JP2013201443A - ウェハ接合装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェハ接合装置において、ウェハをそれぞれ保持するトッププレートと、気体または液体を注入する中空部を有する圧力プロファイル制御モジュールと、前記圧力プロファイル制御モジュールの表面形状変化を前記トッププレートの表面に伝達する伝達部材と、加熱用ヒータ部と、前記加熱用ヒータを冷却する冷却部と、当該加圧プロファイル制御モジュールを介して前記ウェハを加圧する加圧ユニットと、前記加圧ユニットは、気体または液体を注入する1つのシリンダーを含み、前記中空部に注入される気体または液体の圧力と、前記シリンダーに注入される気体または液体の圧力とをそれぞれ制御する制御部とを有するウェハ接合装置。
【選択図】図1
Description
とえば、特許文献1)。
状は、たとえば、六角形であってもよい。ヒートモジュール121の厚さは一例として10ミリメータである。
101 ヒータユニット
111 トッププレート
121 ヒートモジュール
131 圧力プロファイル制御モジュール
133 中空部
141 加圧ユニット
142 支持部材
143 昇降部(ピストン部)
144 ダイアフラムベローズ
145 下部シリンダー
147 ベアリング部
155、157 配管
160 制御部
2体のウェハを接合するウェハ接合装置において、
前記2体のウェハの少なくとも一方を保持するトッププレートと、
前記トッププレートを介して前記2体のウェハを加圧する加圧ユニットと、
を有し、
前記加圧ユニットは、
気体または液体を注入するシリンダー部と、
気体または液体の圧力で移動するピストン部と、
前記ピストン部の傾斜を防止するベアリング部と、
を有することを特徴とするウェハ接合装置を提供する。
Claims (1)
- 2体のウェハを加圧及び加熱しつつ前記2体のウェハを接合するウェハ接合装置において、
前記2体のウェハをそれぞれ保持するそれぞれのトッププレートと、
前記それぞれのトッププレートを支持し、気体または液体を注入する中空部を有する圧力プロファイル制御モジュールと、
前記中空部に注入された気体または液体による前記圧力プロファイル制御モジュールの表面形状変化を前記トッププレートの表面に伝達する伝達部材と、
前記トッププレートと前記圧力プロファイル制御モジュールとの間に配置された加熱用ヒータ部と、
前記ヒータ部に隣接して配置され、前記ヒータ部から前記トッププレートを冷却する冷却部と、
前記加圧プロファイル制御モジュールの少なくとも一方を支持し、当該加圧プロファイル制御モジュールを介して前記ウェハを加圧する加圧ユニットと、
前記加圧ユニットは、気体または液体を注入する1つのシリンダーを含み、
前記トッププレート表面の形状を制御するために、前記中空部に注入される気体または液体の圧力と、前記シリンダーに注入される気体または液体の圧力とをそれぞれ制御する制御部と、
を有することを特徴とするウェハ接合装置。
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