KR20000002651A - 고진공 표시소자의 게터 실장구조 및 활성화 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 고진공으로 배기를 요구하는 표시소자의 게터 실장구조 및 활성화 방법에 관한 것으로, 특히 별도의 배기관이나 게터챔버 없이 게터링 특성이 우수한 HPTF(high porous thick film) 게터를 효과적으로 장착할 수 있을 뿐만 아니라, 패널의 상·하면기판의 실링이 고진공 챔버내에서 이루어지도록 하므로써 게터실장시의 게터손상을 최소화하고, 상기 게터의 활성화도 전류 가열법을 사용하여 용이하게 행할 수 있도록 한 고진공 표시소자의 게터 실장구조 및 활성화 방법에 관한 것이다.

Description

고진공 표시소자의 게터 실장구조 및 활성화 방법

본 발명은 고진공으로 배기를 요구하는 표시소자의 게터 실장구조 및 활성화 방법에 관한 것으로, 특히 패널의 상면 및 하면기판의 실링이 고진공 챔버내에서 이루어지도록 하므로써 게터실장시의 게터손상을 최소화하고, 전류가열법을 사용하여 게터를 용이하게 활성화시키는 고진공 표시소자의 게터실장 및 활성화 방법에 관한 것이다.

일반적으로, FED(field emission display) 등의 표시소자는 진공내에서 금속 혹은 도체에 높은 전기장을 인가할 경우, 전자들이 고체로부터 진공밖으로 양자역학적인 터널링(tunneling)을 통해 방출되어 나오며, 상기 방출된 전자들이 맞은편의 후면전극에 인가된 전압에 의해 가속되어 전극위에 형성된 형광층을 때려 발광시킴으로써 영상을 표시하는 표시소자이다.

그리고, 상기 FED(field emission display)소자는 크게 형광층과 투명전극이 형성되는 상면기판과, 캐소드 어레이(cathode array) 및 게이트전극이 형성되는 하면기판으로 구성되며, 상기 상면기판과 하면기판 사이에는 서로간에 일정한 간격을 유지하기 위한 스페이서(spacer)가 위치한다.

또한, 고진공을 유지할 수 있도록 패널의 상면기판과 하면기판이 만나는 에지(edge)부분이 실링(sealing)물질에 의해 견고하게 봉착된다.

그런데, 종래에는 상기 상면기판과 하면기판을 부착시켜 패널을 형성할 때, 게터(getter)도 내부에 함께 투입되므로써 상기 게터가 손상을 받게 되는데, 이는 상기 패널의 상면기판과 하면기판의 실링공정이 약 430∼600℃ 사이의 고온에서 진행되기 때문이다.

따라서, 고온공정에서 어느정도의 수명을 유지하는 재질의 게터인 경우에도 상기 게터가 고온의 공정에서 대기 또는 특정가스에 노출되어 게터의 증발 이전단계에서 일차 고온공정에 의해 선행적인 증발이 이루어지므로, 이후 공정에서 게터의 활성화가 이루어진다 하더라도 그 효과를 충분히 기대할 수 없는 문제점이 있다.

또한, 종래에는 패널의 하면기판 즉, 캐소드판에 배기홀을 뚫은 후, 상기 배기홀 상에 배기용 관을 부착시켜 배기하므로써, 배기 컨덕턴스가 매우 나빠지는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 별도의 배기관이나 게터챔버 없이 게터링 특성이 우수한 HPTF(high porous thick film) 게터를 효과적으로 장착할 수 있을 뿐만 아니라, 게터의 활성화도 전류 가열법을 사용하여 용이하게 행할 수 있는 고진공 표시소자의 게터 실장구조 및 활성화 방법을 제공하는데 있다.

도 1a 는 본 발명에 의한 게터 실장구조를 나타낸 패널의 단면도

도 1b 는 도 1a 에 도시된 실링 프레임과 게터 및 게터 가열용 인출 전극선으로 사용되는 듀멧 와이어의 상태를 나타낸 평면도

도 1c 는 도 1b 의 A에 도시된 실링 프레임의 우측면도

도 2 는 본 발명의 제2 실시예에 의한 게터 실장구조를 나타낸 패널의 평면도

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1: HPTF 게터 2: 금속선(듀멧 와이어)

3: 하면기판 4: 상면기판

5: 실링 프레임 6: 듀멧 와이어 인출용 홀

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 고진공 표시소자의 게터 실장구조는 상기 패널의 하면기판 상부에 듀멧 와이어 인출용 홀을 갖는 실링 프레임과, 상기 실링 프레임에 형성된 듀멧 와이어 인출용 홀을 관통하는 듀멧 와이어에 의해 고정되는 게터를 구비하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 고진공 표시소자의 게터 활성화 방법은, 패널의 하면기판에 듀멧 와이어 인출용 홀을 갖는 실링 프레임과, 상기 실링 프레임에 듀멧 와이어로 연결되어 고정된 게터를 장착하는 단계와,

상기 실링 프레임 및 게터가 장착된 패널의 하면기판과 상면기판을 고진공 챔버내에 일정갭을 유지하게끔 장착하고 패널의 아웃개싱을 행하는 단계와,

상기 패널의 상면기판과 하면기판을 정렬하고 일정압력을 가해 실링하는 단계와,

상기 패널을 냉각시켜 챔버로부터 빼낸 후, 게터를 전류가열법으로 활성화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상술한 목적 및 기타의 목적과 본 발명의 특징 및 이점은 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해 질 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 고진공 표시소자의 게터고정 및 활성화방법에 대해 상세히 살펴보기로 한다.

도 1a 는 본 발명에 따른 게터 실장구조를 나타낸 패널의 단면도로, 패널의 상면기판(4)과 하면기판(3)을 얼라인(align)하여 결합한 후, 상기 상·하면기판(4, 3)의 사이를 봉합하되, 유리 글라스(frit glass)재질의 실링 프레임(5)에 의해 실링한다. 그리고, 게터(1)가 금속선(dumet wire: 2)에 의해 실링 프레임(5)과 연결되어 그 안쪽에 고정되는데, 상기 게터(getter: 1)는 상대적으로 두께가 얇은 HPTF(High Porous Thick Film) 게터이다.

도 1b 는 도 1a 에 도시된 패널의 실링 프레임(5)과 게터(1) 및 게터 가열용 인출 전극선으로 사용되는 금속선(dumit wire : 2)의 상태를 나타낸 평면도로, 게터(1)의 상·하측 단부에 수직으로 듀멧 와이어(2)에 의해 실링 프레임(5)에 연결되어 고정된 것을 나타낸다.

이때, 패널의 하면기판(3)에 장착된 게터(1)의 수는 제한되지 않으며, 또한, 실링 프레임(5)을 따라 1, 2, 3 또는 4면 모두에 걸쳐 장착되어질 수 있다.

도 1c 는 상기 도 1b 의 A에 도시된 실링 프레임의 우측면도를 나타낸 것으로, 게터 가열용 인출 전극선으로 사용되는 금속선(dumit wire: 2)이 봉합되는 금속선 인출용 홀(6)을 구비한 실링 플레임(5)을 나타낸다.

도 2 는 본 발명의 제2 실시예에 의한 게터 실장구조를 나타낸 패널의 평면도로, 별도의 게터챔버나 지지대 없이 게터 고정용 듀멧 와이어(2)가 상기 게터(1)의 상·하측 단부에 수평으로 결착되어 있는 것을 나타낸다.

상기 게터(1)는 패널면에서 차지하는 면적을 최소화하기 위해 보통 세워진 상태로 장착되는데, 경우에 따라서는 눕혀진 상태로도 장착이 가능하다.

본 발명에 의한 고진공 표시소자의 게터고정 및 활성화방법은 패널의 상면기판(4)과 하면기판(3)과의 간격이 1mm이상으로 큰 고전압용 패널에 적합한 방법으로, 배기관이나 개터 챔버를 별도로 필요로 하지 않는 패널에 적합하다고 할 수 있다. 그리고, 실링라인의 높이가 최소 1mm 이상이나 되기 때문에 디스펜싱이나 인쇄법으로는 실링라인을 형성하는 것이 어려워져 본 발명에서는 이미 형성된 실링 프레임(5)을 사용한다.

본 발명에 따르면, 고진공 챔버내 기판을 장착하기 전, 패널의 하면기판(3)에 실링 프레임(5)과 게터(1)를 미리 장착한다.

그런 다음, 상기 패널의 하면기판(3)과 상면기판(4)을 고진공 챔버내에 일정 갭을 유지하게끔 장착하고 300∼600℃의 고온에서 패널의 아웃개싱(out-gassing)을 충분히 시킨다.

그 후, 상면기판(4)과 하면기판(3)을 정렬(align)하고, 실링(sealing)을 위하여 상기 상·하면기판(4, 3) 간에 일정압력을 가하면서 유리 글라스(frit glass)가 녹아 실링이 이루어 질 수 있도록 약 430∼600℃사이의 온도로 승온시키는데, 이때 금속선 인출용 홀(6)도 함께 실링이 이루어진다.

그리고, 실링이 이루어지면 패널을 냉각시켜 챔버로부터 빼낸 후, 다시 필요한 만큼 게터(1)를 전류 가열법에 의해 용이하게 활성화시킬 수 있게 된다. 이때, 흘려주는 전류는 게터(1)의 활성화 온도에 맞게 적당한 값으로 일정시간 흘려주는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에서 사용되는 게터 가열용 금속 전극선(2)은 상기 유리 글라스(frit glass)와 열팽창계수가 유사한 재질로 듀멧 와이어(dumet wire)가 적합하다.

이상에서 설명한 바와같이 본 발명에 따른 고진공 표시소자의 게터 실장구조 및 활성화 방법에 의하면, 게터고정을 위한 별도의 지지대 및 백챔버의 필요성을 없앰으로써 아웃개싱의 최소화를 이루고, 제조공정을 단순화시킬 수 있는 매우 뛰어난 효과가 있다.

또한, 패널의 상·하면기판의 실링이 고진공 챔버내에서 이루어지기 때문에, 게터장착에 따른 게터의 손상을 최소화할 수 있는 매우 뛰어난 효과가 있다.

아울러 본 발명의 바람직한 실시예들은 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가 등이 가능할 것이며, 이러한 수정 변경 등은 이하의 특허청구의 범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.

Claims (5)

1. 고진공 표시소자의 게터 실장구조에 있어서,

   상면기판과 하면기판을 얼라인하여 실링함에 의해 패널을 형성하되;

   상기 패널의 하면기판 상부에 듀멧 와이어 인출용 홀을 갖는 실링 프레임과,

   상기 실링 프레임에 형성된 듀멧 와이어 인출용 홀을 관통하는 듀멧 와이어에 의해 고정되는 게터를 구비하는 것을 특징으로 하는 고진공 표시소자의 게터 실장구조.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 게터는 HPTF게터인 것을 특징으로 하는 고진공 표시소자의 게터 실장구조.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 게터는 상기 실링 프레임을 따라 1, 2, 3 또는 4면 모두에 걸쳐 장착되는 것을 특징으로 하는 고진공 표시소자의 게터 실장구조.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 듀멧 와이어는 유리 글라스와 열팽창계수가 동일한 재질을 사용하는 것을 특징으로 하는 고진공 표시소자의 게터 실장구조.
5. 고진공 표시소자의 게터 활성화 방법에 있어서,

   패널의 하면기판에 듀멧 와이어 인출용 홀을 갖는 실링 프레임과, 상기 실링 프레임에 듀멧 와이어로 연결되어 고정된 게터를 장착하는 단계와,

   상기 실링 프레임 및 게터가 장착된 패널의 하면기판과 상면기판을 고진공 챔버내에 일정갭을 유지하게끔 장착하고, 패널의 아웃개싱을 행하는 단계와,

   상기 패널의 상면기판과 하면기판을 정렬하고 일정압력을 가해 실링하는 단계와,

   상기 패널을 냉각시켜 챔버로부터 빼낸 후, 게터를 전류가열법으로 활성화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 고진공 표시소자의 게터 활성화 방법.