JP2003272103A - 光アシスト磁気記録ヘッドおよび光アシスト磁気記録ディスク装置 - Google Patents
光アシスト磁気記録ヘッドおよび光アシスト磁気記録ディスク装置Info
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- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
- G11B5/3133—Disposition of layers including layers not usually being a part of the electromagnetic transducer structure and providing additional features, e.g. for improving heat radiation, reduction of power dissipation, adaptations for measurement or indication of gap depth or other properties of the structure
- G11B5/314—Disposition of layers including layers not usually being a part of the electromagnetic transducer structure and providing additional features, e.g. for improving heat radiation, reduction of power dissipation, adaptations for measurement or indication of gap depth or other properties of the structure where the layers are extra layers normally not provided in the transducing structure, e.g. optical layers
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
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- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
- G11B5/6088—Optical waveguide in or on flying head
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- G11B2005/0005—Arrangements, methods or circuits
- G11B2005/0021—Thermally assisted recording using an auxiliary energy source for heating the recording layer locally to assist the magnetization reversal
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- Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型で、レーザ光の利用効率が高く、それに
より、高密度・高転送レートの記録・再生を可能とする
光アシスト磁気記録ヘッドおよび光アシスト磁気記録デ
ィスク装置を提供する。 【解決手段】 薄膜磁気記録トランスデューサ４の一対
の磁気ポール６ａ，６ｂを光導波路３のレーザ光出射口
に配置することにより、レーザ光の照射位置と磁界印加
位置が一致するため、レーザ光照射から磁界印加までの
間に加熱部が熱拡散により広がらないので、記録部分を
狭めることができ、高記録密度化が可能となる。トラン
スデューサ４の薄膜コイル４４およびヨーク４２，４３
を光導波路３の側方に配置することにより、小型化が可
能となり、光導波路３と磁気抵抗センサ５の距離を近づ
けることができ、同一トラックをトラッキングさせるこ
とが容易となる。
より、高密度・高転送レートの記録・再生を可能とする
光アシスト磁気記録ヘッドおよび光アシスト磁気記録デ
ィスク装置を提供する。 【解決手段】 薄膜磁気記録トランスデューサ４の一対
の磁気ポール６ａ，６ｂを光導波路３のレーザ光出射口
に配置することにより、レーザ光の照射位置と磁界印加
位置が一致するため、レーザ光照射から磁界印加までの
間に加熱部が熱拡散により広がらないので、記録部分を
狭めることができ、高記録密度化が可能となる。トラン
スデューサ４の薄膜コイル４４およびヨーク４２，４３
を光導波路３の側方に配置することにより、小型化が可
能となり、光導波路３と磁気抵抗センサ５の距離を近づ
けることができ、同一トラックをトラッキングさせるこ
とが容易となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光アシスト磁気記
録ヘッドおよび光アシスト磁気記録ディスク装置に関
し、特に、小型で、レーザ光の利用効率が高く、それに
より、高密度・高転送レートの記録・再生を可能とする
光アシスト磁気記録ヘッドおよび光アシスト磁気記録デ
ィスク装置に関する。
録ヘッドおよび光アシスト磁気記録ディスク装置に関
し、特に、小型で、レーザ光の利用効率が高く、それに
より、高密度・高転送レートの記録・再生を可能とする
光アシスト磁気記録ヘッドおよび光アシスト磁気記録デ
ィスク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ハード磁気記録装置（ＨＤＤ）の
記録密度は年率１００％で増大しており、実験段階で
は、６０Ｇｂｐｓｉを超えるに至っている。しかし、超
常磁性効果や、磁気ヘッドのギャップ幅の狭窄の難しさ
から、そろそろ従来型のＨＤＤの記録密度の限界が見
え、１００〜３００Ｇｂｐｓｉが限界と言われ、その限
界を超えるものとして、光アシスト磁気記録が期待され
ている。
記録密度は年率１００％で増大しており、実験段階で
は、６０Ｇｂｐｓｉを超えるに至っている。しかし、超
常磁性効果や、磁気ヘッドのギャップ幅の狭窄の難しさ
から、そろそろ従来型のＨＤＤの記録密度の限界が見
え、１００〜３００Ｇｂｐｓｉが限界と言われ、その限
界を超えるものとして、光アシスト磁気記録が期待され
ている。
【０００３】ここで、「超常磁性効果」とは、熱や隣接
磁区の磁界などにより記録磁区の磁化が乱されて記録情
報が失われていく現象である。これを防ぐには、磁化や
その異方性の大きな磁気記録媒体を使用することが一つ
の手段であるが、通常の磁気ヘッドでは記録できなくな
る。それを解決する手段として、光アシスト磁気記録が
提案されている。この「光アシスト磁気記録」は、レー
ザ光の照射により記録媒体をキュリー温度付近まで加熱
することによりその磁化を下げたところで記録する方法
である。
磁区の磁界などにより記録磁区の磁化が乱されて記録情
報が失われていく現象である。これを防ぐには、磁化や
その異方性の大きな磁気記録媒体を使用することが一つ
の手段であるが、通常の磁気ヘッドでは記録できなくな
る。それを解決する手段として、光アシスト磁気記録が
提案されている。この「光アシスト磁気記録」は、レー
ザ光の照射により記録媒体をキュリー温度付近まで加熱
することによりその磁化を下げたところで記録する方法
である。
【０００４】図８は、従来の光アシスト磁気記録ヘッド
を示す。この光アシスト磁気記録ヘッド１は、図８
（ａ）に示すように、浮上スライダ２の後端面２ａに、
光導波路３、薄膜磁気記録トランスデューサ４および磁
気抵抗センサ５を順次積層したものである。
を示す。この光アシスト磁気記録ヘッド１は、図８
（ａ）に示すように、浮上スライダ２の後端面２ａに、
光導波路３、薄膜磁気記録トランスデューサ４および磁
気抵抗センサ５を順次積層したものである。
【０００５】光導波路３は、図８（ｂ）に示すように、
コア３１と、コア３１の周囲に形成されたクラッド３２
とから構成され、光導波路３の上部に位置する半導体レ
ーザ（図示せず）から入射したレーザ光を底面まで伝送
する。コア３１は、開口３８を有する金属膜３７により
出射口が絞られ、出射されるレーザ光のサイズの微細化
が図られている。
コア３１と、コア３１の周囲に形成されたクラッド３２
とから構成され、光導波路３の上部に位置する半導体レ
ーザ（図示せず）から入射したレーザ光を底面まで伝送
する。コア３１は、開口３８を有する金属膜３７により
出射口が絞られ、出射されるレーザ光のサイズの微細化
が図られている。
【０００６】薄膜磁気記録トランスデューサ４は、誘電
体絶縁膜４５により支持される薄膜コイル４４、光導波
路３側の下部ヨーク４６、中部ヨーク４６ａ、および磁
気抵抗センサ５側の上部ヨーク４７により磁気回路を形
成する。
体絶縁膜４５により支持される薄膜コイル４４、光導波
路３側の下部ヨーク４６、中部ヨーク４６ａ、および磁
気抵抗センサ５側の上部ヨーク４７により磁気回路を形
成する。
【０００７】磁気抵抗センサ５は、スピンバルブ膜５１
とその電極５２ａ，５２ｂが誘電体絶縁膜５３ａ，５３
ｂを介して上部磁気ポール４７と磁気シールド膜５４に
挟まれた構造である。
とその電極５２ａ，５２ｂが誘電体絶縁膜５３ａ，５３
ｂを介して上部磁気ポール４７と磁気シールド膜５４に
挟まれた構造である。
【０００８】上記の構造の光アシスト磁気記録ヘッド１
は、浮上スライダ２の凹部２ｃを有する浮上面２ｂによ
り磁気ディスク８の基板８ｂ上に形成された磁気記録層
８ａ上を浮上走行し、光導波路３の開口３８から出射さ
れる近接場光３５により磁気記録層８ａを加熱して抗磁
力を下げ、薄膜磁気記録トランスデューサ４により磁気
記録層８ａに情報を記録し、磁気抵抗センサ５により情
報を再生するものである。
は、浮上スライダ２の凹部２ｃを有する浮上面２ｂによ
り磁気ディスク８の基板８ｂ上に形成された磁気記録層
８ａ上を浮上走行し、光導波路３の開口３８から出射さ
れる近接場光３５により磁気記録層８ａを加熱して抗磁
力を下げ、薄膜磁気記録トランスデューサ４により磁気
記録層８ａに情報を記録し、磁気抵抗センサ５により情
報を再生するものである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の光アシ
スト磁気記録ヘッドによると、半導体レーザ３によるレ
ーザ光照射位置と薄膜磁気記録トランスデューサ４の磁
気ギャップで形成される磁界印加位置とが離れているた
め、レーザ光による加熱から磁界印加による記録までの
間にレーザ光により加熱した部分が熱伝導により広がる
とともに、温度勾配がなだらかになるため、磁区の境界
位置がばらつきやすく、微細な磁区が形成できないなど
の問題がある。
スト磁気記録ヘッドによると、半導体レーザ３によるレ
ーザ光照射位置と薄膜磁気記録トランスデューサ４の磁
気ギャップで形成される磁界印加位置とが離れているた
め、レーザ光による加熱から磁界印加による記録までの
間にレーザ光により加熱した部分が熱伝導により広がる
とともに、温度勾配がなだらかになるため、磁区の境界
位置がばらつきやすく、微細な磁区が形成できないなど
の問題がある。
【００１０】従って、発明の目的は、小型で、レーザ光
の利用効率が高く、それにより、高密度・高転送レート
の記録・再生を可能とする光アシスト磁気記録ヘッドお
よび光アシスト磁気記録ディスク装置を提供することに
ある。
の利用効率が高く、それにより、高密度・高転送レート
の記録・再生を可能とする光アシスト磁気記録ヘッドお
よび光アシスト磁気記録ディスク装置を提供することに
ある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、磁気記録媒体上を浮上走行する浮上スラ
イダの後端面に、レーザ光出射口から前記磁気記録媒体
にレーザ光を出射するレーザ光出射手段、前記レーザ光
の出射によって加熱された前記磁気記録媒体に一対の磁
気ポールから磁界を印加して情報を記録する薄膜磁気記
録トランスデューサ、および前記磁気記録媒体に記録さ
れた前記情報を検出する磁気抵抗センサを順次積層した
光アシスト磁気記録ヘッドにおいて、前記薄膜磁気記録
トランスデューサは、前記一対の磁気ポールが前記レー
ザ光出射手段の前記レーザ光出射口に配置され、前記一
対の磁気ポールを先端に有するヨークと前記ヨークに巻
回された薄膜コイルを備え、前記薄膜コイルおよび前記
ヨークの少なくとも一方が、前記レーザ光出射手段の前
記レーザ出射口の側方に配置されていることを特徴とす
る光アシスト磁気記録ヘッドを提供する。この構成によ
り、レーザ光の照射位置と一対の磁気ポール間の磁気ギ
ャップで形成される磁界印加位置が一致するため、磁界
印加位置を正確に加熱することができる。従って、レー
ザ光照射から磁界印加までの間に加熱部が熱拡散により
広がらないので、記録部分を狭めることができ、高記録
密度化が可能となる。また、薄膜磁気記録トランスデュ
ーサの薄膜コイルおよびヨークの少なくとも一方をレー
ザ出射口の側方に配置することにより、小型化が可能と
なるとともに、レーザ出射口と磁気抵抗センサの距離を
近づけることができるため、同一トラックをトラッキン
グさせることが容易となる。
成するために、磁気記録媒体上を浮上走行する浮上スラ
イダの後端面に、レーザ光出射口から前記磁気記録媒体
にレーザ光を出射するレーザ光出射手段、前記レーザ光
の出射によって加熱された前記磁気記録媒体に一対の磁
気ポールから磁界を印加して情報を記録する薄膜磁気記
録トランスデューサ、および前記磁気記録媒体に記録さ
れた前記情報を検出する磁気抵抗センサを順次積層した
光アシスト磁気記録ヘッドにおいて、前記薄膜磁気記録
トランスデューサは、前記一対の磁気ポールが前記レー
ザ光出射手段の前記レーザ光出射口に配置され、前記一
対の磁気ポールを先端に有するヨークと前記ヨークに巻
回された薄膜コイルを備え、前記薄膜コイルおよび前記
ヨークの少なくとも一方が、前記レーザ光出射手段の前
記レーザ出射口の側方に配置されていることを特徴とす
る光アシスト磁気記録ヘッドを提供する。この構成によ
り、レーザ光の照射位置と一対の磁気ポール間の磁気ギ
ャップで形成される磁界印加位置が一致するため、磁界
印加位置を正確に加熱することができる。従って、レー
ザ光照射から磁界印加までの間に加熱部が熱拡散により
広がらないので、記録部分を狭めることができ、高記録
密度化が可能となる。また、薄膜磁気記録トランスデュ
ーサの薄膜コイルおよびヨークの少なくとも一方をレー
ザ出射口の側方に配置することにより、小型化が可能と
なるとともに、レーザ出射口と磁気抵抗センサの距離を
近づけることができるため、同一トラックをトラッキン
グさせることが容易となる。
【００１２】本発明は、前記目的を達成するために、磁
気記録媒体上を浮上走行する浮上スライダの後端面に、
レーザ光出射口から前記磁気記録媒体にレーザ光を出射
するレーザ光出射手段、前記レーザ光の出射によって加
熱された前記磁気記録媒体に一対の磁気ポールから磁界
を印加して情報を記録する薄膜磁気記録トランスデュー
サ、および前記磁気記録媒体に記録された前記情報を検
出する磁気抵抗センサを順次積層した光アシスト磁気記
録ヘッドにおいて、前記薄膜磁気記録トランスデューサ
は、前記一対の磁気ポールが前記レーザ光出射手段の前
記レーザ光出射口に配置され、前記一対の磁気ポールを
先端に有するヨークと前記ヨークに巻回された薄膜コイ
ルを備え、前記薄膜コイルが、前記レーザ光出射手段の
前記レーザ出射口と前記磁気抵抗センサの検出部を結ぶ
線上から外れた位置に形成されていることを特徴とする
光アシスト磁気記録ヘッドを提供する。この構成によ
り、薄膜磁気記録トランスデューサの薄膜コイルをレー
ザ出射口と磁気抵抗センサの検出部を結ぶ線上から外れ
た位置に配置することにより、小型化が可能となるとと
もに、レーザ出射口と磁気抵抗センサの距離を近づける
ことができるため、同一トラックをトラッキングさせる
ことが容易となる。
気記録媒体上を浮上走行する浮上スライダの後端面に、
レーザ光出射口から前記磁気記録媒体にレーザ光を出射
するレーザ光出射手段、前記レーザ光の出射によって加
熱された前記磁気記録媒体に一対の磁気ポールから磁界
を印加して情報を記録する薄膜磁気記録トランスデュー
サ、および前記磁気記録媒体に記録された前記情報を検
出する磁気抵抗センサを順次積層した光アシスト磁気記
録ヘッドにおいて、前記薄膜磁気記録トランスデューサ
は、前記一対の磁気ポールが前記レーザ光出射手段の前
記レーザ光出射口に配置され、前記一対の磁気ポールを
先端に有するヨークと前記ヨークに巻回された薄膜コイ
ルを備え、前記薄膜コイルが、前記レーザ光出射手段の
前記レーザ出射口と前記磁気抵抗センサの検出部を結ぶ
線上から外れた位置に形成されていることを特徴とする
光アシスト磁気記録ヘッドを提供する。この構成によ
り、薄膜磁気記録トランスデューサの薄膜コイルをレー
ザ出射口と磁気抵抗センサの検出部を結ぶ線上から外れ
た位置に配置することにより、小型化が可能となるとと
もに、レーザ出射口と磁気抵抗センサの距離を近づける
ことができるため、同一トラックをトラッキングさせる
ことが容易となる。
【００１３】本発明は、前記目的を達成するために、磁
気記録ディスク上を浮上走行し、前記磁気記録ディスク
の磁気記録媒体に対して情報の記録を行う光アシスト磁
気記録ヘッドを有する光アシスト磁気記録ディスク装置
において、前記光アシスト磁気記録ヘッドは、前記磁気
記録媒体上を浮上走行する浮上スライダの後端面に、レ
ーザ光出射口から前記磁気記録媒体にレーザ光を出射す
るレーザ光出射手段、前記レーザ光の出射によって加熱
された前記磁気記録媒体に一対の磁気ポールから磁界を
印加して前記情報を記録する薄膜磁気記録トランスデュ
ーサ、および前記磁気記録媒体に記録された前記情報を
検出する磁気抵抗センサが順次積層され、前記薄膜磁気
記録トランスデューサは、前記一対の磁気ポールが前記
レーザ光出射手段の前記レーザ光出射口に配置され、前
記一対の磁気ポールを先端に有するヨークと前記ヨーク
に巻回された薄膜コイルを備え、前記薄膜コイルおよび
前記ヨークの少なくとも一方が、前記レーザ光出射手段
の前記レーザ出射口の側方に配置されていることを特徴
とする光アシスト磁気ディスク装置を提供する。この構
成により、レーザ光の利用効率を高めた光アシスト磁気
記録ヘッドを用いることができ、高密度・高転送レート
の記録・再生が可能となる。
気記録ディスク上を浮上走行し、前記磁気記録ディスク
の磁気記録媒体に対して情報の記録を行う光アシスト磁
気記録ヘッドを有する光アシスト磁気記録ディスク装置
において、前記光アシスト磁気記録ヘッドは、前記磁気
記録媒体上を浮上走行する浮上スライダの後端面に、レ
ーザ光出射口から前記磁気記録媒体にレーザ光を出射す
るレーザ光出射手段、前記レーザ光の出射によって加熱
された前記磁気記録媒体に一対の磁気ポールから磁界を
印加して前記情報を記録する薄膜磁気記録トランスデュ
ーサ、および前記磁気記録媒体に記録された前記情報を
検出する磁気抵抗センサが順次積層され、前記薄膜磁気
記録トランスデューサは、前記一対の磁気ポールが前記
レーザ光出射手段の前記レーザ光出射口に配置され、前
記一対の磁気ポールを先端に有するヨークと前記ヨーク
に巻回された薄膜コイルを備え、前記薄膜コイルおよび
前記ヨークの少なくとも一方が、前記レーザ光出射手段
の前記レーザ出射口の側方に配置されていることを特徴
とする光アシスト磁気ディスク装置を提供する。この構
成により、レーザ光の利用効率を高めた光アシスト磁気
記録ヘッドを用いることができ、高密度・高転送レート
の記録・再生が可能となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の第1の実施の形
態に係る光アシスト磁気記録・再生ヘッド（以下、「光
アシスト磁気記録ヘッド」という。）を示す。この光ア
シスト磁気記録ヘッド１は、図１（ａ）に示すように、
浮上スライダ２の後端面２ａに、光導波路３、薄膜磁気
記録トランスデューサ４および磁気抵抗センサ５を順次
積層したものである。光アシスト磁気記録ヘッド１は、
浮上スライダ２の凹部２ｃを有する浮上面２ｂにより、
磁気ディスク８の基板８ｂ上に形成された磁気記録層８
ａ上を浮上走行し、図示しない半導体レーザから光導波
路３を介して出射されるレーザ光により、磁気記録層８
ａを加熱して抗磁力を下げ、薄膜磁気記録トランスデュ
ーサ４によりその磁気記録層８ａに情報を記録し、磁気
抵抗センサ５により情報を再生する。
態に係る光アシスト磁気記録・再生ヘッド（以下、「光
アシスト磁気記録ヘッド」という。）を示す。この光ア
シスト磁気記録ヘッド１は、図１（ａ）に示すように、
浮上スライダ２の後端面２ａに、光導波路３、薄膜磁気
記録トランスデューサ４および磁気抵抗センサ５を順次
積層したものである。光アシスト磁気記録ヘッド１は、
浮上スライダ２の凹部２ｃを有する浮上面２ｂにより、
磁気ディスク８の基板８ｂ上に形成された磁気記録層８
ａ上を浮上走行し、図示しない半導体レーザから光導波
路３を介して出射されるレーザ光により、磁気記録層８
ａを加熱して抗磁力を下げ、薄膜磁気記録トランスデュ
ーサ４によりその磁気記録層８ａに情報を記録し、磁気
抵抗センサ５により情報を再生する。
【００１５】光導波路３は、図１（ｂ）に示すように、
誘電体層３０上に形成された、ＳｉＮ層からなるコア３
１と、それを取り巻くＳｉＯ2からなるクラッド３２か
ら構成され、光導波路３の上部に位置する図示しない半
導体レーザから入射したレーザ光を底面まで伝送するも
のである。光導波路３のクラッド３２の幅は、カップリ
ング効率を上げ、光損失を下げるために約３μｍと幅広
くしている。一方、底面のレーザ出射端での光スポット
のサイズは小さい方が光利用効率がよいため、光導波路
３の内部に平面型の集光レンズなどの集光系を形成して
もよい。光導波路３の底面のレーザ出射端には、後述す
る磁気ポール６ａ，６ｂが形成される。
誘電体層３０上に形成された、ＳｉＮ層からなるコア３
１と、それを取り巻くＳｉＯ2からなるクラッド３２か
ら構成され、光導波路３の上部に位置する図示しない半
導体レーザから入射したレーザ光を底面まで伝送するも
のである。光導波路３のクラッド３２の幅は、カップリ
ング効率を上げ、光損失を下げるために約３μｍと幅広
くしている。一方、底面のレーザ出射端での光スポット
のサイズは小さい方が光利用効率がよいため、光導波路
３の内部に平面型の集光レンズなどの集光系を形成して
もよい。光導波路３の底面のレーザ出射端には、後述す
る磁気ポール６ａ，６ｂが形成される。
【００１６】薄膜磁気記録トランスデューサ４は、図１
（ｂ）に示すように、誘電体層３０から光導波路３が後
方に突出するように光導波路３の外周辺をメサエッチン
グで除去し、光導波路３の左右に一対の凹部を形成し、
下部ヨーク４２、薄膜コイル４４、および薄膜コイル４
４を支持する磁気シールド膜４５を一対の凹部内にそれ
ぞれ積層し、更に下部ヨーク４２の後端で接合される中
部ヨーク４３、および誘電体膜４０を介して中部ヨーク
４３，４３の後端を結合する上部ヨーク５３を順次積層
したものである。また、図１（ｄ）に示すように、下部
ヨーク４２のそれぞれの先端４２ａに底面部ヨーク６ｄ
を介して磁気ポール６ａおよび磁気ポール６ｂが形成さ
れる。磁気ポール６ａと磁気ポール６ｂ間に磁気ギャッ
プ６ｃが形成される。下部ヨーク４２、中部ヨーク４
３、上部ヨーク５３、底面部ヨーク６ｄを介して形成さ
れる磁気ポール６ａおよび磁気ポール６ｂにより磁気回
路を形成する。薄膜コイル４４は、図１（ｃ）に示すよ
うに、磁気回路と差交するように巻かれており、薄膜コ
イル４４に流れる電流に比例して磁気ポール６ａおよび
磁気ポール６ｂ間の磁気ギャップ６ｃに磁界を発生し、
その磁界の変調により磁気記録層８ａに記録を行う。下
部ヨーク４２、薄膜コイル４４、中部ヨーク４３、上部
ヨーク５３、底面部ヨーク６ｄ、磁気ポール６ａおよび
磁気ポール６ｂは、それぞれパーマロイなどの軟磁性体
で形成してもよい。なお、４４ａは、薄膜コイル４４に
記録信号に基づく電流を供給するためのリード線であ
る。
（ｂ）に示すように、誘電体層３０から光導波路３が後
方に突出するように光導波路３の外周辺をメサエッチン
グで除去し、光導波路３の左右に一対の凹部を形成し、
下部ヨーク４２、薄膜コイル４４、および薄膜コイル４
４を支持する磁気シールド膜４５を一対の凹部内にそれ
ぞれ積層し、更に下部ヨーク４２の後端で接合される中
部ヨーク４３、および誘電体膜４０を介して中部ヨーク
４３，４３の後端を結合する上部ヨーク５３を順次積層
したものである。また、図１（ｄ）に示すように、下部
ヨーク４２のそれぞれの先端４２ａに底面部ヨーク６ｄ
を介して磁気ポール６ａおよび磁気ポール６ｂが形成さ
れる。磁気ポール６ａと磁気ポール６ｂ間に磁気ギャッ
プ６ｃが形成される。下部ヨーク４２、中部ヨーク４
３、上部ヨーク５３、底面部ヨーク６ｄを介して形成さ
れる磁気ポール６ａおよび磁気ポール６ｂにより磁気回
路を形成する。薄膜コイル４４は、図１（ｃ）に示すよ
うに、磁気回路と差交するように巻かれており、薄膜コ
イル４４に流れる電流に比例して磁気ポール６ａおよび
磁気ポール６ｂ間の磁気ギャップ６ｃに磁界を発生し、
その磁界の変調により磁気記録層８ａに記録を行う。下
部ヨーク４２、薄膜コイル４４、中部ヨーク４３、上部
ヨーク５３、底面部ヨーク６ｄ、磁気ポール６ａおよび
磁気ポール６ｂは、それぞれパーマロイなどの軟磁性体
で形成してもよい。なお、４４ａは、薄膜コイル４４に
記録信号に基づく電流を供給するためのリード線であ
る。
【００１７】磁気ポール６ａ，６ｂは、これらの並び方
向と光導波路３からのレーザ光の偏光方向３６を一致さ
せている。このように形成することにより、磁気ポール
６ａ，６ｂ中にレーザ光によりその周波数に等しい電子
の集団運動が励起され、その極性が磁気ポール６ａと磁
気ポール６ｂが逆位相になることから、磁気ポール６
ａ，６ｂがダイポールアンテナの役割を果たし、磁気ギ
ャップ６ｃに強力な近接場光が誘起される。磁気ポール
６ａ，６ｂの先端は、テーパー状に細くなっており、そ
れにより強力な磁界が形成できるとともに、近接場光の
増強効果も高めることができ、光利用効率をあげること
ができる。なお、符号９は、記録トラックである。
向と光導波路３からのレーザ光の偏光方向３６を一致さ
せている。このように形成することにより、磁気ポール
６ａ，６ｂ中にレーザ光によりその周波数に等しい電子
の集団運動が励起され、その極性が磁気ポール６ａと磁
気ポール６ｂが逆位相になることから、磁気ポール６
ａ，６ｂがダイポールアンテナの役割を果たし、磁気ギ
ャップ６ｃに強力な近接場光が誘起される。磁気ポール
６ａ，６ｂの先端は、テーパー状に細くなっており、そ
れにより強力な磁界が形成できるとともに、近接場光の
増強効果も高めることができ、光利用効率をあげること
ができる。なお、符号９は、記録トラックである。
【００１８】磁気抵抗センサ５は、図１（ｂ），（ｄ）
に示すように、スピンバルブ膜５１とその電極５２ａ、
５２ｂが誘電体５５に支持され、磁気シールド膜５４と
上部ヨーク５３に挟まれた構造を有する。磁気抵抗セン
サ５は、光導波路３との間に熱導電率の低い誘電体膜４
０を介して積層されている。情報信号の再生は、スピン
バルブ膜５１と差交する磁気記録層８ａからの磁界の強
度を、スピンバルブ膜５１の抵抗変化として検出するこ
とにより行う。なお、磁気記録媒体として、遷移金属と
希土類金属からなるフェリ磁性体を使用する場合には、
補償点温度を調節することで加熱によって読み出し磁化
の強度を上げることができ、その場合には、再生時にも
照射を行う。それによって、記録層の加熱された部分だ
けからの信号を再生できるため、記録感度を上げられる
のみならず、再生時の隣接トラックからのクロストーク
を下げることができる。
に示すように、スピンバルブ膜５１とその電極５２ａ、
５２ｂが誘電体５５に支持され、磁気シールド膜５４と
上部ヨーク５３に挟まれた構造を有する。磁気抵抗セン
サ５は、光導波路３との間に熱導電率の低い誘電体膜４
０を介して積層されている。情報信号の再生は、スピン
バルブ膜５１と差交する磁気記録層８ａからの磁界の強
度を、スピンバルブ膜５１の抵抗変化として検出するこ
とにより行う。なお、磁気記録媒体として、遷移金属と
希土類金属からなるフェリ磁性体を使用する場合には、
補償点温度を調節することで加熱によって読み出し磁化
の強度を上げることができ、その場合には、再生時にも
照射を行う。それによって、記録層の加熱された部分だ
けからの信号を再生できるため、記録感度を上げられる
のみならず、再生時の隣接トラックからのクロストーク
を下げることができる。
【００１９】次に、上記の光アシスト磁気記録ヘッド１
の製造方法の一例を説明する。浮上スライダ２の材質
は、通常のハードディスク用磁気ヘッドに使用されるア
ルチック（Ａｌ2Ｏ3−ＴｉＯ2）を用いる。磁気抵抗セ
ンサ５は、通常のＧＭＲ（GiantMagnetic Sensor）を使
用する。アルチックのウェーハ上に１次元状又は２次元
状に配されるように複数の光導波路を形成し、光導波路
のクラッドの外周辺部をメサエッチングして、光導波路
３の左右に一対の凹部を形成し、一対の凹部内に、構成
要素である薄膜コイル４４および下部ヨーク４２を配置
した複数の薄膜磁気記録トランスデューサ４および複数
の磁気抵抗センサ５を薄膜プロセス法を用いて積層した
後、通常の磁気ヘッド製造の際になされるように、光導
波路３、薄膜磁気記録トランスデューサ４および磁気抵
抗センサが１次元状に配列されたチップバーを切り出
し、その断面を浮上スライダ２の浮上面２ｂとして加工
した後、各ヘッドチップに切断する。磁気ポール６ａ，
６ｂは、メサエッチングにより光導波路のレーザ光射出
端の高屈折率の誘電体膜の一部を除去して凹部を形成
し、その凹部にパーマロイなどの軟磁性膜を着膜して形
成する。
の製造方法の一例を説明する。浮上スライダ２の材質
は、通常のハードディスク用磁気ヘッドに使用されるア
ルチック（Ａｌ2Ｏ3−ＴｉＯ2）を用いる。磁気抵抗セ
ンサ５は、通常のＧＭＲ（GiantMagnetic Sensor）を使
用する。アルチックのウェーハ上に１次元状又は２次元
状に配されるように複数の光導波路を形成し、光導波路
のクラッドの外周辺部をメサエッチングして、光導波路
３の左右に一対の凹部を形成し、一対の凹部内に、構成
要素である薄膜コイル４４および下部ヨーク４２を配置
した複数の薄膜磁気記録トランスデューサ４および複数
の磁気抵抗センサ５を薄膜プロセス法を用いて積層した
後、通常の磁気ヘッド製造の際になされるように、光導
波路３、薄膜磁気記録トランスデューサ４および磁気抵
抗センサが１次元状に配列されたチップバーを切り出
し、その断面を浮上スライダ２の浮上面２ｂとして加工
した後、各ヘッドチップに切断する。磁気ポール６ａ，
６ｂは、メサエッチングにより光導波路のレーザ光射出
端の高屈折率の誘電体膜の一部を除去して凹部を形成
し、その凹部にパーマロイなどの軟磁性膜を着膜して形
成する。
【００２０】次に、上記の光アシスト磁気記録ヘッド１
の動作を説明する。光アシスト磁気記録ヘッド１は、浮
上スライダ２の凹部２ｃを有する浮上面２ｂにより、磁
気ディスク８の基板８ｂ上に形成された磁気記録層８ａ
上を浮上走行し、光導波路３から出射されるレーザ光に
より、磁気記録層８ａを加熱して抗磁力を下げ、薄膜磁
気記録トランスデューサ４の薄膜コイル４４に記録信号
に基づく電流を供給し、その電流に比例した磁界を磁気
ギャップ６ｃに発生させ、その磁界の変調により磁気記
録層８ａに情報の記録を行う。信号再生は、スピンバル
ブ膜５１と交差する、磁気記録層８ａからの磁界の強度
変化をスピンバルブ膜５１の抵抗変化として検出するこ
とにより行う。
の動作を説明する。光アシスト磁気記録ヘッド１は、浮
上スライダ２の凹部２ｃを有する浮上面２ｂにより、磁
気ディスク８の基板８ｂ上に形成された磁気記録層８ａ
上を浮上走行し、光導波路３から出射されるレーザ光に
より、磁気記録層８ａを加熱して抗磁力を下げ、薄膜磁
気記録トランスデューサ４の薄膜コイル４４に記録信号
に基づく電流を供給し、その電流に比例した磁界を磁気
ギャップ６ｃに発生させ、その磁界の変調により磁気記
録層８ａに情報の記録を行う。信号再生は、スピンバル
ブ膜５１と交差する、磁気記録層８ａからの磁界の強度
変化をスピンバルブ膜５１の抵抗変化として検出するこ
とにより行う。
【００２１】以上述べた第１の実施の形態によれば、以
下の効果が得られる。 （イ）この近接場光のサイズは磁気ギャップ６ｃと同程
度であり、この近接場光を磁気記録層８ａの加熱に使用
することにより、微細な記録領域を効率よく加熱するこ
とが可能となり、高密度の光アシスト磁気記録が達成で
きる。 （ロ）磁気ポール６ａ、６ｂは、磁界の発生と近接場光
の発生を兼ねているため、構造が簡単で作製しやすい構
造となる。このことは、ギャップ長が数十ｎｍと現在の
加工精度の限界を要求されることから特に重要である。 （ハ）この構造によれば、下部ヨーク４２、中部ヨーク
４３の幅に制限がなく、この部分を微細化する必要がな
いため、磁気回路の磁気抵抗を下げることができる。そ
のため高速の磁界変調が可能となり、記録の高速化が図
れる。 （ニ）下部ヨーク４２、中部ヨーク４３は、磁気抵抗を
高めずに薄くできるため、磁気トランスデューサ４の凹
凸を少なくでき、磁気トランスデューサ４の上部の誘電
体膜を用いた平坦化がしやすくなる。これは、その上に
形成される磁気抵抗センサ５のスピンバルブ膜５１の形
成に特に平坦な面が必要とされることから重要である。
下の効果が得られる。 （イ）この近接場光のサイズは磁気ギャップ６ｃと同程
度であり、この近接場光を磁気記録層８ａの加熱に使用
することにより、微細な記録領域を効率よく加熱するこ
とが可能となり、高密度の光アシスト磁気記録が達成で
きる。 （ロ）磁気ポール６ａ、６ｂは、磁界の発生と近接場光
の発生を兼ねているため、構造が簡単で作製しやすい構
造となる。このことは、ギャップ長が数十ｎｍと現在の
加工精度の限界を要求されることから特に重要である。 （ハ）この構造によれば、下部ヨーク４２、中部ヨーク
４３の幅に制限がなく、この部分を微細化する必要がな
いため、磁気回路の磁気抵抗を下げることができる。そ
のため高速の磁界変調が可能となり、記録の高速化が図
れる。 （ニ）下部ヨーク４２、中部ヨーク４３は、磁気抵抗を
高めずに薄くできるため、磁気トランスデューサ４の凹
凸を少なくでき、磁気トランスデューサ４の上部の誘電
体膜を用いた平坦化がしやすくなる。これは、その上に
形成される磁気抵抗センサ５のスピンバルブ膜５１の形
成に特に平坦な面が必要とされることから重要である。
【００２２】なお、本実施の形態では、光導波路３を用
いてレーザ光を導入したが、光導波路３の代わりに半導
体レーザを使用することも可能である。この場合には、
半導体レーザの活性層（図示せず）が光導波路３のコア
３１の位置に来るように形成する。このようにしても、
光利用効率を上げることが可能となる。半導体レーザと
しては、端面発光型のレーザが磁気ヘッド部との作製プ
ロセスとなじみがよいが、面発光型（ＶＣＳＥＬ）レー
ザも使用可能である。この場合には、面発光型レーザの
出力面まで形成したのち、その上に磁気ヘッド部を集積
することで使用可能となる。
いてレーザ光を導入したが、光導波路３の代わりに半導
体レーザを使用することも可能である。この場合には、
半導体レーザの活性層（図示せず）が光導波路３のコア
３１の位置に来るように形成する。このようにしても、
光利用効率を上げることが可能となる。半導体レーザと
しては、端面発光型のレーザが磁気ヘッド部との作製プ
ロセスとなじみがよいが、面発光型（ＶＣＳＥＬ）レー
ザも使用可能である。この場合には、面発光型レーザの
出力面まで形成したのち、その上に磁気ヘッド部を集積
することで使用可能となる。
【００２３】図２は、本発明の第２の実施の形態に係る
光アシスト磁気記録ヘッドの要部を示す。この第２の実
施の形態は、薄膜磁気記録トランスデューサ４の薄膜コ
イル４４を１つとし、一対の中部ヨーク４３，４３の一
方が光導波路３の近くに形成されている点を除き、他
は、前述した第１の実施の形態と同じである。すなわ
ち、薄膜磁気記録トランスデューサ４は、図２（ａ）に
示すように、下部ヨーク４２、薄膜コイル４４を支持す
る誘電体絶縁膜４５、下部ヨーク４２の後端で接合され
る中部ヨーク４３、および誘電体膜４０を介して中部ヨ
ーク４３，４３の後端を結合する上部ヨーク５３を順次
積層したもので、図の上方に一つの薄膜コイル４４が形
成されている。下部ヨーク４２の先端に底面部ヨーク６
ｄを介して磁気ポール６ａが形成され、中部ヨーク４３
の先端に底面部ヨーク６ｄを介して磁気ポール６ｂが形
成され、図２（ｃ）に示すように、磁気ポール６ａと磁
気ポール６ｂ間に磁気ギャップ６ｃが形成される。この
第２の実施の形態においても、情報の記録、再生が第１
の実施の形態と同様に行われ、効果も第１の実施の形態
と同様である。
光アシスト磁気記録ヘッドの要部を示す。この第２の実
施の形態は、薄膜磁気記録トランスデューサ４の薄膜コ
イル４４を１つとし、一対の中部ヨーク４３，４３の一
方が光導波路３の近くに形成されている点を除き、他
は、前述した第１の実施の形態と同じである。すなわ
ち、薄膜磁気記録トランスデューサ４は、図２（ａ）に
示すように、下部ヨーク４２、薄膜コイル４４を支持す
る誘電体絶縁膜４５、下部ヨーク４２の後端で接合され
る中部ヨーク４３、および誘電体膜４０を介して中部ヨ
ーク４３，４３の後端を結合する上部ヨーク５３を順次
積層したもので、図の上方に一つの薄膜コイル４４が形
成されている。下部ヨーク４２の先端に底面部ヨーク６
ｄを介して磁気ポール６ａが形成され、中部ヨーク４３
の先端に底面部ヨーク６ｄを介して磁気ポール６ｂが形
成され、図２（ｃ）に示すように、磁気ポール６ａと磁
気ポール６ｂ間に磁気ギャップ６ｃが形成される。この
第２の実施の形態においても、情報の記録、再生が第１
の実施の形態と同様に行われ、効果も第１の実施の形態
と同様である。
【００２４】図３は、本発明の第３の実施の形態に係る
光アシスト磁気記録ヘッドの要部を示す。この第３の実
施の形態は、下部ヨーク４２に導体を巻回して薄膜コイ
ル４８を形成する点を除き、他は、前述した第１の実施
の形態と同じである。なお、同図中４８ａは、薄膜コイ
ル４８に記録信号に基づく電流を供給するためのリード
線である。この第３の実施の形態においても、情報の記
録、再生が第１の実施の形態と同様に行われ、効果も第
１の実施の形態と同様である。
光アシスト磁気記録ヘッドの要部を示す。この第３の実
施の形態は、下部ヨーク４２に導体を巻回して薄膜コイ
ル４８を形成する点を除き、他は、前述した第１の実施
の形態と同じである。なお、同図中４８ａは、薄膜コイ
ル４８に記録信号に基づく電流を供給するためのリード
線である。この第３の実施の形態においても、情報の記
録、再生が第１の実施の形態と同様に行われ、効果も第
１の実施の形態と同様である。
【００２５】図４は、本発明の第４の実施の形態に係る
光アシスト磁気記録ヘッドの要部を示す。この第４の実
施の形態の光アシスト磁気記録ヘッドは、図４（ａ）に
示すように、浮上スライダ２の後端面２ａに、光導波路
３、薄膜磁気記録トランスデューサ４および磁気抵抗セ
ンサ５を順次集積したものである。
光アシスト磁気記録ヘッドの要部を示す。この第４の実
施の形態の光アシスト磁気記録ヘッドは、図４（ａ）に
示すように、浮上スライダ２の後端面２ａに、光導波路
３、薄膜磁気記録トランスデューサ４および磁気抵抗セ
ンサ５を順次集積したものである。
【００２６】光導波路３は、図４（ａ）に示すように、
ＳｉＮ層からなるコア３１と、それを取り巻くＳｉＯ2
からなるクラッド３２とにより構成され、浮上スライダ
２の後端面２ａに形成された誘電体層３０中に形成す
る。光導波路３の底面のレーザ出射端に後述する磁気ポ
ール６ａ，６ｂが形成される。
ＳｉＮ層からなるコア３１と、それを取り巻くＳｉＯ2
からなるクラッド３２とにより構成され、浮上スライダ
２の後端面２ａに形成された誘電体層３０中に形成す
る。光導波路３の底面のレーザ出射端に後述する磁気ポ
ール６ａ，６ｂが形成される。
【００２７】薄膜磁気記録トランスデューサ４は、図４
（ａ）に示すように、誘電体層３０上に下部ヨーク４
２、薄膜コイル４４を支持する誘電体絶縁膜４５、下部
ヨーク４２の後端で接合される中部ヨーク４３、および
中部ヨーク４３，４３の後端を結合する上部ヨーク５３
を順次積層したものである。また、図４（ｃ）に示すよ
うに、下部ヨーク４２のそれぞれの先端４２ａに底面部
ヨーク６ｄを介して磁気ポール６ａおよび磁気ポール６
ｂが形成される。磁気ポール６ａと磁気ポール６ｂ間に
磁気ギャップ６ｃが形成される。下部ヨーク４２、中部
ヨーク４３、上部ヨーク５３、底面部ヨーク６ｄを介し
て形成される磁気ポール６ａおよび磁気ポール６ｂによ
り磁気回路を形成する。薄膜コイル４４は、図４（ｂ）
に示すように、磁気回路と差交するように巻かれてお
り、薄膜コイル４４に流れる電流に比例して磁気ギャッ
プ６ｃに磁界を発生させる。
（ａ）に示すように、誘電体層３０上に下部ヨーク４
２、薄膜コイル４４を支持する誘電体絶縁膜４５、下部
ヨーク４２の後端で接合される中部ヨーク４３、および
中部ヨーク４３，４３の後端を結合する上部ヨーク５３
を順次積層したものである。また、図４（ｃ）に示すよ
うに、下部ヨーク４２のそれぞれの先端４２ａに底面部
ヨーク６ｄを介して磁気ポール６ａおよび磁気ポール６
ｂが形成される。磁気ポール６ａと磁気ポール６ｂ間に
磁気ギャップ６ｃが形成される。下部ヨーク４２、中部
ヨーク４３、上部ヨーク５３、底面部ヨーク６ｄを介し
て形成される磁気ポール６ａおよび磁気ポール６ｂによ
り磁気回路を形成する。薄膜コイル４４は、図４（ｂ）
に示すように、磁気回路と差交するように巻かれてお
り、薄膜コイル４４に流れる電流に比例して磁気ギャッ
プ６ｃに磁界を発生させる。
【００２８】磁気ポール６ａ，６ｂは、これらの並び方
向と光導波路３からのレーザ光の偏光方向３６を一致さ
せている。このように形成することにより、磁気ポール
６ａ，６ｂ中にレーザ光によりその周波数に等しい電子
の集団運動が励起され、その極性が磁気ポール６ａと磁
気ポール６ｂが逆位相になることから、磁気ポール６
ａ，６ｂがダイポールアンテナの役割を果たし、磁気ギ
ャップ６ｃに強力な近接場光が誘起される。磁気ポール
６ａ，６ｂの先端は、テーパー状に細くなっており、そ
れにより強力な磁界が形成できるとともに、近接場光の
増強効果も高めることができる。
向と光導波路３からのレーザ光の偏光方向３６を一致さ
せている。このように形成することにより、磁気ポール
６ａ，６ｂ中にレーザ光によりその周波数に等しい電子
の集団運動が励起され、その極性が磁気ポール６ａと磁
気ポール６ｂが逆位相になることから、磁気ポール６
ａ，６ｂがダイポールアンテナの役割を果たし、磁気ギ
ャップ６ｃに強力な近接場光が誘起される。磁気ポール
６ａ，６ｂの先端は、テーパー状に細くなっており、そ
れにより強力な磁界が形成できるとともに、近接場光の
増強効果も高めることができる。
【００２９】磁気抵抗センサ５は、図４（ａ），（ｃ）
に示すように、スピンバルブ膜５１とその電極５２ａ，
５２ｂが誘電体５５に支持され、磁気シールド膜５４と
上部ヨーク５３に挟まれた構造を有する。磁気抵抗セン
サ５は、光導波路３との間に熱導電率の低い誘電体膜４
０を介して積層されている。
に示すように、スピンバルブ膜５１とその電極５２ａ，
５２ｂが誘電体５５に支持され、磁気シールド膜５４と
上部ヨーク５３に挟まれた構造を有する。磁気抵抗セン
サ５は、光導波路３との間に熱導電率の低い誘電体膜４
０を介して積層されている。
【００３０】以上述べた第４の実施の形態によれば、以
下の効果が得られる。 （イ）薄膜コイル４４や下部ヨーク４２を光導波路３と
磁気抵抗センサとを結ぶ線上から外れる位置に形成する
こととしたため、レーザ光が出射される光導波路３と磁
気抵抗センサとの距離を短くすることができることか
ら、同一トラックをトラッキングさせるのが容易とな
り、レーザ光を効率よく利用でき、記録領域に記録され
た情報信号が微弱でも再生することができる。 （ロ）この近接場光のサイズは磁気ギャップ６ｃと同程
度であり、この近接場光を磁気記録層８ａの加熱に使用
することにより、微細な記録領域を効率よく加熱するこ
とが可能となり、高密度の光アシスト磁気記録が達成で
きる。 （ハ）磁気ポール６ａ，６ｂは、磁界の発生と近接場光
の発生を兼ねているため、構造が簡単で作製しやすい構
造となる。このことは、ギャップ長が数十ｎｍと現在の
加工精度の限界を要求されることから特に重要である。 （ニ）この構造によれば、下部ヨーク４２、中部ヨーク
４３の幅に制限がなく、この部分を微細化する必要がな
いため、磁気回路の磁気抵抗を下げることができる。そ
のため高速の磁界変調が可能となり、記録の高速化が図
れる。 （ホ）下部ヨーク４２、中部ヨーク４３は、磁気抵抗を
高めずに薄くできるため、薄膜磁気記録トランスデュー
サ４の凹凸を少なくでき、薄膜磁気記録トランスデュー
サ４の上部の誘電体膜を用いた平坦化がしやすくなる。
これは、その上に形成される磁気抵抗センサ５のスピン
バルブ膜５１の形成に特に平坦な面が必要とされること
から重要である。 （ヘ）端面に比較的簡単な薄膜プロセスにより、磁気ポ
ール６ａ，６ｂを光出力位置に形成でき、それにより磁
気抵抗の低い磁気回路ができるとともに、表面プラズモ
ンを効率よく励起することができ、それによって高密度
・高速、かつ、高効率の光アシスト磁気記録が可能とな
る。
下の効果が得られる。 （イ）薄膜コイル４４や下部ヨーク４２を光導波路３と
磁気抵抗センサとを結ぶ線上から外れる位置に形成する
こととしたため、レーザ光が出射される光導波路３と磁
気抵抗センサとの距離を短くすることができることか
ら、同一トラックをトラッキングさせるのが容易とな
り、レーザ光を効率よく利用でき、記録領域に記録され
た情報信号が微弱でも再生することができる。 （ロ）この近接場光のサイズは磁気ギャップ６ｃと同程
度であり、この近接場光を磁気記録層８ａの加熱に使用
することにより、微細な記録領域を効率よく加熱するこ
とが可能となり、高密度の光アシスト磁気記録が達成で
きる。 （ハ）磁気ポール６ａ，６ｂは、磁界の発生と近接場光
の発生を兼ねているため、構造が簡単で作製しやすい構
造となる。このことは、ギャップ長が数十ｎｍと現在の
加工精度の限界を要求されることから特に重要である。 （ニ）この構造によれば、下部ヨーク４２、中部ヨーク
４３の幅に制限がなく、この部分を微細化する必要がな
いため、磁気回路の磁気抵抗を下げることができる。そ
のため高速の磁界変調が可能となり、記録の高速化が図
れる。 （ホ）下部ヨーク４２、中部ヨーク４３は、磁気抵抗を
高めずに薄くできるため、薄膜磁気記録トランスデュー
サ４の凹凸を少なくでき、薄膜磁気記録トランスデュー
サ４の上部の誘電体膜を用いた平坦化がしやすくなる。
これは、その上に形成される磁気抵抗センサ５のスピン
バルブ膜５１の形成に特に平坦な面が必要とされること
から重要である。 （ヘ）端面に比較的簡単な薄膜プロセスにより、磁気ポ
ール６ａ，６ｂを光出力位置に形成でき、それにより磁
気抵抗の低い磁気回路ができるとともに、表面プラズモ
ンを効率よく励起することができ、それによって高密度
・高速、かつ、高効率の光アシスト磁気記録が可能とな
る。
【００３１】図５は、光導波路のレーザ光出射口に配さ
れる磁気ポール６ａ，６ｂの構造の変形例を示す。図５
（ａ）は、レーザ光出射口であるコア３１に配される一
方の磁気ポール６ｂの先端を平坦にした例である。他方
の磁気ポール６ａは、先端が台形状に形成し、底面部ヨ
ーク６ｄを介して下部ヨークに取り付けられる。磁気ポ
ール６ａの先端は、三角形状あるいは長方形状でもよ
い。なお、符号３６は、光導波路３からのレーザ光の偏
光方向である。この構造により、さらに磁気ポールの加
工性を高めることができる。また、レーザ光出射口から
発生する近接場光の強度を実質的に弱めることなく、磁
気ポール６ａ，６ｂでの磁気飽和を防ぐことができる。
れる磁気ポール６ａ，６ｂの構造の変形例を示す。図５
（ａ）は、レーザ光出射口であるコア３１に配される一
方の磁気ポール６ｂの先端を平坦にした例である。他方
の磁気ポール６ａは、先端が台形状に形成し、底面部ヨ
ーク６ｄを介して下部ヨークに取り付けられる。磁気ポ
ール６ａの先端は、三角形状あるいは長方形状でもよ
い。なお、符号３６は、光導波路３からのレーザ光の偏
光方向である。この構造により、さらに磁気ポールの加
工性を高めることができる。また、レーザ光出射口から
発生する近接場光の強度を実質的に弱めることなく、磁
気ポール６ａ，６ｂでの磁気飽和を防ぐことができる。
【００３２】図５（ｂ）は、磁気ポール６ａ，６ｂの並
びにより形成される磁気ギャップ６ｃの方向を記録トラ
ック９に対して９０度回転した例である。この場合、レ
ーザ光の偏光方向３６も同様に９０度回転されている。
このようにして、記録トラック９に対して垂直方向の磁
化を有する記録を行うことが可能となる。
びにより形成される磁気ギャップ６ｃの方向を記録トラ
ック９に対して９０度回転した例である。この場合、レ
ーザ光の偏光方向３６も同様に９０度回転されている。
このようにして、記録トラック９に対して垂直方向の磁
化を有する記録を行うことが可能となる。
【００３３】図５（ｃ）は、光導波路３の断面拡大図で
あり、光導波路のコア３１の出力端部および磁気ポール
６ａ，６ｂの先端をテーパー状に形成した例を示す。こ
れらの先端部をテーパー状に形成することにより、光導
波路３の出力端での集光性能を上げることができるため
高密度化が可能となり、かつ、底面部ヨーク６ｄの厚さ
を厚くできるため磁気回路の磁気抵抗を下げることがで
き、さらに高速動作が可能となる。なお、符号４９は、
磁気ポール６ａ，６ｂ間で発生する磁界を示す。
あり、光導波路のコア３１の出力端部および磁気ポール
６ａ，６ｂの先端をテーパー状に形成した例を示す。こ
れらの先端部をテーパー状に形成することにより、光導
波路３の出力端での集光性能を上げることができるため
高密度化が可能となり、かつ、底面部ヨーク６ｄの厚さ
を厚くできるため磁気回路の磁気抵抗を下げることがで
き、さらに高速動作が可能となる。なお、符号４９は、
磁気ポール６ａ，６ｂ間で発生する磁界を示す。
【００３４】図５（ｄ）は、コア３１のレーザ光射出端
に開口３８が形成された金属薄膜３７を配した例であ
る。金属薄膜３７は、Ａｕ，Ａｇ，Ａｌ（金、銀、アル
ミニウム）等の低抵抗金属、あるいはその合金から形成
する。開口３８の代わりにスリットを形成してもよい。
これにより、横方向への漏れ磁界を抑えられ、トラック
幅を狭められるという利点がある。また、磁気ギャップ
６ｃの形成には磁気ポール用の金属膜を被着した後、磁
気ギャップ６ｃをエッチングすることにより、ギャップ
の位置精度を高めることができる。
に開口３８が形成された金属薄膜３７を配した例であ
る。金属薄膜３７は、Ａｕ，Ａｇ，Ａｌ（金、銀、アル
ミニウム）等の低抵抗金属、あるいはその合金から形成
する。開口３８の代わりにスリットを形成してもよい。
これにより、横方向への漏れ磁界を抑えられ、トラック
幅を狭められるという利点がある。また、磁気ギャップ
６ｃの形成には磁気ポール用の金属膜を被着した後、磁
気ギャップ６ｃをエッチングすることにより、ギャップ
の位置精度を高めることができる。
【００３５】図５（ｅ）は、コア３１のレーザ光射出端
に、ボータイ型のダイポールアンテナを構成する一対の
微小金属３９，３９を、一対の微小金属３９，３９およ
び磁気ポール６ａ，６ｂのそれぞれの並び方向が互いに
直角をなすように配し、それらの先端に開口３８が形成
された例である。このとき、レーザ光の偏向方向３６
は、磁気トラックと直角な方向、すなわち、ダイポール
アンテナを形成する微小金属３９，３９の並びと同方向
である。これにより、横方向への漏れ磁界を抑えられ、
開口３８に強力な近接場光が誘起される。また、磁気ポ
ール６ａ，６ｂの先端がテーパー状に細く形成すること
により強力な磁界が形成できるとともに、近接場光を更
に増強する効果をも奏する。
に、ボータイ型のダイポールアンテナを構成する一対の
微小金属３９，３９を、一対の微小金属３９，３９およ
び磁気ポール６ａ，６ｂのそれぞれの並び方向が互いに
直角をなすように配し、それらの先端に開口３８が形成
された例である。このとき、レーザ光の偏向方向３６
は、磁気トラックと直角な方向、すなわち、ダイポール
アンテナを形成する微小金属３９，３９の並びと同方向
である。これにより、横方向への漏れ磁界を抑えられ、
開口３８に強力な近接場光が誘起される。また、磁気ポ
ール６ａ，６ｂの先端がテーパー状に細く形成すること
により強力な磁界が形成できるとともに、近接場光を更
に増強する効果をも奏する。
【００３６】以上の磁気ポール６ａ，６ｂは、材料とし
てパーマロイを使用したが、その表面にＡｕやＡｇ，Ａ
ｌの薄膜をコーティングしてもよい。これにより、表面
プラズモンの励起効率を上げることができ、より高効
率、低エネルギー消費の光アシスト磁気記録が可能とな
る。
てパーマロイを使用したが、その表面にＡｕやＡｇ，Ａ
ｌの薄膜をコーティングしてもよい。これにより、表面
プラズモンの励起効率を上げることができ、より高効
率、低エネルギー消費の光アシスト磁気記録が可能とな
る。
【００３７】図６は、磁気ギャップを複数形成した例を
示す。この例では、図に示すように、２つの磁気ポール
６ａ，６ａ’に対向した２つの磁気ポール６ｂ，６ｂ’
により２つの磁気ギャップ６ｃ，６ｃ’が２本の記録ト
ラック９，９’上に形成されている。磁気ポール６ｂ，
６ｂ’は、それぞれ底面部ヨーク６ｄ，６ｄ’を介して
下部ヨーク４２，４２’に接続されて、それぞれ独立な
２つの磁気回路を構成する。また、下部ヨーク４２，４
２’と中部ヨークの間には２つの薄膜コイル（図示せ
ず）が形成されており、それぞれの磁気回路を独立に駆
動することが可能である。また、磁気抵抗センサも磁気
ギャップ６ｃ，６ｃ’の位置に合わせて、２つ形成され
る（図示せず）。
示す。この例では、図に示すように、２つの磁気ポール
６ａ，６ａ’に対向した２つの磁気ポール６ｂ，６ｂ’
により２つの磁気ギャップ６ｃ，６ｃ’が２本の記録ト
ラック９，９’上に形成されている。磁気ポール６ｂ，
６ｂ’は、それぞれ底面部ヨーク６ｄ，６ｄ’を介して
下部ヨーク４２，４２’に接続されて、それぞれ独立な
２つの磁気回路を構成する。また、下部ヨーク４２，４
２’と中部ヨークの間には２つの薄膜コイル（図示せ
ず）が形成されており、それぞれの磁気回路を独立に駆
動することが可能である。また、磁気抵抗センサも磁気
ギャップ６ｃ，６ｃ’の位置に合わせて、２つ形成され
る（図示せず）。
【００３８】この構成によれば、底面部ヨークの膜厚を
薄くできるため、複数のヨークを高密度に並べることが
できるので、並列記録に適した構造を有している。従っ
て、磁気ギャップ６ｃ，６ｃ’と磁気抵抗センサを複数
構成するだけで、磁気ギャップの数だけ記録再生速度を
上げることができる。本実施の形態では、記録・再生速
度を２倍に高めることができる。
薄くできるため、複数のヨークを高密度に並べることが
できるので、並列記録に適した構造を有している。従っ
て、磁気ギャップ６ｃ，６ｃ’と磁気抵抗センサを複数
構成するだけで、磁気ギャップの数だけ記録再生速度を
上げることができる。本実施の形態では、記録・再生速
度を２倍に高めることができる。
【００３９】図６は、本発明の第５の実施の形態の光ア
シスト磁気記録・再生ディスク装置を示す。この実施の
形態の光アシスト磁気記録・再生ディスク装置６０は、
磁気記録層６１ａとしてＰｔ／Ｃｒなどからなる垂直磁
気記録媒体を使用した磁気ディスク６１と、その磁気デ
ィスク６１を回転するためのモータ６２と、磁気記録層
６１ａ上を浮上走行して、磁気記録層６１ａに記録・再
生を行う第１〜第４の実施の形態に係る光アシスト磁気
記録ヘッド７０と、光アシスト磁気記録ヘッド７０を支
えるスイングアーム６３と、スイングアーム６３を走査
するためのボイスコイルモータ６４と、記録時には記録
信号を処理し、光アシスト磁気記録ヘッド７０のレーザ
光を変調し、再生時には光アシスト磁気記録ヘッド７０
からの光強度信号を用いて記録情報を再生する信号処理
回路６５と、記録・再生時にモータ６２やボイスコイル
モータ６４を制御する制御回路６６とを備える。
シスト磁気記録・再生ディスク装置を示す。この実施の
形態の光アシスト磁気記録・再生ディスク装置６０は、
磁気記録層６１ａとしてＰｔ／Ｃｒなどからなる垂直磁
気記録媒体を使用した磁気ディスク６１と、その磁気デ
ィスク６１を回転するためのモータ６２と、磁気記録層
６１ａ上を浮上走行して、磁気記録層６１ａに記録・再
生を行う第１〜第４の実施の形態に係る光アシスト磁気
記録ヘッド７０と、光アシスト磁気記録ヘッド７０を支
えるスイングアーム６３と、スイングアーム６３を走査
するためのボイスコイルモータ６４と、記録時には記録
信号を処理し、光アシスト磁気記録ヘッド７０のレーザ
光を変調し、再生時には光アシスト磁気記録ヘッド７０
からの光強度信号を用いて記録情報を再生する信号処理
回路６５と、記録・再生時にモータ６２やボイスコイル
モータ６４を制御する制御回路６６とを備える。
【００４０】この構成により、記録時には半導体レーザ
から出射された信号入力に基づいて強度変調されたレー
ザ光が光導波路の出射面から出射され、その直下に配置
された磁気記録層６１ａに入射して、磁気記録層６１ａ
に情報を記録する。また、再生時には、半導体レーザか
らの磁気記録層６１ａの記録に影響を与えない程度に弱
いレーザ光を磁気記録層６１ａに照射する。また、記録
・再生時には、ヘッド７０から出射した光を磁気記録層
６１ａ上の特定の記録トラック（図示せず）上に移動
し、かつ、トラッキングさせる必要がある。これは、ボ
イスコイルモータ６４の駆動による位置制御により行
う。すなわち、磁気ディスク６１のアドレス情報を読み
取り、その情報に基づいて形成した駆動信号により、ボ
イスコイルモータ６４を駆動してヘッド７０を所定のト
ラック付近に移動させた後、ボイスコイルモータ６４と
ビームスポット走査型半導体レーザ（図示せず）の駆動
により、精細に所定のトラックを追従させる。また、ヘ
ッド７０が自体、小型・軽量であるため、このヘッド７
０全体を圧電素子（図示せず）により、駆動させて精細
なトラッキングをさせてもよい。また、磁気抵抗センサ
の信号を用いてトラッキング誤差信号を形成することも
可能である。
から出射された信号入力に基づいて強度変調されたレー
ザ光が光導波路の出射面から出射され、その直下に配置
された磁気記録層６１ａに入射して、磁気記録層６１ａ
に情報を記録する。また、再生時には、半導体レーザか
らの磁気記録層６１ａの記録に影響を与えない程度に弱
いレーザ光を磁気記録層６１ａに照射する。また、記録
・再生時には、ヘッド７０から出射した光を磁気記録層
６１ａ上の特定の記録トラック（図示せず）上に移動
し、かつ、トラッキングさせる必要がある。これは、ボ
イスコイルモータ６４の駆動による位置制御により行
う。すなわち、磁気ディスク６１のアドレス情報を読み
取り、その情報に基づいて形成した駆動信号により、ボ
イスコイルモータ６４を駆動してヘッド７０を所定のト
ラック付近に移動させた後、ボイスコイルモータ６４と
ビームスポット走査型半導体レーザ（図示せず）の駆動
により、精細に所定のトラックを追従させる。また、ヘ
ッド７０が自体、小型・軽量であるため、このヘッド７
０全体を圧電素子（図示せず）により、駆動させて精細
なトラッキングをさせてもよい。また、磁気抵抗センサ
の信号を用いてトラッキング誤差信号を形成することも
可能である。
【００４１】この第５の実施の形態によれば、高効率の
光アシスト磁気記録ヘッド７０を磁気ディスク６１の記
録・再生に使用することができ、高速記録・再生、高密
度、特に高体積記録密度の光アシスト磁気ディスク装置
を提供することが可能となる。
光アシスト磁気記録ヘッド７０を磁気ディスク６１の記
録・再生に使用することができ、高速記録・再生、高密
度、特に高体積記録密度の光アシスト磁気ディスク装置
を提供することが可能となる。
【００４２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
レーザ光の照射位置と磁界印加位置が一致するため、レ
ーザ光照射から磁界印加までの間に加熱部が熱拡散によ
り広がらないので、記録部分を狭めることができ、高記
録密度化が可能となる。また、レーザ光の偏光方向を一
対の磁気ポールが並ぶ方向と一致させることにより、一
対の磁気ポールがレーザ光に対してダイポールアンテナ
の役割を果たし、ダイポールアンテナから強度の高い近
接場光が放出されるので、レーザ光の利用効率を大幅に
向上する。また、薄膜磁気記録トランスデューサの薄膜
コイルおよびヨークの少なくとも一方をレーザ出射口の
側方に配置することにより、小型化が可能となるととも
に、レーザ出射口と磁気抵抗センサの距離を近づけるこ
とができるため、同一トラックをトラッキングさせるこ
とが容易となる。また、薄膜磁気記録トランスデューサ
の薄膜コイルをレーザ出射口と磁気抵抗センサの検出部
を結ぶ線上から外れた位置に配置することにより、小型
化が可能となるとともに、レーザ出射口と磁気抵抗セン
サの距離を近づけることができるため、同一トラックを
トラッキングさせることが容易となる。更に、レーザ光
の利用効率を高めた光アシスト磁気ヘッドを用いるた
め、高密度・高転送レートでの記録・再生が可能とな
る。
レーザ光の照射位置と磁界印加位置が一致するため、レ
ーザ光照射から磁界印加までの間に加熱部が熱拡散によ
り広がらないので、記録部分を狭めることができ、高記
録密度化が可能となる。また、レーザ光の偏光方向を一
対の磁気ポールが並ぶ方向と一致させることにより、一
対の磁気ポールがレーザ光に対してダイポールアンテナ
の役割を果たし、ダイポールアンテナから強度の高い近
接場光が放出されるので、レーザ光の利用効率を大幅に
向上する。また、薄膜磁気記録トランスデューサの薄膜
コイルおよびヨークの少なくとも一方をレーザ出射口の
側方に配置することにより、小型化が可能となるととも
に、レーザ出射口と磁気抵抗センサの距離を近づけるこ
とができるため、同一トラックをトラッキングさせるこ
とが容易となる。また、薄膜磁気記録トランスデューサ
の薄膜コイルをレーザ出射口と磁気抵抗センサの検出部
を結ぶ線上から外れた位置に配置することにより、小型
化が可能となるとともに、レーザ出射口と磁気抵抗セン
サの距離を近づけることができるため、同一トラックを
トラッキングさせることが容易となる。更に、レーザ光
の利用効率を高めた光アシスト磁気ヘッドを用いるた
め、高密度・高転送レートでの記録・再生が可能とな
る。
【図１】本発明の第1の実施の形態に係る光アシスト磁
気記録ヘッドを示ずであり、（ａ）は光ヘッドの側面概
略断面図、（ｂ）は主要部の横断面の拡大図、（ｃ）は
図（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図、（ｄ）は底面主要部
の拡大図である。
気記録ヘッドを示ずであり、（ａ）は光ヘッドの側面概
略断面図、（ｂ）は主要部の横断面の拡大図、（ｃ）は
図（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図、（ｄ）は底面主要部
の拡大図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態に係る光アシスト磁
気記録ヘッドの要部を示す図であり、（ａ）は主要部の
横断面の拡大図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面
図、（ｃ）は磁気ポールの詳細図である。
気記録ヘッドの要部を示す図であり、（ａ）は主要部の
横断面の拡大図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面
図、（ｃ）は磁気ポールの詳細図である。
【図３】本発明の第３の実施の形態に係る光アシスト磁
気記録ヘッドの要部を示す図であり、（ａ）は主要部の
横断面の拡大図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線に沿う断面
図である。
気記録ヘッドの要部を示す図であり、（ａ）は主要部の
横断面の拡大図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線に沿う断面
図である。
【図４】本発明の第４の実施の形態に係る光アシスト磁
気記録ヘッドの要部を示す図であり、（ａ）は主要部の
横断面の拡大図、（ｂ）は図（ａ）のＤ−Ｄ線に沿う断
面図、（ｃ）は底面主要部の拡大図である。
気記録ヘッドの要部を示す図であり、（ａ）は主要部の
横断面の拡大図、（ｂ）は図（ａ）のＤ−Ｄ線に沿う断
面図、（ｃ）は底面主要部の拡大図である。
【図５】（ａ）から（ｅ）は、レーザ光出射口に配され
る磁気ポールの構造の変形例を示す図である。
る磁気ポールの構造の変形例を示す図である。
【図６】磁気ギャップを複数形成した例を示す図であ
る。
る。
【図７】本発明の第５の実施の形態の光アシスト磁気記
録・再生ディスク装置を示す図である。
録・再生ディスク装置を示す図である。
【図８】（ａ）は従来の光アシスト磁気記録ヘッドの概
略構成を示す断面図、（ｂ）はその要部断面図である。
略構成を示す断面図、（ｂ）はその要部断面図である。
１ 光アシスト磁気記録ヘッド
２ 浮上スライダ
２ａ 浮上スライダの後端面
２ｂ 浮上スライダの浮上面
２ｃ 浮上スライダの凹部
３ 光導波路
４ 薄膜磁気記録トランスデューサ
５ 磁気抵抗センサ
６ａ 磁気ポール
６ｂ，６ｂ’ 磁気ポール
６ｃ，６ｃ’ 磁気ギャップ
６ｄ，６ｄ’ 底面部ヨーク
８ 磁気ディスク
８ａ 磁気記録層
８ｂ 基板
９，９’ 記録トラック
３０ 誘電体層
３１ 薄膜コア
３２ クラッド
３５ 近接場光
３６ レーザ光の偏光方向
３７ 金属膜
３８ 開口
３９ 微小金属
４０ 熱導電率の低い誘電体膜
４２，４２’ 下部ヨーク
４２ａ 下部ヨークの先端
４３ 中部ヨーク
４４ 薄膜コイル
４４ａ リード線
４５ 誘電体絶縁膜
４６ 下部ヨーク
４６ａ 中部ヨーク
４７ 上部ヨーク
４８ 薄膜コイル
４８ａ リード線
４９ 磁界
５１ スピンバルブ膜
５２ａ，５２ｂ 電極
５３ 上部ヨーク
５３ａ 誘電体絶縁膜
５３ｂ 誘電体絶縁膜
５４ 磁気シールド膜
５５ 誘電体
６０ 光アシスト磁気記録・再生ディスク装置
６１ 磁気ディスク
６１ａ 磁気記録層
６２ モータ
６３ スイングアーム
６４ ボイスコイルモータ
６５ 信号処理回路
６６ 制御回路
７０ 光アシスト磁気記録ヘッド
Claims (21)
- 【請求項１】磁気記録媒体上を浮上走行する浮上スライ
ダの後端面に、レーザ光出射口から前記磁気記録媒体に
レーザ光を出射するレーザ光出射手段、前記レーザ光の
出射によって加熱された前記磁気記録媒体に一対の磁気
ポールから磁界を印加して情報を記録する薄膜磁気記録
トランスデューサ、および前記磁気記録媒体に記録され
た前記情報を検出する磁気抵抗センサを順次積層した光
アシスト磁気記録ヘッドにおいて、 前記薄膜磁気記録トランスデューサは、前記一対の磁気
ポールが前記レーザ光出射手段の前記レーザ光出射口に
配置され、前記一対の磁気ポールを先端に有するヨーク
と前記ヨークに巻回された薄膜コイルを備え、前記薄膜
コイルおよび前記ヨークの少なくとも一方が、前記レー
ザ光出射手段の前記レーザ出射口の側方に配置されてい
ることを特徴とする光アシスト磁気記録ヘッド。 - 【請求項２】前記薄膜磁気記録トランスデューサは、前
記薄膜コイルおよび前記ヨークが、前記レーザ光出射手
段の前記レーザ出射口の左右の両側方にそれぞれ配置さ
れていることを特徴とする請求項１記載の光アシスト磁
気記録ヘッド。 - 【請求項３】前記レーザ光出射手段は、前記レーザ光の
偏光方向が、前記一対の磁気ポールが並ぶ方向と一致す
ることを特徴とする請求項１記載の光アシスト磁気記録
ヘッド。 - 【請求項４】前記レーザ光出射手段は、半導体レーザか
ら構成されていることを特徴とする請求項１記載の光ア
シスト磁気記録ヘッド。 - 【請求項５】前記レーザ光出射手段は、レーザ光を出射
する半導体レーザと、前記半導体レーザからの前記レー
ザ光を一端から導入して他端の前記レーザ光出射口から
出射する光導波路とを備えたことを特徴とする請求項１
記載の光アシスト磁気記録ヘッド。 - 【請求項６】前記レーザ光出射手段および前記磁気抵抗
センサは、熱伝導率の低い膜を介して積層されているこ
とを特徴とする請求項1記載の光アシスト磁気記録ヘッ
ド。 - 【請求項７】前記薄膜磁気記録トランスデューサの前記
薄膜コイルは、前記浮上スライダのスライド方向に沿う
軸回りに巻回されていることを特徴とする請求項１記載
の光アシスト磁気記録ヘッド。 - 【請求項８】前記薄膜磁気記録トランスデューサの前記
薄膜コイルは、前記浮上スライダのスライド方向に対し
て垂直な方向の軸周りに巻回されていることを特徴とす
る請求項１記載の光アシスト磁気記録ヘッド。 - 【請求項９】前記薄膜磁気記録トランスデューサの前記
薄膜コイルは、複数形成されていることを特徴とする請
求項1記載の光アシスト磁気記録ヘッド。 - 【請求項１０】前記一対の磁気ポールは、少なくとも一
方の磁気ポールが先端に向けて厚さが徐々に薄くなるよ
うに形成されたこと特徴とする請求項１記載の光アシス
ト磁気記録ヘッド。 - 【請求項１１】前記一対の磁気ポールは、少なくとも一
方の先端が三角形状、台形状あるいは長方形状に形成さ
れていること特徴とする請求項１記載の光アシスト磁気
記録ヘッド。 - 【請求項１２】前記一対の磁気ポールは、少なくとも一
方の先端が平坦に形成されていること特徴とする請求項
１記載の光アシスト磁気記録ヘッド。 - 【請求項１３】前記一対の磁気ポールは、前記磁気記録
媒体の記録方向に磁気ギャップが形成されていること特
徴とする請求項１記載の光アシスト磁気記録ヘッド。 - 【請求項１４】前記一対の磁気ポールは、前記磁気記録
媒体の記録方向に対して垂直な方向に磁気ギャップが形
成されていることを特徴とする請求項１記載の光アシス
ト磁気記録ヘッド。 - 【請求項１５】前記一対の磁気ポールは、その先端が、
高屈折率を有する誘電体に埋め込まれていることを特徴
とする請求項１記載の光アシスト磁気記録ヘッド。 - 【請求項１６】前記磁気ポールは、複数の磁気ギャップ
を有することを特徴とする請求項１記載の光アシスト磁
気記録ヘッド。 - 【請求項１７】前記レーザ光出射手段の前記レーザ出射
口は、開口あるいはスリットが形成されたＡｕ，Ａｇ，
Ａｌ等の低抵抗金属、あるいはその合金からなる金属薄
膜が配置されていることを特徴とする請求項１記載の光
アシスト磁気記録ヘッド。 - 【請求項１８】前記レーザ光出射手段の前記レーザ出射
口は、Ａｕ，Ａｇ，Ａｌ等の低抵抗金属、あるいはその
合金からなるボータイ型のダイポールアンテナが、前記
ダイポールアンテナおよび前記一対の磁気ポールのそれ
ぞれの並び方向が互いに直角をなすように配置され、前
記レーザ光の偏光方向が前記ダイポールアンテナの並ぶ
方向と同方向であることを特徴とする請求項1記載の光
アシスト磁気記録ヘッド。 - 【請求項１９】磁気記録媒体上を浮上走行する浮上スラ
イダの後端面に、レーザ光出射口から前記磁気記録媒体
にレーザ光を出射するレーザ光出射手段、前記レーザ光
の出射によって加熱された前記磁気記録媒体に一対の磁
気ポールから磁界を印加して情報を記録する薄膜磁気記
録トランスデューサ、および前記磁気記録媒体に記録さ
れた前記情報を検出する磁気抵抗センサを順次積層した
光アシスト磁気記録ヘッドにおいて、 前記薄膜磁気記録トランスデューサは、前記一対の磁気
ポールが前記レーザ光出射手段の前記レーザ光出射口に
配置され、前記一対の磁気ポールを先端に有するヨーク
と前記ヨークに巻回された薄膜コイルを備え、前記薄膜
コイルが、前記レーザ光出射手段の前記レーザ出射口と
前記磁気抵抗センサの検出部を結ぶ線上から外れた位置
に形成されていることを特徴とする光アシスト磁気記録
ヘッド。 - 【請求項２０】前記レーザ光出射手段および前記磁気抵
抗センサは、熱伝導率の低い膜を介して積層されている
ことを特徴とする請求項１９記載の光アシスト磁気記録
ヘッド。 - 【請求項２１】磁気記録ディスク上を浮上走行し、前記
磁気記録ディスクの磁気記録媒体に対して情報の記録を
行う光アシスト磁気記録ヘッドを有する光アシスト磁気
記録ディスク装置において、 前記光アシスト磁気記録ヘッドは、前記磁気記録媒体上
を浮上走行する浮上スライダの後端面に、レーザ光出射
口から前記磁気記録媒体にレーザ光を出射するレーザ光
出射手段、前記レーザ光の出射によって加熱された前記
磁気記録媒体に一対の磁気ポールから磁界を印加して前
記情報を記録する薄膜磁気記録トランスデューサ、およ
び前記磁気記録媒体に記録された前記情報を検出する磁
気抵抗センサが順次積層され、 前記薄膜磁気記録トランスデューサは、前記一対の磁気
ポールが前記レーザ光出射手段の前記レーザ光出射口に
配置され、前記一対の磁気ポールを先端に有するヨーク
と前記ヨークに巻回された薄膜コイルを備え、前記薄膜
コイルおよび前記ヨークの少なくとも一方が、前記レー
ザ光出射手段の前記レーザ出射口の側方に配置されてい
ることを特徴とする光アシスト磁気ディスク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002067369A JP3948318B2 (ja) | 2002-03-12 | 2002-03-12 | 光アシスト磁気記録ヘッドおよび光アシスト磁気記録ディスク装置 |
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|---|---|---|---|
| JP2002067369A JP3948318B2 (ja) | 2002-03-12 | 2002-03-12 | 光アシスト磁気記録ヘッドおよび光アシスト磁気記録ディスク装置 |
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|---|---|
| JP2003272103A true JP2003272103A (ja) | 2003-09-26 |
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|---|---|---|---|
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|---|---|
| JP (1) | JP3948318B2 (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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