JPH08250913A - Mmicパッケージ組立 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 スロット結合を利用してパッケージ内とアン
テナ素子や伝送ラインとを電磁的に結合させることで、
不要な高周波信号のパッケージ内混入やパッケージ外部
への放射を防止した高信頼性構造のMMICパッケージ
組立を提供する。 【構成】 MMIC(モノリシックマイクロ波集積回
路)2を密閉収容するパッケージ3の裏面(下側外面)
に平面アンテナ41eまたは高周波信号伝送ラインを形
成するとともに、このパッケージ3に矩形状のスロット
部41dを備えた接地導体41cを形成する。MMIC
2の表面側にマイクロストリップライン2fを設ける。
スロット部41dの長手方向とマイクロストリップライ
ン2fの長手方向が直交するよう配置する。平面アンテ
ナ41eまたは高周波信号伝送ラインとマイクロストリ
ップライン2fとをスロット部41dを介して電磁的に
結合させて高周波信号を伝送する。
テナ素子や伝送ラインとを電磁的に結合させることで、
不要な高周波信号のパッケージ内混入やパッケージ外部
への放射を防止した高信頼性構造のMMICパッケージ
組立を提供する。 【構成】 MMIC(モノリシックマイクロ波集積回
路)2を密閉収容するパッケージ3の裏面(下側外面)
に平面アンテナ41eまたは高周波信号伝送ラインを形
成するとともに、このパッケージ3に矩形状のスロット
部41dを備えた接地導体41cを形成する。MMIC
2の表面側にマイクロストリップライン2fを設ける。
スロット部41dの長手方向とマイクロストリップライ
ン2fの長手方向が直交するよう配置する。平面アンテ
ナ41eまたは高周波信号伝送ラインとマイクロストリ
ップライン2fとをスロット部41dを介して電磁的に
結合させて高周波信号を伝送する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、MMIC(モノリシ
ックマイクロ波集積回路)を密閉封止したMMICパッ
ケージ組立に係り、特にパッケージの外面に形成した平
面アンテナもしくは高周波伝送ラインとパッケージ内部
の高周波信号ラインとをスロット結合を利用して電磁的
に結合することで、不要な高周波信号の混入や輻射を防
止するとともに、高信頼性の封止構造としたMMICパ
ッケージ組立に関する。
ックマイクロ波集積回路)を密閉封止したMMICパッ
ケージ組立に係り、特にパッケージの外面に形成した平
面アンテナもしくは高周波伝送ラインとパッケージ内部
の高周波信号ラインとをスロット結合を利用して電磁的
に結合することで、不要な高周波信号の混入や輻射を防
止するとともに、高信頼性の封止構造としたMMICパ
ッケージ組立に関する。
【0002】
【従来の技術】社団法人 電子情報通信学会 信学技報
A・P94−14(1994−05)P37〜P43の
「Ka帯MMICを給電基板に用いたスロット結合マイ
クロストリップアンテナ」の論文には、以下の技術が記
載されている。スロット結合マイクロストリップアンテ
ナはアクティブアレーアンテナの有望な素子の1つであ
る。Ka帯・ミリ波帯などの高い周波数で用いる場合は
給電損失を小さく抑えることが重要である。このため、
MMICなどの能動回路そのものを給電基板とする構造
が有効である。しかしながら、接地導体板の導体が銅箔
やMMICの裏面に蒸着された金(Au)などのミクロ
ン単位の薄いものを使用している場合、機械的強度と排
熱効果が不充分である。
A・P94−14(1994−05)P37〜P43の
「Ka帯MMICを給電基板に用いたスロット結合マイ
クロストリップアンテナ」の論文には、以下の技術が記
載されている。スロット結合マイクロストリップアンテ
ナはアクティブアレーアンテナの有望な素子の1つであ
る。Ka帯・ミリ波帯などの高い周波数で用いる場合は
給電損失を小さく抑えることが重要である。このため、
MMICなどの能動回路そのものを給電基板とする構造
が有効である。しかしながら、接地導体板の導体が銅箔
やMMICの裏面に蒸着された金(Au)などのミクロ
ン単位の薄いものを使用している場合、機械的強度と排
熱効果が不充分である。
【0003】機械的強度と排熱効果の課題を解決するた
め接地導体を厚くしても所望のアンテナ特性が得られる
ようにしたスロット結合マイクロストリップアンテナ
は、特開平6−97724号公報で提案されている。ま
た、特開平6−97724号公報では、スロット内を通
過する高周波信号と他のマイクロストリップ導体との結
合をなくすため、貫通スロットの内面に接地導体を形成
する技術が提案されている。
め接地導体を厚くしても所望のアンテナ特性が得られる
ようにしたスロット結合マイクロストリップアンテナ
は、特開平6−97724号公報で提案されている。ま
た、特開平6−97724号公報では、スロット内を通
過する高周波信号と他のマイクロストリップ導体との結
合をなくすため、貫通スロットの内面に接地導体を形成
する技術が提案されている。
【0004】図12は前述の論文の図7に記載された従
来のスロット結合マイクロストリップアンテナの模式構
造図である。図12(a)は試作アンテナのMMIC配
置を、図12(b)はスロット断面を示す。このスロッ
ト結合マイクロストリップアンテナ100は、接地導体
板を3層に分け、スロット長を3段に分割した構造にな
っている。第1および第2の接地導体板101,102
がMMIC104のチップキャリア部分を成し、第3の
接地導体板103がインピーダンス整合用という構造に
なっている。このような構造にすることで、チップ単体
では取り扱いが困難なMMICを電源線路の引き出し配
線のみで簡便に取り扱え、スロット長の調整も容易にな
るとしている。なお、矩形のパッチ放射体(パッチアン
テナ)105は、放射基板106の上に形成されてい
る。符号107は給電用のマイクロストリップラインで
ある。
来のスロット結合マイクロストリップアンテナの模式構
造図である。図12(a)は試作アンテナのMMIC配
置を、図12(b)はスロット断面を示す。このスロッ
ト結合マイクロストリップアンテナ100は、接地導体
板を3層に分け、スロット長を3段に分割した構造にな
っている。第1および第2の接地導体板101,102
がMMIC104のチップキャリア部分を成し、第3の
接地導体板103がインピーダンス整合用という構造に
なっている。このような構造にすることで、チップ単体
では取り扱いが困難なMMICを電源線路の引き出し配
線のみで簡便に取り扱え、スロット長の調整も容易にな
るとしている。なお、矩形のパッチ放射体(パッチアン
テナ)105は、放射基板106の上に形成されてい
る。符号107は給電用のマイクロストリップラインで
ある。
【0005】しかしながら、図12に示したスロット結
合マイクロストリップアンテナ100は、試作評価用の
ためMMIC104はむき出しであり、実用化するには
MMICをセラミック等のパッケージ内に密封する必要
がある。
合マイクロストリップアンテナ100は、試作評価用の
ためMMIC104はむき出しであり、実用化するには
MMICをセラミック等のパッケージ内に密封する必要
がある。
【0006】特開平1−310572号公報では、アン
テナ素子とMMICとを同一容器内に密閉したマイクロ
波集積回路が提案されている。図13は特開平1−31
0572号公報の1図に記載されたマイクロ波集積回路
の断面図である。この従来のマイクロ波集積回路200
は、アンテナ素子201と、MMICチップからなる増
幅回路202と、複数の端子203と、密閉容器(以下
ケースと記す)204とから構成されており、ケース2
04の内側は輻射開口部205と端子203の付近を除
いて全て紫外線保護と電磁シールドの為に、例えばメタ
ライズ等による金属膜または金属206が施されてい
る。輻射開口部205は、例えばガラスまたはセラミッ
クスの如き電波を通過し気密性を保持する物質で構成し
ており、外部からこの輻射開口部205を通過した信号
はアンテナ素子201によって受信され、ボンディング
ワイア207へ経てMMICチップからなる増幅回路2
02で増幅・周波数変換されてボンディングワイア20
8を経て端子203から出力される。
テナ素子とMMICとを同一容器内に密閉したマイクロ
波集積回路が提案されている。図13は特開平1−31
0572号公報の1図に記載されたマイクロ波集積回路
の断面図である。この従来のマイクロ波集積回路200
は、アンテナ素子201と、MMICチップからなる増
幅回路202と、複数の端子203と、密閉容器(以下
ケースと記す)204とから構成されており、ケース2
04の内側は輻射開口部205と端子203の付近を除
いて全て紫外線保護と電磁シールドの為に、例えばメタ
ライズ等による金属膜または金属206が施されてい
る。輻射開口部205は、例えばガラスまたはセラミッ
クスの如き電波を通過し気密性を保持する物質で構成し
ており、外部からこの輻射開口部205を通過した信号
はアンテナ素子201によって受信され、ボンディング
ワイア207へ経てMMICチップからなる増幅回路2
02で増幅・周波数変換されてボンディングワイア20
8を経て端子203から出力される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】前述したように、図1
2に示したスロット結合マイクロストリップアンテナ1
00は、試作評価用のためMMIC104はむき出しで
あり、実用化するにはMMICをセラミック等のパッケ
ージ内に密封する必要がある。図13に示したように、
アンテナ素子201とMMIC202とをケース204
を密閉する場合は、電波を通過させるための輻射開口部
205を形成しなければならない。しかしながら、輻射
開口部205を設けると、この輻射開口部205からパ
ッケージ(ケース)内に不要な高周波信号が混入した
り、パッケージ内から不要な高周波信号が外部へ放射さ
れてしまうことがある。
2に示したスロット結合マイクロストリップアンテナ1
00は、試作評価用のためMMIC104はむき出しで
あり、実用化するにはMMICをセラミック等のパッケ
ージ内に密封する必要がある。図13に示したように、
アンテナ素子201とMMIC202とをケース204
を密閉する場合は、電波を通過させるための輻射開口部
205を形成しなければならない。しかしながら、輻射
開口部205を設けると、この輻射開口部205からパ
ッケージ(ケース)内に不要な高周波信号が混入した
り、パッケージ内から不要な高周波信号が外部へ放射さ
れてしまうことがある。
【0008】この発明はこのような課題を解決するため
なされたもので、MMICをパッケージ内に気密封止す
るとともに、そのパッケージの外面にアンテナ素子や高
周波信号の伝送ラインを形成し、スロット結合を利用し
てパッケージ内とアンテナ素子や伝送ラインとを電磁的
に結合させることで、不要な高周波信号のパッケージ内
混入やパッケージ外部への放射を防止した高信頼性構造
のMMICパッケージ組立を提供することを目的とす
る。
なされたもので、MMICをパッケージ内に気密封止す
るとともに、そのパッケージの外面にアンテナ素子や高
周波信号の伝送ラインを形成し、スロット結合を利用し
てパッケージ内とアンテナ素子や伝送ラインとを電磁的
に結合させることで、不要な高周波信号のパッケージ内
混入やパッケージ外部への放射を防止した高信頼性構造
のMMICパッケージ組立を提供することを目的とす
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
この発明に係るMMICパッケージ組立は、MMICを
密閉収容するパッケージの外面に平面アンテナまたは高
周波信号伝送ラインを形成するとともに、このパッケー
ジにスロット部を備えた接地導体を形成し、パッケージ
内に設けた入力または出力ラインとパッケージの外面に
形成した平面アンテナまたは高周波信号伝送ラインとを
スロット部を介して電磁的に結合させて高周波信号を伝
送するようにしたことを特徴とする。
この発明に係るMMICパッケージ組立は、MMICを
密閉収容するパッケージの外面に平面アンテナまたは高
周波信号伝送ラインを形成するとともに、このパッケー
ジにスロット部を備えた接地導体を形成し、パッケージ
内に設けた入力または出力ラインとパッケージの外面に
形成した平面アンテナまたは高周波信号伝送ラインとを
スロット部を介して電磁的に結合させて高周波信号を伝
送するようにしたことを特徴とする。
【0010】
【作用】パッケージの外面に形成された平面アンテナま
たは高周波信号伝送ラインとパッケージ内に設けた入力
ラインまたは出力ラインとは、接地導体のスロット部を
介してスロット結合する構造としたので、電磁結合によ
って例えばMMICの高周波出力信号を平面アンテナへ
給電し電波を放射させたり、平面アンテナで受信した高
周波信号を電磁結合によってパッケージ内部のMMIC
へ供給することができる。また、平面アンテナの代りに
高周波伝送ラインを形成することで、パッケージ内の出
力信号を外部へ供給したり、外部からの高周波信号をパ
ッケージ内のMMICへ供給することができる。
たは高周波信号伝送ラインとパッケージ内に設けた入力
ラインまたは出力ラインとは、接地導体のスロット部を
介してスロット結合する構造としたので、電磁結合によ
って例えばMMICの高周波出力信号を平面アンテナへ
給電し電波を放射させたり、平面アンテナで受信した高
周波信号を電磁結合によってパッケージ内部のMMIC
へ供給することができる。また、平面アンテナの代りに
高周波伝送ラインを形成することで、パッケージ内の出
力信号を外部へ供給したり、外部からの高周波信号をパ
ッケージ内のMMICへ供給することができる。
【0011】電磁結合を行なうスロット部以外は接地導
体とすることができるので、不要な高周波信号がパッケ
ージ内部へ混入したり、パッケージ内から不要な高周波
信号がパッケージ外へ放射されるのを効果的に防止でき
る。
体とすることができるので、不要な高周波信号がパッケ
ージ内部へ混入したり、パッケージ内から不要な高周波
信号がパッケージ外へ放射されるのを効果的に防止でき
る。
【0012】
【実施例】以下この発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。図1はこの発明に係るMMICパッケージ組
立の模式縦断面図、図2はパッケージの蓋体を外した状
態の斜視図、図3は端子ブロックの斜視図、図4はパッ
ケージを裏面側から見た斜視図、図5はMMICの模式
平面図、図6はマイクロストリップラインとスロット部
と平面アンテナの位置関係を示す模式平面説明図であ
る。
説明する。図1はこの発明に係るMMICパッケージ組
立の模式縦断面図、図2はパッケージの蓋体を外した状
態の斜視図、図3は端子ブロックの斜視図、図4はパッ
ケージを裏面側から見た斜視図、図5はMMICの模式
平面図、図6はマイクロストリップラインとスロット部
と平面アンテナの位置関係を示す模式平面説明図であ
る。
【0013】図1に示すようにこの発明に係るMMIC
パッケージ組立1は、MMIC(モノリシックマイクロ
波集積回路)2をパッケージ3内に密閉収容してなる。
パッケージ3は、基体4に蓋体5をハーメチックシール
してなる。
パッケージ組立1は、MMIC(モノリシックマイクロ
波集積回路)2をパッケージ3内に密閉収容してなる。
パッケージ3は、基体4に蓋体5をハーメチックシール
してなる。
【0014】図2に示すように、基体4は、ベース41
とフレーム42と複数の端子ブロック43とを一体的に
形成してなる。図1に示すように、ベース41は、上下
の誘電体板(例えばセラミック板)41a,41bと、
それらの間に狭設された接地導体41cとの3層からな
る。接地導体41cは、矩形状のスロット部41dを備
える。接地導体41cは、導体板を加工して形成しても
よいし、上または下の誘電体板41a,41bに導電性
材料を蒸着等して形成してもよい。
とフレーム42と複数の端子ブロック43とを一体的に
形成してなる。図1に示すように、ベース41は、上下
の誘電体板(例えばセラミック板)41a,41bと、
それらの間に狭設された接地導体41cとの3層からな
る。接地導体41cは、矩形状のスロット部41dを備
える。接地導体41cは、導体板を加工して形成しても
よいし、上または下の誘電体板41a,41bに導電性
材料を蒸着等して形成してもよい。
【0015】図4に示すように、下側の誘電体板41b
の下面側(パッケージの外面側)には、例えば矩形状の
平面アンテナ(放射導体)41eを設けている。平面ア
ンテナ(放射導体)41eは、金属板もしくは金属箔を
貼り付けて形成してもよいし、導電性材料を蒸着等して
形成してもよい。
の下面側(パッケージの外面側)には、例えば矩形状の
平面アンテナ(放射導体)41eを設けている。平面ア
ンテナ(放射導体)41eは、金属板もしくは金属箔を
貼り付けて形成してもよいし、導電性材料を蒸着等して
形成してもよい。
【0016】フレーム42は金属等の導電性材料を用
い、図2に示すように枠状に形成してなる。フレーム4
2は、端子ブロック43を設けるための切欠き部42a
を備える。図3に示すように、端子ブロック43は、導
電性のリード部43aを備えたセラミック製の端子板4
3bと、セラミック製の絶縁ブロック43cとからな
る。図2に示すように、複数のリード部43aを備えた
端子ブロック43と、単一のリード部43aを備えた端
子ブロック43aとを直角に配置し、複数のリード部4
3aを備えた端子ブロック43を電源供給用、単一のリ
ード部43aを備えた端子ブロック43を高周波信号の
入出力用とすることで、高周波信号が電源系統へ混入し
にくい構造としている。
い、図2に示すように枠状に形成してなる。フレーム4
2は、端子ブロック43を設けるための切欠き部42a
を備える。図3に示すように、端子ブロック43は、導
電性のリード部43aを備えたセラミック製の端子板4
3bと、セラミック製の絶縁ブロック43cとからな
る。図2に示すように、複数のリード部43aを備えた
端子ブロック43と、単一のリード部43aを備えた端
子ブロック43aとを直角に配置し、複数のリード部4
3aを備えた端子ブロック43を電源供給用、単一のリ
ード部43aを備えた端子ブロック43を高周波信号の
入出力用とすることで、高周波信号が電源系統へ混入し
にくい構造としている。
【0017】図1に示すように、接地導体41cを上側
の誘電体板41bの側面から上面へ延設し、延設した接
地導体41cと例えば金属製のフレーム42とを電気的
に接続する構造としてもよい。なお、図1では、特定の
辺に対して接地導体41cを延設する例を示したが、4
辺すべてについて接地導体を延設するようにしてもよ
い。
の誘電体板41bの側面から上面へ延設し、延設した接
地導体41cと例えば金属製のフレーム42とを電気的
に接続する構造としてもよい。なお、図1では、特定の
辺に対して接地導体41cを延設する例を示したが、4
辺すべてについて接地導体を延設するようにしてもよ
い。
【0018】蓋体5はセラミック板もしくは導電性材料
で形成している。蓋体5は、セラミック板の下面(パッ
ケージの内面側)に導電性金属を蒸着する構造としても
よい。蓋体5を導電性の構造とし、フレーム42に蓋体
5を気密封止した状態で、金属製のフレームと蓋体5と
が電気的に接続する構造とすることで、入出力用の端子
ブロック43の部分を除いて、パッケージ3の6面を電
磁シールド構造とすることができる。このような構造と
することで、不要信号の混入やパッケージ内部から不要
な高周波信号が放射されるのを効果的に防止できる。
で形成している。蓋体5は、セラミック板の下面(パッ
ケージの内面側)に導電性金属を蒸着する構造としても
よい。蓋体5を導電性の構造とし、フレーム42に蓋体
5を気密封止した状態で、金属製のフレームと蓋体5と
が電気的に接続する構造とすることで、入出力用の端子
ブロック43の部分を除いて、パッケージ3の6面を電
磁シールド構造とすることができる。このような構造と
することで、不要信号の混入やパッケージ内部から不要
な高周波信号が放射されるのを効果的に防止できる。
【0019】図1に示すように、パッケージ3内に固着
されたMMIC2の取出電極2aと端子ブロック43の
リード部43aとの間は、ボンディングワイヤ2bで電
気的に接続している。MMIC2は、例えばGaAs等
の半絶縁性の基板2cに各種の回路素子を形成してい
る。基板2cの裏面には接地金属2dを形成している。
この接地金属2dには、金属を設けない例えば矩形状の
スロット部2eを備える。MMIC2の上面側にマイク
ロストリップライン(マイクロストリップ導体)2fを
設けている。
されたMMIC2の取出電極2aと端子ブロック43の
リード部43aとの間は、ボンディングワイヤ2bで電
気的に接続している。MMIC2は、例えばGaAs等
の半絶縁性の基板2cに各種の回路素子を形成してい
る。基板2cの裏面には接地金属2dを形成している。
この接地金属2dには、金属を設けない例えば矩形状の
スロット部2eを備える。MMIC2の上面側にマイク
ロストリップライン(マイクロストリップ導体)2fを
設けている。
【0020】図5に示すように、マイクロストリップラ
イン(マイクロストリップ導体)2fの一端側は、基板
2cの表面側に形成された例えば送信用高周波出力トラ
ンジスタ2gの出力端子2hや受信回路の初段回路等へ
接続している。基板2cの裏面側に形成したスロット部
2eの長手方向と、マイクロストリップライン2fの長
手方向とは直交する配置としている。
イン(マイクロストリップ導体)2fの一端側は、基板
2cの表面側に形成された例えば送信用高周波出力トラ
ンジスタ2gの出力端子2hや受信回路の初段回路等へ
接続している。基板2cの裏面側に形成したスロット部
2eの長手方向と、マイクロストリップライン2fの長
手方向とは直交する配置としている。
【0021】図6に示すように、パッケージ3の外面に
形成した平面アンテナ41eの略中央位置にマイクロス
トリップライン2cが位置するようにし、図1に示した
上下2層の誘電体板41a,41bにサンドイッチされ
た接地導体41cに、矩形状のスロット部41cをその
長手方向がマイクロストリップライン2fの長手方向と
直交するよう形成している。
形成した平面アンテナ41eの略中央位置にマイクロス
トリップライン2cが位置するようにし、図1に示した
上下2層の誘電体板41a,41bにサンドイッチされ
た接地導体41cに、矩形状のスロット部41cをその
長手方向がマイクロストリップライン2fの長手方向と
直交するよう形成している。
【0022】したがって、基板2cの表面側に形成した
マイクロストリップライン2fと、パッケージ3の裏面
に形成した平面アンテナ41eとの間には、基板2cの
裏面に形成した第1のスロット部2eと、パッケージ3
のベース41内に形成された第2のスロット部41dが
所定の位置関係で配置される。
マイクロストリップライン2fと、パッケージ3の裏面
に形成した平面アンテナ41eとの間には、基板2cの
裏面に形成した第1のスロット部2eと、パッケージ3
のベース41内に形成された第2のスロット部41dが
所定の位置関係で配置される。
【0023】このような構造において、マイクロストリ
ップライン2fに例えば高周波送信信号を給電したと
き、マイクロストリップライン2fから2段のスロット
部2e,41dを介して平面アンテナ41eを励振し、
高周波送信信号に対応する電磁波が平面アンテナ41e
の表面に対して垂直な方向に放射される。パッケージ3
の外面に設けた平面アンテナ41eとパッケージ3の内
部とを電磁結合する2段のスロット部2e,41d以外
ならびに端子ブロック43以外は、パッケージ3の全面
に亘って接地導体とすることができるので、不要な高周
波信号がパッケージ内部へ混入したり、パッケージ内か
ら不要な高周波信号がパッケージ外へ放射されるのを効
果的に防止できる。
ップライン2fに例えば高周波送信信号を給電したと
き、マイクロストリップライン2fから2段のスロット
部2e,41dを介して平面アンテナ41eを励振し、
高周波送信信号に対応する電磁波が平面アンテナ41e
の表面に対して垂直な方向に放射される。パッケージ3
の外面に設けた平面アンテナ41eとパッケージ3の内
部とを電磁結合する2段のスロット部2e,41d以外
ならびに端子ブロック43以外は、パッケージ3の全面
に亘って接地導体とすることができるので、不要な高周
波信号がパッケージ内部へ混入したり、パッケージ内か
ら不要な高周波信号がパッケージ外へ放射されるのを効
果的に防止できる。
【0024】図7はこの発明に係るMMICパッケージ
組立の他の実施例を示す模式縦断面図である。図7に示
すMMICパッケージ組立10は、MMIC2の基板2
cの裏面側に接地金属2dを設けないスロット部2eを
形成し、このスロット部2eを介して基板2cの表面側
に形成したマイクロストリップライン2fとパッケージ
3の底面に形成した平面アンテナ41eとを電磁的に結
合させるようにしたものである。この1段スロット構成
においては、パッケージ3のベース41Sに図1で示し
た接地導体41cならびにスロット部41dを形成する
必要がない。このため、例えばセラミックス製の標準的
なベース41Sに平面アンテナ41eを蒸着等で形成す
るだけでよく、パッケージ組立10を安価にできる。ま
た、基板2cの略中央部にスロット部2eを形成するこ
とで、スロット部2eの周辺の接地領域の広さをほぼ均
一し、電磁結合特性の安定化を図っている。
組立の他の実施例を示す模式縦断面図である。図7に示
すMMICパッケージ組立10は、MMIC2の基板2
cの裏面側に接地金属2dを設けないスロット部2eを
形成し、このスロット部2eを介して基板2cの表面側
に形成したマイクロストリップライン2fとパッケージ
3の底面に形成した平面アンテナ41eとを電磁的に結
合させるようにしたものである。この1段スロット構成
においては、パッケージ3のベース41Sに図1で示し
た接地導体41cならびにスロット部41dを形成する
必要がない。このため、例えばセラミックス製の標準的
なベース41Sに平面アンテナ41eを蒸着等で形成す
るだけでよく、パッケージ組立10を安価にできる。ま
た、基板2cの略中央部にスロット部2eを形成するこ
とで、スロット部2eの周辺の接地領域の広さをほぼ均
一し、電磁結合特性の安定化を図っている。
【0025】図8はこの発明に係るMMICパッケージ
組立の第3の実施例を示す模式縦断面図である。図8に
示すMMICパッケージ組立20は、金属製のパッケー
ジ30内に、MMIC2を密閉収容したものである。パ
ッケージ30は、金属製の基体31に金属製の蓋体32
をハーメチックシールしてなる。基体31には、平面視
矩形状の透孔からなるスロット部31aを形成し、この
スロット部31aを例えばセラミック製の誘電体塞板3
3で塞ぐことで、パッケージ30内の気密を保つように
している。そして、誘電体塞板33の底面に平面アンテ
ナ41eを形成し、平面アンテナ41eとMMIC2の
表面側に形成したマイクロストリップライン2fとをス
ロット部31aを介して電磁的に結合させている。パッ
ケージ30の全体が金属製であるから、不要信号の混入
やパッケージ内部から不要な高周波信号が放射されるの
を効果的に防止できる。
組立の第3の実施例を示す模式縦断面図である。図8に
示すMMICパッケージ組立20は、金属製のパッケー
ジ30内に、MMIC2を密閉収容したものである。パ
ッケージ30は、金属製の基体31に金属製の蓋体32
をハーメチックシールしてなる。基体31には、平面視
矩形状の透孔からなるスロット部31aを形成し、この
スロット部31aを例えばセラミック製の誘電体塞板3
3で塞ぐことで、パッケージ30内の気密を保つように
している。そして、誘電体塞板33の底面に平面アンテ
ナ41eを形成し、平面アンテナ41eとMMIC2の
表面側に形成したマイクロストリップライン2fとをス
ロット部31aを介して電磁的に結合させている。パッ
ケージ30の全体が金属製であるから、不要信号の混入
やパッケージ内部から不要な高周波信号が放射されるの
を効果的に防止できる。
【0026】図9はこの発明に係るMMICパッケージ
組立を利用して構成した車載用レーダモジュールのブロ
ック構成図である。パッケージ60の底面もしくは上面
(側面であってもよい)60aは、スロット部60bを
備えた接地導体60cを2層のセラミック板60d,6
0eで狭設し、各端子ブロック60f,60g,60
h,60iの部分を除いてパッケージ60の他の面は金
属もしくは導体層を蒸着等したセラミックで形成し、パ
ッケージ60の全体を電磁シールドする構造としてい
る。
組立を利用して構成した車載用レーダモジュールのブロ
ック構成図である。パッケージ60の底面もしくは上面
(側面であってもよい)60aは、スロット部60bを
備えた接地導体60cを2層のセラミック板60d,6
0eで狭設し、各端子ブロック60f,60g,60
h,60iの部分を除いてパッケージ60の他の面は金
属もしくは導体層を蒸着等したセラミックで形成し、パ
ッケージ60の全体を電磁シールドする構造としてい
る。
【0027】パッケージ60の内部には、例えば数10
ギガヘルツ帯の高周波信号を処理する例えばGaAsチ
ップからなるMMIC70と、ギガヘルツ帯よりも低い
周波数の信号を処理する例えばSiチップからなるアナ
ログ・デジタル信号処理IC80とを密封収容してい
る。端子ブロック60gならびに端子ブロック60iを
介して正負の電源V+,V−の供給を受けるようにして
いる。
ギガヘルツ帯の高周波信号を処理する例えばGaAsチ
ップからなるMMIC70と、ギガヘルツ帯よりも低い
周波数の信号を処理する例えばSiチップからなるアナ
ログ・デジタル信号処理IC80とを密封収容してい
る。端子ブロック60gならびに端子ブロック60iを
介して正負の電源V+,V−の供給を受けるようにして
いる。
【0028】パッケージ60の底面もしくは上面(側面
であってもよい)60aの外面側に平面アンテナ63を
形成し、内面側にマイクロストリップライン(マイクロ
ストリップ導体)64を形成している。
であってもよい)60aの外面側に平面アンテナ63を
形成し、内面側にマイクロストリップライン(マイクロ
ストリップ導体)64を形成している。
【0029】マイクロストリップライン64と送受切換
手段71との間は、ボンディングワイヤ64aで接続し
ている。MMIC70に裏面にマイクロストリップライ
ン64を形成し、バイアホール等を介してマイクロスト
リップライン64と送受切換手段71とを接続する構造
としてもよい。
手段71との間は、ボンディングワイヤ64aで接続し
ている。MMIC70に裏面にマイクロストリップライ
ン64を形成し、バイアホール等を介してマイクロスト
リップライン64と送受切換手段71とを接続する構造
としてもよい。
【0030】送受切換手段71は、サーキュレータ回路
やスイッチ回路を用いて構成している。受信信号71a
を低雑音増幅器72で増幅し、帯域通過フィルタ(BP
F)73を介して所望の周波数帯域の信号成分を抽出
し、混合器(ミキサ)74で端子ブロック(外部接続端
子)60fを介して外部から供給される局部発振信号7
4aと混合して周波数変換して得た中間周波信号74b
をアナログ・デジタル信号処理IC80内の中間周波増
幅回路(IF増幅回路)81へ供給している。
やスイッチ回路を用いて構成している。受信信号71a
を低雑音増幅器72で増幅し、帯域通過フィルタ(BP
F)73を介して所望の周波数帯域の信号成分を抽出
し、混合器(ミキサ)74で端子ブロック(外部接続端
子)60fを介して外部から供給される局部発振信号7
4aと混合して周波数変換して得た中間周波信号74b
をアナログ・デジタル信号処理IC80内の中間周波増
幅回路(IF増幅回路)81へ供給している。
【0031】なお、端子ブロック(外部接続端子)60
fを設けずにパッケージ60の一側面にスリット結合を
設けて、局部発振信号74aを電磁結合でパッケージ6
0内に供給するようにしてもよい。
fを設けずにパッケージ60の一側面にスリット結合を
設けて、局部発振信号74aを電磁結合でパッケージ6
0内に供給するようにしてもよい。
【0032】中間周波信号74bを中間周波増幅回路8
1で増幅した後、A/D変換器でデジタル中間周波信号
へ変換し、マイクロプロセッサを利用して構成した処理
手段83でデジタル信号処理を施すことで受信信号を解
析し、ターゲットまでの距離情報等を外部へシリアルデ
ータ83aとして出力するようにしている。
1で増幅した後、A/D変換器でデジタル中間周波信号
へ変換し、マイクロプロセッサを利用して構成した処理
手段83でデジタル信号処理を施すことで受信信号を解
析し、ターゲットまでの距離情報等を外部へシリアルデ
ータ83aとして出力するようにしている。
【0033】処理手段83から出力された変調指令83
bをD/A変換器84で対応するアナログ信号(例えば
電圧信号)84aへ変換し、MMIC70内の変調器7
5へ供給し、変調信号75aを高周波増幅器76で増幅
し、位相器77で位相調整をした後に高周波電力増幅器
78で電力増幅し、送受切換手段71を介して給電用の
マイクロストリップライン64を励振し、スロット結合
を介して平面アンテナ63からレーダ電波を放射するよ
うにしている。
bをD/A変換器84で対応するアナログ信号(例えば
電圧信号)84aへ変換し、MMIC70内の変調器7
5へ供給し、変調信号75aを高周波増幅器76で増幅
し、位相器77で位相調整をした後に高周波電力増幅器
78で電力増幅し、送受切換手段71を介して給電用の
マイクロストリップライン64を励振し、スロット結合
を介して平面アンテナ63からレーダ電波を放射するよ
うにしている。
【0034】このように発明に係るMMICパッケージ
組立を利用して構成した車載用レーダモジュールは、ス
ロット結合を利用して平面アンテナ63からの電波放射
と反射波の受信を行なうようにしている。スロット部6
0bならびに各端子ブロック60f,60g,60h,
60i部分を除いてパッケージ60の全体を電磁シール
ドする構造であるから、不要な高周波信号がパッケージ
内部へ混入したり、パッケージ内から不要な高周波信号
がパッケージ外へ放射されるのを効果的に防止できる。
組立を利用して構成した車載用レーダモジュールは、ス
ロット結合を利用して平面アンテナ63からの電波放射
と反射波の受信を行なうようにしている。スロット部6
0bならびに各端子ブロック60f,60g,60h,
60i部分を除いてパッケージ60の全体を電磁シール
ドする構造であるから、不要な高周波信号がパッケージ
内部へ混入したり、パッケージ内から不要な高周波信号
がパッケージ外へ放射されるのを効果的に防止できる。
【0035】図10はこの発明に係るMMICパッケー
ジ組立の第4の実施例を示す模式縦断面図である。この
MMICパッケージ組立90は、パッケージ3のベース
41を構成する上側の誘電体板(セラミック板)41a
のパッケージ内面側に給電用のマイクロストリップライ
ン91を形成し、このマイクロストリップライン91と
MMIC92の出力もしくは入力端子93との間をボン
ディングワイヤ94で電気的に接続するようにしたもの
である。
ジ組立の第4の実施例を示す模式縦断面図である。この
MMICパッケージ組立90は、パッケージ3のベース
41を構成する上側の誘電体板(セラミック板)41a
のパッケージ内面側に給電用のマイクロストリップライ
ン91を形成し、このマイクロストリップライン91と
MMIC92の出力もしくは入力端子93との間をボン
ディングワイヤ94で電気的に接続するようにしたもの
である。
【0036】図1に示したようにMMIC2の表面に給
電用のマイクロストリップライン2fを設ける構造の場
合は、MMIC2の取り付けに際し高い位置精度が要求
されるが、図10に示す構造ではMMIC92の取り付
け精度が緩和される。
電用のマイクロストリップライン2fを設ける構造の場
合は、MMIC2の取り付けに際し高い位置精度が要求
されるが、図10に示す構造ではMMIC92の取り付
け精度が緩和される。
【0037】図11はこの発明に係るMMICパッケー
ジ組立の第5の実施例を示すパッケージの裏面側の斜視
図である。このMMICパッケージ組立95は、パッケ
ージ3の裏面(外面)にアンテナ(放射導体)に替えて
スロット結合を利用した給電用のマイクロストリップラ
イン(高周波信号伝送ライン)96を形成し、このマイ
クロストリップライン96を介してMMICからの高周
波信号を他の回路へ供給したり、他の回路からの高周波
信号(例えば局部発振信号等)をパッケージ3内のMM
ICへ供給するようにしたものである。
ジ組立の第5の実施例を示すパッケージの裏面側の斜視
図である。このMMICパッケージ組立95は、パッケ
ージ3の裏面(外面)にアンテナ(放射導体)に替えて
スロット結合を利用した給電用のマイクロストリップラ
イン(高周波信号伝送ライン)96を形成し、このマイ
クロストリップライン96を介してMMICからの高周
波信号を他の回路へ供給したり、他の回路からの高周波
信号(例えば局部発振信号等)をパッケージ3内のMM
ICへ供給するようにしたものである。
【0038】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明に係るMM
ICパッケージ組立は、パッケージの外面に形成された
平面アンテナまたは高周波信号伝送ラインとパッケージ
内に設けた入力ラインまたは出力ラインとを接地導体の
スロット部を介してスロット結合する構造としたので、
電磁結合によって例えばMMICの高周波出力信号を平
面アンテナへ給電し電波を放射させたり、平面アンテナ
で受信した高周波信号を電磁結合によってパッケージ内
部のMMICへ供給することができる。また、平面アン
テナの代りに高周波伝送ラインを形成することで、パッ
ケージ内の出力信号を外部へ供給したり、外部からの高
周波信号をパッケージ内のMMICへ供給することがで
きる。
ICパッケージ組立は、パッケージの外面に形成された
平面アンテナまたは高周波信号伝送ラインとパッケージ
内に設けた入力ラインまたは出力ラインとを接地導体の
スロット部を介してスロット結合する構造としたので、
電磁結合によって例えばMMICの高周波出力信号を平
面アンテナへ給電し電波を放射させたり、平面アンテナ
で受信した高周波信号を電磁結合によってパッケージ内
部のMMICへ供給することができる。また、平面アン
テナの代りに高周波伝送ラインを形成することで、パッ
ケージ内の出力信号を外部へ供給したり、外部からの高
周波信号をパッケージ内のMMICへ供給することがで
きる。
【0039】さらに、電磁結合を行なうスロット部以外
は接地導体とすることができるので、不要な高周波信号
がパッケージ内部へ混入したり、パッケージ内から不要
な高周波信号がパッケージ外へ放射されるのを効果的に
防止できる。
は接地導体とすることができるので、不要な高周波信号
がパッケージ内部へ混入したり、パッケージ内から不要
な高周波信号がパッケージ外へ放射されるのを効果的に
防止できる。
【図1】この発明に係るMMICパッケージ組立の縦断
面図
面図
【図2】パッケージの蓋体を外した状態の斜視図
【図3】端子ブロックの斜視図
【図4】パッケージを裏面側から見た斜視図
【図5】MMICの断面構造図
【図6】マイクロストリップラインとスロット部と平面
アンテナの位置関係を示す模式平面説明図
アンテナの位置関係を示す模式平面説明図
【図7】この発明に係るMMICパッケージ組立の第2
の実施例を示す模式縦断面図
の実施例を示す模式縦断面図
【図8】この発明に係るMMICパッケージ組立の第3
の実施例を示す模式縦断面図
の実施例を示す模式縦断面図
【図9】この発明に係るMMICパッケージ組立を利用
して構成した車載用レーダモジュールのブロック構成図
して構成した車載用レーダモジュールのブロック構成図
【図10】この発明に係るMMICパッケージ組立の第
4の実施例を示す模式縦断面図
4の実施例を示す模式縦断面図
【図11】この発明に係るMMICパッケージ組立の第
5の実施例を示すパッケージの裏面側の斜視図
5の実施例を示すパッケージの裏面側の斜視図
【図12】従来のスロット結合マイクロストリップアン
テナの模式構造図
テナの模式構造図
【図13】他の従来のマイクロ波集積回路の断面図
1,10,20,90,95 MMICパッケージ組立 2,70,92 MMIC(モノリシックマイクロ波集
積回路) 2f,64,91 マイクロストリップライン 3,30,60 パッケージ 4,31 基体 5,32 蓋体 41,41S ベース 41a,41b,60d,60e 上下の誘電体板(セ
ラミック板) 41c,60c 接地導体 41d,60b スロット部 41e,63 平面アンテナ(放射導体) 42 フレーム 43,60f,60g,60h,60i 端子ブロック 96 給電用マイクロストリップライン(高周波信号伝
送ライン)
積回路) 2f,64,91 マイクロストリップライン 3,30,60 パッケージ 4,31 基体 5,32 蓋体 41,41S ベース 41a,41b,60d,60e 上下の誘電体板(セ
ラミック板) 41c,60c 接地導体 41d,60b スロット部 41e,63 平面アンテナ(放射導体) 42 フレーム 43,60f,60g,60h,60i 端子ブロック 96 給電用マイクロストリップライン(高周波信号伝
送ライン)
Claims (1)
- 【請求項1】 MMICを密閉収容するパッケージの外
面に平面アンテナまたは高周波信号伝送ラインを形成す
るとともに、前記パッケージにスロット部を備えた接地
導体を形成し、前記パッケージ内に設けた入力または出
力ラインと前記パッケージの外面に形成した平面アンテ
ナまたは高周波信号伝送ラインとを前記スロット部を介
して電磁的に結合させて高周波信号を伝送するようにし
たことを特徴とするMMICパッケージ組立。
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JP7056132A JPH08250913A (ja) | 1995-03-15 | 1995-03-15 | Mmicパッケージ組立 |
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Publications (1)
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JPH08250913A true JPH08250913A (ja) | 1996-09-27 |
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ID=13018558
Family Applications (1)
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