KR100698196B1 - 전계 방출 표시소자의 게터 및 그 구동방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 목적은 게터의 효과를 향상시켜 내부진공 상태를 고진공상태로 유지시킬 수 있는 전계 방출 표시소자의 게터 및 그 구동방법을 제공하는데 있다.
본 발명에 따른 전계 방출 표시소자는 패널에 형성되어 가스를 흡착하는 게터와, 상기 게터에 소정의 RF 신호를 입력시킴으로써 상기 게터를 활성화 시키기 위한 RF 회로구동부가 구비된다.
본 발명에 따른 전계 방출 표시장치의 구동방법은 고주파 신호를 발생하는 RF 신호발생기가 구동되는 단계와, 고주파 신호를 소정시간 단위로 패널에 공급하기 위한 타이머가 구동되는 단계와, 상기 타이머의 구동을 온 오프시키기 위한 스위치가 구동되는 단계와, 소정 이득값만큼 상기 고주파 신호를 증폭하여 패널에 형성된 게터에 공급되어 RF 구동기가 구동되는 단계를 포함한다.
결과적으로, 본 발명에 따른 전계 방출 표시소자인 RF 회로구동부는 소정의 RF 신호를 패널 내부의 전계 방출 공간이 10-6 Torr 이상의 진공 상태가 유지되도록 게터에 입력함으로 인해 게터를 활성화 시켜 패널 내부의 진공상태를 고진공 상태로 유지할 수 있게 된다. 또한, 게터를 종래 보다 자유롭게 수시로 활성화시킬 수 있게 됨으로 인해 패널의 수명을 연장시킬 수 있고, 전압이 가해지는 패널에서 발생되는 아싱이나 에미터 팁의 마모를 줄일 수 있게 된다.
뿐만 아니라, 패널 내부에 존재하는 게터의 가스 흡착율도 향상시킬 수 있게 되고, 보다 선명한 화질로 감상할 수 있게 된다.

Description

전계 방출 표시소자의 게터 및 그 구동방법 {Getter in Field Emission Display and Method of Driving the same}
도 1은 종래 기술의 전계 방출 표시소자를 나타내는 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 전계 방출 표시소자를 나타내는 단면도.
도 3은 종래 기술의 전계 방출 표시소자의 매트릭스 구동을 위한 음극 게이트 구조를 나타내는 사시도.
도 4는 종래 기술의 전계 방출 표시소자의 패널 구조를 나타내는 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 전계 방출 표시소자의 구조를 나타내는 단면도.
도 6은 도 5에 도시된 전계 방출 표시소자의 구동방법을 나타내는 도면.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
2 : 상부 유리기판 4 : 애노드 전극
6 : 형광체 8 : 하부 유리기판
10 : 캐소드전극 12 : 저항층
14 : 게이트 절연층 16 : 게이트 전극
22 : 에미터 전극 30 : 전자빔
32 : 전계 방출 어레이 34 : 게터
36 : 게이트 홀 38 : 프릿글라스
40 : 스페이서 42 : 타이머
44: RF 신호생성기 46 : RF 신호증폭기
48 : RF 구동회로 50 : 전자
52 : 패널 54 : RF 회로구동
56 : 스위치 58 : 제어부
본 발명은 전계 방출 표시소자에 관한 것으로서, 특히, 게터에 RF 신호를 입력함으로 인해 내부진공 상태를 고진공상태로 유지시킬 수 있는 전계 방출 표시소자의 게터 및 그 구동방법에 관한 것이다.
최근, 음극선관(Cathode Ray Tube : CRT)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판 표시장치에는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : 이하 "LCD"라 함), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : 이하 "FED"라 함) 및 플라즈마 표시장치(Plasma Display Panel : 이하 "PDP"라 함), 일렉트로루미네센스(Electro-luminescence : 이하 "EL"라 함) 등이 있다. 표시품질을 개선하기 위하여, 평판 표시장치의 휘도, 콘트라스트 및 색 순도를 높이기 위한 연구개발이 활발히 진행되고 있다.
FED는 첨예한 음극(에미터)에 고전계를 집중해 양자역학적인 터널(Tunnel)효과에 의하여 전자를 방출하고 방출된 전자를 이용하여 형광체를 여기시킴으로써 화상을 표시하게 된다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 애노드전극(4) 및 형광체(6)가 적층된 상부 유리기판(2)과, 하부 유리기판(8) 상에 형성되는 전계방출 어레이(32)를 구비한 FED가 도시되어 있다. 전계방출 어레이(32)는 하부 유리기판(8) 상에 형성되는 캐소드전극(10) 및 저항층(12)과, 저항층(12) 상에 형성되는 에미터(22) 및 게이트 절연층(14)과, 게이트 절연층(14) 상에 형성되는 게이트전극(16)과, 게이트전극(16) 상에 형성되는 포커싱 절연층(도시되지 않음)을 구비한다. 캐소드전극(10)은 에미터(22)에 전류를 공급하게 되며, 저항층(12)은 캐소드전극(10)으로부터 에미터(22) 쪽으로 인가되는 과전류를 제한하여 에미터(22)에 균일한 전류를 공급하는 역할을 하게 된다. 게이트절연층(14)은 캐소드전극(10)과 게이트전극(16) 사이를 절연하게 된다. 게이트전극(16)은 전자를 인출시키기 위한 인출전극으로 이용된다. 상부 유리기판(2)과 하부 유리기판(8) 사이에는 외부 대기압력에 견딜수 있도록 스페이서(40)가 설치된다.
화상을 표시하기 위하여, 캐소드전극(10)에 부극성(-)의 캐소드전압이 인가되고 애노드전극(4)에 정극성(+)의 애노드전압이 인가된다. 그리고 게이트전극(16)에는 정극성(+)의 게이트 전압이 인가된다. 그러면 에미터(22)로부터 방출된 전자빔(30)이 애노드전극(4)쪽으로 가속된다. 이 전자빔(30)이 적색· 녹색·청색의 형광체(6)에 충돌하여 형광체(6)를 여기시키게 된다.
이를 도 3을 결부하여 상세히 설명하면, 도 1에 도시된 "A"와 같이 FED는 각각의 화소를 제어하기 위한 매트릭스 구조로 형성된다. 캐소드전극(10)과 게이트전극(16)은 전기적으로 게이트 절연층(14)에 의해 절연되어져 있으며 각각 수평 또는 수직방향으로 라인형태를 가짐과 아울러 상호 교차되도록 형성되어 있다. 이와 아울러, 게이트전극(16)에는 게이트 홀(36)이 형성되고 각각의 게이트 홀(36)에 대응하여 캐소드전극(10) 상에 에미터(22)가 형성된다. 이렇게 형성된 캐소드전극(10)을 접지전위로 하고 게이트전극(16)에 +100V 정도의 전압을 인가하면 두 전극이 교차하는 부분에 위치하는 에미터(22)들의 첨두에는 고전계가 걸리게 되고 이러한 고전계에 의해 전자(50)가 방출된다. 이때, 전자(30)가 방출되기 위한 게이트전극(16)의 전압은 게이트 홀(36)의 크기가 작아질수록 낮아지며, 에미터(22)의 재료 특성에 따라 달라진다. 또한, 캐소드전극(10)들과 게이트전극(16)들에 순차적으로 전압을 인가해줌으로써 두 전극이 교차하는 지점의 에미터(22)들로부터 전자(30)들이 방출되어 마주보고 있는 형광체(6)를 발광시킴으로써 각각의 화소를 순차적으로 발광시킨다. 형광체(6)가 도포된 애노드전극(4)에는 수 kV이상의 고압이 인가되어 에미터(22)에서 방출된 전자(30)를 가속시켜 대응하는 형광체(6)에 충돌하도록 한다. 이때, 개별 화소의 휘도 및 컬러 구현은 에미터(22)와 게이트전극(16)간에 걸어주는 전압 차에 의해 방출되는 전류량이 달라지는 원리를 이용하여 휘도를 조절할 수 있으며 인접한 R,G,B 세 개의 화소의 휘도 조절을 통하여 컬러 구현이 가능해진다.
이와 아울러, FED는 그 구동 특성상 패널 내부의 전계방출공간이 10-6 Torr 이상의 고진공 상태를 유지하여야 한다. 이는, 에미터(22)와 게이트전극(16) 사이가 서브 마이크론 정도로 간격을 두고 이격되어 에미터(22)와 게이트전극(16) 사이에 107 V/cm 정도의 고전계가 인가되는데, 에미터(22)와 게이트전극(16) 사이가 고진공으로 유지되지 않으면 에미터(22)와 게이트전극(16) 사이에 방전이 일어나거나 절연파괴가 일어날 수 있기 때문이다. 또한, 전계 방출 공간이 고진공으로 유지되지 않으면 패널 내부에 존재하는 중성 입자들이 전자(30)와 충돌하여 양이온을 발생시키게 된다. 이렇게 발생된 양이온들은 에미터(22)에 충돌하여 에미터(22)를 열화시키거나 전자(30)와 충돌하여 전자(30)의 가속 에너지를 감쇠시킴으로써 휘도를 낮추게 한다. 이를 방지하기 위하여, FED의 제조공정에 있어서 패널 내부를 진공 상태로 만드는 진공 공정이 필요하게 된다.
도 4를 참조하면, 애노드전극(4) 및 형광체(6)가 적층된 상부 유리기판(2)과, 캐소드전극(10) 및 저항층(12)과, 저항층(12) 상에 형성되는 게이트전극(16)과, 게이트전극(16) 상에 형성되는 포커싱절연층(도시되지 않음)이 형성된 하부 유리기판(8)을 구비한다. 이와 같이 구성된 상부 유리기판(2)과 하부 유리기판(8) 합착전에 패널 내부에 장착되어 FED 제조 공정중 발생하는 기체를 흡수하기 위한 게터(40)가 형성된다.
통상, 게터(34)는 전술한 바와 같이 기판 합착전에 미리 게터(34)를 패널 내부에 장착하는 방법과 기판 합착후 배기관(도시하지 않음) 내에 핀치-오프지점 바 로 위에 게터(34)를 장착하는 방법이 있다. 보통 FED는 패널을 만든 후, 패널 내부의 파티클들을 제거하고 고진공을 유지하기 위해 내부에 게터를 삽입해서 이 게터를 활성화시켜서 고진공을 유지하게 된다. 그리고, 종래에는 패널을 제조시 단 한번에 게터를 활성화시킴으로 내부 진공을 유지해 왔지만 이는 일정한 시간이 지난 후에는 패널의 내부가 전자 방출 등의 영향으로 진공이 저하되어 아싱의 원인이 되고 또한 전자가 방출시 고진공 상태를 유지하지 못하면 고전압에 의한 양이온들이 에미터의 팁쪽으로 향하게 되어 양이온의 스퍼터링에 의해 에미터 팁이 마모가 생겨 전자 방출에 지대한 영향을 미치게 된다. 또한 일정 시간이 지난 후에 진공상태가 저하되어 게터의 가스 흡착 효율도 만족할만 하지 못하게 된다.
따라서, 본 발명의 목적은 게터에 고주파 신호를 인가함으로 인해 내부진공 상태를 고진공상태로 유지시킬 수 있는 전계 방출 표시소자의 게터 및 그 구동방법을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 전계 방출 표시소자는 패널에 형성되어 가스를 흡착하는 게터와, 상기 게터에 소정의 고주파 신호를 입력시킴으로써 상기 게터를 활성화 시키기 위한 RF 회로구동부가 구비된다.
본 발명의 전계 방출 표시소자의 구동방법은 고주파 신호를 발생하는 RF 신 호발생기가 구동되는 단계와, 고주파 신호를 소정시간 단위로 패널에 공급하기 위한 타이머가 구동되는 단계와, 상기 타이머의 구동을 온 오프시키기 위한 스위치가 구동되는 단계와, 소정 이득값만큼 상기 고주파 신호를 증폭하여 패널에 형성된 게터에 공급되도록 RF 구동기가 구동되는 단계를 포함한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 5 및 도6을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 FED의 소자 구조를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 전계 방출 표시소자는 대략적으로 패널(52)과, 패널(52) 내부의 가스를 흡착하는 역할을 하는 게터(34)와, 게터(34)에 고주파 신호를 인가함으로 인해 패널 내부의 진공상태가 고진공 상태로 유지시키기 위한 RF 회로구동부(54)가 구비된다. 여기서, 게터(34)는 패널(52) 내부의 가스를 흡착함으로 인해 내부 진공상태를 고진공상태로 만드는 역할을 한다. 그리고, RF 회로구동부(54)는 게터(34)를 일정한 시간동안 활성화 시켜서 패널(52) 내부의 진공상태를 고진공 상태로 유지하도록 하는 역할을 한다.
본 발명의 RF 회로구동부(54)는 기존의 CRT에서 사용하는 디가우징 코일과 같은 역할로서 화면의 순도 및 자계에 대한 영향을 제거하는 것과 유사한 방법을 이용한다.
도 6은 본 발명에 따른 RF 회로구동부의 구동방법을 상세히 나타내는 도면이다.
도 6을 참조하면, RF 회로구동부(54)는 고주파 신호를 공급하기 위한 타이머(42)와, 상기 타이머(42)의 구동을 온 오프시키기 위한 스위치와(56), 타이머(42)를 제어하는 제어부(58)와, 신호를 생성하는 RF 신호생성기(44)와, RF 신호생성기(44)에서 생성된 신호를 소정의 크기만큼 증폭시키는 RF 신호증폭기(46)와, 입력된 고주파 신호를 게터로 입력하는 RF 구동기(48)로 구성된다. 이를 상세히 설명하면, 타이머(42)는 내부 제어부(58)와 연결되어 시간 및 기간을 셋팅하여서 고주파 신호를 소정시간 단위로 패널에 공급하기 위한 역할을 한다. 그리고, RF 신호생성기(44)는 타이머(42)가 동작되면 게터를 활성화 시킬 수 있는 고주파 신호를 계속해서 발생하게 된다. 이후에 RF 신호증폭기(46)는 RF 신호생성기(44)를 거쳐 생성된 고주파 신호를 소정의 크기만큼 증폭시켜 RF 구동기에 입력하는 역할을 하게 된다. RF 구동기(48)는 RF 신호증폭기로부터 입력된 신호를 게터로 입력하여 게터를 활성화 시키는 역할을 한다.
본 발명에 따른 RF 회로구동부는 패널 내부의 전계 방출 공간이 10-6 Torr 이상의 진공 상태가 유지될 수 있도록 하기 위하여 스위치(56)를 온 시키면 내부의 타이머(42)가 동작하게 되는데, 타이머(42)는 내부 제어부(58)와 연결되어 전계 방출 공간이 10-6 Torr 이상의 진공 상태를 유지시키기 위해 동작하게 된다. 이에 따라 RF 신호생성기(44)가 동작하게 되어 계속해서 신호를 발생하게 된다. 이렇게 발생된 고주파 신호는 RF 신호증폭기(46)를 통해서 소정의 크기 만큼 증폭된 후 RF 구동기로 입력되게 된다. 그리고, RF 구동기(48)는 입력되는 상기 고주파 신호를 게터에 입력하여 게터를 활성화 시키게 된다. 일정한 시간이 지난 후 게터가 활성화 되어 내부진공 상태가 고진공 상태로 유지된 후에는 자동적으로 전원이 꺼지게 한다. 여기서는 강제로 전원을 차단하는 방법과 미리 타이머(42)에 시간을 할당한 후에 자동적으로 꺼지게 하여 동작이 완료되게 하는 방법이 있다. 실제로 게터는 패널(52) 제조시 단 한 번의 공정으로 내부의 진공상태를 유지하도록 하기 때문에 이후에는 순수한 게터만으로 내부 진공상태를 고진공 상태로 유지해야 하는데 이것은 게터의 물질과 양, 위치에 따라 상태가 달라질 수 있다.
본 발명의 실시예 따라 전계 방출 표시소자에 RF 회로구동부(54)를 구비할 수 있는 것은 게터가 형성되는 물질이 금속이기 때문에 가능하다. 이렇기 때문에 RF 회로구동부(54)에 인가되는 신호에 의해서 게터가 활성화 될 수 있고, 패널 내부의 진공상태를 고진공 상태로 유지시킬 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예에 따른 RF 회로구동부(54)는 종래 기술과 달리 내부의 진공상태에 따라 수시로 신호를 인가하여 게터를 활성화 시킬수 있도록 구동된다.
결과적으로, 종래에 반해 진공상태를 고려하여 수시로 RF 신호를 입력하게 되면 게터를 활성화 시킬 수 있게 됨으로 인해 패널 내부의 진공상태를 고진공 상태로 유지할 수 있게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 전계 방출 표시소자인 RF 회로구동부는 소정의 RF 신호를 패널 내부의 전계 방출 공간이 10-6 Torr 이상의 진공 상태가 유지되도록 게터에 입력함으로 인해 게터를 활성화 시켜 패널 내부의 진공상태를 고진공 상태로 유지할 수 있게 된다. 또한, 게터를 종래 보다 자유롭게 수시로 활성화시킬 수 있게 됨으로 인해 패널의 수명을 연장시킬 수 있고, 전압이 가해지는 패널에서 발생되는 아싱이나 에미터 팁의 마모를 줄일 수 있게 된다.
뿐만 아니라, 패널 내부에 존재하는 게터의 가스 흡착율도 향상시킬 수 있게 되고, 보다 선명한 화질로 감상할 수 있게 된다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (2)

  1. 패널 내부에 형성되어 가스를 흡착하는 게터와,
    상기 게터에 소정의 RF 신호를 입력시킴으로써 상기 게터를 활성화 시키기 위한 RF 회로구동부가 구비되는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시 소자.
  2. 고주파 신호를 발생하는 RF 신호발생기가 구동되는 단계와,
    상기 고주파 신호를 소정시간 단위로 패널에 공급하기 위한 타이머가 구동되는 단계와,
    상기 타이머의 구동을 온 오프시키기 위한 스위치가 구동되는 단계와,
    소정 이득값만큼 상기 고주파 신호를 증폭하여 패널 내부에 형성된 게터에 공급되도록 RF 구동기가 구동되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시소자의 구동방법.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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