JPH06230249A - 光機能素子の結合方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光機能素子の結合の自動化が可能となり、素
子を結合した光製品を効率的かつ大量生産を可能とする
方法および装置を実現する。 【構成】 低モーメントで互いに直交する方向に滑らか
に回動する二つの回動体を同心的に設け、その中心に光
機能素子の一方を固定し、この一方の光機能素子の結合
端面に他方の光機能素子の結合端面を当接させ、端面同
士が密着するまで押し付けて、回動体を各素子の各結合
端面の総計的な傾斜に対応して任意の方向に任意の角度
だけ適切に傾斜させ、これにより、素子の適正な相対結
合角度と位置とを決定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光通信方式や光計測方
式などの技術分野における光機能素子と光機能素子との
結合方法および装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】より高度な光通信方式の開発や実用的な
光計測技術の実現のためには、光ファイバ、半導体レー
ザ、半導体フォトダイオード、導波路型光機能素子、光
機能集積化素子などの各種光機能素子自身の特性向上と
ともに、これらの光機能素子相互の結合がきわめて重要
な課題である。これらの光機能素子の結合においては、
結合効率を高めるために両者の光軸を高い精度で一致さ
せる技術が要求される。

【０００３】図１は、光機能素子である半導体レーザと
光ファイバとの従来の結合例を示したものである。図に
おいて、１は半導体レーザであり、この半導体レーザ１
は、パッケージ２に、その電流印加用の電極端子３およ
び４を貫通することにより、固定されている。前記半導
体レーザ１に対抗する水平位置にある６は、光ファイバ
である。この光ファイバ６は、光ファイバ先端面研磨用
パイプ７内に貫通されており、パイプ７は、結合用ガイ
ドホルダ８により支持されている。前記ガイドホルダ８
は位置調整用微動台９に取付けられている。この位置調
整用微動台９は、それぞれ、Ｘ軸方向，Ｙ軸方向，Ｚ軸
方向に微動するスライダ９ｘ，９ｙ，９ｚからなり、前
記光ファイバ６の回転角を微調整する角度調整用微動傾
斜ステージ１０γを介して架台１１に取り付けられてい
る。これに対し、前記半導体レーザ１は、パッケージ２
を介して角度調整用微動傾斜台１０に取り付けられてお
り、この微動傾斜台１０は、前記微動傾斜ステージ１０
γと協同して前記半導体レーザ１と光ファイバ６との相
互の光軸の傾斜角や端面の傾斜角を調整する傾斜ステー
ジ１０α，１０βとからなる。

【０００４】よく知られているように、両光機能素子の
結合効率を高めるためには、相互に光軸を一致させる必
要があり、通常は、一方の光機能素子（上例では半導体
レーザ１）を位置調整用微動台９の上に配置するととも
に、他方の光機能素子（上例では光ファイバ６）を角度
調整用の微動傾斜台１０の上に配置する。そして、光量
などをモニタしながら、一方の光機能素子のＸ，Ｙ，Ｚ
の３軸を他方の光機能素子に対して微調整するととも
に、微動傾斜台ステージ１０α，１０β，１０γによ
り、各光機能素子の相互の光軸傾斜角および各端面の傾
斜角を微調整する方法が利用されている。微動調整およ
び角度調整が終了した後、両光機能素子の端面や側面を
接着剤や熱的な融着により結合固定することにより、両
光機能素子は実用に提供される。

【０００５】この従来の結合作業における微調整量の具
体的な値としては、光ファイバと半導体レーザとの許容
光軸ずれ量が０．２μｍ以下、許容角度ずれ量は１度以
下、という高精度な軸合わせ技術が必要となる。最近で
は、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸の微動装置は移動精度が向上し、０．
１μｍオーダの装置が開発され、実用に供されている。

【０００６】一方、光軸の傾斜角と端面傾斜角を微調整
する微動装置は、一般に、図１に示すように、凹曲面と
凸曲面を有する二つの機械部品を組み合せ、その内部に
設けたウォーム歯車と平歯車により案内溝に沿って移動
できるガイド構成により、マイクロメータで両部品を摺
動させることにより、角度成分を微動調整する機構が知
られている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】前記従来の角度微動調
整では、その構造上、三つの問題がある。

【０００８】第１番目は、微動調整精度である。角度精
度を高くするためには、案内溝や摺動部の機械加工精度
を高めること、ウォーム歯車と平歯車の機械加工精度を
高めなければならず、価格の上昇と装置の複雑化または
大型化を招くことになる。

【０００９】第２番目は、調整角度の制限である。すな
わち、通常は、直交する方向に角度微動傾斜ステージを
２台配置し、（図１では、１０αと１０β）、両装置を
微動することにより、角度の調整を行なっているが、調
整可能範囲が直交する方向のみであるため、角度調整範
囲が限定される。このため、他の回転軸方向の回転機構
を有する微動傾斜ステージ（１０γ）を増設して、３方
向の角度調整を図る必要があり、機構装置が大型とな
る。

【００１０】第３番目は、結合作業の自動化の困難度が
高いことである。多量、多様な光機能素子の結合の作業
性を高めるためには、前述したように両素子の位置方向
調整と角度方向調整を簡易に行なう必要がある。最近で
は、マイクロモータを備えた位置調整微動機構が開発さ
れており、位置方向調整の作業の自動化が進んでいる。
ところが、光機能素子の端面傾斜角度は、任意の方向に
数度程度以内であるが、一つ一つの素子毎にわずかに異
なっており、しかも、端面傾斜角の一致を簡易に確認す
る方法がないため、通常は、結合作業時に両素子の端面
を横方向から顕微鏡などで拡大し、観測しつつ、角度調
整する方法がとられている。このため、素子の端面傾斜
角に応じて角度調整をする労力がかかり、角度調整の作
業の自動化が要求されている。

【００１１】本発明の課題は、光機能素子同士の結合に
おいて、新規な動作原理による角度方向の調整が可能
で、実用性の高い光機能素子を得ることができる光機能
素子の結合方法および装置を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明方法は、一方の光
機能素子を、その結合端面が自在に全方向に傾斜可能に
保持し、この一方の光機能素子の結合端面に他方の光機
能素子の結合端面を当接させ、端面同士が密着するまで
押し付けて、前記一方の光機能素子を、前記他方の光機
能素子の端面に対して、各光機能素子の各結合端面の総
計的な傾斜角度だけ適切に傾斜させ、これにより、適正
な結合角度と位置を決定し、この状態で両素子を接着す
ることを特徴とする。すなわち、各光機能素子が有する
端面の傾斜を、結合角度を決定かつ調整するためのモー
メント力として利用する、全く新規な原理を用いること
を特徴とする。

【００１３】また、本発明の結合装置の第１の構成は、
架台と、該架台に同心的に取り付けられ、互いに直交す
る向きを有する回転軸を持つ第１および第２の回動体と
を有し、前記二つの回動体の中心に結合すべき光機能素
子の一方を設置するマウント部が設けられていることを
特徴とする。

【００１４】この構成の装置において、前記架台に立設
された一対の直立アームに、軸受を介して、前記第１の
回動体が取り付けられ、該第１の回動体に前記直立アー
ムと直交する方向に設けられた直立アームに、軸受を介
して、前記第２の回動体が取り付けられ、この第２の回
動体の中央部に前記マウント部が形成され、さらに、前
記架台の直立アームと第１の回動体の直立アームのそれ
ぞれに、またはそれらの近傍に前記二つの回動体を独立
に回転停止できる停止手段を設けた構成としてもよい。

【００１５】さらに、この第１の構成の装置において、
前記二つの回動体をそれぞれ軸支しているそれぞれの一
対の回転軸の一方に回転駆動手段を直結してもよい。

【００１６】また、本発明装置の第２の構成は、結合す
べき光機能素子の他方を設置するマウント部を有し、該
マウント部の位置を、前記第１の構成の結合装置に対し
て、少なくとも２軸以上の方向に微移動させて、前記二
つの光機能素子を光学的に軸合わせする位置調整微動装
置が、前記第１の構成の結合装置に対して配置されてい
ることを特徴とする。

【００１７】この第２の構成の装置において、前記結合
装置の回動体を停止する機構と、前記位置調整微動装置
における２軸以上の微移動を行なう機構とを自動制御す
る電子制御装置をさらに設けてもよい。

【００１８】さらに、この第２の構成の装置において、
前記二つの光機能素子を互いに密着させたときに、これ
ら光機能素子を結合する接着手段を、さらに設けてもよ
い。

【００１９】

【作用】本発明の光機能素子結合装置は、低モーメント
力で回転可能で、互いの回転方向が直交する二つの回動
体の内部に、光機能素子マウント部を設けた構造であ
り、回動体の回転量によりマウント部の傾斜角度を任意
かつ連続的に設定することができる。このため、結合作
業時に両光機能素子を緩やかに突き合わせると、両者の
端面傾斜角と光軸傾斜角の相当量が本装置の二つの回動
体の回転角に変換され、両光機能素子端面は密着され
る。この後、通常の位置方向の光軸調整により、両者は
最良の結合効率が得られる。

【００２０】

【実施例】本発明の結合方法は、光機能素子の一方をそ
の結合端面が自在に全方向に傾斜可能に保持し、この一
方の光機能素子の結合端面に他方の光機能素子の結合端
面を当接させ、端面同士が密着するまで押し付け、これ
により、前記一方の素子を、他方の素子の端面に対し
て、各素子の各結合端面の総計的な傾斜角度だけ適切に
傾斜させ、これにより、適正な結合角度と位置を決定す
る、この状態で両素子を接着する、ことを特徴としてい
る。

【００２１】すなわち、本発明方法は、各光機能素子が
有する端面の傾斜を、結合角度を決定かつ調整するため
のモーメント力として利用する、新規な方法ある。

【００２２】以下、本発明方法を実施する場合の本発明
装置を実施例に基づいて詳細に説明する。

【００２３】（実施例１）図２，図３および図４は、本
発明の実施例を示す装置の一部切り欠いて示した斜視
図，平面図および側断面図である。

【００２４】図中、２１は架台、２２は前記架台２１の
内側に回転自在に軸支されている第１の回動体、２３は
前記第１の回動体２２の内側に回転自在に軸支されてい
る第２の回動体、２４は前記第２の回動体２３の中心に
固定されている光機能素子設置用のマウント部、２５は
第１の回動体２２を回転停止させる第１のストッパ、２
６は第２の回動体２３を回転停止させる第２のストッパ
である。

【００２５】架台２１は、図に示すように、円筒状の部
材であり、その中心を介して対向する端縁には直立支持
アーム２１ａ，２１ａが立設されている。この直立アー
ム２１ａ，２１ａの上部には、第１の回動体２２を軸支
するためのボルト２７が直立アーム２１ａに対して垂直
に螺設されている。また、いずれか一方の直立アーム２
１ａの下部にはボルト状の第１のストッパ２５がこの直
立アーム２１ａに対して垂直に螺設されている。

【００２６】これに対し、第１の回動体２２は、円筒状
の架台２１より小径の円筒状部材であり、その中心を介
して対向する二つの端縁に一対の直立アーム２２ａ，２
２ａが立設され、さらに、これら端縁に対して、それぞ
れさらに９０度回動した端縁に、一対の直立アーム２２
ｂ，２２ｂが立設されている。一対の直立アーム２２
ａ，２２ａの上部には、それぞれ前記軸支ボルト２７を
嵌入させるボールベアリング軸受２８がはめ込まれてい
る。この構造によって、第１の回動体２２は、架台２１
に対して、回動容易となっている。また、もう一対の直
立アーム２２ｂ，２２ｂの上部には、第２の回動体２３
を軸支するためのボルト２９が、このアームに対して垂
直に螺設されている。また、いずれか一方の直立アーム
２２ｂの下部にはボルト状の第２のストッパ２６がこの
直立アーム２２ｂに対して垂直に螺設されている。

【００２７】一方、第２の回動体２３は有底円筒状の部
材であり、底部は上端に形成されて、その上面の中心部
分にマウント部２４が形成されている。また、この第２
の回動体２３には、その中心を介して対向する二つの端
縁に一対の直立アーム２３ａ，２３ａが立設され、これ
ら直立アーム２３ａ，２３ａの上部には、それぞれ前記
軸支ボルト２９を嵌入させるボールベアリング軸受３０
がはめ込まれている。この構造によって、第２の回動体
２３は、第１の回動体２２に対して、ひいては架台２１
に対しても、回動容易となっている。

【００２８】このように、固定架台２１に対して第１の
回動体２２が直立アーム２２ａの軸受２８を回転中心と
して滑らかに回動する機構を有している。さらに、架台
２１の２箇所の直立アーム２１ａ，２１ａが形成する平
面に直交する方向の２箇所に配置されている直立アーム
２２ｂ，２２ｂに対向する第２の回動体２３の直立アー
ム２３ａ，２３ａの軸受３０を回転中心として、前記回
動体２３が滑らかに回動する機構を有している。

【００２９】上記第２の回動体２３の中心部に形成した
マウント部２４は、半導体レーザ、半導体受光器、光フ
ァイバなどの光機能素子を固定する部分であり、不図示
の固定手段により光機能素子を固定できるようになって
いる。この光機能素子設置用のマウント部２４は、前記
二つの回転機構により、マウントの平面は水平面に対し
て任意の傾斜角位置に移動可能となる。

【００３０】さらに、本装置には、二つの回動体２２，
２３をそれぞれ所定の回転角位置で停止し、固定するた
めに、前記したように、第１および第２のストッパ２
５，２６がある。通常、このストッパの構成は、本実施
例でのように、回転中心である軸受２８，３０の近傍に
ネジなどを設け、このネジを回動体２２，２３に押圧で
きる簡易なものでよいが、柔軟性を有する板状のものを
圧縮空気により加圧して押圧する機能を有するものを利
用することもできる。このようにすれば、ストッパによ
り回動体の回転および停止を簡易にでき、しかも、停止
による回転角の位置ずれを防止できる。

【００３１】また、前記光機能素子マウント部２４に
は、素子として半導体レーザを取り付けるときのため
に、レーザの電極端子を通す孔が形成され、下部内側に
は、レーザの電極端子を電源に接続するための接続電極
３１が取り付けられている。

【００３２】次に、前記構成の本結合装置を用いて光機
能素子の結合を行なうために、さらに、位置調整微動装
置を結合した装置を図５に示す。図５は半導体レーザと
単一モード光ファイバとの結合例である。図において、
図１ないし図４と同一構成要素には同一符号を付してあ
る。半導体レーザ１は、前記構成の装置のマウント部２
４に固定されており、その電極端子３、４は、マウント
部２４の接続電極３１に接続されている。光ファイバ６
は、三軸微動装置４０により前記結合装置の上方に保持
され、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向に微動可能となっている。三軸
微動装置４０は、スライダ４０ｘ，４０ｙ，４０ｚと、
微動アーム４１と、微動アーム４１の先端に形成された
光ファイバマウント部４１ａとから構成されている。ま
た、光ファイバ６の他端は、ファイバ内を通る光量を測
定する受光器４２に接続されている。

【００３３】上記構成の結合装置による素子結合方法を
以下に述べる。光ファイバ６の結合側と反対の端面に
は、受光器４２で光量を検出するとともに、本装置のマ
ウント部２４に設置した半導体レーザ１の電流端子３，
４にはマウント部２４の下方内部にある接続電極３１を
介して電源と接続し、半導体レーザ１を発光可能にして
おく。この例では、半導体レーザ１を水平面に設置し、
光ファイバ６を前記三軸微動装置４０の微動アーム４１
先端の光ファイバマウント部４１ａにより垂直に固定し
つつ、両者を結合することとする。まず始めに、光ファ
イバマウント部４１ａの中心部と半導体レーザマウント
部２４の中心部とを、Ｘ軸，Ｙ軸方向をスライダ４０
ｘ，４０ｙで微動させることによって、位置調整する。
次に、スライダ４０ｚにより光ファイバ６を垂直方向に
移動し、その先端面（結合端面）を半導体レーザ１の結
合端面に緩やかに接触させ、さらに、互いの接触部が最
初の当接位置から数μｍから十数μｍほど移動する程度
に、光ファイバ６を半導体レーザ１に押圧する。する
と、マウント部２４に固定されている半導体レーザ１の
結合端面の傾斜角と、光ファイバマウント部４１ａに固
定されている光ファイバ６の先端面の傾斜角と、の総計
角度成分と同一の角度だけ、本装置の二つの回動体２
２，２３が回転し、半導体レーザ１と光ファイバ６とが
密着された状態となる。ここで、例えば、一方の光ファ
イバ６の装置マウント部への取付角度が若干ずれていて
も、その誤差角度は、二つの回動体２２，２３の回動に
よって調整、吸収され、光ファイバ６と半導体レーザ１
との密着に影響を与えることはない。この端面密着状態
で、二つの回動体２２，２３を二つのストッパ２５，２
６により独立に固定する。

【００３４】次に、光ファイバ６の先端を垂直方向に数
μｍから１０μｍ程度戻し、光ファイバ６と半導体レー
ザ１との間隔をわずかに広げる。その後、半導体レーザ
１に電流を印加して発光させ、その光量を受光器４２に
よってモニタしながら、結合部分の軸合わせ調整を行な
い。スライダ４０ｘ，４０ｙで光ファイバ６を最適位置
に移動調整する。最後に、光ファイバ６と半導体レーザ
１との間隔を再び狭め、両者を緩やかに接触させる。こ
こで、接着剤により両光機能素子を固定するか、半田の
加熱により固定するか、ＹＡＧレーザの照射による融着
で両者を固定する。

【００３５】（実施例２）図６は、本発明装置の第２の
実施例を示すもので、前記図５の装置をさらに自動化し
た構成の装置を示している。この装置と前記図５の装置
との相違点は、以下の点にある。

【００３６】第１に、三軸微動装置４０の各微動スライ
ダ４０ｘ，４０ｙ，４０ｚがマイクロモータ４３と機械
的に結合して外部からの電気信号で動作すること、第２
に、二つの回動体２２，２３を回転停止させる二つのス
トッパについて、柔軟性を有する板状のものを圧縮空気
により加圧して押圧する機能を有する装置４４を付加し
たこと、第３に、接着剤の供給装置または半田の加熱装
置またはＹＡＧレーザの照射装置等の接着装置４５を付
加したこと、第４に、自動制御装置４６を付加し、受光
器４２，三軸微動装置４０，ストッパ機能装置４４，接
着装置４５を自動制御する構成としたことである。

【００３７】本実施例の自動化装置は、次の工程により
半導体レーザ１と光ファイバ６との結合を半自動化する
ものである。まず、二つの光機能素子をマウントする。
次に、半導体レーザ１を発光させる。受光器４２を検出
し、三軸微動装置４０で光ファイバ６を半導体レーザ１
に接触させ、さらに約１０μｍほど押圧する。ストッパ
機能装置４４で回動体２２，２３を固定する。三軸微動
装置４０により光ファイバ６の先端を１０μｍほど戻
し、受光器４２の光量が最大となるように、三軸の内の
Ｘ，Ｙの２軸を微動調整する。さらに、三軸微動装置４
０で両素子を密着させる。続いて、例えば、接着剤を供
給して両素子を接着する。最後に、両素子をマウントか
ら取り外す。

【００３８】（実施例３）図７は、本発明の第３の実施
例である。前記各実施例と基本的には同様であるが、二
つの回動体２２，２３を回動自在に支持している２対の
軸（前記実施例ではボルト状）の各対のそれぞれの一つ
を各回動体２２，２３に固定状態とし、これら二つの回
転軸にモータ５１，５２を直結させて、これらモータ５
１，５２により、回転体２２，２３を回動可能としてい
ることが、相違点である。このような構造では、外部か
らのパルス電気信号によりモータ５１，５２の回転を制
御できるので、光機能素子のマウント部２４を所望の回
転角に容易に設定できる特徴を持つ。特に、光学定盤で
の高精度の実験において、光導波路型光学素子の角度調
整などへ利用できる。

【００３９】なお、上記各実施例では、回動体の形状を
円筒状としたが、角筒状でもよい。また、通常は、光機
能素子の端面傾斜角および光軸傾斜角は数度程度以内で
あり、二つの回動体の回動角もこの範囲内であれば良い
ことから、小型化のために他の形状や構造に改良するこ
とが可能である。

【００４０】以上、各実施例で明らかにしたように、本
発明の光機能素子結合装置は、低モーメントで互いに直
交する方向に滑らかに回動する二つの回動体によって適
性結合角度の調整を行なう、という新規な原理によるも
ので、従来の角度微動調整装置とは基本的に異なるもの
である。その特徴は、以下の通りである。

【００４１】（ｉ） 角度調整範囲が広く、角度調整を
瞬時に実現できる。

【００４２】（ｉｉ） 調整角度は、二つの光機能素子
の各結合端面同士を当接、密着させることにより自動的
に決定されるので、精度は、軸受の精度のみで決まり、
極めて高い。

【００４３】（ｉｉｉ） 回動体を作業者が直接に回動
させて、その角度を設定するのではなく、本発明では、
“回動体の中心に設置した一方の光機能素子の結合端面
に他方の光機能素子の結合端面を当接させ、端面同士が
密着するまで押し付け、それにより、回動体を各素子の
各結合端面の総計的な傾斜に対応して任意の方向に任意
の角度だけ適切に傾斜させる”という方法、すなわち、
各光機能素子が有する端面の傾斜を、結合角度を決定か
つ調整するためのモーメント力として利用する、新規な
方法を用いて、自動的に最適な結合角度を決定する。こ
の方法の利点は顕著である。例えば、光機能素子の一方
または双方の装置への取付角度が若干ずれても、その誤
差分は本装置の回動体の回動によって調整、吸収され、
素子同士の結合角度の決定は、両光機能素子の端面の傾
斜のみに依存するので、調整角度の精度に影響を与える
ことはない。したがって、角度調整作業は極めて容易か
つ自動的であり、しかも、調整角度は正確に決定でき
る。その結果、角度調整の確認工程を省略でき、光機能
素子結合の総体的な自動化に貢献できる。

【００４４】（ｉｖ） 構成部品数が少なく、軽量かつ
小型の装置である。

【００４５】したがって、本発明の装置により、光機能
素子の結合の自動化が可能となり、結合された光製品を
効率的かつ大量に生産することが実現できる。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、光機能
素子の結合において、簡易な構成により、高い精度で角
度調整ができ、結合作業の自動化に大きく貢献できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の光機能素子結合装置の一例を示す側面構
成図である。

【図２】本発明装置の第１の実施例の一部切り欠いて示
した斜視図である。

【図３】本発明装置の第１の実施例の平面構成図であ
る。

【図４】本発明装置の第１の実施例の側断面図である。

【図５】本発明装置第１の実施例において自動化を図っ
た構成の説明図である。

【図６】本発明装置の第２の実施例を示すもので、さら
に自動化を徹底させた構成の装置の構成図である。

【図７】本発明装置の第３の実施例を示すもので、装置
の平面構成図である。

【符号の説明】

１ 半導体レーザ（光機能素子） ６ 光ファイバ ２１ 架台 ２１ａ 直立アーム ２２ 第１の回動体 ２２ａ，２２ｂ 直立アーム ２３ 第２の回動体 ２３ａ 直立アーム ２４ 光機能素子設置用のマウント部 ２５ 第１のストッパ ２６ 第２のストッパ ２７，２９ 軸支ボルト ２８，３０ 軸受 ３１ 光機能素子設置マウント部の接続電極 ４０ 三軸微動装置 ４０ｘ，４０ｙ，４０ｚ 微動スライダ ４１ 微動アーム ４１ａ 光ファイバマウント部 ４２ 受光器 ４３ モータ ４４ 自動ストッパ機能装置 ４５ 接着装置 ４６ 自動制御装置 ５１，５２ 回動用モータ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一方の光機能素子を、その結合端面が自
   在に全方向に傾斜可能に保持し、この一方の光機能素子
   の結合端面に他方の光機能素子の結合端面を当接させ、
   端面同士が密着するまで押し付けて、前記一方の光機能
   素子を、前記他方の光機能素子の端面に対して、各光機
   能素子の各結合端面の総計的な傾斜角度だけ適切に傾斜
   させ、これにより、適正な結合角度と位置を決定し、こ
   の状態で両素子を接着することを特徴とする光機能素子
   の結合方法。
2. 【請求項２】 架台と、該架台に同心的に取り付けら
   れ、互いに直交する向きを有する回転軸を持つ第１およ
   び第２の回動体とを有し、前記二つの回動体の中心に結
   合すべき光機能素子の一方を設置するマウント部が設け
   られていることを特徴とする光機能素子の結合装置。
3. 【請求項３】 前記架台に立設された一対の直立アーム
   に、軸受を介して、前記第１の回動体が取り付けられ、
   該第１の回動体に前記直立アームと直交する方向に設け
   られた直立アームに、軸受を介して、前記第２の回動体
   が取り付けられ、この第２の回動体の中央部に前記マウ
   ント部が形成され、さらに、前記架台の直立アームと第
   １の回動体の直立アームのそれぞれに、またはそれらの
   近傍に前記二つの回動体を独立に回転停止できる停止手
   段を設けたことを特徴とする請求項２に記載の結合装
   置。
4. 【請求項４】 前記二つの回動体をそれぞれ軸支してい
   るそれぞれの一対の回転軸の一方に回転駆動手段が直結
   されていることを特徴とする請求項２または３に記載の
   結合装置。
5. 【請求項５】 結合すべき光機能素子の他方を設置する
   マウント部を有し、該マウント部の位置を、前記請求項
   ２または３の結合装置に対して、少なくとも２軸以上の
   方向に微移動させて、前記二つの光機能素子を光学的に
   軸合わせする位置調整微動装置が、前記請求項２または
   ３の結合装置に対して配置されていることを特徴とする
   光機能素子の結合装置。
6. 【請求項６】 前記結合装置の回動体を停止する機構
   と、前記位置調整微動装置における２軸以上の微移動を
   行なう機構とを自動制御する電子制御装置をさらに設け
   たことを特徴とする請求項５に記載の結合装置。
7. 【請求項７】 前記二つの光機能素子を互いに密着させ
   たときに、これら光機能素子を結合する接着手段がさら
   に設けられていることを特徴とする請求項５または６に
   記載の結合装置。