JP2003183529A - 制電性樹脂組成物 - Google Patents
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Abstract
に加えて、空気中の酸性ガスやアルカリ性ガス等のガス
状汚染物の付着に伴うくもりや変色の発生を良好に抑制
した美麗な外観を有する成形体を与え、且つ成形体容器
に収納された電子部品や光学部品に対し紫外光照射を行
った際にくもりや変色の原因となる付着物質を生じな
い、制電性樹脂組成物を提供すること。 【解決手段】 親水性ポリマーを含む熱可塑性樹脂から
なる制電性樹脂に、少量の2価以上の金属塩を配合す
る。
Description
る制電性樹脂組成物の改良に関し、特に汚染物質の付着
性が極めて少なく、安定的に美麗な外観の成形物を与え
る制電性樹脂組成物に関する。
帯電して微粒子を吸引するので、従来汚染物質は気相中
に漂う微粒子を対象としていた。微粒子汚染に関しては
静電気対策をすることが有効であり大別すると、次の方
法で樹脂組成物あるいはその成形物に制電性を付与する
ことが検討されている。 1.帯電防止剤の内部練込み法 2.帯電防止剤の表面塗布法 3.シリコン系化合物の表面塗布法 4.プラスチックス構造の化学的改質法。
久的な帯電防止には充分でなく、表面に存在する帯電防
止剤を洗浄、摩擦等の手段で除去してしまうと制電効果
が失われること。また帯電防止剤が表面にブリードしす
ぎると、ゴミやホコリの粘着がおこること。透明性を損
なうこと、等の欠点がある。
布する方法は、洗浄、摩擦等の手段で除去してしまうと
帯電防止効果が激減してしまい、実用上大きな問題があ
る。
方法は、プラスチックスに親水基を重合したりその他の
方法で導入する方法であるが、一般的に制電効果を発揮
するためにはかなり多量の親水基を含ませる必要があ
り、そのために吸湿によって機械的性質や他の物性に悪
影響を及ぼす。
久的な制電性を付与する方法として、親水性ポリマーと
絶縁性の熱可塑性樹脂からなる制電性樹脂組成物を用い
ることが知られている。親水性ポリマーとしてポリエチ
レンオキシド、ポリエーテルエステルアミド、4級アン
モニウム塩基含有共重合体等を、熱可塑性樹脂としての
ポリスチレン、ABS、PMMA等に配合する方法が紹
介されている(「静電気学会誌」第21巻、第5号21
2〜219頁(1997))。ここで、「永久制電性」
とは、帯電防止剤の塗布あるいは通常の熱可塑性樹脂に
練り込まれた帯電防止剤の成形物表面へのブリードアウ
トにより得られるが、表面のフキ取りにより顕著に低減
される、非持続性の制電性とは異なり、成形物を構成す
る熱可塑性樹脂の内部に安定に保持された帯電防止剤に
より発現され、成形物表面のフキ取りによっても本質的
に低減されない、永久持続的に発現される制電性をい
う。
い態様として、本出願人は、既に、アルキレンオキサイ
ド基を有するゴム状幹重合体のグラフト共重合体を含む
熱可塑性樹脂に、好ましくは更にアニオン系界面活性剤
を配合することにより永久制電性を有し且つ透明性も良
好な熱可塑性樹脂組成物を開発している(特公昭59−
2462号公報)。
発現する作用機構は未だに明確となっていないが、アル
キレンオキサイド基を有する単量体を含む共役ジエン又
はアクリル酸エステルを1成分とするゴム状幹重合体か
らなる親水性ポリマーが加工時にマトリックス成分であ
るグラフト成分樹脂又はグラフト成分樹脂と熱可塑性樹
脂との混合物中に互いにブリッジ状(網目状)となって
分散して電荷の移動経路を形成するとともに、好ましく
は、添加した帯電防止剤としてのアニオン系界面活性剤
が、更に主としてこのゴム状幹重合体に選択的に吸着
し、帯電体が接触すると接触面に反対電荷が主として帯
電防止剤を吸着したゴム状幹重合体相を通って速やかに
蓄積されて帯電体の電荷を打消し中和するためと考えら
れる。
た一連の親水性ポリマーをベースとする制電性樹脂組成
物についても、いくつかの実用上の問題点が見出され
た。例えば、上記本出願人の開発したグラフト共重合体
型の制電性樹脂組成物をはじめとして、制電性樹脂組成
物のいくつかは、制電性に加えて透明性のよい成形体を
与えることを特徴とするが、場合により、ガス状汚染物
質により成形体にくもりや変色による透明性の低下が生
ずることが見出された。特に気相中に通常存在する濃度
の酸性ガスや塩基性ガスにより成形体にくもりが生ずる
問題点が見出された。また、このような制電性樹脂組成
物を成形して得られた容器に収納された電子部品あるい
は光学部品に、くもりや変色を与える場合も見出され
た。
永久制電性を保持し得る成形体を与える制電性樹脂組成
物を提供することを目的とする。
部品や光学部品に対し悪影響を与える付着物を生じさせ
ることのない、収納容器としての成形体を与え得る制電
性樹脂組成物を提供することにある。
ば、上述の目的が、親水性ポリマーをベースとする制電
性樹脂組成物に、組成的改良を加えることにより達成さ
れることが見出された。
(a)親水性ポリマー3〜100重量部、(b)熱可塑
性樹脂0〜97重量部((a)との合計量100重量
部)、及び(c)2価以上の金属塩0.001〜0.5
重量部からなることを特徴とするものである。
明に到達するに至った経緯について、若干付言する。
久制電性樹脂組成物(「静電気学会誌」第21巻、第5
3行212〜219頁(1997)、特公昭59−24
62号公報)について見出されたガス状汚染物質による
成形体のくもりや変色問題は、制電性樹脂組成物に要求
される性能水準の変化により見出されるようになった。
すなわち、帯電による微粒子吸引付着を防止する制電性
樹脂組成物は、粒子状物質の付着が特に問題になる半導
体製造工程のような分野でも使用されているが、半導体
製造工程の進歩により問題になる微粒子の大きさがより
微小になってきた。親水性ポリマーをベースとして良好
な永久制電性を有する樹脂組成物を使用していても、微
小な微粒子による成形体表面のくもりや変色、あるいは
容器状の成形体の場合、その収容物の表面にくもりが生
じ得ることが明らかになった。このくもりや変色は気相
中に漂う微粒子の吸引付着ではなく、気相中に含まれる
ガス状物質が吸着して結晶化することによる微粒子汚染
であることが明らかになってきた。ガス状物質は、非極
性ガス、酸性ガス、塩基性ガスに分類されるが、非極性
ガスに比べて、酸性ガスと塩基性ガスの吸着が微粒子生
成原因になることも明らかになった。特に、制電性容器
に収容される光学部品としてのフォトマスクあるいはそ
の保護膜(ペリクル)はフォトリソグラフィーに供され
るが、照射光が、KrFレーザー光、ArFレーザー
光、更にはF2レーザー光へと紫外領域に短波長化され
るに従って、その化学的活性により、結晶化を伴う微粒
子汚染の問題も顕著となってきた。
水性ポリマーをベースとする永久制電性樹脂組成物につ
いて、種々、組成の改良を検討したところ、樹脂100
重量部に対し、0.001〜0.5重量部という比較的
少量のCa、Al等の2価以上の金属塩を添加すること
により、上述した酸性ガスや塩基性ガスによる成形体表
面のくもりや変色、あるいは容器状成形体の場合、その
内容物の表面のくもり発生を防止する効果が発現するこ
とが見出されて、本発明に到達したものである。
塩の添加効果は、(イ)制電性強化のために、この種の
制電性樹脂組成物に添加されることのある界面活性剤、
特にアニオン系界面活性剤としての2価金属塩(アルカ
リ土類金属塩)、あるいは(ロ)親水性ポリマーの回収
のために塩析剤として加えられ制電性樹脂組成物中に残
存する2価以上の金属塩とは区別されるべきものであ
る。第1に、上記(イ)、(ロ)のような形態で制電性
樹脂組成物に存在する2価以上の金属塩は、通常樹脂1
00重量部に対し、0.5重量部を超える量となるから
である。第2に、(イ)のようにアニオン系界面活性剤
として添加される場合、アルカリ土類金属塩がアルカリ
金属塩と併記される例が多いが、前者は後者に対し付随
的に(ある意味では均等物として)記載されるのが通例
であり、前者が後者に優先して使用されることはほとん
どない。これに対し、本発明で利用する制電性樹脂組成
物成形体の透明性改善効果は、1価の金属塩の添加によ
っては得られない(アニオン系界面活性剤としてアルカ
リ金属塩のみを含む後記比較例1および3参照)2価以
上の金属塩に特有の効果である。その明確な機構は今だ
明らかでないが、1価の金属と比べて、2価以上の金属
は酸性ガスや塩基性ガスが吸着すると錯体を形成するこ
とで、成形物表面でのガス状物質の結晶成長を阻害する
働きがあると推定している。また、(ロ)塩析剤として
の2価以上の金属塩について云えば、本発明においても
親水性ポリマーとして好ましく用いられるアルキレンオ
キサイド基を有するゴム状幹重合体を含むグラフト共重
合体の回収に塩析剤として用いられる2価以上の金属塩
は、これが製品樹脂中に残存して、その後に添加される
アニオン系界面活性剤(c)の吸着を阻害して、永久制
電性の発現を阻害し、ひいては成形品透明性の低下を起
すと記載されていたものである(WO 00/2791
7号公報第4頁19〜23行、第19頁19〜22
行)。しかしながら、本発明者らが更に研究した結果、
(ロ)上述した塩析等により樹脂中に残存するレベル、
あるいは(イ)制電性強化のために加えられるアニオン
系界面活性剤としてのアルカリ(土類)金属塩よりは少
量の2価の金属塩を製品樹脂組成物中に含ませることに
より、上述した酸性ガスや塩基性ガスによる成形体表面
のくもりや変色、あるいは容器状の成形体の場合、その
内容物の表面のくもりの発生、を防止するという本発明
所定の効果が得られたのである。
ス樹脂としての親水性ポリマー(a)は、前記「静電気
学会誌」第21巻第5号212〜219頁(199
7)、特にその第216頁表6に記載されるような永久
帯電防止剤として親水性ポリマーが用いられる。すなわ
ち室温下で固体状態となり、高イオン導電率を有するポ
リマーである。より具体的には、ポリエチレンオキシ
ド、ポリエーテルエステルアミド、ポリエーテルアミド
イミド、エチレンオキシド−エピハロヒドリン共重合
体、アルキレンオキサイド基を有するゴム状幹重合体の
グラフト共重合体等を含むポリエーテル型親水性ポリマ
ー;4級アンモニウム塩基含有(メタ)アクリレート共
重合体、4級アンモニウム塩基含有マレイミド共重合
体、4級アンモニウム塩基含有メタクリルイミド共重合
体等の4級アンモニウム塩型親水性ポリマー;ポリスチ
レンスルホン酸ソーダ等のスルホン酸型親水性ポリマ
ー;カルボベタイングラフト共重合体等のベタイン型親
水性ポリマー;その他高分子電荷移動型結合体親水性ポ
リマーが含まれる。なかでも少なくとも一部が(ポリ)
エチレンオキサイドである(ポリ)アルキレンオキサイ
ド基を有するポリエーテル型親水性ポリマーが好まし
く、なかでも本出願人が開発した前記特公昭54−24
62号公報に記載のものと基本的に同様の、下記の組成
を有するグラフト共重合体が好ましく用いられる。すな
わち、(i)共役ジエン及びアクリル酸エステルから選
ばれた1種以上の単量体50〜95重量%、(ii)4
〜500個のアルキレンオキサイド基を有し且つ好まし
くは4個以上のエチレンオキサイドブロックを有しエチ
レン系不飽和結合を有する1種以上の単量体5〜50重
量%、及び(iii)共役ジエン及びアクリル酸エステ
ルと共重合可能な1種以上のエチレン系不飽和単量体0
〜40重量%からなるゴム状幹重合体5〜95重量部、
に(iv)1種以上のエチレン系不飽和単量体5〜95
重量部(ゴム状幹重合体との合計量が100重量部)、
をグラフト共重合したグラフト共重合体、である。
うな親水性ポリマー(a)3〜100重量部に対し、熱
可塑性樹脂(b)0〜97重量部および上記(a)、
(b)の合計量100重量部に対し、(c)2価以上の
金属塩を最終樹脂組成物に0.001〜0.5重量部含
まれる量で添加することにより得られる。
熱可塑性樹脂(b)としては、基本的には、任意の熱可
塑性樹脂が用いられる、例えばポリエチレン、ポリプロ
ピレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、芳香族
ビニルポリマー、ニトリル樹脂、(メタ)アクリル酸エ
ステルの単独または共重合体からなる(メタ)アクリル
樹脂、ABS樹脂、アクリロニトリル−スチレン樹脂、
ポリカーボネート、ポリアミド系樹脂、ポリエステル系
樹脂、弗素系樹脂等が使用されるが、好ましくは親水性
ポリマーと相溶性のよい樹脂が用いられる。但し、スチ
レン等の芳香族ビニル成分を含むABS樹脂等は、くも
りや変色の原因となるガス状成分を発生し易いので、本
発明の目的には好ましくなく、実質的に芳香族重合体成
分を含まない脂肪族樹脂が好ましく、より好ましい熱可
塑性樹脂(b)の例としては、(メタ)アクリル樹脂と
ニトリル樹脂が挙げられる。
脂組成物の用途に応じて加工性、強度等を考慮して、親
水性ポリマー(a)に加えて適宜用いられるもので、省
略することもできる。親水性ポリマー(a)と熱可塑性
樹脂(b)の混合物として用いられる場合、親水性ポリ
マー(a)は、(a)と(b)の合計量100重量部に
対し、3重量部以上、好ましくは5〜60重量部、存在
させることにより、必要な制電性を確保することが好ま
しい。また親水性ポリマー(a)として、前記グラフト
共重合体(a)を用いる場合、共重合体中のゴム幹状重
合体(a)が、(a)と(b)との合計量100重量部
に対し、5〜80重量部、特に10〜60重量部含まれ
ることが好ましい。
基性ガスによる成形体表面のくもりや変色、あるいは容
器状の成形体の場合、その内容物表面のくもりを防止す
る目的で用いられる。本発明の目的のためには、親水性
ポリマー(a)と熱可塑性樹脂(b)との合計量100
重量部当り、0.001〜0.5重量部、好ましくは
0.001〜0.3重量部、更に好ましくは0.001
〜0.1重量部、の割合で用いられる。0.001重量
部未満では、くもり防止効果が乏しく、また0.5重量
部を超えて用いると、それ自身がブリードアウトする問
題が生じる。
時、混合時、成形時等のいずれでもよい。例えば、混合
時や成形時に添加する場合、2価以上の金属塩(c)を
例えば10重量%濃度で含有するマスターバッチを、樹
脂の合計量100重量部当り、0.01〜5重量部の割
合で添加すればよい。
(c)の例としては、塩化マグネシウム、塩化カルシウ
ム、オレイン酸マグネシウム、ステアリン酸カルシウム
等のアルカリ土類金属塩類や、塩化アルミニウムやステ
アリン酸アルミニウム等のIIIA族金属塩類や、酸化
チタンや酸化亜鉛や酸化錫等の金属酸化物が挙げられ
る。これら金属塩が酸性ガスや塩基性ガスによるくもり
の生成を防止する明確な機構は今だ明らかでないが、前
述したようにこれら2価以上の金属塩は、酸性ガスや塩
基性ガスを吸着した場合、錯体を形成することで成形物
表面でのガス状物質の結晶成長を阻害する働きがあると
推定している。
(a)に吸着させて、永久制電性を向上させるために用
いるものであり、省略することもできる。良好な耐熱性
を与えるために、JIS−K7120に定める熱重量減
少開始温度(以下「Tng」と略記することがある)が
250℃以上のアニオン系界面活性剤(d)が好ましく
用いられる。熱重量減少開始温度は、アニオン系界面活
性剤の構造とある程度の相関性が認められており、熱重
量減少開始温度が250℃以上であるアニオン系界面活
性剤の例としては、アルキルベンゼンスルホン酸塩、ア
ルキルナフタレンスルホン酸塩、脂肪酸塩、パーフルオ
ロアルキルスルホン酸塩、トリフルオロメタンスルホン
酸塩、パーフルオロアルキルカルボン酸塩などが挙げら
れる。
オン系界面活性剤を用いて得られた制電性樹脂組成物
は、大量生産等により成形加工条件が酷しくなった際
に、成形加工時に、おそらくはアニオン系界面活性剤の
分解や飛散等により、成形体のくもりや変色、アニオン
系界面活性剤の減少による制電性の低下等が起り易い。
℃未満となるアニオン系界面活性剤の例としては、アル
キル硫酸エステル塩、こはく酸エステルスルホン酸塩、
燐酸エステル塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテル
硫酸塩、ポリオキシエチレンアルキルフェノールエーテ
ル硫酸塩等が挙げられる。
選択もアニオン系界面活性剤の帯電防止剤としての効果
に関係があり、本発明の目的のためには、原子番号が1
9(カリウム相当)以上であるアルカリ金属塩は、比較
的少量の添加で必要な制電性が得られるので、親水性ポ
リマー(a)および熱可塑性樹脂(b)とのブレンド時
間の短縮、成形品物性(特に耐温水白化性)の向上等の
点で好ましく用いられる。
(a)と熱可塑性樹脂(b)との合計量100重量部当
り、0.1〜5重量部の割合で用いることが好ましい。
0.1重量部未満では、制電性改良効果が乏しく、また
5重量部を超えて用いると成形体表面へのブリードアウ
トが顕著となり、成形体の特性上好ましくない。
(a)〜(d)以外にも、必要に応じて紫外線吸収剤、
熱安定剤、酸化防止剤、滑剤、充填剤、染顔料などの添
加剤を加えることができ、これらの添加は、重合時、混
合時、成形時等の何れでもよい。
溶媒に分散させて塗布型あるいはフィルム成形性の分散
液とすることもできる。有機溶媒としては、好ましくは
ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、
ジクロロメタン、クロロホルム等の含塩素化合物類、ジ
オキサン、テトラヒドロフラン等のエーテル類、アセト
ン、メチルエチルケトン等のケトン類、酢酸エチル、酢
酸ブチル等のエステル類、ジメチルホルムアミド、N−
メチルピロリドン等の含窒素化合物類が良い。また2種
類以上の溶媒を混合して使用しても良い。
60重量%、更には5〜30重量%程度が好ましい。
法、押出成形法、圧縮成形法あるいは真空成形法等の通
常の加工方法により、シート、フィルム、管、繊維、異
形成形体、二色成形体等の任意の成形体に加工可能であ
る。また有機溶媒分散液を使用して、刷毛塗り法、スプ
レー法、キャスト法、ロール法、あるいはスピン法等の
通常の塗工方法により、任意の成形体表面に塗装可能で
ある。
クス製品、光学製品、家電製品、OA機器製品、半導体
製造装置関連製品、フォトリソグラフィー関連製品、液
晶・PDP・関連製品等である。フォトマスク(レチク
ルを含む)あるいはその保護膜としてのペリクルのケー
ス、カラーフィルターケース、ウエハキャリア、ウエハ
カセット、トートビン、ウエハーボート、ICチップト
レー、ICチップキャリア、IC搬送チューブ、ICカ
ード、テープ、リールパッキング、各種ケース、保存用
トレー、保存用ビン、軸受や搬送ローラー等の搬送装置
部品、磁気カードリーダー、OA機器分野では、記録装
置用転写ロール、転写ベルト、現像ロール、記録装置用
転写ドラム、プリント回路基板カセット、ブッシュ、紙
及び紙幣搬送部品、紙送りレール、フォントカートリッ
ジ、インクリボンキャニスター、ガイドビン、トレー、
ローラー、ギア、スプロケット、コンピュータ用ハウジ
ング、モデムハウジング、モニターハウジング、CD−
ROMハウジング、プリンターハウジング、コネクタ
ー、コンピュータースロット、通信機器分野では、携帯
電話部品、ベーガー、各種摺動材、自動車分野では内装
材、アンダーフード、電子電気機器ハウジング、ガスタ
ンクキャップ、燃料フィルター、燃料ラインコネクタ
ー、燃料ラインクリップ、燃料タンク、機器ビージル、
ドアハンドル、各種部品、その他の分野では、電線及び
電力ケーブル被覆材、電線支持体、電波吸収体、床材、
カーペット、防虫シート、パレット、靴底、テープ、ブ
ラシ、送風ファン、などが挙げられる。なかでも、くも
り等の付着物を極度に嫌う電子部品あるいは、光学部品
のケース成形体として用いることが好ましい。
的に説明する。なお、実施例中の「部」は「重量部」を
意味し、記載される物性は、代表的に以下の方法で測定
したものである。
IS−K7120に準拠して、予め80℃で予備乾燥し
た試料8mgを、窒素雰囲気下、昇温速度10℃/分の
条件で、加熱して、熱天秤測定機TG50(メトラー
製)により測定した。
911に準拠して、温度23℃、湿度23%RHで3日
間調湿して、極超絶縁計SM−10E(東亜電波工業
製)で測定した:成形体の制電性は、材料組成物の体積
固有抵抗率(Ω・cm)と相関があり、ここでは体積固
有抵抗率が1012以下であれば制電性が優れている;1
012を超え1013以下では、制電性が劣る;1013を超
えると制電性がない、と判定している。
に準拠して、ヘーズメーター「TC−H3DP」(東京
電色製)で測定した。
で拭取り、付着物について、「IR−500」(日本分
光製)を用いて、FT−IR分析を行った。
枚収納用縦型、概略寸法:底面160mm×80mm×
160mmH、樹脂量:約510g)に、1枚のフォト
マスク用石英ガラス板(概略寸法:152L×152W
×6.4t(mm)を収納し、40℃で3日間加熱放置
した。その後、概石英ガラスを取出して、擬似エアー
(純品N279%、O221%の混合物)流通下、ArF
レーザー光(波長:193nm)を1mJ/cm2/パ
ルスで、計20kJ/cm2の線量を石英ガラスに照射
した。次いで、レーザー光照射後の石英ガラスの表面状
態を目視観察し、更に石英ガラス表面をアルミ箔で拭取
り、付着物について、上記(iv)と同様に、「IR−
500」(日本分光製)を用いて、FT−IR分析を行
った。
均粒子径80nmのゴム状幹重合体のラテックスが得ら
れた。(ロ)上記ゴム状幹重合体(固形分として65
部)のラテックスにエチレン系不飽和単量体(iv)混
合物として、 メタクリル酸メチル 35 部 ノルマルオクチルメルカプタン 0.3 部 t−ブチルハイドロパーオキサイド 0.02 部 ホルムアルデヒドナトリウムスルホキシレート 0.02 部 オレイン酸カリウム 1.0 部 脱イオン水 50 部 を添加し、窒素置換し、60℃で10時間撹拌グラフト
共重合した。このラテックスを取出し、塩酸水溶液(濃
度0.7重量%)200部を添加し析出させた。脱水洗
浄後、含水率43重量%で湿った粉末状のグラフト共重
合体が得られた。これを気流式瞬間乾燥機により熱風温
度100℃の条件で乾燥することにより収率97%で白
色粉末の親水性ポリマー1(a−1)(グラフト共重合
体)が得られた。 (親水性ポリマー2(a−2))屈折率1.51の市販
ポリエーテルエステルアミド(三洋化成工業(株)社製
「ペレスタット6321」)を使用した。 (親水性ポリマー3(a−3))屈折率1.49の市販
4級アンモニウム塩基含有(メタ)アクリレート共重合
体(第一工業製薬(株)社製「レオレックスAS−17
0」)を使用した。
の粉末50部(ゴム状幹重合体量32.5部)に、屈折
率1.49のメタクリル樹脂(住友化学製「スミペック
スB−MHG」)50部と、熱重量減少開始温度(Tn
g)が430℃のドデシルベンゼンスルフォン酸カリウ
ム(アニオン系界面活性剤)1.0部と塩化カルシウム
0.05部(特級試薬、和光純薬工業製)、をヘンシェル
ミキサーにて混合した。次にこの粉末をシリンダー径2
0φの平行二軸押出し機(東洋精機製「ラボプラストミ
ル」)でペレット化した。
「IS−80EPN」)に、平板金型(100L×50
W×3t(mm))を取り付け、シリンダー温度220
℃、金型温度40℃、シリンダー内樹脂滞留時間40秒
で成形した。得られた平板状成形体を超純水中に入れ超
音波洗浄15分行い、続いて40℃のオーブンで30分
乾燥後に体積固有抵抗率、透明性を測定した。この平板
を空気気流のグローブボックスに1週間放置した後に、
体積固有抵抗および透明性の測定ならびに表面付着物の
FT−IR測定を行った。
アリン酸カルシウム0.05部(一級試薬、関東化学製)
とした以外は、実施例1と同様な方法で評価した。
アリン酸アルミニウム0.05部(一級試薬、関東化学
製)とした以外は、実施例1と同様な方法で評価した。
は、実施例1と同様な方法で評価した。
果をまとめて次表1に示す。
実質的に含まない比較例1の組成物を用いて得られた成
形体は、1週間のグローブボックス空気流中放置によ
り、アミド化合物の表面付着が原因と考えられる曇価の
上昇(および透過率の低下)を起したが、2価以上の金
属塩を添加して得られた実施例の組成物を用いて得られ
た成形体は、いずれもこのような光学特性の低下を起さ
ずに美麗な外観を維持した。
ベンゼンスルホン酸カリウムを除いた制電性樹脂組成物
を、実施例1と同様にしてペレット化した。
フォトマスクケース金型を取り付け、シリンダー温度2
00℃、金型温度40℃、シリンダー内樹脂滞留時間4
0秒で成形した。得られたフォトマスクケースの一部を
切り取った試料(50L×50W×3.5t(mm))
について、実施例1と同様に、超純水で表面を洗い、4
0℃のオーブンで30分乾燥したのち、体積固有抵抗率
測定を行った。
用いて、前記紫外レーザー光照射試験を行い、照射後の
石英ガラス板上の付着物(くもり成分)の有無の判定お
よび付着物のFT−IR分析を行った。
を、以下の実施例および比較例についての結果とまとめ
て、後記表2に記す。
のドデシルベンゼンスルホン酸カリウム(アニオン系界
面活性剤、Tng=430℃)を加えて得た制電性樹脂
組成物のペレット(すなわち、実施例1と実質的に同じ
ペレット)を用いて、実施例4と同様にして、フォトマ
スクケースの成形および評価を行った。
ベンゼンスルホン酸カリウムの代りに1.0部(同量)
のノナフルオロブタンスルホン酸カリウム(アニオン系
界面活性剤、Tng=460℃)を用いて得た制電性樹
脂組成物のペレットを用いて、実施例4と同様にして、
フォトマスクケースの成形および評価を行った。
シウムの代りに0.05部(同量)のステアリン酸カル
シウム(一級試薬、WAKO純薬製)を用いて得た制電
性樹脂組成物のペレットを用いて、実施例4と同様にし
て、フォトマスクケースの成形および評価を行った。
05部(同量)のステアリン酸アルミニウム(一級試
薬、WAKO純薬製)を用いる以外は、実施例5と同様
にして得た制電性樹脂組成物のペレットを用いて、実施
例4と同様にして、フォトマスクケースの成形および評
価を行った。
テルエステルアミド)のペレット12部に、屈折率1.
51の透明ABS樹脂(東レ製「トヨラック900」)
88部と、塩化カルシウム0.05部(特級試薬、WA
KO純薬製)を加え、リボンブレンダーにて混合した。
得られた制電性樹脂組成物のペレットを用いて、実施例
4と同様にして、フォトマスクケースの成形および評価
を行った。
88部(同量)の屈折率1.51の透明ニトリル樹脂
(三井化学製「バレックス3000N」)を用いる以外
は実施例9と同様にして得た制電性樹脂組成物のペレッ
トを用いて、実施例4と同様にして、フォトマスクケー
スの成形および評価を行った。
アンモニウム塩基含有(メタ)アクリレート共重合体)
の粉末10部に、屈折率1.49のメタクリル樹脂(住
友化学製「スミペックスB−MHG」)90部と、塩化
カルシウム0.05部(特級試薬、WAKO純薬製)、
をヘンシェルミキサーにて混合した。得られた制電性樹
脂組成物のペレットを用いて、実施例4と同様にして、
フォトマスクケースの成形および評価を行った。
は、実施例4と同様にして得られた制電性樹脂組成物の
ペレットを用いて、実施例4と同様にして、フォトマス
クケースの成形および評価を行った。
は、実施例5と同様にして得られた制電性樹脂組成物の
ペレットを用いて、実施例4と同様にして、フォトマス
クケースの成形および評価を行った。
は、実施例9と同様にして得られた制電性樹脂組成物の
ペレットを用いて、実施例4と同様にして、フォトマス
クケースの成形および評価を行った。
は、実施例10と同様にして得られた制電性樹脂組成物
のペレットを用いて、実施例4と同様にして、フォトマ
スクケースの成形および評価を行った。
は、実施例11と同様にして得られた制電性樹脂組成物
のペレットを用いて、実施例4と同様にして、フォトマ
スクケースの成形および評価を行った。
評価結果をまとめて次表2に示す。
性樹脂組成物(実施例4〜11)は、いずれも制電性が
あり(体積固有抵抗率が低く)、且つその成型物に石英
ガラス板を保管した後に石英ガラス板にArFレーザー
光を照射しても硫酸アンモニウムからなるくもりが生じ
ていない。
組成物(比較例2〜7)は、いずれも制電性(低体積固
有抵抗率)はあるが、その成型物に石英ガラス板を保管
した後に石英ガラス板にArFレーザーを照射した場合
硫酸アンモニウムからなるくもりが生じている。
ポリマーを含む熱可塑性樹脂に、少量の2価以上の金属
塩を混合することにより、工業的に効率良く製造可能で
あり、且つ空気中の酸性ガスや塩基性ガスによるくもり
や変色のない安定的に美麗な外観と永久制電性を保持す
る成形体を与え得る制電性樹脂組成物が得られる。また
該成形体容器中に保存した光学部品等に紫外レーザー光
を照射した際にも、くもりや変色の原因となる結晶性物
質の発生の少ない制電性樹脂組成物が得られる。
Claims (13)
- 【請求項1】 (a)親水性ポリマー3〜100重量
部、 (b)熱可塑性樹脂0〜97重量部((a)との合計量
100重量部)、及び(c)2価以上の金属塩0.00
1〜0.5重量部 からなる制電性樹脂組成物。 - 【請求項2】 親水性ポリマー(a)が、ポリアルキレ
ンオキサイドを含む重合体からなる請求項1の制電性樹
脂組成物。 - 【請求項3】 親水性ポリマー(a)は下記グラフト共
重合体からなる請求項1または2に記載の制電性樹脂組
成物。 (i)共役ジエン及びアクリル酸エステルから選ばれた
1種以上の単量体50〜95重量%、 (ii)4〜500個のアルキレンオキサイド基を有し
エチレン系不飽和結合を有する1種以上の単量体5〜5
0重量%、及び(iii)共役ジエン及びアクリル酸エ
ステルと共重合可能な1種以上のエチレン系不飽和単量
体0〜40重量%からなるゴム状幹重合体5〜95重量
部、に(iv)1種以上のエチレン系不飽和単量体5〜
95重量部(ゴム状幹重合体との合計量が100重量
部)、をグラフト共重合したグラフト共重合体。 - 【請求項4】 更に界面活性剤(d)を含む請求項1〜
3のいずれかに記載の制電性樹脂組成物。 - 【請求項5】 界面活性剤(d)が、アルキルベンゼン
スルホン酸塩、アルキルナフタレンスルホン酸塩、パー
フルオロアルキルスルホン酸塩、トリフルオロメタンス
ルホン酸塩、パーフルオロアルキルカルボン酸塩および
脂肪酸塩からなる群より選ばれる少なくとも一種のアニ
オン系界面活性剤である請求項1ないし4のいずれかに
記載の制電性樹脂組成物。 - 【請求項6】 アニオン系界面活性剤(d)が、原子番
号19(カリウム相当)以上のアルカリ金属の塩であ
り、JIS K7120で定義される熱重量減少開始温
度が250℃以上である請求項5に記載の制電性樹脂組
成物。 - 【請求項7】 熱可塑性樹脂(b)が脂肪族樹脂である
請求項1〜6のいずれかに記載の制電性樹脂組成物。 - 【請求項8】 請求項1〜7のいずれかに記載の制電性
樹脂組成物を有機溶媒中に分散してなる分散液。 - 【請求項9】 請求項1〜7のいずれかに記載の制電性
樹脂組成物を成形してなる成形体。 - 【請求項10】 耐熱分解性である請求項9に記載の成
形体。 - 【請求項11】 耐紫外線分解性である請求項9または
10に記載の成形体。 - 【請求項12】 電子部品または光学部品の収納容器で
ある請求項8〜10のいずれかに記載の成形体。 - 【請求項13】 光学部品としてのフォトマスクまたは
その保護膜の収納容器である請求項12の成形体。
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