JP2003254285A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2003254285A5 JP2003254285A5 JP2002053198A JP2002053198A JP2003254285A5 JP 2003254285 A5 JP2003254285 A5 JP 2003254285A5 JP 2002053198 A JP2002053198 A JP 2002053198A JP 2002053198 A JP2002053198 A JP 2002053198A JP 2003254285 A5 JP2003254285 A5 JP 2003254285A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump device
- rotor
- bearing
- cylindrical member
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 claims 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims 2
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims 1
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002053198A JP2003254285A (ja) | 2002-02-28 | 2002-02-28 | ポンプ装置 |
| US10/370,985 US20030161733A1 (en) | 2002-02-28 | 2003-02-20 | Pump apparatus |
| EP20030251052 EP1340918A1 (en) | 2002-02-28 | 2003-02-21 | Turbomolecular pump |
| KR10-2003-0011962A KR20030071525A (ko) | 2002-02-28 | 2003-02-26 | 펌프 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002053198A JP2003254285A (ja) | 2002-02-28 | 2002-02-28 | ポンプ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003254285A JP2003254285A (ja) | 2003-09-10 |
| JP2003254285A5 true JP2003254285A5 (enExample) | 2005-08-25 |
Family
ID=27678550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002053198A Withdrawn JP2003254285A (ja) | 2002-02-28 | 2002-02-28 | ポンプ装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20030161733A1 (enExample) |
| EP (1) | EP1340918A1 (enExample) |
| JP (1) | JP2003254285A (enExample) |
| KR (1) | KR20030071525A (enExample) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005320905A (ja) | 2004-05-10 | 2005-11-17 | Boc Edwards Kk | 真空ポンプ |
| KR100604894B1 (ko) * | 2004-08-21 | 2006-07-28 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조설비의 회전운동장치 |
| KR100725524B1 (ko) * | 2006-09-01 | 2007-06-08 | 삼성광주전자 주식회사 | 펌프 유량제어방법 및 펌프 유량제어시스템 |
| JP4702236B2 (ja) * | 2006-09-12 | 2011-06-15 | 株式会社豊田自動織機 | 真空ポンプの運転停止制御方法及び運転停止制御装置 |
| DE102007027711A1 (de) * | 2007-06-15 | 2008-12-18 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zum Betreiben einer Anordnung mit Vakuumpumpe und Anordnung mit einer Vakuumpumpe |
| US8459392B2 (en) | 2007-06-22 | 2013-06-11 | Bombardier Recreational Products Inc. | Snowmobile having electronically controlled lubrication |
| JP2009103138A (ja) * | 2009-02-18 | 2009-05-14 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
| JP5497765B2 (ja) * | 2009-08-04 | 2014-05-21 | キヤノンアネルバ株式会社 | 加熱処理装置および半導体デバイスの製造方法 |
| EP2469096B1 (en) * | 2009-08-21 | 2020-04-22 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump |
| WO2012105116A1 (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-09 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプの回転体と、これに対向設置する固定部材、及び、これらを備えた真空ポンプ |
| US9759233B2 (en) * | 2011-10-31 | 2017-09-12 | Edwards Japan Limited | Stator member and vacuum pump |
| DE102013207059A1 (de) | 2013-04-18 | 2014-10-23 | Agilent Technologies, Inc. - A Delaware Corporation - | Turbomolekularpumpe mit Stator- und/oder Rotorelementen mit Metalloxid-Oberfläche mit hohem Strahlungsvermögen |
| CN104895808B (zh) * | 2014-03-04 | 2017-06-06 | 上海复谣真空科技有限公司 | 复合分子泵 |
| JP7119312B2 (ja) * | 2017-09-04 | 2022-08-17 | 株式会社島津製作所 | 磁気軸受制御装置および真空ポンプ |
| JP7347964B2 (ja) * | 2019-05-30 | 2023-09-20 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び該真空ポンプに備えられた保護部 |
| JP7756504B2 (ja) * | 2021-06-18 | 2025-10-20 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2444099C3 (de) * | 1974-09-14 | 1979-04-12 | Kernforschungsanlage Juelich Gmbh, 5170 Juelich | Berührungsloses Lagerelement für mindestens teilweise magnetisierbare Körper |
| US4767265A (en) * | 1983-10-07 | 1988-08-30 | Sargent-Welch Scientific Co. | Turbomolecular pump with improved bearing assembly |
| US5618167A (en) * | 1994-07-28 | 1997-04-08 | Ebara Corporation | Vacuum pump apparatus having peltier elements for cooling the motor & bearing housing and heating the outer housing |
| JP3160504B2 (ja) * | 1995-09-05 | 2001-04-25 | 三菱重工業株式会社 | ターボ分子ポンプ |
| JP3550465B2 (ja) * | 1996-08-30 | 2004-08-04 | 株式会社日立製作所 | ターボ真空ポンプ及びその運転方法 |
| US6114788A (en) * | 1996-12-10 | 2000-09-05 | Seagate Technology L.L.C. | Motor/active magnetic bearing combination structure |
| JP3057486B2 (ja) * | 1997-01-22 | 2000-06-26 | セイコー精機株式会社 | ターボ分子ポンプ |
| EP0939228B1 (en) * | 1997-07-16 | 2009-01-07 | Shimadzu Corporation | Drive controller for motor-driven high-speed rotating body and method for discriminating type of machine used therefor |
| JP3735749B2 (ja) * | 1997-07-22 | 2006-01-18 | 光洋精工株式会社 | ターボ分子ポンプ |
| US6123522A (en) * | 1997-07-22 | 2000-09-26 | Koyo Seiko Co., Ltd. | Turbo molecular pump |
| EP0953781B1 (en) * | 1998-04-28 | 2005-04-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic bearing |
| US6095754A (en) * | 1998-05-06 | 2000-08-01 | Applied Materials, Inc. | Turbo-Molecular pump with metal matrix composite rotor and stator |
| JP3788558B2 (ja) * | 1999-03-23 | 2006-06-21 | 株式会社荏原製作所 | ターボ分子ポンプ |
| US6351983B1 (en) * | 1999-04-12 | 2002-03-05 | The Regents Of The University Of California | Portable gas chromatograph mass spectrometer for on-site chemical analyses |
| JP3916821B2 (ja) * | 1999-12-13 | 2007-05-23 | 株式会社荏原製作所 | 磁気浮上制御装置 |
| JP2002048088A (ja) * | 2000-07-31 | 2002-02-15 | Seiko Instruments Inc | 真空ポンプ |
| DE10053664A1 (de) * | 2000-10-28 | 2002-05-08 | Leybold Vakuum Gmbh | Mechanische kinetische Vakuumpumpe |
| US6700258B2 (en) * | 2001-05-23 | 2004-03-02 | Calnetix | Magnetic thrust bearing with permanent bias flux |
-
2002
- 2002-02-28 JP JP2002053198A patent/JP2003254285A/ja not_active Withdrawn
-
2003
- 2003-02-20 US US10/370,985 patent/US20030161733A1/en not_active Abandoned
- 2003-02-21 EP EP20030251052 patent/EP1340918A1/en not_active Withdrawn
- 2003-02-26 KR KR10-2003-0011962A patent/KR20030071525A/ko not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2003254285A5 (enExample) | ||
| JP2004190660A5 (enExample) | ||
| JP2003269367A (ja) | 真空ポンプ | |
| JP2002242876A5 (enExample) | ||
| JP2010025122A (ja) | 分子ポンプの断熱構造 | |
| JP5328322B2 (ja) | 空冷式ドライ真空ポンプ | |
| JP2597671Y2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| WO2020241521A1 (ja) | 真空ポンプ、および連結型ネジ溝スペーサ | |
| JP2014050133A (ja) | ロータ、電動機及び過給機 | |
| JP2003035290A (ja) | ドライ真空ポンプ | |
| JP2009138697A (ja) | 車両用コンプレッサ | |
| JP6916412B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| JP7764138B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| JP3456558B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP3484371B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP2004270692A (ja) | 分子ポンプの断熱構造 | |
| TWI384130B (zh) | 散熱風扇 | |
| JP7721592B2 (ja) | 真空ポンプ及び固定円板 | |
| JPH0754638Y2 (ja) | 真空ポンプ | |
| JP7555227B2 (ja) | 真空ポンプとこれを用いた真空排気システム | |
| JP7530939B2 (ja) | 真空ポンプおよび固定部品 | |
| JP7378447B2 (ja) | 真空ポンプおよび固定部品 | |
| JP7463332B2 (ja) | 真空ポンプ、真空ポンプの軸受保護構造、及び真空ポンプの回転体 | |
| JPH10169594A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP7463324B2 (ja) | 真空ポンプ及び真空ポンプの熱移動抑制部材 |