JP2003168901A - 電子部品装置 - Google Patents
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Abstract
能な電子部品装置を実現する。 【解決手段】積層基板1の表面に、第1の電子部品素子
11を収納するキャビティCが形成され、かつ第2の電
子部品素子を搭載し、前記第1の電子部品素子を第1の
金属蓋体14で覆うとともに、積層基板1の表面全体を
第2の金属蓋体14で覆った電子部品装置において、前
記第1の電子部品素子11が、キャビティCから突出す
るように配置され、筐体状の第1の金属蓋体14で被覆
されている。
Description
られる電子部品装置に関するものであり、特に、弾性表
面波素子などの周囲に影響を受けやすい部品を内部に封
止した構造に関するものである。
は、ますます小型化、薄型化、高機能化が求められてい
る。この要求に対応するため、複数の電子部品素子を搭
載し機能を持たせた電子部品装置が増えてきている。
図中において31は積層基板、32は誘電体層、34は
入出力電極、35、36は接地電極、37は外部電極、
38はGNDパターン、39は外部端子、40は金属蓋
体、41は第1の電子部品素子である弾性表面波素子、
42は櫛型電極、43は金属バンプ、46は第2の電子
部品素子(以下、単に電子部品素子という)、47は配
線パッド、48は平板状のリッドである。ここで、第1
の電子部品素子は、弾性表面波素子41などであり、動
作信頼性確保のため気密封止を必要とする電子部品素子
である。これらの気密封止を必要とする電子部品素子は
キャビティCと呼ばれる小室に収納され、キャビティ開
口は、゛リッド48や第1の金属蓋体44などで接着封
止していた。なお、ここでの接着は半田や銀蝋を使う蝋
付けや有機・無機の接着剤を用いた接着をいう。図5の
構造は、キャビティCを積層基板31の上面に形成した
構造である。このキャビティC内に弾性表面波素子41
をフェイスダウンで取り付け、リッド48でキャビティ
Cの開口を密閉している。この構造ではリッド48の上
面には電子部品素子46を配置することができないた
め、積層基板上31に大きなデッドスペースが発生し、
その小型化が難しくなる。
と積層基板の下面のGNDパターン38が接近するた
め、弾性表面波素子41の特性に乱れが発生することも
ある。また、積層基板31中に、キャビティCが存在す
るため、内部配線を自由に設けることができず、逆に内
部配線を自由に設けるため積層基板31を構成する誘電
体電を多く積層しなくてはならず、積層基板31が厚く
なり電子部品装置全体の高さを増してしまうという問題
を含んでいた。
31の下面であるマザーボード実装面から形成した構造
である。このキャビティC内に弾性表面波素子141を
フェイスダウンで取り付け、リッド148でキャビティ
Cの開口を密閉していた。このとき、積層基板131の
表面においてはデッドスペースがなくなり、電子部品素
子146を自由に配置できるため、小型化に有利であ
る。しかし、弾性表面波素子141の櫛型電極142と
電子部品素子146が接近するため相互に影響を及ぼし
あい特性に乱れが発生することもある。
存在するため、内部配線の設計の自由度には制約があ
り、これを解消するために積層基板131が厚くしなく
てはならなかった。
ーンが形成できなくなりマザーボードからの影響も受け
やすくなってしまう。図7の構造は図5、図6の問題点
を克服するためキャビティが形成されていない積層基板
231を用いることも考えられる。これによって内部配
線245が設置できるようになる。弾性表面波素子24
1と接続する入出力電極234と、弾性表面波素子24
1を覆う第1の金属蓋体244が接合される接地電極2
35とが干渉しないように、入出力電極234と接地電
極235の間隔を大きくとらなければならない。それゆ
え、第1の金属蓋体244の開口形状が大きくなり、積
層基板231上で大きく面積を占有してしまい、電子部
品素子246の設置スペースを圧縮してしまう。
の入出力電極234は、接地電極235と短絡しないよ
うに、入出力電極234をビアホール導体で積層基板2
31内に導出させなくてはならず、入出力電極234か
らの引出し導体における設計の自由度が失われていた。
置の構造においては、キャビティCの構造や電気特性を
満たすための積層基板31内部の内部配線および内部ス
トリップラインの存在のため、これ以上の小型化、低背
化は困難であるという問題点があった。
うアンテナスイッチモジュールやフィルタでは送信時と
受信時の通過電力に大きな差があるため、性能と寸法形
状は反比例の関係にあって、電力の損失を抑えれば抑え
るほど形状寸法は大きくなりアンテナスイッチモジュー
ルやフィルタの小型化、低背化の妨げになる。逆に、移
動体通信機の寸法やデザインの制約上からのアンテナス
イッチモジュールやフィルタを搭載する電子部品装置の
小型化は、電子部品装置の電気特性が不十分なものとな
り、それらの通信機器は充分な性能を発揮することが出
来なくなる。
れたものであり、第1の電子部品素子の特性が安定し、
且つ小型化、低背化を図ることができる電子部品装置を
提供するものである。
ビティを有し、複数の誘電体層を積層して形成される積
層基板と、前記キャビティ内に配置された第1の電子部
品素子と、前記積層基板表面に搭載された第2の電子部
品素子と、前記第1の電子部品素子を被覆する第1の金
属蓋体と、前記積層基板の表面側全体を被覆する第2の
金属蓋体とから成る電子部品装置において、前記第1の
電子部品素子は、その素子上面が前記キャビティ開口か
ら突出している電子部品装置である。
た筐体状を成しており、且つ前記キャビティの周囲に
は、前記第1の金属蓋体の開口部と接合される金属蓋体
取着用段差部が形成されていることを特徴とする請求項
1記載の電子部品装置である。
品素子である弾性表面波素子がキャビティの内に配置さ
れており、この第1の電子部品素子が筐体状の第1の金
属蓋体で被覆されている。しかも、第1の電子部品素子
の上面がキャビティの開口、即ち、積層基板の表面から
突出して配置されている。
部品素子の上面と第1の金属蓋体の内面との間を接触し
ない程度まで近接させ、キャビティの深さを非常に浅く
することができる。そして、キャビティの深さが浅くな
る分、キャビティの底面領域の積層基板の厚みが厚くな
り、従来の図5に示す電子部品装置に比較して、積層基
板内に内部配線パターンを自由にひき回すことができ、
配置でき、同時に、電子部品装置のインピーダンスを整
合させて電気特性を満たす設計を施すことができる。
比較して、キャビティの深さ分だけ電子部品装置の小型
化、低背化を図ることができる。同時に第1の電子部品
素子をキャビティ内に収容しているため、第1の電子部
品素子と第2の電子部品素子との相互干渉を有効に抑え
ることができる。
に搭載され、この第2の電子部品素子を含む積層基板の
表面領域が第2の金属蓋体で被覆されている。そして、
積層基板から突出する第1の金属蓋体の突出量(上面の
高さ)が、第2の電子部品素子の高さより高く、且つ第
2の第2の金属蓋体の高さと実質的に同一またはそれ以
下とする。このようにすれば、第2の電子部品素子を被
覆する第2の金属蓋体内に、第1の金属蓋体を配置され
ることができるため、電子部品装置が大型化することが
ない。また、両金属蓋体を電気的に接合することによ
り、一方の金属蓋体のみをシールドしておけば、全体を
シールドさせることができる。
面に基づいて説明する。
実施例を示した断面図である。図中において1は積層基
板、2、3は積層基板の一部を成し表面側に積層される
誘電体層、4は入出力電極、5、6は接地電極、7は外
部電極、8はGNDパターン、9は外部端子、10は第
2の金属蓋体(以下、第1の金属蓋体と区別するため金
属キャップという)、11は弾性表面波素子、12は櫛
型電極、13は金属バンプ、14は筐体状の第1の金属
蓋体、15は内部配線パターン、16は電子部品素子、
17は配線パッド、18はダム、19は結合部、Cはキ
ャビティである。
いて説明する。積層基板1は本実施例では1000℃以
下で焼成可能な低温焼成材料からなる複数の誘電体層が
積層されて構成されている。特に、誘電体層2、3は、
キャビティCを構成する誘電体層である。そして、積層
体1の内部は、内部配線パターン15が形成されて、さ
らに、図示していないがビアホール導体が形成されてい
る。
ート上に、伝送線路等となる内部配線パターン15を導
体ペーストの印刷により形成し、これらを順次積層し、
焼成することにより形成される。図1において、誘電体
層2、3はキャビティCを形成するため、キャビティC
の領域に貫通孔が形成されている。特に、キャビティC
の底面を成すグリーンシート上には、弾性表面波素子1
1がフィスダウンボンディンクされる入出力電極4及び
この入出力電極4から導出する内部配線パターン15を
形成しておく必要がある。また、誘電体層2となるグリ
ーンシートの貫通孔開口周囲には、筐体状の第1の金属
蓋体14が接合される接地電極5を形成しておく必要が
ある。さらに、誘電体層3となるグリーンシートの主面
側には、金属キャップ10が接合される接地電極6や電
子部品素子16が接合される配線パッド17を形成して
おく必要がある。これらの積層基板1を構成する誘電体
層は、例えば、全部で9層となる。尚、焼成温度は90
0℃、焼成後の積層基板1は誘電率が15〜19であ
り、内部配線パターン15は幅が100〜150μm、
厚みが5〜25μm位であり、各誘電体層の厚みは50
〜100μm位であり、キャビティCの深さは、100
〜150μm程度でである。
部端子9を形成する。例えば、導電性ペーストの塗布ま
たは印刷を行いし焼き付け下後、ニッケル/金メッキを
施す。尚、導電性ペーストは、例えば、Ag−Pt系の
ペーストを用いている。また、上述した入出力電極4、
接地電極5、6、外部電極7、外部端子9、内部配線パ
ターン15(ストリップライン及びコンデンサ電極)を
形成するペーストとしてAg乃至Ag−Pt系の他に、
Cu系のペーストであっても良い。また、積層基板を構
成する誘電体材料は1000?以下で焼成可能な低温焼
成材料であれば良く、例えばアルミナガラス系の材料を
用いることができる。第1の電子部品素子である弾性表
面波素子11は、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウ
ム、ほう酸リチウム、または水晶などの圧電基板上に、
例えばアルミニウムの櫛型電極12を被着形成する。櫛
型電極12を被着形成と同時に入出電極を形成する。こ
の入出力電極上には、金やアルミナニウムなどのバンプ
13が形成されている。
ばリチウムタンタレート単結晶板を用い、従来のフォト
リソグラフィ技術を用いて、圧電基板の一方主面側にア
ルミニウムを主成分とする金属からなる櫛形電極12を
形成する。尚、弾性表面波素子12とは共振素子、フィ
ルタ素子などであり、その用途も例えば移動体通信機器
の高周波回路の段間フィルタとして用いられる。このよ
うな弾性表面波素子11は、金属バンプ13を介して超
音波を印加してフェイスダウンで取り付ける。
11は信頼性確保のため気密封止を行う。例えば、筐体
状の第1の金属蓋体14で封止している。第1の金属蓋
体14の材質は特に制限はないが、鉄、鉄ニッケル合
金、コバー、SUSなどが望ましい。本実施例で用いた
ものは45Ni−Fe合金で下地に電解Niメッキ(1
〜5μm)その上にAuフラッシュメッキ(0.01〜
0.05μm)が施されている。また、封止に用いる封
止材は、Au−Sn、半田、銀蝋などの蝋材や低融点ガ
ラス、樹脂系接着剤などの中から適宜選択することが出
来る。ここで、金属蓋体取着用段差部は、キャビティの
開口の周囲に形成される接地電極5が形成されている部
位である。即ち、誘電体層2と誘電体層3の貫通孔形状
の変位によって露出する誘電体層2部分となる。
13を含めて、素子の高さは、例えば300〜400μ
m程度である。従って、深さが50〜150μm程度の
キャビティCに配置した時、その差の150〜350μ
m程度の突出量で弾性表面波素子11の上面部がキャビ
ティCの開口、即ち、積層基板1の表面から突出するこ
とになる。そして、第1の金属蓋体14は筐体状を成
し、弾性表面波素子11と第1の金属蓋体11の内面と
の間に、バンプ13の接合状態が変位しても短絡するこ
とがない程度の間隙が形成されている。第2の電子部品
素子16は、弾性表面波素子11とともに、所定動作を
達成するための回路構成部品である。例えば、コンデン
サ部品、抵抗部品、コイル部品、バリキャップダイオー
ド、トランジスタなとが例示できる。この電子部品素子
16は、積層基板1の表面に形成した配線パッド17に
半田などを介して接合される。ここで、弾性表面波素子
11の入出電極パッド4が形成される位置と、配線パッ
ド17が形成さている位置とが、積層基板1の厚み方向
で変位している。これにより、両者の間隔をはなすこと
ができ、相互干渉を抑えることができる。
子17の全体、即ち、積層基板の表面側の上部には、金
属キャップ10によって覆われている。具体的には、金
属キャップ10は接地電極6に接合されるため、全体が
シールドケースとして機能する。
を示す。具体的には、アンテンナモジュールに用いられ
る。図2において、アンテナ端子24から入った受信信
号は、先ずダイプレクサ20と呼ばれるハイパスフィル
タとローパスフィルタによって分波される。ハイパスフ
ィルタで選択された信号は弾性表面波素子21でより不
要な周波数成分が取り除かれPCS受信端子25に出力
される。また、ローパスフィルタで選択された信号は、
静電サージ信号対策用のLCフィルタでサージ電圧を遮
断した後、弾性表面波素子21でより不要な周波数成分
が取り除かれGSM受信端子28に出力される。また、
PCS、GSMの両信号帯域とも送信と受信の切り替え
は送受切り替え端子27に加える電圧のON/OFFで
行う。このうよな回路を電子部品装置として適用する際
には、積層基板1の外部端子として、積層基板1の側面
もしくは下面で構成する。そして、ダイプレクサで分波
されたPCSの信号とGSMの信号はそれぞれ干渉しな
いように別面の端子に配置することが望ましい。そのた
め、ハイパスフィルタで選択されたPCS信号の内部配
線パターン15は、アンテナ端子及びGSMの送受の端
子のある面の向かい側の面の端子に導かれる。このと
き、この内部配線パターン15はキャビティCの下を通
過する。
達損失を低減し、その他の回路やキャビティC内の弾性
表面波素子11と干渉しないようにしなければならな
い。
1の櫛形電極12と電磁的な誘導現象を起こしてしまう
ので、内部配線パターン15と櫛形電極12の間の物理
的な距離を0.5mm程度あけなければならない。ま
た、内部配線パターン15とGNDパターン8の間の距
離によって伝達損失特性を決めてしまう。内部配線パタ
ーン15とGNDパターン8はマイクロストリップライ
ンを形成しているので、内部配線パターン15とGND
パターン8の間の距離は内部配線パターン15の特性イ
ンピーダンスを決めてしまうためである。このため、そ
れぞれの距離を0.5mm程度設けることが最適であっ
た。
弾性表面波素子11の櫛形電極12とGNDパターン8
の中間に配置するのがよく、目標とする特性を確保でき
る。また、積層基板1が薄型化しても、内部配線パター
ン15の配置位置は弾性表面波素子11の下面、すなわ
ちキャビティCの底面とGNDパターン8の層間距離を
4:6から6:4に分ける範囲の距離に配置することが
有効である。
において、符号は図1と同一のものについては同一の符
号を示している。この第2の実施例においては、第1の
実施例では別の層(誘電体層2と誘電体層3)に配置し
ていた接地電極5、6を、電子部品素子16がある同一
の層に配置したものである。内部配線パターン15の配
置などは第1の実施例と変わりはない。
の開口周囲の積層基板1の表面領域に接地電極5を介し
て接合されている。尚、金属蓋体取着用段差部として
は、キャビティ開口を取り囲むように形成されたダム部
材18によって形成される。即ち、ダム部材18にと取
り囲まれたキャビティ開口周囲が金属蓋体取着用段差部
となり、接地電極5が形成されている。このダムは第1
の金属蓋14の搭載時のガイドとなるばかりでなく、接
地電極5と第1の金属蓋14を固定するための蝋材や接
着剤が漏出するのを防ぎ、キャビティC内の充填物の漏
出を防ぐ役目をする。このためダムの材質は、この役目
を果たすものなら良く、金属や樹脂材などで別途作成し
装着してもよく、積層基板1がセラミックならばカバー
ガラス、ガラスエポキシ等ならば半田レジストを積層し
たものでもかまわない。以上のように構成された第2の
実施例における電子部品装置は、ダム18を設け、誘電
体層3を1層減らすことができるので第1の実施例に較
べてより低背化でき、積層基板1のコストを抑えること
が出来る。また、第1の金属蓋体14の上面(頭頂部)
を、金属キャップの天井の内面に接触させることにより
低背化できる。このとき、電気的及び機械的に結合でき
れば、第1の金属蓋体14と金属キャップを同一電位に
することができるため、外部からのノイズに対して耐性
を高めることができる。第1の金属蓋体14と金属キャ
ップは、電気的及び機械的に結合できればよく半田や蝋
材による結合のほかにレーザーやスポットによる溶接で
もかまわない。
に結合されていれば、第1の金属蓋体14と金属キャッ
プは同一電位であるので、接地電極6を省略しても電子
部品装置の性能は変わらない。そのため、第1の実施例
に示した電子部品装置よりも工数の掛からず、さらに低
背化された超小型の電子部品装置を得ることができる。
4(a)は第3の実施例を示す斜視図、図4(b)は断
面図である。図中において、符号は図1と同一のものに
ついては同一の符号を示している。この実施例は、金属
キャップ10の第1の金属蓋体14の上面(頭頂部)に
あたる部分を開口させ、第1の金属蓋体14の上面を金
属キャップ10と実質的に同一面にしたものであり、よ
り低背化できる。また、両者を結合部19によって接続
することによって、第1の金属蓋体14と金属キャップ
10を同一電位にすることができるため、外部からのノ
イズに対して耐性を高めることができる。このとき結合
部19は、電気的及び機械的に結合できればよく半田や
蝋材による結合のほかにレーザーやスポットによる溶接
でもかまわない。
が積層して成る積層基板の表面に、第1の電子部品素子
を収納するキャビティが形成され、かつ第2の電子部品
素子を搭載し、前記第1の電子部品素子を第1の金属蓋
体で覆うとともに積層基板の表面全体を第2の金属蓋体
で覆った電子部品装置である。前記第1の電子部品素子
は、その素子上面がキャビティ開口から突出するように
配置されている。
面領域の厚みが確保でき、内部配線パターンを配置して
も伝送損失やインピーダンスの乱れを低減でき、結果と
して、積層体基板の厚みを厚くすることが不要となるた
め、小型・低背で、且つ電気特性の良い電子部品装置を
得ることができる。
表面で位置決めできるように前記第1の金属蓋体の周囲
を取り囲む形の金属蓋体取着用段差部が形成されている
ので、封止材や内部充填物の漏出を防ぎ、確実な気密封
止が出来る。
開口部を設け、金属蓋体と面一にすることによって電子
部品装置の全体の高さを抑えることができ、工数を減ら
した電子部品装置を得られる。
断面図である。
回路のブロック図である。
断面図である。
装置の斜視図であり、(b)本発明の第3の実施例にお
ける電子部品装置の断面図である。
る。
る。
Claims (2)
- 【請求項1】 表面にキャビティを有し、複数の誘電体
層を積層して形成される積層基板と、前記キャビティ内
に配置された第1の電子部品素子と、前記積層基板表面
に搭載された第2の電子部品素子と、前記第1の電子部
品素子を被覆する第1の金属蓋体と、前記積層基板の表
面側全体を被覆する第2の金属蓋体とから成る電子部品
装置において、 前記第1の電子部品素子は、その素子上面が前記キャビ
ティ開口から突出していることを特徴とする電子部品装
置。 - 【請求項2】前記第1の金属蓋体は一面が開口した筐体
状を成しており、且つ前記キャビティの周囲には、前記
第1の金属蓋体の開口部と接合される金属蓋体取着用段
差部が形成されていることを特徴とする請求項1記載の
電子部品装置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2001365135A JP3850275B2 (ja) | 2001-11-29 | 2001-11-29 | 電子部品装置 |
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JP2001365135A JP3850275B2 (ja) | 2001-11-29 | 2001-11-29 | 電子部品装置 |
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ID=19175199
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