JP2014074459A - 回転機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ステージ2と、ステージ2を保持する円環状の保持部材3と、ステージ2と保持部材3との間に介在される3つの独立したボールブッシュ4と、を備える。ステージ2は、側面がボールブッシュ4に支持される支持面22となっている。保持部材3は、中空部がステージ2を収容するためのステージ収容空間31となっている。ボールブッシュ4は、円筒状に形成された円筒部41と、円筒部41に挿入されて直線状に延びるロッド部42と、円筒部41とロッド部42との間に介在されるボールベアリング43と、を備えており、ロッド部42の両端部が保持部材3に固定されるとともに、円筒部41がステージ2の支持面22に当接されている。
【選択図】図1
Description
第1の実施形態は、本発明に係る回転機構を、一対の光学部品の面合せと溶接とを行う調芯溶接装置のステージ機構に適用したものである。
次に、第2の実施形態について説明する。第2の実施形態は、基本的に第1の実施形態と同様であり、ボールブッシュの配置のみ第1の実施形態と相違する。このため、以下では、第1の実施形態と相違する事項のみ説明し、第1の実施形態と同様の事項の説明を省略する。
次に、第3の実施形態について説明する。第3の実施形態は、本発明に係る回転機構を、ステージを回転及び摺動させるステージ機構に適用したものである。
次に、第4の実施形態について説明する。第4の実施形態は、基本的に第3の実施形態と同様であり、ボールブッシュがステージに固定されている点のみ第3の実施形態と相違する。このため、以下では、第3の実施形態と相違する事項のみ説明し、第3の実施形態と同様の事項の説明を省略する。
次に、第5の実施形態について説明する。第5の実施形態は、ステージを任意の方向に回転及び移動させるステージ機構に適用したものである。
次に、第6の実施形態について説明する。第6の実施形態は、基本的に第5の実施形態と同様であり、第2ボールブッシュが第一保持部材に固定されている点のみ第5の実施形態と相違する。このため、以下では、第5の実施形態と相違する事項のみ説明し、第5の実施形態と同様の事項の説明を省略する。
次に、第7の実施形態について説明する。第7の実施形態は、基本的に第1の実施形態と同様であり、ステージを固定する固定部材が設けられている点のみ第1の実施形態と相違する。このため、以下では、第1の実施形態と相違する事項のみ説明し、第1の実施形態と同様の事項の説明を省略する。
次に、第8の実施形態について説明する。第8の実施形態は、基本的に第1の実施形態と同様であり、保持部材に対してステージを回転させる調節機構が設けられている点のみ第1の実施形態と相違する。このため、以下では、第1の実施形態と相違する事項のみ説明し、第1の実施形態と同様の事項の説明を省略する。
次に、第9の実施形態について説明する。第9の実施形態は、基本的に第1の実施形態と同様であり、保持部材に対してステージを回転させる調節機構が設けられている点のみ第1の実施形態と相違する。このため、以下では、第1の実施形態と相違する事項のみ説明し、第1の実施形態と同様の事項の説明を省略する。
次に、第10の実施形態について説明する。第10の実施形態は、基本的に第1の実施形態と同様であり、ボールブッシュの一部が、保持部材に対してステージを回転させる調節機構に置き換えられている点のみ第1の実施形態と相違する。このため、以下では、第1の実施形態と相違する事項のみ説明し、第1の実施形態と同様の事項の説明を省略する。
次に、第11の実施形態について説明する。第11の実施形態は、基本的に第1の実施形態と同様であり、ボールブッシュが上下方向にずれている点のみ第1の実施形態と相違する。このため、以下では、第1の実施形態と相違する事項のみ説明し、第1の実施形態と同様の事項の説明を省略する。
次に、第12の実施形態について説明する。第12の実施形態は、本発明に係る回転機構を球面軸受に適用したものである。
次に、第13の実施形態について説明する。第13の実施形態は、本発明に係る回転機構を変位センサに適用したものである。
次に、第14の実施形態について説明する。第14の実施形態は、基本的に第1の実施形態と同様であり、ボールブッシュが、ステージの半径方向に移動可能になっている点のみ第1の実施形態と相違する。このため、以下では、第1の実施形態と相違する事項のみ説明し、第1の実施形態と同様の事項の説明を省略する。
Claims (22)
- 回転部材と、
前記回転部材を保持する保持部材と、
前記回転部材と前記保持部材との間に介在されて前記回転部材を前記保持部材に対して回転可能に支持する複数の独立した軸受機構と、
を有する回転機構。 - 前記軸受機構は、
円筒状に形成された円筒部と、
前記円筒部に挿入されて直線状に延びるロッド部と、
前記円筒部と前記ロッド部との間に介在されるボールベアリングと、
を備える請求項1に記載の回転機構。 - 前記回転部材及び前記保持部材の何れか一方に前記ロッド部が固定され、
前記回転部材及び前記保持部材の何れか他方に形成された円弧状断面の支持面に前記円筒部が当接されている、
請求項2に記載の回転機構。 - 前記回転部材は、上面に座面が形成されて、前記座面よりも上方を中心とした凸球面状の前記支持面が形成されており、
前記保持部材に前記ロッド部が固定されて、前記支持面に前記円筒部が当接されている、
請求項3に記載の回転機構。 - 前記ロッド部の軸線が、前記座面と平行な方向に向けられている、
請求項4に記載の回転機構。 - 前記ロッド部の軸線が、前記支持面の円弧中心と前記座面の中心とを通る基準直線と交わる方向に向けられている、
請求項4に記載の回転機構。 - 前記回転部材と前記保持部材との間に3つの前記軸受機構が介在されている、
請求項4〜6の何れか一項に記載の回転機構。 - 前記回転部材は、上面に座面が形成されて一対の対向する側面を有する板状に形成されて、当該一対の側面に前記座面よりも上方を中心とした凸円弧状の前記支持面が形成されており、
前記軸受機構は、前記回転部材と前記支持面との間に介在されて、前記ロッド部が固定されて、前記支持面に前記円筒部が当接されている、
請求項3に記載の回転機構。 - 前記回転部材は、上面に座面が形成された板状に形成されており、
前記保持部材は、前記回転部材が収容される回転部材収容空間が形成されて、当該回転部材収容空間の一対の対向する内側面に前記座面よりも上方を中心とした凹円弧状の前記支持面が形成されており、
前記軸受機構は、前記回転部材と前記支持面との間に介在されて、前記回転部材に前記ロッド部が固定されて、前記支持面に前記円筒部が当接されている、
請求項3に記載の回転機構。 - 前記ロッド部の軸線が、前記支持面の延在方向に向けられている、
請求項8又は9に記載の回転機構。 - 前記保持部材は、
前記回転部材を収容する第一保持部材と、
前記第一保持部材を収容する第二保持部材と、
を備えており、
前記軸受機構は、
前記回転部材と前記第一保持部材との間に介在されて前記回転部材を前記第一保持部材に対して回転可能に支持する一対の対向する第一軸受機構と、
前記第一保持部材と前記第二保持部材との間に介在されて前記第一保持部材を前記第二保持部材に対して回転可能に支持し、前記第一軸受機構の対向方向と直交する方向に対向する一対の第二軸受機構と、
を備える、
請求項2に記載の回転機構。 - 前記回転部材及び前記第一保持部材の何れか一方に前記第一軸受機構の前記ロッド部が固定され、
前記回転部材及び前記第一保持部材の何れか他方に形成された円弧状断面の第一支持面に前記第一軸受機構の前記円筒部が当接され、
前記第一保持部材及び前記第二保持部材の何れか一方に前記第二軸受機構の前記ロッド部が固定され、
前記第一保持部材及び前記第二保持部材の何れか他方に形成された円弧状断面の第二支持面に前記第二軸受機構の前記円筒部が当接されている、
請求項11に記載の回転機構。 - 前記回転部材は、上面に座面が形成されており、
前記第一保持部材は、矩形環状に形成されて、対向する一対の外側面に前記座面よりも上方を中心とした凸円弧状の第一支持面が形成されており、
前記第二軸受機構は、前記第一保持部材と前記第二支持面との間に介在されて、前記第二保持部材に前記ロッド部が固定されて、前記第一支持面に前記円筒部が当接されている、
請求項12に記載の回転機構。 - 前記回転部材は、上面に座面が形成されており、
前記第二保持部材は、矩形環状に形成されて、前記一対の第一支持面の対向方向に直交する方向において対向する一対の内側面に前記座面よりも上方を中心とした凹円弧状の第二支持面が形成されており、
前記第二軸受機構は、前記第一保持部材と前記第二支持面との間に介在されて、前記第一保持部材に前記ロッド部が固定されて、前記第二支持面に前記円筒部が当接されている、
請求項12に記載の回転機構。 - 前記第一軸受機構の前記ロッド部の軸線が、前記第一支持面の延在方向に向けられており、
前記第二軸受機構の前記ロッド部の軸線が、前記第二支持面の延在方向に向けられている、
請求項13又は14に記載の回転機構。 - 前記回転部材は、球状に形成されており、
前記保持部材に前記ロッド部が固定されて、前記回転部材の球状表面に前記円筒部が当接されている、
請求項2に記載の回転機構。 - 前記保持部材と前記回転部材との間に4以上の前記軸受機構が介在されている、
請求項16に記載の回転機構。 - 前記保持部材に対して前記回転部材を回転させる調節機構を更に有する、
請求項1〜17の何れか一項に記載の回転機構。 - 前記調節機構は、
円筒状に形成されて前記回転部材に当接される回転駆動用円筒部と、前記回転駆動用円筒部に挿入されて直線状に延びる回転駆動用ロッド部と、前記回転駆動用円筒部を前記回転駆動用ロッド部の延在方向にのみ摺動可能とする直動機構と、を有する直動転がり機構と、
前記回転駆動用ロッド部を回転駆動する駆動部と、
を備える、
請求項18に記載の回転機構。 - 前記回転部材の回転角度及び回転方向の少なくとも一方を検出するセンサを更に有する、
請求項1〜19の何れか一項に記載の回転機構。 - 複数の前記軸受機構を互いに近接及び離間する方向に移動可能に支持する移動支持部材を更に有する、
請求項1〜20の何れか一項に記載の回転機構。 - 前記保持部材に前記回転部材を押し付ける押付部材を更に有する、
請求項1〜21の何れか一項に記載の回転機構。
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