JP2003161866A - 面合わせ装置 - Google Patents
面合わせ装置Info
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- JP2003161866A JP2003161866A JP2001362592A JP2001362592A JP2003161866A JP 2003161866 A JP2003161866 A JP 2003161866A JP 2001362592 A JP2001362592 A JP 2001362592A JP 2001362592 A JP2001362592 A JP 2001362592A JP 2003161866 A JP2003161866 A JP 2003161866A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 第２光学部材に対する第１光学部材の押しつ
け荷重は出来るだけ小さい方が望ましく、そのためには
半球状の治具手段と、それを支持する支持手段との摩擦
抵抗を極力小さくすることが必要である。また、押しつ
け荷重が大きくなると各光学部材に与える歪み荷重が大
きくなってしまう。 【解決手段】第２光学部２を固定する治具手段１３が、
ボールブッシュ１４ａを正三角形に配置した支持手段１
４に載置されていて、第１光学部材１をＺ軸方向に移動
し第２光学部材２と当接することにより球回転し、小さ
な押しつけ荷重によって面合わせが行われる。支持手段
１４はガイド手段１５によってＺ軸方向に移動し、各光
学部材に与える歪み荷重を小さくできる。面合わせ後の
状態を固定手段１６により保持、固定する。
け荷重は出来るだけ小さい方が望ましく、そのためには
半球状の治具手段と、それを支持する支持手段との摩擦
抵抗を極力小さくすることが必要である。また、押しつ
け荷重が大きくなると各光学部材に与える歪み荷重が大
きくなってしまう。 【解決手段】第２光学部２を固定する治具手段１３が、
ボールブッシュ１４ａを正三角形に配置した支持手段１
４に載置されていて、第１光学部材１をＺ軸方向に移動
し第２光学部材２と当接することにより球回転し、小さ
な押しつけ荷重によって面合わせが行われる。支持手段
１４はガイド手段１５によってＺ軸方向に移動し、各光
学部材に与える歪み荷重を小さくできる。面合わせ後の
状態を固定手段１６により保持、固定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、面合わせ装置、特
に光部品組立工程においての面合わせに適した面合わせ
装置に関するものである。
に光部品組立工程においての面合わせに適した面合わせ
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】レーザーダイオードと光ファイバー、或
いはフォトダイオードと光ファイバーの構成による光部
品モジュールの組立において、構成部品のそれぞれの光
軸を一致させて出力の損失を最小限に抑えるように、信
頼性のある面合わせ及び固定を行うことが重要となる。
そのために高精度な面合わせを行い、構成部品を保持し
た状態においてＹＡＧレーザーを使用して、構成部品を
溶着固定する。
いはフォトダイオードと光ファイバーの構成による光部
品モジュールの組立において、構成部品のそれぞれの光
軸を一致させて出力の損失を最小限に抑えるように、信
頼性のある面合わせ及び固定を行うことが重要となる。
そのために高精度な面合わせを行い、構成部品を保持し
た状態においてＹＡＧレーザーを使用して、構成部品を
溶着固定する。
【０００３】従来の面合わせ装置として、例えば、特開
平９−１１３７６６号公報に示された面合わせ装置があ
る。図１は、この面合わせ装置の概略を示し、１は例え
ば光ファイバー１ａの端末部（以下、第１光学部材）、
２は例えばレーザーダイオード（以下、第２光学部材）
である。第１光学部材１はＺ軸方向に微動するステージ
（不図示）に取り付けられている。３は第２光学部材２
を固定する鉄製で半球状のホルダである。４は正三角形
の頂点に位置する３つの支持台であり、ホルダ３が載置
される。５は支持台ベースであり、この支持台ベース５
に３つの支持台４が固定されている。６は磁力手段とし
ての板状の永久磁石であり、支持台ベース５の上面に埋
め込まれている。
平９−１１３７６６号公報に示された面合わせ装置があ
る。図１は、この面合わせ装置の概略を示し、１は例え
ば光ファイバー１ａの端末部（以下、第１光学部材）、
２は例えばレーザーダイオード（以下、第２光学部材）
である。第１光学部材１はＺ軸方向に微動するステージ
（不図示）に取り付けられている。３は第２光学部材２
を固定する鉄製で半球状のホルダである。４は正三角形
の頂点に位置する３つの支持台であり、ホルダ３が載置
される。５は支持台ベースであり、この支持台ベース５
に３つの支持台４が固定されている。６は磁力手段とし
ての板状の永久磁石であり、支持台ベース５の上面に埋
め込まれている。
【０００４】次に動作を説明する。面合わせを行おうと
する第１光学部材１の先端の水平面に対して垂直な軸を
Ｚ軸とする。Ｚ軸方向に微動するステージに取り付けら
れた第１光学部材１を垂直に降下させて面合わせを実施
する。このとき、始めに接触した点に押しつけ荷重が加
わり、ホルダ３を水平にする方向のモーメント（回転
力）が発生する。この回転力がホルダ３と支持台４の間
の点接触における小さな滑り摩擦抵抗に抗してホルダ３
を回転させ、第１光学部材１の先端の水平面に第２光学
部材２の面が矯正されるようにして第１光学部材１と第
２光学部材２の面合わせが実現する。この状態が永久磁
石６の磁力によって保持される。
する第１光学部材１の先端の水平面に対して垂直な軸を
Ｚ軸とする。Ｚ軸方向に微動するステージに取り付けら
れた第１光学部材１を垂直に降下させて面合わせを実施
する。このとき、始めに接触した点に押しつけ荷重が加
わり、ホルダ３を水平にする方向のモーメント（回転
力）が発生する。この回転力がホルダ３と支持台４の間
の点接触における小さな滑り摩擦抵抗に抗してホルダ３
を回転させ、第１光学部材１の先端の水平面に第２光学
部材２の面が矯正されるようにして第１光学部材１と第
２光学部材２の面合わせが実現する。この状態が永久磁
石６の磁力によって保持される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の面合わ
せ装置は、以下の問題を有する。 （１） 面合わせを実施するときに発生するホルダ３の
回転力は、ホルダ３と支持台４の点接触における滑り摩
擦抵抗に抗さなければならないが、この摩擦抵抗力は小
さければ小さいほど良い。 （２） ホルダ３と支持台４の接触面は、滑り摩擦抵抗
を小さくするために、高精度な表面粗さの精密加工を施
す必要がある。 （３） 第１光学部材１と第２光学部材２の押しつけ荷
重は、第１光学部材１を取り付けているＺ軸方向に微動
するステージの移動距離によって決まる構造だが、各光
学部材とそれを支持している装置部材が機械的に結合固
定されているために、移動距離の制御がむずかしい。移
動距離が少なければ各光学部材の当接面に隙間が生じて
しまい十分な押しつけ荷重が得られず面合わせが不可能
になる。移動距離が多ければ各光学部材に大きな歪み荷
重が加わることになり、最悪の場合、各光学部材を破壊
してしまう。 （４） 面合わせ実施後、ＹＡＧレーザーを使用して第
１光学部材１と第２光学部材２を溶着固定するが、溶着
の際に発生する光学部材の熱収縮による部材同士の位置
ずれを防ぐために、ホルダ３を強固に保持固定する必要
がある。しかしそのために永久磁石６の磁力を強力にす
ると、ホルダ３と支持台４の滑り摩擦抵抗が大きくなっ
てしまう不具合が生じてしまう。
せ装置は、以下の問題を有する。 （１） 面合わせを実施するときに発生するホルダ３の
回転力は、ホルダ３と支持台４の点接触における滑り摩
擦抵抗に抗さなければならないが、この摩擦抵抗力は小
さければ小さいほど良い。 （２） ホルダ３と支持台４の接触面は、滑り摩擦抵抗
を小さくするために、高精度な表面粗さの精密加工を施
す必要がある。 （３） 第１光学部材１と第２光学部材２の押しつけ荷
重は、第１光学部材１を取り付けているＺ軸方向に微動
するステージの移動距離によって決まる構造だが、各光
学部材とそれを支持している装置部材が機械的に結合固
定されているために、移動距離の制御がむずかしい。移
動距離が少なければ各光学部材の当接面に隙間が生じて
しまい十分な押しつけ荷重が得られず面合わせが不可能
になる。移動距離が多ければ各光学部材に大きな歪み荷
重が加わることになり、最悪の場合、各光学部材を破壊
してしまう。 （４） 面合わせ実施後、ＹＡＧレーザーを使用して第
１光学部材１と第２光学部材２を溶着固定するが、溶着
の際に発生する光学部材の熱収縮による部材同士の位置
ずれを防ぐために、ホルダ３を強固に保持固定する必要
がある。しかしそのために永久磁石６の磁力を強力にす
ると、ホルダ３と支持台４の滑り摩擦抵抗が大きくなっ
てしまう不具合が生じてしまう。
【０００６】したがって、本発明の目的は、面合わせを
実施する際の第２光学部材２を支持する装置部材が可能
な限り小さい摩擦抵抗で回転する装置を実現することに
ある。本発明の他の目的は、小さい押しつけ荷重によっ
て面合わせが実現することが可能であり、また、各光学
部材に機械的な歪みをあたえるような荷重を最小限に抑
えることにある。更に、本発明の他の目的は、各光学部
材を溶着固定する際、各光学部材同士の位置ずれを防ぐ
ことにより、信頼性のある光部品モジュールを供給でき
る装置を提供することにある。
実施する際の第２光学部材２を支持する装置部材が可能
な限り小さい摩擦抵抗で回転する装置を実現することに
ある。本発明の他の目的は、小さい押しつけ荷重によっ
て面合わせが実現することが可能であり、また、各光学
部材に機械的な歪みをあたえるような荷重を最小限に抑
えることにある。更に、本発明の他の目的は、各光学部
材を溶着固定する際、各光学部材同士の位置ずれを防ぐ
ことにより、信頼性のある光部品モジュールを供給でき
る装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を実
現するために、以下の５項目の手段を備える構成にして
いる。 （１）第１光学部材を支持しながら第１軸の方向に移動
する移動手段。 （２）第２光学部材を支持して前記第１軸上の任意点を
中心として球回転する、少なくとも形状の一部が球面状
の治具手段。 （３）前記第１光学部材が前記第１軸の方向に移動して
前記第２光学部材に当接するとき、前記治具手段の球面
状の部位を３点で支持し前記治具手段を球回転させなが
ら支持する支持手段。 （４）前記第１光学部材が前記第１軸の方向に移動して
前記第２光学部材に当接するとき、前記支持手段が前記
第１軸の方向に可動する直動ガイド部材と、かつ前記第
１光学部材と前記第２光学部材が当接する圧力を発生さ
せる弾性部材を備えたガイド手段。 （５）前記第１光学部材が前記第１軸の方向に移動して
前記第２光学部材に当接するときに前記治具手段が球回
転することにより前記第１光学部材と前記第２光学部材
の当接面が整合した状態で、前記治具手段を保持する固
定手段。更に、（３）の支持手段は、ボールブッシュを
前記第１軸と交わる平面上にかつ前記第１軸を中心に持
つ正三角形に配置することとしている。更に、（４）の
ガイド手段は、前記第１光学部材が前記第１軸の方向に
移動して前記第２光学部材と当接し、さらに前記第１光
学部材が移動した場合、前記治具手段を支持した前記支
持手段が前記第１軸の方向に、前記弾性部材の圧力方向
に逆らいながら前記直動ガイド部材をガイドとして移動
することとしている。更に、（２）の治具手段において
は、前記固定手段との当接面が、前記第１軸上の任意点
を中心とする球形状であることとしている。
現するために、以下の５項目の手段を備える構成にして
いる。 （１）第１光学部材を支持しながら第１軸の方向に移動
する移動手段。 （２）第２光学部材を支持して前記第１軸上の任意点を
中心として球回転する、少なくとも形状の一部が球面状
の治具手段。 （３）前記第１光学部材が前記第１軸の方向に移動して
前記第２光学部材に当接するとき、前記治具手段の球面
状の部位を３点で支持し前記治具手段を球回転させなが
ら支持する支持手段。 （４）前記第１光学部材が前記第１軸の方向に移動して
前記第２光学部材に当接するとき、前記支持手段が前記
第１軸の方向に可動する直動ガイド部材と、かつ前記第
１光学部材と前記第２光学部材が当接する圧力を発生さ
せる弾性部材を備えたガイド手段。 （５）前記第１光学部材が前記第１軸の方向に移動して
前記第２光学部材に当接するときに前記治具手段が球回
転することにより前記第１光学部材と前記第２光学部材
の当接面が整合した状態で、前記治具手段を保持する固
定手段。更に、（３）の支持手段は、ボールブッシュを
前記第１軸と交わる平面上にかつ前記第１軸を中心に持
つ正三角形に配置することとしている。更に、（４）の
ガイド手段は、前記第１光学部材が前記第１軸の方向に
移動して前記第２光学部材と当接し、さらに前記第１光
学部材が移動した場合、前記治具手段を支持した前記支
持手段が前記第１軸の方向に、前記弾性部材の圧力方向
に逆らいながら前記直動ガイド部材をガイドとして移動
することとしている。更に、（２）の治具手段において
は、前記固定手段との当接面が、前記第１軸上の任意点
を中心とする球形状であることとしている。
【０００８】この構成によれば、小さな押しつけ荷重に
おいても、ボールブッシュによる極めて小さな転がり摩
擦抵抗により面合わせを行うことができ、また、各光学
部材に歪みをあたえることはなく、また、各光学部材同
士の位置ずれを防ぐことが可能となる。
おいても、ボールブッシュによる極めて小さな転がり摩
擦抵抗により面合わせを行うことができ、また、各光学
部材に歪みをあたえることはなく、また、各光学部材同
士の位置ずれを防ぐことが可能となる。
【０００９】
【発明の実施の形態】図２は本発明の面合わせ装置の実
施の一形態を示す斜視図である。１，２は第１及び第２
光学部材、１ａは第１光学部材１に接続された光ファイ
バーである。第１光学部材１はＺ軸方向に微動するステ
ージ（不図示）に取り付けられている。１３は第２光学
部材２（例えば、レーザーダイオード）を固定する半球
状の治具手段である。１４はボールブッシュを正三角形
に配置した支持手段であり、治具手段１３が載置され
る。１４ａはボールブッシュである。１５は直動ガイド
部材（例えば、ボールブッシュ）と弾性部材（例えば、
圧縮バネ）を備えたガイド手段であり、支持手段１４を
支持している。１６は固定手段（例えばエアチャック）
であり、治具手段１３を保持・固定する。
施の一形態を示す斜視図である。１，２は第１及び第２
光学部材、１ａは第１光学部材１に接続された光ファイ
バーである。第１光学部材１はＺ軸方向に微動するステ
ージ（不図示）に取り付けられている。１３は第２光学
部材２（例えば、レーザーダイオード）を固定する半球
状の治具手段である。１４はボールブッシュを正三角形
に配置した支持手段であり、治具手段１３が載置され
る。１４ａはボールブッシュである。１５は直動ガイド
部材（例えば、ボールブッシュ）と弾性部材（例えば、
圧縮バネ）を備えたガイド手段であり、支持手段１４を
支持している。１６は固定手段（例えばエアチャック）
であり、治具手段１３を保持・固定する。
【００１０】図３は支持手段１４に使用するボールブッ
シュ１４ａの構造を示した図である。２１はシャフト、
２２は可動部、２３はリテーナ、２４はボールである。
ボール２４はリテーナ２３に保持されている。可動部２
２はボール２４との転がり点接触により、極めて小さな
荷重にて軸方向の直線運動と回転運動が可能である。
シュ１４ａの構造を示した図である。２１はシャフト、
２２は可動部、２３はリテーナ、２４はボールである。
ボール２４はリテーナ２３に保持されている。可動部２
２はボール２４との転がり点接触により、極めて小さな
荷重にて軸方向の直線運動と回転運動が可能である。
【００１１】図４は本装置の構造を示す平面図である。
３本のボールブッシュ１４ａは、第１、第２光学部材の
取り付け中心軸を中心にもつ正三角形の各辺に配置す
る。ボールブッシュ１４ａの可動部２２は、治具手段１
３を載置する以前の状態では、常に各辺の中央部にある
ことが望ましい。１４ｂは弾性部材（例えば、板バネ）
を示し、この弾性部材１４ｂの作用によって、ボールブ
ッシュの可動部は各辺の中央部に保持される。また、固
定手段１６は固定時の固定中心を、ボールブッシュを配
置した正三角形の中心と一致させる。
３本のボールブッシュ１４ａは、第１、第２光学部材の
取り付け中心軸を中心にもつ正三角形の各辺に配置す
る。ボールブッシュ１４ａの可動部２２は、治具手段１
３を載置する以前の状態では、常に各辺の中央部にある
ことが望ましい。１４ｂは弾性部材（例えば、板バネ）
を示し、この弾性部材１４ｂの作用によって、ボールブ
ッシュの可動部は各辺の中央部に保持される。また、固
定手段１６は固定時の固定中心を、ボールブッシュを配
置した正三角形の中心と一致させる。
【００１２】次に図２の構成の動作について説明する。
図５は本発明の動作を示す説明図で、（Ａ）は面合わせ
前の状態を示し、（Ｂ）は面合わせ後の状態を示す。図
５の（Ａ）において、第２光学部材２は治具手段１３に
固定されており、治具手段１３は支持手段１４に載置さ
れている。この時、治具手段１３は支持手段１４の水平
面に対して傾いている。ここで、Ｚ軸方向に動作するス
テージに取り付けられた第１光学部材１を垂直に降下さ
せて面合わせを実施する。
図５は本発明の動作を示す説明図で、（Ａ）は面合わせ
前の状態を示し、（Ｂ）は面合わせ後の状態を示す。図
５の（Ａ）において、第２光学部材２は治具手段１３に
固定されており、治具手段１３は支持手段１４に載置さ
れている。この時、治具手段１３は支持手段１４の水平
面に対して傾いている。ここで、Ｚ軸方向に動作するス
テージに取り付けられた第１光学部材１を垂直に降下さ
せて面合わせを実施する。
【００１３】このとき、始めに接触した点に押しつけ荷
重が加わり、治具手段１３を水平にする方向のモーメン
ト（回転力）が発生する。この回転力が治具手段１３を
支持しているボールブッシュ１４ａの転がり点接触にお
ける極めて小さな転がり摩擦抵抗に抗して治具手段１３
を回転させ、第１光学部材１の先端の平面に第２光学部
材２の面が矯正されるようにして第１光学部材１と第２
光学部材２の面合わせが実現する。同時に支持手段１４
がＺ軸方向に移動して、各光学部材にあたえる歪み荷重
を抑える。このようにして、図５（Ｂ）に示した面合わ
せの状態が得られ、この状態が固定手段１６によって保
持・固定される。この状態でＹＡＧレーザー（不図示）
を使用し、第１光学部材１と第２光学部材２を溶着固定
する。
重が加わり、治具手段１３を水平にする方向のモーメン
ト（回転力）が発生する。この回転力が治具手段１３を
支持しているボールブッシュ１４ａの転がり点接触にお
ける極めて小さな転がり摩擦抵抗に抗して治具手段１３
を回転させ、第１光学部材１の先端の平面に第２光学部
材２の面が矯正されるようにして第１光学部材１と第２
光学部材２の面合わせが実現する。同時に支持手段１４
がＺ軸方向に移動して、各光学部材にあたえる歪み荷重
を抑える。このようにして、図５（Ｂ）に示した面合わ
せの状態が得られ、この状態が固定手段１６によって保
持・固定される。この状態でＹＡＧレーザー（不図示）
を使用し、第１光学部材１と第２光学部材２を溶着固定
する。
【００１４】以上の実施の形態においては、治具手段１
３は半球状としたが、支持手段１４のボールブッシュに
接する可能性のある部分、及び、固定手段１６に接する
可能性のある部分が、部分的に球形面を有している形状
でもよい。
３は半球状としたが、支持手段１４のボールブッシュに
接する可能性のある部分、及び、固定手段１６に接する
可能性のある部分が、部分的に球形面を有している形状
でもよい。
【００１５】
【発明の効果】本発明により、以下の効果が得られる。
（１） ボールブッシュによる極めて小さな転がり摩擦
抵抗により、小さな押しつけ荷重にて面合わせが可能と
なる。 （２） ボールブッシュという汎用部品を使用すること
と、滑り摩擦でないために高精度な表面粗さの精密加工
を施す必要がなく、装置製作が容易になる。 （３） 治具手段を載置した支持手段がＺ軸方向に移動
することにより、各光学部材に歪みをあたえる荷重を最
小限に抑えることができる。 （４） 治具手段を機械的に固定するため、溶着固定の
際の各光学部材同士の位置ずれを防ぐことができる。
抵抗により、小さな押しつけ荷重にて面合わせが可能と
なる。 （２） ボールブッシュという汎用部品を使用すること
と、滑り摩擦でないために高精度な表面粗さの精密加工
を施す必要がなく、装置製作が容易になる。 （３） 治具手段を載置した支持手段がＺ軸方向に移動
することにより、各光学部材に歪みをあたえる荷重を最
小限に抑えることができる。 （４） 治具手段を機械的に固定するため、溶着固定の
際の各光学部材同士の位置ずれを防ぐことができる。
【図１】従来の面合わせ装置を示す説明図。
【図２】本発明による面合わせ装置の実施の一形態を示
す斜視図。
す斜視図。
【図３】ボールブッシュの構造を示す説明図。
【図４】本発明による面合わせ装置の実施の一形態を示
す平面図。
す平面図。
【図５】本発明の動作を示し、（Ａ）は面合わせ前の状
態を示し、（Ｂ）は面合わせ後の状態を示す説明図。
態を示し、（Ｂ）は面合わせ後の状態を示す説明図。
１ 第１光学部材
１ａ 光ファイバー
２ 第２光学部材
３ ホルダ
４ 支持台
５ 支持台ベース
６ 永久磁石
１３ 治具手段
１４ 支持手段
１４ａ ボールブッシュ
１４ｂ 弾性部材
１５ ガイド手段
１６ 固定手段
２１ シャフト
２２ 可動部
２３ リテーナ
２４ ボール
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2H037 AA01 BA02 BA31 DA03 DA04
DA06 DA18 DA22
5F073 FA07 FA30
5F088 BA16 JA14 JA20
Claims (4)
- 【請求項１】 第１光学部材を支持しながら第１軸の方
向に移動する移動手段。第２光学部材を支持して前記第
１軸上の任意点を中心として球回転する、少なくとも形
状の一部が球面状の治具手段。前記第１光学部材が前記
第１軸の方向に移動して前記第２光学部材に当接すると
き、前記治具手段の球面状の部位を３点で支持し前記治
具手段を球回転させながら支持する支持手段。前記第１
光学部材が前記第１軸の方向に移動して前記第２光学部
材に当接するとき、前記支持手段が前記第１軸の方向に
可動する直動ガイド部材と、かつ前記第１光学部材と前
記第２光学部材が当接する圧力を発生させる弾性部材を
備えたガイド手段。前記第１光学部材が前記第１軸の方
向に移動して前記第２光学部材に当接するときに前記治
具手段が球回転することにより前記第１光学部材と前記
第２光学部材の当接面が整合した状態で、前記治具手段
を保持する固定手段。以上の移動手段と治具手段と支持
手段とガイド手段と固定手段を具備することを特徴とす
る面合わせ装置。 - 【請求項２】 前記支持手段に、ボールブッシュを前記
第１軸と交わる平面上にかつ前記第１軸を中心に持つ正
三角形に配置することを特徴とする、請求項１記載の面
合わせ装置。 - 【請求項３】 前記第１光学部材が前記第１軸の方向に
移動して前記第２光学部材と当接し、さらに前記第１光
学部材が移動した場合、前記治具手段を支持した前記支
持手段が前記第１軸の方向に、前記弾性部材の圧力方向
に逆らいながら前記直動ガイド部材をガイドとして移動
することを特徴とする、請求項１または２記載の面合わ
せ装置。 - 【請求項４】 前記治具手段の、前記固定手段との当接
面が、前記第１軸上の任意点を中心とする球形状である
ことを特徴とする、請求項１、２または３記載の面合わ
せ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001362592A JP4011332B2 (ja) | 2001-11-28 | 2001-11-28 | 面合わせ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001362592A JP4011332B2 (ja) | 2001-11-28 | 2001-11-28 | 面合わせ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003161866A true JP2003161866A (ja) | 2003-06-06 |
| JP4011332B2 JP4011332B2 (ja) | 2007-11-21 |
Family
ID=19173071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001362592A Expired - Fee Related JP4011332B2 (ja) | 2001-11-28 | 2001-11-28 | 面合わせ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4011332B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014074459A (ja) * | 2012-10-04 | 2014-04-24 | Precise Gauges Co Ltd | 回転機構 |
| JP2017053493A (ja) * | 2016-12-01 | 2017-03-16 | プレサイスゲージ株式会社 | 回転機構 |
| JP2017075701A (ja) * | 2016-12-01 | 2017-04-20 | プレサイスゲージ株式会社 | 回転機構 |
| JP2019015404A (ja) * | 2018-10-03 | 2019-01-31 | プレサイスゲージ株式会社 | 回転機構 |
-
2001
- 2001-11-28 JP JP2001362592A patent/JP4011332B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2014074459A (ja) * | 2012-10-04 | 2014-04-24 | Precise Gauges Co Ltd | 回転機構 |
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