2H047 KA04 PA02 PA15 PA24 PA28 QA05 TA11 TA41 4J043 PA02 PA04 PA19 PC145 PC146 QB15 QB34 RA52 SA06 SA42 SA44 SA46 SA47 SA52 SA54 SA71 SB01 SB02 TA12 TA42 TA47 TA66 TA68 TA71 TB01 TB02 UA042 UA121 UA122 UA131 UA132 UA142 UA151 UA152 UA161 UA162 UA171 UA181 UA182 UA761 UA762 UA771 UA772 UB021 UB022 UB061 UB062 UB122 UB131 UB132 UB141 UB142 UB151 UB152 UB281 UB282 UB301 UB302 VA011 VA012 VA021 VA022 VA041 VA042 VA051 VA052 VA061 VA062 VA081 VA082 VA091 VA092 VA101 VA102 XA08 XA14 YA02 YA06 YA22 YA23 ZA12 ZA41 ZA52 ZB21

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一般式(1)で表される構造を有するポ
    リベンゾオキサゾール前駆体をクラッド材料及びコア材
    料として用い、該クラッド材料により下部クラッド層を
    形成し硬化した後に、下部クラッド層上に、該コア材料
    によりコア層を形成し硬化し、該コア層をフォトリソグ
    ラフィとドライエッチングにより加工してコアを形成す
    ることを特徴とするプラスチック光導波路の製造方法。 【化1】 (但し、式中のmおよびnは、m>0、n≧0、2≦m
    +n≦1000、および0.05≦m/(m+n)≦1
    を満たす整数である。また、R1〜R4は、水素原子また
    は一価の有機基である。)
  2. 【請求項2】 コア及び下部クラッド層の露出面上に、
    クラッド材料により、上部クラッド層を形成し硬化して
    上部クラッドを形成する請求項1記載のプラスチック光
    導波路の製造方法。
  3. 【請求項3】 ポリベンゾオキサゾール前駆体が、一般
    式(1)中のXとして、一般式(2)〜(7)で表され
    る基の中から選ばれる4価の基を有するものである、請
    求項1または請求項2記載のプラスチック光導波路の製
    造方法。 【化2】 【化3】 【化4】 【化5】 【化6】 【化7】 (式(2)〜(7)で表される構造中、ベンゼン環上の
    水素原子は、メチル基、フッ素原子、トリフルオロメチ
    ル基および塩素原子の中から選ばれる、少なくとも1個
    の基で置換されていても良い。Z1は、単結合または一
    般式(8)〜(10)の中より選ばれる基を表す。) 【化8】 【化9】 (式(9)中、aは1〜5までの整数を表す。) 【化10】 (式(9)、式(10)で表される構造中、ベンゼン環
    上の水素原子は、メチル基、フッ素原子、トリフルオロ
    メチル基および塩素原子の中から選ばれる、少なくとも
    1個の基で置換されていても良い。)
  4. 【請求項4】 ポリベンゾオキサゾール前駆体が、一般
    式(1)中のY1、Y2として、一般式(11)〜(1
    3)の中から選ばれる2価の基を有するものである、請
    求項1〜3のいずれかに記載のプラスチック光導波路用
    の製造方法。 【化11】 【化12】 【化13】 (式(13)中、i,j,kは2〜10までの整数を表
    す。) 【化14】 (式(11)、式(12)、式(14)で表される構造
    中、ベンゼン環上の水素原子は、メチル基、、フッ素原
    子、トリフルオロメチル基および塩素原子の中から選ば
    れる、少なくとも1個の基で置換されていても良い。Z
    2は、単結合または一般式(15)〜(16)の中より
    選ばれる基を表す。) 【化15】 【化16】 (式(16)中、bは1〜5までの整数を表す。) 【化17】 (式(16)、式(17)で表される構造中、ベンゼン
    環上の水素原子は、メチル基、フッ素原子、トリフルオ
    ロメチル基および塩素原子の中から選ばれる、少なくと
    も1個の基で置換されていても良い。)
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2017111299A1 (ko) * 2015-12-24 2017-06-29 주식회사 두산 접착력이 향상된 폴리아믹산 조성물 및 이를 포함하는 폴리이미드 필름

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