JP2003213297A - 蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤 - Google Patents
蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤Info
- Publication number
- JP2003213297A JP2003213297A JP2002016752A JP2002016752A JP2003213297A JP 2003213297 A JP2003213297 A JP 2003213297A JP 2002016752 A JP2002016752 A JP 2002016752A JP 2002016752 A JP2002016752 A JP 2002016752A JP 2003213297 A JP2003213297 A JP 2003213297A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alkali metal
- metal salt
- acid
- peeling
- cleaning agent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
- Y02W30/00—Technologies for solid waste management
- Y02W30/50—Reuse, recycling or recovery technologies
- Y02W30/82—Recycling of waste of electrical or electronic equipment [WEEE]
Landscapes
- Detergent Compositions (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 フッ化水素酸溶液と同等の蛍光体塗膜の剥離
溶解能を有し、安全で環境にやさしい洗浄剤を提供す
る。 【解決手段】 有機ポリホスホン酸化合物と水酸化アル
カリ金属を含有してなる蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄
剤；さらに、有機酸のアルカリ金属塩を含有してなる蛍
光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤；さらに、フッ素系界面活
性剤および非イオン界面活性剤からなる群より選択され
る少なくとも１種を含有してなる蛍光体塗膜の剥離溶解
用洗浄剤。
溶解能を有し、安全で環境にやさしい洗浄剤を提供す
る。 【解決手段】 有機ポリホスホン酸化合物と水酸化アル
カリ金属を含有してなる蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄
剤；さらに、有機酸のアルカリ金属塩を含有してなる蛍
光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤；さらに、フッ素系界面活
性剤および非イオン界面活性剤からなる群より選択され
る少なくとも１種を含有してなる蛍光体塗膜の剥離溶解
用洗浄剤。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラーテレビブラ
ウン管パネルや液晶テレビのＬＣＤディスプレーパネル
等の蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤に関する。
ウン管パネルや液晶テレビのＬＣＤディスプレーパネル
等の蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤に関する。
【０００２】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】カラーテ
レビブラウン管のＣＲＴディスプレーパネル製造工場の
生産工程において、ガラスパネルに塗装されるポリビニ
ルピロリドンとジアジドスチルベンよりなる感光性樹脂
や、グラファイト、カ−ボン、蛍光体樹脂等よりなるブ
ラックマトリックス膜、ならびに、珪素含有樹脂、ポリ
ビニルアルコール系接着樹脂、金属アルミニウムなどよ
りなる特殊蛍光膜のパネルへの加工時に発生する不良率
は２〜３％とされている。これらのパネルから加工膜不
良品を剥離してパネルガラス面の完全な再生を行うに
は、製造ラインの高速な加工速度にマッチした完全剥離
再生速度が要求されるため、多くの企業では、フッ化水
素酸溶液を使用し、その目的を果たしている。しかしな
がら、このフッ化水素酸溶液は、取扱いにおいて作業者
に危険で有害性を伴うものである。そして、フッ化水素
酸溶液の使用に当たっての作業環境の保全の設備対策費
も高額を要し、環境対策設備費も大がかりなものとなっ
ている。
レビブラウン管のＣＲＴディスプレーパネル製造工場の
生産工程において、ガラスパネルに塗装されるポリビニ
ルピロリドンとジアジドスチルベンよりなる感光性樹脂
や、グラファイト、カ−ボン、蛍光体樹脂等よりなるブ
ラックマトリックス膜、ならびに、珪素含有樹脂、ポリ
ビニルアルコール系接着樹脂、金属アルミニウムなどよ
りなる特殊蛍光膜のパネルへの加工時に発生する不良率
は２〜３％とされている。これらのパネルから加工膜不
良品を剥離してパネルガラス面の完全な再生を行うに
は、製造ラインの高速な加工速度にマッチした完全剥離
再生速度が要求されるため、多くの企業では、フッ化水
素酸溶液を使用し、その目的を果たしている。しかしな
がら、このフッ化水素酸溶液は、取扱いにおいて作業者
に危険で有害性を伴うものである。そして、フッ化水素
酸溶液の使用に当たっての作業環境の保全の設備対策費
も高額を要し、環境対策設備費も大がかりなものとなっ
ている。
【０００３】本発明の課題は、フッ化水素酸溶液と同等
の蛍光体塗膜の剥離溶解能を有し、安全で環境にやさし
い洗浄剤を提供することにある。
の蛍光体塗膜の剥離溶解能を有し、安全で環境にやさし
い洗浄剤を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するために鋭意研究を重ねた結果、有機ポリホス
ホン酸化合物と水酸化アルカリ金属を含有する洗浄剤
が、優れた剥離溶解能を有し、安全で環境にやさしいこ
とを見出し、本発明を完成するに至った。
を解決するために鋭意研究を重ねた結果、有機ポリホス
ホン酸化合物と水酸化アルカリ金属を含有する洗浄剤
が、優れた剥離溶解能を有し、安全で環境にやさしいこ
とを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００５】すなわち、本発明は、下記に示すとおりの
蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤を提供するものである。 項１． 有機ポリホスホン酸化合物と水酸化アルカリ金
属を含有してなる蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤。 項２． さらに、有機酸のアルカリ金属塩を含有してな
る項１に記載の蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤。 項３． さらに、フッ素系界面活性剤および非イオン界
面活性剤からなる群より選択される少なくとも１種を含
有してなる項１または２に記載の蛍光体塗膜の剥離溶解
用洗浄剤。 項４． 有機ポリホスホン酸化合物が、ニトリロトリス
メチレンホスホン酸アルカリ金属塩、エチレンジアミン
テトラキスメチレンホスホン酸アルカリ金属塩、ヘキサ
メチレンジアミンテトラキスメチレンホスホン酸アルカ
リ金属塩、フィチン酸アルカリ金属塩およびヒドロキシ
エチリデン−１，１−ジホスホン酸アルカリ金属塩から
なる群より選択される少なくとも１種である項１〜３の
いずれかに記載の蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤。 項５． 有機酸のアルカリ金属塩が、グリコール酸アル
カリ金属塩、グルコン酸アルカリ金属塩、マレイン酸ア
ルカリ金属塩、酒石酸アルカリ金属塩、シュウ酸アルカ
リ金属塩、クエン酸アルカリ金属塩およびコハク酸アル
カリ金属塩からなる群より選択される少なくとも１種で
ある項２〜４のいずれかに記載の蛍光体塗膜の剥離溶解
用洗浄剤。 項６． フッ素系界面活性剤が、フロロアルキルカルボ
ン酸ナトリウム、パーフルオロアルキルスルホン酸ナト
リウム、Ｎ−パーフルオロオクタンスルホニルグルタミ
ン酸ジナトリウム、３−（フルオロアルキルオキシ）−
１−アルキルスルホン酸ナトリウム、３−（ｅ−フルオ
ロアルカノイル−Ｎ−エチルアミノ）−１−プロパンス
ルホン酸ナトリウム、フルオロアルキルカルボン酸、パ
ーフルオロアルキルカルボン酸、パーフルオロアルキル
−Ｎ−エチルスルホニルグリシン塩およびモノパーフル
オロアルキルエチルリン酸エステルからなる群より選択
される少なくとも１種である項３〜５のいずれかに記載
の蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤。 項７． 非イオン界面活性剤が、ポリオキシプロピレン
グリコール−ビス−ヒドロキシエトキシポリオキシエチ
レンエーテルおよびエチレンジアミンＮ，Ｎ，Ｎ’，
Ｎ’テトラ（ポリオキシプロピレングリコールヒドロキ
シエトキシポリオキシエチレンエーテル）からなる群よ
り選択される少なくとも１種である項３〜６のいずれか
に記載の蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤。
蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤を提供するものである。 項１． 有機ポリホスホン酸化合物と水酸化アルカリ金
属を含有してなる蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤。 項２． さらに、有機酸のアルカリ金属塩を含有してな
る項１に記載の蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤。 項３． さらに、フッ素系界面活性剤および非イオン界
面活性剤からなる群より選択される少なくとも１種を含
有してなる項１または２に記載の蛍光体塗膜の剥離溶解
用洗浄剤。 項４． 有機ポリホスホン酸化合物が、ニトリロトリス
メチレンホスホン酸アルカリ金属塩、エチレンジアミン
テトラキスメチレンホスホン酸アルカリ金属塩、ヘキサ
メチレンジアミンテトラキスメチレンホスホン酸アルカ
リ金属塩、フィチン酸アルカリ金属塩およびヒドロキシ
エチリデン−１，１−ジホスホン酸アルカリ金属塩から
なる群より選択される少なくとも１種である項１〜３の
いずれかに記載の蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤。 項５． 有機酸のアルカリ金属塩が、グリコール酸アル
カリ金属塩、グルコン酸アルカリ金属塩、マレイン酸ア
ルカリ金属塩、酒石酸アルカリ金属塩、シュウ酸アルカ
リ金属塩、クエン酸アルカリ金属塩およびコハク酸アル
カリ金属塩からなる群より選択される少なくとも１種で
ある項２〜４のいずれかに記載の蛍光体塗膜の剥離溶解
用洗浄剤。 項６． フッ素系界面活性剤が、フロロアルキルカルボ
ン酸ナトリウム、パーフルオロアルキルスルホン酸ナト
リウム、Ｎ−パーフルオロオクタンスルホニルグルタミ
ン酸ジナトリウム、３−（フルオロアルキルオキシ）−
１−アルキルスルホン酸ナトリウム、３−（ｅ−フルオ
ロアルカノイル−Ｎ−エチルアミノ）−１−プロパンス
ルホン酸ナトリウム、フルオロアルキルカルボン酸、パ
ーフルオロアルキルカルボン酸、パーフルオロアルキル
−Ｎ−エチルスルホニルグリシン塩およびモノパーフル
オロアルキルエチルリン酸エステルからなる群より選択
される少なくとも１種である項３〜５のいずれかに記載
の蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤。 項７． 非イオン界面活性剤が、ポリオキシプロピレン
グリコール−ビス−ヒドロキシエトキシポリオキシエチ
レンエーテルおよびエチレンジアミンＮ，Ｎ，Ｎ’，
Ｎ’テトラ（ポリオキシプロピレングリコールヒドロキ
シエトキシポリオキシエチレンエーテル）からなる群よ
り選択される少なくとも１種である項３〜６のいずれか
に記載の蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明に用いられる有機ポリホス
ホン酸化合物は、蛍光体マトリックス膜樹脂への浸透
と、蛍光体物質の含有する金属成分を浸食溶解してキレ
ート結合化することにより、膜樹脂を膨潤・崩壊させて
剥離溶解する働きを有する。
ホン酸化合物は、蛍光体マトリックス膜樹脂への浸透
と、蛍光体物質の含有する金属成分を浸食溶解してキレ
ート結合化することにより、膜樹脂を膨潤・崩壊させて
剥離溶解する働きを有する。
【０００７】この有機ポリホスホン酸化合物としては、
有機ポリホスホン酸のアルカリ金属塩が好ましい。この
有機ポリホスホン酸のアルカリ金属塩は、市販のものを
用いても良いし、また、洗浄剤の製造において有機ポリ
ホスホン酸と水酸化アルカリ金属を混合・反応させて調
製しても良い。
有機ポリホスホン酸のアルカリ金属塩が好ましい。この
有機ポリホスホン酸のアルカリ金属塩は、市販のものを
用いても良いし、また、洗浄剤の製造において有機ポリ
ホスホン酸と水酸化アルカリ金属を混合・反応させて調
製しても良い。
【０００８】有機ポリホスホン酸のアルカリ金属塩とし
ては、ニトリロトリスメチレンホスホン酸アルカリ金属
塩、エチレンジアミンテトラキスメチレンホスホン酸ア
ルカリ金属塩、ヘキサメチレンジアミンテトラキスメチ
レンホスホン酸アルカリ金属塩、フィチン酸アルカリ金
属塩、ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸ア
ルカリ金属塩等が挙げられ、ヒドロキシエチリデン−
１，１−ジホスホン酸アルカリ金属塩が好ましい。これ
らを、単独または２種以上混合して用いることができ
る。アルカリ金属としては、カリウム、ナトリウム等が
挙げられ、カリウムが好ましい。
ては、ニトリロトリスメチレンホスホン酸アルカリ金属
塩、エチレンジアミンテトラキスメチレンホスホン酸ア
ルカリ金属塩、ヘキサメチレンジアミンテトラキスメチ
レンホスホン酸アルカリ金属塩、フィチン酸アルカリ金
属塩、ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸ア
ルカリ金属塩等が挙げられ、ヒドロキシエチリデン−
１，１−ジホスホン酸アルカリ金属塩が好ましい。これ
らを、単独または２種以上混合して用いることができ
る。アルカリ金属としては、カリウム、ナトリウム等が
挙げられ、カリウムが好ましい。
【０００９】本発明に用いられる水酸化アルカリ金属と
しては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム等が挙げら
れ、水酸化カリウムが好ましい。
しては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム等が挙げら
れ、水酸化カリウムが好ましい。
【００１０】有機ポリホスホン酸化合物と水酸化アルカ
リ金属との配合割合は、重量比で１．０：１．０〜１
５．０：１１．７が好ましい。ただし、水酸化アルカリ
金属により、洗浄剤全体のｐＨを１０以上に調整するの
が好ましい。そのため、水酸化アルカリ金属は、予め所
定濃度の水溶液とするのが好ましい。
リ金属との配合割合は、重量比で１．０：１．０〜１
５．０：１１．７が好ましい。ただし、水酸化アルカリ
金属により、洗浄剤全体のｐＨを１０以上に調整するの
が好ましい。そのため、水酸化アルカリ金属は、予め所
定濃度の水溶液とするのが好ましい。
【００１１】本発明の洗浄剤は、さらに、有機酸のアル
カリ金属塩を配合すると、蛍光体塗膜への浸透溶解力が
高まり、膨潤崩壊を助長し、剥離溶解を促進することが
できるので、好ましい。
カリ金属塩を配合すると、蛍光体塗膜への浸透溶解力が
高まり、膨潤崩壊を助長し、剥離溶解を促進することが
できるので、好ましい。
【００１２】本発明に用いられる有機酸のアルカリ金属
塩（有機ポリホスホン酸のアルカリ金属塩を除く）とし
ては、グリコール酸アルカリ金属塩、グルコン酸アルカ
リ金属塩、マレイン酸アルカリ金属塩、酒石酸アルカリ
金属塩、シュウ酸アルカリ金属塩、クエン酸アルカリ金
属塩、コハク酸アルカリ金属塩等が挙げられ、シュウ酸
アルカリ金属塩が好ましい。これらを、単独または２種
以上混合して用いることができる。アルカリ金属として
は、カリウム、ナトリウム等が挙げられ、カリウムが好
ましい。
塩（有機ポリホスホン酸のアルカリ金属塩を除く）とし
ては、グリコール酸アルカリ金属塩、グルコン酸アルカ
リ金属塩、マレイン酸アルカリ金属塩、酒石酸アルカリ
金属塩、シュウ酸アルカリ金属塩、クエン酸アルカリ金
属塩、コハク酸アルカリ金属塩等が挙げられ、シュウ酸
アルカリ金属塩が好ましい。これらを、単独または２種
以上混合して用いることができる。アルカリ金属として
は、カリウム、ナトリウム等が挙げられ、カリウムが好
ましい。
【００１３】有機酸のアルカリ金属塩の配合割合は、重
量比で、有機ポリホスホン酸化合物：有機酸のアルカリ
金属塩＝１．０：０〜１５．０：３．０が好ましい。
量比で、有機ポリホスホン酸化合物：有機酸のアルカリ
金属塩＝１．０：０〜１５．０：３．０が好ましい。
【００１４】本発明の洗浄剤は、さらに、フッ素系界面
活性剤および非イオン界面活性剤からなる群より選択さ
れる少なくとも１種を配合すると、蛍光体塗膜への浸透
溶解力が高まり、膨潤崩壊を助長し、剥離溶解を促進す
ることができるので、好ましい。
活性剤および非イオン界面活性剤からなる群より選択さ
れる少なくとも１種を配合すると、蛍光体塗膜への浸透
溶解力が高まり、膨潤崩壊を助長し、剥離溶解を促進す
ることができるので、好ましい。
【００１５】本発明に用いられるフッ素系界面活性剤と
しては、フロロアルキル（Ｃ2-10）カルボン酸ナトリウ
ム、パーフルオロアルキルスルホン酸ナトリウム、Ｎ−
パーフルオロオクタンスルホニルグルタミン酸ジナトリ
ウム、３−［フルオロアルキル（Ｃ6-11）オキシ］−１
−アルキル（Ｃ3-4）スルホン酸ナトリウム、３−［ｅ
−フルオロアルカノイル（Ｃ6-8）−Ｎ−エチルアミ
ノ］−１−プロパンスルホン酸ナトリウム、フルオロア
ルキル（Ｃ11-20）カルボン酸、パーフルオロアルキル
カルボン酸（Ｃ7-13）、パーフルオロアルキル
（Ｃ6-10）−Ｎ−エチルスルホニルグリシン塩（Ｋ）、
モノパーフルオロアルキル（Ｃ6-16）エチルリン酸エス
テル等が挙げられ、パーフルオロアルキルスルホン酸ナ
トリウムが好ましい。これらを、単独または２種以上混
合して用いることができる。
しては、フロロアルキル（Ｃ2-10）カルボン酸ナトリウ
ム、パーフルオロアルキルスルホン酸ナトリウム、Ｎ−
パーフルオロオクタンスルホニルグルタミン酸ジナトリ
ウム、３−［フルオロアルキル（Ｃ6-11）オキシ］−１
−アルキル（Ｃ3-4）スルホン酸ナトリウム、３−［ｅ
−フルオロアルカノイル（Ｃ6-8）−Ｎ−エチルアミ
ノ］−１−プロパンスルホン酸ナトリウム、フルオロア
ルキル（Ｃ11-20）カルボン酸、パーフルオロアルキル
カルボン酸（Ｃ7-13）、パーフルオロアルキル
（Ｃ6-10）−Ｎ−エチルスルホニルグリシン塩（Ｋ）、
モノパーフルオロアルキル（Ｃ6-16）エチルリン酸エス
テル等が挙げられ、パーフルオロアルキルスルホン酸ナ
トリウムが好ましい。これらを、単独または２種以上混
合して用いることができる。
【００１６】本発明に用いられる非イオン界面活性剤と
しては、ポリオキシプロピレングリコール−ビス−ヒド
ロキシエトキシポリオキシエチレンエーテル［好ましく
は重量平均分子量２２００〜２５００のもの］、エチレ
ンジアミンＮ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’テトラ（ポリオキシプロ
ピレングリコールヒドロキシエトキシポリオキシエチレ
ンエーテル）［好ましくは重量平均分子量３５００〜５
０００のもの］等が挙げられ、ポリオキシプロピレング
リコール−ビス−ヒドロキシエトキシポリオキシエチレ
ンエーテルが好ましい。これらを、単独または２種以上
混合して用いることができる。非イオン界面活性剤の具
体的な商品名としては、旭電化工業社製のアデカプルロ
ニックＬ−４４、アデカプルロニックＬ−６２、アデカ
プルロニックＴＲ−７０２等が挙げられる。
しては、ポリオキシプロピレングリコール−ビス−ヒド
ロキシエトキシポリオキシエチレンエーテル［好ましく
は重量平均分子量２２００〜２５００のもの］、エチレ
ンジアミンＮ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’テトラ（ポリオキシプロ
ピレングリコールヒドロキシエトキシポリオキシエチレ
ンエーテル）［好ましくは重量平均分子量３５００〜５
０００のもの］等が挙げられ、ポリオキシプロピレング
リコール−ビス−ヒドロキシエトキシポリオキシエチレ
ンエーテルが好ましい。これらを、単独または２種以上
混合して用いることができる。非イオン界面活性剤の具
体的な商品名としては、旭電化工業社製のアデカプルロ
ニックＬ−４４、アデカプルロニックＬ−６２、アデカ
プルロニックＴＲ−７０２等が挙げられる。
【００１７】フッ素系界面活性剤および非イオン界面活
性剤からなる群より選択される少なくとも１種の配合割
合は、重量比で、有機ポリホスホン酸化合物：フッ素系
界面活性剤および非イオン界面活性剤からなる群より選
択される少なくとも１種＝１．０：０〜１５．０：１．
０が好ましい。
性剤からなる群より選択される少なくとも１種の配合割
合は、重量比で、有機ポリホスホン酸化合物：フッ素系
界面活性剤および非イオン界面活性剤からなる群より選
択される少なくとも１種＝１．０：０〜１５．０：１．
０が好ましい。
【００１８】本発明の洗浄剤を製造するには、例えば、
上記の各種成分を水（好ましくは、イオン交換水）に混
合・溶解し、その溶液のｐＨを水酸化アルカリ金属によ
り１０以上（好ましくは１０〜１２．５、より好ましく
は１０．４〜１１．５）に調整すればよい。
上記の各種成分を水（好ましくは、イオン交換水）に混
合・溶解し、その溶液のｐＨを水酸化アルカリ金属によ
り１０以上（好ましくは１０〜１２．５、より好ましく
は１０．４〜１１．５）に調整すればよい。
【００１９】本発明の洗浄剤における組成（重量比）と
しては、例えば、次のものが好ましい。 有機ポリホスホン酸アルカリ金属塩 １．０〜２４．０％ 有機酸アルカリ金属塩 ０ 〜 ６．０％ フッ素系界面活性剤および非イオン界面活性剤からなる群より選択される少な くとも１種 ０ 〜 １．０％ 水酸化アルカリ金属 ０．１〜 １．０％ （洗浄剤全体のｐＨを１０〜１２．５とする量） 水（好ましくは、イオン交換水） 残余。
しては、例えば、次のものが好ましい。 有機ポリホスホン酸アルカリ金属塩 １．０〜２４．０％ 有機酸アルカリ金属塩 ０ 〜 ６．０％ フッ素系界面活性剤および非イオン界面活性剤からなる群より選択される少な くとも１種 ０ 〜 １．０％ 水酸化アルカリ金属 ０．１〜 １．０％ （洗浄剤全体のｐＨを１０〜１２．５とする量） 水（好ましくは、イオン交換水） 残余。
【００２０】なお、上記〜の成分の合計濃度は、
１．１〜３２．０重量％が好ましく、８．０〜２０．０
重量％がより好ましい。
１．１〜３２．０重量％が好ましく、８．０〜２０．０
重量％がより好ましい。
【００２１】本発明の洗浄剤を用いて蛍光体塗膜の剥離
溶解を行うには、例えば、洗浄剤温度３０〜７０℃で、
蛍光体マトリックス膜面を該洗浄剤中に浸漬し、洗浄剤
を撹拌流動させながら処理する。また、３Ｋｇ／ｃｍ2
程度の噴射水圧を有する液循環ポンプを用いて、本発明
の洗浄剤をマトリックス膜面に噴出して流動させると、
早い速度で蛍光体マトリックス膜を剥離溶解でき、パネ
ルのガラス面の膜を完全に剥離溶解消失させることがで
きる。
溶解を行うには、例えば、洗浄剤温度３０〜７０℃で、
蛍光体マトリックス膜面を該洗浄剤中に浸漬し、洗浄剤
を撹拌流動させながら処理する。また、３Ｋｇ／ｃｍ2
程度の噴射水圧を有する液循環ポンプを用いて、本発明
の洗浄剤をマトリックス膜面に噴出して流動させると、
早い速度で蛍光体マトリックス膜を剥離溶解でき、パネ
ルのガラス面の膜を完全に剥離溶解消失させることがで
きる。
【００２２】一般的に、ＣＲＴテレビブラウン管の生産
ラインにおいて発生した不良製品は、生産ラインから外
されて再生ラインに送られ、そこで高速度で剥離清浄化
されて再生される。その再生ラインにおいて本発明の洗
浄剤を使用するには、例えば、５０〜７０℃に加熱され
た該洗浄剤を、剥離洗浄槽内で、剥離すべき蛍光体マト
リックス膜面に向けて、３Ｋｇ／ｃｍ2程度の水圧を有
する液送ポンプ配管のノズルより噴射して洗浄する。そ
の結果、蛍光体マトリックス膜は短時間で剥離され、パ
ネルのガラス洗浄面には、蛍光体マトリックス膜の小片
や痕跡も無く、清浄なガラス面に再生することができ
る。
ラインにおいて発生した不良製品は、生産ラインから外
されて再生ラインに送られ、そこで高速度で剥離清浄化
されて再生される。その再生ラインにおいて本発明の洗
浄剤を使用するには、例えば、５０〜７０℃に加熱され
た該洗浄剤を、剥離洗浄槽内で、剥離すべき蛍光体マト
リックス膜面に向けて、３Ｋｇ／ｃｍ2程度の水圧を有
する液送ポンプ配管のノズルより噴射して洗浄する。そ
の結果、蛍光体マトリックス膜は短時間で剥離され、パ
ネルのガラス洗浄面には、蛍光体マトリックス膜の小片
や痕跡も無く、清浄なガラス面に再生することができ
る。
【００２３】その他の洗浄方法としては、超音波洗浄装
置を利用して洗浄することができる。この方法だと、よ
り早く好ましい洗浄剥離効果が得られ、洗浄時間の短縮
が実現される。
置を利用して洗浄することができる。この方法だと、よ
り早く好ましい洗浄剥離効果が得られ、洗浄時間の短縮
が実現される。
【００２４】なお、本発明の洗浄剤は、液晶ディスプレ
ーパネルやプラズマディスプレーパネルの再生処理にも
使用できる。すなわち、液晶ディスプレーパネルやプラ
ズマディスプレーパネルの背面基板ガラスの洗浄や再生
剥離洗浄においても、ＣＲＴテレビブラウン管の蛍光体
マトリックス膜と同様の条件により、それらの膜物質の
崩壊剥離洗浄を短時間に実現することができる。
ーパネルやプラズマディスプレーパネルの再生処理にも
使用できる。すなわち、液晶ディスプレーパネルやプラ
ズマディスプレーパネルの背面基板ガラスの洗浄や再生
剥離洗浄においても、ＣＲＴテレビブラウン管の蛍光体
マトリックス膜と同様の条件により、それらの膜物質の
崩壊剥離洗浄を短時間に実現することができる。
【００２５】上述したように、本発明の洗浄剤は、カラ
ーテレビブラウン管のＣＲＴディスプレーや液晶テレビ
のＬＣＤディスプレー等のパネル再生時に、ガラスパネ
ルに塗膜された感光性樹脂・グラファイト・蛍光体樹脂
等よりなるブラックマトリックス膜や、金属アルミニウ
ム膜・珪素含有樹脂膜・接着樹脂膜等よりなる特殊蛍光
膜を、短時間の浸漬等により、膨潤崩壊剥離させるため
に好適に使用することができる。
ーテレビブラウン管のＣＲＴディスプレーや液晶テレビ
のＬＣＤディスプレー等のパネル再生時に、ガラスパネ
ルに塗膜された感光性樹脂・グラファイト・蛍光体樹脂
等よりなるブラックマトリックス膜や、金属アルミニウ
ム膜・珪素含有樹脂膜・接着樹脂膜等よりなる特殊蛍光
膜を、短時間の浸漬等により、膨潤崩壊剥離させるため
に好適に使用することができる。
【００２６】
【実施例】以下、実施例によってこの発明をさらに詳細
に説明する。
に説明する。
【００２７】なお、実施例で使用した剥離洗浄処理装置
は、３Ｌビーカーに加熱式スターラーを設けて、撹拌と
加熱を行えるようにした。撹拌回転子径は７０ｍｍで、
撹拌速度は２５０ｒｐｍとした。また、実施例で使用し
た蛍光体ブラックマトリックス膜サンプルは、ＣＲＴブ
ラウン管テストピースの蛍光体ブラックマトリックス膜
面積を１００〜１１０ｃｍ2に固定したものとした。
は、３Ｌビーカーに加熱式スターラーを設けて、撹拌と
加熱を行えるようにした。撹拌回転子径は７０ｍｍで、
撹拌速度は２５０ｒｐｍとした。また、実施例で使用し
た蛍光体ブラックマトリックス膜サンプルは、ＣＲＴブ
ラウン管テストピースの蛍光体ブラックマトリックス膜
面積を１００〜１１０ｃｍ2に固定したものとした。
【００２８】また、剥離テストの結果は、テストピース
のブラックマトリックス膜加工面を洗浄処理して膜が剥
離された後の、接着樹脂の残留付着の有無を倍率１００
倍の顕微鏡視野にて判定した。マトリックス網目の痕跡
なども完全に剥離消失し、パネルガラス面が新品のパネ
ルガラス面のそれと対比して差異を認めない状態を完全
剥離と評価した。それに要した処理時間を測定して完全
剥離時間とした。
のブラックマトリックス膜加工面を洗浄処理して膜が剥
離された後の、接着樹脂の残留付着の有無を倍率１００
倍の顕微鏡視野にて判定した。マトリックス網目の痕跡
なども完全に剥離消失し、パネルガラス面が新品のパネ
ルガラス面のそれと対比して差異を認めない状態を完全
剥離と評価した。それに要した処理時間を測定して完全
剥離時間とした。
【００２９】実施例１および２
以下に示す組成（以下、「基準組成」ともいう）の洗浄
剤を調製した。
剤を調製した。
【００３０】
［洗浄剤の組成］
ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸 ７．７０重量％
シュウ酸カリウム ０．７７重量％
パーフルオロアルキルスルホン酸ナトリウム ０．１０重量％
（ネオス社製「フタージェント１００Ｃ」）
水酸化カリウム ６．００重量％
イオン交換水 ８５．４４重量％
洗浄剤の液量は１Ｌであり、ｐＨは１２．４であった。
【００３１】この洗浄剤を用いて、剥離洗浄処理温度
（洗浄剤温度）を、６０〜６３℃（実施例１）、５０〜
５３℃（実施例２）として、剥離洗浄処理を行った。完
全剥離時間は、実施例１が１８０秒（３分）で、実施例
２が６００秒（１０分）であった。
（洗浄剤温度）を、６０〜６３℃（実施例１）、５０〜
５３℃（実施例２）として、剥離洗浄処理を行った。完
全剥離時間は、実施例１が１８０秒（３分）で、実施例
２が６００秒（１０分）であった。
【００３２】実施例３および４
洗浄剤のｐＨを１２．３（実施例３）または１０．２
（実施例４）とした以外は実施例１と同様にして剥離洗
浄処理を行ったところ、完全剥離時間は、実施例３が１
６０秒（２分４０秒）で、実施例４が１６分であった。
（実施例４）とした以外は実施例１と同様にして剥離洗
浄処理を行ったところ、完全剥離時間は、実施例３が１
６０秒（２分４０秒）で、実施例４が１６分であった。
【００３３】実施例５〜７
ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸、シ
ュウ酸カリウム、フタージェント１００Ｃおよび水
酸化カリウムの比率（重量基準）を実施例１と同様に
し、イオン交換水の量を変えて、〜の成分の合計
濃度を変化させた。それ以外は実施例１と同様にして剥
離洗浄処理を行った。結果を表１に示す。表中の「％」
は「重量％」を意味する。なお、実施例１の結果も併記
する。
ュウ酸カリウム、フタージェント１００Ｃおよび水
酸化カリウムの比率（重量基準）を実施例１と同様に
し、イオン交換水の量を変えて、〜の成分の合計
濃度を変化させた。それ以外は実施例１と同様にして剥
離洗浄処理を行った。結果を表１に示す。表中の「％」
は「重量％」を意味する。なお、実施例１の結果も併記
する。
【００３４】
【表１】
【００３５】実施例８〜１０および比較例１
表２に示す組成の洗浄剤（ｐＨは全て１２．４）を用い
た以外は実施例１と同様にして剥離洗浄処理を行った。
各成分の有無による洗浄剤の有効性を確認した。結果を
表２に示す。表中の「％」は「重量％」を意味する。
た以外は実施例１と同様にして剥離洗浄処理を行った。
各成分の有無による洗浄剤の有効性を確認した。結果を
表２に示す。表中の「％」は「重量％」を意味する。
【００３６】
【表２】
【００３７】実施例１１〜１４
表３に示す組成の洗浄剤（ヒドロキシエチリデン−１，
１−ジホスホン酸を他の有機ポリホスホン酸に変えた。
ｐＨは全て１２．４）を用いた以外は実施例１と同様に
して剥離洗浄処理を行った。結果を表３に示す。表中の
「％」は「重量％」を意味する。
１−ジホスホン酸を他の有機ポリホスホン酸に変えた。
ｐＨは全て１２．４）を用いた以外は実施例１と同様に
して剥離洗浄処理を行った。結果を表３に示す。表中の
「％」は「重量％」を意味する。
【００３８】
【表３】
【００３９】実施例１５〜２０
シュウ酸カリウムを他の有機酸アルカリ金属塩に変え
た（但し、比率は実施例１と同じ）以外は実施例１と同
様にして洗浄剤を調製した（ｐＨは全て１２．４）。こ
の洗浄剤を用いて実施例１と同様にして剥離洗浄処理を
行った。
た（但し、比率は実施例１と同じ）以外は実施例１と同
様にして洗浄剤を調製した（ｐＨは全て１２．４）。こ
の洗浄剤を用いて実施例１と同様にして剥離洗浄処理を
行った。
【００４０】用いた有機酸アルカリ金属塩と剥離洗浄処
理における完全剥離時間は、実施例１５ではグリコール
酸カリウムを用いて２５０秒、実施例１６ではグルコン
酸カリウムを用いて３００秒、実施例１７ではマレイン
酸カリウムを用いて２９０秒、実施例１８では酒石酸カ
リウムを用いて３１０秒、実施例１９ではクエン酸カリ
ウムを用いて３１０秒、実施例２０ではコハク酸カリウ
ムを用いて３２０秒であった。
理における完全剥離時間は、実施例１５ではグリコール
酸カリウムを用いて２５０秒、実施例１６ではグルコン
酸カリウムを用いて３００秒、実施例１７ではマレイン
酸カリウムを用いて２９０秒、実施例１８では酒石酸カ
リウムを用いて３１０秒、実施例１９ではクエン酸カリ
ウムを用いて３１０秒、実施例２０ではコハク酸カリウ
ムを用いて３２０秒であった。
【００４１】実施例２１〜２３
フタージェント１００Ｃを他のフッ素系界面活性剤ま
たは非イオン界面活性剤に変えた（但し、比率は実施例
１と同じ）以外は実施例１と同様にして洗浄剤を調製し
た（ｐＨは全て１２．４）。この洗浄剤を用いて実施例
１と同様にして剥離洗浄処理を行った。
たは非イオン界面活性剤に変えた（但し、比率は実施例
１と同じ）以外は実施例１と同様にして洗浄剤を調製し
た（ｐＨは全て１２．４）。この洗浄剤を用いて実施例
１と同様にして剥離洗浄処理を行った。
【００４２】用いたフッ素系界面活性剤または非イオン
界面活性剤と剥離洗浄処理における完全剥離時間は、実
施例２１ではネオス社製フタージェント１５０（フロロ
アルキル（Ｃ2-10）カルボン酸ナトリウム、フッ素系界
面活性剤）を用いて２００秒、実施例２２では旭電化工
業社製アデカプルロニックＬ−４４（ポリオキシプロピ
レングリコール−ビス−ヒドロキシエトキシポリオキシ
エチレンエーテル、重量平均分子量２２００、非イオン
界面活性剤）を用いて１９０秒、実施例２３では旭電化
工業社製アデカプルロニックＴＲ−７０２（エチレンジ
アミンＮ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’テトラ（ポリオキシプロピレ
ングリコールヒドロキシエトキシポリオキシエチレンエ
ーテル）、重量平均分子量３５００、非イオン界面活性
剤）を用いて１９０秒であった。
界面活性剤と剥離洗浄処理における完全剥離時間は、実
施例２１ではネオス社製フタージェント１５０（フロロ
アルキル（Ｃ2-10）カルボン酸ナトリウム、フッ素系界
面活性剤）を用いて２００秒、実施例２２では旭電化工
業社製アデカプルロニックＬ−４４（ポリオキシプロピ
レングリコール−ビス−ヒドロキシエトキシポリオキシ
エチレンエーテル、重量平均分子量２２００、非イオン
界面活性剤）を用いて１９０秒、実施例２３では旭電化
工業社製アデカプルロニックＴＲ−７０２（エチレンジ
アミンＮ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’テトラ（ポリオキシプロピレ
ングリコールヒドロキシエトキシポリオキシエチレンエ
ーテル）、重量平均分子量３５００、非イオン界面活性
剤）を用いて１９０秒であった。
【００４３】実施例２４〜２６
表４に示す組成の洗浄剤（シュウ酸カリウムを他の有
機酸アルカリ金属塩に変え、水酸化カリウムを他の水
酸化アルカリ金属に変えた。ｐＨは全て１２．４）を用
いた以外は実施例１と同様にして剥離洗浄処理を行っ
た。結果を表４に示す。表中の「％」は「重量％」を意
味する。なお、実施例１の結果も併記する。
機酸アルカリ金属塩に変え、水酸化カリウムを他の水
酸化アルカリ金属に変えた。ｐＨは全て１２．４）を用
いた以外は実施例１と同様にして剥離洗浄処理を行っ
た。結果を表４に示す。表中の「％」は「重量％」を意
味する。なお、実施例１の結果も併記する。
【００４４】
【表４】
【００４５】
【発明の効果】本発明の洗浄剤は、以下の効果を奏す
る。 (1) フッ化水素酸溶液による再生洗浄と同等の処理速度
で、ＣＲＴブラウン管パネル等のガラス面を、新規製品
のそれと同等の状態に再生することができる。 (2) 剥離洗浄速度が、フッ化水素酸溶液を用いる場合と
同等であるので、ブラウン管パネル等の再生の生産性
を、良好に維持できて、多大な経済的効果を生むことが
できる。 (3) 毒性がほとんど無く、取扱い上も安全性の高い物性
であるので、剥離洗浄の際の作業環境の向上と、その廃
液処理の際の環境安全性の保持ができる。 (4) 毒性や設備の腐食性がほとんど無いため、安全対策
設備費は、フッ化水素酸溶液使用の再生ラインに比較し
て、大幅に減額できる。
る。 (1) フッ化水素酸溶液による再生洗浄と同等の処理速度
で、ＣＲＴブラウン管パネル等のガラス面を、新規製品
のそれと同等の状態に再生することができる。 (2) 剥離洗浄速度が、フッ化水素酸溶液を用いる場合と
同等であるので、ブラウン管パネル等の再生の生産性
を、良好に維持できて、多大な経済的効果を生むことが
できる。 (3) 毒性がほとんど無く、取扱い上も安全性の高い物性
であるので、剥離洗浄の際の作業環境の向上と、その廃
液処理の際の環境安全性の保持ができる。 (4) 毒性や設備の腐食性がほとんど無いため、安全対策
設備費は、フッ化水素酸溶液使用の再生ラインに比較し
て、大幅に減額できる。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｃ１１Ｄ 7/26 Ｃ１１Ｄ 7/26
Ｈ０１Ｊ 9/50 Ｈ０１Ｊ 9/50 Ａ
(72)発明者 山西 勝巳
大阪府摂津市東別府２丁目24番17号
Ｆターム(参考） 4H003 AA02 AC23 DA15 DB03 EA21
EB07 EB08 EB24 ED02 FA07
4J038 RA02 RA03 RA05 RA09 RA12
RA16
5C012 AA02
Claims (7)
- 【請求項１】 有機ポリホスホン酸化合物と水酸化アル
カリ金属を含有してなる蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄
剤。 - 【請求項２】 さらに、有機酸のアルカリ金属塩を含有
してなる請求項１に記載の蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄
剤。 - 【請求項３】 さらに、フッ素系界面活性剤および非イ
オン界面活性剤からなる群より選択される少なくとも１
種を含有してなる請求項１または２に記載の蛍光体塗膜
の剥離溶解用洗浄剤。 - 【請求項４】 有機ポリホスホン酸化合物が、ニトリロ
トリスメチレンホスホン酸アルカリ金属塩、エチレンジ
アミンテトラキスメチレンホスホン酸アルカリ金属塩、
ヘキサメチレンジアミンテトラキスメチレンホスホン酸
アルカリ金属塩、フィチン酸アルカリ金属塩およびヒド
ロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸アルカリ金属
塩からなる群より選択される少なくとも１種である請求
項１〜３のいずれかに記載の蛍光体塗膜の剥離溶解用洗
浄剤。 - 【請求項５】 有機酸のアルカリ金属塩が、グリコール
酸アルカリ金属塩、グルコン酸アルカリ金属塩、マレイ
ン酸アルカリ金属塩、酒石酸アルカリ金属塩、シュウ酸
アルカリ金属塩、クエン酸アルカリ金属塩およびコハク
酸アルカリ金属塩からなる群より選択される少なくとも
１種である請求項２〜４のいずれかに記載の蛍光体塗膜
の剥離溶解用洗浄剤。 - 【請求項６】 フッ素系界面活性剤が、フロロアルキル
カルボン酸ナトリウム、パーフルオロアルキルスルホン
酸ナトリウム、Ｎ−パーフルオロオクタンスルホニルグ
ルタミン酸ジナトリウム、３−（フルオロアルキルオキ
シ）−１−アルキルスルホン酸ナトリウム、３−（ｅ−
フルオロアルカノイル−Ｎ−エチルアミノ）−１−プロ
パンスルホン酸ナトリウム、フルオロアルキルカルボン
酸、パーフルオロアルキルカルボン酸、パーフルオロア
ルキル−Ｎ−エチルスルホニルグリシン塩およびモノパ
ーフルオロアルキルエチルリン酸エステルからなる群よ
り選択される少なくとも１種である請求項３〜５のいず
れかに記載の蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤。 - 【請求項７】 非イオン界面活性剤が、ポリオキシプロ
ピレングリコール−ビス−ヒドロキシエトキシポリオキ
シエチレンエーテルおよびエチレンジアミンＮ，Ｎ，
Ｎ’，Ｎ’テトラ（ポリオキシプロピレングリコールヒ
ドロキシエトキシポリオキシエチレンエーテル）からな
る群より選択される少なくとも１種である請求項３〜６
のいずれかに記載の蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002016752A JP2003213297A (ja) | 2002-01-25 | 2002-01-25 | 蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002016752A JP2003213297A (ja) | 2002-01-25 | 2002-01-25 | 蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003213297A true JP2003213297A (ja) | 2003-07-30 |
Family
ID=27652713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002016752A Pending JP2003213297A (ja) | 2002-01-25 | 2002-01-25 | 蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003213297A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004090926A1 (ja) * | 2003-04-10 | 2004-10-21 | Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. | カラー陰極線管用パネルの再生洗浄方法 |
| JP2014141668A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-08-07 | Sanyo Chem Ind Ltd | 電子材料用洗浄剤 |
| JP2014141669A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-08-07 | Sanyo Chem Ind Ltd | 電子材料用洗浄剤 |
| JP2020132874A (ja) * | 2019-02-13 | 2020-08-31 | スズカファイン株式会社 | 既存塗膜の除去方法 |
-
2002
- 2002-01-25 JP JP2002016752A patent/JP2003213297A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004090926A1 (ja) * | 2003-04-10 | 2004-10-21 | Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. | カラー陰極線管用パネルの再生洗浄方法 |
| JP2014141668A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-08-07 | Sanyo Chem Ind Ltd | 電子材料用洗浄剤 |
| JP2014141669A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-08-07 | Sanyo Chem Ind Ltd | 電子材料用洗浄剤 |
| JP2020132874A (ja) * | 2019-02-13 | 2020-08-31 | スズカファイン株式会社 | 既存塗膜の除去方法 |
| JP7382128B2 (ja) | 2019-02-13 | 2023-11-16 | スズカファイン株式会社 | 既存塗膜の除去方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3441715B2 (ja) | 水性リンス組成物及びそれを用いた方法 | |
| CN109022163B (zh) | 一种用于玻璃清洗的清洗剂及其制备方法和应用 | |
| CN106398374B (zh) | 玻璃工件的脱墨方法及所使用的水性脱墨剂和该水性脱墨剂的制备方法 | |
| JP5428859B2 (ja) | 鉛フリーハンダフラックス除去用洗浄剤組成物、および鉛フリーハンダフラックスの除去方法 | |
| JPH10264362A (ja) | 水性洗浄方法 | |
| US20020107158A1 (en) | Method for cleaning etcher parts | |
| JP3086254B2 (ja) | 電子および電気アセンブリ洗浄用調合物 | |
| KR20080005408A (ko) | 포스트-에치 및 애싱된 포토레지스트 잔류물 및 벌크포토레지스트의 제거를 위한 조성물 | |
| JP3233279B2 (ja) | 洗浄剤組成物および洗浄方法 | |
| JP2003213297A (ja) | 蛍光体塗膜の剥離溶解用洗浄剤 | |
| CN109112002B (zh) | 用于清洗玻璃退镀电镀层后脏污的清洗剂、清洗方法和电子产品 | |
| EP0574858B1 (en) | Inorganic oxidant compositions for removing contaminants | |
| TWI295751B (en) | Aqueous alkaline photoresist cleaning composition and method using the same | |
| JP3051611B2 (ja) | アルカリ現像装置の洗浄液と洗浄方法 | |
| JP5365031B2 (ja) | 半導体製造装置部品の洗浄方法 | |
| JPH08325764A (ja) | スズ酸化物の除去剤 | |
| KR20100119728A (ko) | 인듐 옥살레이트 용해제 조성물 | |
| US20030158057A1 (en) | Cleaning material of color cathode ray tube panel and the cleaning method using the same | |
| JP7352301B2 (ja) | 電着フォトレジスト塗膜の剥離方法 | |
| JPWO2004090926A1 (ja) | カラー陰極線管用パネルの再生洗浄方法 | |
| JP6198520B2 (ja) | アルカリ現像装置用洗浄剤組成物、およびアルカリ現像装置の洗浄方法 | |
| JPH11209798A (ja) | 付着水除去用溶剤組成物 | |
| JP2009062408A (ja) | 水性洗浄剤組成物 | |
| JPH093494A (ja) | 金型洗浄剤組成物 | |
| CN101209449A (zh) | 清洗晶背的方法 |