JP2003224143A - 姿勢制御方法および装置並びにその装置を用いた接合装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被接合物を位置ずれを生じさせることなく精
度よく所望の姿勢に制御でき、偏荷重を発生させること
なく機構全体の剛性を容易に高く保つことができ、小型
に構成可能で、高精度で容易に所望の姿勢に制御でき
る、被接合物の姿勢制御方法および装置並びにその装置
を用いた接合装置を提供する。 【解決手段】 被接合物の接合中心の位置を固定して被
接合物の保持手段の姿勢を制御することを特徴とする姿
勢制御方法、および姿勢制御装置並びにその装置を用い
た接合装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被接合物の保持手
段の姿勢を制御する姿勢制御方法および装置並びにその
姿勢制御装置を用いた被接合物同士の接合装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】被接合物の姿勢を制御する姿勢制御装置
としては、たとえば図５に示すような装置が知られてい
る。図５に示す装置においては、揺動ブロック１０１が
姿勢制御揺動中心軸１０６によって支持されており、姿
勢制御揺動中心軸１０６には揺動アーム１０４が固定さ
れている。アクチュエータ保持ブロック１０２に保持さ
れている姿勢制御アクチュエータ１０３の可動軸を上下
させることによって、揺動アーム１０４、姿勢制御揺動
中心軸１０６を介して揺動ブロック１０１を回転させ
る。揺動ブロック１０１に被接合物保持手段１０７が固
定されており、被接合物保持手段１０７の下面に被接合
物１０５が保持、固定されている。

【０００３】このような被接合物の姿勢制御装置におい
ては、上位の送り機構（図示略）によりその中心軸１０
８方向に姿勢制御装置が移動され、姿勢制御アクチュエ
ータ１０３の可動軸を上下させることによって揺動ブロ
ック１０１、被接合物保持手段１０７、被接合物１０５
が所望の姿勢に制御され、所望の姿勢に制御された状態
で被接合物１０５が接合のために加圧されるようになっ
ている。この動作においては、被接合物１０５の接合面
中心が姿勢制御揺動中心軸１０６を回転中心としている
ため、姿勢制御時に被接合物１０５の接合面中心を通る
加圧中心軸１０９と上位の送り機構中心軸１０８との間
に角度が生じ、被接合物１０５の接合面中心が上位の送
り機構中心軸１０８の位置から外れてしまうという問題
がある。このような軸ずれが生じると、加圧時に接合面
に均一に圧力が加わらないばかりか、偏荷重によるモー
メントが平行度を狂わせる方向に作用するので、機構全
体に高い剛性が要求されることになり、装置の大型化や
重量増といった好ましくない状態が強いられることにな
る。

【０００４】また、姿勢制御揺動中心軸１０６を中心と
した一方向への姿勢制御であるため、二方向の姿勢制御
が必要な場合は同様の機構を９０度位相で２つ配置する
こととなり、装置の小型化が困難になっている。

【０００５】さらに、姿勢制御装置を加圧に用いる場
合、姿勢制御揺動中心軸１０６が荷重を受けることとな
るが、姿勢制御揺動中心軸１０６自身は剛性が低く、ま
た剛性を大きく高めることも困難であるので、大きな加
圧力を負荷できないという問題があった。

【０００６】一方、下面が円弧面の固定ブロックと、上
面が前記円弧面に当接してこの円弧面に沿って回動する
可動ブロックとを設け、可動ブロック側に被接合物を保
持して可動ブロックを回動させることによりその傾きを
調整するようにした方法が知られている（特開平１１−
２６５１２号公報）。しかしこの方法では、被接合物が
可動ブロックごと移動されてしまうので、被接合物を所
望の姿勢に制御することが困難であるという問題があっ
た。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明の課題
は、上記のような従来技術における問題点に着目し、被
接合物を位置ずれを生じさせることなく精度よく所望の
姿勢に制御でき、偏荷重を発生させることなく機構全体
の剛性を容易に高く保つことができ、小型に構成可能
で、高精度で容易に所望の姿勢に制御できる、被接合物
の姿勢制御方法および装置並びにその装置を用いた接合
装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係る姿勢制御方法は、被接合物の接合中心
の位置を固定して被接合物の保持手段の姿勢を制御する
ことを特徴とする方法からなる。

【０００９】この姿勢制御方法においては、被接合物の
接合中心の位置を動かさずに、アクチュエータ等により
被接合物を保持している保持手段の姿勢を調整するの
で、被接合物の位置ずれが発生せず、偏荷重も発生しな
い。したがって、高精度で所望の姿勢に制御でき、機構
の剛性も容易に高く保つことが可能になる。また、被接
合物の接合中心の位置を回動中心として姿勢を調整する
ので、従来の二軸による平行調整の場合のような二段構
造は不要であり、装置全体をコンパクトに構成できる。

【００１０】このような姿勢制御方法においては、さら
に制御後に保持手段の姿勢を固定できるようにしておく
ことが好ましい。これによって、高精度に制御された所
望の姿勢状態を維持したまま、接合を行うことができ
る。

【００１１】本発明に係る姿勢制御装置は、被接合物の
接合中心の位置を固定可能な被接合物の保持手段と、被
接合物の接合中心の位置を固定した状態で前記保持手段
の姿勢を制御する制御手段を有することを特徴とするも
のからなる。

【００１２】この姿勢制御装置においては、さらに、制
御手段による制御後の保持手段の姿勢を固定する固定手
段を有することが好ましい。

【００１３】上記保持手段としては、たとえば、被接合
物の接合中心を球中心に固定可能な球面軸受けを備えた
ものに構成することができる。球面軸受けとしては、た
とえば、球面エアベアリングを含むものに構成すること
ができる。

【００１４】上記制御手段としては、たとえば、保持手
段の姿勢を調整するアクチュエータを備えたものに構成
することができる。アクチュエータをシリンダ手段やボ
ールスクリュー手段等から構成する場合には、少なくと
も２個、好ましくは１２０°等配などで３個設けること
が好ましい。

【００１５】上記固定手段としては、たとえば、エアベ
アリングシリンダから構成することができる。

【００１６】本発明に係る接合装置は、このような姿勢
制御装置を用いて接合物同士を接合するものからなる。
本発明において接合物は特に限定されず、チップや基板
等を適用できる。たとえば一方の被接合物をチップとす
ることもでき、基板とすることもできる。なお、上記に
おいて、チップとは、たとえば、ＩＣチップ、半導体チ
ップ、光素子、表面実装部品、ウエハーなど、種類や大
きさに関係なく、基板と接合させる側の全てのものをい
う。また、基板とは、たとえば、樹脂基板、ガラス基
板、フィルム基板、チップ、ウエハーなど、種類や大き
さに関係なく、チップと接合される側の全てのものを指
す。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の望ましい実施の
形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。図
１は、本発明の一実施態様に係る接合装置としてのチッ
プ実装装置１を示している。図１においては、被接合物
として、一方はチップ２で他方は基板３である場合を例
示している。チップ２は、被接合物保持手段４の下部構
成部材として設けられた、ヒータを内蔵したヒートツー
ル５の下面に保持されており、基板３はステージ６上に
保持されている。本実施態様では、ステージ６はＸ、Ｙ
方向（水平方向）および／または回転方向（θ方向）に
位置調整できるようになっており、ヒートツール５はＺ
方向（上下方向）に位置調整できるようになっており、
これら調整により、接合前に両被接合物の平行度等を含
む相対位置関係が調整、制御されるようになっている。

【００１８】本実施態様では、この実装装置１のチップ
２を保持する被接合物保持手段４側に、本発明による姿
勢制御装置７が組み込まれている。姿勢制御装置７部分
には、図２にも示すように、加圧用エアベアリングシリ
ンダ８が設けられており、加圧用エアベアリングシリン
ダ８はケーシング９とピストン１０から構成されてい
る。ケーシング９は基台１１に固定されており、ケーシ
ング９の内部にピストン１０が収められている。ピスト
ン１０は上下方向（図１のＺ方向）へ移動する。エアベ
アリングシリンダ８には、ピストン１０に対し加圧側の
エア圧を供給する加圧ポート１２と、ピストン１０に上
昇側（バランス側）のエア圧を供給するバランスポート
１３が設けられているとともに、ピストン１０を空気の
静圧により極めて低い摺動抵抗にて摺動方向に案内する
エアスライドガイド１４が設けられている。このエアベ
アリングシリンダ８は、エアスライドガイド１４による
極めて低い摺動抵抗（実質的に零抵抗）にて、加圧ポー
ト１２とバランスポート１３からのエア圧制御により、
低加圧力領域において精度よく加圧力を制御できるよう
になっている。

【００１９】ピストン１０の下端面には球面軸受１７の
軸受基台１８が固定されている。球面軸受１７は、軸受
基台１８、上面が凸球面に形成された揺動体１９、下面
が前記凸球面に沿った凹球面に形成された多孔質材２
０、ロックシリンダ２１から構成されている。軸受基台
１８には加圧エアの供給口であるベアリングポート２
２、ロックポート２３、アンロックポート２４が設けら
れている。また、軸受基台１８には多孔質材２０が埋め
込まれ、ベアリングポート２２から供給された加圧エア
は多孔質材２０を通過し、揺動体１９との接触面に均一
に供給されるようになっている。軸受基台１８と揺動体
１９の内部にロックシリンダ２１が収められており、ロ
ックポート２３からの加圧エア供給によって軸受基台１
８の凹球面に揺動体１９の凸球面が押しつけられ固定さ
れるようになっている。アンロックポート２４への加圧
エアー供給時には固定が解除される。

【００２０】揺動体１９の下端面には揺動プレート２５
が固定されており、揺動プレート２５には被接合物保持
手段４のヒートツール５が固定されており、ヒートツー
ル５に被接合物としてのチップ２が保持されている。

【００２１】揺動プレート２５の周縁部には、ピボット
２７を介してアクチュエータ２６が連結されており、本
実施態様では、アクチュエータ２６は揺動プレート２５
の周方向に１２０°等配にて合計３個設けられている。
各アクチュエータ２６は基台１１に固定されており、ア
クチュエータ２６の可動軸がピボット２７に連結されて
いる。アクチュエータ２６を動作させるとピボット２７
は上下に移動する。揺動プレート２５はピボット２７上
に載っており、アクチュエータ２６を動作させることに
よって揺動プレート２５を所望の姿勢に制御できるよう
になっている。

【００２２】この姿勢制御は、被接合物としてのチップ
２の接合中心２８の位置を固定した状態で、すなわち、
接合中心２８を中心とする球面軸受１７の球面方向に沿
う調整によって行われる。

【００２３】本実施態様では、図１に示すように、上記
姿勢制御装置７部は、被接合物保持手段４をチップ接合
方向に送る送り機構３１に連結されており、これら被接
合物保持手段４と送り機構３１は、同軸３２上に直列に
配置されている。送り機構３１は、ボールネジ機構を備
えており、ボールネジ機構は、ボールネジ軸３３とそれ
に螺合するナット３４を有している。ボールネジ軸３３
の回転により、ナット３４が図１の上下方向に移動され
るようになっている。ナット３４は、回転阻止機構を備
えたスライドメンバー３５を介して被接合物保持手段４
を含む姿勢制御装置７部へと連結されており、ナット３
４の上下動が姿勢制御装置７部へと、さらには被接合物
保持手段４へと伝達できるようになっている。スライド
メンバー３５は、スライドボール機構からなる高精度ガ
イド３６内を上下方向に移動される。

【００２４】送り機構３１のボールネジ軸３３の上部
は、スラスト荷重を受けることが可能な軸受３７に回転
自在に支持されている。ボールネジ軸３３の上端部に
は、カップリング３８を介して、ボールネジ軸３３回転
用の駆動源３９の出力軸が連結されており、本実施態様
では、駆動源３９はサーボモータから構成されている。
また、本実施態様では、この駆動源３９もまた、前述の
同軸３２上に送り機構３１に対して直列に配置されてい
る。

【００２５】上記のように構成された接合装置としての
チップ実装装置１について、とくに姿勢制御装置７の作
動について説明する。まず、初期状態においては、球面
軸受１７のアンロックポート２４への加圧エア供給でロ
ックシリンダ２１をロック解除する。軸受基台１８と揺
動体１９間はエアベアリングに構成されており、低摺動
のスムーズな動作が可能となっている。つまり、軸受基
台１８と揺動体１９間には微小な隙間が存在する。加圧
用エアベアリングシリンダ８のケーシング９とピストン
１０間もエアベアリングとなっており低摺動のスムーズ
な加圧制御が可能となっている。また、このエアベアリ
ングは真直性の高いガイドとしても機能している。バラ
ンスポート１３には適切な加圧エアを供給し、ピストン
１０、球面軸受１７、揺動プレート２５から被接合物保
持手段４、チップ２までの自重を打ち消す上向きの力を
発生させている。このとき、ピストン１０は、加圧ポー
ト１２からの加圧エア供給により上下ストロークの下降
端にある。

【００２６】次に、姿勢制御のためのアクチュエータ動
作について説明する。ピストン１０の上下ストロークの
中間位置まで、２箇所以上（本実施態様では３箇所）配
置しているアクチュエータ２６によって上昇させた後、
所望の姿勢に制御する。アクチュエータ２６の作動によ
り、ピボット２７を介して揺動プレート２５を所望の姿
勢にする。この動作は軸受基台１８と揺動体１９の球面
中心（球心）が被接合物２の接合面中心（接合中心）に
あることから、姿勢制御時に被接合物２０がＸＹ方向
（平面方向）へずれるのを防止している。

【００２７】姿勢制御動作においては、加圧ポート１２
へ加圧エアを供給することによってピストン１０が下降
し、球面軸受１７に下向きの力を加える。つまり、軸受
基台１８と揺動体１９の間隔が狭くなるか又は間隔が無
くなる。そして、ベアリングポート２２への加圧エア供
給をスムーズに又は段階的に停止することによって軸受
基台１８と揺動体１９との間隔が無くなり、両者は接触
する。このとき、軸受基台１８は真直性の高い加圧用エ
アベアリングシリンダ８に保持されているため振れは発
生し難い。

【００２８】つぎに、ロック動作を行う。前述の姿勢制
御動作が完了した状態でロックポート２３に加圧エアを
供給し、軸受基台１８と揺動体１９間を固定する。この
動作で所望の姿勢を保持したことになる。

【００２９】姿勢制御、所望の姿勢を保持した後に、ア
クチュエータ２６を下降方向に退避させる。このとき、
球面軸受１７はロックされているので、アクチュエータ
２６に関係なく上記所望の姿勢を保つことができる。

【００３０】上記実施態様に示したように、本発明に係
る姿勢制御装置およびそれを用いた接合装置は、加圧機
構であるエアベアリングシリンダ、平行調整ユニット、
倣いプレート機構、平行調整アクチュエータ（本実施態
様では１２０°間隔で３箇所配置）、及び平行調整対象
であるワーク取付面（ヒートツールなど）を有し、平行
調整ユニットはエアベアリングによる低摺動球面軸受を
備え、アクチュエータによって所望の平行度に調整後、
ロック用シリンダにて固定が可能なものとして構成され
ている。

【００３１】平行調整（姿勢制御）を行う際には、
（１）先ず平行調整ユニットがロック解除状態にて、エ
アベアリングにエアを供給する（初期状態）、（２）平
行調整アクチュエータを所望の平行度になるよう動か
し、エアベアリングシリンダなどの加圧機構で低加圧を
加え、アクチュエータによって倣いプレートを倣わせる
（倣い動作）、（３）平行調整ユニットのロック用シリ
ンダを用いてロックする（ロック）、（４）平行調整ア
クチュエータを平行調整ユニットと干渉しない位置に退
避させる（アクチュエータ退避）を主動作として作動さ
せることにより、所望の平行度（姿勢）へ精度よく容易
に調整できる。

【００３２】本平行調整機構は軸による回転ではないた
め、ワーク面を回転中心に極近くすることができ、位置
ずれの発生しない構造である。そのため偏荷重が発生せ
ず、平行調整ユニットの球面軸受の面で加圧を受けるこ
とができ、エアのロック用シリンダによって球面同士を
ロックできる高剛性機構とすることができる。また、従
来の二軸による平行調整のように二段構造ではないた
め、薄型コンパクトな機構に構成できる。さらに、平行
調整ユニットにはエアベアリングを用いており、摺動抵
抗が低く、低荷重での倣い動作が可能で、倣い精度の高
い構造とすることができ、姿勢制御精度を大幅に高める
ことができる。

【００３３】図３は、本発明の別の実施態様に係る姿勢
制御装置を示しており、本発明を基板３を保持するステ
ージ６側に適用した場合を示している。図３に示す姿勢
制御装置４１においては、被接合物保持手段としてのス
テージ６の姿勢が制御される。基台４２の上端面には球
面軸受４３の軸受基台４４が固定されている。球面軸受
４３は軸受基台４４、下面に凸球面が形成された揺動体
４５、上面に前記凸球面に沿う形状の凹球面が形成され
た多孔質材４６、ロックシリンダ４７を備えている。軸
受基台４４には、加圧エアの供給口であるベアリングポ
ート４８、ロックポート４９、アンロックポート５０が
設けられている。また、軸受基台４４には多孔質材４６
が埋め込まれ、ベアリングポート４８から供給された加
圧エアを多孔質材４６を通過させて揺動体４５との接触
面に均一に供給できるようになっている。軸受基台４４
と揺動体４５の内部にはロックシリンダ４７が収められ
ており、ロックポート４９からの加圧エア供給によって
軸受基台４４の凹球面に揺動体４５の凸球面が押しつけ
られて固定されるようになっている。。アンロックポー
ト５０への加圧エア供給時には固定が解除される。

【００３４】揺動体４５の上端面には揺動プレート５１
が固定されており、揺動プレート５１には被接合物とし
ての基板６を保持した被接合物保持手段としてのステー
ジ６が固定されている。

【００３５】アクチュエータ保持ガイド５２は基台４２
に固定されており、アクチュエータ保持ガイド５２の可
動軸はアクチュエータ保持プレート５３を介してアクチ
ュエータ５４と連結されている。本実施態様では、アク
チュエータ５４は、アクチュエータ保持プレート５３の
周方向に１２０°等配にて合計３個設けられている。ア
クチュエータ５４の可動軸はピボット５５に連結されて
いる。アクチュエータ５４を動作させるとピボット５５
は上下に移動する。予圧シリンダ５６は基台４２に固定
されており、アクチュエータ保持ガイド５２の可動軸を
介してアクチュエータ５４、ピボット５５を常に下方向
に引っ張っている。揺動プレート５１はピボット５５で
上から押しつけられており、アクチュエータ５４を動作
させることによって揺動プレート５１を所望の姿勢に制
御できるようになっている。

【００３６】上記のように構成された姿勢制御装置４１
の作動について説明する。まず、初期状態においては、
球面軸受４３のアンロックポート５０への加圧エア供給
でロックシリンダ４７をロック解除する。軸受基台４４
と揺動体４５間はエアベアリングとなっており、低摺動
のスムーズな動作が可能となっている。つまり、軸受基
台４４と揺動体４５間には微小な隙間が存在する。基台
４２に固定されている予圧シリンダ５６によってアクチ
ュエータ保持プレート５３、アクチュエータ５４、ピボ
ット５５、揺動プレート５１、揺動体４５には適当な力
で予圧がかかっている。この予圧がかかっていても軸受
基台４４と揺動体４５間の隙間は存在する。アクチュエ
ータ保持ガイド５２によって予圧の際に高い真直性が得
られる。

【００３７】次に、姿勢制御のためのアクチュエータ動
作について説明する。２箇所以上（本実施態様では３箇
所）配置されているアクチュエータ５４によって初期状
態を中間位置として、揺動プレート５１を所望の姿勢に
制御する。アクチュエータ５４の動作はピボット５５を
介して揺動プレート５１を所 望の姿勢にする。この動
作は軸受基台４４と揺動体４５の球面中心（球心）が被
接合物としての基板３の接合面中心（接合中心５７）に
あることから、姿勢制御時に被接合物３がＸＹ方向（平
面方向）へずれるのを防止している。

【００３８】姿勢制御動作においては、ベアリングポー
ト４８への圧力供給をスムーズに又は段階的に停止する
ことによって軸受基台４４と揺動体４５との間隔が無く
なり、両者は接触する。このとき、所望の姿勢に制御し
ているアクチュエータ５４は真直性の高いアクチュエー
タ保持ガイド５２に保持されているため振れが発生し難
い。ロックシリンダ４７によるロック方法としては、球
面軸受４３の多孔質材４６部分を真空引きし、揺動体４
５を吸着する方法もある。

【００３９】ロック動作のために、上述の姿勢制御動作
完了状態にてロックポート４９に加圧エアを供給し、軸
受基台４４と揺動体４５間を固定する。この動作で所望
の姿勢を保持したことになる。球面軸受４３がロックさ
れるので、アクチュエータ５４に関係なく所望の姿勢を
保つことができる。ロック後に、アクチュエータ５４は
退避させればよい。

【００４０】このように、図３に示した姿勢制御装置４
１においても、接合中心の位置を固定して姿勢制御でき
るので、ワーク面での平面方向への位置ずれの発生を回
避でき、容易に高精度の姿勢制御が可能となる。また、
平面方向に位置ずれの発生しない構造であるため加圧時
に偏荷重が発生しない。また、平行調整ユニットの球面
軸受の面全体で加圧を受けることができる。さらに、エ
アのロック用シリンダによって球面軸受けの面同士をロ
ックできる。したがって、これらを高剛性機構として構
成できる。また、従来の二軸による平行調整のように二
段構造ではないため薄型コンパクトな機構に構成でき
る。さらに、エアベアリング機構により、倣い荷重が小
さく、倣い精度も良いので、一層高精度の姿勢制御が可
能となる。さらに、エアベアリング機構により、摺動抵
抗が低く、低荷重で倣い動作が可能で、倣い精度の良い
構造を実現できる。

【００４１】なお、上記図２、図３に示した姿勢制御装
置の球面軸受としては、図示の構造に限らず、各種のも
のが適用できる。たとえば図４に示すように、軸受基台
６２、揺動体６３、ロックシリンダ６４を備えた球面軸
受６１において、軸受基台６２と揺動体６３の間に微小
隙間を確保しつつ低摺動で作動させるため、あるいはロ
ック動作をより容易化するために、軸受基台６２にマグ
ネット６５を埋設し、磁力によって揺動体６３を軸受基
台６２側に引き寄せる力を作用させておく構造とするこ
ともできる。

【００４２】また、上記各実施態様は、本発明を実装装
置に適用した場合について説明したが、本発明は、上記
のような実装装置に限らず、各種被接合物のアライメン
ト装置やマウンター等にも適用できる。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る姿勢
制御方法および装置並びにその装置を用いた接合装置に
よれば、被接合物の接合中心の位置を固定して被接合物
の保持手段の姿勢を制御するようにしたので、つまり、
従来のように二軸による回転ではなく、ワーク面を回転
中心とする球面軸受による平行調整ユニットであるた
め、ワーク面で平面方向への位置ずれの発生を防止する
ことができ、所望の姿勢に容易に高精度に制御するする
ことができる。

【００４４】また、平面方向に位置ずれの発生しない構
造のため加圧時に偏荷重が発生せず、不都合なモーメン
トを発生させることもない。また、平行調整ユニットの
球面軸受の面全体で加圧を受けることができ、高い加圧
力の付与も可能となる。さらに、エアのロック用シリン
ダによって球面軸受の面同士をロックできるので、装置
を大型化せずに極めて高剛性の機構に構成できる。

【００４５】また、従来の二軸による平行調整のように
二段構造ではないため、薄型かつコンパクトな装置に構
成できる。

【００４６】さらに、倣い荷重が小さく、倣い精度が良
いエアベアリング機構を備えた平行調整ユニットとする
ことにより、摺動抵抗が低く、低荷重で所望の倣い動作
が可能となり、しかも倣い精度の高い構造に構成でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施態様に係る接合装置としての実
装装置の縦断面図である。

【図２】図１の装置における姿勢制御装置部の拡大縦断
面図である。

【図３】本発明の別の実施態様に係る姿勢制御装置の縦
断面図である。

【図４】本発明のさらに別の実施態様に係る姿勢制御装
置の球面軸受部の概略縦断面図である。

【図５】従来の姿勢制御装置の概略縦断面図である。

【符号の説明】

１ 接合装置としてのチップ実装装置 ２ チップ ３ 基板 ４ 被接合物保持手段 ５ ヒートツール ６ ステージ ７ 姿勢制御装置 ８ 加圧用エアベアリングシリンダ ９ ケーシング １０ ピストン １１ 基台 １２ 加圧ポート １３ バランスポート １４ エアスライドガイド １７ 球面軸受 １８ 軸受基台 １９ 揺動体 ２０ 多孔質材 ２１ ロックシリンダ ２２ ベアリングポート ２３ ロックポート ２４ アンロックポート ２５ 揺動プレート ２６ アクチュエータ ２７ ピボット ２８ 接合中心 ３１ 送り機構 ３２ 同軸 ３３ ボールネジ軸 ３４ ナット ３５ スライドメンバー ３６ 高精度ガイド ３７ 軸受 ３８ カップリング ３９ 駆動源 ４１ 姿勢制御装置 ４２ 基台 ４３ 球面軸受 ４４ 軸受基台 ４５ 揺動体 ４６ 多孔質材 ４７ ロックシリンダ ４８ ベアリングポート ４９ ロックポート ５０ アンロックポート ５１ 揺動プレート ５２ アクチュエータ保持ガイド ５３ アクチュエータ保持プレート ５４ アクチュエータ ５５ ピボット ５６ 予圧シリンダ ５７ 接合中心 ６１ 球面軸受 ６２ 軸受基台 ６３ 揺動体 ６４ ロックシリンダ ６５ マグネット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 金澤 明浩 滋賀県大津市大江１丁目１番45号 東レエ ンジニアリング株式会社内 Ｆターム(参考） 5F047 AA11 AA13 AA17 FA08 FA34 FA79

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被接合物の接合中心の位置を固定して被
   接合物の保持手段の姿勢を制御することを特徴とする姿
   勢制御方法。
2. 【請求項２】 制御後の保持手段の姿勢を固定する、請
   求項１に記載の姿勢制御方法。
3. 【請求項３】 被接合物の接合中心の位置を固定可能な
   被接合物の保持手段と、被接合物の接合中心の位置を固
   定した状態で前記保持手段の姿勢を制御する制御手段を
   有することを特徴とする姿勢制御装置。
4. 【請求項４】 さらに、制御手段による制御後の保持手
   段の姿勢を固定する固定手段を有する、請求項３に記載
   の姿勢制御装置。
5. 【請求項５】 前記保持手段が、被接合物の接合中心を
   球中心に固定可能な球面軸受けを備えている、請求項３
   または４に記載の姿勢制御装置。
6. 【請求項６】 前記球面軸受けが球面エアベアリングを
   含む、請求項５に記載の姿勢制御装置。
7. 【請求項７】 前記制御手段が、前記保持手段の姿勢を
   調整するアクチュエータを備えている、請求項３ないし
   ６のいずれかに記載の姿勢制御装置。
8. 【請求項８】 前記固定手段がエアベアリングシリンダ
   からなる、請求項４ないし６７いずれかに記載の姿勢制
   御装置。
9. 【請求項９】 請求項３ないし８のいずれかに記載の姿
   勢制御装置を用いた、接合物同士を接合する接合装置。
10. 【請求項１０】 一方の被接合物がチップである、請求
    項９に記載の接合装置。
11. 【請求項１１】 一方の被接合物が基板である、請求項
    ９に記載の接合装置。