JP2003295020A - 対象物の面合わせ・調心装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 対象物の被調整位置がずれることがなく、簡
単な機構で高精度であり、耐荷重性の高い対象物の面合
わせ・調心装置を提供する。 【解決手段】 対象物の被調整位置を、その対象物に接
続等される部材と面合わせや調心を行う装置のステージ
手段であって、対象物を配置するステージ部（１）と、
ステージ部を下部から支承する基台部（２）とを備え、
ステージ部はその下面部に、被調整位置（Ｂ）を中心と
する球面状の外形が形成された球面状外形部（３）を有
し、基台部はステージ部の球面状外形部を支承する受け
部（４）を有し、ステージ部が球面状外形部に沿って移
動可能に保持されていることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は対象物の面合わせ・
調心装置に関するものである。とりわけ、光部品同士を
ステージ部上で面合わせや調心を行うために用いる対象
物の面合わせ・調心装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】対象物の被調整位置を、その対象物に接
続等される部材と面合わせや調心を行う場合には、一般
に、ステージ部に対象物を保持しておき、ステージ部の
位置、傾きを変えながら行っている。特に、対象物が光
部品等の場合には、面合わせや調心にミクロンオーダー
の高精度が要求されるため、従来からさまざまな対象物
の面合わせ・調心装置が提案されている。

【０００３】例えば、特開２０００−１８０６５８号公
報には、光部品の調心装置の技術が開示されている。こ
の従来技術は、直線移動三軸と回転移動三軸の合計六軸
の自由度を備えた装置であり、六軸を制御することによ
りどのような形態の光部品でも高精度に調心が行えると
いうものである。確かに、この従来技術は六軸を制御し
ているためあらゆる位置、角度に対象物同士を調整して
調心できる。しかし、合計六軸制御してこの被調整位置
をその対象物に接続等される部材と面合わせや調心を行
うことは、装置が複雑となるばかりでなく、六軸の制御
が非常に複雑となってしまうという問題があった。しか
も、各軸部自体や軸受け部に負荷がかかるので、摩耗や
変形などによって面合わせや調心の精度が低下する問題
があった。

【０００４】一方、直線移動軸や回転移動軸の制御をす
ることなく光部品同士を面合わせする技術も開示されて
おり、例えば、特開２００１−６６４８４号公報に記載
された技術が挙げられる。この従来技術は、光部品のう
ち一方を球面状の内部空間に供給される流体により移動
・回転自在な球面体を有するジンバル機構により保持し
ておき、ジンバル機構が内部空間内で自在に傾きを変え
ながら光部品同士の面合わせや調心を行うものである。
この従来技術では、球面体を有するジンバル機構によっ
て複数の軸を制御することなしに任意に光部品の被調整
位置の傾きを調整できる利点はあるものの、ジンバル機
構の固定は、内部空間に供給される流体の圧力を減圧さ
せて内部空間の片方にジンバル機構を押し付けて行うた
め、光部品の被調整位置がずれてしまう問題があった。

【０００５】このため、上記の従来技術では弾性機構の
復元力によって光部品の被調整位置のずれを復元しなけ
ればならず、面合わせや調心の精度に少なからず悪影響
を及ぼしてしまう。また、ジンバル機構の移動・回転に
は流体の供給が必ず必要なため、装置が複雑化してしま
う問題もあった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、斯かる実情
に鑑み、対象物の被調整位置がずれることのない対象物
の面合わせ・調心装置を提供しようとするものである。
また、簡単な機構で高精度の面合わせや調心が行える対
象物の面合わせ・調心装置を提供することを目的とする
ものである。さらに、面合わせなどで光部品に荷重をか
けた場合であっても、当該加重による変形や摩耗性が少
ない、いわゆる耐荷重性の高いステージ構造を有する装
置を提供することを目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の発明によれば、対象物の被調整位
置を、その対象物に接続等される部材と面合わせや調心
を行う装置のステージ手段であって、前記対象物を配置
するステージ部と、該ステージ部を下部から支承する基
台部とを備え、前記ステージ部は、その下面部に、前記
被調整位置を中心とする球面状の外形が形成された球面
状外形部を有し、前記基台部は、前記ステージ部の前記
球面状外形部を支承する受け部を有し、前記ステージ部
が、前記球面状外形部に沿って移動可能に保持されてい
る、ことを特徴とする対象物の面合わせ・調心装置を提
供する。

【０００８】本発明の対象物の面合わせ・調心装置は、
大きく二つの部位を有しており、ステージ部と基台部と
を備えている。本発明におけるステージ部とは、対象物
が配置されるように構成されたものを含むものであれば
良く、その対象物を固定した状態で保持するように構成
されたものである。さらに、基台部とは、このステージ
部を下部から支承する構成のものであって、ステージ部
の荷重が加わる部分を含む概念のものである。

【０００９】つまり、本発明においてステージ部は対象
物が配置できれば全て該当するものであり、例えば、表
面が平坦な円板形状で構成されて、その平坦部に対象物
を直接配置するものや、取付部を別に備えステージ部と
一体で可動するものであってもよく、例えば、表面に凹
凸のある矩形状の板の上面に対象物取り付け用の部材
（取付部）を設けたものであっても、この取付部を含め
て本発明におけるステージ部に該当するものである。

【００１０】また、基台部は、基本的にはステージ部を
下部から支承するものであれば全て本発明の基台部に含
まれ、例えば、ステージ部の球面状外形部（下部）に対
抗する形状の受け部、例えば、上方に開放した凹球面状
の受け部を備えたもので、ステージ部を下部から支承す
るものがある。

【００１１】さらに、本発明のステージ部は、その下面
部に対象物の被調整位置を中心とする球面状の外形が形
成された球面状外形部を有した構成となっている。即
ち、ステージ部に対象物を配置して、その対象物の被調
整位置（つまり、その対象物が他の部材と接続等される
接続位置）を中心とする球面状の外形がステージ部の下
面部に形成されていれば、全て本発明における球面状外
形部となる。

【００１２】なお、ステージ部の球面状外形部（下部）
は、全ての部分が球面形状である必要はなく、少なくと
も基台部に支承される当接部が球面状外形の一部を構成
するものであれば良く、当接部以外の部分は、必ずしも
球面状外形でなくてもよい。

【００１３】例えば、ステージ部の下面部全体が一様に
対象物の被調整位置を中心とする球面を形成したもの
（半球状のものがステージ部の下面に取り付けられたよ
うな状態）であっても、本発明の球面状外形部となる。
また、下面部全体に一様に形成された球面の下方部を水
平に切断して、ステージ部の下面部の一部分のみが、対
象物の被調整位置を中心とする球面状の一部を帯状に円
周方向に切り取った状態のものとなっていても本発明に
おいては球面状外形部に該当する。或いは、前記半球面
状の一部分のみを抽出したような形状で、例えば、円周
方向に所定の間隔を開けて間隔をあけて部分的に球面状
部分が存在するように形成されたものであっても本発明
においては球面状外形部に該当する。

【００１４】加えて、本発明の基台部は、前記ステージ
部の前記球面状外形部を支承する受け部を有しており、
この受け部を有することによって前記ステージ部が前記
球面状外形部に沿って移動可能に保持される。

【００１５】さらに、基台部の受け部も、例えばステー
ジ部の球面状外形部が半球形状部分であったとしても、
それに対抗するような凹球面の半球形状のものであって
も、そのような凹球面状の一部分のみで構成されていて
も良いし、逆に、受け部自体の形状は凹半球形状でなく
ても、少なくとも受け部の支承部が、それぞれ、前記ス
テージ部の球面状外形部に沿った位置に配設されていれ
ば良い。

【００１６】即ち、本発明の受け部は、ステージ部の下
面部の球面状外形部を支承する役割を果たすと共に球面
状外形部に沿ってステージ部が移動可能となる構成のも
の全てを含む概念のものである。

【００１７】そして、ステージ部がその球面状外形部を
備えており、その球の中心位置を基準にして前記球面状
外形部に沿った自由な移動が確保できるものであれば、
そのステージ部の構成とそれを受ける基台部の構成とに
該当するものである。

【００１８】このように構成されることにより、本発明
の対象物の面合わせ・調心装置において、ステージ部
は、受け部を有する基台部に下部から支承されて球面状
外形部に沿った自由な移動が可能となる。このとき、球
面状外形部は対象物の被調整位置を中心とする球面状の
外形を形成しているので、被調整位置に対してある方向
に力を加えるとステージ部は球面状外形部に沿って移動
（傾き変化）し、その移動の軌跡はステージ部に配置さ
れた対象物の被調整位置を中心として描いた球の軌跡と
一致する。よって、対象物の被調整位置自体は全く位置
を変えることなく、常に同じ位置を維持するのである。

【００１９】従って、対象物を他の部材と接続等すると
きに、ステージ部が球面状外形部に沿って移動して対象
物の被調整位置（角度他）を微調整しながら接続等され
る部材との間で相対接続部位が合致するように面合わせ
や調心を行うが、この間対象物の被調整位置は前記球面
状外形部の中心位置で動かないので、角度（傾き）のみ
を変更できるため、高精度で面合わせや調心を行うこと
ができる。なお、ステージが載置される基台部ごと上下
方向や水平面内での方向へ移動することで、対象物の位
置自体も空間的に変化させることが可能であるのは言う
までもない。

【００２０】即ち、この発明によれば、対象物の角度
（傾き）の変化に際して、被調整位置がずれないため、
ずれを復元する機構を備える必要がなく、しかも、多軸
制御によってステージ部の向きを調整する必要もないた
め、装置自体の構造が非常に簡素化でき、小型化、低コ
スト化にも寄与することとなる。

【００２１】請求項２に記載の発明によれば、請求項１
に記載の対象物の面合わせ・調心装置において、前記受
け部は、前記ステージ部の前記球面状外形部を下方から
支承する少なくとも三つ以上の支持部を備えていること
を特徴とするものである。

【００２２】即ち、本発明では、受け部は少なくとも三
つ以上の支持部を備えているため、ステージ部の球面状
外形部を複数の支持部で安定して支えることが可能とな
る。なお、本発明において支持部は最低限三つあれば、
球面状外形部を三点支持して安定状態を十分確保できる
が、三つ以上支持部を有してもよいのは勿論である。

【００２３】また、少なくとも三つ以上の支持部でステ
ージ部を支承しているから、ステージ部に配置された対
象物が他の部材と接続等されるときに大きな荷重が掛か
っても、従来技術のようなステージ部の回動軸が荷重を
受けるものに比べて遥かに大きな荷重に耐え得ることが
可能となる。即ち、耐荷重性が大幅に向上したものとな
っている。

【００２４】なお、受け部に支持部を配置する場合に
は、同心円上に均等に配置するのが望ましい。全ての支
持部が均等に球面状外形部を支承できるからである。こ
の理由により、例えば支持部材が三つの場合には、受け
部に同心円上に約１２０度間隔で配置するのがよい。た
だし、前記球面状外形部に沿って自由に移動できる構成
であれば、これらに限定されるものではないことは言う
までもない。

【００２５】以上に述べた支持部の具体的構成として
は、例えば、以下に述べるようなロール状の支持部でも
良いし、ボール軸受けのような構成でも良いが、線接触
になる前者の方が、点接触になる後者よりも強度的に優
れていて、精度的にも安定する。ただし、精度の高いボ
ール軸受けを用いた場合は、精度的な差は問題にならな
い。

【００２６】請求項３に記載の発明によれば、請求項２
に記載の対象物の面合わせ・調心装置において、前記支
持部は、前記球面状外形部の水平接線方向への水平移動
可能に構成されると共に、前記球面状外形部の水平接線
方向を軸とする回転移動とが可能なロール状支持部で構
成されていることを特徴とするものである。

【００２７】また、ボール軸受けを用いる場合には、ス
テージの球面状外形部を部分的（例えば、ボール軸受け
部の配設部のみ又はその周辺部のみ）に構成した位置に
ボール軸受けを配置し、それを基台部の受け部として、
前記と同様な凹球面部に構成しても同様な作用効果が得
られるので、その場合も、本件発明に該当するものとな
る。

【００２８】本発明の支持部は、基台部の受け部に設け
られた軸方向に対して回転可能で、かつ、軸方向へ平行
移動も可能なロール状の支持部からなるものである。こ
のロール状支持部の回転軸は、ステージ部の下面部に形
成された球面状外形部の水平接線方向へ配設されたもの
である。これにより、ロール状支持部自体が軸方向に水
平移動するので、そこに支承されているステージ部も水
平方向への移動（球中心とステージ中心を結んだ中心を
軸とする回転移動）が可能になる。

【００２９】さらに、ロール状支持部で構成されている
ので、そのロール部が軸回転することで、そこに支承さ
れているステージ部は、前記球面状外形部に沿った垂直
方向の移動が可能となる。そして、これらの複数の支持
部における軸回転と軸方向の相互の移動可能な状態の組
み合わせの作用で、ステージ部の球面状外形部に沿った
自由な移動が確保されている。

【００３０】ちなみに、ステージ部の下面部を三つ以上
の支持部で下方から支承しても、各支持部で球面状外形
部の水平接線方向へ移動する方向成分が全くないと、球
面状外形部に沿ったスムーズ（自由）な移動は確保され
ない。例えば、前記水平接線方向を軸とする単純ロール
部（軸方向の水平移動無し）のもので、支持した場合に
は、そのロール部の回転方向に正確に沿った移動の場合
はスムーズであるが、各支持部のロールの回転方向とは
異なる移動方向の場合には、いずれかの支持部のロール
に横方向（水平方向）の移動成分が発生し、それを許容
しないと移動抵抗となって、スムーズな移動が確保でき
ないものとなる。即ち、球面状外形部を支承する各支持
部の水平移動が可能なものでない場合には、各支持部で
の支承状態が、互いにステージ部の水平方向への移動を
拘束してしまい、ステージ部の水平移動が滑らかでない
場合も生じてしまう。

【００３１】そこで、本発明の支持部は、球面状外形部
の水平接線方向を軸とする回転移動が可能なロール状支
持部が、更に軸方向への水平移動も可能な構成としてい
る。つまり、ロール状支持部で構成された各支持部が球
面状外形部の水平接線方向に水平移動すると共に、球面
状外形部の水平接線方向を軸として回転移動して、ステ
ージ部は滑らかに水平方向への移動も可能となるのであ
る。

【００３２】より詳細には、ロール状支持部で構成され
た支持部は球面状外形部を支承しているから、ステージ
部が一つの支持部回転方向に沿って移動すると、他の支
持部は前記一つの支持部と１８０度の位置関係にあれ
ば、単に回転移動だけを行うが、その他の位置にある場
合には、回転移動と共に、水平方向への移動成分（支持
反力）が生ずることになるので、この球面状外形部に沿
って他の支持部では水平接線方向の水平移動を許容すれ
ば、スムーズな移動が確保できる。

【００３３】言い換えれば、このとき、他の支持部で
は、ロールの回転方向の移動成分と、軸方向の移動成分
とが生ずる移動状態となるので、前記他のロール状支持
部では、球面状外形部に沿って水平接線方向を軸とする
回転移動が行われると同時に、ステージ部がある方向へ
水平移動するように水平方向への力も加わるので、球面
状外形部に沿って水平接線方向の水平移動するように作
用し、その力をロール状軸受け部の軸方向への移動で受
けるので、移動抵抗となりにくい。このように、本発明
の支持部では、前記球面状外形部に沿った色々な方向へ
の移動に関して、ロールの回転方向と軸方向への移動を
許容することで、球面状外形部に沿った自由で且つスム
ーズな移動を許容するものとなっている。

【００３４】これにより、ステージ部が前記球面外形部
に沿って水平方向への移動成分を有するような移動を行
っても、互いの支持部がステージ部の移動を拘束するこ
とがなく、ステージ部は前記水平方向への移動成分も許
容して移動する。このとき、ロール状支持部で構成され
た支持部は球面状外形部を支承しているので、ステージ
部が各支持部において前記水平方向への移動成分を持っ
て移動しても、各支持部がその水平方向への移動成分を
ロール状軸支持部の軸方向への移動として許容するの
で、結果としてステージ部は対象物の被調整位置を中心
とした球面状外形部に沿った球面軌跡を描きながら自在
にかつスムーズに傾きを変えて移動することとなる。

【００３５】即ち、本発明の対象物の面合わせ・調心装
置によれば、基台部の支持部が、ステージ部の球面状外
形部の水平接線方向への水平移動と、球面状外形部の水
平接線を軸とする回転移動とが可能なロール状支持部で
構成されているから、ステージ部が被調整位置を中心と
して、水平面内の全ての方向に対して、いずれの方向で
も振り子のように自在に傾きを変えるように移動するの
で、対象物の傾きを任意に変更できるので、面合わせや
調心をスムーズ且つ確実に行うことができるのである。

【００３６】しかも、ステージ部は、対象物の被調整位
置を中心とする球面を描いて傾きが移動（傾き変化）す
るから、被調整位置自体は、前記球面中心位置としてず
れることがなく高精度の面合わせや調心が達成できる。

【００３７】ここで、本発明において、ロール状支持部
とは、球面状外形部を支承するためのロール状の部材を
有し、該ロール状部材が球面状外形部の水平接線方向の
水平移動と水平接線方向を軸とする回転移動を可能とす
る構成のものであれば何れのものでも使用可能である。

【００３８】例えば、一つの軸にロール状部材を挿入
し、軸とロール状部材との隙間に球状の転動体（ボール
ベアリングなど）を内部に装着して構成され、ロール状
部材は球状転動体の転動に伴って軸方向移動と軸回りの
回動が可能となり、本発明のロール状支持部となる。

【００３９】以下、上述した請求項３に記載の対象物の
面合わせ・調心装置におけるステージ部の移動（傾き変
化）について図１２及び図１３と共に詳細に説明する。
図１２では、ステージ部１’は、その下面部の球面状外
形部３’が、ロール状支持部で構成された少なくとも三
つの支持部４ａ’，４ｂ’，４ｃ’他に支承されて水平
状態となっていることを示している。また、ステージ部
１’の中央に対象物１５’が配置されており、対象物の
被調整位置Ｂ’（他の部材との接合部、面合わせ部）
は、球面状外形部３’の球面中心位置に配置されてお
り、この球中心（被調整位置Ｂ’）を中心とする半径
Ｒ’の球面（の一部帯状部分）で球面状外形部３’が形
成されている。

【００４０】ここで、対象物１５’の被調整位置Ｂ’
（球中心）に対して、図面の紙面に水平な面内で角度θ
だけ反時計回り方向に移動する（傾きを調整する）場合
を想定する。このとき、ステージ部１’は、球面状外形
部３’の水平接線方向への水平移動と水平接線方向を軸
とする回転移動が可能なロール状支持部で構成された支
持部４ａ〜４ｃで支承されており、球面状外形部３’に
沿って、図中矢印Ｆの方向へ移動するものとする。

【００４１】このとき、図面の紙面に垂直な方向に軸を
持つ支持部４ｂ’及び４ｃ’では、その回転軸に方向へ
の移動成分はないので、それぞれのロール状軸受け部の
回転方向に対して、それぞれ矢印Ｄ方向、矢印Ｅ方向へ
回転することにより、ステージ３’の矢印Ｆ方向への移
動（角度θ分の傾き変化）を許容する。

【００４２】そして、支持部４ａ’での支持部は、ステ
ージ部１’の矢印Ｆ方向への移動に伴って、図１３に示
すように水平接線方向（図中の矢印Ｃ方向）へも移動を
する。この水平方向への移動成分を、ロール状軸支持部
の軸方向への移動（矢印Ｃ方向への移動）で許容して、
ステージ部１’は図１３に示すように被調整位置Ｂ’を
中心とする球面状外形部３’に沿って反時計回りに角度
θだけ傾きを変えることとなる。

【００４３】なお、球面状外形部３’は、被調整位置
Ｂ’を中心とする半径Ｒ’の球面状で形成されているた
め、ステージ部１’の傾きは常にＢ’を中心とする半径
Ｒ’で描かれる球面上を変化することで生じる。つま
り、被調整位置Ｂ’の位置は、ステージが傾いても常に
変化せず、被調整位置Ｂ’はステージ１’が自在に傾き
を変えるように移動するのに合わせて、その角度のみが
変化（傾きの角度や方向のみが変化）するのである。

【００４４】従って、被調整位置Ｂ’は、特に移動する
ことがないので、他の接続部材を被調整位置Ｂ’へ移動
させれば、相互の部材が当接する。なお、接続時には、
他の接続部材の先端部（被接続部分）を被調整位置Ｂ’
に位置合わせして当接させ、その状態でさらに力Ｐ’を
加えることとなる。仮に、面合わせが正確でなくても、
この力Ｐ’により、ステージがさらに傾いて、互いの接
続面同士は正確に面合わせされる。

【００４５】さらに、この接続時に力Ｐ’が加えられた
状態でも、本件発明ではステージ部１’が三つ以上のロ
ール状支持部４・・・で、支持されているので、支持部
や回転軸が変形したりすることは、従来の多軸調心の装
置に比べて、極めて小さいので、調心や面合わせの精度
が格段に向上し、且つ、耐荷重性も大幅に向上してい
る。

【００４６】なお、ここでは説明の便宜のために、支持
部４ｂ’及び４ｃ’とが互いに１８０度の位置に配設さ
れている場合を例にとって説明したが、本発明はこのよ
うな角度関係の場合にだけ限定されるものではない。例
えば、１２０度ごとに三つの支持部を配した場合にも、
それぞれの支持部において、ロール状支持部の軸回転方
向と軸方向への平行移動成分を相互に許容して、ステー
ジ部の全方向への傾きを許容するものであり、かつ、そ
の移動はスムーズなものとなる。

【００４７】請求項４に記載の発明によれば、請求項３
に記載の対象物の面合わせ・調心装置において、前記ス
テージ部は、その下面部の下部に設けられた水平移動調
整手段を更に備え、この水平移動調整手段は、前記ステ
ージ部の下面側の予め定めた位置を基準にして、その基
準位置を水平面内方向へ任意に移動させるものであっ
て、前記水平移動調整手段により前記基準位置を移動さ
せた場合に、前記ステージ部自体は、前記球面状外形部
に沿って移動するものであることを特徴としている。

【００４８】この基準位置とは、ステージ部の移動状態
を定める基準位置のことであって、その基準位置を動か
すことによってステージ部の移動による傾きの変化を定
めることができる場所であれば、如何なる場所を基準位
置と定めても良い。

【００４９】例えば、前記ステージ部自体を水平状態の
基準状態に保持した場合に、その下面部の中央部の下部
を基準位置とすれば、その基準位置を水平面内の所定方
向に動かした場合には、その移動方向に向かってステー
ジ部は前記球面状外形部に沿って移動していく。

【００５０】即ち、当該基準位置の移動方向が、ステー
ジ部の傾きの方向を定めるものであり、その基準位置の
移動距離がステージ部の傾き角度を規定するようにな
る。逆に言えば、傾きを制御したい場合には、それに対
応するように、基準位置の移動方向と距離を制御するこ
とで、ステージ部の上に配置される対象物の移動（傾き
状態）が制御できるものとなる。

【００５１】言い換えれば、本発明では、前記の基準位
置を水平面内方向に移動可能な水平移動調整手段を備え
ているため、この水平移動調整手段によって水平方向の
移動量を調整してやると、ステージ部自体は球面状外形
部に沿って移動するので、ステージ部の傾きを任意の位
置（傾きの方向と大きさ等の状態を含む）に移動調整で
きることとなる。

【００５２】つまり、本発明は、水平移動調整手段によ
ってステージ部を球面状外形部に沿って移動させながら
傾きを変えることができるものであるから、前述したよ
うに、前記基準状態でのステージ部の下面部の中央部
（若しくはその下方延長線上）を基準位置として定める
のがもっとも効果的であり、位置（傾き）制御も容易に
行える。即ち、ステージ部の中央部（の下部又はその下
方延長線上）を基準に配置することで、ステージ部中央
の位置を容易に調整でき、しかも、中央位置を基準にす
ることで、基準状態の位置を正確に把握できるので、そ
こからどれ程移動させればよいかの調整が容易となるか
ら、対象物の傾きや、位置制御にも、もっとも容易な基
準位置である。

【００５３】ここで、本発明における水平移動調整手段
とは、水平面内方向に任意に移動調整可能なもの全てを
含む概念のものであり、例えば、Ｘ−Ｙ平面上の二軸で
自由にスライドするＸ−Ｙスライド装置等もこれに該当
する。

【００５４】このように、本発明によれば、水平面内方
向に移動可能な水平移動調整手段を設けているから、例
えば、水平移動調整手段の零点（中心点）をステージ部
の水平位置（基準状態）に合わせておけば、水平移動調
整手段を零点に復帰させれば、水平移動調整手段の水平
移動に伴いステージ部も自身の中心位置に復帰するので
ある。換言すれば、ステージ部を水平位置したい場合に
は、水平調整移動手段を零点にするだけでよいのであ
る。これにより、対象物をステージ部に正確に配置でき
ることとなる。即ち、このような調整の基準の一例が、
前述した基準位置を、ステージ部の基準状態での中央部
の下部（又はその延長線上）に配した場合となる。

【００５５】なお、前述のように水平移動調整手段を零
点に復帰させる場合には、例えば、Ｘ−Ｙ二軸のスライ
ドが交差する部分に下方に広がるテーパ形状の連通穴を
開けておき、零点復帰させたいときだけその穴に下方か
ら球体をエアー等で押し上げてテーパ作用によって強制
的に零点に復帰させる手段や、水平移動の駆動手段とし
てステッピングモータを使用し、電気的に零点に復帰さ
せる手段等の公知の位置調整手段を用いることができ
る。

【００５６】請求項５に記載の発明によれば、請求項４
に記載の対象物の面合わせ・調心装置において、前記水
平移動調整手段は、前記基準位置において前記ステージ
部と連結されており、当該連結部は、垂直方向への移動
を許容する連結部材を介して連結されていることを特徴
とするものである。

【００５７】本発明では、ステージ部は被調整位置を中
心とする球面上を自在に移動可能であるため、前記の基
準位置も、その球面状の移動に沿って移動するので、Ｘ
−Ｙ平面方向のみならずＺ方向（垂直方向）にも移動す
ることになる。つまり、ステージ部の基準位置は、三次
元空間内を移動するのである。これに対して、水平移動
調整手段はＸ−Ｙ平面（水平面）上を移動するものであ
る。

【００５８】このため、ステージ部の移動と共に水平移
動調整手段を移動させると、あるいは、ステージを移動
させるために水平移動調整手段を稼働させると、ステー
ジ部の移動により生じる基準位置のＺ方向の移動成分
は、相互の連結部において、水平移動調整手段での水平
方向の移動のみでは許容できない（Ｚ方向へ移動成分が
生じてしまう）。これが許容できないと、水平方向の移
動をも拘束することとなる。特に、ステージ部の移動量
が小さい場合は余り問題ないが、移動量が大きくなるに
従い被調整位置の面合わせや調心の際に無視できない場
合もある。

【００５９】本発明では、ステージ部の前記基準位置
と、前記水平移動調整手段との連結部分に、垂直方向へ
の移動を許容する連結部材を設け、該連結部材を介して
ステージ部と水平移動調整手段とを接続している。

【００６０】この連結部材は、例えば、垂直方向への移
動が可能であるか、あるいは垂直方向への変形を許容す
るように構成されたものである。例えば、板バネ状部材
を用い、垂直方向への変形を可能とするように配置構成
した場合には、ステージ部の移動によるＺ方向（垂直方
向）変位成分を板バネ状部材の弾性変形で吸収（許容）
することができる。従って、水平移動調整手段は、その
移動方向自体はＸ−Ｙ平面内でしかスライドしなくても
板バネ状部材等の連結部材によって垂直方向（Ｚ方向）
の移動量を吸収（許容）しながらステージ部と共にスム
ーズな移動が可能となるのである。

【００６１】即ち、板バネ状部材等のＺ方向への移動を
許容する連結部材を用いることにより、ステージ部の基
準位置の三次元移動に相関した三次元水平移動可能な調
整手段を備える必要がない。言い換えると、水平面内方
向に移動可能な水平移動調整手段とステージ部（の基準
位置）とを、板バネ状部材等の連結部材を介して接続
（連結）するだけで、Ｚ方向移動量を吸収して対象物の
被調整位置を任意且つ正確に制御できるものとなる。

【００６２】なお、本発明における連結部材は、例え
ば、板バネ状支持部材のように、ステージ部が傾きを変
えながら移動する際の、基準位置（連結部）の垂直方向
の移動量を吸収して水平移動調整手段の水平移動に影響
を及ぼさない程度の弾性力を有するものであるか、当該
垂直方向の移動成分を許容できる程度の構成を備えたも
のであれば、このような板バネ状部材に限定されるもの
ではない。一例としては、図８に示すような板バネ部材
を円周方向に適切な間隔をあけて溝穴を開けたものが挙
げられる。

【００６３】請求項６に記載の発明によれば、請求項４
又は５に記載の面合わせ・調心装置において、前記水平
移動調整手段は、前記ステージ部を所定の位置（傾き状
態）で固定可能な固定手段を備えた構成となっている。

【００６４】本発明では、対象物の被調整位置を、その
対象物に接続等される部材と面合わせや調心を行った後
に、対象物と接続する部材とを接着等する場合には、面
合わせや調心を行ったままの状態でステージ部を保持し
ておかなければならない。つまり、ステージ部が面合わ
せや調心を行うために球面状外形部に沿って自在に移動
して、対象物の被調整位置の傾きを変えるが、その傾き
をそのまま保持しておかなければならないのである。

【００６５】本発明ではステージ部と移動を共にする水
平移動調整手段が固定手段を備えているので、水平移動
状態を固定することで、ステージ部は所定の位置（傾き
状態）で固定されてその状態を保持できる。これによ
り、面合わせや調心を行ったままの精度を保持して良好
な接着等の作業が行える。

【００６６】なお、本発明において固定手段は、水平移
動調整手段の水平移動が固定できる手段であればどのよ
うな形式の固定手段であっても適用可能である。例え
ば、ステッピングモータを水平移動調整手段の駆動手段
として用い、所定の位置で電気的に水平移動状態を固定
すれるものでもよい。あるいは、往復運動の制御が可能
なエアーシリンダを水平移動調整手段に接続し、供給エ
アーによって水平移動調整手段の移動を固定するような
手段を用いることも可能である。

【００６７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を図面と共に説明する。図１は、本発明の一実施形態
に係る対象物の面合わせ・調心装置の概略平面図であ
り、図２は図１のＡ−Ａ概略断面図である。また、図３
〜図５は本実施形態に係る水平移動調整手段の詳細を説
明するための図であり、図６は本実施形態に係るステー
ジ部の概略正面図である。さらには、図７は本実施形態
に係る支持部の内部構造を示す概略断面図であり、図８
は本実施形態に係る板バネ状支持部材の説明図である。

【００６８】図１及び図２に示すように、本実施形態に
係る対象物の面合わせ・調心装置は、対象物を配置する
ステージ部である円板状のジンバル１と、該ジンバル１
を下部から支承する基台部であるジンバルベース２とを
備えている。ジンバルベース２は底部を有する略円筒形
状の外形を成し、その上部にはジンバル１の受け部４を
有している。この受け部４は、詳細には三つの支持部４
ａ，４ｂ，４ｃを備えており、これら三つの支持部４ａ
〜４ｃは図１に示すようにジンバル１の中心部から同心
円上に１２０度間隔をあけて均等に取外し可能に配置さ
れている。

【００６９】ジンバルベース２内にはジンバル１の下面
部の中央部の下方に基準位置（中央線上の位置）を配置
し、その下部に設けられた水平面内方向（Ｘ−Ｙ二軸）
に移動可能な水平移動調整手段であるスライド装置８と
連結されている。

【００７０】図６に示すように、ジンバル１は、その下
面部に対象物１５の被調整位置Ｂを中心とする球面状の
外形が形成された球面状外形部３を有する略円板形状を
成しており、その球面状外形部は、図１に示したよう
に、円周方向に所定幅を持った部分的な球面状外形部と
なっている。

【００７１】なお、本実施形態において、球面状外形部
３は対象物１６をジンバルの中央に配置した状態で被調
整位置Ｂを中心とする半径Ｒ＝５８ｍｍの球面体の外形
部の一部となっている。

【００７２】さらに、ジンバル１の下面部中央部は、連
結部材である板バネ１９の取り付けのために円柱状の切
り欠き部１６が成されている。

【００７３】スライド装置８は、垂直方向にも変形可能
に構成された連結部材である板バネ状部材（板バネ１
９）を介してジンバル１（の基準位置）と接続（連結）
されている。なお、ジンバル１の基準位置は、水平状態
での中央部の下方延長線上に配置されているので、スラ
イド装置８を後述の原点復帰させた状態で、ジンバル１
の水平状態（基準状態）が保たれるようになっている。

【００７４】このスライド装置８は、図３に示すように
ボディー１１の上にＹ軸移動用スライドレール１０とＸ
軸移動用スライドレール９とが順に上下に配置された二
つのスライドレール９，１０を備えている。これら二つ
のスライドレール９，１０は、何ら拘束されていないと
きには水平面内方向の移動が自在に行え、スライドレー
ル９，１０の端部にそれぞれ接続されたエアーシリンダ
１８ａ，１８ｂにエアー（不図示）を供給するとエアー
シリンダ１８ａ，１８ｂの往復運動が固定されてスライ
ドレール９，１０の現在の位置を保持することができる
ようになっている。つまり、エアーシリンダ１８ａ，１
８ｂを用いてスライド装置８の固定手段としているので
ある。

【００７５】また、スライド装置８は、図４及び図５に
示すようにＸ軸移動用スライドレール９とＹ軸移動用ス
ライドレール１０とが交差する部分には、二つのスライ
ドレール９，１０及びボディー１１とが連通するように
それぞれ穴１１ａ，１１ｂ、１１ｃが開けられている。
さらに、穴１１ａは下方（ボディー１１側）に広がるテ
ーパ形状となっている。

【００７６】ボディー１１の穴１１ｃには、穴１１ｃと
同径の球１２が挿入されており、穴１１ｃと連通するエ
アー供給口１３にエアーを供給すると球１２は穴１１ｃ
の内壁にガイドされて上方に移動することができ、か
つ、エアーを排気すると球１２は下方へ移動するように
なっている。エアーの供給によって球１２が上方へ移動
して穴１１ａのテーパ部まで到達すると、球１２の上方
への押し上げ力がテーパ部に作用して、図４に示すよう
な球１２が下部に位置してスライドレール９，１０が自
由に移動できる状態から、図５に示すようにスライドレ
ール９，１０が中心位置へ復帰するように構成されてい
る。つまり、スライド装置８にエアーを供給することで
スライド装置８の中心位置（原点）に自動復帰できる機
能を有した構成となっている。

【００７７】一方、図７に示すように、本実施形態にお
いて支持部４ａ，４ｂ，４ｃは三つの部材で構成された
ロール状支持部となっている。即ち、軸部５に挿入され
る筒状のロール６との間の隙間に複数の球（ボールベア
リング）７が転動自在に挿入されてロール状支持部を構
成する。この構成により、ロール６は球７の転動に伴っ
て軸部５の軸方向へ水平移動し、かつ、軸部５回りに回
転移動することが可能となる。

【００７８】また、図８に示すように、本実施形態にお
ける板バネ９は、薄い円板状の弾性力を有する部材に円
板中心から同心円上に適切な間隔をあけて長溝１４ａ〜
１４ｆが開けられた形状となっている。この形状によ
り、板バネ９に垂直方向の力が加わった場合には、垂直
方向に弾性状態で変化して垂直方向の移動を吸収（許
容）できる。よって、スライド装置の水平移動は垂直方
向に拘束されることなくスムーズに移動可能となるので
ある。しかも、板バネ９は長溝１４ａ〜１４ｆを有して
いるから、水平方向の移動成分が若干（誤差程度）生じ
ても水平方向へも弾性状態で変化してこの水平方向移動
成分を吸収（許容）できる。

【００７９】次に、本実施形態に係る対象物の面合わせ
・調心装置を用いて対象物を部材と接続等する方法につ
いて図９〜図１１と共に説明する。

【００８０】まず、図５に示すようにスライド装置８に
エアーを供給して原点復帰（スライド中心位置に復帰）
させる。すると、本実施形態に係る対象物の面合わせ・
調心装置において、スライド装置８は前述のようにジン
バル１の下面部の中央部を基準として水平移動可能に接
続されているから、スライド装置８の原点復帰すると、
ジンバル１は水平位置（基準位置）を維持する。この状
態で図９に示すように対象物１５の被調整位置Ｂが、ジ
ンバル１の下面球状部の中心位置になるように配置して
固定する。

【００８１】部材１７、及び／又は、対象物１５が固定
された面合わせ・調心装置を空間内で移動させ、部材１
７が対象物１５と面合わせが行える程度に接近させた後
に、図１０に示すように対象物１５の被調整位置Ｂに部
材１７を上から力Ｐで押し付ける。ここで、説明のため
に図１０に示すように部材１７の接続面は対象物１５の
接続面に対して傾きを有した（接続面同士が平行でな
い）状態を想定することにする。このような接続面が傾
いた状態で部材１７を対象物１５に力Ｐで押し付ける
と、部材１７と対象物１５との接続面のずれ（傾きの違
い）の分だけロール状支持部４に支承されたジンバル１
が被調整位置Ｂを中心として球面状外形部３に沿って図
１０の状態から図１１の状態へと傾きを反時計回りに変
化させ、対象物１５と部材１７とが互いに密着して面合
わせや調心がなされる。このとき、被調整位置Ｂは移動
することがないので部材１７と対象物１５とは常にＢ点
の位置で密着接続される。

【００８２】このように本実施形態に係る対象物の面合
わせ・調心装置を使用すれば、部材１７と対象物１５と
の接続面の調整（傾き、中心位置の調整）を厳密に行わ
なくても、部材１７と対象物１５とを被調整位置Ｂで押
し付けるだけでジンバル１が自在に傾きを変えて部材１
７と対象物１５との面合わせや調心を簡単に行うことが
できるのである。

【００８３】ところで、ジンバル１が図１０の位置から
図１１の位置へと移動（傾き変化）すると、スライド装
置８のスライドレール１０も図１１に示すように水平方
向右側へ移動することとなる。つまり、ジンバル１の傾
き変化に追従してスライドレール１０が水平方向に移動
する。ジンバル１は球面状外形部に沿って移動しながら
傾きを変えるため、ジンバル１の下面中央部の位置は垂
直方向にも変化することとなるが、ジンバル１とスライ
ド装置８とは板バネ１９を介して接続されているため、
板バネ１９がジンバル１の垂直方向移動変化量に応じた
量だけ自身の形状を図１１に示すように変化させて吸収
する。従って、スライド装置８の水平面内の移動に影響
を及ぼすことはない。つまり、この板バネ９の作用によ
ってジンバル１とスライド装置８とは互いに移動の動作
を拘束することなく滑らかに移動が行え、対象物の面合
わせや調心の精度を低下させることはない。

【００８４】また、対象物１５と部材１７とを接着した
い場合には、対象物１５と部材１７とが面合わせ、調心
された状態を保持するように、スライド装置８の水平移
動動作を固定すればよい。この場合には、スライド装置
８のエアーシリンダ（図３参照）にエアーを供給し、ス
ライドレール９，１０が動かないようにエアーシリンダ
のピストン部２３ａ，２３ｂで押圧してスライド装置８
のスライド移動を固定すると、ジンバル１の傾きは対象
物１５と部材１７とが面合わせ、調心された位置で保持
されるから、対象物１５と部材１７の接続面の接着を行
う際に接続面がずれたりする心配もない。

【００８５】このように上述の使用方法によれば、対象
物１５と部材１７とを面合わせや調心する際に、互いの
接続面が傾いたりしてずれていても（接続面の精度が悪
くても）、部材１７を対象物１５に押し付けるだけで簡
単に面合わせや調心を行うことができる。しかも、対象
物１５の被調整位置Ｂは移動しないので、面合わせや調
心の精度は高い。

【００８６】尚、スライド装置８の水平移動動作の固定
方法としては、前述のようなスライドレール（図３の符
号９，１０）を直接エアーシリンダ１８ａ，１８ｂのピ
ストン部２３ａ，２３ｂにて押圧して固定する方法（図
３）の他に、図１４に示すようなスライド装置８の固定
方法を用いることもできる。

【００８７】即ち、図１４に示すスライド装置８の固定
方法は、スライドレール９に間接的に固定された薄板２
０をエアーシリンダ１８ａ，１８ｂの押圧力によって移
動しないように固定し、この薄板２０を固定することに
よってスライド装置８の水平移動動作を固定するもので
ある。

【００８８】具体的に説明すると、まず、スライド装置
８のスライドレール９の上に取付片２１ｂを固定し、そ
の上に薄板２０を取り付ける。その薄板２０の上に取付
片２１ａを固定し、さらに、取付片２１ａを板バネ１９
に接続する。つまり、板バネ１９とスライドレール９と
を直接接続するのではなく、板バネ１９とスライドレー
ル９とが薄板２０を挟んだ上下二つの取付片２１ａ，２
１ｂを介して接続された構成となっているのである。こ
のような構成であっても、ジンバル１の傾き変化に追従
してスライド装置８の水平移動が可能であることは言う
までもない。

【００８９】さらに、エアーシリンダ１８ａ，１８ｂが
円周方向に約９０度の間隔をあけて垂直方向に配置され
ており、エアーを供給すると、エアーシリンダ１８ａ，
１８ｂが自身のピストン部２３ａ，２３ｂを図中の矢印
方向に押し上げてジンバルベース２の固定面２２ａ，２
２ｂを押圧するように構成されている。ここで、エアー
シリンダ１８ａ，１８ｂを円周方向に約９０度間隔で配
置したのは、直交するＸ−Ｙ二軸のスライド装置８のス
ライド移動方向とほぼ一致させるためである。

【００９０】そして、薄板２０を固定面２２ａ，２２ｂ
とエアーシリンダ１８ａ，１８ｂとの間に挟まるように
しておけば、エアーシリンダ１８ａ，１８ｂにエアーが
供給されていないときにはスライド装置８は自由に水平
移動でき、ジンバル１の傾き状態を保持したいときには
エアーをエアーシリンダ１８ａ，１８ｂに供給すれば、
ピストン部２３ａ，２３ｂが薄板２０を固定面２２ａ，
２２ｂとの間で強く挟んで保持する。

【００９１】すると、薄板２０はスライド装置８のＸ方
向とＹ方向の移動が拘束されて動くことができないか
ら、薄板２０と間接的に(取付片２１ｂ)を介して接続さ
れたスライド装置８はＸ−Ｙの二方向とも動くことがで
きなくなる。即ち、スライド装置８の水平移動動作は固
定されたことになるのである。

【００９２】このような方法によってもスライド装置８
の水平移動動作を固定でき、ジンバル１の傾きは対象物
１５と部材１７とが面合わせ、調心された位置で保持さ
れるから、対象物１５と部材１７の接続面の接着を行う
際に接続面がずれたりする心配もない。

【００９３】一方、本実施形態に係る対象物の面合わせ
・調心装置を面合わせや調心作業の微調整に用いること
もできる。

【００９４】つまり、部材１７、及び／又は、対象物１
５が固定された面合わせ・調心装置を空間内で一般的な
移動調整手段を用いて移動し、部材１７と対象物１５の
接続面を接近させて面合わせを行う。このとき面合わせ
が十分であるかの検査、確認をする必要があるが、例え
ば、対象物１５と部材１７との接続面を拡大した画像を
モニタに取り込んでオペレーターが画像処理しながら確
認すれば良い。概ね対象物１５と部材１７との接続面が
合ったら、本実施形態のスライド装置８のスライド移動
量を調整する。スライド移動量の調整はスライド装置８
に接続されたステッピングモータ（不図示）によって行
う。スライド装置８は板バネ１９を介してジンバル１と
連結されているから、スライド装置を用いてスライドレ
ール９，１０（図３参照）を水平移動すれば、ジンバル
１の傾きは変化し、対象物１５と部材１７との面合わせ
状態（傾き）や中心のずれが微調整されるのである。

【００９５】微調整が完了した後にスライド装置８の水
平移動動作を固定したい場合には、前述のようなエアー
シリンダによる固定方法によって固定しても良いが、ブ
レーキ機能を備えたステッピングモータを用いれば、こ
のブレーキ機能によってもスライド装置８を固定できる
から、この場合にはエアーシリンダは不要である。

【００９６】このように、本実施形態に係る対象物の面
合わせ・調心装置を用いれば、部材１７と対象物１５と
を押し付けることでジンバル１が自在に傾きを変化させ
て面合わせや調心を行うことができるばかりでなく、ジ
ンバル１の傾きをスライド装置８を調整することによっ
て変化させて対象物１５と部材１７の接続面の面合わせ
や調心状態を微調整することもできるのである。

【００９７】尚、本発明の光部品の面合わせ・調心装置
は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発
明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得
ることは勿論である。例えば、スライド装置の下方にロ
ードセルを取り付けて、荷重を監視するようにしてもよ
い。

【００９８】

【発明の効果】以上、説明したように本発明に係る対象
物の面合わせ・調心装置によれば、ステージ部が球面状
外形部に沿って自在に傾きを変えることができる構成の
ため、簡単に傾き制御を行えるという優れた効果を奏し
得る。しかも、対象物の被調整位置が常に一定位置に保
たれるため、面合わせや調心を高精度である。

【００９９】また、ステージ部は少なくとも三つの支持
部で下方から安定して支承された構成のため、構造が単
純な上に、耐荷重性が高いという優れた効果を有する。
耐荷重性が高いことによって、対象物と接続等される部
材とを押し付けて接合することができ、しかも、その接
合作業の時に掛かる力による変形や摩耗が従来の多軸制
御の技術等に比べて大幅に低減される。つまり、長期間
に亘って面合わせや調心の精度を維持できる。

【０１００】また、ステージ部を支持部で支承するとい
う単純構造のため、支持部が長期間使用によって摩耗等
した場合でも、支持部のみを交換すればよく、メンテナ
ンス時の作業効率が大幅に改善されるという効果もあ
る。

【０１０１】また、本発明に係る対象物の面合わせ・調
心装置によれば、上述のような優れた効果を有するか
ら、高精度が要求される光ファイバー等の光部品同士を
接続して接着する際に用いると、特に有利である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る対象物の面合わせ・
調心装置の概略平面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ概略断面図である。

【図３】本実施形態に係る水平移動調整手段の詳細を説
明するための説明図である。

【図４】本実施形態に係る水平移動調整手段の詳細を説
明するための説明図である。

【図５】本実施形態に係る水平移動調整手段の詳細を説
明するための説明図である。

【図６】本実施形態に係るステージ部の概略正面図であ
る。

【図７】本実施形態に係る支持部の詳細構造を示す概略
断面図である。

【図８】本実施形態に係る板バネ状支持部材の概略平面
図である。

【図９】本実施形態に係る対象物の面合わせ・調心装置
を用いて対象物を部材と接続等する方法を説明するため
の説明図である。

【図１０】本実施形態に係る対象物の面合わせ・調心装
置を用いて対象物を部材と接続等する方法を説明するた
め説明の図である。

【図１１】本実施形態に係る対象物の面合わせ・調心装
置を用いて対象物を部材と接続等する方法を説明するた
めの説明図である。

【図１２】本発明の対象物の面合わせ・調心装置におけ
るステージ部の移動（傾き変化）を説明するための説明
図である。

【図１３】本発明の対象物の面合わせ・調心装置におけ
るステージ部の移動（傾き変化）を説明するための説明
図である。

【図１４】水平移動調整手段を固定する別の方法を説明
するための図である。

【符号の説明】

１：ジンバル ２：ジンバルベース ３：球面状外形部 ４，４ａ，４ｂ，４ｃ：支持部（ロール状支持部） ８：スライド装置 １５：対象物 １７：部材 １８ａ，１８ｂ：エアーシリンダ １９：板バネ Ｂ：被調整位置

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対象物の被調整位置を、その対象物に接
   続等される部材と面合わせや調心を行う装置のステージ
   手段であって、 前記対象物を配置するステージ部と、該ステージ部を下
   部から支承する基台部とを備え、 前記ステージ部は、その下面部に、前記被調整位置を中
   心とする球面状の外形が形成された球面状外形部を有
   し、 前記基台部は、前記ステージ部の前記球面状外形部を支
   承する受け部を有し、 前記ステージ部が、前記球面状外形部に沿って移動可能
   に保持されている、 ことを特徴とする対象物の面合わせ・調心装置。
2. 【請求項２】 前記受け部は、前記ステージ部の前記球
   面状外形部を下方から支承する少なくとも三つ以上の支
   持部を備えていることを特徴とする請求項１に記載の対
   象物の面合わせ・調心装置。
3. 【請求項３】 前記支持部は、前記球面状外形部の水平
   接線方向への水平移動可能に構成されると共に、前記球
   面状外形部の水平接線方向を軸とする回転移動とが可能
   なロール状支持部で構成されていることを特徴とする請
   求項２に記載の対象物の面合わせ・調心装置。
4. 【請求項４】 前記ステージ部は、その下面部の下部に
   設けられた水平移動調整手段を更に備え、 この水平移動調整手段は、前記ステージ部の下面側の予
   め定めた位置を基準にして、その基準位置を水平面内方
   向へ任意に移動させるものであって、 前記水平移動調整手段により前記基準位置を移動させた
   場合に、前記ステージ部自体は、前記球面状外形部に沿
   って移動するものである、ことを特徴とする請求項３に
   記載の対象物の面合わせ・調心装置。
5. 【請求項５】 前記水平移動調整手段は、前記基準位置
   において前記ステージ部と連結されており、当該連結部
   は、垂直方向への移動を許容する連結部材を介して連結
   されていることを特徴とする請求項４に記載の対象物の
   面合わせ・調心装置。
6. 【請求項６】 前記水平移動調整手段は、前記ステージ
   部を所定の位置で固定可能な固定手段を備えていること
   を特徴とする請求項４又は５に記載の面合わせ・調心装
   置。