JP3051611B2 - アルカリ現像装置の洗浄液と洗浄方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、アルカリ可溶型感光膜
の現像に使用されるアルカリ現像装置、例えば、ドライ
フィルム現像装置、液状レジスト現像装置等の洗浄に使
用する洗浄液並びにその洗浄方法に関する。さらに詳し
くは、本発明は、このようなアルカリ現像装置、特にそ
れに使用されるスプレーその他の付属装置に付着する粘
着性ポリマーを溶解除去するための洗浄液並びに洗浄方
法に関する。

【０００２】

【従来技術とその問題点】プリント配線等の各種基材上
のアルカリ可溶型感光膜を露光し、アルカリ現像して画
像を形成し、次いでエッチングあるいはめっきレジスト
を利用し回路形成を行う方法において、そのアルカリ現
像工程は、一般に、炭酸アルカリ液等の現像液をスプレ
ー装置により感光膜面に吹付けることによって行われて
いる。しかし、このようにして現像液で溶解された感光
膜は、粘着性に変質し易く、したがって現像液を循環し
て使用するスプレー装置内には粘着性ポリマーが容易に
堆積し、スプレー配管内の堆積によって現像液の吐出量
の低下あるいはスプレーノズルの詰りが発生する。スプ
レー式アルカリ現像では、適正な吐出量が得られない場
合には、現像不足が生じ、更には粘着性ポリマーが生成
するとプリント配線等の基材上への再付着も生じて、次
工程での回路形成時に回路の欠線あるいは短絡という問
題を引き起こす。また、粘着性ポリマーは現像液の温度
センサー、加熱ヒーター、冷却チラー上にも堆積するた
め、液温コントロールに誤差が生じ、しばしば現像不足
を併発させるという問題もかかえている。以上の理由か
ら、アルカリ現像装置は定期的な洗浄が必要となるの
で、従来では２０〜６０ｇ／ｌの水酸化ナトリウム液で
前洗浄した後、５〜４０ｇ／ｌの硫酸液で後洗浄すると
いう手法と、３００〜６００ｇ／ｌの酢酸液で洗浄する
という手法が採られている。しかし、前者は洗浄能力が
低く、粘着性ポリマーの大半が除去できないという問題
点があり、また後者は約１０時間以上の洗浄で、ある程
度の洗浄力を有するが、臭気面で作業環境が著しく悪
く、洗浄に多大な時間を費してしまうという問題点を解
決しないでいる。本発明者が上記のようなアルカリ可溶
型感光膜及びそのアルカリ現像により生じる粘着性ポリ
マーを調査した所、感光膜はアルカリ液に易溶で、酸液
により直ちに凝集硬化するが、炭酸アルカリ液等の現像
液により溶解されて生成した粘着性ポリマーはアルカリ
液ではほとんど溶解しないことが判明した。これらの結
果を踏まえた上で種々の研究を重ねた結果、本発明に至
った。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従って、本発明は、ア
ルカリ可溶型感光膜の現像に使用されるアルカリ現像装
置において、その装置のスプレーその他の部分に付着す
る粘着性ポリマーを効率的に溶解除去するための洗浄液
及び洗浄方法を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】しかして、本発明によれ
ば、多価アルコール又はその誘導体、有機カルボン酸又
はその塩類若しくは酸無水物及び水酸化アルカリ又はア
ルカリ土類金属を含有する第一段階洗浄液と、無機酸を
単独で或いは有機カルボン酸又はその塩類若しくは酸無
水物と共に含有する第二段階洗浄液とよりなるアルカリ
現像装置の洗浄液が提供される。さらに、本発明は、ア
ルカリ現像装置を多価アルコール又はその誘導体、有機
カルボン酸又はその塩類若しくは酸無水物及び水酸化ア
ルカリ又はアルカリ土類金属を含有する第一段階洗浄液
と、無機酸を単独で或いは有機カルボン酸又はその塩類
若しくは酸無水物と共に含有する第二段階洗浄液とによ
って一回以上繰返して洗浄することを特徴とするアルカ
リ現像装置の洗浄方法を提供する。

【０００５】

【発明の具体的な説明】本発明に従う洗浄液は、第一段
階洗浄液と第二段階洗浄液とからなる。第一段階洗浄液
は、感光膜から溶解されて生成した粘着性ポリマーを溶
解除去するためのものであって、その主な作用は多価ア
ルコールによる粘着性ポリマーの膨潤と、有機カルボン
酸による粘着性ポリマーの剥離と、水酸化アルカリによ
る膨潤した粘着性ポリマーの溶解とスプレー循環による
物理的洗浄である。この第一段階洗浄処理によって粘着
性ポリマーの一部は溶解され、膨潤した固溶体は細かく
分断される。細かく分断された固溶体は、若干粘性を有
しているため、この状態では分離が難しい。そのため、
第二段階洗浄液が使用される。第二段階洗浄液の主な作
用は、無機酸による分断された固溶体表面の凝集硬化に
よる固溶体の剥離と、有機カルボン酸による固溶体同士
の剥離促進と、スプレー循環による物理的洗浄である。
これによって固溶体は更に細かく分断され、粘性のない
固形物に変わるため、その分離除去が一層容易に行え
る。

【０００６】本発明の第一洗浄液に使用される多価アル
コールとしては、膨潤作用があるものはいずれも使用で
きる。例えば、エチレングリコール、プロピレングリコ
ール、ブチレングリコール、３，４−ヘキシレングリコ
ール、オクチレングリコールのようなアルキレングリコ
ール；例えば、ジエチレングリコール、ジプロピレング
リコールのようなジアルキレングリコール；例えば、ト
リエチレングリコールのようなトリアルキレングリコー
ルが挙げられる。さらには、グリセリンのような３価ア
ルコール、ペンチット、ヘキシットのような多価アルコ
ールも使用することができる。また、これらの多価アル
コールの誘導体、例えば、モノ又はジアルキルエーテ
ル、モノ又はジエステル、エーテルエステル類も好んで
使用される。好ましい誘導体としては、エチレングリコ
ールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチ
ルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチル
エーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチ
レングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレ
ングリコールイソプロピルエーテル、エチレングリコー
ルモノブチルエーテル、エチレングリコールジブチルエ
ーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテ
ート、エチレングリコールイソアミルエーテル、エチレ
ングリコールモノフェニルエーテル、エチレングリコー
ルモノヘキシルエーテル、メトキシメトキシエタノー
ル、エチレングリコールモノアセテート、エチレングリ
コールジアセテート、エチレンクロルヒドリン、ジエチ
レングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコ
ールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチ
ルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル
アセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル
アセテート、ジエチレングリコールメチルエチルエーテ
ル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレ
ングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコー
ルジブチルエーテル、ジエチレングリコールモノアセテ
ート、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、ト
リエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレン
グリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコール
モノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチル
エーテル、１ブトキシエトキシプロパノール、プロピレ
ングリコールモノアセテート、ジプロピレングリコール
モノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチ
ルエーテルが挙げられる。グリセリルモノアセテート、
グリセリルジアセテート、グリセリルトリアセテートの
ようなグリセリンのエステル誘導体、グリセリンのエー
テル誘導体、その他の多価アルコールのエーテル及びエ
ステル誘導体も使用することができる。これらの多価ア
ルコール及びその誘導体は単独で又は２種以上を組み合
わせて使用することができ、その配合量は３〜１５０ｇ
／ｌ、好ましくは５〜１２０ｇ／ｌである。

【０００７】また、第一段階洗浄液は、感光膜のアルカ
リ現像により溶解され生成して現像装置に付着した粘着
性ポリマーを剥離させるために有機カルボン酸又はその
塩類若しくは酸無水物を使用する。有機カルボン酸は、
好ましくは、炭素数１〜６の脂肪族モノ又はポリカルボ
ン酸、例えば、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、イソ
酪酸、吉草酸、蓚酸、マロン酸、こはく酸など並びにそ
れらの酸無水物、例えば、無水酢酸、無水プロピオン
酸、酪酸無水物、イソ酪酸無水物、吉草酸無水物、こは
く酸無水物などである。また、これらのカルボン酸の置
換誘導体、例えば、ハロゲン置換誘導体、例えば、モノ
クロル酢酸、ジクロル酢酸、トリクロル酢酸、モノブロ
ム酢酸、トリブロム酢酸等、さらにはヒドロキシ置換誘
導体、いわゆるオキシ酸、例えば、グリコール酸、乳
酸、ヒドロアクリル酸、α−オキシ酪酸、グリセリン
酸、りんご酸、酒石酸、くえん酸、グルコン酸なども好
んで使用される。さらに、上記のような有機カルボン酸
及び置換誘導体の塩類、好ましくはアルカリ金属塩（例
えば、ナトリウム、カリウム塩）及びアルカリ土類金属
塩（例えば、カルシウム塩）も好んで使用される。これ
らの有機カルボン酸、酸無水物及び塩類は、単独で又は
２種以上を組合せて使用することができる。その配合量
は３〜１００ｇ／ｌ、好ましくは５〜８０ｇ／ｌであ
る。

【０００８】本発明の第一洗浄液は、さらに膨潤した粘
着性ポリマーを溶解させる作用を有する水酸化アルカリ
又はアルカリ土類金属を含有する。これらの水酸化アル
カリ又はアルカリ土類金属としては、水酸化ナトリウ
ム、水酸化カリウム、水酸化カルシウムなどが使用され
る。水酸化アルカリ又はアルカリ土類金属は単独で又は
２種以上を組合せて使用することができる。その配合量
は３〜１００ｇ／ｌ、好ましくは５〜８０ｇ／ｌであ
る。

【０００９】上記の第一段階洗浄処理によって粘着性ポ
リマーの一部は溶解され、膨潤した固溶体は細かく分断
される。細かく分断された固溶体は、若干粘性を有して
いるため、この状態では分離が難しい。そこで、第二段
階洗浄液が使用される。第二段階洗浄液は、無機酸単独
で或いは無機酸と有機カルボン酸又はその塩類若しくは
酸無水物とから構成される。無機酸は第一段階洗浄液に
より分断された固溶体の表面を凝集硬化し剥離させる作
用を有するものであればいずれも使用することができ
る。例えば、塩酸、硫酸、硝酸、燐酸、クロルスルホン
酸、スルファミン酸などが使用される。無機酸は単独で
又は２種以上を組合せて使用することができる。その配
合量は３〜１００ｇ／ｌ、好ましくは５〜８０ｇ／ｌで
ある。さらに、第二段階洗浄液は、分断された固溶体同
士の剥離を促進させるために有機カルボン酸又はその塩
類を含有することができる。使用できる有機カルボン酸
又はその塩類若しくは酸無水物は、第一段階洗浄液にお
いて使用した脂肪族カルボン酸及びそれらの置換誘導体
並びにそれらの塩類若しくは酸無水物と同一のものであ
ってよい。有機カルボン酸又はその塩類は単独で又は２
種以上を組合せて使用することができる。その配合量は
３〜１００ｇ／ｌ、好ましくは５〜８０ｇ／ｌである。
この第二段階洗浄により、粘着性の固溶体は更に細かく
分断され、粘性のない固形物に変わるため、その分離除
去が一層容易に行える。

【００１０】本発明に従う洗浄液は、それぞれの成分を
単に水に溶解するだけで調製することができる。調製さ
れた各洗浄液には、浸透性の向上のために各種のアミン
化合物、界面活性剤等を添加することができる。例え
ば、グリシン、モノエタノールアミン、ジエタノールア
ミン、トリエタノールアミン、ヘキサメチレンテトラミ
ン、エチレンジアミン四酢酸四ナトリウム、ジエチレン
トリアミン五酢酸五ナトリウムなどのようなアミン化合
物、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリ
オキシスチレン化フェノールのようなノニオン系界面活
性剤を使用することができる。これらは、好ましくは、
０．５〜１ｇ／ｌの量で使用できる。また、スプレー時
に発泡が生じる場合があるので、ポリアルキレングリコ
ールのような消泡剤を少量添加することができる。

【００１１】本発明によれば、このように調製された第
一段階洗浄液及び第二段階洗浄液を使用して、アルカリ
可溶型感光膜のアルカリ現像装置の洗浄が少なくとも１
回以上繰返して行われる。洗浄は、種々の方法、例え
ば、スプレーによる吹付、浸漬などにより行うことがで
きる。第一段階の洗浄は、一般に室温から５０℃で０．
５〜３時間行われ、また第二段階の洗浄は一般に室温か
ら５０℃で０．５〜２時間行われる。また、第一段階洗
浄処理と第二段階洗浄処理の間に水洗処理を導入し、洗
浄効率を向上することもできる。本発明によれば、固形
物が容易に且つほとんど完全に除去できるので、各洗浄
液は循環させて使用することができる。

【００１２】

【実施例】以下に、本発明を例示するために実施例を示
すが、本発明はこれらによってなんら制限されない。

【００１３】実施例１ 以下に示す第一段階洗浄液及び第二段階洗浄液を調製
し、液状レジストのアルカリ現像装置を洗浄した。 第一段階洗浄液 エチレングリコールモノメチルエーテル １５ ｇ／ｌ プロピレングリコールモノアセテート ５ ｇ／ｌ イソ酪酸 １０ ｇ／ｌ 水酸化ナトリウム ５０ ｇ／ｌ 第二段階洗浄液 くえん酸 １０ ｇ／ｌ 塩酸 ６０ ｇ／ｌ ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル １ ｇ／ｌ 先ず、第一段階洗浄液にて液温度３５℃、スプレー圧
１．８ｋｇ／ｃｍ² 条件下で２時間洗浄した。一度水洗
を行い、次いで第二段階洗浄液にて液温度３５℃、スプ
レー圧１．８ｋｇ／ｃｍ² 条件下で１時間洗浄した。粘
着性ポリマーは槽内から完全に剥離され、細い固形物に
変化しているため、その後の水洗で容易に固形物は除去
できた。

【００１４】実施例２ 以下に示す第一段階洗浄液及び第二段階洗浄液を調製
し、ドライフィルムのアルカリ現像装置を洗浄した。 第一段階洗浄液 ジエチレングリコールモノアセテート １０ ｇ／ｌ ジプロピレングリコールモノエチルエーテル １０ ｇ／ｌ 酢酸ナトリウム ３０ ｇ／ｌ マロン酸 ５ ｇ／ｌ 水酸化カリウム ４０ ｇ／ｌ トリエタノールアミン １ ｇ／ｌ 第二段階洗浄液 グリコール酸 １０ ｇ／ｌ 硫酸 ２０ ｇ／ｌ モノエタノールアミン １ ｇ／ｌ 先ず、第一段階洗浄液にて液温度３５℃、スプレー圧
１．５ｋｇ／ｃｍ² 条件下で１．５時間洗浄した。一度
水洗を行い、次いで第二段階洗浄液にて液温度４０℃、
スプレー圧１．５ｋｇ／ｃｍ² 条件下で０．５時間洗浄
した。粘着性ポリマーは槽内から完全に剥離され、細い
固形物に変化しているため、その後の水洗で容易に固形
物は除去できた。

【００１５】比較例１ 液状レジスト現像装置を４０ｇ／ｌ水酸化ナトリウム液
にて、液温度５０℃、スプレー圧１．９ｋｇ／ｃｍ² 条
件下で３時間洗浄した後、次いで３０ｇ／ｌ硫酸液に
て、液温度４０℃、スプレー圧１．９ｋｇ／ｃｍ² 条件
下で２時間洗浄した。槽内の粘着性ポリマーは表面硬化
しているが、ほとんど除去できず、その後水洗を行って
も槽内の固形物は全く除去できなかった。

【００１６】比較例２ ドライフィルム現像装置を４５０ｇ／ｌ酢酸液にて液温
度３５℃、スプレー圧１．７ｋｇ／ｃｍ² 条件化で５時
間洗浄したが、粘着性ポリマーは表面硬化しているがほ
とんど除去できず、更に洗浄を継続し合計１２時間洗浄
した時点で、槽内の固形物の８割程度がようやく除去で
きるにすぎなかった。

【００１７】実施例３ 以下に示す第一段階洗浄液及び第二段階洗浄液を調整
し、液状レジストのアルカリ現像装置を洗浄した。 第一段階洗浄液 エチレングリコールモノアセテート ３５ ｇ／ｌ ジエチレングリコール ２０ ｇ／ｌ トリエチレングリコール ２０ ｇ／ｌ ジプロピレングリコールモノメチルエーテル ３０ ｇ／ｌ 酒石酸ナトリウムカリウム １０ ｇ／ｌ 水酸化ナトリウム １０ ｇ／ｌ 第二段階洗浄液 塩 酸 ４５ ｇ／ｌ 先ず、第一段階洗浄液にて液温度３５℃、スプレー圧
１．８ｋｇ／ｃｍ² 条件下で２時間洗浄した。一度水洗
を行い、次いで第二段階洗浄液にて液温度３８℃、スプ
レー圧１．８ｋｇ／ｃｍ² 条件下で１時間洗浄した。粘
着性ポリマーは槽内から完全に剥離され、やや大きい固
形物に変化し、その後の水洗で固形物は除去できた。

【００１８】実施例４ 以下に示す第一段階洗浄液及び第二段階洗浄液を調整
し、液状レジストのアルカリ現像装置を洗浄した。 第一段階洗浄液 エチレングリコールモノブチルエーテル １０ ｇ／ｌ ジエチレングリコールメチルエチルエーテル １５ ｇ／ｌ プロピレングリコール ２０ ｇ／ｌ 酢酸ナトリウム ２０ ｇ／ｌ リンゴ酸ナトリウム １５ ｇ／ｌ 水酸化カリウム １０ ｇ／ｌ エチレンジアミン四酢酸四ナトリウム ０．５ ｇ／ｌ 第二段階洗浄液 モノクロル酢酸 ５０ ｇ／ｌ 蓚 酸 ５ ｇ／ｌ 硫 酸 ５ ｇ／ｌ 先ず、第一段階洗浄液にて液温度２８℃、スプレー圧
１．５ｋｇ／ｃｍ² 条件下で２．５時間洗浄した。一度
水洗を行い、次いで第二段階洗浄液にて液温度２８℃、
スプレー圧１．５ｋｇ／ｃｍ² 条件下で１．５時間洗浄
した。粘着性ポリマーは槽内から完全に剥離され、細い
固形物に変化しているため、その後の水洗で固形物は容
易に除去できた。

【００１９】実施例５ 以下に示す第一段階洗浄液及び第二段階洗浄液を調整
し、液状レジストのアルカリ現像装置を洗浄した。 第一段階洗浄液 トリエチレングリコールモノメチルエーテル ５ ｇ／ｌ オクチレングリコール ５ ｇ／ｌ 乳酸ナトリウム ３５ ｇ／ｌ グルコン酸ナトリウム ４０ ｇ／ｌ 水酸化カリウム １０ ｇ／ｌ ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル ０．５ ｇ／ｌ 第二段階洗浄液 酪 酸 ５ ｇ／ｌ 燐 酸 ６０ ｇ／ｌ スルファミン酸 ５ ｇ／ｌ トリエタノールアミン ０．５ ｇ／ｌ 先ず、第一段階洗浄液にて液温度３８℃、スプレー圧
１．４ｋｇ／ｃｍ² 条件下で１．５時間洗浄した。一度
水洗を行い、次いで第二段階洗浄液にて液温度３５℃、
スプレー圧１．４ｋｇ／ｃｍ² 条件下で０．５時間洗浄
した。粘着性ポリマーは槽内から完全に剥離され、細い
固形物に変化しているため、その後の水洗で固形物は容
易に除去できた。

【００２０】実施例６ 以下に示す第一段階洗浄液及び第二段階洗浄液を調整
し、液状レジストのアルカリ現像装置を洗浄した。 第一段階洗浄液 エチレングリコールジブチルエーテル ５ ｇ／ｌ ３，４−ヘキシレングリコール ５ ｇ／ｌ 蟻酸ナトリウム １０ ｇ／ｌ 水酸化ナトリウム ６５ ｇ／ｌ 第二段階洗浄液 グリコール酸 ３０ ｇ／ｌ プロピオン酸 ２０ ｇ／ｌ 硝 酸 ５ ｇ／ｌ 先ず、第一段階洗浄液にて液温度３０℃、スプレー圧
１．６ｋｇ／ｃｍ² 条件下で２時間洗浄した。一度水洗
を行い、次いで第二段階洗浄液にて液温度３３℃、スプ
レー圧１．６ｋｇ／ｃｍ² 条件下で０．５時間洗浄し
た。粘着性ポリマーは槽内から完全に剥離され、細い固
形物に変化しているため、その後の水洗で固形物は容易
に除去できた。

【００２１】実施例７ 以下に示す第一段階洗浄液と、第二段階洗浄液を調整
し、ドライフィルムのアルカリ現像装置を洗浄した。 第一段階洗浄液 エチレングリコール ２０ ｇ／ｌ ジエチレングリコールモノブチルエーテル ３５ ｇ／ｌ プロピレングリコールモノエチルエーテル ３５ ｇ／ｌ グリセリルジアセテート ２０ ｇ／ｌ くえん酸 ５ ｇ／ｌ 水酸化ナトリウム ４０ ｇ／ｌ 第二段階洗浄液 トリクロル酢酸 ５ ｇ／ｌ 硫 酸 １０ ｇ／ｌ グリシン ０．５ ｇ／ｌ 先ず、第一段階洗浄液にて液温度２８℃、スプレー圧
２．１ｋｇ／ｃｍ² 条件下で１．５時間洗浄した。一度
水洗を行い、次いで第二段階洗浄液にて液温度３３℃、
スプレー圧２．１ｋｇ／ｃｍ² 条件下で１時間洗浄し
た。粘着性ポリマーは槽内から完全に剥離され、細い固
形物に変化しているため、その後の水洗で固形物は容易
に除去できた。

【００２２】実施例８ 以下に示す第一段階洗浄液と、第二段階洗浄液を調整
し、ドライフィルムのアルカリ現像装置を洗浄した。 第一段階洗浄液 ジエチレングリコールジメチルエーテル ５ ｇ／ｌ ジプロピレングリコール １０ ｇ／ｌ プロピオン酸カリウム １０ ｇ／ｌ 水酸化ナトリウム １５ ｇ／ｌ ジエチレントリアミン五酢酸五ナトリウム ０．５ ｇ／ｌ 第二段階洗浄液 乳 酸 ６０ ｇ／ｌ グリセリン酸 ５ ｇ／ｌ 塩 酸 １０ ｇ／ｌ ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル ０．５ ｇ／ｌ 先ず、第一段階洗浄液にて液温度３８℃、スプレー圧
１．３ｋｇ／ｃｍ² 条件下で１時間洗浄した。一度水洗
を行い、次いで第二段階洗浄液にて液温度２８℃、スプ
レー圧１．３ｋｇ／ｃｍ² 条件下で１時間洗浄した。粘
着性ポリマーは槽内から完全に剥離され、細い固形物に
変化しているため、その後の水洗で固形物は容易に除去
できた。

【００２３】実施例９ 以下に示す第一段階洗浄液と、第二段階洗浄液を調整
し、ドライフィルムのアルカリ現像装置を洗浄した。 第一段階洗浄液 エチレングリコールジアセテート ４０ ｇ／ｌ ジエチレングリコールモノエチルエーテル ５０ ｇ／ｌ グリセリン ２０ ｇ／ｌ 酒石酸ナトリウム １５ ｇ／ｌ グルコン酸ナトリウム １５ ｇ／ｌ 水酸化カリウム １０ ｇ／ｌ 第二段階洗浄液 ジクロル酢酸 １０ ｇ／ｌ 燐 酸 １０ ｇ／ｌ ジエタノールアミン ０．５ ｇ／ｌ 先ず、第一段階洗浄液にて液温度３８℃、スプレー圧
１．５ｋｇ／ｃｍ² 条件下で０．５時間洗浄した。一度
水洗を行い、次いで第二段階洗浄液にて液温度２８℃、
スプレー圧１．５ｋｇ／ｃｍ² 条件下で１時間洗浄し
た。粘着性ポリマーは槽内から完全に剥離され、細い固
形物に変化しているため、その後の水洗で固形物は容易
に除去できた。

【００２４】実施例１０ 以下に示す第一段階洗浄液と、第二段階洗浄液を調整
し、ドライフィルムのアルカリ現像装置を洗浄した。 第一段階洗浄液 ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート ３０ ｇ／ｌ ブチレングリコール １０ ｇ／ｌ 酪酸ナトリウム ３５ ｇ／ｌ 水酸化カルシウム ５ ｇ／ｌ 水酸化ナトリウム ７０ ｇ／ｌ 第二段階洗浄液 りんご酸 １０ ｇ／ｌ 硫 酸 ２５ ｇ／ｌ ヘキサメチレンテトラミン ０．５ ｇ／ｌ 先ず、第一段階洗浄液にて液温度３３℃、スプレー圧
１．７ｋｇ／ｃｍ² 条件下で２．５時間洗浄した。次い
で、一度水洗し、次いで第二段階洗浄液にて液温度３８
℃、スプレー圧１．７ｋｇ／ｃｍ² 条件下で１．５時間
洗浄した。粘着性ポリマーは槽内から完全に剥離され、
細い固形物に変化しているため、その後の水洗で固形物
は容易に除去できた。

【００２５】

【効果】本発明は、アルカリ現像装置の既存洗浄技術に
比し、経済的であり、かつ短時間処理で充分な洗浄性を
有しているため、定期洗浄サイクルの延長が可能で、回
路形成時に粘着性ポリマーによって生じる回路欠線ある
いは短絡を防止することができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G03F 7/00 - 7/42

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 多価アルコール又はその誘導体、有機カ
   ルボン酸又はその塩類若しくは酸無水物及び水酸化アル
   カリ又はアルカリ土類金属を含有する第一段階洗浄液
   と、無機酸を単独で或いは有機カルボン酸又はその塩類
   若しくは酸無水物と共に含有する第二段階洗浄液とより
   なるアルカリ現像装置の洗浄液。
2. 【請求項２】 第一及び第二段階洗浄液に使用される有
   機カルボン酸又はその塩類若しくは酸無水物が炭素数１
   〜６のモノ若しくはポリカルボン酸、それらの酸無水
   物、それらのハロゲン置換誘導体若しくはヒドロキシ置
   換誘導体又はそれらの塩類である請求項１記載の洗浄
   液。
3. 【請求項３】 アルカリ現像装置を多価アルコール又は
   その誘導体、有機カルボン酸又はその塩類若しくは酸無
   水物及び水酸化アルカリ又はアルカリ土類金属を含有す
   る第一段階洗浄液と、無機酸を単独で或いは有機カルボ
   ン酸又はその塩類若しくは酸無水物と共に含有する第二
   段階洗浄液とによって一回以上繰返して洗浄することを
   特徴とするアルカリ現像装置の洗浄方法。