JPH07230026A - 光学部品の角度調整装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】対向する２個の光学部品の境界面を平行にする
ために、人為的にＸ軸及びＹ軸まわりの角度修正をする
ことなく、また、境界面を圧接させても、光学部品のホ
ルダに弾性変形を与えることなく、Ｘ軸及びＹ軸まわり
の角度ずれを修正できるようにした光学部品の角度調整
装置を提供する。 【構成】固定ホルダ３あるいは移動ステージであるＸＹ
Ｚステージ４に取付けられる角度調整装置２０であっ
て、第１あるいは第２の光学部品１，２を保持してこれ
ら第１及び第２の光学部品１，２がＸＹ平面に垂直なＺ
方向に圧接されることにより、前記Ｘ軸６５及びＹ軸６
２まわりに回転し、前記第１及び第２の光学部品の対向
面の角度を調整する可動部材６３，６６と、この可動部
材を移動可能に支持する固定部材６１と、角度調整後に
前記可動部材６３，６６が回転しないよう保持するクラ
ンプ装置６６，６７とを設けたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、端面を対向させて結合
される２個の光学部品の光軸の調芯に先立って、前記光
学部品の相互の対向面の角度を調整する光学部品の角度
調整装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、光通信に用いられる光ファイバシ
ステムには、半導体レーザダイオード（以下ＬＤ）や発
光ダイオード（ＬＥＤ）から出射する光を、光ファイバ
に入射させるＬＤモジュール（受光モジュール）や、分
岐カプラと光ファイバの接続において調芯作業が不可欠
である。

【０００３】光ファイバ、特にシングルモード光ファイ
バのコア径は１０μｍと細いので、少しの光軸ずれが大
きな損失につながる。そこで、光学部品を接続する場合
には、調芯装置で光ファイバの光軸を調芯してから接続
する。

【０００４】すなわち、調芯装置の固定クランプに第１
の光学部品を取付け、移動ステージに第２の光学部品を
取付け、前記第１及び第２の光学部品を、直交するＸ，
Ｙ軸によって形成されるＸＹ平面を介して対向させる。

【０００５】そして、上記移動ステージをＸＹ方向及び
ＸＹ平面に垂直なＺ方向の位置を移動させることによ
り、光の透過量が最大になる最適位置を探す。なお、１
本の光軸合せを行う場合は、Ｘ，Ｙ，Ｚの３軸を、複数
の光軸合せを行う場合はＸ，Ｙ，Ｚ，Ｃ（Ｚ軸まわりの
回転軸）の４軸を動かして調芯するのが一般的である。

【０００６】ところで、上記した調芯に先立ち、第１及
び第２の光学部品の対向する境界面が互いに平行になる
ように、Ｘ軸及びＹ軸まわりに角度を修正する必要があ
る。従来においては、調芯装置に付設できる光学部品の
角度調整装置が無かった。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】したがって、従来の角
度調整装置なしの調芯装置で、ＬＤモジュール、分岐カ
プラ等の光学部品の調芯を行う場合は、第１の光学部品
ガイド面（固定ホルダが保有する光学部品保持用のクラ
ンプ装置で光学部品が接触する基準面）と、第２の光学
部品ガイド面（移動ステージが保有する光学部品保持用
のクランプ装置で光学部品が接触する基準面）の平行度
を高精度に組立てる必要があり、装置の構成上大きな困
難となる。

【０００８】また、仮に前述のような高精度の装置を製
作したとしても、第１及び第２の光学部品の境界面同士
を一定の力で押当てた状態で調芯する場合、第１及び第
２の光学部品の側面（前記光学部品ガイド面と接触する
面）とそれぞれの光学部品端面の精度（直角度）が悪い
光学部品では、それぞれの光学部品保持用クランプ装置
に弾性変形が生じ、境界面は平行な状態になるが、光学
部品保持用クランプ装置に無理な力が作用する。

【０００９】また、光学部品保持用クランプ装置の剛性
が大きく、弾性変形が生じない場合は境界面が平行にな
らず、調芯の際に片方の光学部品境界面のエッジ部が相
手を引っかいてしまう。

【００１０】このため、光学部品保持用クランプ装置の
剛性が小さくても大きくても、調芯の際に必要以上の力
を要する上に、調芯完了後、第１及び第２の光学部品を
結合する際、例えばレーザなどで加熱・溶融結合を行っ
た場合などには、特に歪み発生の原因となり、結果とし
て結合後に位置ずれが生じ、調芯によってサーチした最
適光量が変化してしまうという現象が起こる。

【００１１】また、２つの光学部品の境界面に間隔を開
けて調芯を行った後、加熱・溶融結合などを行った場合
も、境界面が平行になっていないと歪みの発生の要因と
なり、結果として最適光量の変化が起きてしまうといっ
た問題があった。

【００１２】本発明は、上記事情に基づきなされたもの
で、対向する２個の光学部品の境界面を平行にするため
に、人為的にＸ軸及びＹ軸まわりの角度修正をすること
なく、また、境界面を圧接させても、光学部品のホルダ
に弾性変形を与えることなく、Ｘ軸及びＹ軸まわりの角
度ずれを修正できるようにした光学部品の角度調整装置
を提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するための第１の手段として、固定ホルダに第１の光学
部品を取付け、移動ステージにＸ軸及びこのＸ軸に直交
するＹ軸からなるＸＹ平面を介して前記第１の光学部品
に対向する第２の光学部品を取付け、前記第１及び第２
の光学部品の対向面の角度を調整する光学部品の角度調
整装置において、前記固定ホルダあるいは移動ステージ
に取付けられ、前記第１あるいは第２の光学部品を保持
し、前記第１及び第２の光学部品が前記ＸＹ平面に垂直
なＺ方向に圧接されることにより、前記Ｘ軸及びＹ軸ま
わりに回転し、前記第１及び第２の光学部品の対向面の
角度を調整する可動部材と、この可動部材を移動可能に
支持する固定部材と、角度調整後に前記可動部材が回転
しないよう保持する保持機構とを具備してなる構成とし
たものである。

【００１４】また、第２の手段として、固定ホルダに第
１の光学部品を取付け、移動ステージにＸ軸及びこのＸ
軸に直交するＹ軸からなるＸＹ平面を介して前記第１の
光学部品に対向する第２の光学部品を取付け、前記第１
及び第２の光学部品の対向面の角度を調整する光学部品
の角度調整装置において、前記固定ホルダあるいは移動
ステージに取付けられ、前記第１あるいは第２の光学部
品を保持し、前記第１及び第２の光学部品が前記ＸＹ平
面に垂直なＺ方向に圧接されることにより、前記Ｘ軸及
びＹ軸に平行な第１及び第２の軸を回転軸として、Ｘ軸
及びＹ軸まわりに回転し、前記第１及び第２の光学部品
の対向面の角度を調整する可動部材と、この可動部材の
回転軸をガイドする回転軸受を有する固定部材と、角度
調整後に前記第１及び第２の回転軸が回転しないよう保
持する保持機構とを具備してなる構成としたものであ
る。

【００１５】また、第３の手段として、固定ホルダに第
１の光学部品を取付け、移動ステージにＸ軸及びこのＸ
軸に直交するＹ軸からなるＸＹ平面を介して前記第１の
光学部品に対向する第２の光学部品を取付け、前記第１
及び第２の光学部品の対向面の角度を調整する光学部品
の角度調整装置において、前記固定ホルダあるいは移動
ステージに取付けられ、前記第１あるいは第２の光学部
品を保持し、前記第１及び第２の光学部品が前記ＸＹ平
面に垂直なＺ方向に圧接されることにより、前記Ｘ軸及
びＹ軸に平行な第１及び第２の軸の交点を回転中心とす
る球状案内面に沿ってＸ軸及びＹ軸まわりに回転し、前
記第１及び第２の光学部品の対向面の角度を調整する少
なくとも外周一部に、凸球面を有する可動部材と、この
可動部材の凸球面を案内する凹球面を有する固定部材
と、角度調整後に前記可動部材が回転しないよう保持す
る保持機構とを具備してなる構成としたものである。

【００１６】また、第４の手段として、固定ホルダに第
１の光学部品を取付け、移動ステージにＸ軸及びこのＸ
軸に直交するＸ軸からなるＸＹ平面を介して前記第１の
光学部品に対向する第２の光学部品を取付け、前記第１
及び第２の光学部品の対向面の角度を調整する光学部品
の角度調整装置において、前記固定ホルダあるいは移動
ステージに取付けられ、前記第１あるいは第２の光学部
品を保持し、前記第１及び第２の光学部品が前記ＸＹ平
面に垂直なＺ方向に圧接されることにより、前記Ｘ軸及
びＹ軸にそれぞれ平行な第１及び第２の軸を中心とする
円筒状案内面に沿ってＸ軸及びＹ軸まわりに回転し、前
記第１及び第２の光学部品の対向面の角度を調整する２
段重ねの可動部材と、下方の可動部材の円筒状案内面を
受ける案内面を有する固定部材と、角度調整後に前記可
動部材が回転しないよう保持する保持機構とを具備して
なる構成としたものである。

【００１７】また、第５の手段として、固定ホルダに第
１の光学部品を取付け、移動ステージにＸ軸及びこのＸ
軸に直交するＹ軸からなるＸＹ平面を介して前記第１の
光学部品に対向する第２の光学部品を取付け、前記第１
及び第２の光学部品の対向面の角度を調整する光学部品
の角度調整装置において、前記固定ホルダあるいは移動
ステージに取付けられ、前記第１あるいは第２の光学部
品を保持し、前記第１及び第２の光学部品が前記ＸＹ平
面に垂直なＺ軸方向に圧接されることより、前記Ｘ軸及
びＹ軸に平行な第１及び第２の軸の交点を回転中心にし
て回転し、前記第１及び第２の光学部品の対向面の角度
を調整する、少なくとも外周一部に凸球面を有する可動
部材と、この可動部材の凸球面を、上記回転中心で回転
するように案内する複数の球状部材を有する固定部材
と、角度調整後に前記可動部材が回転しないように保持
する保持機構とを具備してなる構成としたものである。

【００１８】

【作用】本発明の光学部品の角度調整装置によれば、固
定ホルダ及び移動ステージに第１及び第２の光学部品を
取付け、移動ステージを移動させることにより、第１及
び第２の光学部品の端面を圧接させる。このとき、第１
及び第２の光学部品の端面が平行でない場合には、可動
部材がＸ軸及びＹ軸まわりに回転する。これにより、光
学部品の保持部材に弾性変形を与えることなく、第１及
び第２の光学部品の対向面の角度を平行に調整すること
が可能となる。

【００１９】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１ないし図８を
参照して詳細に説明する。図１は調芯装置１００の全体
的な構成を示すもので、図１中１，２は調芯すべき第１
及び第２の光学部品である。

【００２０】上記第１の光学部品１は固定ホルダ３に固
定されている。上記第２の光学部品２は、移動ステージ
であるＸＹＺステージ４に搭載されており、ＸＹＺステ
ージ４により位置制御されて上記第１の光学部品１との
調芯が行われる。

【００２１】通常、図２に示すＬＤモジュール１１０の
調芯には、ＸＹＺの調芯軸の場合が多く、分岐カプラ１
２０の調芯にはＸＹＺＣ（Ｃ軸はＺ軸まわりの回転軸）
の調芯軸の場合が多い。

【００２２】上記ＸＹＺステージ４は、ベース５を有
し、このベース５にはＺ案内部６が設けられている。こ
のＺ案内部６にはＺステージ７が搭載され、このＺステ
ージ７は図１において上下方向であるＺ方向にＺモータ
８により移動される。

【００２３】また、上記Ｚステージ７上にはＹ案内部９
とＹステージ１０が搭載され、Ｚステージ７上に取付け
られたＹモータ１１により垂直なＹ方向に移動できるよ
うになっている。さらに、上記Ｙステージ１０上にはＸ
案内部１２とＸステージ１３が搭載され、Ｙステージ１
０上に取付けられたＸモータ１４によりＸ方向（図中左
右方向）に移動できるようになっている。

【００２４】また、図１には示されていないがＣ軸を必
要とする場合は、Ｘステージ１３上にＺまわりの回転軸
であるＣ軸を搭載する。なお、上記ＸＹＺステージ４の
構成は、本発明とは直接関係なく、後述するＸ方向、Ｙ
方向、Ｚ方向、（Ｃ方向）が調整できる構造であればよ
い。

【００２５】また、調芯装置１００には、本発明の光学
部品の角度調整装置２０が組込まれたものとなってい
る。なお、この実施例では、角度調整装置２０を移動ス
テージであるＸＹＺステージ４側に取付けた場合を示
す。

【００２６】また、図１中、２５は、ＸＹＺステージ４
におけるＸＹＺ方向の制御を行う制御装置である。この
制御装置２５には各軸の現在位置を表示する表示部２６
が設けられている。

【００２７】また、配線２７は、上記制御装置２５から
前記各モータ８，１１，１４等への制御信号及び位置セ
ンサからのフィードバック信号路を示す。また、光パワ
ー測定部３０には、電源部２８（分岐カプラの調芯には
光源部２８′と光パワー測定器２９が配置されている。
前記電源部２８は上記第２の光学部品２に接続される。
なお、分岐カプラの調芯の場合、光源部２８′は光ファ
イバを介して上記第２の光学部品２に接続される。

【００２８】前記光パワー測定器２９は、光ファイバ４
０を介して上記第１の光学部品１に接続されている。上
記光パワー測定部２９にはＣＰＵ４１が接続され、光パ
ワー測定器２９からの信号を受けて第１及び第２の光学
部品１，２の調芯状態を判断し、次の新しい指令を上記
制御装置２５へ送り出すようになっている。

【００２９】なお、図１に示す１５はＹＡＧレーザ発生
装置である。図２は、調芯作業を必要とするＬＤモジュ
ール１１０と分岐カプラ１２０を示す。図１に示す調芯
装置１００の構成は、主としてＬＤモジュール１１０の
調芯を行うためのものなので、ＬＤモジュール１１０を
調芯する場合について説明する。

【００３０】図２中、ＬＤ４２は電源部２８から電気を
得て光を発射する。そしてこの光をレンズ４３によって
集光し、光ファイバ４０に入射させる。光ファイバ４０
は、図３に示すように、直径０．０１ｍｍのコア部５５
と、その外側の直径０．１２５ｍｍのクラッド部５６
と、その外周の被覆材５７とから成る。ＬＤ４２から出
射された光は、直径０．０１ｍｍのコア部５５を通るの
で、光透過量を大きくするためには、高精度の調芯作業
が必要となる。

【００３１】このため、ＬＤモジュール１１０の第２の
光学部品２と第１の光学部品１を、調芯装置１００のＸ
ＹＺステージ４と固定ホルダ３に取付けて調芯を行う。
調芯方向は、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向であり、図１のＸステージ
１３、Ｙステージ１０、Ｚステージ７を移動させて、上
記第１の光学部品１と上記第２の光学部品２の相対位置
を最適にするものである。

【００３２】調芯終了後、２つの光学部品１，２の筒体
４４と４５をレーザ溶接あるいは紫外線硬化接着剤４６
等で結合固定する。また、Ｚ方向の隙間をなくすため
に、図４に示す中間部材４７を使用することもある。こ
の場合、固定箇所は図２の場合よりも多く、符号４８と
４９で示す２箇所となる。

【００３３】図５ないし図８は、前記第１及び第２の光
学部品１，２の対向する境界面の調芯に先立ち、第１及
び第２の光学部品１，２の対向面の角度を平行にするた
めの角度調整装置２０を示すものである。

【００３４】この角度調整装置２０は、上記移動ステー
ジであるＸＹＺステージ４のＸステージ１３上にＹ軸ま
わりの回転軸受６０を組込んだ固定部材６１を取付け、
回転軸受６０に、Ｙ軸まわりの回転軸６２を有する第１
の可動部材６３の前記回転軸６２を差込み、Ｙ軸まわり
の回転運動が可能としている。

【００３５】さらに、第１の可動部材６３は、Ｙ軸まわ
りの回転軸６２に直行する方向にＸ軸まわりの回転軸受
６４を有している。そして、このＸ軸まわりの回転軸受
６４にＸ軸受まわりの回転軸６５を有する第２の可動部
材６６のＸ軸受まわりの回転軸６５を差込み、Ｘ軸まわ
りの回転運動も可能としている。

【００３６】また、Ｙ軸まわりの回転軸６２の端部に
は、第１のクランプ装置６７があり、このクランプ装置
６７でクランプすることにより固定部材６１と第１の可
動部材６３を一体化できる。

【００３７】さらに、Ｘ軸まわりの回転軸６５の端部に
は、第２のクランプ装置６８がありクランプ装置６８で
クランプすることにより第１の可動部材６３と第２の可
動部材６６を一体化できる。

【００３８】このように、Ｘ軸及びＹ軸まわりの角度調
整後、保持機構としての第１，第２のクランプ装置６７
と６８でクランプすることにより、Ｘ軸及びＹ軸まわり
の回転運動ができなくなり、最適角度を保持することが
できる。なお、回転軸６２と回転軸６５は第１，第２の
光学部品１，２の接合部と一致する高さに配置されてい
る。

【００３９】また、図５中、６９は第２の光学部品２を
クランプするためのねじであり、このねじ６９を締める
ことにより、図７に示すクランプ用アーム７０が第２の
光学部品２を第２の可動部材６６との間で挟み込み、ク
ランプできる。

【００４０】第１の光学部品１は、クランプ装置として
のクランプ用ねじ７１を締めることにより固定ホルダ３
にクランプ可能である。固定ホルダ３は、第２の光学部
品２を角度調整装置２０に取付け易くするため、加えて
第１の光学部品１を固定ホルダ３自身に取付け易くする
ため軸受７２で保持される回転軸８２を旋回中心として
跳ね上げることができる。

【００４１】また、固定ホルダ３は、第１の光学部品１
を取付けた後、クランプ装置としてのクランプ用ねじ７
３によりベース７４に取付けられ固定される。図７に示
す９０はコードであり、図８に示す９１はクランプ片で
ある。

【００４２】つぎに、図１、図４、図５〜図８を参照し
て、作用を説明する。調芯に先立ち、第１及び第２の光
学部品１，２の対向する端面の平行度を出すためには、
まず、固定ホルダ３をベース７４に固定しているクラン
プ用ねじ７３をゆるめ、固定ホルダ３を軸受７２で保持
される回転軸８２を旋回中心として跳ね上げる。そし
て、固定ホルダ３の光学部品クランプ用ねじ７１をまわ
して第１の光学部品１を固定ホルダ３にクランプする。

【００４３】次に、移動ステージとしてのＸＹＺステー
ジ４に取付けられた角度調整装置２０の光学部品クラン
プ用ねじ６９を回すことによりクランプ用アーム７０を
第２の光学部品２に押当て、光学部品クランプ用ストッ
パ７５との間で第２の光学部品をクランプする。

【００４４】図８中、７６はバネ材からなる押え部材
で、図４に示すような中間部材４７を有するＬＤモジュ
ール１１０の調芯を行う際、中間部材４７と第２の光学
部品２の間に隙間が開かないよう中間部材４７を第２の
光学部品２に押当てる役目をする。

【００４５】このように第１及び第２の光学部品１，２
をそれぞれ固定ホルダ３と角度調整装置２０に取付けた
後、クランプ用ねじ７３により固定ホルダ３をベース７
４に固定する。

【００４６】次に、移動ステージのＺステージ７をＺモ
ータ８によりＺ（＋）方向に移動させ、第２の光学部品
２の端面を固定ホルダ３の第１の光学部品１の端面に押
当てる。これにより、第１及び第２の光学部品１，２の
境界面同志が圧接される状態になる。

【００４７】この圧接により、第１及び第２の光学部品
１，２の境界面が平行でない場合には、第２の光学部品
２が固定部材６１に組込まれたＹ軸まわりの回転軸受６
０を回転運動のガイドにし第１の可動部材６３がＹ軸ま
わりの回転をする。また、第１の可動部材６３のＹ軸ま
わりの回転軸６２と垂直方向に組込まれたＸ軸まわりの
回転軸受６４を回転運動のガイドにして第２の可動部材
６６がＸ軸まわりの回転をする。

【００４８】また、Ｘ軸まわりの回転運動の回転中心７
７とＹ軸まわりの回転運動の回転中心７８が同一ＸＹ平
面内にあり、かつ、このＸＹ平面と第２の光学部品２の
固定箇所（端面）４８が同一ＸＹ平面にあれば、第２の
光学部品２は第２の光学部品の固定箇所（端面）４８
（図４）内の一点、理想的には第２の光学部品２の端面
中心７９（図４参照）を旋回中心にして回転する。

【００４９】この第２の光学部品２の回転運動により、
第１及び第２の光学部品１，２の端面同志が平行化され
て最適角度が決定する。このように、最適角度が決定し
たら、前記第１，第２のクランプ装置６７と６８を締め
て固定部材６１と第１の可動部材６３、さらに第２の可
動部材６６を連結固定して調芯に備える。

【００５０】上述したように、第１の光学部品１の端面
に第２の光学部品２を圧接させるだけなので、境界面の
平行化を非常に短時間で簡単に行うことができる。ま
た、第１及び第２の光学部品１，２の保持部材に無理な
力がかからないので、光学部品や光学部品の保持部材が
弾性変形することなく、確実に平行状態を維持できる。

【００５１】また、第１の光学部品１と第２の光学部品
２の境界面を平行化したのちは、前記第１，第２のクラ
ンプ装置６７と６８を締めて固定部材６１と第１の可動
部材６３、さらに、第２の可動部材６６を連結固定し、
Ｘ軸まわりの回転運動及びＹ軸まわりの回転運動をでき
なくするため、第１の光学部品１と第２の光学部品２の
端面間に隙間をあけて調芯する場合においても、最適角
度が狂うことはない。

【００５２】その後、Ｘステージ１３，Ｙステージ１０
により調芯を行う。つぎに、図９を参照して、本発明の
第１の他の実施例について説明する。この角度調整装置
２０は、前記移動ステージであるＸＹＺステージ４のＸ
ステージ１３上に凹球面１５４及び凸球面１５５からな
る球状の回転運動案内面１５０を有する固定部材１５６
を取付け、前記固定部材１５６の球状の回転運動案内面
１５０を構成する凹球面１５４と凸球面１５５の間に少
なくとも外周に一部、球状の回転運動案内面１５０とそ
れぞれ同じ曲率半径の凸球面１５７と凹球面１５８を有
する可動部材１５９を挟み込む。

【００５３】可動部材１５９は、固定部材１５６の球状
の回転運動案内面１５０をガイド面にして回転運動する
ため、図５ないし図８で示したＸ軸及びＹ軸まわりの回
転運動と同様の動作が行える。この際、固定部材１５６
の球状の回転運動案内面１５０には気体が吹き出る孔１
６０，１６１が開いている。

【００５４】これら孔１６０，１６１は、気体の供給源
を別々に有しており、それぞれ独立して気体の吹出し開
始、吹出し停止のどちらかを選択できる。固定部材の凹
球面１５４と可動部材の凸球面１５７、また、固定部材
の凸球面１５５と可動部材１５９の凹球面１５８の間に
は数μｍ程度の隙間がある。そのため、前記孔１６０か
ら気体を流さなければ可動部材１５９の自重により可動
部材の凸球面１５７と固定部材の凹球面１５４が接触し
ている状態となる。

【００５５】しかし、前記孔１６０，１６１から気体を
流すことにより、可動部材１５９は推し上げられ、その
ため可動部材１５９は固定部材１５６に接触せず、スム
ーズな回転運動が行える。

【００５６】また、前記孔１６１から気体を吹出し続け
たまま、前記孔１６０の気体の吹出しを停止することに
より、固定部材１５６の凹球面１５４と可動部材１５９
の凸球面１５７同志を気体の圧力で密着させクランプで
きる。

【００５７】このようにＸ軸及びＹ軸まわりの角度調整
後、前記孔１６０からの気体の吹出しのみを停止するこ
とにより、Ｘ軸及びＹ軸まわりの回転運動ができなくな
り、最適角度を保持することができる。

【００５８】つぎに、図１，図４，図９を参照して、作
用を説明する。しかして、移動ステージに取付けられた
角度調整装置２０の光学部品２は気体ポート１６２から
圧縮気体（６〜７ｋｇｆ／ｃｍ² 程度）をスペース１６
３へ送り込むことにより、クランプ用アーム１６４を光
学部品２に押当て、可動部材１５９に固定されている受
金１６５との間ではさみこみクランプする。

【００５９】次に、移動ステージのＺステージ７をＺモ
ータ８によりＺ（＋）方向（図１の上方向）に移動さ
せ、第２の光学部品２の端面を図示省略した固定ホルダ
に取付けられている第１の光学部品１の端面に押当て
る。これにより、第１及び第２の光学部品１，２の境界
面同志が圧接される状態になる。

【００６０】この圧接により、第１及び第２の光学部品
１，２の境界面が平行でない場合には、第２の光学部品
２を取付けた可動部材１５９が前述のように固定部材１
５６の球状の回転運動案内面１５０をガイド面にして回
転運動するため図５〜図８で示したＸ軸及びＹ軸まわり
の回転運動と同様の動作が行える。

【００６１】このとき、球状の回転運動案内面１５０に
は、前記孔１６０，１６１が設けられており、前記孔１
６０，１６１から気体を流すことにより可動部材１５９
は固定部材１５６に接触せず、スムーズな回転運動が行
える。

【００６２】また、球面１５４，１５５，１５７，１５
８の中心が同一位置にあり、かつこの点が第２の光学部
品２の端面内にあれば、第２の光学部品２は第２の光学
部品の固定箇所４８である端面（図４参照）内の一点、
理想的には第２の光学部品２の端面中心１４９（図４参
照）を旋回中心にして回転する。

【００６３】この第２の光学部品２の回転運動により、
第１及び第２の光学部品１，２の端面同志が平行化され
て最適角度が決定する。このように、最適角度が決定し
たら、前記孔１６１から気体を吹出し続けたまま、前記
孔１６０の気体の吹出しを停止することにより、固定部
材１５６の凹球面１５４と可動部材１５９の凸球面１５
７同志を気体の圧力で密着させクランプし、固定部材１
５６と可動部材１５９を連結固定して調芯に備える。

【００６４】上述したように、第１の光学部品１の端面
に第２の光学部品２を圧接させるだけなので、境界面の
平行化を非常に短時間で簡単に行うことができる。ま
た、第１及び第２の光学部品１，２の保持部材に無理な
力がかからないので、光学部品や光学部品の保持部材が
弾性変形することなく、確実に平行状態を維持できる。

【００６５】また第１の光学部品１と第２の光学部品２
の境界面を平行化したのちは、前記孔１６１から気体を
吹出し続けたまま、前記孔１６０の気体の吹出しを停止
することにより、固定部材１５６の凹球面１５４と可動
部材１５９の凸球面１５７同志を気体の圧力で密着させ
クランプし、固定部材１５６と可動部材１５９を連結固
定して回転運動ができなくするため、第１の光学部品１
と第２の光学部品２の端面間に隙間をあけて調芯する場
合においても、最適位置が狂うことはない。

【００６６】つぎに、図１０および図１１を参照して、
本発明の第２の他の実施例について説明する。この角度
調整装置２０は前記移動ステージ（固定ホルダでも可）
のＸステージ１３上にＹ軸まわりの円筒状の回転運動案
内面１７０を有する固定部材１７１を取付け、前記回転
運動案内面１７０をガイド面とする第１の可動部材１７
２を固定部材１７１の回転運動案内面１７０内に組込
む。

【００６７】第１の可動部材１７２は４個のローラ１７
３を介して固定部材１７１に接しており、Ｙ軸まわりの
回転運動を可能としている。さらに、第１の可動部材１
７２はＹ軸に直交するＸ軸まわりの円筒状の回転運動案
内面１７５を有している。

【００６８】そして、このＸ軸まわりの回転運動案内面
１７５に前記回転運動案内面１７０をガイド面とする第
２の可動部材１７６を組込む。第２の可動部材１７６は
４個のローラ１７７を介して第１の可動部材１７２に接
しており、Ｘ軸まわりの回転運動を可能としている。

【００６９】また固定部材１７１には、気体の圧力で動
作する第１のクランプ装置１７８が取付けられている。
クランプ装置１７８は図示しないクランプロッドを空圧
力により第１の可動部材１７２の側面に押当て、固定部
材１７１と第１の可動部材１７２を一体化しクランプす
る。さらに、第１の可動部材１７２にも気体の圧力で動
作する第２のクランプ装置１７９が取付けられている。
クランプ装置１７９は、クランプ装置１７８と同じよう
に、図示省略したクランプロッドを第２の可動部材１７
６の側面に押当て、第１の可動部材１７２と第２の可動
部材１７６を一体化しクランプする。このようにＸ軸及
びＹ軸まわりの角度調整後、クランプ装置１７８と１７
９でクランプすることによりＸ軸及びＹ軸まわりの回転
運動ができなくなり、最適角度を保持することができ
る。

【００７０】つぎに、図１，図４，図１０，図１１を参
照して、作用を説明する。移動ステージに取付けられた
角度調整装置２０の光学部品２は、図９と同様にクラン
プする。

【００７１】次に、移動ステージのＺステージ７をＺモ
ータ８によりＺ（＋）方向に移動させ、第２の光学部品
２の端面第１の光学部品１の端面に押当てる、これによ
り、第１及び第２の光学部品１，２の境界面同志が圧接
される状態になる。

【００７２】この圧接により、第１及び第２の光学部品
１，２の境界面が平行でない場合には、第２の光学部品
２が固定部材１７１のＹ軸まわりの回転運動案内面１７
０を回転運動のガイド面にし第１の可動部材１７２がロ
ーラ１７３を介してＹ軸まわりの回転をする。

【００７３】また、第１の可動部材１７２に、Ｙ軸と垂
直方向に組込まれたＸ軸まわりの回転運動案内面１７５
を回転運動のガイド面にして第２の可動部材１７６がロ
ーラ１７７を介してＸ軸まわりの回転をする。また、Ｘ
軸まわりの回転運動の回転中心とＹ軸まわりの回転運動
の回転中心が同一ＸＹ平面内にあり、かつ、このＸＹ平
面と第２の光学部品２の固定箇所（端面）４８（図４参
照）が同一ＸＹ平面にあれば、第２の光学部品２は第２
の光学部品の固定箇所（端面）４８内の一点、理想的に
は第２の光学部品２の端面中心１４９（図４参照）を旋
回中心にして回転する。

【００７４】この第２の光学部品２の回転運動により、
第１及び第２の光学部品１，２の端面同志が平行化され
て最適角度が決定する。このように、最適位置が決定し
たら、前記第１のクランプ装置１７８と，第２のクラン
プ装置１７９を作動させて固定部材１７１と第１の可動
部材１７２それに第２の可動部材１７６を気体の圧力に
よって押当てて固定し、調芯に備える。

【００７５】上述したように、第１の光学部品１の端面
に第２の光学部品２を圧接させるだけなので、境界面を
平行化が非常に短時間で簡単に行うことができる。ま
た、第１及び第２の光学部品の保持部材に無理な力がか
からないので、光学部品や光学部品の保持部材が弾性変
形することなく、確実に平行状態を維持できる。

【００７６】また第１の光学部品１と第２の光学部品２
の境界面を平行化したのちは、前記第１のクランプ装置
１７８と第２のクランプ装置１７９を作動させ固定部材
１７１と第１の可動部材１７２それに第２の可動部材１
７６を気体の圧力によって押当てて固定し、Ｘ軸まわり
の回転運動及びＹ軸まわりの回転運動をできなくするた
め、第１の光学部品１と第２の光学部品２の端面間に隙
間をあけて調芯する場合においても、最適角度が狂うこ
とはない。

【００７７】次に、図１２および図１３を参照して、本
発明の第３の他の実施例について説明する。この角度調
整装置２０は、前記移動ステージ（固定ホルダでも可）
であるＸＹＺステージ４のＸステージ１３上に取付けら
れる。角度調整装置２０は回転可動部材１８０、回転ク
ランプ用可動アーム１８１、固定部材１８２、回転クラ
ンプ用アームガイド１８３、クランプ用エアシリンダ１
８４、補助エアシリンダ１８５及び回転可動部材Ｚ方向
（図１２，図１３の上下方向）位置検出センサ１８６で
構成される。

【００７８】回転可動部材１８０は少なくとも一部、凸
球面１８７と、前述の凸球面１８７と等しい中心の凹球
面１８８を有し、回転クランプ用可動アーム１８１は回
転可動部材１８０に取付けた第２の光学部品２へ電気を
供給するためのコード（電線）９０を通すために中空状
になっている。

【００７９】図１２，図１３の状態はクランプ用エアシ
リンダ１８４により回転クランプ用可動アーム１８１が
Ｚ（＋）方向（図１２，図１３の上方向）いっぱいまで
上昇した状態を示す。回転クランプ用可動アーム１８１
は固定部材１８２に組み込まれた回転クランプ用アーム
ガイド１８３でＺ方向（図１２，図１３の上下方向）以
外の動きを拘束されている。

【００８０】回転クランプ用可動アーム１８１をクラン
プ用エアシリンダ１８４で上昇させていくと回転クラン
プ用可動アーム１８１の上昇限ストッパ１８９が固定部
材１８２の上昇限ストッパガイド面１９０に接触して回
転クランプ用可動アーム１８１の上昇がストップする。

【００８１】この状態のとき回転クランプ用可動アーム
１８１に取付けられた回転運動案内用球１９１により回
転可動部材１８０がｚ（＋）方向（図１２，図１３の上
方向）に押上げられ、回転可動部材１８０の凸球面１８
７と同じ曲率半径の回転クランプ用凹球面１９２との間
に隙間が空き、角度調整可能になる。球１９１は複数個
あるので、バラバラにならないように保持器で保持され
ており、自転運動のみが可能であり、回転クランプ用可
動アーム１８１に取付けられているので、回転クランプ
用可動アーム１８１が上下に動くと連動して動く。

【００８２】なお、凸球面１８７を３点で支持するよう
にしても良く、また、凹球面である必要はない。この
際、回転可動部材１８０の凹球面１８８と、この凹球面
１８８と同じ曲率半径の、回転クランプ用凸球面１９３
の間には隙間を設ける。なお、凹球面１８８を３点で押
圧するようにしてもよく、また、凸球面である必要はな
い。

【００８３】しかして、光学部品の角度調整後、クラン
プ用エアシリンダ１８４により回転クランプ用可動アー
ム１８１をＺ（−）方向（図１２，図１３の下方向）へ
下降させていくと、回転可動部材１８０の凸球面１８７
と固定部材１８２の回転クランプ用凹球面１９２が接触
する。さらに下降させていくと回転クランプ用可動アー
ム１８１の回転クランプ用凸球面１９３が回転可動部材
１８０の凹球面１８８に接触する。

【００８４】最終的には固定部材１８２の回転クランプ
用凹球面１９２と回転クランプ用可動アーム１８１の回
転クランプ用凸球面１９３で回転可動部材１８０の凹凸
両球面を挟み込んでクセンプする。

【００８５】このクランプの際、角度を調整した後の光
学部品２の姿勢を崩さないよう、回転可動部材１８０の
凸球面１８７と凹球面１８８、さらに、回転クランプ用
可動アーム１８１の回転クランプ用凸球面１９３と固定
部材１８２の回転クランプ用凹球面１９２の中心のＸ及
びＹ座標を一致させる必要がある。

【００８６】固定部材１８２に組込まれた補助エアシリ
ンダ１８５と可動部材Ｚ方向（図１２，図１３の上下方
向）位置検出センサ１８６については、つぎの作用説明
部分で説明する。

【００８７】つぎに、図１、図４、図９を加えて作用を
説明する。しかして、移動ステージに取付けられた角度
調整装置２０の光学部品２はクランプ用カム１９４のレ
バーを回転させることにより、さらにばね１９５を介し
てクランプ用ブロック１９６を光学部品２に押当て、回
転可動部材１８０に固定されている受金１９７との間で
挟み込みクランプする。

【００８８】つぎに、移動ステージのＺステージ７をＺ
モータ８によりＺ（＋）方向（図１の上方向）に移動さ
せ、第２の光学部品２の端面を図示省略した固定ホルダ
に取付けられている第１の光学部品１の端面に押当て
る。これにより、第１，第２の光学部品１，２の境界面
同志が圧接される状態になる。

【００８９】この際、第１の光学部品１及び第２の光学
部品２のＺ（＋）方向（図１の上方向）の長さのバラツ
キや取付け誤差などがあった場合、それが原因で、第１
及び第２の光学部品の端面同志が接触するときのＺ座標
にバラツキが生じる。Ｚ座標の位置により押付力を制御
しようとしたとき、このバラツキのため押付圧力過剰と
なる可能性がある。その場合、第１，第２の光学部品
１，２や固定ホルダ３及び角度調整装置２０の第１及び
第２の光学部品１，２のクランプ部に無理な力が加わ
り、破損などの原因となる。

【００９０】そのため、図１２，図１３に示す角度調整
装置２０では、移動ステージのＺステージ７をＺモータ
８によりＺ（＋）方向（図１、図１２、図１３の上方
向）に移動させて、第２の光学部品２の端面を図示省略
した固定ホルダに取付けられている第１の光学部品１の
端面に押当てていったとき、押付圧力過剰になった際に
は回転クランプ用可動アーム１８１及びそれて連動した
回転可動部材１８０が、それ以上移動ステージのＺステ
ージ７のＺ（＋）方向（図１、図１２、図１３の上方向
１２の上方向）への上昇にともなって上昇しないような
構造となっている。

【００９１】回転クランプ用可動アーム１８１が上昇を
停止する押付力は、クランプ用エアシリンダ１８４の回
転クランプ用アーム１８１をＺ（＋）方向（図１２，図
１３の上方向）に上昇させる際の空気圧を制御すること
で設定できる。

【００９２】しかし、回転クランプ用可動アーム１８１
及びそれと連動した回転可動部材１８０の上昇は停止し
ても、固定部材１８２は移動ステージのＺステージ７の
Ｚ（＋）方向（図１、図１２，図１３の上方向）への上
昇に伴って上昇していくため、回転可動部材１８０の凸
球面１８７と固定部材１８２の回転クランプ用凹球面１
９２との間の間隔が小さくなっていき、前述の凸球面１
８７と回転クランプ用凹球面１９２との間の間隔が０と
なってからもＺステージ７のＺ（＋）方向（図１、図１
２，図１３の上方向）への上昇を継続すると再び押付圧
力過剰の状態が生じる。

【００９３】したがって、再び押付圧力過剰の状態を生
じさせないために、固定部材１８２の回転クランプ用凹
球面１９２内に可動部材Ｚ方向（図１２，図１３の上下
方向）位置検出センサ１８６を組込み、前述の凸球面１
８７と回転クランプ用凹球面１９２との間の間隔が０に
なるＺステージ７のＺ（＋）方向への上昇を停止させ
る。

【００９４】この工程、すなわち「移動ステージのＺス
テージ７をＺモータ８によりＺ（＋）方向（図１の上方
向）に移動させ、第２の光学部品２の端面を図示省略し
た固定ホルダに取付けられている第１の光学部品１の端
面にも押当てる。」は、回転クランプ用可動アーム１８
１の上昇限ストッパ１８９が固定部材１８２の上昇限ス
トッパガイド面１９０に接触して回転クランプ用可動ア
ーム１８１の上昇がストップした状態、すなわち角度調
整可能状態のときに開始する。

【００９５】この圧接により、第１及び第２の光学部品
１、２の境界面が平行でない場合には、第２の光学部品
２を取付けた回転可動部材１８０が、前述のように回転
クランプ用可動アーム１８１の回転運動案内用球１９１
をガイドにして回転運動するため図５〜図７で示したＸ
軸及びＹ軸まわりの回転運動と同様の動作が行なえる。

【００９６】この第２の光学部品２の回転運動により、
第１及び第２の光学部品１、２同志が平行化されて最適
角度が決定する。このように、最適角度が決定したら、
その状態で固定部材１８２に組込まれた３本以上の補助
エアシリンダ１８５にエアーを送り込み補助エアシリン
ダ先端部１９８を回転可動部材１８０の凸球面１８７に
押当てる。

【００９７】この工程は、前述の最適角度を保持する目
的で行なうため、補助エアシリンダ１８５の推力はクラ
ンプ用エアシリンダ１８４に比べ小さいものを使用す
る。補助エアシリンダ先端部１９８は回転可動部材１８
０の凸球面１８７に傷をつけないよう、また凸球面１８
７と補助エアシリンダ先端部１９８の摩擦抵抗を大きく
するためゴムやプラスチック製のものが望ましい。

【００９８】第１及び第２の光学部品１，２の角度調整
後、クランプ用エアシリンダ１８４により回転クランプ
用可動アーム１８１をＺ（−）方向へ下降させていく
と、回転可動部材１８０の凸球面１８７と固定部材１８
２の回転クランプ用凹球面１９２が接触する。さらに下
降させていくと、回転クランプ用可動アーム１８１の回
転クランプ用凸球面１９３が、回転可動部材１８０の凹
球面１８８に接触する。

【００９９】最終的には固定部材１８２の回転クランプ
用凹球面１９２と回転クランプ用可動アーム１８１の回
転クランプ用凸球面１９３で回転可動部材１８０の凹球
面１８８、凸球面１８７を、クランプ用エアシリンダ１
８４の引込み側に作用させる気体の圧力で、挟み込んで
クランプし、固定部材１８２と回転可動部材１８０を連
結固定して調芯に備える。

【０１００】上述したように、第１の光学部品１の端面
に第２の光学部品２を圧接させるだけなので、境界面の
平行化を非常に短時間で行なうことができる。また、第
１及び第１，第２の光学部品１，２のＺ（＋）方向（図
１の上方向）の長さのバラツキや取付け誤差などがあっ
た場合でも、光学部品や光学部品の保持部材が必要以上
に弾性変化することなく、確実に平行状態を維持でき
る。

【０１０１】また第１の光学部品１と第２の光学部品２
の境界面を平行化した後は、前述のように固定部材１８
２と回転可動部材１８０を連結固定して回転運動ができ
なくするため、第１の光学部品１と第２の光学部品２の
端面間に隙間をあけて調芯する場合においても、最適位
置が狂うことはない。

【０１０２】なお、上述した各実施例においては、角度
調整装置２０を移動ステージとしてのＸＹＺステージ４
側に設けたが、これに限られることなく、固定ホルダ３
側に設けるようにしても良い。

【０１０３】また、第１及び第２の光学部品１，２をそ
れぞれ角度調整装置２０と固定ホルダ３に固定する際
に、図５〜図８に示す実施例ではマニュアルのねじ式ク
ランプ装置を用い、図９に示す実施例では気体の圧力を
利用したクランプ装置を用いたが、どちらの実施例にど
ちらのクランプ装置を使用してもかまわない。

【０１０４】さらにまた、図５〜図８の第１，第２の可
動部材６３，６６の固定と、図９の可動部材１５９の固
定を、図１０および図１１に示した空圧式のクランプ等
で行ってもよい。

【０１０５】さらに、図９の球面方式においては、案内
面を１組のみとしてもよく、かつ気体案内面方式に変え
てコロガリ案内面方式としてもよい等、種々変形可能で
ある。その他、本発明は、上記の一実施例に限らず、本
発明の要旨を変えない範囲で種々の変形実施可能なこと
は勿論である。

【０１０６】

【発明の効果】本発明は以上説明したように、第１の光
学部品１の端面に第２の光学部品２を圧接させるだけな
ので、境界面の平行化を非常に短時間で簡単に行うこと
ができる。また、第１及び第２の光学部品の保持部材に
無理な力がかからないので、光学部品や光学部品の保持
部材が弾性変形することなく、確実に平行状態を維持で
きる。

【０１０７】したがって、調芯の際に必要以上の力がい
らないとともに、調芯完了後、第１及び第２の光学部品
を結合固定する際、歪みが発生して結合固定後に位置ず
れが生じることもなく、調芯によってサーチした最適光
量を維持できる。

【０１０８】また、第１及び第２の光学部品の境界面に
間隔を開けて調芯を行ったのち、加熱、溶融結合（例え
ばレーザ溶接）などを行った場合も、歪みの発生がな
く、最適光量を維持できるといった効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の角度調整装置が付設される調芯装置の
概略的構成図。

【図２】図１の調芯装置によって角度調整及び調芯され
る光学部品の構成説明図。

【図３】同実施例にて使用される光ファイバーの断面
図。

【図４】図１の調芯装置によって角度調整及び調芯され
る光学部品の他の構成説明図。

【図５】同実施例の要部である角度調整装置の概略的平
面図。

【図６】図５のＡ−Ａ線に沿う断面図。

【図７】図５のＢ−Ｂ線に沿う断面図。

【図８】図５のＣ−Ｃ線に沿う断面図。

【図９】本発明の他の第１の実施例である光学部品の角
度調整装置の断面図。

【図１０】本発明の他の第２の実施例である光学部品の
角度調整装置の断面図。

【図１１】図１０のＤ−Ｄ線に沿う断面図。

【図１２】本発明の他の第３の実施例である光学部品の
角度調整装置の断面図。

【図１３】図１２のＥ−Ｅ線に沿う断面図。

【符号の説明】

１…第１の光学部品、２…第２の光学部品、３…固定ホ
ルダ、４…ＸＹＺステージ（移動ステージ）、２０…角
度調整装置、６１…固定部材、６２…Ｙ軸まわりの回転
軸、６３…第１の可動部材、６５…Ｘ軸まわりの回転
軸、６６…第２の可動部材、６７…第１のクランプ装
置、６８…第２のクランプ装置、７１…クランプ装置、
７３…クランプ装置、１００…調芯装置、１１０…ＬＤ
モジュール、１２０…分岐カプラ、１５０…回転運動案
内面、１５４…凹球面、１５５…凸球面、１５６…固定
部材、１５７…凸球面、１５８…凹球面、１５９…可動
部材、１６０，１６１…孔、１６２…気体ポート、１６
４…クランプ用アーム、１６５…受金、１７０…Ｙ軸ま
わりの回転運動案内面、１７１…固定部材、１７２…第
１の可動部材、１７５…Ｘ軸まわりの回転運動案内面、
１７６…第２の可動部材、１７８…第１のクランプ装
置、１７９…第２のクランプ装置、１８０…回転可動部
材、１８１…回転クランプ用可動アーム、１８２…固定
部材、１８３…回転クランプ用アームガイド、１８４…
クランプ用エアシリンダ、１８５…補助エアシリンダ、
１８６…Ｚ方向位置検出センサ、１８７…凸球面、１８
８…凹球面、１８９…上昇限ストッパ、１９０…上昇限
ストッパガイド面、１９１…回転運動案内用球、１９２
…回転クランプ用凹球面、１９３…回転クランプ用凸球
面、１９４…クランプ用カム、１９５…ばね、クランプ
用ブロック、１９６…クランプ用ブロック、１９７…受
金、１９８…補助エアシリンダ先端部。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】固定ホルダに第１の光学部品を取付け、移
   動ステージにＸ軸及びこのＸ軸に直交するＹ軸からなる
   ＸＹ平面を介して前記第１の光学部品に対向する第２の
   光学部品を取付け、前記第１及び第２の光学部品の対向
   面の角度を調整する光学部品の角度調整装置において、 前記固定ホルダあるいは移動ステージに取付けられ、前
   記第１あるいは第２の光学部品を保持し、前記第１及び
   第２の光学部品が前記ＸＹ平面に垂直なＺ方向に圧接さ
   れることにより、前記Ｘ軸及びＹ軸まわりに回転し、前
   記第１及び第２の光学部品の対向面の角度を調整する可
   動部材と、 この可動部材を移動可能に支持する固定部材と、 角度調整後に前記可動部材が回転しないよう保持する保
   持機構と、を具備することを特徴とする光学部品の角度
   調整装置。
2. 【請求項２】固定ホルダに第１の光学部品を取付け、移
   動ステージにＸ軸及びこのＸ軸に直交するＹ軸からなる
   ＸＹ平面を介して前記第１の光学部品に対向する第２の
   光学部品を取付け、前記第１及び第２の光学部品の対向
   面の角度を調整する光学部品の角度調整装置において、 前記固定ホルダあるいは移動ステージに取付けられ、前
   記第１あるいは第２の光学部品を保持し、前記第１及び
   第２の光学部品が前記ＸＹ平面に垂直なＺ方向に圧接さ
   れることにより、前記Ｘ軸及びＹ軸に平行な第１及び第
   ２の軸を回転軸として、Ｘ軸及びＹ軸まわりに回転し、
   前記第１及び第２の光学部品の対向面の角度を調整する
   可動部材と、 この可動部材の回転軸をガイドする回転軸受を有する固
   定部材と、 角度調整後に前記第１及び第２の回転軸が回転しないよ
   う保持する保持機構と、を具備することを特徴とする光
   学部品の角度調整装置。
3. 【請求項３】固定ホルダに第１の光学部品を取付け、移
   動ステージにＸ軸及びこのＸ軸に直交するＹ軸からなる
   ＸＹ平面を介して前記第１の光学部品に対向する第２の
   光学部品を取付け、前記第１及び第２の光学部品の対向
   面の角度を調整する光学部品の角度調整装置において、 前記固定ホルダあるいは移動ステージに取付けられ、前
   記第１あるいは第２の光学部品を保持し、前記第１及び
   第２の光学部品が前記ＸＹ平面に垂直なＺ方向に圧接さ
   れることにより、前記Ｘ軸及びＹ軸に平行な第１及び第
   ２の軸の交点を回転中心とする球状案内面に沿ってＸ軸
   及びＹ軸まわりに回転し、前記第１及び第２の光学部品
   の対向面の角度を調整する少なくとも外周一部に、凸球
   面を有する可動部材と、 この可動部材の凸球面を案内する凹球面を有する固定部
   材と、 角度調整後に前記可動部材が回転しないよう保持する保
   持機構と、を具備することを特徴とする光学部品の角度
   調整装置。
4. 【請求項４】固定ホルダに第１の光学部品を取付け、移
   動ステージにＸ軸及びこのＸ軸に直交するＸ軸からなる
   ＸＹ平面を介して前記第１の光学部品に対向する第２の
   光学部品を取付け、前記第１及び第２の光学部品の対向
   面の角度を調整する光学部品の角度調整装置において、 前記固定ホルダあるいは移動ステージに取付けられ、前
   記第１あるいは第２の光学部品を保持し、前記第１及び
   第２の光学部品が前記ＸＹ平面に垂直なＺ方向に圧接さ
   れることにより、前記Ｘ軸及びＹ軸にそれぞれ平行な第
   １及び第２の軸を中心とする円筒状案内面に沿ってＸ軸
   及びＹ軸まわりに回転し、前記第１及び第２の光学部品
   の対向面の角度を調整する２段重ねの可動部材と、 下方の可動部材の円筒状案内面を受ける案内面を有する
   固定部材と、 角度調整後に前記可動部材が回転しないよう保持する保
   持機構と、を具備することを特徴とする光学部品の角度
   調整装置。
5. 【請求項５】 固定ホルダに第１の光学部品を取付け、
   移動ステージにＸ軸及びこのＸ軸に直交するＹ軸からな
   るＸＹ平面を介して前記第１の光学部品に対向する第２
   の光学部品を取付け、前記第１及び第２の光学部品の対
   向面の角度を調整する光学部品の角度調整装置におい
   て、 前記固定ホルダあるいは移動ステージに取付けられ、前
   記第１あるいは第２の光学部品を保持し、前記第１及び
   第２の光学部品が前記ＸＹ平面に垂直なＺ軸方向に圧接
   されることより、前記Ｘ軸及びＹ軸に平行な第１及び第
   ２の軸の交点を回転中心にして回転し、前記第１及び第
   ２の光学部品の対向面の角度を調整する、少なくとも外
   周一部に凸球面を有する可動部材と、 この可動部材の凸球面を、上記回転中心で回転するよう
   に案内する複数の球状部材を有する固定部材と、 角度調整後に前記可動部材が回転しないように保持する
   保持機構と、を具備してなることを特徴とする角度調整
   装置。
6. 【請求項６】 複数の球状部材を有する固定部材が、光
   学部材の圧接方向へ押圧力を与えつつ移動可能に設けら
   れ、保持機構は、固定部材が前記押圧力によって押し込
   まれたとき可動部材の背面側に設けられている凸球面を
   受け止める部材と、凸球面を該部材に押圧すべく可動部
   材の前面側を背面側へ押圧する部材とからなることを特
   徴とする請求項５記載の光学部品の角度調整装置。
7. 【請求項７】 可動部材の前面側を背面側へ押圧する部
   材が、固定部材と一体的に移動可能に取付けられている
   ことを特徴とする請求項６記載の光学部品の角度調整装
   置。
8. 【請求項８】 固定部材の圧接方向位置を検出するため
   の位置検出センサを設け、該センサの出力により圧接動
   作を制御するように構成したことを特徴とする請求項６
   または７記載の光学部品の角度調整装置。
9. 【請求項９】 凸球面を受けとめる部材に、該凸球面に
   対向すべく少なくとも３つの補助シリンダを設け、その
   ピストンロッド先端を凸球面に当接可能に構成したこと
   を特徴とする請求項６、７、または８記載の光学部品の
   角度調整装置。