JP2001076648A - 画像表示器およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 フラットパネル化が容易で表示面積が広く、
製造が容易な画像表示器およびその製造方法を提供す
る。 【解決手段】 蛍光体膜１７と、電子放出素子２０と、
外囲器内部の真空度を保持するためのゲッタ２４とを備
える外囲器１１を含み、ゲッタ２４が無機系接着剤２３
によって外囲器１１内部に固定されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子放出素子を有
する画像表示器に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、平面ディスプレイとして液晶ディ
スプレイが広く利用されているが、液晶ディスプレイ
は、その製造において多くの工程と厳しい品質管理が要
求されるとともに、消費電力が大きいなどの特性上の問
題もあるため、液晶ディスプレイに代わるものとして、
電子放出素子を用いたＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓ
ｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ）と呼ばれる画像表示器が注目
されている。

【０００３】従来のＦＥＤについて、一例の断面図を図
６に示す。従来のＦＥＤは、外囲器１とゲッタ室２とを
備える。外囲器１は、発光基板３と電子放出基板４とを
備える。発光基板３は、陽極３ａと陽極３ａ上に形成さ
れた蛍光体膜３ｂとを備える。電子放出基板４は、陰極
側配線４ａと、陰極側配線４ａ上に形成された電子放出
素子４ｂと、引き出し電極４ｃと、排気孔４ｄとを備え
る。ゲッタ室２は、バネ５によって保持されたゲッタ６
とゲッタ膜７と排気孔８と封止された排気管９とを備え
る。

【０００４】上記ＦＥＤは、以下の工程によって製造さ
れる。すなわち、まず、外囲器１およびゲッタ室２を形
成したのち、排気管９から外囲器１およびゲッタ室２の
空気を排気したのち、排気管９を封止することによって
外囲器１およびゲッタ室２を略真空状態にする。その
後、ゲッタ６を加熱することによって、ゲッタ膜７を形
成する。ゲッタ膜７は、外囲器１およびゲッタ室２内部
の高真空状態を維持するために形成される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のＦＥＤでは、ゲッタ室２を外囲器１の下部に形成し
ていたため、完全なフラットパネル化ができず、汎用性
に欠けるという問題があった。

【０００６】一方、フラットパネル化を達成するために
は、ゲッタ６を外囲器１内に形成すればよいが、従来の
ようにバネ５によって外囲器１の内部にゲッタ６を保持
した場合、バネ５がゲッタ６のサイズ以上に外囲器１を
占有してしまい、外囲器１内の表示エリアが狭くなると
いう問題があった。

【０００７】また、バネ５によってゲッタ６を保持する
従来のＦＥＤでは、部品点数が増加するとともに製造工
程が複雑になるという問題があった。これらは、製造コ
ストの増加や、ガス放出による真空度の低下の要因とな
る。

【０００８】上記問題を解決するため、本発明は、フラ
ットパネル化が容易で表示面積が広く、製造が容易な画
像表示器、およびその製造方法を提供することを目的と
する。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の第１の画像表示器は、内部が略真空である
外囲器を含む画像表示器であって、前記外囲器は、電子
放出素子と蛍光体膜と前記外囲器内部の真空度を保持す
るためのゲッタとを備え、前記ゲッタが、無機系接着剤
によって前記外囲器内部に固定されていることを特徴と
する。

【００１０】また、本発明の第２の画像表示器は、内部
が略真空である外囲器を含む画像表示器であって、前記
外囲器は、電子放出素子と蛍光体膜と前記外囲器内部の
真空度を保持するためのゲッタ膜とを備え、前記ゲッタ
膜が、前記外囲器内部に無機系接着剤によって固定され
たゲッタを蒸発させることによって形成された膜である
ことを特徴とする。上記第１および第２の画像表示器で
は、ゲッタが無機系接着剤によって外囲器内部に固定さ
れているため、フラットパネル化が容易で表示面積が広
く、製造が容易な画像表示器が得られる。

【００１１】上記第１および第２の画像表示器では、前
記ゲッタ膜が電気配線として機能することが好ましい。
上記構成によって、実装工程が容易で商品化するための
制約が少なく、低コストに製造できる画像表示器が得ら
れる。

【００１２】上記第１および第２の画像表示器では、前
記無機系接着剤は、金属アルコキシドの加水分解反応に
よって形成されたガラスであることが好ましい。上記構
成によって、製造が特に容易であると共に、外囲器内部
を高い真空度に保持できる画像表示器が得られる。

【００１３】上記第１および第２の画像表示器では、前
記金属アルコキシドは、ケイ素のアルコキシドを主成分
として含むことが好ましい。上記構成によって、ゲッタ
を外囲器内部に強固に固定することができる。さらに、
無機系接着剤が骨材を含む場合には、金属アルコキシド
が加水分解されて形成される化合物の熱膨張係数と、骨
材の熱膨張係数とが近いため、温度に対するストレスが
非常に少なくなり、信頼性が高い画像表示器が得られ
る。

【００１４】本発明の第１の画像表示器の製造方法は、
電子放出素子と蛍光体膜とゲッタとを備える外囲器を含
む画像表示器の製造方法であって、前記外囲器の内部に
無機系接着剤によって前記ゲッタを固定する工程を含む
ことを特徴とする。

【００１５】また、本発明の第２の画像表示器の製造方
法は、電子放出素子と蛍光体膜とゲッタ膜とを備える外
囲器を含む画像表示器の製造方法であって、前記外囲器
の内部に無機系接着剤によってゲッタを固定する第１の
工程と、前記ゲッタを蒸発させることによって前記ゲッ
タ膜を形成する第２の工程とを含むことを特徴とする。
上記第１および第２の画像表示器の製造方法によれば、
上記第１および第２画像表示器を容易に製造することが
できる。

【００１６】上記第１および第２の画像表示器の製造方
法では、前記ゲッタ膜が、電気配線として機能すること
が好ましい。上記構成によって、製造工程を簡略化する
ことができ、低コストで画像表示器を製造できる。

【００１７】上記第１および第２の画像表示器の製造方
法では、前記無機系接着剤は、金属アルコキシドの加水
分解反応によって形成されたガラスであることが好まし
い。上記構成によって、上記第１および第２の画像表示
器を特に容易に製造できるとともに、高い真空度を有す
る外囲器を備える画像表示器を製造できる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態について説明する。

【００１９】（実施形態１）実施形態１では、本発明の
画像表示器について、一例を説明する。

【００２０】実施形態１の画像表示器１０について、断
面図を図１に模式的に示す。図１を参照して、画像表示
器１０は、外囲器１１を含み、外囲器１１は、発光基板
１２と電子放出基板１３とスペーサ基板１４とを備え
る。発光基板１２と電子放出基板１３とは、スペーサ基
板１４を挟んで対向するように配置されている。

【００２１】発光基板１２は、ガラス基板１５と、ガラ
ス基板１５上に形成された陽極１６と、陽極１６上に形
成された蛍光体膜１７とを備える。電子放出基板１３
は、ガラス基板１８と、ガラス基板１８上に形成された
陰極側配線１９と、陰極側配線１９上に形成された電子
放出素子２０と、絶縁層２１と、引き出し電極２２と、
無機系接着剤２３によってガラス基板１８に固定された
ゲッタ２４とを備える。スペーサ基板１４は、発光基板
１２および電子放出基板１３と略等しい外径寸法を有す
る枠状の基板である。スペーサ基板１４は、たとえば１
ｍｍ程度の一様な厚さで、ガラスフリットが枠体上下面
に予め形成されている。

【００２２】ガラス基板１５には、たとえば、ソーダラ
イムガラスを用いることができる。

【００２３】陽極１６は、引き出し電極２２との間に電
界を形成するための電極であり、絶縁層２１上に形成さ
れている。陽極１６には、透明導電膜を用いることがで
き、たとえば、厚さが１μｍ程度のＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕ
ｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）を用いることができる。陽極
１６には、シート抵抗値が１０Ω／□以下の透明導電膜
を用いることが好ましい。

【００２４】蛍光体膜１７は、電子線を照射することに
よって可視光を発光する材料からなる膜であり、たとえ
ば、ＺｎＯ：Ｚｎを主成分とする蛍光体からなる膜や、
ＺｎＳ：Ａｇ＋Ｉｎ₂Ｏ₃を主成分とする蛍光体からなる
膜を用いることができる。なお、画像表示器１０が、カ
ラー表示をする表示器である場合には、蛍光体膜には、
画素を構成する区分ごとにＲ（赤）、Ｇ（緑）およびＢ
（青）の３つの発光色に対応する蛍光体膜１７が形成さ
れる。蛍光体膜１７は、たとえば１０μｍ〜２０μｍ程
度の厚さに形成され、面積抵抗値が約５００Ω／ｃｍ²
以上であることが好ましい。

【００２５】ガラス基板１８には、たとえば、ソーダラ
イムガラスを用いることができる。陰極側配線１９は、
電子放出素子２０と引き出し電極２２との間に電界を形
成するための電極であり、たとえば、Ａｕ等の導電性の
高い金属を用いることができる。

【００２６】電子放出素子２０は、蛍光体膜１７へ電子
を放出するための素子であり、Ｍｏなどの金属からなる
円錐状（スピント型）の冷陰極を用いることができる。
電子放出素子２０の高さは、たとえば１μｍ程度であ
る。

【００２７】絶縁層２１は、陰極側配線１９と引き出し
電極２２とを電気的に絶縁するための層であり、たとえ
ば、ＳｉＯ₂からなる。

【００２８】引き出し電極２２は、陽極１６との間に電
界を形成し、電子放出素子２０から電子を放出させるた
めの電極であり、絶縁層２１上に形成される。引き出し
電極２２は、電子放出素子２０に対応する部分に、直径
がたとえば１μｍ〜２μｍ程度の略円形の孔を有する。
なお、複数の画素を表示する場合には、複数の短冊状の
陽極１６と複数の短冊状の引き出し電極２２とを直交す
るように配置すればよい。

【００２９】ゲッタ２４は、ゲッタ膜２５を形成するた
めのものである。すなわち、ゲッタ２４は、外囲器１１
内部の真空度を保持するためのものであり、ゲッタ２４
を加熱することによって、ゲッタ膜２５を蒸着すること
ができる。ゲッタ２４には、たとえばフリッタブルタイ
プのゲッタであるＳＴ３０１（サエス・ゲッターズ・ジ
ャパン製）、または蒸発タイプのゲッタであるＮ３０１
（東芝製）などを使用できる。

【００３０】ゲッタ２４を加熱し蒸着することによって
形成されるゲッタ膜２５は、外囲器１１内の真空度を保
持するための膜であり、たとえば、バリウムまたはバリ
ウム合金からなる膜を用いることができる。すなわち、
本発明の画像表示器は、ゲッタ２４およびゲッタ膜２５
から選ばれる少なくとも一つを備える。

【００３１】無機系接着剤２３は、ゲッタ２４を外囲器
１１内に固定するための接着剤である。無機系接着剤２
３には、たとえば、ゾル−ゲル法と呼ばれる方法で形成
されるガラスを用いることができる。すなわち、無機系
接着剤２３としては、テトラエチルオルソシリケート
（Ｔｅｔｒａ Ｅｔｈｙｌ Ｏｒｔｈｏ Ｓｉｌｉｃａ
ｔｅ）などの金属アルコキシドの加水分解によって形成
されるガラスを用いることが好ましい。具体的には、金
属酸化物からなる骨材と、金属アルコキシドからなるバ
インダと、溶媒とを含むガラス材料をガラス基板１８上
に塗布し、塗布したガラス材料上にゲッタ２４を配置し
たのち、加熱することによってガラス材料を反応させ、
ガラスからなる無機系接着剤２３を形成できる。なお、
骨材である金属酸化物は必ずしも必要ではないが、無機
系接着剤２３の熱膨張係数を調節してガラス基板１８お
よびゲッタ２４の熱膨張係数に近づけるために、無機系
接着剤２３は骨材である金属酸化物を含むことが好まし
い。

【００３２】骨材である金属酸化物には、たとえば、Ｓ
ｉＯ₂、アルミナ、ジルコニアなどを用いることができ
る。

【００３３】金属アルコキシドには、たとえば、テトラ
エチルオルソシリケートまたはテトラプロピルオルソシ
リケートなどを用いることができる。

【００３４】溶媒には、たとえば、エタノールまたはプ
ロパノールなどを用いることができる。これらの中で
も、骨材にＳｉＯ₂を用い、金属アルコキシドにテトラ
エチルオルソシリケートを用い、溶媒にエタノールを用
いることが特に好ましい。この組み合わせでは、金属ア
ルコキシドが加水分解されて骨材であるＳｉＯ₂と同じ
組成となるため、強力な接合が得られるとともに、低級
アルコールであるエタノールは、少しの加温で揮発する
ため、残渣が生じにくい。このため、上記組み合わせに
よって、純度の高いシロキサン結合物を形成できる。

【００３５】これらのガラス材料は、金属アルコキシド
の加水分解によってガラスとなり、ゲッタ２４を固定す
る。たとえば、金属アルコキシドがテトラエチルオルソ
シリケートである場合には、以下の反応式（１）および
（２）に示すように、テトラエチルオルソシリケートの
加水分解反応によってシロキサン結合が形成される。

【００３６】

【化１】

【００３７】

【化２】

【００３８】そして、これらの反応が繰り返されること
によって、ガラスである無機系接着剤２３が形成され
る。

【００３９】このようにして形成される無機系接着剤２
３は、１０００ＭΩ以上の抵抗値を有するポーラスなも
のであり、ゲッタ膜２５を形成（ゲッタフラッシュ）す
る際に必要とされる１０００℃程度の熱をゲッタ２４に
加えた場合でも、ガラス基板１８とゲッタ２４との間に
無機系接着剤２３が存在するため、ガラス基板１８への
影響を抑制することができる。

【００４０】次に、画像表示装置１０の発光原理につい
て、図２を用いて説明する。図２は、発光装置１０の発
光原理を示すための模式図である。

【００４１】画像表示装置１０では、陰極側配線１９に
接続されている電子放出素子２０と引き出し電極２２と
陽極１６とに電圧を印加し、引き出し電極２２によって
電子放出素子２０から引き出した電子を、蛍光体膜１７
に衝突させることによって、蛍光体膜１７を発光させ
る。

【００４２】画像表示装置１０では、電子放出素子２０
と引き出し電極２２と陽極１６とに印加する電圧を制御
することによって、電子放出素子２０から放出される電
子の量および放出方向を制御し、電子線を所望の蛍光体
膜１７に照射することができる。これによって、所定の
色に対応している蛍光体膜１７を発光させることができ
る。蛍光体膜１７からの発光は、透明な陽極１６および
ガラス基板１５を透過して外部に放射される。ここで、
Ｒ、ＧおよびＢの色に対応した蛍光体を組み合わせて配
列し、それらを任意に発光させることによって、所望の
画像を表示することができる。

【００４３】上記実施形態１の画像表示器１０では、ゲ
ッタ２４が外囲器１１内に配置されており、さらにゲッ
タ２４が無機系接着剤２３によってガラス基板１８上に
保持されている。したがって、画像表示器１０によれ
ば、フラットパネル化が容易で表示面積が広く、製造が
容易な画像表示器が得られる。

【００４４】なお、上記実施形態１では、ゲッタ２４が
電子放出基板１３に形成され、ゲッタ膜２５が発光基板
１２に形成される場合を示したが、本発明の画像表示器
はこの配置に限定されない。たとえば、ゲッタが発光基
板に形成され、ゲッタ膜が電子放出基板に形成される場
合であってもよい。

【００４５】（実施形態２）実施形態２では、本発明の
画像表示器の製造方法について、一例を説明する。な
お、実施形態１と同様の部分については、重複する説明
を省略する。

【００４６】まず、図３（ａ）を参照して、電子放出基
板１３を作製する。すなわち、ガラス基板１８上に、陰
極側配線１９と絶縁層２１と引き出し電極２２とを形成
した後、電子放出素子２０を形成する。陰極側配線１
９、絶縁層２１および引き出し電極２２は、それぞれ、
スパッタリング法によって薄膜を形成した後、フォトリ
ソ工程およびエッチング工程によって不要な部分を除去
することによって形成できる。なお、引き出し電極２２
の略円形の孔は、イオンエッチング等で形成できる。ま
た、電子放出素子２０は、マスクを利用したスパッタリ
ング法によって形成できる。

【００４７】一方、図３（ｂ）に示すように、ガラス基
板１５上に、陽極１６と蛍光体膜１７とを形成すること
によって、発光基板１２を作製する。陽極１６は、たと
えばスパッタリング法によって形成できる。蛍光体膜１
７は、厚膜スクリーン印刷法などによって形成でき、た
とえば膜厚が１０μｍ〜２０μｍ程度になるように形成
する。

【００４８】そして、図３（ｃ）に示すように、無機系
接着剤２３によってゲッタ２４をガラス基板１８上に固
定し、電子放出基板１３を形成する。具体的には、ま
ず、シリンジ等に封入した無機系接着剤２３の材料を、
ガラス基板１８上の所定の位置に塗布する。その後、ゲ
ッタ２４を無機系接着剤２３の材料上に配置し、オーブ
ン等によって、たとえば１００℃で１０分と１８０℃で
１０分の加熱を行い、金属アルコキシドの加水分解によ
る脱アルコール縮合反応を行って、無機系接着剤２３の
材料を硬化させる。このようにして、無機系接着剤２３
によってゲッタ２４を固定する。無機系接着剤２３の加
熱条件は、用いる無機系接着剤２３の種類に応じて変化
させればよい。

【００４９】なお、図３（ａ）、（ｂ）および（ｃ）の
工程の順序は、いかなる順序であってもよい。

【００５０】その後、図３（ｄ）に示すように、発光基
板１２と電子放出基板１３とを、スペーサ基板１４を介
して接着する。このとき、略真空中で基板を接着するこ
とによって、外囲器１１内を略真空にすることができ
る。このようにして、実施形態１で説明した画像表示器
１０を製造できる。なお、ゲッタ膜２５を形成する場合
には、ゲッタ２４を加熱してガラス基板１５上に蒸着さ
せればよい。ゲッタ２４の加熱は、たとえば、ボンバー
ダ（図示せず）による高周波加熱によって行うことがで
きる。

【００５１】なお、上記工程に用いる無機系接着剤２３
としては、実施形態１で説明したように、金属アルコキ
シドの加水分解反応によって形成されるガラスを用いる
ことが好ましい。上記構成によれば、骨材、バインダお
よび溶媒のすべてが中性であるため、ガラス基板と反応
することがなく、長期安定性が高い画像表示器を製造で
きる。また、上記構成によれば、硬化反応が脱アルコー
ル縮合によって行われるため、硬化時に水分等が放出さ
れることがなく、外囲器１１内部の真空度が高い画像表
示器を製造できる。特に、上記構成によれば、加水分解
反応によって無機系接着剤２３が硬化するため、未反応
の接着剤があったとしても、外囲器１１を封着する図３
（ｄ）の工程において、ガラスフリットから発生する水
分によって無機系接着剤２３を完全に硬化させることが
できる。また、テトラエチルオルソシリケートをバイン
ダに用いた場合には、シロキサン結合によって強固な接
着力が得られる。

【００５２】一方、接着剤として、たとえばアロンセラ
ミックＤ（東亞合成化学製）などのリン酸塩をバインダ
とする接着剤を用いた場合には、以下のような問題があ
る。すなわち、上記接着剤は、強酸性のｐＨ値を示すた
め、ガラス基板と化学反応を起こし、ガラス基板の腐食
を促進してしまうという問題がある。この結果、上記接
着剤を用いると、画像表示器の長期信頼性が十分でない
という問題がある。また、上記接着剤は、以下の反応式
（３）によってリン酸塩が脱水縮合し、さらに形成され
た分子間で水素結合を生じることによって硬化を起こ
す。

【００５３】

【化３】

【００５４】（式中、Ｍは、金属を示す。） このため、上記接着剤では、画像表示器内部に水分が多
量に付着し、外囲器１１内部の真空度低下の原因となる
と共に、外囲器１１を高真空状態にするための作業時間
が長くなる原因となる。また、上記接着剤は、分子間で
水素結合を生じることによって硬化するため、強度的に
も脆いという問題がある。したがって、無機系接着剤２
３には、金属アルコキシドの加水分解反応によって硬化
するガラスを用いることが好ましい。

【００５５】上記実施形態２の製造方法によれば、実施
形態１で説明した本発明の画像表示器を容易に製造でき
る。さらに、上記実施形態２の製造方法によれば、画像
表示器を構成する部品点数が少なくなるため、製造工程
を簡略化でき、コスト削減を図ることができる。さら
に、真空度が劣化しにくく、ゲッタフラッシュが均一に
行える画像表示器を製造することができる。

【００５６】（実施形態３）実施形態３では、本発明の
画像表示器について、他の一例を説明する。なお、実施
形態１と同様の部分については、重複する説明を省略す
る。

【００５７】実施形態３の画像表示器１０ａについて、
断面図を図４に模式的に示す。図４を参照して、画像表
示器１０ａは、外囲器１１ａを含み、外囲器１１ａは、
発光基板１２ａと、電子放出基板１３ａと、スペーサ基
板１４と、スペーサ板２６と、スペーサ基板１４上に形
成されたゲッタ膜２５とを備える。ゲッタ膜２５は、ス
ペーサ板２６上に固定されたゲッタ２４を蒸発させるこ
とによって形成された膜である。ゲッタ２４は、スペー
サ板２６上に、実施形態１で説明した無機系接着剤２３
によって固定されている。なお、実施形態３の画像表示
器１０ａでは、ゲッタ膜２５は、バリウムあるいはバリ
ウム合金などの導電性の物質からなる。

【００５８】発光基板１２は、ガラス基板１５と、ガラ
ス基板１５上に形成された陽極１６と、陽極１６上に形
成された蛍光体膜１７とを備える。一方、電子放出基板
１３は、ガラス基板１８と、ガラス基板１８上に形成さ
れた陰極側配線１９と、陰極側配線１９上に形成された
電子放出素子２０と、絶縁層２１と、引き出し電極２２
と、取り出し電極２７とを備える。

【００５９】スペーサ板２６は、外囲器１１の強度を向
上させるためのものである。すなわち、電子放出素子２
０から安定な電子放出を得るためには、外囲器１１内部
を少なくとも１０^-8Ｔｏｒｒ程度の真空度に維持する必
要がある。一方、画像表示器の軽量化を図るためには、
ガラス基板１５および１８の厚みを薄くする必要があ
り、上記真空度ではガラス基板１５または１８が破壊さ
れる恐れがあるという問題がある。スペーサ２６は、こ
のような問題を解決するために、一般的に設置されるも
のである。

【００６０】取り出し電極２７は、陽極１６を取り出す
ための電極であり、陽極１６と外部回路との接続端子と
なる電極である。なお、取り出し電極２７は、陰極側配
線１９と同一の材料からなることが好ましい。取り出し
電極２７と陰極側配線１９とを同一の材料によって形成
することにより、容易に製造することができる。

【００６１】実施形態３の画像表示器１０ａでは、陽極
１６と取り出し電極２７とが、ゲッタ膜２５を介して電
気的に接続されている。すなわち、ゲッタ膜２５は、電
気配線として機能する。

【００６２】取り出し電極が発光基板に形成されている
従来の画像表示器では、発光基板と電子放出基板とのそ
れぞれに外部回路との端子部が形成されることになるた
め、画像表示器の構成に制約があった。

【００６３】これに対して、実施形態３の画像表示器１
０ａでは、陰極側の端子部を電子放出基板１３ａ周縁部
の陰極側配線１９上に形成することができ、陽極側の端
子部を電子放出基板１３ａ周縁部の取り出し電極２７上
に形成することができる。したがって、画像表示器１０
ａでは、従来の画像表示器とは異なり、陽極側の端子部
と陰極側の端子部とがともに電子放出基板１３ａ上に形
成されるため、画像表示器の構成に対する制約が少なく
することができる。さらに、画像表示器１０ａでは、外
囲器１１表面のほとんどを表示部としてのみ使用できる
ため、余分な端子部の削減にもなり、コストダウンも図
ることができる。すなわち、画像表示器を製造する場
合、一般的に１枚の基材（基板）を用いて多数個の画像
表示器を形成するが、この際に、端子部が少ないとより
多くの画像表示器用パネルを１枚の基材から取り出すこ
とが出来るため、コストダウンを図ることができる。

【００６４】なお、上記画像表示器１０ａでは、陽極１
６がゲッタ膜２５を介して電子放出基板１３側に取り出
されている場合を示したが、陰極側配線１９がゲッタ膜
２５を介して発光基板１２側に取り出されている場合で
もよい。

【００６５】（実施形態４）実施形態４では、本発明の
画像表示器を製造する方法について、他の一例を説明す
る。なお、上記実施形態で説明した部分と同様の部分に
ついては、重複する説明を省略する。

【００６６】まず、図５（ａ）に示すように、電子放出
基板１３ａを作製する。すなわち、ガラス基板１８上
に、陰極側配線１９と取り出し電極２７とを形成し、さ
らに絶縁層２１、引き出し電極２２および電子放出素子
２０を形成する。陰極側配線１９および取り出し電極２
７は、たとえばスパッタリング法とエッチング法によっ
て形成できる。。取り出し電極２７と陰極側配線１９と
が同一材料からなる場合には、同一の工程によって形成
できるため、製造が容易になる。なお、他の部分につい
ては、実施形態２の図３（ａ）で説明した方法で形成で
きる。

【００６７】一方、図５（ｂ）に示すように、発光基板
１２ａを作製する。発光基板１２ａは、図３（ｂ）で説
明した方法で形成できる。

【００６８】そして、図５（ｃ）に示すように、図５
（ａ）の工程で作製した電子放出基板１３ａ上に、スペ
ーサー板２６をガラスフリットなどの材料で固定し、さ
らに、スペーサー板２６の主面のうち、スペーサ基板１
４側の一主面に、実施形態１で説明した無機系接着剤２
３によってゲッタ２４を固定する。ゲッタ２４は、その
後にゲッタ膜２５を形成した際に、陽極１６と取り出し
電極２７とを接続することができる位置に固定される。
無機系接着剤２３でゲッタ２４を形成する方法について
は、図３（ｃ）の工程で説明した方法と同様である。な
お、図５（ａ）、図５（ｂ）および図５（ｃ）の工程
は、いかなる順序で行ってもよい。

【００６９】その後、図５（ｄ）に示すように、発光基
板１２ａと電子放出基板１３ａとをスペーサ基板１４お
よびスペーサ板２６を挟んで接着する。なお、図５
（ｄ）の工程を高真空中で行うことによって、外囲器１
１内部を高真空にすることができる。

【００７０】その後、図５（ｅ）に示すように、ゲッタ
２４をボンバーダ（図示せず）によって高周波加熱し、
蒸着によってゲッタ膜２５を形成する。このとき、ゲッ
タ膜２５は、陽極１６と取り出し電極２７とを接続する
ように形成される。ゲッタ膜２５を形成することによっ
て、外囲器１１内の高真空状態を長期にわたって維持す
ることができ、電子放出素子２０からの電子放出を安定
化させることができる。このようにして、実施形態３で
説明した画像表示器１０ａを製造できる。

【００７１】上記実施形態４の画像表示器の製造方法に
よれば、低コストおよび生産性よく本発明の画像表示器
を製造できる。

【００７２】以上、本発明の実施形態について例を挙げ
て説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されず
本発明の技術的思想に基づき他の実施形態に適用するこ
とができる。

【００７３】たとえば、本発明の対象となる画像表示器
に用いられる電子放出素子には、さまざまな電子放出素
子を用いることができる。たとえば、電界集中効果によ
り電子放出を行う冷陰極（フィールドエミッションアレ
イ）や、微小電子源であるＭＩＭ構造（金属／絶縁体／
金属）、ＭＩＳ構造（金属／絶縁体／半導体）、ＭＳＭ
構造（金属／半導体／金属）を有する電子放出素子を用
いてもよい。また、エム・アイ・エリンソン(Ｍ．Ｉ．
Ｅｌｉｎｓｏｎ)らによって「ラジオエンジニアリング
エレクトロフィジックス(Ｒａｄｉｏ Ｅｎｇ． Ｅ
ｌｅｃｔｒｏｎＰｈｙｓ．)」第１０巻、１２９０〜１
２９６頁（１９６５年）になされた報告をはじめとして
複数の報告がされている、電極間に微粒子を持つ平面型
電子放出素子や、新規に開発される微小電子放出素子を
用いてもよい。

【００７４】さらに、本発明の画像表示器は、上記実施
形態で説明した構成に限定されず、たとえば、引き出し
電極２２を持たない電子放出基板１３を用いた２極構造
の画像表示器や、引き出し電極２２の上に形成された絶
縁体層と、さらにその上に形成された電子線を収束／変
更させるための収束電極を有する４極構造の画像表示器
であってもよい。

【００７５】また、上記実施形態では、画像表示器が複
数の電子放出素子と複数の蛍光体膜とを備える場合を示
しているが、電子放出素子と蛍光体膜とは、それぞれ
が、１個または複数個のいずれでもよい。

【００７６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の第１の画
像表示器は、ゲッタが、無機系接着剤によって外囲器内
部に固定されていることを特徴とする。また、本発明の
第２の画像表示器は、ゲッタ膜が、前記外囲器内部に無
機系接着剤によって固定されたゲッタを蒸発させること
によって形成された膜であることを特徴とする。したが
って、上記第１および第２の画像表示器によれば、フラ
ットパネル化が容易で表示面積が広く、製造が容易な画
像表示器が得られる。

【００７７】本発明の第１の画像表示器の製造方法は、
外囲器の内部に無機系接着剤によってゲッタを固定する
工程を含むことを特徴とする。また、本発明の第２の画
像表示器の製造方法は、外囲器の内部に無機系接着剤に
よってゲッタを固定する第１の工程と、ゲッタを蒸発さ
せることによってゲッタ膜を形成する第２の工程とを含
むことを特徴とする。したがって、上記第１および第２
の画像表示器の製造方法によれば、上記第１および第２
の画像表示器を容易に製造することができる。さらに第
１および第２の画像表示器の製造方法によれば、画像表
示器を構成する部品点数が少なくなるため、製造工程を
簡略化でき、コスト削減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の画像表示器について一例を示す模式
断面図である。

【図２】 本発明の画像表示器について一例の機能を示
す模式図である。

【図３】 本発明の画像表示器の製造方法について一例
を示す工程図である。

【図４】 本発明の画像表示器について他の一例を示す
模式断面図である。

【図５】 本発明の画像表示器の製造方法について他の
一例を示す工程図である。

【図６】 従来の画像表示器について一例を示す模式断
面図である。

【符号の説明】

１０、１０ａ 画像表示器 １１、１１ａ 外囲器 １２、１２ａ 発光基板 １３、１３ａ 電子放出基板 １５、１８ ガラス基板 １７ 蛍光体膜 ２０ 電子放出素子 ２３ 無機系接着剤 ２４ ゲッタ ２５ ゲッタ膜 ２６ スペーサ板 ２７ 取り出し電極

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部が略真空である外囲器を含む画像表
   示器であって、 前記外囲器は、電子放出素子と蛍光体膜と前記外囲器内
   部の真空度を保持するためのゲッタとを備え、 前記ゲッタが、無機系接着剤によって前記外囲器内部に
   固定されていることを特徴とする画像表示器。
2. 【請求項２】 内部が略真空である外囲器を含む画像表
   示器であって、 前記外囲器は、電子放出素子と蛍光体膜と前記外囲器内
   部の真空度を保持するためのゲッタ膜とを備え、 前記ゲッタ膜が、前記外囲器内部に無機系接着剤によっ
   て固定されたゲッタを蒸発させることによって形成され
   た膜であることを特徴とする画像表示器。
3. 【請求項３】 前記ゲッタ膜が電気配線として機能する
   請求項２に記載の画像表示器。
4. 【請求項４】 前記無機系接着剤は、金属アルコキシド
   の加水分解反応によって形成されたガラスである請求項
   １ないし３のいずれかに記載の画像表示器。
5. 【請求項５】 前記金属アルコキシドは、ケイ素のアル
   コキシドを主成分として含む請求項４に記載の画像表示
   器。
6. 【請求項６】 電子放出素子と蛍光体膜とゲッタとを備
   える外囲器を含む画像表示器の製造方法であって、 前記外囲器の内部に無機系接着剤によって前記ゲッタを
   固定する工程を含むことを特徴とする画像表示器の製造
   方法。
7. 【請求項７】 電子放出素子と蛍光体膜とゲッタ膜とを
   備える外囲器を含む画像表示器の製造方法であって、 前記外囲器の内部に無機系接着剤によってゲッタを固定
   する第１の工程と、前記ゲッタを蒸発させることによっ
   て前記ゲッタ膜を形成する第２の工程とを含むことを特
   徴とする画像表示器の製造方法。
8. 【請求項８】 前記ゲッタ膜が、電気配線として機能す
   る請求項７に記載の画像表示器の製造方法。
9. 【請求項９】 前記無機系接着剤は、金属アルコキシド
   の加水分解反応によって形成されたガラスである請求項
   ６ないし８のいずれかに記載の画像表示器の製造方法。