KR100808632B1 - 게터 구동 제어부가 구비된 전계 방출 소자 및 그의 구동방법 - Google Patents

게터 구동 제어부가 구비된 전계 방출 소자 및 그의 구동방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 게터 구동 제어부가 구비된 전계 방출 소자를 제공한다. 이 전계 방출 소자는 실링 부재에 의한 봉착으로 진공 용기를 구성하도록 서로 대향하는 상부 기판 및 하부 기판, 실링 부재를 통하여 진공 용기 내부로 삽입되어 설치된 게터 및 게터에 전류를 공급하는 게터 구동 제어부를 포함한다. 게터 구동 제어부는 게터의 온도를 변화시키기 위한 가변적인 전류를 공급하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 전계 방출 소자의 장시간에 걸친 연속적인 구동에도 게터가 열화되는 현상을 방지함으로써, 안정적인 구동 성능 및 수명 연장이 확보될 수 있는 게터 구동 제어부가 구비된 전계 방출 소자를 제공할 수 있다.
전계 방출 소자, 게터, 진공도, 열화

Description

게터 구동 제어부가 구비된 전계 방출 소자 및 그의 구동 방법{Field Emission Device Having Control Unit for Operating Getter and Method of Operating the Same}
도 1a 및 도 1b는 각각 본 발명의 실시예에 따른 전계 방출 소자를 설명하기 위한 평면도 및 단면도;
도 2a 및 도 2b는 게터를 설명하기 위한 상세도로서, 도 2a는 게터의 평면도이고 도 2b는 도 2a의 I-I' 선에 따라 취한 단면도;
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 전계 방출 소자의 구동 방법을 설명하기 위한 게터 구동 그래프.
본 발명은 전계 방출 소자 및 그 구동 방법에 관한 것으로, 더 구체적으로는 게터가 구비된 전계 방출 소자 및 그의 구동 방법에 관한 것이다.
전계 방출 소자(FED : Field emission device)는 일반적으로 전계 방출 표시장치(field emission display), 전계 방출 광원(field emission light source) 등으로 사용된다. 전계 방출 소자의 전극 구성은 일반적으로 3극 구조(애노 드(anode), 캐소드(cathode) 및 게이트(gate) 전극) 또는 2극 구조(애노드 및 캐소드 전극)로 이루어진다. 전계 방출 소자는 애노드 전극에 고전압(~10kV)이 인가되면서 캐소드 및 게이트 전극에 광 방출과 화상 구현에 필요한 데이터(data) 전압이 인가되면 표시장치로 작동한다. 한편, 캐소드 및 게이트 전극에 광 방출에 필요한 전압이 인가되면 광원으로 작동한다. 여기서 인가되는 전압은 통상적으로 펄스(pulse) 형태이다. 2극 구조인 경우에도 애노드 전극에는 광방출을 위한 고전압이 직류(DC : Direct Current) 또는 펄스 형태로 인가된다.
이러한 전계 방출 소자는 그 내부가 고진공으로 유지되어야만 우수한 전자 방출 특성이 유지되므로, 전계 방출 소자의 구동에서 그 내부의 진공 상태는 전계 방출 소자의 수명에 직접적인 영향을 끼친다. 전계 방출 소자가 구동되면, 전자 방출에 의한 탈 가스(out-gassing)가 발생하여 전계 방출 소자의 내부 압력이 증가한다. 이러한 내부 압력의 증가는 전자 방출을 열화(degrade)시키는 원인으로 작용하여 전계 방출 소자의 수명을 단축하게 된다.
전계 방출 소자는 높은 휘도를 얻기 위하여 큰 구동 전류가 필요하다. 전계 방출 소자는 종래의 TV 브라운관(CRT : Cathode-Ray Tube)보다 진공을 유지하기 위한 부피에 비하여 노출되는 표면적이 상대적으로 크기 때문에, 형광체 및 캐소드 전극 등으로부터 발생하는 탈 가스에 의한 진공도 저하가 빨리 진행되는 편이다.
이에 따라, 전계 방출 소자의 내부에는 게터(getter)가 배치된다. 게터는 일종의 가스 흡착제로서, 일반적으로 지르코늄(Zr), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al), 바나듐(V), 철(Fe) 등의 활성이 강한 물질들의 합금으로 만들어진다. 게터는 가스(gas) 를 흡착할 수 있는 표면적이 최대가 될 수 있도록 다공질 형태(pore type)로 제조된다. 전계 발광 소자 내부의 불순물 가스(질소(N2), 산소(O2), 수소(H2), 수증기(H2O) 등)들은 게터 표면의 활성 물질에 흡착되어 더 이상 가스 상태로 존재하지 않고, 추가적인 가열에 의해 게터 내부로 이동(migration)하여 고체화되는 특성이 있다. 게터는 전계 발광 소자의 가열 배기 공정 때의 높은 온도로 인해 자연 활성화되거나 유도 가열 방식으로 가열되어 활성화된다.
통상적으로 전계 방출 소자가 구동되는 중에 그 내부에서 발생하는 현상은 다음과 같다. 전자의 방출이 시작되면서 형광체 및 에미터(emitter)인 캐소드 전극에 흡착되어 있던 가스, 및 물질 내부에 포획(trap)되어 있던 가스 성분이 탈 가스화되어 전계 방출 소자의 내부 압력을 변화(즉, 증가)시키게 된다. 전계 방출 소자의 내부에 구비된 게터는 이러한 탈 가스를 흡착하거나 게터 물질과 화학적으로 반응시켜 안정된 화합물로 형성함으로써, 탈 가스가 더 이상 가스 상태로 전계 방출 소자의 내부에 잔류하지 못하게 한다. 이러한 탈 가스와 게터 물질의 화학 반응은 게터의 온도가 높을수록, 또는 게터의 표면에 가스 흡착 층이 없을수록 더욱 효율적으로 진행된다.
오랜 시간에 걸쳐 전계 방출 소자를 구동하는 경우, 게터의 표면에 가스들이 흡착되어도 더 이상 게터 물질과의 화학 반응이 일어나지 않아 서서히 게터로서의 기능이 저하된다. 이러한 게터의 표면에 가스가 계속하여 흡착됨에 따라, 게터의 표면에는 여러 층의 두터운 가스 흡착 층이 형성되고, 마침내 게터의 기능이 완전 히 상실될 수 있다. 이러한 게터의 기능 상실은 전계 방출 소자의 내부 압력을 증가시키고, 이는 전계 방출 소자의 에미터인 캐소드 전극에 손상을 주어 방출 전류가 저하되는 현상이 발생하여 전계 방출 소자의 수명이 짧아질 수 있다.
이에 따라, 전계 방출 소자의 내부에 구비된 일종의 진공 펌프(pump) 역할을 하는 게터 물질을 반복적으로 활성화하여 전계 방출 소자의 내부 압력을 전자 방출의 열화가 일어나지 않는 수준으로 유지시킬 필요가 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 전계 방출 소자의 장시간의 구동에도 게터의 열화를 방지할 수 있는 전계 방출 소자 및 그의 구동 방법을 제공하는 데 있다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 게터 구동 제어부가 구비된 전계 방출 소자를 제공한다. 이 전계 방출 소자는 실링 부재에 의한 봉착으로 진공 용기를 구성하도록 서로 대향하는 상부 기판 및 하부 기판, 실링 부재를 통하여 진공 용기 내부로 삽입되어 설치된 게터 및 게터에 전류를 공급하는 게터 구동 제어부를 포함한다. 게터 구동 제어부는 게터의 온도를 변화시키기 위한 가변적인 전류를 공급하는 것을 특징으로 한다.
게터 구동 제어부는 하부 기판 및 상부 기판 사이를 흐르는 전류 값에 따라 전류를 가변적으로 게터에 공급할 수 있다.
게터는 게터 구동 제어부로부터 전류를 공급받는 적어도 한 쌍의 전극에 연 결되어 열을 발생시키는 저항성 금속 박판, 및 저항성 금속 박판 상에 코팅된 게터 물질을 구비할 수 있다.
실링 부재는 상부 기판 및 하부 기판 사이에 수직으로 배치된 측면 기판, 및 상부 기판 및 하부 기판과 측면 기판의 사이에 배치된 실링 물질로 이루어지되, 한 쌍의 전극은 실링 물질을 통하여 진공 용기 내부로 삽입될 수 있다.
또한, 본 발명은 게터 구동 제어부가 구비된 전계 방출 소자의 구동 방법을 제공한다. 이 방법에 따르면, 먼저 전계 방출 소자 및 전계 방출 소자의 게터에 각각의 구동 전력을 인가하여 전계 방출 소자 및 게터의 구동을 시작하는 것과, 그리고 전계 방출 소자 및 게터의 구동을 종료함으로써, 전계 방출 소자가 구동될 수 있다.
게터에 인가되는 구동 전력은 전계 방출 소자의 내부 압력 상승이 발생하지 않는 정도의 값일 수 있다.
게터에 인가된 구동 전력보다 높은 게터 활성화 전력을 제 1 시간 동안 인가하여 게터를 활성화함으로써, 전계 방출 소자의 내부 압력이 일정 값을 초과하지 않도록 하는 것을 더 포함할 수 있다. 게터에 게터 활성화 전력을 인가하는 횟수는 전계 방출 소자의 연속적인 구동 시간에 따라 정해질 수 있다.
전계 방출 소자의 구동을 종료한 후, 게터에 인가된 구동 전력보다 높은 안정화 전력을 제 2 시간 동안 인가하여 전계 방출 소자의 내부 압력을 안정화하는 것과 그리고 게터의 구동을 종료하는 것을 더 포함할 수 있다.
게터 활성화 전력은 안정화 전력보다 낮을 수 있다.
제 2 시간 동안 안정화 전력을 인가한 후 게터의 구동을 종료하기 전에, 게터 활성화 전력을 추가적으로 인가하는 것을 더 포함할 수 있다.
제 1 시간은 제 2 시간보다 더 긴 시간일 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다. 도면들에 있어서, 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호가 병기되어 있다.
도 1a 및 도 1b는 각각 본 발명의 실시예에 따른 전계 방출 소자를 설명하기 위한 평면도 및 단면도이다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 전계 방출 소자(100)는 실링 부재(112)에 의한 봉착으로 진공 용기(110)를 구성하도록 서로 대향하는 상부 기판 및 하부 기판(114 및 116), 실링 부재(112)를 통하여 진공 용기(110) 내부로 삽입되어 설치된 게터(122) 및 게터(122)에 전류를 공급하는 게터 구동 제어부(126)를 포함하여 구성될 수 있다. 게터(122)는 게터 구동 제어부(126)로부터 전류를 공급받는 적어도 한 쌍의 전극(124)에 연결되어 열을 발생하는 저항성 금속 박판(122a), 및 저항성 금속 박판(122a) 상에 코팅(coating)된 게터 물질(122b)로 구성될 수 있다.
게터 구동 제어부(126)는 전계 방출 소자(100)의 방출 전류 값을 측정하기 위한 장치(도시하지 않음)를 구비할 수 있다. 방출 전류 값을 측정하기 위한 장치는 전계 방출 소자(100)의 상부 기판(114)에 해당하는 애노드 전극과 배선(125)으로 연결될 수 있다.
도 2a 및 도 2b는 게터를 설명하기 위한 상세도로서, 도 2a는 게터의 평면도이고 도 2b는 도 2a의 I-I' 선에 따라 취한 단면도이다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 저항성 금속 박판(122a)의 양면에 게터 물질(122b)이 코팅되고, 저항성 금속 박판(122a)의 가장자리 양측에서 전극(124)과 점 용접(spot welding) 방법에 의하여 연결될 수 있다. 도 1a 및 도 1b와 비교하면, 전극(124)이 절곡되어, 저항성 금속 박판(122a)이 상부 기판 및 하부 기판(114 및 116) 사이의 진공 용기(110) 내에 수직으로 배치될 수 있다. 이와 같이, 게터(122)를 상하로 대향되는 상부 기판 및 하부 기판(114 및 116) 사이에 수직으로 배치하고, 저항성 금속 박판(122a)의 양면에 게터 물질(122b)이 코팅됨에 따라, 유효 배기 면적을 최대화할 수 있다.
도 1a 및 도 1b를 다시 참조하면, 실링 부재(112)는 상부 기판 및 하부 기판(114 및 116)에 수직으로 배치된 측면 기판(122a), 및 상부 기판 및 하부 기판(114 및 116)과 측면 기판(112a)에 배치된 실링 물질(112b)로 구성될 수 있다. 실링 물질(112b)은 측면 기판(112a)을 상부 기판 및 하부 기판(114 및 116)에 봉착하고, 그 내부에 진공 용기(110)가 형성되도록 진공 실링할 수 있다. 한편, 한 쌍의 전극(124)은 실링 물질(112b)을 통하여 진공 용기(110) 내부로 삽입될 수 있다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 전계 방출 소자의 구동 방법을 설명하기 위 한 게터 구동 그래프이다.
도 3을 참조하면, 전계 방출 소자 및 전계 방출 소자의 게터에 각각의 일정 구동 전력(WFED 및 W1)을 인가하여 전계 방출 소자 및 게터의 구동을 시작(구동 시간 T0)한 후, 전계 방출 소자 및 게터의 구동을 종료(OW, 구동 시간 T3)함으로써, 전계 방출 소자가 구동되는 한 주기가 될 수 있다.
게터에 인가되는 구동 전력(W1)은 게터의 온도를 상승시켜 배기 속도를 높이는 동시에 게터의 표면에 흡착되어도 게터 물질과 화학 반응을 일으키지 않은 가스 흡착 층을 게터의 표면에서 제거할 수 있다. 이러한 가스 흡착 층의 제거는 화학 반응에 의한 안정된 화합물 형성은 물론 가스 흡착 층이 다시 탈 가스화되는 것을 포함할 수 있다. 또한, 게터에 인가되는 구동 전력(W1)은 전계 방출 소자의 크기, 탈 가스 정도, 및 게터의 용량 등에 따라 변할 수 있다. 다만, 게터의 자체 온도를 지나치게 상승시켜 게터의 열에 의해 전계 방출 소자의 내부 압력이 상승되는 것을 유도하는 부가적인 탈 가스가 발생하지 않을 정도의 값일 수 있다. 본 발명의 실시예에서의 게터에 인가되는 구동 전력(W1)은 0.5~0.7W 정도일 수 있다.
게터에 구동 전력(W1)이 인가된 상태에서 전계 방출 소자는 구동 중에 큰 내부 압력의 변화(즉, 증가)없이 탈 가스의 정도에 따라 수~수십 시간 동안의 연속적이면서 안정적인 구동이 가능할 수 있다. 이러한 안정적인 구동에도 불구하고, 케터의 표면에서는 가스 흡착 층이 게터에 구동 전력(W1)이 인가되지 않았을 때보다 줄어든 것이지 완전히 제거된 것은 아니다. 특히, 탈 가스의 정도가 심한 전계 방출 소자의 경우, 수 시간 정도 연속적으로 구동되면 내부 압력이 점점 증가할 수 있다. 내부 압력이 증가하면, 게터의 표면이 열화되지 않는 상태로 회복시켜줄 필요가 있다.
이에 따라, 게터에 인가된 구동 전력(W1)보다 높은 게터 활성화 전력(W2)을 제 1 시간(구동 시간 T2-T1) 동안 인가하여 게터를 활성화함으로써, 전계 방출 소자의 내부 압력이 일정 값(전계 방출 소자가 열화되기 시작하는 내부 압력 값)을 초과하지 않도록 할 수 있다. 전력의 증가(게터의 온도 증가)는 가스 흡착 층을 게터 물질과의 화학 반응으로 고체화하거나 다시 탈 가스화시키는 것에 의해 제거할 수 있다.
이와 같이 활성화 전력(W2)의 인가로 가스 흡착 층이 제거되는 과정에서 게터의 표면에서 다시 탈 가스화가 일어남으로써, 전계 방출 소자의 내부 압력이 증가하여 순간적으로 방출 전류가 증가하는 현상이 발생할 수 있다. 이러한 방출 전류의 증가는 전계 방출 소자의 밝기, 소비 전력 등의 특성 변화를 일으킬 수 있다. 이를 방지하기 위해 케터 활성화 전력(W2)을 인가하는 동시에 게이트 전압 값을 조절(게이트 전압 값을 낮춤)하여 방출 전류 값을 감소(즉, 유지)시키는 제어부가 필요하다. 이에 따라, 도 1의 개시된 게터 구동 제어부(도 1의 126)는 게터에 전력을 인가하기 위한 전원 공급 장치 외에도 전계 방출 소자의 방출 전류 값을 측정하기 위한 장치가 구비될 수 있다. 방출 전류 값을 측정하기 위한 장치는 전계 방출 소 자의 상부 기판(도 1의 114)에 해당하는 애노드 전극과 배선(도 1의 125)으로 연결될 수 있다.
게터에 활성화 전력(W2)의 인가 및 게터 구동 제어부로 방출 전류를 조절함으로써, 탈 가스의 정도가 심한 전계 방출 소자라도 연속적인 구동 시간 동안 열화 현상이 발생하지 않는 안정적인 구동이 가능할 수 있다.
게터에 게터 활성화 전력(W2)을 인가하는 횟수는 전계 방출 소자의 연속적인 구동 시간(구동 시간 T1-T0)에 따라 정해질 수 있다. 본 발명의 실시예에서의 게터 활성화 전력(W2) 및 제 1 시간(구동 시간 T2-T1)은 각각 1~1.5W 및 2분 이내 정도의 값일 수 있다.
전계 방출 소자의 사용을 종료하기 위한 다른 방법은 전계 방출 소자의 구동을 종료(0W, 구동 시간 T3)한 후, 게터에 구동 전력(W1)보다 높은 안정화 전력(W3)을 제 2 시간(구동 시간 T4-T3) 동안 인가하여 전계 방출 소자의 내부에 잔류하는 탈 가스를 게터에 흡착시키거나 게더 물질과의 화학 반응으로 고체화함으로써, 전계 방출 소자의 내부 압력을 안정화할 수 있다. 전계 방출 소자의 안정화 후, 게터의 구동이 종료(0W, 구동 시간 T4)될 수 있다. 본 발명에서의 안정화 전력(W3) 및 제 2 시간(구동 시간 T4-T3)은 각각 10W 및 5초 정도의 값일 수 있다.
전계 방출 소자의 사용을 종료하기 위한 또 다른 방법은 게터에 안정화 전 력(W3)을 제 2 시간(구동 시간 T4-T3) 동안 인가한 다음에 추가적으로 앞서 설명한 게터 활성화 전력(W2)을 제 1 시간(구동 시간 T5-T4) 동안 인가한 후, 게터의 구동을 종료(0W, 구동 시간 T5)하는 것일 수 있다. 이러한 2 단계로 게터의 구동을 종료하는 이유는 안정화 전력(W3)을 인가한 후에 바로 게터의 구동을 종료하는 것보다 게터 활성화 전력(W2)을 일정 시간 유지한 후에 게터의 구동을 종료하는 것이 전계 방출 소자의 내부 압력이 더 낮아질 수 있기 때문(진공도를 유지하는 면에서 전계 방출 소자의 수명 연장에 유리)이다. 본 발명에서의 게터 활성화 전력(W2)은 안정화 전력(W3)보다 낮을 수 있다. 또한 제 1 시간(구동 시간 T2-T1 또는 T5-T4)은 제 2 시간(구동 시간 T4-T3)보다 더 긴 시간일 수 있다.
상기한 본 발명의 실시예에 따른 게터 구동 제어부가 구비된 전계 방출 소자를 구동함으로써, 전계 방출 소자가 장시간에 걸쳐 연속적으로 구동되더라도 게터가 열화되는 현상을 방지할 수 있다. 이에 따라, 안정적인 구동 성능 및 수명 연장이 확보될 수 있는 게터 구동 제어부가 구비된 전계 방출 소자 및 그의 구동 방법을 제공할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면 전계 방출 소자가 장시간에 걸쳐 연속적으로 구동되더라도 게터가 열화되는 현상을 방지함으로써, 안정적인 구동 성능 및 수명 연장이 확보될 수 있는 게터 구동 제어부가 구비된 전계 방출 소자 및 그 의 구동 방법을 제공할 수 있다.

Claims (12)

  1. 실링 부재에 의한 봉착으로 진공 용기를 구성하도록 서로 대향하는 상부 기판 및 하부 기판;
    상기 실링 부재를 통하여 상기 진공 용기 내부로 삽입되어 설치된 게터; 및
    상기 게터에 전류를 공급하는 게터 구동 제어부를 포함하되, 상기 게터 구동 제어부는 상기 게터의 온도를 변화시키기 위한 가변적인 전류를 공급하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 게터 구동 제어부는 상기 하부 기판 및 상기 상부 기판 사이를 흐르는 전류 값에 따라 전류를 가변적으로 상기 게터에 공급하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 게터는 상기 게터 구동 제어부로부터 전류를 공급받는 적어도 한 쌍의 전극에 연결되어 열을 발생시키는 저항성 금속 박판, 및 상기 저항성 금속 박판 상에 코팅된 게터 물질을 구비하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 실링 부재는 상기 상부 기판 및 상기 하부 기판 사이에 수직으로 배치된 측면 기판, 및 상기 상부 기판 및 상기 하부 기판과 상기 측면 기판의 사이에 배치된 실링 물질로 이루어지되, 상기 한 쌍의 전극은 상기 실링 물질을 통하여 상기 진공 용기 내부로 삽입되는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자.
  5. 전계 방출 소자 및 상기 전계 방출 소자의 게터에 각각의 구동 전력을 인가하여 상기 전계 방출 소자 및 상기 게터의 구동을 시작하고, 그리고
    상기 전계 방출 소자 및 상기 게터의 구동을 종료하는 것을 포함하되, 상기 전계 방출 소자가 구동되는 동안에 상기 게터는 계속 구동되는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자의 구동 방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 게터가 구동되는 동안에 상기 게터에 인가되는 상기 구동 전력은 일정한 값을 갖는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자의 구동 방법.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 게터가 구동되는 동안에 상기 게터에 인가된 상기 구동 전력보다 높은 게터 활성화 전력을 인가하여 상기 게터를 활성화하는 것을 더 포함하되, 상기 게터 활성화 전력은 상기 전계 방출 소자의 내부 압력이 일정 값을 초과하지 않도록 하는 것을 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자의 구동 방법.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 게터에 상기 게터 활성화 전력을 인가하는 횟수는 상기 전계 방출 소자의 연속적인 구동 시간에 따라 정해지는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자의 구동 방법.
  9. 제 5항에 있어서,
    상기 전계 방출 소자의 구동을 종료한 후, 상기 게터에 인가된 상기 구동 전력보다 높은 안정화 전력을 인가하여 상기 전계 방출 소자의 내부 압력을 안정화하고, 그리고
    상기 게터의 구동을 종료하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자의 구동 방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 안정화 전력을 인가한 후 상기 게터의 구동을 종료하기 전에, 상기 게터에 인가된 상기 구동 전력보다 높은 게터 활성화 전력을 인가하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자의 구동 방법.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 게터 활성화 전력은 상기 안정화 전력보다 낮은 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자의 구동 방법.
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 게터 활성화 전력을 인가하는 시간은 상기 안정화 전력을 인가하는 시간보다 더 긴 시간인 것을 특징으로 하는 전계 방출 소자의 구동 방법.
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