JP2003290755A - 廃プリント基板の処理方法 - Google Patents
廃プリント基板の処理方法Info
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- Processing Of Solid Wastes (AREA)
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 廃プリント基板は焼却炉において樹脂成分を
気化する方式で燃焼により炉の温度が高くならないよう
導入する燃焼空気量をできるだけ抑え、不完全燃焼状態
で焼却しているが、有害なダイオキシン類が発生し又、
貴金属類の回収率が悪く、貴金属類の酸化、揮発飛散を
生じていた。 【解決手段】 廃プリント基板を最適な温度条件下、水
蒸気雰囲気中で且つ無酸素状態で加熱処理し、ダイオキ
シン類の発生を抑制すると共に回収する貴金属類の酸
化、揮発飛散を防止し回収率を向上させた。
気化する方式で燃焼により炉の温度が高くならないよう
導入する燃焼空気量をできるだけ抑え、不完全燃焼状態
で焼却しているが、有害なダイオキシン類が発生し又、
貴金属類の回収率が悪く、貴金属類の酸化、揮発飛散を
生じていた。 【解決手段】 廃プリント基板を最適な温度条件下、水
蒸気雰囲気中で且つ無酸素状態で加熱処理し、ダイオキ
シン類の発生を抑制すると共に回収する貴金属類の酸
化、揮発飛散を防止し回収率を向上させた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、廃プリント基板、
所謂プラスチック系廃棄物から有価物を回収する廃棄物
のマテリアルリサイクルシステムに関する。
所謂プラスチック系廃棄物から有価物を回収する廃棄物
のマテリアルリサイクルシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】廃プリント基板には金や銅に金メッキし
たものがガラス繊維を樹脂で固めた基板上にプリント配
線されており、又、基板に付着しているコンデンサ−や
コネクタ−には基板と同様に金、銀、銅、プラチナ等の
貴金属が使用されていることから、 廃プリント基板か
ら貴金属類を回収する方法として従来、焼却炉によって
廃プリント基板を直接焼却処理し、残った残渣より貴金
属類を回収していた。
たものがガラス繊維を樹脂で固めた基板上にプリント配
線されており、又、基板に付着しているコンデンサ−や
コネクタ−には基板と同様に金、銀、銅、プラチナ等の
貴金属が使用されていることから、 廃プリント基板か
ら貴金属類を回収する方法として従来、焼却炉によって
廃プリント基板を直接焼却処理し、残った残渣より貴金
属類を回収していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】廃プリント基板は、焼
却炉において樹脂成分を気化する方式で、燃焼によって
炉の温度が高くならないように導入する燃焼空気量をで
きる限り少なく抑え、空気不足による不完全燃焼の状態
で運転することにより回収する貴金属類の酸化や揮発飛
散を少なくしていた。
却炉において樹脂成分を気化する方式で、燃焼によって
炉の温度が高くならないように導入する燃焼空気量をで
きる限り少なく抑え、空気不足による不完全燃焼の状態
で運転することにより回収する貴金属類の酸化や揮発飛
散を少なくしていた。
【０００４】一方、有害ガスのダイオキシン類の発生は
焼却時の不完全燃焼に起因すると言われており、ダイオ
キシン類の法規制が厳しくなるに従って、焼却炉での処
理そのものが困難になっている。
焼却時の不完全燃焼に起因すると言われており、ダイオ
キシン類の法規制が厳しくなるに従って、焼却炉での処
理そのものが困難になっている。
【０００５】上記の方法によると、燃焼空気が供給され
た部分は極端に温度が高くなり貴金属類の酸化・揮発飛
散が起こるため回収の歩留りが悪いばかりか重金属類が
高温によって揮発飛散する問題があった。
た部分は極端に温度が高くなり貴金属類の酸化・揮発飛
散が起こるため回収の歩留りが悪いばかりか重金属類が
高温によって揮発飛散する問題があった。
【０００６】本発明は、廃プリント基板を最適な温度条
件下で且つ、水蒸気雰囲気中で無酸素状態で加熱処理す
ることにより、ダイオキシン類の発生を抑制し、更に回
収する貴金属類の酸化、揮発飛散を防ぎ貴金属類の回収
率を高めた処理方法を提供することを目的とする。
件下で且つ、水蒸気雰囲気中で無酸素状態で加熱処理す
ることにより、ダイオキシン類の発生を抑制し、更に回
収する貴金属類の酸化、揮発飛散を防ぎ貴金属類の回収
率を高めた処理方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明による廃プリント
基板の処理方法は、熱分解室に廃プリント基板を投入し
た後、熱分解室に過熱水蒸気を導入し、投入時入った空
気を追い出しながら、室内に装備した加熱管により間接
的に室内の温度を上げることによって廃プリント基板を
加熱処理する。
基板の処理方法は、熱分解室に廃プリント基板を投入し
た後、熱分解室に過熱水蒸気を導入し、投入時入った空
気を追い出しながら、室内に装備した加熱管により間接
的に室内の温度を上げることによって廃プリント基板を
加熱処理する。
【０００８】水蒸気雰囲気により無酸素の状態で廃プリ
ント基板を加熱処理することによりダイオキシン類の発
生を抑制すると共に回収する貴金属類の酸化、揮発飛散
を防止し、回収率を高めることを特徴とするものであ
る。
ント基板を加熱処理することによりダイオキシン類の発
生を抑制すると共に回収する貴金属類の酸化、揮発飛散
を防止し、回収率を高めることを特徴とするものであ
る。
【０００９】揮発飛散し易い重金属類（有害物質）の揮
発飛散防止を目的として熱分解室の室内温度より高い過
熱水蒸気を導入し、過熱水蒸気で廃プリント基板を加熱
処理することにより、揮発した重金属類は熱分解室の温
度が低いため蒸縮して室内に止まることを特徴とする。
発飛散防止を目的として熱分解室の室内温度より高い過
熱水蒸気を導入し、過熱水蒸気で廃プリント基板を加熱
処理することにより、揮発した重金属類は熱分解室の温
度が低いため蒸縮して室内に止まることを特徴とする。
【００１０】熱分解室の温度が３００〜７５０℃、加熱
蒸気の温度が４００℃以上であることが好ましい。
蒸気の温度が４００℃以上であることが好ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、以下図面
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【００１２】図１は、本発明の廃プリント基板の処理方
法を示すフロ−チャ−ト図であり、図２は本発明の処理
を行うための廃プリント基板の処理装置を示している。
法を示すフロ−チャ−ト図であり、図２は本発明の処理
を行うための廃プリント基板の処理装置を示している。
【００１３】図１に示すように、本発明の廃プリント基
板の処理方法は、基板のみのもの或いはコンデンサ−や
コネクタ−が基板に付着したものを熱分解室に投入す
る。
板の処理方法は、基板のみのもの或いはコンデンサ−や
コネクタ−が基板に付着したものを熱分解室に投入す
る。
【００１４】水或いは飽和蒸気を廃熱ボイラ−に送り、
廃熱を利用して４００℃以上の過熱水蒸気を作り、この
加熱蒸気を熱分解室に導入すると共に熱分解室内に装備
した加熱管により間接的に熱分解室の温度を徐々に設定
温度まで昇温させる。設定温度に昇温後、約１〜３時間
保持する。樹脂の気化は熱分解室温度約１５０℃で始ま
り、温度が高くなるに従って気化率は大きくなる。
廃熱を利用して４００℃以上の過熱水蒸気を作り、この
加熱蒸気を熱分解室に導入すると共に熱分解室内に装備
した加熱管により間接的に熱分解室の温度を徐々に設定
温度まで昇温させる。設定温度に昇温後、約１〜３時間
保持する。樹脂の気化は熱分解室温度約１５０℃で始ま
り、温度が高くなるに従って気化率は大きくなる。
【００１５】投入時に入った空気は樹脂成分の気化が始
まる前に加熱蒸気によって脱臭室に追い出され熱分解室
は水蒸気雰囲気の無酸素状態となる。
まる前に加熱蒸気によって脱臭室に追い出され熱分解室
は水蒸気雰囲気の無酸素状態となる。
【００１６】樹脂成分の気化ガスは次室の脱臭室に設け
られたバ−ナ−によって燃焼する。又、脱臭室は出口温
度８００℃以上に設定し、燃焼廃ガスの滞留時間を２秒
以上に設定することによって完全燃焼させた後、廃熱ボ
イラ−に送り、廃熱を回収する。
られたバ−ナ−によって燃焼する。又、脱臭室は出口温
度８００℃以上に設定し、燃焼廃ガスの滞留時間を２秒
以上に設定することによって完全燃焼させた後、廃熱ボ
イラ−に送り、廃熱を回収する。
【００１７】ダイオキシン類は塩化水素、未燃カ−ボ
ン、空気の三要素によって生成されるが熱分解室は水蒸
気雰囲気の無酸素状態であり、ダイオキシン類は生成し
ない。
ン、空気の三要素によって生成されるが熱分解室は水蒸
気雰囲気の無酸素状態であり、ダイオキシン類は生成し
ない。
【００１８】又、熱分解室は回収する貴金属類が揮発し
ない温度領域で運転されることから貴金属類の酸化や揮
発飛散がなく貴金属類の回収率が高くなる。
ない温度領域で運転されることから貴金属類の酸化や揮
発飛散がなく貴金属類の回収率が高くなる。
【００１９】揮発飛散し易い鉛等の重金属（有害物質）
の揮発飛散を防止するため熱分解室内の温度をできるだ
け低く抑え、過熱水蒸気温度を熱分解室温度より高く
し、過熱水蒸気によって廃プリント基板を加熱処理する
ことによって、過熱水蒸気で揮発した重金属が室内の温
度が低いため蒸縮して室内に止まり、これを樹脂成分が
気化した後の残渣と共に回収する。
の揮発飛散を防止するため熱分解室内の温度をできるだ
け低く抑え、過熱水蒸気温度を熱分解室温度より高く
し、過熱水蒸気によって廃プリント基板を加熱処理する
ことによって、過熱水蒸気で揮発した重金属が室内の温
度が低いため蒸縮して室内に止まり、これを樹脂成分が
気化した後の残渣と共に回収する。
【００２０】熱分解終了後の残渣は、樹脂成分が気化
し、ガラス繊維に金属類が軽く付着した状態になる。こ
の残渣を粉砕した後、鉱山の精錬所に送り、従来の金や
銅の精錬工程にかけて貴金属類、重金属を回収する。
し、ガラス繊維に金属類が軽く付着した状態になる。こ
の残渣を粉砕した後、鉱山の精錬所に送り、従来の金や
銅の精錬工程にかけて貴金属類、重金属を回収する。
【００２１】図２に示すように廃プリント基板処理装置
は過熱水蒸気によって樹脂成分を気化する熱分解室１
と、気化ガスを燃焼し、酸化脱臭する脱臭室２と、脱臭
室２の燃焼排ガスの廃熱を回収する廃熱ボイラ−３、燃
焼排ガス中の有害物質である臭素ガスや塩化水素を除去
する排ガス処理装置４とを備えている。
は過熱水蒸気によって樹脂成分を気化する熱分解室１
と、気化ガスを燃焼し、酸化脱臭する脱臭室２と、脱臭
室２の燃焼排ガスの廃熱を回収する廃熱ボイラ−３、燃
焼排ガス中の有害物質である臭素ガスや塩化水素を除去
する排ガス処理装置４とを備えている。
【００２２】熱分解室１は鋼板のケ−シング５と、その
外側を覆う断熱材６によって構成される。又、内部には
加熱管７及び過熱水蒸気管８とを備えている。又、底部
には廃プリント基板が入ったコンテナ９を載せる台車１
０用のレ−ル１１が敷設されている。
外側を覆う断熱材６によって構成される。又、内部には
加熱管７及び過熱水蒸気管８とを備えている。又、底部
には廃プリント基板が入ったコンテナ９を載せる台車１
０用のレ−ル１１が敷設されている。
【００２３】廃プリント基板はコンテナ９に入れられた
状態でフォ−クリフト１２等を用いて架台１３のレ−ル
１４に載せられ、フォ−クリフト１２の爪によって押し
込まれる。又、各台車１０は熱分解室１に押し込まれる
前に連結される。尚、コンテナ９は金網又は多孔板で構
成され、台車１０頂板も多孔板又はアングル材等で骨の
みで構成される。
状態でフォ−クリフト１２等を用いて架台１３のレ−ル
１４に載せられ、フォ−クリフト１２の爪によって押し
込まれる。又、各台車１０は熱分解室１に押し込まれる
前に連結される。尚、コンテナ９は金網又は多孔板で構
成され、台車１０頂板も多孔板又はアングル材等で骨の
みで構成される。
【００２４】廃プリント基板はコンテナ９に入れられ、
コンテナ９を載せた台車１０と共に熱分解室１に押し込
まれる。コンテナ９を及び台車１０が押し込まれた後、
熱分解室の扉１５を密閉する。
コンテナ９を載せた台車１０と共に熱分解室１に押し込
まれる。コンテナ９を及び台車１０が押し込まれた後、
熱分解室の扉１５を密閉する。
【００２５】扉１５を密閉後、熱分解室１内の加熱管７
の片端の内部に装備したバ−ナ−１６を点火する。
の片端の内部に装備したバ−ナ−１６を点火する。
【００２６】加熱管７の片端内部に装備した熱分解室バ
−ナ−１６の火炎及び燃焼排ガスによって加熱された加
熱管７の輻射熱によって熱分解室１の室内温度が昇温す
る。
−ナ−１６の火炎及び燃焼排ガスによって加熱された加
熱管７の輻射熱によって熱分解室１の室内温度が昇温す
る。
【００２７】廃プリント基板の樹脂成分は１５０℃以上
で気化し始めるが、この前に過熱水蒸気を熱分解室１に
導入し、過熱水蒸気によって廃プリント基板の樹脂成分
の投入時及び排出時に入った室内の空気を過熱水蒸気と
共に、脱臭室２側に排気する。
で気化し始めるが、この前に過熱水蒸気を熱分解室１に
導入し、過熱水蒸気によって廃プリント基板の樹脂成分
の投入時及び排出時に入った室内の空気を過熱水蒸気と
共に、脱臭室２側に排気する。
【００２８】水或いは飽和蒸気は廃熱ボイラ−３によっ
て４００℃以上の過熱水蒸気となり、熱分解室１に導入
される。熱分解室１には、室内側壁部及び底部に、数個
〜数百個の蒸気ノズル１７を持った蒸気管１８が装備さ
れている。
て４００℃以上の過熱水蒸気となり、熱分解室１に導入
される。熱分解室１には、室内側壁部及び底部に、数個
〜数百個の蒸気ノズル１７を持った蒸気管１８が装備さ
れている。
【００２９】又、蒸気ノズル１７は、廃プリント基板の
入ったコンテナ９に向けて配置されている。蒸気ノズル
１７より噴射された過熱水蒸気は、金網や多孔板で作ら
れたコンテナ９及アングル材等で骨のみ作られた台車１
０を貫通して廃プリント基板に到達する。廃プリント基
板にはコンデンサ−やコネクタ−が付着しており、各廃
プリント基板の間に隙間があり、過熱水蒸気はこの間隙
をぬってコンテナ９の中心部まで容易に到達する。過熱
水蒸気によって廃プリント基板の樹脂成分が気化し、脱
臭室２側に緩やかに排気される。又、半田（鉛）等の重
金属の一部が揮発するが、過熱水蒸気より熱分解室１の
室内温度を低く設定することによって一旦、揮発した重
金属類は熱分解室１内の温度が低いため、蒸縮して熱分
解室１内に止まることになる。
入ったコンテナ９に向けて配置されている。蒸気ノズル
１７より噴射された過熱水蒸気は、金網や多孔板で作ら
れたコンテナ９及アングル材等で骨のみ作られた台車１
０を貫通して廃プリント基板に到達する。廃プリント基
板にはコンデンサ−やコネクタ−が付着しており、各廃
プリント基板の間に隙間があり、過熱水蒸気はこの間隙
をぬってコンテナ９の中心部まで容易に到達する。過熱
水蒸気によって廃プリント基板の樹脂成分が気化し、脱
臭室２側に緩やかに排気される。又、半田（鉛）等の重
金属の一部が揮発するが、過熱水蒸気より熱分解室１の
室内温度を低く設定することによって一旦、揮発した重
金属類は熱分解室１内の温度が低いため、蒸縮して熱分
解室１内に止まることになる。
【００３０】熱分解室１内の温度が３００〜７５０℃に
到達後、約１〜３時間この温度を保持することによって
廃プリント基板の樹脂成分は略完全に気化することにな
る。尚、保持時間は熱分解室１内の温度が低いほど長く
とる必要がある。
到達後、約１〜３時間この温度を保持することによって
廃プリント基板の樹脂成分は略完全に気化することにな
る。尚、保持時間は熱分解室１内の温度が低いほど長く
とる必要がある。
【００３１】樹脂成分の気化完了後、加熱管７に内装し
たバ−ナ−１６を停止し、熱分解室１内の温度が下がる
のを待って、熱分解室の扉１５を開き、廃プリント基板
が入ったコンテナ９を台車１０ごと取り出し、輸送経費
を下げる目的で、これを粉砕機或いは破砕機にかけて容
積を小さくし、袋詰めや箱詰めした後、鉱山の製錬所に
送り貴金属、重金属を回収する。
たバ−ナ−１６を停止し、熱分解室１内の温度が下がる
のを待って、熱分解室の扉１５を開き、廃プリント基板
が入ったコンテナ９を台車１０ごと取り出し、輸送経費
を下げる目的で、これを粉砕機或いは破砕機にかけて容
積を小さくし、袋詰めや箱詰めした後、鉱山の製錬所に
送り貴金属、重金属を回収する。
【００３２】気化ガスは可燃性で臭気が激しいことか
ら、熱分解室１に加熱水蒸気を導入する前に、脱臭室２
に装備した脱臭室バ−ナ１９を起動し、脱臭室２の出口
温度が８００℃にに昇温した後、加熱水蒸気を導入す
る。
ら、熱分解室１に加熱水蒸気を導入する前に、脱臭室２
に装備した脱臭室バ−ナ１９を起動し、脱臭室２の出口
温度が８００℃にに昇温した後、加熱水蒸気を導入す
る。
【００３３】熱分解室１より、脱臭室２に排気された気
化ガスは、脱臭室２において安全に焼却処理され、燃焼
排ガスとして廃熱ボイラ−３に送られる。
化ガスは、脱臭室２において安全に焼却処理され、燃焼
排ガスとして廃熱ボイラ−３に送られる。
【００３４】加熱水蒸気の使用量等によって、廃熱ボイ
ラ−３において水から４００℃以上の過熱水蒸気を作る
場合と、飽和蒸気を廃熱ボイラ−３に導入し、４００℃
以上の過熱水蒸気を作る場合の２ケ−スがあるが、過熱
水蒸気の使用目的は同一である。
ラ−３において水から４００℃以上の過熱水蒸気を作る
場合と、飽和蒸気を廃熱ボイラ−３に導入し、４００℃
以上の過熱水蒸気を作る場合の２ケ−スがあるが、過熱
水蒸気の使用目的は同一である。
【００３５】又、過熱水蒸気を別置きのボイラ−によっ
て作る場合もあるが、これも本発明の主旨から外れるも
のではない。
て作る場合もあるが、これも本発明の主旨から外れるも
のではない。
【００３６】燃焼排ガスには、若干の臭素ガス、塩化水
素ガス等の有害ガスが含まれており、安全、無害の状態
にするため排ガス処理装置を装備する。
素ガス等の有害ガスが含まれており、安全、無害の状態
にするため排ガス処理装置を装備する。
【００３７】燃焼排ガスは排ガス処理装置を経由して大
気に排出される。
気に排出される。
【００３８】
【発明の効果】本発明の廃プリント基板の処理による
と、廃プリント基板を無酸素状態下で加熱処理すること
から、猛毒であるダイオキシン類が発生しないこと。
と、廃プリント基板を無酸素状態下で加熱処理すること
から、猛毒であるダイオキシン類が発生しないこと。
【００３９】回収すべき貴金属の沸点以下の温度で加熱
することにより、貴金属が酸化、揮発することがなく、
良質な状態で回収され、回収率も大幅に向上した。
することにより、貴金属が酸化、揮発することがなく、
良質な状態で回収され、回収率も大幅に向上した。
【００４０】揮発した鉛等の重金属を熱分解室にて捕捉
し、これを熱分解後の残渣と一緒に精錬工程にかけるこ
とによって回収が可能となり、有害物質を排出すること
なしに、良質な貴金属の回収と回収率の大幅な向上が得
られるようになった。
し、これを熱分解後の残渣と一緒に精錬工程にかけるこ
とによって回収が可能となり、有害物質を排出すること
なしに、良質な貴金属の回収と回収率の大幅な向上が得
られるようになった。
【図１】 本発明による廃プリント基板の処理方法を示
すフロ−チャ−ト図。
すフロ−チャ−ト図。
【図２】 本発明による廃プリント基板の処理方法を実
施する廃プリント基板の処理装置の概略構成図。
施する廃プリント基板の処理装置の概略構成図。
【図３】 本発明による廃プリント基板の処理方法を実
施する廃プリント基板の処理装置の概略構成図。
施する廃プリント基板の処理装置の概略構成図。
１ 熱分解室 ２ 脱臭室 ３ 廃熱ボイラ−
４ 排ガス処理装置 ５ 分解室ケ−シング ６ 熱分解室断熱材 ７
加熱管 ８ 過熱水蒸気管 ９ コンテナ− １０ 台車
１１ 熱分解室レ−ル １２ ホ−クリフト １３ 架台 １４ 架台用レ
−ル １５ 熱分解室の扉 １６ 熱分解室のバ−ナ−
１７ 蒸気ノズル １８ 蒸気管 １９脱臭室のバ−ナ−
４ 排ガス処理装置 ５ 分解室ケ−シング ６ 熱分解室断熱材 ７
加熱管 ８ 過熱水蒸気管 ９ コンテナ− １０ 台車
１１ 熱分解室レ−ル １２ ホ−クリフト １３ 架台 １４ 架台用レ
−ル １５ 熱分解室の扉 １６ 熱分解室のバ−ナ−
１７ 蒸気ノズル １８ 蒸気管 １９脱臭室のバ−ナ−
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１４年４月１日（２００２．４．１）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１２】図１は、本発明の廃プリント基板の処理方
法を示すフロ−チャ−ト図であり、図２及び図３は本発
明の処理を行うための廃プリント基板の処理装置を示し
ている。
法を示すフロ−チャ−ト図であり、図２及び図３は本発
明の処理を行うための廃プリント基板の処理装置を示し
ている。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 伊藤 拓仙
京都府相楽郡精華町光台１丁目７番地 け
いはんなプラザラボ棟２階
Ｆターム(参考） 4D004 AA24 AB06 AC05 BA05 CA04
CA27 CA28 CB34 CC03 DA02
DA03 DA06
4K001 AA03 AA04 AA09 AA41 BA22
DA12 DA14
Claims (3)
- 【請求項１】廃プリント基板を最適な温度条件下、水蒸
気雰囲気中で且つ無酸素状態で加熱処理し、ダイオキシ
ン類の発生を抑制すると共に回収する貴金属類の酸化、
揮発飛散を防止し、回収率の向上を計ったことを特徴と
する廃プリント基板の処理方法。 - 【請求項２】熱分解室を間接に加熱し、室内温度以上の
加熱水蒸気を室内に導入し、室内温度以上の高温蒸気を
用いて廃プリント基板を加熱することにより一旦、揮発
飛散した重金属類を室内で捕捉し、系外に排出させない
ようにした廃プリント基板の処理方法。 - 【請求項３】熱分解室の温度が３００〜７５０℃であっ
て加熱蒸気が４００℃以上である請求項１又は請求項２
記載の廃プリント基板の処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002098609A JP2003290755A (ja) | 2002-04-01 | 2002-04-01 | 廃プリント基板の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002098609A JP2003290755A (ja) | 2002-04-01 | 2002-04-01 | 廃プリント基板の処理方法 |
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