JP2003242914A - 電界放出表示装置及びその製造方法 - Google Patents

電界放出表示装置及びその製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電界放出表示装置及びその製造方法を提供す
る。 【解決手段】 互に離隔され内部に真空空間が設けられ
て表示領域１７０を有する前面板１１０及び背面板１２
０、背面板１２０側の表示領域１７０内に配置された陰
極１２２上に形成される電子放出源１２８、電子放出源
１２８を制御するゲート電極１２６を含む電子放出部、
電子放出部と対応する前面板１１０側の表示領域内に配
置され陰極１２２に対する両極及び電子放出部からの電
子で発光する蛍光体層を含む発光表示部、前面板１１０
または背面板１２０内に配置されるゲッタ陽極１５４、
ゲッタ陽極１５４に形成され活性化によりガスを吸着す
るゲッタ層１５６、ゲッタ陽極１５６と対向して背面板
１２０または前面板１１０に形成されるゲッタ陰極１６
０、ゲッタ陰極１６０に形成されてゲッタ層１５６の活
性化により電子を放出するゲッタ電子放出源１６２を有
するゲッタ部１８０を備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電界放出表示装置
（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ：以
下、「ＦＥＤ」という）及びその製造方法に係り、特
に、前面板に形成された非揮発性のゲッタ層を活性化し
て、ディスプレイパネル内部で発生したガスを吸収する
ことにより高い真空度を維持することが可能な電界放出
表示装置及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の電界放出表示装置においては、電
子放出源として、単位画素当り数百〜数千のマイクロチ
ップまたはカーボンナノチューブが背面板に配置され、
その前面板には電子放出源から放出される電子により発
光する蛍光層が配置されている。そして、前記前面板及
び背面板間の間隔は、一般に、２００μｍ〜数ｍｍ程度
であり、前記前面板と背面板間との間では電子がエネル
ギー損失を伴わずに移動することが可能なように高真空
の状態を保持する必要がある。
【０００３】このような電子放出を用いた従来の表示装
置としては、テレビ等に用いられている陰極線管や、近
年、種々の装置に次第に多用されるようになってきた電
界放出表示装置が挙げられる。前記従来の陰極線管の場
合、内部空間の体積は比較的大きいが、気密性が良好と
なるように形成されるので比較的高い真空度を維持する
ことは容易である。
【０００４】一方、前記従来の電界放出表示装置の場合
には、内部の空間体積が非常に小さいものの、所望の高
い真空度を維持することが困難である。この理由は、電
界放出表示装置では、体積が比較的狭い内部空間の内部
に気体を発生させる物質が相対的に広い面積に分布して
いるので、これらの物質から気体が発生すると真空度が
急速に低下するためである。したがって、前記従来の電
界放出表示素子においては、内部空間が所望の高い真空
状態を有するように製造される必要がある。このこと
は、電界放出表示装置の品質及び寿命に多大な影響を及
ぼす要因となる。
【０００５】図１は、従来の１例のＦＥＤの構造を模式
的に示す断面図であり、図２は従来の１例のＦＥＤの構
成を模式的に示す透視平面図である。図１に示す従来の
１例のＦＥＤは、互に所定間隔で離隔された前面板１０
及び背面板２０を備えて構成されている。前面板１０及
び背面板２０の対向する各内面にはストライプ状に延び
る陽極１２及び陰極２２が形成されている。また、陰極
２２上にはホール２４ａが形成されたゲート絶縁層２４
が配置されている。さらに、ゲート絶縁層２４上にはホ
ール２４ａに対応するゲート２６ａが形成されたゲート
電極２６が配置されている。そして、ホール２４ａの底
部に露出された陰極２２の表面には、電子放出源を構成
する多数のカーボンナノチューブ（Ｃａｒｂｏｎ Ｎａ
ｎｏ−Ｔｕｂｅ；以下、「ＣＮＴ」という）２８が形成
されている。
【０００６】また、前面板１０の内面に形成された両極
（陰極及び陽極）１２には各画素に対応する色相の蛍光
層１４が塗布され、この各蛍光層１４の間にはコントラ
スト及び色純度を向上させるブラックマトリックス１６
が形成されている。さらに、前面板１０及び背面板２０
間にはこれらの間隔を一定に保持させるスペーサ１８が
多数配置され、前面板１０及び背面板２０の縁部には内
部空間を外部から閉鎖する側壁フレーム３０が配置され
ている。
【０００７】さらに、背面板２０の一側には内部からの
ガスを排出する排気通路４０が配置され、排気通路４０
の出口には内部を密封するためのシーリングキャップ４
０ａが形成されている。背面板２０の他側には内部にガ
スを流入させるためのガス通路４２が設けられている。
そして、背面板２０の外側に、このようにして流入され
たガスを吸着するためのゲッタ４４が備えられたゲッタ
容器４６が結合されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】前記した構造を備える
従来のＦＥＤにおいては、背面板２０の外側にゲッタ容
器４６が突出するように結合されており、このことによ
ってディスプレイパネルの実際の厚さが付加的に厚くな
るという事態を招来する。また、このような従来のＦＥ
Ｄにおいては、前記ガスがゲッタ４４へ吸着するにつれ
てガスの流動抵抗が増加し、このＦＥＤに含まれるガス
通路４２の断面積が比較的狭いこととも相俟って、効率
的なガスの吸着を維することが困難であった。
【０００９】前記ガスの流動抵抗の増加は、ガス通路４
２のみならず、２００μｍ〜数ｍｍの間隔に保持される
前面板１０と背面板２０との間でも顕著に現れる。この
ような前面板１０と背面板２０との間で発生するガスの
流動抵抗の増加は、結果的に内部空間に残存するガス、
特に、ガス通路４２から比較的遠方にあるガスは、前記
のように高い流動抵抗を有する前面板１０と背面板２０
との間、及びガス通路４２を通過し難くなる。このた
め、前記ＦＥＤの内部で発生したガスを効率的に排気す
ることができなくなって、前記ＦＥＤ内部を排気して維
持することが可能な真空度には限界があった。
【００１０】前記問題点を解決するために、本発明の第
１の目的は、残留する内部ガスを効率よく除去しうる電
界放出表示装置及びその製造方法を提供することにあ
る。
【００１１】また、本発明の第２の目的は、使用中、内
部ガスの発生時に内部真空度の維持のためのガス吸着が
可能な電界放出表示装置及びその製造方法を提供するこ
とにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】（１）前記目的を達成す
るための本発明の電界放出表示装置は、互に離隔され、
内部に真空空間が設けられて表示領域と定義された部分
を有する前面板及び背面板と、前記背面板側の表示領域
内に配置され、陰極、前記陰極上に形成される電子放出
源、及びその電子放出を制御するゲート電極を含む電子
放出部と、前記電子放出部と対応する前記前面板側の表
示領域内に配置され、前記陰極に対応する両極（陰極及
び陽極）、及び前記電子放出部から放出された電子によ
って発光する蛍光体層を備える発光表示部と、前記前面
板または背面板の内面に配置されるゲッタ陽極と、前記
ゲッタ陽極に形成され、活性化によりガスを吸着するゲ
ッタ層と、前記ゲッタ陽極と対向して前記背面板または
前面板に形成されるゲッタ陰極と、前記ゲッタ陰極に形
成されて前記ゲッタ層を活性化させることにより電子を
放出するゲッタ電子放出源を有するゲッタ部とを備えて
構成される。
【００１３】（２）本発明は、前記電界放出表示装置に
おいて、ゲッタ活性化用の電子放出源が、カーボンナノ
チューブまたはマイクロチップで構成されることが望ま
しい。
【００１４】（３）また、本発明は、前記電界放出表示
装置において、ゲッタ陽極及びゲッタ陰極が、該当する
前面板及び背面板の内面から一方向にストライプ状に延
びる電極で構成されることが望ましい。
【００１５】（４）さらに、本発明は、前記電界放出表
示装置において、ゲッタ部が、表示領域から離隔した位
置に配置されることが望ましい。
【００１６】（５）そして、本発明は、前記電界放出表
示装置において、ゲッタ部が、表示領域を囲繞するよう
に形成されることが望ましい。
【００１７】（６）また、本発明は、前記電界放出表示
装置において、ゲッタ層が、非揮発性のＺｒ粒子層で構
成されてもよい。
【００１８】（７）本発明は、前記ゲッタ層が、２０〜
１００μｍの厚さを有すること望ましい。
【００１９】（８）また、本発明は、前記電界放出表示
装置において、ゲッタ陽極の下部に、前記ゲッタ陽極
を、前記前面板または背面板から所定高さだけ高く配置
させる支持台が備えられることが望ましい。
【００２０】（９）前記目的を達成するための本発明の
電界放出表示装置の製造方法は、前記電界放出表示素子
の製造方法であって、（ａ）所定の表示領域内に陰極、
前記陰極上に電子放出源及び電子放出を制御するゲート
電極が形成された背面板を調製する段階と、（ｂ） 前
記陰極に対応する陽極及び前記電子放出源から放出され
る電子によって発光する蛍光体層が形成された前面板を
調製する段階と、（ｃ） 前記前面板及び背面板の内面
にゲッタ陽極及びゲッタ層を順次に形成する段階と、
（ｄ）前記ゲッタ陽極と対向して前記背面板または前面
板の内面にゲッタ陰極を形成する段階と、（ｅ） 前記
ゲッタ陰極上に電子放出源を形成する段階と、（ｆ）
前記前面板及び背面板間の縁部を密閉した後、排気して
前記前面板及び背面板間の空間部を真空化する段階と、
（ｇ） 前記空間部で発生したガスを吸着するように、
前記ゲッタ陽極及びゲッタ陰極に電圧を印加して前記ゲ
ッタ層を活性化させる段階とを備える。
【００２１】（１０）本発明は、前記電界放出表示装置
の製造方法において、（ｃ）段階が、（ｃ１）支持台上
にスパッタリングでＩＴＯによるゲッタ活性化用の陽極
を形成する段階と、（ｃ２）前記ＩＴＯゲッタ陽極上に
Ｚｒを主成分とする非蒸発性ゲッタ層を形成する段階
と、（ｃ３）前記支持台を前記前面板または背面板の内
面に設ける段階とを備えることが望ましい。
【００２２】（１１）また、本発明は、前記電界放出表
示装置の製造方法において、前記（ｃ）段階が、複数の
支持台を得るために、前記ゲッタ陽極及びゲッタ層を基
板上に順次積層した後、この基板を所定の長さ及び所定
の幅で切断して前記支持台を分離する段階を含むことが
望ましい。
【００２３】（１２）さらに、本発明は、前記電界放出
表示装置の製造方法において、前記（ｃ）段階のゲッタ
層が、２０〜１００μｍの厚さに形成されることが望ま
しい。
【００２４】（１３）そして、本発明は、前記電界放出
表示装置の製造方法において、前記（ｃ）段階のゲッタ
層が、Ｚｒペーストを用いるスクリーン印刷法によって
形成されてもよい。
【００２５】（１４）また、本発明は、前記電界放出表
示装置の製造方法において、前記Ｚｒペーストが、Ｚｒ
粉末と、ニトロセルロース、及びアセテートが混合され
たバインダ溶液とを含む組成物として構成されてもよ
い。
【００２６】（１５）そして、本発明は、前記電界放出
表示装置の製造方法において、前記Ｚｒペーストに含ま
れるＺｒ粉末の含有量が、６０〜９０質量％であること
が望ましい。
【００２７】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面を参照しなが
ら、本発明の電界放出表示装置、及びその製造方法の望
ましい実施形態を用いて本発明を詳細に説明する。な
お、ここでは、明細書の内容を明確に説明するために、
図面に示す層や領域の厚さを誇張して示している。
【００２８】図３は、本発明に係る望ましい１実施形態
の電界放出表示装置の構成を模式的に示す断面図であ
り、図４は本発明に係る望ましい１実施形態の電界放出
表示装置の構成を模式的に示す透視平面図である。な
お、これらの本発明に係る実施形態に含まれる構成要素
で、従来の技術と実質的に同じものは、その詳細な説明
を略す。
【００２９】図３に示すように、本発明に係る望ましい
１実施形態のＦＥＤは、互に所定間隔に離隔された前面
板１１０及び背面板１２０と、表示領域１７０内で前記
背面板１２０に形成された電子放出部と前記前面板１１
０に形成された発光表示部と、表示領域１７０外のゲッ
タ部１８０とを備えて構成されている。前記背面板１２
０の内面にはストライプ状の陰極１２２が形成される。
前記陰極１２２上にはホール１２４ａが形成されたゲー
ト絶縁層１２４が配置されている。ゲート絶縁層１２４
上には前記ホール１２４ａに対応するゲート１２６ａが
形成されたゲート電極１２６が配置されている。前記ホ
ール１２４ａの底に露出された陰極１２２の表面に電子
放出源である多数のＣＮＴ１２８が形成されている。本
発明にあっては、前記電子放出源として多数のマイクロ
チップを使用してもよい。
【００３０】前面板１１０の内面には、ストライプ電極
または面電極形状の陽極１１２が形成される。陽極１１
２には各画素に対応する色相の蛍光層１１４が塗布され
ており、これら蛍光層１１４間にはコントラスト及び色
純度を向上させるためのブラックマトリックス１１６が
形成されている。
【００３１】前面板１１０と背面板１２０との間には、
これらの間隔を保つスペーサ１１８が多数配置され、前
面板１１０及び背面板１２０の縁部には内部空間を外部
から閉鎖する側壁フレーム１３０が配置されている。前
記背面板１２０の一側には内部からのガスを排出する排
気通路１４０が配置され、前記排気通路１４０の外側に
はこれを密封するためのシーリングキャップ１４０ａが
形成されている。
【００３２】図４に示すように、表示領域１７０及び側
壁フレーム１３０間には本発明の特徴部であるゲッタ部
１８０がストライプ状に形成されている。ゲッタ部１８
０は、前面板１１０上に支持台１５２、ゲッタ陽極１５
４及びゲッタ層１５６が順次に積層されたゲッタ積層物
１５０と、ゲッタ陽極１５４に対向して背面板１２０上
に備えられたゲッタ陰極１６０と、ゲッタ陰極１６０に
形成されてゲッタ層１５６を活性化させる電子を放出す
るゲッタ活性化用の電子放出源１６２とを備える。ゲッ
タ活性化用の電子放出源１６２はＣＮＴまたはマイクロ
チップで形成することができる。
【００３３】ゲッタ層１５６は、非揮発性のＺｒ粒子よ
り構成され、その表面には酸化膜が形成されている。ゲ
ッタ層１５６はゲッタ活性化用の電子放出源１６２によ
って表面の前記酸化膜が剥離されるとともに、ガスの吸
着を行うことができる。
【００３４】多数の支持台１５２を得るために１つの基
板上にゲッタ陽極及びゲッタ層を順次に形成した後、前
記基板を、ダイス工程を通して分離して支持台１５２が
得られる。また、前記支持台の高さを調節することによ
ってゲッタ陽極とゲッタ陰極との間隔を調節することが
できる。
【００３５】つぎに、前記構造の作用について、図面を
参照しながら詳細に説明する。まず、ゲッタ陽極１５４
及びゲッタ陰極１６０の両端に１〜３ｋＶの電圧を印加
すると、ゲッタ陰極１６０上に形成された電子放出源１
６２から比較的高い運動エネルギーを有する電子が放出
される。このように放出された電子は、非揮発性ゲッタ
層１５６の表面と衝突して、ゲッタの表面に形成された
酸化膜の保護膜を除去する。
【００３６】次いで、活性化されたゲッタはディスプレ
イ内部の残留気体を吸着する。このようなゲッタ層１５
６の活性化動作はディスプレイ製作時または使用中にデ
ィスプレイの輝度が低下した場合に行われる。
【００３７】続いて、陰極１２２及びゲート電極１２６
間に１〜３ｋＶ電圧を印加すれば、強い電界が形成され
た電子放出源１２８の先端で電子が放出され、このよう
に放出された電子が前面板１１２上のカラー蛍光体層１
１４に衝突して所望の映像情報の表示を行う。
【００３８】図５は、本発明に係る電界放出表示装置の
変形例を示す透視平面図であって、前記本発明に係る１
例の実施形態と同じ構成要素には同じ参照番号を付し、
その詳細な説明を省略する。図５に示すように、表示領
域１７０を取り囲んでゲッタ部１８０’が備えられてい
る。このように本発明の特徴部であるゲッタ部は適宜位
置に形成され、その作用は前記した通りであるのでその
説明を省略する。
【００３９】つぎに、前記構造の電界放出表示装置の製
造工程について、図面を参照しながらに詳細に説明す
る。まず、前面板１１０のガラス板上に面電極である陽
極１１２、Ｒ、Ｇ、Ｂのカラー蛍光層１１４及びブラッ
クマトリックス１１６を形成した後、表示領域１７０の
外郭に支持台１５２、ゲッタ陽極１５４及び非蒸発性ゲ
ッタ層１５６が順次に積層されたゲッタ積層物１５０を
付着させ、ゲッタ層１５６の下部のゲッタ陽極１５４を
真空空間の外部に形成されている外部端子電極（図示せ
ず）に導電性ペーストで連結する。
【００４０】ゲッタ積層物１５０の製造は、まず、４０
０〜７００μｍの厚さを有する基板上にスパッタリング
装備を使用して１８００〜３０００Åの厚さに透明導電
膜であるＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）
層を面電極の形にコーティングする。その後、前記ＩＴ
Ｏ電極層上にＺｒを主成分とする非蒸発性ゲッタ層（Ｎ
ｏｎ−Ｅｖａｐｏｒａｂｌｅ Ｇｅｔｔｅｒ ｌａｙｅ
ｒ：ＮＥＧ）を２０〜１００μｍの厚さに均一に形成す
る。
【００４１】次いで、前記のようにゲッタ層が形成され
た基板を長さ５〜１０ｍｍ程度になるようにダイスし、
分離して多数のゲッタ積層物１５０を作る。
【００４２】続いて、前記のように製作された分離され
たゲッタ積層物１５０を前面板１１０にフリットを使用
して溶融接合させる。なお、前記ゲッタ層の形成方法
は、高粘土のＺｒペーストによるスクリーン印刷方法を
使用するか、電荷物質が含まれた低粘度の溶液状態で電
気泳動法によりプレート上にＺｒ層を形成し、このＺｒ
層が表面に形成されたプレートをゲッタ陽極に結合させ
る。
【００４３】前記Ｚｒペーストは、高純度のＺｒ粉末を
主成分とするゲッタ物質と、粘度維持物質としてニトロ
セルロース及びアセテートから構成されるバインダ溶液
とを混合したものを使用することができる。このとき、
このように混合された混合物物のうち、Ｚｒ粉末の含有
量を６０〜９０質量％とすることが望ましい。
【００４４】前記スクリーン印刷法でゲッタ層を印刷す
る場合、形成されたゲッタ層を３８０〜４３０℃で、乾
燥及び焼成を施してペーストに含まれる溶媒の蒸発及び
溶質の分解を行って、最終的にＺｒを主成分とするゲッ
タ粒子のみをゲッタ陽極１５４上に形成する。前記ゲッ
タ粒子の層の熱焼成を行う工程は、ゲッタ物質の表面に
形成される酸化膜の厚さを最小とすべく、不活性ガス雰
囲気で行うことが望ましい。
【００４５】一方、ガラス基板である背面板１２０上で
表示領域１７０及びゲッタ積層物１５０に対応する領域
に陰極１２２及びゲート絶縁層１２４を形成する。次い
で、表示領域１７０にゲート電極１２６を形成し、ゲッ
タ積層物１５０に対応する絶縁層１２４上にゲッタ陰極
１６０を形成する。
【００４６】引き続き、電子放出源１２８が形成される
円形のホールにゲート電極１２６及び絶縁層１２４をエ
ッチングする。前記ホールに前子放出源１２８をペース
ト状に塗布して形成する。このとき、ゲッタ電子放出源
１６２もゲッタ陰極１６０上に同時に形成することが望
ましい。
【００４７】次いで、このようにして製造された背面板
１２０及び前面板１１０の縁部に側壁ガラス１３０を配
し、側壁ガラス１３０と背面板１２０及び前面板１１０
が接触される所にフリットペーストを介して組立てる。
次いで、フリットを熱溶融させて前記接触部を密封した
後に加熱排気装置（図示せず）にガス通路１４０の端部
を連結してパネル内部を高真空状態になるように加熱排
気を行う。排気工程中、約３２０〜３５０℃程度までパ
ネルを加熱して表示素子の内部から生じる各種の残留ガ
スを放出させながら排気工程を行う。パネル内部の真空
度が、０．００１Ｐａ（１０-5Ｔｏｒｒ）程度以下の状
態でガス通路１４０の端部にシーリングキャップ１４０
ａを付着または溶融させることにより真空空間を密封す
る。
【００４８】次いで、前面板１１０上の非蒸発性ゲッタ
物質の下方のゲッタ陽極１５４及び背面板１２０上のゲ
ッタ陰極１６０の両端に１ｋＶ〜５ｋＶ程度の電圧を印
加すれば、ゲッタ陰極１６０上の電子放出源１６２から
高い運動エネルギーを有する高速電子が放出されて、こ
の高速電子が非蒸発性ゲッタ層１５６の表面に衝突して
ゲッタを活性化させる。
【００４９】前記のように製作されたＦＥＤを駆動させ
るためには、まず陰極１２２とゲート電極１２６との間
に７０〜１００Ｖ程度の電圧を印加し、陰極１２２と陽
極１１２との間に約１〜３ｋＶ程度の電位差を保持すれ
ば、電子放出源１２８から電子が放出され、この電子が
真空領域を通過して陽極１１２上の蛍光体層１１４に衝
突することにより所望の部分が発光する。ここで、陰極
１２２とゲート１２６とは、一定の間隔及び線幅を有す
る線電極の形態で、層間絶縁層１２４を介して対向し
た、いわゆるＸ−Ｙ軸形のマトリックス構造を有してい
るので、選択された領域のみが発光するようになる。
【００５０】以上、本発明を、図面を参照しながら本発
明に係る望ましい１実施形態を参考として説明したが、
この実施形態は例示的なものに過ぎず、当業者であれば
この実施形態より各種の変形及びこれと均等な実施形態
を創作することが可能であるという点を容易に理解する
ことができる。したがって、本発明の真の技術的保護範
囲は、本明細書の特許請求の範囲によって決定されるべ
きである。
【００５１】
【発明の効果】以上説明した通りに構成される本発明に
よれば、以下の効果を奏する。すなわち、本発明によれ
ば、非蒸発性ゲッタを使用することによってディスプレ
イ内で生じるガスを容易に吸着して高真空を保持するこ
とが可能な電界放出表示装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の１例の電界放出表示装置の構成を模式的
に示す断面図である。
【図２】図１に示す電界放出素子の模式的な透視平面図
である。
【図３】本発明に係る望ましい１実施形態の電界放出表
示装置の構成を模式的に示す断面図である。
【図４】図３に示す本発明に係る望ましい１実施形態の
電界放出表示装置の模式的な透視平面図である。
【図５】図４に示す本発明に係る望ましい１実施形態の
電界放出表示装置の模式的な透視平面図の変形例を示す
透視平面図である。
【符号の説明】
１１０ 前面板 １２０ 背面板 １２２ 陰極 １２４ａ ホール １２４ ゲート絶縁層 １２６ａ ゲート １２６ ゲート電極 １２８ ＣＮＴ １３０ 側壁フレーム １５０ ゲッタ積層物 １５２ 支持台 １５４ ゲッタ陽極 １５６ ゲッタ層 １６０ ゲッタ陰極 １６２ ゲッタ電子放出源 １７０ 表示領域 １８０ ゲッタ部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 陳 成 煥 大韓民国 ソウル特別市 松坡区 松坡１ 洞 27−１番地 102号 (72)発明者 李 ▲玄▼ 知 大韓民国 京畿道 水原市 八達区 靈通 洞 956−２番地 大宇アパート 301棟 1601号 Ｆターム(参考） 5C012 AA05 5C032 AA01 JJ08 JJ11 5C036 EE14 EE19 EF01 EF06 EF09 EG02 EG50 EH26

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 互に離隔され、内部に真空空間が設けら
    れて表示領域と定義された部分を有する前面板及び背面
    板と、 前記背面板側の表示領域内に配置され、陰極、前記陰極
    上に形成される電子放出源、及びその電子放出を制御す
    るゲート電極を含む電子放出部と、 前記電子放出部と対応する前記前面板側の表示領域内に
    配置され、前記陰極に対応する両極（陰極及び陽極）、
    及び前記電子放出部から放出された電子によって発光す
    る蛍光体層を備える発光表示部と、 前記前面板または背面板の内面に配置されるゲッタ陽極
    と、 前記ゲッタ陽極に形成され、活性化によりガスを吸着す
    るゲッタ層と、 前記ゲッタ陽極と対向して前記背面板または前面板に形
    成されるゲッタ陰極と、 前記ゲッタ陰極に形成されて前記ゲッタ層を活性化させ
    ることにより電子を放出するゲッタ電子放出源を有する
    ゲッタ部と、を備えることを特徴とする電界放出表示装
    置。
  2. 【請求項２】 前記ゲッタ層の活性化に用いる電子放出
    源は、カーボンナノチューブまたはマイクロチップで構
    成されることを特徴とする請求項１に記載の電界放出表
    示装置。
  3. 【請求項３】 前記ゲッタ陽極及びゲッタ陰極は、該当
    する前面板及び背面板の内面から一方向にストライプ状
    に延びる電極で構成されることを特徴とする請求項１に
    記載の電界放出表示装置。
  4. 【請求項４】 前記ゲッタ部は、前記表示領域から離隔
    した位置に配置されることを特徴とする請求項１に記載
    の電界放出表示装置。
  5. 【請求項５】 前記ゲッタ部は、前記表示領域を囲繞す
    るように形成されることを特徴とする請求項１に記載の
    電界放出表示装置。
  6. 【請求項６】 前記ゲッタ層は、非揮発性のＺｒ粒子層
    で構成されることを特徴とする請求項１に記載の電界放
    出表示装置。
  7. 【請求項７】 前記ゲッタ層は、２０〜１００μｍの厚
    さを有することを特徴とする請求項６に記載の真空電界
    放出表示装置。
  8. 【請求項８】 前記ゲッタ陽極の下部に、前記ゲッタ陽
    極を、前記前面板または背面板から所定高さだけ高く配
    置させる支持台が備えられることを特徴とする請求項１
    に記載の電界放出表示素子。
  9. 【請求項９】 請求項１に記載の電界放出表示素子の製
    造方法であって、 （ａ）所定の表示領域内に陰極、前記陰極上に電子放出
    源及び電子放出を制御するゲート電極が形成された背面
    板を調製する段階と、 （ｂ） 前記陰極に対応する陽極及び前記電子放出源か
    ら放出される電子によって発光する蛍光体層が形成され
    た前面板を調製する段階と、 （ｃ） 前記前面板及び背面板の内面にゲッタ陽極及び
    ゲッタ層を順次に形成する段階と、 （ｄ）前記ゲッタ陽極と対向して前記背面板または前面
    板の内面にゲッタ陰極を形成する段階と、 （ｅ） 前記ゲッタ陰極上に電子放出源を形成する段階
    と、 （ｆ） 前記前面板及び背面板間の縁部を密閉した後、
    排気して前記前面板及び背面板間の空間部を真空化する
    段階と、 （ｇ） 前記空間部で発生したガスを吸着するように、
    前記ゲッタ陽極及びゲッタ陰極に電圧を印加して前記ゲ
    ッタ層を活性化させる段階と、を備えることを特徴とす
    る電界放出表示装置の製造方法。
  10. 【請求項１０】 前記（ｃ）段階は、 （ｃ１）支持台上にスパッタリングでＩＴＯによるゲッ
    タ活性化用の陽極を形成する段階と、 （ｃ２）前記ＩＴＯゲッタ陽極上にＺｒを主成分とする
    非蒸発性ゲッタ層を形成する段階と、 （ｃ３）前記支持台を前記前面板または背面板の内面に
    設ける段階と、を備えることを特徴とする請求項９に記
    載の電界放出表示装置の製造方法。
  11. 【請求項１１】 前記（ｃ）段階は、 複数の支持台を得るために、前記ゲッタ陽極及びゲッタ
    層を基板上に順次積層した後、この基板を所定の長さ及
    び所定の幅で切断して前記支持台を分離する段階を含む
    ことを特徴とする請求項１０に記載の電界放出表示装置
    の製造方法。
  12. 【請求項１２】 前記（ｃ）段階のゲッタ層は、２０〜
    １００μｍの厚さに形成されることを特徴とする請求項
    ９に記載の電界放出表示装置の製造方法。
  13. 【請求項１３】前記（ｃ）段階のゲッタ層は、Ｚｒペー
    ストを用いるスクリーン印刷法によって形成されること
    を特徴とする請求項１０に記載の電界放出表示装置の製
    造方法。
  14. 【請求項１４】 前記Ｚｒペーストは、Ｚｒ粉末と、ニ
    トロセルロース、及びアセテートが混合されたバインダ
    溶液とを含む組成物として構成されることを特徴とする
    請求項１３に記載の電界放出表示装置の製造方法。
  15. 【請求項１５】 前記Ｚｒペーストに含まれるＺｒ粉末
    の含有量は、６０〜９０質量％であることを特徴とする
    請求項１４に記載の電界放出表示装置の製造方法。
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005100688A (ja) * 2003-09-22 2005-04-14 Toshiba Corp 画像形成装置およびその駆動方法
JP2005197214A (ja) * 2003-12-26 2005-07-21 Samsung Sdi Co Ltd ダミー電極を備えた電子放出素子及びその製造方法
JP2005209594A (ja) * 2004-01-26 2005-08-04 Futaba Corp 自発光素子及びその製造方法。
JP2006210258A (ja) * 2005-01-31 2006-08-10 Sony Corp スペーサ、並びに、平面型表示装置及びその組立方法
JP2006344600A (ja) * 2005-06-10 2006-12-21 Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi 真空容器及びその製造方法
WO2007032308A1 (ja) * 2005-09-12 2007-03-22 Kabushiki Kaisha Toshiba ゲッタ部材、ゲッタ膜、ゲッタ膜の形成方法、ゲッタ膜を備えた表示装置、および表示装置の製造方法
WO2007080770A1 (ja) * 2006-01-12 2007-07-19 Kabushiki Kaisha Toshiba 画像表示装置
US7348717B2 (en) 2004-04-23 2008-03-25 Tsinghua University Triode type field emission display with high resolution
JP2018520466A (ja) * 2015-05-27 2018-07-26 ケーエルエー−テンカー コーポレイション 電子光学システム内の清浄環境を提供するためのシステム及び方法

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7371467B2 (en) 2002-01-08 2008-05-13 Applied Materials, Inc. Process chamber component having electroplated yttrium containing coating
US7910218B2 (en) 2003-10-22 2011-03-22 Applied Materials, Inc. Cleaning and refurbishing chamber components having metal coatings
KR20050077539A (ko) * 2004-01-28 2005-08-03 삼성에스디아이 주식회사 액정 표시장치용 전계방출형 백라이트 유니트
US7670436B2 (en) 2004-11-03 2010-03-02 Applied Materials, Inc. Support ring assembly
JP2006185813A (ja) * 2004-12-28 2006-07-13 Hitachi Ltd 表示装置
KR100657953B1 (ko) * 2005-02-23 2006-12-14 삼성에스디아이 주식회사 전계 방출 표시장치의 실링 구조 및 그 제조 방법
JP2006252979A (ja) * 2005-03-11 2006-09-21 Hitachi Displays Ltd 画像表示装置
CN1873891A (zh) * 2005-06-03 2006-12-06 清华大学 真空器件、其制造方法以及吸气装置
US8617672B2 (en) 2005-07-13 2013-12-31 Applied Materials, Inc. Localized surface annealing of components for substrate processing chambers
CN1921062A (zh) * 2005-08-26 2007-02-28 清华大学 阳极装置及其场发射显示器
US7762114B2 (en) 2005-09-09 2010-07-27 Applied Materials, Inc. Flow-formed chamber component having a textured surface
KR20070042648A (ko) * 2005-10-19 2007-04-24 삼성에스디아이 주식회사 전자 방출 표시 디바이스
KR20070044577A (ko) * 2005-10-25 2007-04-30 삼성에스디아이 주식회사 전자 방출 표시 디바이스
US9127362B2 (en) 2005-10-31 2015-09-08 Applied Materials, Inc. Process kit and target for substrate processing chamber
US8647484B2 (en) 2005-11-25 2014-02-11 Applied Materials, Inc. Target for sputtering chamber
FR2898217B1 (fr) * 2006-03-02 2008-05-02 Sagem Defense Securite Dispositif de captation d'image comportant une surface revetue d'un getter, procede d'utilisation
CN100573808C (zh) * 2006-03-22 2009-12-23 清华大学 场发射照明光源及其制造方法
CN100573809C (zh) * 2006-03-24 2009-12-23 清华大学 场发射平面显示光源及其制造方法
CN100561657C (zh) * 2006-03-31 2009-11-18 清华大学 场发射灯管及其制造方法
KR100808632B1 (ko) * 2006-04-04 2008-03-06 주식회사 에피온 게터 구동 제어부가 구비된 전계 방출 소자 및 그의 구동방법
US7981262B2 (en) 2007-01-29 2011-07-19 Applied Materials, Inc. Process kit for substrate processing chamber
US7942969B2 (en) 2007-05-30 2011-05-17 Applied Materials, Inc. Substrate cleaning chamber and components
US8968536B2 (en) 2007-06-18 2015-03-03 Applied Materials, Inc. Sputtering target having increased life and sputtering uniformity
US7901552B2 (en) * 2007-10-05 2011-03-08 Applied Materials, Inc. Sputtering target with grooves and intersecting channels
SE1750878A1 (en) * 2017-07-05 2018-11-20 Lightlab Sweden Ab A field emission cathode structure for a field emission arrangement

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5734226A (en) * 1992-08-12 1998-03-31 Micron Technology, Inc. Wire-bonded getters useful in evacuated displays
KR0139489B1 (ko) * 1993-07-08 1998-06-01 호소야 레이지 전계방출형 표시장치
IT1273349B (it) * 1994-02-28 1997-07-08 Getters Spa Visualizzatore piatto ad emissione di campo contenente un getter e procedimento per il suo ottenimento
US5453659A (en) * 1994-06-10 1995-09-26 Texas Instruments Incorporated Anode plate for flat panel display having integrated getter
IT1269978B (it) * 1994-07-01 1997-04-16 Getters Spa Metodo per la creazione ed il mantenimento di un'atmosfera controllata in un dispositivo ad emissione di campo tramite l'uso di un materiale getter
JP3241935B2 (ja) * 1994-07-07 2001-12-25 富士通株式会社 フラット形表示装置
US5693438A (en) 1995-03-16 1997-12-02 Industrial Technology Research Institute Method of manufacturing a flat panel field emission display having auto gettering
US5789859A (en) * 1996-11-25 1998-08-04 Micron Display Technology, Inc. Field emission display with non-evaporable getter material
US5894193A (en) * 1997-03-05 1999-04-13 Motorola Inc. Field emission display with getter frame and spacer-frame assembly
US5945780A (en) 1997-06-30 1999-08-31 Motorola, Inc. Node plate for field emission display
US5866978A (en) * 1997-09-30 1999-02-02 Fed Corporation Matrix getter for residual gas in vacuum sealed panels
US6186849B1 (en) * 1998-03-24 2001-02-13 Saes Getters S.P.A. Process for the production of flat-screen grids coated with non-evaporable getter materials and grids thereby obtained
JP3420520B2 (ja) 1999-01-13 2003-06-23 キヤノン株式会社 非蒸発性ゲッターの製造方法及び画像形成装置
JP2001076648A (ja) * 1999-09-01 2001-03-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 画像表示器およびその製造方法
JP2001210225A (ja) * 1999-11-12 2001-08-03 Sony Corp ゲッター、平面型表示装置及び平面型表示装置の製造方法

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005100688A (ja) * 2003-09-22 2005-04-14 Toshiba Corp 画像形成装置およびその駆動方法
JP2005197214A (ja) * 2003-12-26 2005-07-21 Samsung Sdi Co Ltd ダミー電極を備えた電子放出素子及びその製造方法
US7385344B2 (en) 2003-12-26 2008-06-10 Samsung Sdi Co., Ltd. Electron emission device including dummy electrodes
JP2005209594A (ja) * 2004-01-26 2005-08-04 Futaba Corp 自発光素子及びその製造方法。
US7459842B2 (en) 2004-01-26 2008-12-02 Futaba Corporation Self-luminous elements and method for producing the same
US7348717B2 (en) 2004-04-23 2008-03-25 Tsinghua University Triode type field emission display with high resolution
JP2006210258A (ja) * 2005-01-31 2006-08-10 Sony Corp スペーサ、並びに、平面型表示装置及びその組立方法
JP4661242B2 (ja) * 2005-01-31 2011-03-30 ソニー株式会社 スペーサの製造方法、及び平面型表示装置の組立方法
JP2006344600A (ja) * 2005-06-10 2006-12-21 Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi 真空容器及びその製造方法
WO2007032308A1 (ja) * 2005-09-12 2007-03-22 Kabushiki Kaisha Toshiba ゲッタ部材、ゲッタ膜、ゲッタ膜の形成方法、ゲッタ膜を備えた表示装置、および表示装置の製造方法
WO2007080770A1 (ja) * 2006-01-12 2007-07-19 Kabushiki Kaisha Toshiba 画像表示装置
JP2018520466A (ja) * 2015-05-27 2018-07-26 ケーエルエー−テンカー コーポレイション 電子光学システム内の清浄環境を提供するためのシステム及び方法
US10692692B2 (en) 2015-05-27 2020-06-23 Kla-Tencor Corporation System and method for providing a clean environment in an electron-optical system

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